TW317656B - - Google Patents

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Description

經濟部中央棣準局負工消費合作社印裝 A7 ?176S6_—JI- 五、發明説明（i ) 本發明係η於一種使用處理滾鼸來處理晶鬭形物件（ 特別矽晶圔〉之裝置*該裝置具有晶圓形物件旋轉式安裝 於室内，且具有至少一值將處理滾體施用至晶國形物件之 嗔嘴。 供固定晶國形物件（特別矽晶囫>之用*已知有各棰裝 置。 除了根據伯奴利（Bernoulli}原理操作的矽晶圖車架（ 例如參見 EP 0 316 296 A 及 EP 0 444 714 A)外，由 DE 42 32 902 A1已知一種牖平_形晶園形基材的蓮輪裝置， 其為彈性扣指且位在蓮輪舌拉張件平面上。但DE 42 32 902 A1之装置僅用於真空處理單元蓮送圚形晶鬭形物件。 一種具有S合矽晶鬭外周邊的扣件之半導釅晶圔車架 由US 5 168 886 A己知。使用此棰車架也可使半導鼸晶國 旋轉。總而言之，US 5 168 886 A之車架永逮僅能使半導 體晶圔之一槲接近處理過程。 本發明之目的為設計一棰前述類型装置而晶圓形物件 的兩侧皆可接受處理過程者。 根據本發明，此棰目的可藉下述方法連成，经由将具 有一傾環以樞轉式安置於裝置内的晶顯形物件瓌繞一根轅 ，利用環上的多根扣指扣住晶圓形物件外周邊，扣住晶國 形外周邊之扣指末端距離環平面有一定距離。 本發明裝置中，不僅晶圆形物件（矽晶國）兩铒可接受 處理缉程，又其優點爲晶鬮形物件位在樞轉式安裝且旋轉 式驅動琢的一段軸向距離，由晶國形物件滾出的處理滾醱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先Κ讀背面之注意事項再填寫本頁) "
、1T Λ L Λ £
7 7 A B 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（2 ) 不會接觸旋轉環及其軸承，因此旋轉環及其軸承不會受到 處理流體的不良影w，例如侵蝕。 本發明裝置之優異且較佳具髏例包括申請專利範圍附 屬項之主旨。 本發明裝置之其他細節及特點及優點由下文本發明具 體例之說明並參照附圖將顯然自明，附圖中範例性具體例 儘可能以示意型顯示。 第1圖Μ示意形式及軸向剖面顯示處理晶圖形物件之 裝置之第一具體例。 第2圖Μ示意形式及橫剖面顯示處理晶圓形物件之裝 .置之第二具體例。 第3圖放大顯示扣指之具髏例。 第4圖顯示旋轉中扣指之具體例。 第5圖顯示旋轉扣指之具體例。 第5a圖顯示第5圖具體例之頂視圖。 第6圖顯示具有機械互鎖之扣指之具體例，及 第7圖顯示具有機械互鎖之扣指之具體例。 室1中，環3樞轉式安装於軸承2。環3可藉傳動軸 (M傳動輥3’表示)齧合環3高速旋轉。如第1圖舉例所示 ，室1可關閉，其中閉合件例如襟Μ 16’可設於抽取槽16 或各個抽取槽16 (若有抽取槽16〉。 環3内緣有數個（至少三個，但可高逹十二痼）扣指4 於所示具體例中係由環3向下突起。扣指4之自由端5夾 角且吡鄰晶圓形物件7之外緣8。 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----------ί"-- --* (請先地讀背面之注意事項再填寫本頁)
、tT 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 A7 _ B7__ 五、發明説明（3 ) 雖然非必要，但可設置成扣指4係Μ揮簧揮性方式ft 鄭晶國形物件7之外周邊8。因此理由故，扣指4可製成 至少部分揮簧揮性。但也可將扣指4旋轉式安装於環3上 (各健扣指的轉轅位在瓖3平面的平行平面且位在環3的 切線方向 >，扣指4利用一镲或數值》簧（後述例中，對各 傾扣指設有一個彈簧）固定在吡鄰晶鼷形物件7之外周邊 8的位置。另外或此外，可提供措施來固定扣指4於吡鄰 晶園形物件7之外周邊8的位置Μ便不會因離心力而移動 至外側。扣指4之範例性具讎例示於第3至7國。 第1圏示意顯環3之扣指4也可向上指，因此晶圔形 .物件7固定於環3上方。 雖然基本上僅有一值施用處理滾膿（拽刻酸及/或沖 ~洗矽晶國的洗液 > 的《嘴，但所示範例性具體例中有兩傾 嗔«10及11，其中各自設於晶國形物件7之一傾主面9。 了解由於構成吊藍之環3及扣指4之特殊形式，故晶 圈形物件7之兩大主面9包括頂面及底面可自由使用處理 液處理。 較佳具讎例中，噴嘴10, 11 <如第1圃之雙箭頭12指 示）可相對於晶鼷形物件7調整。調整性可經由将嗔嘴10 及11安裝成（未顯示出〉Μ—根鼬為軸旋轉而達成，該軸平 行吊藍（琢3及扣指4>的轉轅13,但有一段钜離。此外或 另外，也可安装成可調整哦嘴10及11，因此可治晶鼸形物 件7之直徑移動。 又由第1鼷了解，溢出晶鼷形物件的處理滾儺可被捕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部t央橾準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（4 ) 捉於室1内而不會對環3及其支架2產生不良影蜜，並可 經由放流管14由室1中拋索。 扣指4之畜由端5)較佳彼此互不相干，可放置牴住晶 .、. y 圓形物件7之外周邊8 (俥使平衡偏離正圓形的晶圓形物 件的周邊輪廓），除了夾角端5，也可為例如V形内隙， 晶圖形物件7之緣8嵌合入該V形内隙。本具體例也適合 由環3向上指的扣指4。 第2圖所示本發明裝置之具體例中，欲處理晶圓形物 件，環3利用複曲面内襯20沿徑向方向保護至内側，因此 旋轉的處理流體不會到達環3及軸承2內的環支架。 内襯20之下自由端21位在接受處理的物件上方，但位 在抽取槽16下方，經由抽取槽可將沿箭頭15方向供應的空 氣或気氣再度抽出。 第3圖所示之具體例中，至少三根搭接於環3的扣指 4相對於軸13斜向放置，因此由頂至底彼此重叠。各具體 例（第1，2，3，6及7圖）之指4本身製成有彈性，因 此當晶圓形物件7例如使用操縱機插入時，可於箭頭25方 向沿徑向彎曲至外侧，然後於其彈力影堪下向上牴住晶圓 形物件7之外緣。欲將晶圓形物件牢固放置於扣指4之自 由端，扣指4之自由端有個V形内隙26, V形内隙開口向 固定晶圓形物件7外緣的内側。當使用操縱機來移動晶圓 形物件時，操縱機一旦齧合晶圖形物件，則將指4沿徑向 方向彎曲至外側，因此釋放晶圄形物件。 第4圖所示之具體例中，扣指4旋轉式安裝環繞軸承 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7 (請先閱讀背面'之注意事項再填寫本頁) ^.
、1T 經濟部中央樣準局員工消費合作社印11 A7 B7 _ 五、發明説明（5 ) 27，軸承27例如設於内襯20上或設於環3之延長件上，因 此利用彈性元件28 (例如螺絲彈簧等接在環3上或接在環 3的部件）載於軸承27上方，如此，扣指之具有V形内隙 26之自由端沿徑向方向旋轉至内钿。當晶圓形物件7插入 吊藍内時，扣指4 Μ其軸承27為軸旋轉，而扣指自由端於 箭頭25方向移動至外側，因此晶圓形物件被扣指4的拉張 彈簧28之作用力牢固固定。 第5及5a圖所示之具體例中，扣指4 Μ軸30為軸旋轉 或安裝，軸30較佳平行環3的轉軸13，扣指4安装於毗鄰 環3的套茼33内。扣指4的下端載有臂31，臂31具有自由 端32而自由端有V形内隙26，晶圓形物件7的外緣可嵌合 入V形内隙。欲於雙箭頭35方向以軸30爲軸旋轉扣指4之 臂31，扣指4位在蓋20提供的空間內之末端有聯桿34,聯 桿34連接扣指4，且設有一個例如全部扣指共用的傳動装 置。第5a圖再次Μ頂視圖顯示第5圖之扣指4如何形成， 且又顯示各扣指4之共用引動器。 第6圖所示扣指4具體例中，於扣指4之自由端區有 做成勾形之下方滾軸42，例如可Μ軸40爲軸旋轉且當装置 操作時，亦即，當環3轉動時可由頂上牴住位在支撐指 (銷）43之晶圖形物件7。當環3轉動時，下方滾軸42被砝 碼41向下壓，砝碼利用槓桿臂44剛性接合牴住晶圓形物件 7頂部9，因此晶圓形物件7被擠壓於銷43與下方滾軸42 間。 第7圖所示具體例中，扣指4上有套筒50,套筒50可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先M-讀背面·W注意事項再填寫本頁)
.IT A7 B7 莊7656- 五、發明説明（6 ) 於縱向移動，且其下端面51可靠牴晶圖形物件7之上主面 9，因此可將銷43固定牴住扣指4的自由端上。套筒50之 面51也可呈截頭錐夾套形，因此套筒50吡鄰晶圔形物件7 之最外緣。 摘要言之，本發明例如可說明如下： 室1中由環3及扣指4形成樞轉式安裝的吊籃。經由 轉動吊藍可使晶圓形物件7旋轉，晶圓形物件7係由扣指 4固定於距離環3之軸向距離處。噴嘴10及11設於物件7 之上及下主面9上且由噴嘴可施用處理流髏至物件7。 元件檷號對照 (請先Μ.讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印繁 1 · · • •室 25... .餹頭 2 .. ..麯承，支架 26... .V形内陳 3 .. .•琢 27... .軸承 3,.. ..傳動輥 28... .禪性元件 4 ·. ..扣指 30..· .麯 5 _ ..自由端 31.·. • B 7 .. ..晶鼷形物件 32... .自由嫌 8 .. ..外缘 33... •套筒 9 . · ..主面 34... 桿 10， 11....嘖嘴 35·.· .雙筋頭 12.. ..雙箭頭 40... .轎 13.. ..轉鞴 41... .枝碼 14.. ..放滾管 42..· .下方滾粬 16.. ..抽取槽 43... .支撐指， 16,. ...裸霣 44... .槓桿霣 20.. .複曲面内襯 50... 套简 21.. ..自由端，下嫌 51·.· .下端面 拉張揮簧 銷
、1T A! 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

  1. A8 B8 C8 D8 317656 六、申請專利範圍 #卜十條正 期：85年12：廣充 第85103227號申請茱申請専利範圍修正本 修正 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1. 一棰使用處理流饈處理晶園形物件（7)，特別矽晶圓 之裝置，該裝置具有旋轉式安裝件（3, 4)位在晶圆形 物件（7)之室（U内，且有至少一個嗔嘴（10，1U供施 用處理滾體至晶圓形物件（7)，其特擻為晶圓形物件 之安裝件具有環（3)Μ軸（13>為軸擓轉式安裝於裝置 内，及其特撖為環有數根扣指（4)其吡鄰晶圓形 物件（7)之外周邊，吡鄰晶國形物件（7)之外周邊之扣 指（4)末端位在距離環（3)平面之一段距離。 2. 如申請專利範園第1項之裝置，其中扣指（4)揮性毗 鄰晶圔形物件（7)之外周邊。 3·如申請專利範圍第2項之裝置，其中扣指（4)製成具 有5S簧彈性。 4 .如申請專利範園第2項之裝置，其中扣指（4>係旋轉 式安裝於環（3)内且處在至少一個彈簧（28)的作用力 下，該彈簧將齧合晶鬭形物件（7>的外周邊的扣指（4> 末端沿徑向方向承載至内钿。 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 5. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中§合晶圓形物件 (7>外周邊的扣指（4)末端（5)夾角。 6. 如申請專利範園第1項之裝置，其中扣指（4)之吡鄰 晶圖形物件<7>之末端具有内隙（26)，而晶國形物件 (7)之周緣可嵌合入内隙。 7. 如申請專利範围第i項之裝置，其中扣指（4)由環（3) 10 本紙張尺度適用中國國家揉半（CNS ) A4規格（210X297公釐） +請專利範圍 A8 B8 C8 D8 鯉濟部中夬棣準局®c工消費合作社印製 向下突起。 8·如申請専利範圍第1項之装置，其中扣指（4)由琿〇> 向上突起。 9·如申請專利範画第丨項之装置，其中至少一個施用處 理流》至晶國形物件<7>之主面之一的嗅嘴（10* 11> ，由嗔嘴（10，11>位在瓌（3)轉軸（13)之位置開始， 可利用旋轉噴嘴安裝件至晶鬭形物件（7)之兩悃周緣 而調整。 10.如申請專利範園第9項之裝置，其中該嗔瞒安装件之 轉軸係平行琢（3)之轉軸（13)且與環（3>轉軸（13)有一 段距離。 U.如申請専利範國第10項之装置，其中嘖晚安裝件之轉 軸係位在環（3)外側。 is.如申請專利範圃第1項之装置，其中一個嗔嘴（10» 1Π各自設於晶圔形物件（7>之頂部及底部。 13_如申請專利範圍第i項之裝置，其中嗔嘴（1〇, 11)可 沿箸晶國形物件（7)之一條直徑調整。 如申請專利範園第1項之装置，其中環（3)藉蓋（20〉 沿徑向方向環繞至内侧。 如申請專利範圍第1項之裝置*其中蓋（20>為旋轉本 體，其於轉軸（13)方向由極狹窄匾旋轉涵蓋頂部及底 部0 16·如申誚專利範圍第1項之裝置，其中於環（3>之軸承 (2)至少有一値抽取槽（16>。 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 裝· 訂 本紙张尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -11 - 經濟部中央梯準局員工消費合作社印製 317656 六、+請專利範圍 i?·如申請專利範圍第16項之裝置，其中該抽取槽（16>沿 徑向方向導引至外側。 it如申請專利範函第16項之裝置*其中當裝置位在使用 位置時*抽取槽（16)高於蓋（20>之下自由端（21〉。 19.如申請專利範圍第丨4項之装置》其中裝置位在使用位 置時，蓋（20)之下緣（21)高於可固定晶國形物件（7> 之扣指（4)之自由端。 2〇·如申請專利範圍第1項之装置》其中扣指（4>於其自 由端具有一個開口向内侧的V形内隙（26)。 21. 如申請專利範圍第i項之裝置，其中扣指（4>與由扣 指（4)及環（3)形成的吊藍之轉軸（13)夾角銳角。 22. 如申諳専利範圍第4項之裝置*其中拉張揮簧（28>之 —端接至扣指（4>之固定晶圖形物件之自由端的反 端*而另一邊接至環（3>。 23. 如申請專利範圍第1項之裝童，其中扣指（4)Μ« (30> 爲轴而旋轉式支播於環（3>上，扣指（4)與環（3>之平 面夾角且於下端臂<31>載有自由端（32>，自由端（32) 可拂齊牴住晶圓形物件<7>之外側緣。 24. 如申請專利範圍第23項之装置，其中扣指（4)之習（31) 的自由端<32>具有向内側開口的内隙（26)。 25. 如申請専利範圍第23項之装置，其中扣指（4Η系導引 於搭接至環（3)之套筒（33>内。 26. 如申請專利範圍第23項之装置，其中扣指（4)之上端 接合至聯桿（34>，聯桿（34>設有一個較佳爲全部扣指 Α8 Β8 C8 D8 -iMf · (請it·聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210Χ297公釐） -12 - 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 (4)共用之傳動装置*供沿雙筋頭<35>之方向旋轉扣 指⑷。 27. 如申請專利範圍第23項之裝置，其中扣指<4)之轉軸 (30)平行環（3>之轉軸（13)。 28. 如申請專利範圃第1項之裝置，其中銷（43)吡鄰扣指 (4)之於晶圓形物件底部<9>之自由端，及其中旋轉中 的下方滾軸（42)可安置於由頂上牴住晶國形物件<7> *下方滾軸（42)搭接至扣指（4)。 29. 如申請專利範圍第28項之裝置，其中下方滾軸（42)以 軸（40>爲軸而旋轉式安裝於扣指（4)的自由端上。 30. 如申請專利範圈第28項之裝置，其中砝碼（41)經由槓 捍（44)接合至下方滾軸<42>。 31. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中扣指（4)上活動 式設有套筒（50)，套筒（50)由頂部吡鄰晶國形物件（7> 之緣且套筒迫牴安置於牴住晶圓形物件（7)底端的支 架（43)。 32. 如申請專利範圍第31項之装置*其中該支架為由底部 朝向頂部指向之銷（43>。 33. 如申請專利範圍第Μ項之裝置*其中套筒（50)之面 (5U為吡鄰晶圓形物件（7)之面具有截頭錐形夾套形 請 先· 聞 讀 1- 之 注 I i 裝 訂 本紙張尺度適用中國國家椹準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 13
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