JPH06139922A

JPH06139922A - プラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成法

Info

Publication number: JPH06139922A
Application number: JP29030492A
Authority: JP
Inventors: Hironobu Arimoto; 浩延有本; Kenji Ofuku; 健司大福
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-10-28
Filing date: 1992-10-28
Publication date: 1994-05-20
Anticipated expiration: 2013-06-25
Also published as: JP2768877B2

Abstract

(57)【要約】【目的】この発明は、バリアリブを高精度に形成でき
る作業性の良いバリアリブ形成方法を得る事を目的とす
る。【構成】パターンマスクを介して感光性有機フィルム
を露光し、現像して所定のパターンを形成した後に熱処
理を行い、しかる後、パターン間に黒色ガラスペースト
を埋め込み低温乾燥させ、バリアリブの形状を保持する
ための保護材を塗布し、外力に対するバリアリブの形状
の保護を行い、さらに有機フィルムとガラスペースト
（バリアリブ）との密着力を弱める働きをさせる。その
後表面洗浄、感光性有機フィルム剥離、焼成、洗浄の各
処理を順次行うようにしたものである。さらに、バリア
リブの形状保護材として１００℃以下の温度では固化
し、それ以上の温度では液体であるパラフィンやアクリ
ル樹脂等を用いたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はコンピュータ端末や券
売機において、バーグラフ等の文字情報や画情報の表示
装置として使用されるプラズマディスプレイパネル（以
下、ＰＤＰと略称する）のバリアリブ形成方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来のＰＤＰの構造を示す断面図
であり、図６において１はガラス板もしくはこれに類す
るものからなる前面透明平面板、２は全面透明平面板１
の放電電極、３は微小な間隙をもって前面透明平面板１
と相対する背面平面板、４は背面平面板３の内面に第１
の放電電極２とマトリクスを形成するように列設した第
２の放電電極、５は表示放電が第２の放電電極４に沿っ
て一定領域外に広がることを防止し、且つ、一定の放電
空間を確保するために、前面透明平面板１の内面の放電
電極に、この放電電極と平行に形成されたバリアリブで
ある。

【０００３】次にＰＤＰの動作について説明する。今、
表示を行う放電セルに接続されている放電電極２、４が
選択されて、高電圧が印加されると放電電極２、４間に
封止されている放電発生ガスが、図６に示すようなプラ
ズマ放電パネル内に放電発光し、この発光が前面透明平
面板１を通して表示面に達することにより、文字や図形
の表示が行われる。この場合、上記放電発光ガスによる
放電発光は、選択された放電電極、特に走査を行う放電
電極４に沿って非表示部分にも広がって行うとするが、
これをバリヤリブ５が阻止して発光放電を一定領域に制
限し、放電セル間の誤放電やクロストークがなく、良好
な表示を行うことができる。このように、バリアリブ５
はその高さ、幅、パターンギャップによって均一な放電
空間を保持すると共にパネル全体の機械的強度を高める
機能を有している。従来、上記バリアリブ５の形成方法
として、図７に示す厚膜印刷法が実施されている。この
厚膜印刷法は、まず、前面透明平面板１上に放電電極２
を列設し（図７ａ）、しかる後、印刷スクリーン９を用
いて前面透明平面板１上の放電電極間に黒色ガラスペー
スト６を印刷、乾燥する（図７ｂ）、この印刷、乾燥工
程を５〜１０回繰り返し行うことで所定の厚みを得てい
る。また、バリアリブ５の他の形成方法として、感光性
有機フィルムを使用する方法がある。図８はこの形成方
法を示すもので、まず、前面透明平面板１上に列設した
放電電極２と対向する位置に穴を有するマスク８を重ね
合わせ（図８ａ）、しかる後、露光、現像を行い、マス
ク８で露光されなかった感光性有機フィルム７の部分を
除去する（図８ｂ）。次いで、上記の露光、現像によっ
て形成されたパターン間に黒色ガラスペースト６を埋め
込み塗布し（図８ｃ）、これを乾燥、表面洗浄した後に
焼成と感光性有機フィルム７の除去を同時に行い（図８
ｄ）洗浄するものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のバリアリブ形成
方法は以上の様に行われているので、厚膜印刷法の場
合、あらかじめ前面透明平面板１上に形成された放電電
極２と印刷しようとする黒色ガラスペースト６の印刷場
所との位置合せが難しく、また一部分で位置合せができ
たとしても、印刷スクリーン９の伸び等によりパネル全
面での位置を合せることにも問題がある。従って、５〜
１０回もの黒色ガラスペースト６の重ね合わせ印刷を行
なうことにより、図９、図１０に示すように、バリアリ
ブ５の裾の乱れや高さの精度が得られないばかりか、作
業性が悪いという問題がある。また、スクリーン印刷の
性格上スクリーンを形成するメッシュと呼ばれる金属線
部分にはペーストが塗布されないことより微細パターン
上にメッシュの形状が転写され均一な形状が得られない
と言う問題がある。さらに、印刷を行なうことによりバ
リアリブ５の裾の乱れが避けられず図１１に示すよう
に、表示セル形状がバリアリブ５のニジミに大きく左右
され表示品位が悪くなるという問題もある。また、感光
性有機フィルムを使用した場合は、バリアリブ５の裾の
乱れや高さの精度といった問題は発生しないが、感光性
フィルム７を燃焼除去する際に発生する大きな形状変化
や、黒色ガラスペースト６との結合により図１２ａに示
すように、部分的にバリアリブ５が変形崩壊すること、
図１２ｂに示すように、埋め込んだ黒色ガラスペースト
６が表示セル内に引き込まれ汚れとなる事等で、一定の
縦横比（アスペクト比）をもつ均一で安定なバリアリブ
５を形成する事は困難であった。また、感光性有機フィ
ルムにガラスペーストを埋め込む方法を取った場合、バ
リアリブのアスペクト比が大きくなるにつれて、バリア
リブの歩留まりが悪くなる事もあり、この方法によるバ
リアリブの量産性にも問題があった。

【０００５】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、バリアリブを高精度に形成でき
る作業性の良いバリアリブ形成方法を得る事を目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
パターンマスクを介して感光性有機フィルムを露光し、
現像して所定のパターンを形成した後に熱処理を行い、
しかる後、パターン間に黒色ガラスペーストを埋め込み
低温乾燥させ、バリアリブの形状を保持するための保護
材を塗布し、外力に対するバリアリブの形状の保護を行
い、さらに有機フィルムとガラスペースト（バリアリ
ブ）との密着力を弱める働きをさせる。その後表面洗
浄、感光性有機フィルム剥離、焼成、洗浄の各処理を順
次行うようにしたものである。請求項２記載の発明は、
バリアリブの形状保護材として１００℃以下の温度では
固化し、それ以上の温度では液体であるパラフィンやア
クリル樹脂等を用いたものである。

【０００７】

【作用】この発明におけるバリアリブ形成方法は、感光
性有機フィルムに露光、現像処理を施した後、熱処理を
施し、黒色ガラスペーストを塗布して低温乾燥処理後バ
リアリブ崩壊防止添加剤を浸透させることにより、表面
洗浄の後実行する感光性有機フィルム剥離作業による有
機性感光フィルムの剥離を容易にし、黒色ガラスペース
トによって形成されたバリアリブのフィルム形状変化を
抑えることができ、大面積にバリアリブを均一に形成す
ることが可能となる。

【０００８】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の一実施例を図に従って説明
する。第１図は請求項（１）（２）記載の発明方法を示
す工程説明図で、１は前面透明平面板、２はその全面透
明平面板１上に列設した放電電極、７は放電電極２上に
設けた感光性有機フィルム、８は放電電極２と対向する
位置に穴８ａを有するマスクであり、これらは前記第９
図、第１４図に示すものとまったく同一である。まず、
前面透明板１上に一定の間隔毎に放電電極２を列設し、
この上に一様な厚み、特性を有する感光性有機フィルム
７をラミネートし、この感光性有機フィルム７上に所望
のバリアリブパターンを形成したマスク８を重ね合わせ
る（図１ａ）。次いで、露光、現像処理を順次施すと、
放電電極２及び黒色ガラスペースト６が付着しては困る
部分に感光性有機フィルム７が残る（図１ｂ）。ここ
で、ラミネートした前面透明平面板１と共に感光性有機
フィルム７に熱処理により熱を加える。この熱処理によ
り、感光性有機フィルム７中の燃焼に関与する成分の大
部分が除去され吸熱、放熱反応がおだやかとなり、後工
程処理における感光性有機フィルム７の形状が安定す
る。この熱印加工程によりガラス基板と有機フィルムの
密着力が増すので後の剥離工程を容易にするために基板
をＩＰＡまたはアセトン等の溶剤中に浸漬する。更に、
バリアリブ５形成用の黒色ガラスペースト６を感光性有
機フィルム７のパターン凹部に印刷または塗布する（図
１ｃ）。次ぎに、感光性有機フィルム７のパターン間に
埋め込んだ黒色ガラスペーストを低温乾燥することで感
光性有機フィルムの収縮による黒色硝子ペーストの形状
変化を防止した後、黒色硝子ペーストを乾燥硬化させ、
バリアリブの形状保護材としてパラフィンを１５０℃に
加熱しながら全面塗布して感光性有機フィルムと黒色硝
子ペースト界面に保護材を浸透させる。しかる後表面洗
浄処理を施し不要黒色硝子ペーストを除去した後、有機
性感光フィルムを剥離する。図２は以上の工程により形
成されたバリアリブの一部の斜視図であり、図３は図２
に示すバリアリブにより仕切られた領域における放電発
光状態を示す正面図である。

【０００９】実施例２．上記実施例においては、感光性
フィルムにてバリアリブの全高さ方向にガラスペースト
を埋め込み形成したが、図４に示す様にバリアリブの底
面部のみ上記実施例の方法にてリブを形成し、高さ方向
については従来の厚膜印刷工程を用いて形成してもよ
い。図５はこの発明の他の実施例により形成されたバリ
アリブの一部の斜視図である。この方法を用いることで
フィルムにより形成されるリブ底部はにじみやだれのな
い良好なバリアリブが得られるとともに、従来問題とな
った高アスペクト比のバリアリブをフィルムで形成する
必要がなくなり歩留りの向上が期待できる。なお、上記
実施例ではバリアリブを第１の電極側（前面平面板側）
に形成することとしたが、第１の電極群のエッチングを
除けば背面ガラス側に同様な方法で形成してもよい。

【００１０】

【発明の効果】以上のように、この発明によればプラズ
マディスプレイ用のバリアリブの形成を感光性の有機フ
ィルムと数回のガラスの塗布のみで形成できるようにし
たので、装置が安価にでき、精度の高いバリアリブが形
成されることにより、表示品質のよいものが安定的に得
られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるバリアリブ形成方法
を示す工程説明図である。

【図２】この発明の一実施例に示すバリアリブ形成方法
で形成したバリアリブの一部の斜視図である。

【図３】図２に示すバリアリブで仕切られた領域の放電
発光状態を示す平面図である。

【図４】この発明の他の実施例によるバリアリブ形成方
法を示す工程説明図である。

【図５】この発明の他の実施例に示すバリアリブ形成方
法で形成したバリアリブの一部の斜視図である。

【図６】従来のプラズマディスプレイパネルの構造を示
す断面図である。

【図７】従来のバリアリブ形成方法の一つである厚膜印
刷法を示す工程説明図である。

【図８】従来のバリアリブ形成方法で形成したバリアリ
ブの一部の斜視図である。

【図９】図８に示すバリアリブの平面図である。

【図１０】図８に示すバリアリブで仕切られた領域に発
生させた放電発光状態を示す平面図である。

【図１１】従来の他のバリアリブ形成方法を示す工程説
明図である。

【図１２】従来のバリアリブ形成方法で形成した欠陥説
明図である。

【符号の説明】

１前面透明平面板２第１の電極群３背面平面板４第２の電極群５バリアリブ６黒色ガラスペースト７感光性有機フィルム８パターン形成用マスク９印刷用のスクリーン１０形状保護材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微小な間隙をもって相対する平面板上に
それぞれに対面して複数の電極をマトリクス状に整列配
置し、前記対面電極へ選択的に電圧を印加し、前記間隙
に気密封入した発光ガスを発光放電させ、情報を表示す
るプラズマディスプレイにおいて、前記電極を配置した何れかの平面板上に均一厚みの感光
性有機フィルムを貼付し、パターンマスクを介して感光
性有機フィルムを露光した後、現像して電極及びバリア
リブを形成しない部分にのみ感光性有機フィルムが残る
ようにパターンを形成した後熱処理を行い、さらにアセ
トン、ＩＰＡ等の中性溶剤若しくは弱アルカリ溶液に浸
せきし、しかる後、前記パターン間に黒色ガラスペース
トを塗布、乾燥させ、バリアリブ形状維持のための剥離
保護剤を塗布し、表面洗浄の後、前記感光性有機フィル
ムを感光性有機フィルム剥離により剥離除去し、焼成の
各処理を順次行ってバリアリブを形成することを特徴と
するプラズマディスプレイのバリアリブ形成方法。
【請求項２】バリアリブ形状維持、有機感光フィルム
との密着性の低下のための剥離保護剤として１００℃以
下の温度で固化するパラフィン若しくはアクリル樹脂を
用いたことを特徴とするプラズマディスプレイのバリア
リブ形成方法。