DE19533952A1

DE19533952A1 - Abstandshalter für großflächige Anzeigen

Info

Publication number: DE19533952A1
Application number: DE19533952A
Authority: DE
Inventors: David A Cathey; James J Hofmann; Danny Dynka; Darryl M Stansbury
Original assignee: Micron Display Technology Inc
Current assignee: Micron Technology Inc
Priority date: 1994-11-18
Filing date: 1995-09-13
Publication date: 1996-05-23
Also published as: US5486126A; US5795206A; JPH08146886A; SG34273A1; US6361391B2; US20010012744A1; FR2727241B1; TW396288B; FR2727241A1; US6183329B1; JP3042671B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf Flachbildschirm-Anzeigevor richtungen und insbesondere auf Verfahren zum Erzeugen der Abstandhalterstrukturen, die für eine Abstützung gegen den Atmosphärendruck auf der Flachbildschirmanzeige sorgen kön nen, ohne die Auflösung des Bildes zu beeinträchtigen.

Bei Flachbildschirmanzeigen vom Feldemissionskathodentyp ist es wichtig, daß ein evakuierter Hohlraum zwischen einer Elektronen emittierenden Kathoden-Oberfläche und der ihr entsprechenden Anodenanzeigefläche (auch als Anode, Katho denleuchtschirm, Anzeigeschirm, Frontplatte oder Anzeige elektrode bezeichnet) aufrechterhalten wird.

Es besteht eine relativ hohe Spannungsdifferenz (zum Bei spiel im allgemeinen über 300 Volt) zwischen der Kathoden emissionsoberfläche (auch als die Basiselektrode, Basis platte, Emitteroberfläche, Kathodenoberfläche bezeichnet) und dem Anzeigeschirm. Es ist wichtig, daß ein katastropha ler elektrischer Durchschlag zwischen der die Elektronen emittierenden Oberfläche und der Anodenanzeige verhindert wird. Gleichzeitig ist der enge Abstand zwischen den Plat ten notwendig, um den gewünschten dünnen Aufbau beizubehal ten und um eine hohe Bildauflösung zu erzielen.

Die Beabstandung muß auch gleichförmig sein sowohl wegen einer konsistenten Bildauflösung und Helligkeit als auch zur Verhinderung einer Anzeigeverzerrung etc. Eine un gleichförmige Beabstandung kann bei einer Feldemissions kathode mit Matrix-adressierter Flachvakuumanzeige sehr viel leichter auftreten als bei einigen anderen Anzeigebau arten, und zwar wegen der hohen Druckdifferenz, die zwi schen dem äußeren Atmosphärendruck und dem Druck innerhalb der evakuierten Kammer zwischen der Basisplatte und der Frontplatte auftritt. Der Druck in der evakuierten Kammer ist üblicherweise geringer als 10^-6 Torr.

Kleinflächige Anzeigen (zum Beispiel solche mit einer Dia gonale von ungefähr 25 mm) erfordern keine Abstandshalter, da Glas mit einer Dicke von ungefähr 1 mm die atmosphäri sche Belastung ohne eine nennenswerte Durchbiegung aushal ten kann, doch werden mit zunehmender Anzeigefläche Ab standshalterabstützungen wichtiger. So wirkt zum Beispiel auf einen Schirm mit einem Diagonalmaß von 75 cm eine atmo sphärische Kraft von mehreren Tonnen. Aufgrund dieses enor men Druckes spielen Abstandshalter eine wesentliche Rolle im Aufbau großflächiger, leichter Anzeigen.

Abstandshalter werden zwischen die Anzeige-Frontplatte und die Basisplatte eingebaut, auf welcher die Emitterspitzen hergestellt werden. Die Abstandshalter bewirken zusammen mit dünnen, leichten Substraten eine Abstützung des Atmo sphärendrucks, wodurch die Anzeigefläche bei geringfügiger oder ohne eine Erhöhung der Substratdicke erhöht werden kann.

Abstandshalterstrukturen müssen mit gewissen Parametern einhergehen. Die Abstützungen müssen 1) ausreichend nicht leitend sein, um einen katastrophalen elektrischen Durch schlag zwischen der Kathodenanordnung und der Anode trotz des relativ kleinen Zwischenelektrodenabstands (der etwa 200 µm sein kann) und der relativ hohen Zwischenelektroden- Spannungsdifferenz (die etwa 300 oder mehr Volt sein kann), zu verhindern; 2) eine derartige mechanische Festigkeit aufweisen, daß sie einen Zusammenbruch der Flachbildschir anzeige unter dem Atmosphärendruck verhindern; 3) Stabili tät unter Elektronenbeschuß aufweisen, da Elektronen bei jedem der Pixel erzeugt werden; 4) Brenntemperaturen von etwa 400°C aushalten können, die zur Erzeugung des Hochva kuums zwischen der Frontplatte und der Rückplatte der An zeige notwendig sind; und 5) eine ausreichend kleine Breite haben, damit sie keine sichtbare Auswirkung auf den Anzei gebetrieb haben.

Bei den derzeitigen Abstandshaltern und Verfahren treten verschiedene Nachteile auf. Verfahren, unter Anwendung von Siebdruck, Schablonendruck oder Glaskugeln sind nicht in der Lage, einen Abstandshalter mit einem ausreichend großen Seitenverhältnis (Höhe/Breite) bereitzustellen. Die mit diesen Verfahren gebildeten Abstandshalter sind entweder zu kurz, um die hohen Spannungen zu ertragen, oder zu breit, um eine Auswirkung auf das Anzeigebild zu vermeiden.

Reaktives Ionenätzen (R.I.E.) und Plasmaätzen aufgetragener Materialien haben den Nachteil eines langsamen Durchsatzes (d. h. Zeitdauer der Herstellung), langsamer Ätzraten und einer Verschlechterung der Ätzmaske. Lithographisch festge legte, photoaktive organische Verbindungen führen zur Aus bildung von Abstandshaltern, die mit den Bedingungen des Hochvakuums oder den hohen Temperaturen nicht kompatibel sind, welche üblicherweise bei der Herstellung von Feldemissions-Flachbildschirmanzeigen auftreten.

Ein Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist ein Ver fahren zur Ausbildung von Abstandshaltern, die in großflä chigen Anzeigen nützlich sind. Das Verfahren weist die fol gende Schritte auf: Bilden von Bündeln, die Faserlitzen aufweisen, welche durch ein Bindemittel zusammengehalten werden; scheibenförmiges Schneiden der Bündel in Scheiben; zum Haften bringen der Scheiben an einer Elektrodenplatte der Anzeige; und Entfernen des Bindemittels.

Ein weiterer Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von Mikrosäulen, welches die folgenden Schritte aufweist: Bilden eines Bündels aus Glas fasern, welche mit einem Bindemittel zusammengehalten wer den und scheibenförmiges Schneiden der Bündel aus Glasfa sern. Die Glasfasern haben Enden, die poliert werden, wo raufhin das Bindemittel in der Nähe der Enden der Glasfa sern zurückgeätzt wird. Die Scheiben werden auf eine Platte gelegt, die für eine Abstützung gegen den Atmosphärendruck in einer Flachbildschirmanzeige sorgt. Das Bindemittel wird daraufhin entfernt, wodurch Mikrosäulen erzeugt werden.

Ein weiterer Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen von Stützstrukturen mit einem großen Seitenverhältnis (Höhe/Breite), welches die folgen den Schritte aufweist: Aufdrucken eines Klebstoffes auf eine Elektrodenplatte einer Vakuumanzeige; Anbringen von Scheiben auf den Klebstoff, wobei die Scheiben Fasern auf weisen, woraufhin einige der Fasern als eine physikalische Abstützung in einem evakuierten Anzeigehohlraum verwendet werden.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Be schreibung nicht einschränkend aufzufassender Ausführungs beispiele anhand der beigefügten Zeichnung.

Es zeigt:

Fig. 1 einen schematischen Querschnitt eines repräsenta tiven Pixels einer Feldemissionsanzeige, die eine Front platte mit einem Phosphorschirm aufweist, der mit einer Ba sisplatte vakuumdicht versiegelt ist, die mittels der gemäß dem Verfahren der vorliegenden Erfindung gebildeten Ab standshalter abgestützt wird;

Fig. 2A einen schematischen Querschnitt eines Faserbündels, das gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wird;

Fig. 2b einen schematischen Querschnitt einer Scheibe des Faserbündels von Fig. 2 entlang der Linien 2-2, welches ge mäß dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wird;

Fig. 3 einen vergrößerten schematischen Querschnitt der Scheibe des Faserbündels von Fig. 2A, das gemäß dem Verfah ren der vorliegenden Erfindung hergestellt wird;

Fig. 4 einen schematischen Querschnitt der Elektrodenplatte einer Flachbildschirmanzeige, wobei die Scheiben von Fig. 3 dicht darauf angeordnet sind;

Fig. 5 einen schematischen Querschnitt einer Elektroden platte einer Flachbildschirmanzeige, wobei die Scheiben von Fig. 3 darauf angeordnet sind; und

Fig. 6 einen schematischen Querschnitt einer Abstandshal ter Stützstruktur, die gemäß dem erfindungsgemäßen Verfah ren hergestellt wird.

In Fig. 1 ist eine repräsentative Feldemissionsanzeige, mit einem Anzeigesegment 22 dargestellt. Jedes Anzeigesegment 22 kann ein Informationspixel oder einen Abschnitt eines Pixels anzeigen, wie zum Beispiel einen grünen Punkt eines Rot/Grün/Blau-Vollfarben-Triadenpixels.

Vorzugsweise dient eine Siliciumschicht als Emissionsort auf dem Glassubstrat 11. Alternativ liegt auf der Oberflä che eines Substrats ein anderes Material vor, welches den elektrischen Strom leiten kann, um den Emissionsort 13 zu bilden.

Der Feldemissionsort 13 wurde auf dem Substrat 11 aufge baut. Der Emissionsort 13 ist eine Erhebung, die eine Viel zahl von Formen, wie zum Beispiel eine pyramidale, konische oder anderer Geometrie haben kann, die einen feinen Mikro punkt für die Emission von Elektronen hat. Die Mikrokathode 13 wird von einer Gitterstruktur 15 umgeben. Wenn durch die Quelle 20 eine Spannungsdifferenz zwischen der Kathode 13 und dem Gitter 15 angelegt wird, wird ein Strom Elektronen 17 zu einem phosphorbeschichteten Schirm 16 hin emittiert. Der Schirm 16 ist eine Anode.

Der Elektronenemissionsort 13 ist mit dem Substrat 11 ein stückig und dient als eine Kathode. Das Gate 15 dient als eine Gitterstruktur zum Anlegen eines elektrischen Feldpo tentials an seine jeweilige Kathode 13.

Eine dielektrische Isolationsschicht 14 ist auf der leitfä higen Kathode 13 aufgetragen, wobei die Kathode 13 aus dem Substrat oder aus einem oder mehreren aufgetragenen leitfä higen Filmen gebildet sein kann, wie zum Beispiel einer amorphen Chrom-Silicium-Doppelschicht. Der Isolator 14 hat auch eine Öffnung an der Stelle des Feldemissionsortes.

Zwischen der Frontplatte 16 und der Basisplatte 21 angeord net befinden sich Abstandshalter-Stützstrukturen 18, deren Aufgabe es ist, den Atmosphärendruck abzustützen, der an der Elektroden-Frontplatte 16 und der Basisplatte 21 auf grund des Vakuums anliegt, das zwischen der Basisplatte 21 und der Frontplatte 16 erzeugt wird, damit die Emitterorte 13 richtig arbeiten können.

Die Basisplatte 21 der Erfindung umfaßt eine Matrix-adres sierbare Anordnung von Kaltkathoden-Emissionsorten 13, das Substrat 11, auf dem die Emissionsorte 13 erzeugt werden, die Isolationsschicht 14 und das Anodengitter 15.

Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zum Herstel len von Stützstrukturen mit einem großen Seitenverhältnis (Höhe/Breite) bereit, welche die Funktion von Abstandshal tern 18 haben. Kurz gesagt, beruht das Verfahren der vor liegenden Erfindung auf Fasern. Von einer Rohfaser zu einem zusammengebauten Abstandshalter 18 sind es zahlreiche Ver fahrensschritte.

In einem Ausführungsbeispiel werden Glasfasern mit einem Durchmesser von 25 µm mit organischen Fasern 27, wie zum Beispiel Nylon oder PMMA, vermischt und ein Bündel 28 ge bildet, wie in Fig. 2A, 2B und 3 gezeigt. Die PMMA-Fasern 27 tragen dazu bei, einen im wesentlichen gleichförmigen Abstand zwischen den Glasfasern 18 aufrechtzuerhalten.

Bei einem anderen Ausführungsbeispiel wird ein entfernbares Zwischenfaser-Bindemittel (nicht gezeigt), wie zum Beispiel ein in Aceton lösbares Wachs, hinzugefügt, um die Fasern 18 zusammenzuhalten. In diesem Ausführungsbeispiel der vorlie genden Erfindung wird das Faserbündel 28 mit einer auflös baren Matrix ausgebildet. Einige, nicht als Einschränkung aufzufassende Beispiele auflösbarer Matrizen sind zum Bei spiel:

a. Acryloid-Acryl-Kunststoffharz in einem Aceton/Toluol- Lösungsmittel;
b. Zein^TM-Maisprotein in einem Lösungsmittel auf IPA/Wasser-Basis, welches als Beschichtungsmittel für Le bensmittel und Medikamente bekannt ist;
c. Acryloid/Zein^TM, das ein Zweischichtensystem ist;
d. Polyvinylalkohol-(PVA)-Lack in Wasser;
e. Polyvinylalkohol-(PVA) mit Ammoniumdichromat (ADC) in Wasser; und
f. ein Wachs, wie zum Beispiel von Kindt-Collins-Corp. hergestellt.

Ein wichtiger Punkt in Bezug auf Abstandshalter 18 in Feldemissionsanzeigen ist die Möglichkeit, daß Streuelek tronen mit der Zeit die Oberfläche einer rein isolierenden Abstandshalteroberfläche 18 aufladen, was dann schließlich zu einer heftigen Bogenentladung führt, die eine Zerstörung des Bildschirms bewirkt.

Da das Verfahren der vorliegenden Erfindung auf Fasern 18 beruht, eignet es sich daher für die vorteilhafte Verwen dung beschichteter Fasern (nicht gezeigt) oder von Fasern mit einer behandelten Oberfläche vor dem Bündeln. Es wird eine vorübergehende Beschichtung verwendet, so daß die ent fernbare Beschichtung, die für den Abstand zwischen den Fa sern 18 sorgt, auf einzelne Fasern vor den Bündeln oder gleichzeitig auf mehrere Fasern 18 in einem Bündel 28 oder in enger Nachbarschaft zueinander aufgetragen werden kann. Der Abstand zwischen den das Bündel 28 bildenden Fasern 18 wird durch die Verwendung einer entfernbaren Beschichtung erzielt.

Die Fasern 18 können auch eine permanente Beschichtung auf weisen, um für einen sehr hohen spezifischen Widerstand an der Oberfläche zu sorgen, sind jedoch keine reinen Isolato ren, so daß die beschichteten Fasern 18 eine geringe Ablei tung von Strom über die Zeit hinweg ermöglichen, wodurch ein destruktiver Bogenüberschlag verhindert wird. Hochresi stives Silicium ist ein Beispiel einer dünnen Beschichtung, die auf der Faser 18 nützlich ist.

In einem anderen alternativen Ausführungsbeispiel werden die Glasfasern 18 und die in Aceton löslichen PMMA-Fasern 27 zusammen in einem gemischten Faserbündel 28 verwendet. Die PMMA-Fasern 27 sorgen für eine physikalische Trennung zwischen den Glasfasern 18 und können nach Anbringen der Faserbündel-Scheiben 29 auf der Anzeigeplatte 16, 21 aufge löst werden.

Eine Feldemissionsanzeige (FED) mit einer Fläche von 15 mm × 20 mm und einem breiten äußeren Rand von ca. 12 mm zwi schen der aktiven Sichtfläche und der ersten Kante muß einen an ihr anliegenden kompressiven Atmosphärendruck von etwa 410 kg (910 lbs) abstützen. Es ist auch eine Bemerkung wert, daß bei einer einzelnen Quarzsäule mit 25 µm Durch messer und 200 µm Höhe die Knicklast 0,0027 kg (0,006 lb) ist.

Sieht man vom Biegewiderstand der Glasfrontplatte 16 ab, würde die Anzeige 151.900 Säulen 18 der Größe 25 µm × 200 µm erfordern, um ein Erreichen des Knickpunktes zu verhin dern. Bei ca. 1 Million Linienschnittpunkten einer schwar zen Matrix 25 auf einer VGA-Farbanzeige ist die statisti sche Fähigkeit, diese Anzahl von Fasern 18 zum Haften zu bringen, bei der Bereitstellung eines herstellbaren Verfah rensfensters nützlich.

Das gemischte Faserbündel 28 von Fig. 2A wird dann schei benförmig zu dünnen Plättchen 29 geschnitten, wie in Fig. 2B und 3 gezeigt. Die miteinander verbundenen Fasern 28 werden auf etwa die gewünschte Dicke scheibenförmig ge schnitten, die ungefähr 0,2 bis 0,3 mm beträgt. Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung verwendet man eine Säge, um das Faserbündel 28 in Plättchen oder Scheiben 29 scheiben förmig zu schneiden.

Klebstoffpunkte 26 werden an den Orten aufgetragen, bei denen die Abstandshalter 18 angebracht werden. Die bevor zugten Flächen, an denen die Klebstoffpunkte 26 angebracht werden, sind in den Bereichen 25 der schwarzen Matrix.

Man verwendet ein Siebdrucksystem, um die vorbestimmten Haftorte 26 an tausenden von Stellen auf der Anzeigeplatte 16, 21 zu erzeugen. Alternativ können die Haftorte 26 li thographisch festgelegt oder mit einem XY-Zufuhrsystem ge bildet werden. Fig. 4 veranschaulicht eine Anzeigeplatte 16, 21, auf der Haftorte 26 angebracht sind, die sich in den Bereichen 25 der schwarzen Matrix befinden. Die Berei che 25 der schwarzen Matrix sind diejenigen Bereiche, bei denen kein Emitter 13 oder Phosphorpunkt vorliegt. An die sen Orten 25 verzerren die Stützsäulen 18 das Anzeigebild nicht.

Dupont Vacrel ist ein Beispiel eines Trockenfilms, der für ein Glassubstrat ausgelegt werden kann und in einem Muster mit Wellenlängen bei ungefähr 400 nm bestrahlt wird, um in einer 1%igen K₂CO₃-Lösung entwickelt zu werden. Dieses Ver fahren führt zu einer Schablone, die zur Festlegung der Klebstoffpunkte 26 verwendet werden kann. Nach dem Entfer nen überschüssigen Klebstoffes wird der Film abgeschält. Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß es mit einer Projek tor/Ausrichtgerät-Genauigkeit ausrichtbar ist.

Zwei Materialien, die zur Ausbildung der Haftorte verwendet werden können, sind: 1) Zweikomponenten-Epoxidharze, die von Raumtemperatur bis ungefähr 200°C thermisch ausgehärtet werden. Die Epoxidharze sind über kurze Zeit hinweg zwi schen 300°C und 400°C thermisch stabil, einige von ihnen können sogar in dem Bereich von 500°C bis 540°C verwendet werden; und 2) ein Zement, der aus Siliciumoxid, Alumini umoxid und einem Phosphat-Bindemittel besteht. Dieses Mate rial weist eine zufriedenstellende Haftung an Glas auf und heilt bei Raumtemperatur aus.

Die Scheiben 29 werden allesamt um die Anzeigeplatte 16, 21 angeordnet, doch werden die Mikrosäulen 18 nur an den Orten der Haftpunkte 26 gebildet. Die Fasern 18, welche die Haft punkte 26 berühren, bleiben auf der Platte 16, 21, und der verbleibende Teil der Fasern 18 wird durch anschließende Verfahrensschritte entfernt.

Es gibt sehr viel mehr Haftpunkte 26 als die endgültige An zahl von Mikrosäulen 18, die für die Anzeige erforderlich ist. Daher erfordert die Plazierung der Scheiben 29 auf der Platte 16, 21 kein hohes Ausmaß an Plazierungsgenauigkeit. Die Anzahl und die Fläche der Punkte 26 und die Faserdichte 18 in den Scheiben werden so ausgewählt, daß eine vernünf tige Ausbeute haftender Mikrosäulen 18 erzeugt wird. Eine Faser 18 bildet mit der Anzeigeplatte 16, 21 nur dann eine Verbindung, wenn die Faser 18 über einem Haftpunkt 26 zu liegen kommt, wie in Fig. 6 veranschaulicht.

Fig. 5 zeigt die Art und Weise, mit der man die Scheiben 29 im Kontakt mit den vorbestimmten Haftorten 26 auf dem Be reich 25 der schwarzen Matrix auf der Frontplatte 16 oder an einer entsprechenden Stelle auf der schwarzen Matrix entlang der Basisplatte 21 plaziert.

An dieser Stelle kann eine Planarisierung durchgeführt wer den. Je nachdem, wie gut die vorhergehenden Schritte durch geführt worden sind, haben alle Fasern 18 entweder die richtige Höhe oder sind geringfügig uneben. Ein leichtes Polieren mit Papier einer Körnung von 500-600 planarisiert die gebundenen Matten 29, ohne daß es zu einem Bruch oder einem Haftungsverlust kommt.

Die Anzeigeplatte 16, 21 mit den darauf angeordneten Schei ben 29 (Fig. 4) kann an einer Oberfläche 21 festgeklemmt oder gegen sie gedrückt werden, um die Haftung und die senkrechte Ausrichtung der Fasern 18 zu der Platte 16, 21 zu erhöhen. Wenn die Glasfaser 18 vorübergehend haftet, werden die organischen Fasern 27 und das Zwischenfaser-Bin demittelmaterial chemisch entfernt.

Die in Fig. 2B und 3 dargestellten und auf einer Anzeige platte 16, 21 angeordneten Scheiben 29, wie in Fig. 5 ge zeigt, werden dann kurzzeitig einem organischen Lösungsmit tel oder einem anderen chemischen Ätzmittel ausgesetzt, welches selektiv auf die Glasfasern 18 wirkt.

Typ K-Befestigungswachs von Kindt-Collins ist ein nützli ches Bindemittel in einem Faserbündel 28, um die Fasern 18 in ihren relativen Positionen während des Schneidens zu Scheiben und der darauffolgenden Anordnung auf einer Anzei geplatte 16, 21 zu halten. Man verwendet Hexan, um das Typ K-Befestigungswachs von Kindt-Collins aufzulösen, nachdem die Scheiben 29 auf der Anzeigeplatte 16, 21 angeordnet worden sind. Hexan kann auch verwendet werden, um das Wachs bis auf eine Höhe unterhalb der Enden der Glasfasern 18 in der Scheibe 29 zurückzubilden, bevor die Scheibe 29 auf der Anzeigeplatte 16, 21 angebracht wird, um eine rückstands freiere und gewissere Haftung der Fasern 18 an der Anzeige platte 16, 21 zu unterstützen.

Dann werden die Glasfasern 18, die keinen Haftort 26 berüh ren, ebenfalls physikalisch in eine neue Position gebracht, wenn das Bindemittel zwischen den Glasfasern 18 aufgelöst wird, wodurch eine Verteilung von Mikrosäulen 18 mit einem hohen Seitenverhältnis (Höhe/Breite) übrig bleibt. Dies führt zu Glasfasern 18 an vorbestimmten Stellen, die von der Anzeigeplatte 16, 21 hervorstehen, wie in Fig. 6 ge zeigt. Vorzugsweise sind die Abstandshalter 18 im wesentli chen senkrecht zu der Oberfläche der Anzeigeplatte 16, 21 angeordnet.

Die erfinderische Verwendung der Bündelscheiben 29 ist eine entscheidende Hilfe zur Erzielung einer im wesentlichen senkrechten Plazierung der Abstandshalter 18.

Obwohl das beschriebene und in Einzelheiten offenbarte spe zielle Verfahren alle zuvor erwähnten Zwecke und Vorteile erzielen kann, soll es jedoch nur zur Veranschaulichung der zur Zeit bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung dienen, und es ist keinerlei Beschränkung auf die beschrie benen Einzelheiten des Aufbaus oder der Gestaltung beab sichtigt.

Ein Durchschnittsfachmann erkennt, daß, obwohl eine Feldemissionsanzeige als veranschaulichendes Beispiel ver wendet wurde, das Verfahren bei anderen Vakuumanzeigen (wie zum Beispiel Flachbildschirmanzeigen) und anderen Vorrich tungen, welche physikalische Abstützungen in einem evaku ierten Hohlraum benötigen, ebenfalls verwendet werden kann.

Claims

1. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern für insbeson dere großflächige Anzeigevorrichtungen, mit den Schritten:
Bilden von Bündeln aus Fasersträngen, die mit einem Binde mittel zusammengehalten werden;
Schneiden der Bündel in Scheiben;
Anordnen der Scheiben auf einer Platte der Anzeigevorrich tung; und
Entfernen des Bindemittels.

2. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 1, bei dem das Bindemittel zumindest einen der folgenden Stoffe aufweist: Acryloid-Acryl-Kunststoffharz in einem Aceton/Toluol-Lösungsmittel, Zein^TM, Maisprotein in einem Lösungsmittel auf IPA/Wasser-Basis, Acryloid/Zein^TM, Poly vinylalkohol-(PVA)-Lack in Wasser, Polyvinylalkohol (PVA) mit Ammoniumdichromat (ADC) in Wasser sowie ein Wachs.

3. Verfahren zum Herstellen von Stützstrukturen mit einem großen Seitenverhältnis (Höhe/Breite), welches die folgen den Schritte aufweist:
Auftragen von Klebstoff auf eine Elektrodenplatte einer Va kuumanzeige;
Anordnen von Scheiben auf dem Klebstoff, wobei die Scheiben Fasern und Bindemittel enthalten; und
Entfernen des Bindemittels, wodurch die Fasern freigelegt werden.

4. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern für Vakuum- Anzeigevorrichtungen, welches die folgenden Schritte auf weist:
Bilden von Bündeln aus Fasern;
Schneiden der Bündel in Scheiben;
Anordnen der Scheiben auf einer Platte der Anzeige derart, daß die Fasern der Scheiben als Abstandshalter dienen.

5. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 4, bei dem jede der Fasern eine Länge hat, die zumindest fünfmal größer als die Breite ist.

6. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 5, bei dem die Dicke der Fasern weniger als 50 µm ist.

7. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 5, bei dem die Länge der Fasern größer als 0,1 mm ist.

8. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 4, bei dem die Fasern aus Glas und/oder PMMA bestehen.

9. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 4, bei dem die Fasern einen Überzug haben, wobei der Über zug zum Aufrechterhalten eines im wesentlichen gleichförmi gen Abstandes zwischen den Fasern und zur Durchführung ei ner elektrischen Entladung über die Zeit hinweg nützlich ist.

10. Verfahren zum Bilden von Abstandshaltern nach Anspruch 4, bei dem das Bündel eine Querschnittsabmessung im wesent lichen im Bereich 5-50 mm hat.