JP3512194B2 - ウエハ状製品を処理液で処理する装置 - Google Patents

ウエハ状製品を処理液で処理する装置

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JP3512194B2 JP53284596A JP53284596A JP3512194B2 JP 3512194 B2 JP3512194 B2 JP 3512194B2 JP 53284596 A JP53284596 A JP 53284596A JP 53284596 A JP53284596 A JP 53284596A JP 3512194 B2 JP3512194 B2 JP 3512194B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【技術分野】
【０００１】 本発明は、ウエハ状製品を処理液で処理する装置に関
し、更に詳細には、室内に設けられた、ウエハ状製品の
回転装着部材及びウエハ状製品に処理液を施すための少
なくとも１つのノズルによって、ウエハ状製品を処理液
で処理する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】 ウエハ状製品、特に、シリコンウエハを保持するため
に、様々な装置が色々な態様で知られている。
【０００３】 ベルヌーイの定理にしたがって作動するシリコンウエ
ハのキャリアー（例えば、EP0316296AおよびEP0444714A
を参照）に加えて、フラットで丸いウエハ基体の移送機
構が知られており、これらの機構は、移送トングの張力
部材の面内に位置する弾性保持フィンガーを備えてい
る。
【０００４】 しかしながら、DE4232902A1によって知られる装置
は、真空処理ユニット内において丸いウエハ状製品を単
に移送する場合にのみ使用される。
【０００５】 シリコンウエハの外側周辺部と係合する保持部を備え
る半導体ウエハのキャリアーは、US5168886Aによって知
られる。このキャリアーを使用すれば、半導体ウエハは
回転する。いずれにせよ、US5168886Aで知られるキャリ
アーにおいては、処理工程において、半導体ウエハの一
方の面だけが利用可能なだけである。
【０００６】 本発明は、処理工程においてウエハ状製品の表側面及
び裏側面の両面に利用できるタイプの装置を提供するこ
とを目的とする。
【発明の開示】 【課題を解決するための手段】
【０００７】 本発明によれば、この目的は、 ウエハ状製品の装着部材が、回転軸を中心に回転する
リングを備えており、 該リングに、ウエハ状製品の外側周辺部と隣り合う数
本の保持フィンガーが設けられており、 ウエハ状製品の外側周辺部と隣り合う保持フィンガー
の端部が、該リングの面から距離を隔てて配置されてい
る ことを特徴とする、室内に設けられた、ウエハ状製品の
回転装着部材及びウエハ状製品に処理液を施すための少
なくとも１つのノズルによって、ウエハ状製品を処理液
で処理する装置 を提供することによって、達成される。
【０００８】 本発明の装置においては、処理工程においてウエハ状
製品の表側面及び裏側面の両面が利用可能であるばかり
でなく、ウエハ状製品が、回転するリングの回転面から
距離を隔てて配置されていることによる利点を有する。
即ち、ウエハ状製品から飛散する処理液が、回転リング
と接触することがなく、ウエハ状製品が、例えば腐食な
どによって悪影響を被ることがない。
【実施例】
【０００９】 本発明の装置の利点と他の細部を、以下の発明の実施
例を説明によって明らかにする。この説明においては、
模範実施例を概略的に記載した添付図面が参照される。
【００１０】 室１内において、リング３が軸受体２に搭載されてい
る。リング３は、これと係合するローラー３′で象徴さ
れる駆動力によって駆動されて高速で回転する。室１
は、図１に例示されるように閉じられており、もし、吸
引チャンネル16が設けられる場合には、その内部に、１
つまたは各吸引チャンネル16の専用に、例えばフラップ
16′が設けられる。
【００１１】 図示の実施例においては、前記リングの下方に突出す
る数本（少なくとも３本、最大12本）の保持フィンガー
４が、リング３の内側縁部に接して設けられる。保持フ
ィンガー４の自由端部５には傾斜角が付されており、ウ
エハ状製品７の外側周辺部８と接している。
【００１２】 必ずしも不可欠というわけではないが、この装置にお
いては、保持フィンガー４が、ウエハ状製品７の外側周
辺部８に弾性スプリングの態様で接している。そのため
に、保持フィンガー４は、少なくともその一部分がスプ
リング弾性を有するように構成される。しかしながら、
保持フィンガー４をリング３上にスイベルマウント（各
保持フィンガーのスイベル軸はリング３と平行な面内に
あり、リング３の接線方向に調整されている）すること
も可能であり、保持フィンガー４は、一個または数個の
スプリング（数個のスプリングの場合は、各保持フィン
ガーにそれぞれ一個のスプリングが専用に供される）に
よって、ウエハ状製品７の外側周辺部８と隣接する位置
に保持される。その代わりに、またはこれに加えて、保
持フィンガー４を、これらが遠心力によって外側へ移動
しないように、ウエハ状製品７の外側周辺部８と接する
位置に固定しておくために、或る手段が講じられる。保
持フィンガー４のための模範例が、図３から図７までに
示されている。
【００１３】 リング３の保持フィンガー４も上に向かって突出して
いるので、ウエハ状製品７がリング３の上方で支持され
る様子が、図１に概略的に示されている。
【００１４】 処理液（シリコンウエハにエッチングを施すための
酸、および／または、シリコンウエハの清浄化を行うた
めの清浄液）を付与するためのノズルは、基本的には１
つだけで足りるのであるが、図示した模範例には、２つ
のノズル10、11が示されており、これらの各々はそれぞ
れが、ウエハ状製品７の表側面及び裏側面９にもっぱら
使用される。
【００１５】 上部と底部になるようにバスケットを構成するリング
３及び保持フィンガー４が特別な形状を有するために、
ウエハ状製品７の表側面及び裏側面９に処理液を自由に
付与することができる。
【００１６】 １つの好ましい実施例においては、ノズル10、11が、
図１に二重の双方向の矢印12により象徴的に示すよう
に、ウエハ状製品７に対して移動可能である。これは、
（リング３と保持フィンガー４とからなる）バスケット
の回転軸13と平行ではあるが、この回転軸13とは距離を
隔てる軸線の周囲にノズル10、11をスイベル状に装着す
る（図示しない）装着構造によって行われる。これに加
えて、またはこれに代えて、前記装着構造は、ノズル1
0、11がウエハ状製品７の直径に沿って移動できるよう
に構成されてもよい。
【００１７】 ウエハ状製品７からはね飛ばされた処理液が、リング
３とその軸受体２に影響を与えることなく室１内に捕捉
され、放出口14を経て排出される点が図１からわかるで
あろう。
【００１８】 互いに独立していることが好ましい複数本の保持フィ
ンガー４の自由端部５は、前記自由端部５が、ウエハ状
製品７の外側周辺部８が嵌り込む例えばＶ字状の凹部を
備える代わりに、（正しい円形にはならないウエハ状製
品の外側周辺部の形状を均一化するために）ウエハ状製
品７の外側周辺部８と向き合って接するように配置する
ことができる。この実施例もまた、リング３から上方に
向かって突出する保持フィンガー４用に適切である。
【００１９】 図２に示すこの発明のウエハ状製品を処理する装置の
実施例においては、リング３が、飛散する処理液がリン
グ３とその軸受体２に到達しないように、円環状のライ
ニング20によって、その径方向内側に向かって保護され
ている。
【００２０】 ライニング20の下方自由端部21は、処理対象であるウ
エハ状製品７の上方ではあるが、吸引チャンネル16より
は下方に配置されている。前記吸引チャンネル16を介し
て、一旦供給された空気や窒素ガスが再び吸引される。
【００２１】 図３の実施例においては、リング３に取り付けられた
少なくとも３本の保持フィンガー４が、上から下に向か
って収束するように、回転軸13に対して傾斜して設けら
れている。色々な実施例（図１ー３、図６及び７）の保
持フィンガー４は、それら自体が弾性的に形成されてい
るので、例えば、ウエハ状製品７がマニピュレーターを
使用して送入されると、ウエハ状製品７の外側周辺部に
向かって形成されるスプリング力によって矢印25で示す
方向に向かって径方向外側に撓むことができる。ウエハ
状製品を保持フィンガー４の自由端部に固定して載置す
るために、保持フィンガー４の自由端部には内側に開い
ているＶ字状の凹部26が形成されており、ウエハ状製品
７の外側周辺部がこの凹部内に保持される。
【００２２】 図４の実施例では、保持フィンガー４は、例えばライ
ニング20またはリング３の延長部に設けられる支軸27に
スイベル状に装着されているので、例えば、リング３
と、または一部がリング３と接続された螺旋状のスプリ
ング28などの弾性部材によって、Ｖ字状の凹部を備える
その自由端部が径方向内側へスイベル状に動くように、
支軸27の上方で付勢される。ウエハ状製品７が、支軸27
の周囲でスイベル状に動くバスケット状の保持フィンガ
ーに挿入されると、保持フィンガーの自由端部は矢印25
の方向に外側に移動するので、弾性部材の作用の下で保
持フィンガーによって固定的に保持される。
【００２３】 図５及び図5aに示す実施例においては、保持フィンガ
ー４は、リング３が回転する回転軸13と平行な複数本の
軸30の周囲をスイベル運動を行うように設けられ、前記
軸30は、リング３と一体のスリーブ33内に取り付けられ
る。保持フィンガー４の下方端部は、ウエハ状製品７
が、その外側周辺部で接するＶ字状の凹部26を備える自
由端部32を有する装着アーム31を具備する。保持フィン
ガー４の装着アーム31を、双方向の矢印35の方向に軸30
を中心にスイベル運動を行わせるために、ライニング20
の空隙部内にある保持フィンガー４の端部には、保持フ
ィンガー４と一体をなすコネクティングロッド34が配設
されており、これらのコネクテイングロッド34には、す
べての保持フィンガー４に共通の１つの駆動装置が専用
に設けられる。図5aは、図５の保持フィンガー４と共通
の駆動部材36がどのように構成されているかを示す俯瞰
図である。
【００２４】 図６に示す保持フィンガー４の実施例においては、保
持フィンガー４の自由端部の区域に、フック状に形成さ
れた抑制部材42を備えている。この抑制部材42は、例え
ば、装置が作動中、すなわち、リング３が回転している
ときは、保持フィンガーに載置されたウエハ状製品７
に、これを俯瞰する側から抑制するように、軸40を中心
にスイベル運動を行う。リング３が回転している間、抑
制部材42は、レバーアーム44を介してこれに直結する重
錘41によって、ウエハ状製品７と向き合ってこれを押圧
するので、ウエハ状製品７は、ピン43と抑制部材42との
間で挟持される。
【００２５】 図７の実施例においては、保持フィンガー４と接する
ようにスリーブ50が設けられており、このスリーブ50
が、その長手方向に移動することができ、その下端部で
ウエハ状製品７の表側面と圧接するので、ウエハ状製品
７は、保持フィンガー４の自由端部にあるピン43と向き
合って保持される。スリーブ50の面51は、裁頭円錐のジ
ャケットの形状をなすことができるので、スリーブ50
は、ウエハ状製品７の外側周辺部と隣り合って接する。
【００２６】 要約すれば、この発明は例えば、次ぎのように述べる
ことができる。
【００２７】 リング３と複数の保持フィンガー４とからなるバスケ
ットが室１内に回動するように装着される。前記バスケ
ットを回転することにより、リング３から軸線方向に距
離を隔てた保持フィンガー４によって保持されたウエハ
状製品７は回転する。ノズル10、11は、ウエハ状製品７
の表側面及び裏側面にそれぞれ専用に設けられ、ノズル
から処理液が表側面及び裏側面の両面に施される。 ［図面の簡単な説明］
【００２８】
【図１】 ウエハ状製品を処理する装置の第１実施例の軸方向断
面の概略図。
【図２】 ウエハ状製品を処理する装置の第２実施例の軸方向断
面の概略図。
【図３】 拡大して示す保持フィンガーの１実施例を示す図。
【図４】 スイベル保持フィンガーを備える１実施例を示す図。
【図５】 回転保持フィンガーを備える１実施例を示す図。
【図５ａ】 図５を俯瞰した図。
【図６】 機械的インターロックを備える保持フィンガーを有す
る一方の実施例を示す図。
【図７】 機械的インターロックを備える保持フィンガーを有す
る他方の実施例を示す図。
【符号の説明】
【００２９】 １ 室 ２ 軸受体 ３ リング 3' ローラー ４ 保持フィンガー ５ 自由端部 ７ ウエハ状製品 ８ 外側周辺部 ９ 表側面及び裏側面 10 ノズル 11 ノズル 12 矢印 13 回転軸 14 放出口 16 吸引チャンネル 16' フラップ 20 ライニング 21 下方自由端部 25 矢印 26 凹部 27 支軸 28 スプリング 30 軸 31 装着アーム 32 自由端部 33 スリーブ 34 コネクテイングロッド 35 矢印 36 駆動部材 40 軸 41 重錘 42 抑制部材 43 ピン 44 レバーアーム 50 スリーブ 51 面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 H01L 21/306 H01L 21/68

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ウエハ状製品（７）の装着部材が、回転軸
    （13）を中心に回転するリング（３）を備えており、 該リング（３）に、ウエハ状製品（７）の外側周辺部と
    隣り合う数本の保持フィンガー（４）が設けられてお
    り、 ウエハ状製品（７）の外側周辺部と隣り合う保持フィン
    ガー（４）の端部が、該リング（３）の面から距離を隔
    てて配置されている ことを特徴とする、室（１）内に設けられた、ウエハ状
    製品の回転装着部材及びウエハ状製品（７）に処理液を
    施すための少なくとも１つのノズル（10,11）によっ
    て、ウエハ状製品を処理液で処理する装置。
  2. 【請求項２】保持フィンガー（４）が、ウエハ状製品
    （７）の外側周辺部（８）と弾性的に隣り合う請求項１
    に記載の装置。
  3. 【請求項３】保持フィンガー（４）が、スプリング弾性
    を備えるように形成されている請求項２に記載の装置。
  4. 【請求項４】保持フィンガー（４）が、リング（３）内
    にスイベル態様で装着されており、ウエハ状製品（７）
    の外側周辺部（８）と係合する保持フィンガー（４）の
    端部を径方向内側へ付勢する少なくとも１つのスプリン
    グ（28）の作用を受けている請求項２に記載の装置。
  5. 【請求項５】ウエハ状製品（７）の外側周辺部（８）と
    隣接する保持フィンガー（４）の端部が凹部（26）を備
    えており、ウエハ状製品（７）の外側周辺部（８）が前
    記凹部（26）に嵌り込む請求項１−４のいずれか１に記
    載の装置。
  6. 【請求項６】保持フィンガー（４）が、リング（３）か
    ら上方に向かって突出している請求項１−５のいずれか
    １に記載の装置。
  7. 【請求項７】ウエハ状製品（７）の表側面及び裏側面の
    一方に処理液を付与するための少なくとも１つのノズル
    （10,11）が、リング（３）の回転軸（13）に沿って配
    置されており、このノズルは、ノズル収容装置にスイベ
    ル運動を行わせることによって、ウエハ状製品（７）の
    外側周辺部に対して移動可能である請求項１−６のいず
    れか１に記載の装置。
  8. 【請求項８】ノズル収容装置のスイベル軸が、リング
    （３）の回転軸（13）と平行であり、且つリング（３）
    の回転軸（13）から距離を隔てている請求項７に記載の
    装置。
  9. 【請求項９】ノズル収容装置のスイベル軸が、リング
    （３）の回転軸（13）の外側に位置する請求項８に記載
    の装置。
  10. 【請求項１０】各ノズル（10,11）が、ウエハ状製品
    （７）の表側面及び裏側面（９）の一方に専用に設けら
    れている請求項１−９のいずれか１に記載の装置。
  11. 【請求項１１】ノズル（10,11）が、ウエハ状製品
    （７）の直径に沿って移動可能である請求項１−10のい
    ずれか１に記載の装置。
JP53284596A 1995-05-02 1996-02-28 ウエハ状製品を処理液で処理する装置 Expired - Lifetime JP3512194B2 (ja)

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AT753/95 1995-05-02
AT0075395A AT405225B (de) 1995-05-02 1995-05-02 Vorrichtung zum behandeln annähernd runder oder kreisscheibenförmiger gegenstände, insbesondere siliziumwafer
PCT/AT1996/000034 WO1996035227A1 (de) 1995-05-02 1996-02-28 Vorrichtung zum behandeln scheibenförmiger gegenstände, insbesondere siliciumwafer

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JPH10508157A JPH10508157A (ja) 1998-08-04
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EP (1) EP0769205B1 (ja)
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KR (1) KR100393689B1 (ja)
AT (2) AT405225B (ja)
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