KR20000033858A - 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 플라즈마셀 제조방법 - Google Patents

플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 플라즈마셀 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 및 격벽 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 플라즈마셀의 전극 제조방법은 전기도금에 의해 전극물질의 성장을 유도하는 시드층을 기판 위에 형성시키고 감광성수지패턴을 시드층 위에 형성한 후, 전기도금에 의해 시드층 위에 전극을 형성하고 감광성수지패턴을 제거한 다음, 부분적으로 전극부 이외의 시드층을 제거하게 된다.
본 발명에 의하면, 전기 도금법을 이용하여 전극들을 형성함으로써 종래의 샌드 브라스트법 또는 스크린프린트법에 비하여 미세패턴으로 전극들을 형성할 수 있게 되고 공정이 단순하기 때문에 공정변수의 제어가 용이함은 물론 제조비용을 절감할 수 있게 된다.

Description

플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 플라즈마셀 제조방법(Method Of Fabricating Plasma Cells in Plasma Address Liquid Crystal Display Apparatus)
본 발명은 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 제조방법에 관한 것으로 특히, 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 및 격벽 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 상/하부 기판 접합방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 전극과 격벽을 포함하고 하부 기판과 상부 기판이 접합되는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 플라즈마셀 제조방법에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Pannel : 이하 "PDP"라 함) 및 플라즈마 어드레스 액정 표시장치(Plasma Address Liquid Crystal : 이하 "PALC"라 함)를 들 수 있다. 이들 중에서도 PDP와 PALC가 밝기(휘도)와 화질이 우수하며 40인치 이상으로 대형화하기에 유리한 장점으로 주목을 받고 있다. 통상, PALC는 도 1에서와 같이 플라즈마셀, 액정부 그리고 플라즈마부에 빛을 공급하기 위한 백라잇(2)으로 구성된다. 플라즈마셀은 백라잇(2)에 대향되도록 제1 편광필터(16)가 접착되는 하부기판(4)과, 하부기판(4) 위에 나란히 형성되는 양극(12) 및 음극(14)과, 한 쌍의 양극(12)과 음극(14)을 사이에 두고 하부 기판(4) 위에 수직으로 형성되는 격벽(18)과, 격벽(18) 위에 형성되는 유전체 글라스 박막(20)을 구비한다. 액정부는 표시면에 제2 편광필터(24)가 접착되고 그 반대면에 적·녹·청(RGB)의 컬러필터(8)와 투명전극(10)이 형성되는 상부기판(6)과, 상부기판(6)과 유전체 글라스 박막(20) 사이에 주입되는 액정(22)을 구비한다.
플라즈마셀은 두 개의 격벽들(18) 사이에 마련되는 방전셀공간으로서, 두 개의 격벽들(18) 사이에는 양극(12)과 음극(14)이 위치하고 방전개스가 채워지게 된다. 화상을 표시하기 위해 양극(12)과 음극(14) 사이에 약 200 V의 전압을 인가하게 되면 플라즈마셀에서 방전이 발생되고 이 방전에 의해 개스는 이온화되어 플라즈마 상태로 변하게 된다. 이 때, 양극(12)과 음극(14) 사이에는 전류가 흐르게 된다. 또한, 플라즈마셀의 천정부위(즉, 유전체 글라스 박막측)에 이온화된 개스에 의한 가상전극이 형성되므로 방전개스와 외부 아날로그 신호원(도시하지 않음)이 공급되는 액정부 전극(투명 전극) 사이에 소정의 전압이 인가 되고 이 전압에 의해 액정(22)이 회전하게 된다. 이 때, 액정부는 플라즈마부를 경유하여 백라잇(2)으로부터 조사되는 광을 표시면 쪽으로 투과시키게 된다. 반면에, 양극(12)과 음극(14) 사이에 전압이 인가되지 않으면 개스가 이온화되지 않으므로 양극(12)과 액정부 전극 사이에 전압이 인가되지 않게 된다. 이 때, 액정(22)은 백라잇(2)에 의해 발광된 빛을 차단하게 된다.
도 2a 내지 도 2e는 도 1과 같은 PALC의 플라즈마셀 제조방법을 수순별로 나타내는 종단면도이다.
하부기판(4)을 세정하여 건조한 후, 도 2a의 단계에서 스크린인쇄법에 의해 전극용 Ni 페이스트(31)를 하부기판(4) 상에 도포하고 건조시킨 다음, Ni 페이스트(31) 상에 포토레지스트 필름을 부착한 후, 노광·현상하여 포토레지스트패턴(32)을 Ni 페이스트(31) 상에 형성시킨다. 도 2b 내지 도 2e의 단계에서, 포토레지스트패턴(32)을 배리어(barrier)로 이용하여 샌드브라스트(Sand-blast)법에 의해 Ni 페이스트(31) 상에서 포토레지스트패턴(32)이 없는 부분을 제거하여 양극(12)과 음극(14)을 형성한 다음, 스크린프린트와 소성의 공정을 수회 반복하여 원하는 높이로 격벽(18)을 형성하게 된다. 격벽(18)이 형성되면 유전체 글라스 박막(20)으로 이용되는 박판그라스를 격벽(18)에 합착하게 된다. 이 때, 프릿 그라스(frit glass)를 기판(4) 주변부에 적절히 도포한 후, 열처리하여 프릿 그라스를 경화시킴으로써 격벽(18)과 유전체 글라스 박막(20)을 일체화시키게 된다.
그러나 위와 같은 전극 제조방법은 샌드브라스트법을 이용하기 때문에 정밀한 패턴의 형성이 어려울 뿐만 아니라, 분사되는 샌드입자에 의해 기판(4) 또는 전극들(12,14)의 손상이 야기될 수 있다. 아울러, 샌드브라스트법을 이용한 전극 제조방법은 분사되는 샌드입자에 의해 전극재료의 낭비가 크고 소요되는 시간이 많게 될 뿐만 아니라 공정의 제어가 어려운 문제점을 지니고 있다. 이와 달리, 스트라입(stripe) 형태의 전극을 스크린프린트법을 이용하여 기판(4) 상에 직접 형성하는 방법을 이용하게 되면 미세한 전극패턴을 형성하기 어려운 문제점이 있다. 통상, 스크린 프린트법에 의해서는 50∼60μm 이하의 폭을 가지는 고정세 격벽을 제조하기가 어렵다. 또한, 종래의 격벽 제조방법에서 사용되는 스크린프린트법은 스크린프린트와 소성을 수회 반복하여야 하므로 과도한 시간이 낭비되고 매 스크린프린트시 위치조정 제어가 어려운 문제점이 있다.
PALC의 플라즈마셀은 액정구동을 위한 스위칭용으로만 이용되므로 PDP에서와 같이 높은 열이 발생할 필요가 없다. 이를 이용하여 최근에는 격벽 형성시 격벽재로서 감광성수지를 이용하는 방법이 제안된 바 있다.(일본특허 특개평 07-043692) 제안된 격벽 형성방법은 도 3a 내지 도 3e와 같다.
도 3a 내지 도 3e는 감광성수지를 격벽재로 이용하는 격벽 제조방법을 나타낸다. 도 3a 내지 도 3e의 단계에서, 양극(12)과 음극(14)이 형성된 기판(4) 위에 격벽 높이에 대응하는 두께로 네가티브(Negative) 감광성수지(33)를 도포한 다음,그 위에 포지티브(Positive) 감광성수지(34)를 도포하여 포토마스크(35)를 통하여 노광함으로써 격벽부만 남기고 나머지 부분의 감광성수지(33,34)를 제거하여 격벽을 형성한 후, 가스발생을 억제하기 위한 가스발생억제막(36)을 격벽에 코팅하게 된다. 그러나 위와 같은 격벽 제조방법은 대면적의 포토리소그라피공정을 채택하여야 하며 수백마이크로미터의 후막 감광성수지의 개발이 선행되어야 할 뿐만 아니라 양산성이 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 수지를 이용하여 형성된 격벽과 유전체 글라스 박막(20)의 합착공정에 있어서도 프릿그라스에 의한 합착공정은 필연적으로 300∼400℃ 이상의 고온공정을 수반하게 되므로 고온에 의해 격벽(18)과 유전체 그라스 박막(20)이 변형될 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 미세전극 형성에 적합하도록 한 PALC의 전극 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 고정세 격벽 형성에 적합하도록 한 PALC의 격벽 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 저온공정에 의해 상/하부 기판이 접합되도록 한 PALC의 상/하부 기판 접합방법을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 재료비와 공정 소요시간을 절감하여 양산성에 적합하도록 한 PALC의 플라즈마셀 제조방법을 제공함에 있다.
도 1은 통상의 플라즈마 어드레스 액정 표시장치를 개략적으로 나타내는 사시도.
도 2a 내지 도 2e는 종래의 플라즈마셀 제조방법을 나타내는 도면.
도 3a 내지 도 3e는 종래의 다른 격벽 제조방법을 나타내는 도면.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 제조방법을 나타내는 도면.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법을 나타내는 도면.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 상/하부 기판 접합방법을 나타내는 도면.
도 7a 및 도 7b는 도 6의 상/하부 기판 접합방법에서 자외선 경화수지 도포방법을 나타내는 도면.
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞
2 : 백라잇 4 : 하부기판
6 : 상부기판 8 : 컬러필터
10 : 투명전극 12 : 양극
14 : 음극 16,24 : 편광필터
18,48 : 격벽 20 : 유전체 글라스 박막
22 : 액정 31 : Ni 페이스트
32 : 포토레지스트패턴 33 : 네가티브 감광성수지
34 : 포지티브 감광성수지 35 : 포토마스크
36 : 가스발생억제막 41 : 밀착력향상층
42 : 수지층 43 : 감광성수지패턴
44 : 금속도금막 45 : 전극형성홈
51 : 금형 51a : 격벽형성홈
52 : 격벽수지 53 : 접합수지
61 : 자외선 경화수지 71 : 기판
상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 PALC의 전극 제조방법은 전기도금에 의해 전극물질의 성장을 유도하는 시드층을 기판 위에 형성시키는 단계와, 감광성수지패턴을 시드층 위에 형성하는 단계와, 전기도금에 의해 시드층 위에 전극을 형성하는 단계와, 감광성수지패턴을 제거하는 단계와, 부분적으로 전극부 이외의 시드층을 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 PALC의 격벽 제조방법은 격벽 형상의 홈이 형성된 금형을 마련하는 단계와, 홈에 격벽용 경화성수지를 주입하는 단계와, 격벽용 경화성수지를 경화시키는 단계와, 접합용 경화성수지를 금형과 격벽용 경화성수지에 도포하는 단계와, 기판을 접합용 경화성수지에 부착하는 단계와, 접합용 경화성수지를 경화시키는 단계와, 금형을 분리하는 단계와, 접합용 경화성수지를 부분적으로 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 PALC의 상/하부 기판 접합방법은 격벽이 형성된 하부기판을 마련하는 단계와, 격벽에 자외선 경화수지를 도포하는 단계와, 유전체 글라스판을 자외선 경화수지에 부착하는 단계와, 자외선 경화수지에 자외선을 조사하여 경화시키는 단계를 포함한다.
상기 목적들 외에 본 발명의 다른 목적 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 실시예들을 첨부한 도 4 내지 도 7을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 PALC의 전극 제조방법을 수순별로 나타내는 종단면도이다.
먼저, 도 4a 및 도 4b의 단계에서, 도금막이 원할하게 형성되도록 스퍼터링법이나 진공증착법에 의해 Cr 또는 Ti으로 이루어지는 밀착력향상층(41)과, Ni, Cu, Cu와 Ni의 복합층, Cu와 Ti의 복합층 등으로 이루어지는 시드층(42)을 하부기판(4) 상에 순차적으로 형성시키게 된다. 여기서, 밀착력향상층(41)은 하부기판(4)과 시드층(42)과의 접합이 용이하도록 하부기판(4)과 시드층(42)과의 밀착력을 크게 한다. 시드층(42)은 후공정의 전기도금에 의해 금속이 용이하게 성장할 수 있도록 전기도금시 금속물질을 유도하게 한다. 도 4c의 단계에서 시드층(42) 위에는 미세패턴형상에 대응하는 감광성수지패턴(43)을 포토리소그라피 공정을 이용하여 형성한 후, 도 4e의 단계에서 전기도금에 의해 시드층(42)과 감광성수지패턴(43)에 의해 마련된 전극형성홈(45)에 적절한 금속도금막(44)을 성장시키게 된다. 여기서, 금속도금막(44)의 재료는 플라즈마에 의해 발생되는 이온에 의한 스퍼터링 등으로부터 전극의 손실을 최소화하기 위하여 Ni이나 Ni 합금이 사용된다. 전극형성홈(45)에 금속도금막이 형성되면 도 4e 및 도 4f의 단계에서 감광성수지패턴(43)을 제거한 다음, 에칭공정에 의해 금속(44) 도금막이 형성된 부분을 제외한 부분에서 시드층(42)과 밀착력향상층(41)을 제거하게 된다. 애칭공정 후, 하부기판(4) 상의 밀착력향상층(41), 시드층(42) 및 금속(44)이 적층된 부분은 양극(12)과 음극(14)이 된다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 PALC의 격벽 제조방법을 수순별로 나타내는 종단면도이다.
도 5a 내지 도 5b 단계에서, 격벽 형상에 대응하는 격벽형상홈(51a)이 형성된 금형(51)을 마련한 다음, 열이나 자외선 또는 기타의 방식에 의해 경화되는 격벽수지(52)를 홈(51a) 내에 충진시키게 된다. 격벽수지(52)는 열경화성수지, 열가소성 수지 및 자외선 경화수지 중 어느 하나가 사용될 수 있다. 한편, 격벽수지(52)가 홈(51a)에 충진되기 전에 후공정에서 금형을 분리하기가 용이하게 함과 아울러, 금형 분리시 형성된 격벽의 손상을 방지하기 위한 이형재가 금형(51)에 도포될 수 있다. 도 5c 단계에서, 홈(51a) 내에 충진된 격벽수지(52)를 경화시킨 다음, 접합수지(53)를 격벽수지(52)와 접하도록 금형(51) 표면에 도포하게 된다. 접합수지(53)는 격벽수지(52)와 하부기판(4)을 접합시키는 역할을 하게 되며 열경화성, 열가소성 또는 자외선 경화수지 등의 특정조건 하에서 경화되는 수지이다. 격벽수지(52)와 접합수지(53)는 경화 후에 용제(Solvent)에 의해 접합수지(53)만이 제거될 수 있도록 선택적 제거가 가능한 경화성 물질로 이루어진다. 도 5d 단계에서, 도 4의 방법에 의해 전극들(12,14)이 형성된 하부기판(4)을 전극들(12,14)이 접합수지(53)에 대향하게 부착시키게 된다. 도 5e 및 도 5f 단계에서, 결합공정에 의해 접합수지(53)를 경화시키게 된다. 그러면 전극들(12,14)이 형성된 하부기판(4), 접합수지(53) 및 격벽수지(52)는 일체화된다. 접합수지(53)가 경화되면 금형(51)을 분리한 다음, 전극들(12,14)이 노출되도록 전극들(12,14) 위에 형성된 접합수지(53)를 제거시키게 된다. 불필요한 접합수지(53)는 격벽수지(52)에는 영향을 주지 않고 접합수지(53)만이 제거되는 용제를 선택하여 식각함으로써 제거된다. 여기서, 격벽(48)의 폭이 상대적으로 접합수지(53)의 두께보다 훨씬 넓으므로 격벽(48) 아래의 접합수지층(53)은 불필요한 접합수지(53)를 제거할 때 거의 영향을 받지 않는다. 불필요한 접합수지(53)를 제거하는 다른 방법으로서 접합수지(53)의 재료가 포지티브 감광성수지와 같이 빛이 조사되는 부위가 용제에 의해 제거되는 특성을 지니게 되면 자외선을 불필요한 접합수지(53) 부분에 조사하여 제거시킬 수 있다. 이 방법에 의해서는 격벽(48) 아래의 접합수지(53)는 노광량이 불필요한 접합수지(53) 부분에 비하여 훨씬 적으므로 거의 영향을 받지 않게 된다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 PALC의 상/하부 기판 접합방법을 수순별로 나타내는 종단면도이다.
도 6a 및 도 6b 단계에서, 도 4 및 도 5의 방법에 의해 전극들(12,14)과 격벽(48)이 형성된 하부기판(4)을 마련한 후, 격벽(48)의 상면에 자외선 경화수지(61)를 도포하게 된다. 도 6c 단계에서, 도포된 자외선 경화수지(61) 위에 유전체 글라스 박막(20)을 부착한 후, 자외선을 조사하여 자외선 경화수지(61)를 경화시켜 격벽(48)과 유전체 그라스 박막(20)을 일체화시키게 된다. 한편, 격벽(48)의 상면에 자외선 경화수지를 도포하는 방법은 도 7a 및 도 7b와 같이 스핀코팅법에 의해 기판(71) 상에 자외선 경화수지(61)를 고르게 도포한 다음, 격벽(48) 상면이 아래로 향하도록 하부기판(4)을 뒤집어 자외선 경화수지(61)에 접촉시키는 것이 바람직하다. 이 방법에 의하면, 자외선 경화수지(61)가 동시에 복수 개의 격벽(48)에 도포될 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 PALC의 전극 제조방법은 전기 도금법을 이용하여 전극들을 형성함으로써 종래의 샌드 브라스트법 또는 스크린프린트법에 비하여 미세패턴으로 전극들을 형성할 수 있게 되고 공정이 단순하기 때문에 공정변수의 제어가 용이함은 물론 제조비용을 절감할 수 있게 된다. 본 발명에 따른 PALC의 격벽 제조방법은 경화성 수지인 격벽수지를 금형에 주입한 후 경화시켜 접합수지에 의해 기판에 일체화시킴으로써 고정세 격벽을 형성하기에 적합하게 되고 재료의 낭비와 소요시간을 최소화할 수 있게 된다. 본 발명에 따른 PALC의 상/하부 기판 접합방법은 자외선 경화수지를 이용하여 상/하기판을 일체화시킴으로써 저온공정에 의해 상/하부 기판이 일체화되어 격벽 및 유전체 그라스 박막의 변형(열팽창, 뒤틀림 등)을 방지할 수 있게 된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 PALC의 플라즈마셀 제조방법은 전기 도금법에 의해 정밀한 미세 전극형성이 가능하고 경화성수지를 이용한 금형법에 의해 고정세의 격벽 형성이 용이하게 됨과 아울러 저온 공정으로 상/하부 기판을 접합함으로써 공정변수의 제어가 쉽고 제조비용과 소요시간이 절감된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (13)

  1. 전기도금에 의해 전극물질의 성장을 유도하는 시드층을 기판 위에 형성시키는 단계와,
    감광성수지패턴을 상기 시드층 위에 형성하는 단계와,
    상기 전기도금에 의해 상기 시드층 위에 전극을 형성하는 단계와,
    상기 감광성수지패턴을 제거하는 단계와,
    부분적으로 전극부 이외의 상기 시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 시드층과 상기 기판의 접합을 위한 밀착력향상층을 상기 기판에 형성시키는 단계와,
    상기 전극이 형성된 후, 제거된 시드층 하부에 노출된 상기 밀착력향상층을 부분적으로 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 밀착력향상층은 Cr과 Ti, Ta 및 기타 적절한 금속이나 금속합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 시드층은 Ni, Cu, Cu와 Ni의 복합층, Cu와 Ti의 복합층 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극은 Ni과 Ni 합금 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 전극 제조방법.
  6. 격벽 형상의 홈이 형성된 금형을 마련하는 단계와,
    상기 홈에 격벽용 경화성수지를 주입하는 단계와,
    상기 격벽용 경화성수지를 경화시키는 단계와,
    접합용 경화성수지를 상기 금형과 상기 격벽용 경화성수지에 도포하는 단계와,
    기판을 상기 접합용 경화성수지에 부착하는 단계와,
    상기 접합용 경화성수지를 경화시키는 단계와,
    상기 금형을 분리하는 단계와,
    상기 접합용 경화성수지를 부분적으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 격벽용 경화성수지가 상기 홈에 주입되기 전에 상기 금형과 상기 격벽용 경화성수지를 분리시킴과 아울러 상기 금형과 상기 접합용 경화성수지를 분리시키기 위한 이형재가 상기 홈 및 상기 금형에 도포되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 격벽용 경화성수지와 상기 접합용 경화성수지는 서로 다른 용해조건을 가지는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 격벽용 경화성수지는 열경화성수지, 열가소성수지 및 자외선 경화수지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 접합용 경화성수지는 열경화성수지, 열가소성수지 및 자외선 경화수지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 접합용 경화성수지는 자신에게 광이 조사되면 제거되도록 감광성을 지니는 재료인 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 격벽 제조방법.
  12. 격벽이 형성된 하부기판을 마련하는 단계와,
    상기 격벽에 자외선 경화수지를 도포하는 단계와,
    유전체 글라스판을 상기 자외선 경화수지에 부착하는 단계와,
    상기 자외선 경화수지에 자외선을 조사하여 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 상/하부 기판 접합방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 자외선 경화수지를 도포하는 단계는 기판 상에 스핀코팅에 의해 상기 자외선 경화수지를 도포하는 단계와,
    상기 격벽에 상기 자외선 경화수지를 접촉시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 액정 표시장치의 상/하부 기판 접합방법.
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KR100881492B1 (ko) * 2006-10-31 2009-02-05 아이씨에프 테크놀로지 리미티드 박막패턴층을 갖춘 기판 구조 및 그 제조방법

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