JPH031421A - プラズマ表示素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明はプラズマ表示素子の製造方法に関するものであ
って、特に写真蝕刻法で電極および隔壁を形成するプラ
ズマ表示素子の製造方法に関する。 一般にプラズマ表示素子は２枚の硝子基板に形成される
上下部のそれぞれ異なる二つの電極、即ち、エノード電
極とカソード電極間にガスを封入し、前記電極に電圧を
印加することにより発生するガス放電を利用して数字、
又は文字等を表現する表示素子である。 これら放電表示装置の一般的構造は、一方向に延長され
る複数個の平行電極等からなるエノード電極群と、前記
エノード電極群と所定の間隔を置いて対向し、前記エノ
ード電極群の延長方向と交叉しながら延長される複数個
の平行電極等からなされるカソード電極群から形成され
るマトリックス形態に構成されるが、前記エノード電極
群とカソード電極群をなす各電極の対向交叉部は発光表
示部、即ち、画素になり、前記画素と画素の間にはカソ
ード電極側から発生するプラズマ表示素子（Ｐｌａｓｍ
ａ　　Ｇｌｏｗ）放電の拡散を防止するための隔壁が形
成される。 このような電極構造を存する気体放電表示装置に対する
先行技術である特開昭５８−１５０２４８号はカソード
電極側から発生するプラズマグーウの拡散防止のため所
定の高さの絶縁性隔壁をエノード電極群側の基板面より
カソード電極群側へ向くように通常的なスクリーン印刷
法で形成する。

【従来の技術における問題点】

上記する通常のラスリーン印刷法を利用してプラズマ表
示素子（以下、ＦＤＰと略称する）の電極と隔壁とを製
造する場合の如き問題点が提起された。 即ち、スクリーン印刷法を利用する場合、印刷、および
パターン（Ｐａｔｔｅｒｎ）形成のためにスクリーンマ
スク（Ｓｃｒｅｅｎ　　Ｍａｓｋ）を作らなければなら
ないが、前記スクリーンマスクは精密なパターンを形成
することができなかった。 このようなスクリーンマスクは木材やアルミニウム材質
のフレーム（Ｆ　ｒ　ａｍｅ）にポリエステル布やステ
ンレスメツシュ（Ｍ　ｅ　ｓ　ｈ　）　ヲ一定する張力
で固定させ、この上に感光性樹脂を塗布した後、所望の
パターンを形成させて製作し、このように製作された前
記スクリーンマスクを印刷機に掛けて硝子基板上にエノ
ード電極、又はカソード電極用ペーストを印刷し、又隔
壁用ペーストを前記のスクリーンマスクを介して印刷す
ることによりＦＤＰを製造する。 上記において言及した如く、このような従来のスクリー
ン印刷法によるＦＤＰの電極および隔壁の製造において
はスクリーンマスクパターンの高精細化問題、即ち、マ
スクのライン（Ｌ　ｉ　ｎ　ｅ）の幅が数百マイクロメ
ートルに過ぎないからＦＤＰの大形化趨勢に従った製作
が不可能である。

【発明の目的】

本発明は、従来の技術では解決できなかったパターンの
精細化に対する限界点を克服し、併せてＦＤＰの大形化
に従った製作が可能になるよう写真蝕刻法を利用してＦ
ＤＰを製造するプラズマ表示素子の製造方法を提供する
ことにその目的がある。

【問題点を解決するための手段】

上記する目的を達成するために本発明は電極又は隔壁の
形成のとき、硝子基板に水溶性感光樹脂を塗布し、露光
および現像を行った後、その上に電極又は隔壁用材質を
塗布した後水溶性感光樹脂上にある各形成材質を纏めて
除去して製造することを特徴とするのである。

【実施例】

本発明の実施例を添付する図面に従い詳細に説明する。 添付図面は本発明によるＦＤＰの製造方法を説明するも
のである。 先ず、カソード電極形成方法に関して説明する。即ち、
硝子基板１上に水溶性感光樹脂２を塗布するが該感光樹
脂２の塗布層の厚さが２０３０μｍ程度になるようにス
ピーンコーライング機（Ｓｐｉｎ　　Ｃｏａｔｅｒ）で
均一に塗布する。 （図面イ参照） 前記する水溶性感光樹脂２はポリビニルアルコール溶液
（ＰｏｌＹ　　ｖｉｎｙｌ　　ａｌｃｏｈｏｌ）、重ク
ローム酸ナトリウム（Ｎａ２Ｃｒ２０７）（Ｓｏｄｉｕ
ｍ　　ｄｉｃｈｒｏｍａｔｅ）溶液、アクリールエマル
ジョン（ａｃｒｙｌ　　ｅｍｕｌｓｉｏｎ）およびプロ
ピレンオクサイドエチレンオクザイドボリマ（１）ｒｏ
ｐ）’　ｌ　ｅｎｅｏｘｉｄ’ｅ　　ｅｔｈｙｌｅｎ　
　ｏｘｉｄｅ　　ｐ。 ｌ　ｙｍｅ　ｒ）を混合して構成したものでＦＤＰ製造
工程の容易性と作業環境を考慮して通常的である有機性
感光樹脂剤を排除したのである。 かくの如く硝子基板１１に塗布された水溶性感光樹脂２
を乾燥炉で３５乃至３８℃に約５分間乾燥させ、カソー
ド電極を形成させるためのパターンには前記の感光樹脂
２が除去されるようにネガテープ（Ｎｅｇａｔｉｖｅ）
方式によりマスクを設けた後に露光現像を行う。 これにより、カソード電極を形成するための部分の水溶
性感光樹脂が除去される。（図面口参照）。 続いてニッケル粉末に接着補強剤であるカシール（Ｋａ
ｓｉｌ）を組合わせた組成物であるカソード電極用ニッ
ケルペース）（Ｐａｓｔｅ）３を、図面へに図示される
如く、次の不必要な部分、例えば水溶性感光樹脂上のニ
ッケルペースト３を除去する。 即ち、水溶性感光樹脂２が除去された部分にのみニッケ
ルペーストが固着され、それ以外の部分のニッケルペー
ストは除去されるようにする工程は二つの方法があるが
、一つはニッケルペースト３が塗布された状態で約７５
°Ｃ〜９５°Ｃに乾燥させた後過酸化水素溶液をスプレ
ィ（Ｓｐｒａｙ）させるのであり、他の一つは約２５°
Ｃ〜４５℃を維持する過酸化水素溶液に浸澱させるので
ある。 前記二つの方法のうちどの方法によっても水溶性感光樹
脂２が除去され、併せて水溶性感光樹脂２上に有するニ
ッケルペーストを脱落させる。 従って図面（ニ）に図示する如く硝子基板１上にカソー
ド電極４が形成される。 次にはエノード電極６と隔壁７に対して説明する。先ず
、エノード電極６は前記するカソード電極形成方法と同
一に形成した後、又本発明によるＦＤＰの隔壁を形成さ
せる。 前記のためにエノード電極６が形成された硝子基板１′
上に水溶性感光樹脂２を１００〜１２０μｍ厚さにやや
厚く塗布した後隔壁形成用マスクをポンチイブ（ｐｏｓ
　ｉ　ｔ　１ｖｅ）方式で設けて、露光、現象とすると
エノード電極６を除いた部分の水溶性感光樹脂２が除去
されエノード電極６上にのみ前記水溶性感光樹脂２が塗
布された状態になる。 これに隔壁用硝子ペースト５を塗布乾燥すれば図面（ホ
）の如くなる。 前記の隔壁用硝子ペースト５が塗布された状態で過酸化
水素溶液に浸澱させると水溶性感光樹脂２が除去される
と同時に感光樹脂２上に塗布されている硝子ペーストが
除去される。 従って、図面（へ）に図示された如くエノード電極６間
に隔壁７が形成されることになる。 前記の写真蝕刻法による工程でエノード電極６および隔
壁７が形成された前面硝子基板１′とカソード電極４が
形成された背面硝子基板１を製作し、この両硝子基板を
封止材で封止させてＦＤＰを完成するのである。

【発明の効果】

上記において詳述する如き本発明によると、写真蝕刻法
の特徴であるパターン形成の高精細化をプラズマ表示素
子製造に表現することができて、大形化趨勢に伴うプラ
ズマ表示素子を製造することができ、かつ従来のスクリ
ーン印刷のとき発生する不良率を減少させる利点等があ
る。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本発明によるプラズマ表示素子の製造方法を
説明するための製造工程順序図である。 １．１′・・・硝子基板 ２・・・感光樹脂 ３・・・ニッケルペースト ４・・・カソード電極 ５・・・硝子ペースト（隔壁用） ６・・・エノード電極 ７・・・隔壁

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）プラズマ表示素子の製造方法において、写真蝕刻
   法により硝子基板（１）、（１′）上の電極、又は隔壁
   形成がそれぞれ水溶性感光樹脂の塗布、乾燥、露光及び
   現像する段階と、前記の電極又は隔壁形成のためにそれ
   ぞれの材質ペースト塗布した後水溶性感光樹脂上にある
   材質ペーストを除去する段階から成ることを特徴とする
   プラズマ表示素子の製造方法。
2. （２）前記電極の形成は硝子基板（１）、（１′）上に
   水溶性感光樹脂（２）を塗布する工程と、マスクを設け
   て電極パターンを形成するように露光および現像する工
   程と、続いて電極用材質ペーストを塗布する工程および
   過酸化水素溶液で水溶性感光樹脂とこの樹脂上に塗布さ
   れている材質ペーストを除去する工程から成ることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載のプラズマ表示素子
   の製造方法。
3. （３）前記隔壁の形成はエノード電極（６）が形成され
   た硝子基板（１）上に水溶性感光樹脂（２）を塗布する
   工程と、隔壁形成用マスクを設けて隔壁パターンを形成
   させるように露光および現像する工程と、続いて隔壁用
   硝子ペーストを塗布する工程および過酸化水素溶液で水
   溶性感光樹脂と、この感光樹脂上に有する硝子ペースト
   を除去する工程から成ることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のプラズマ表示素子の製造方法。