TW311232B - - Google Patents

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311232 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（ 1 ) 1 1 1 本 發 明 係 關 於 電 子 柱 装 置 1 尤 其 係 關 .於 具 有 寬 闊 波 束 的 1 1 I 電 子 柱 装 置 0 1 I 發 明 背 景 請 先 1 1 閱 | 電 子 柱 装 置 為 已 知 之 裝 置 - 係 於 一 真 空 管 内 產 生 電 並 讀 背 | 面 I 使 之 加 速 度 通 過 一 薄 厚 度 之 透 射 窗 9 Μ 供 真 空 管 外 部 使 用^ 1 意 | 雖 妖 真 空 環 境 有 利 於 電 子 的 產 生 與 加 速 度 m 是 電 子 透 事 1 I 再 1 射 窗 最 好 也 能 薄 到 允 許 電 子 穿 透 窗 子 時 $ 其 能 量 損 失 能 減 填 4 透 窗 吸 寫 裝 到 最 少 -» 子 穿 過 透 射 窗 而 損 失 的 能 量 9 可 能 被 射 頁 *— 1 收 而 成 為 熱 並 破 壞 透 射 窗 材 料 的 化 學 鐽 結 〇 減 少 透 射 1 1 窗 厚 度 增 強 電 子 穿 越 透 射 窗 透 射 窗 因 管 内 的 真 空 環 境 1 1 而 感 受 的 高 壓 差 以 及 電 子 穿 越 透 射 窗 所 引 起 的 破 壞 和 加 1 訂 1 I 熱 此 等 混 合 的 因 素 可 能 導 致 透 射 窗 内 形 成 小 孔 或 瑕 疵 ， 並 破 壞 真 空 與 損 壞 管 體 Ο 1 1 1 對 於 某 些 用 途 最 好 能 產 生 寬 闊 的 電 子 柱 〇 製 造 這 種 装 1 1 置 所 面 臨 的 挑 戰 之 一 是 增 加 電 子 透 射 窗 的 面 積 通 常 會 1 、表 降 低 透 射 窗 承 受 高 壓 差 的 能 力 1 I 解 決 此 一 兩 難 困 境 的 方 法 之 一 是 在 窗 内 使 用 堅 韌 但 容 1 I 許 電 子 穿 透 的 材 料 9 例 如 授 予 紐 克 曼 (Κ e u k e Γ Π1 an S ) 的 美 國 1 1 1 專 利 No .4,468 ，2 8 2 中 揭 示 者 3 紐 克 曼 的 揭 示 使 用 複 晶 基 片 1 來 形 成 長 而 薄 的 窗 子 * 供 印 刷 之 用 1 1 授 予 范 雷 德 (V an R a a 1 t e )等人的美國專利第3 ,788 ,892 1 | 號 示 一 種 横 跨 骰 體 扁 長 形 開 Ρ 的 透 射 窗 9 並 用 f.rH 質 的 1 I 多 孔 補 強 構 件 支 撐 透 射 窗 - 同 樣 地 » 授 予 鳥 諾 (II η 〇 )的美 1 1 I 國 專 利 第 3， 61 1， 41 8號 ，揭示- -種具有網眼狀支撢區段έ 勺 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Xd7公釐） SH232 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（ 2 ) 1 1 大 型 窗 〇 1 1 I 本 發 明 巨 的 之 一 在 於 提 供 一 種 可 產 生 寬 闊 波 束 的 電 子 柱 1 1 裝 置 /·-V 請 先 1 閲 1 本 發 明 另 . S 的 在 於 提 供 一 種 電 子 柱 裝 置 $ 當 其 電 子 透 讀 背 1 I ώ 1 I 射 窗 内 形 成 孔 洞 後 9 可 輕 易 修 補 之 0 之 1 發 明 概 述 事 1 項 1 電 子 柱 裝 置 具 有 多 數 個 別 的 % 電 子 可 穿 透 但 不 透 氣 並 呈 再 填 i 矩 陣 排 列 的 透 射 窗 時 可 達 成 Μ 上 巨 的 0 這 些 透 射 窗 通 常 寫 本 頁 裝 1 很 薄 但 可 有 不 同 尺 寸 與 形 狀 的 區 域 並 係 置 於 一 真 空 管 1 1 的 前 端 真 空 管 則 具 有 電 子 產 生 與 加 速 度 裝 置 〇 矩 陣 可 按 1 1 需 要 方 式 來 安 排 以 適 合 裝 置 的 特 定 用 途 〇 Μ 此 方 式 . 裝 1 訂 置 的 透 射 窗 總 面 積 可 相 當 大 而 不 致 於 使 透 射 窗 因 為 真 空 1 | 造 成 的 壓 差 而 失 效 因 此 允 許 此 種 裝 置 產 生 寬 闊 的 電 子 1 1 柱 〇 1 1 使 用 多 數 個 別 的 透 射 窗 尚 有 許 多 優 點 0 第 一 因 為 每 個 1 .A 透 射 窗 相 當 小 所 Μ 可 以 更 容 易 形 成 每 個 透 射 窗 而 不 含 任 1 何 瑕 疵 〇 尤 其 是 透 射 窗 可 用 單 晶 薄 膜 形 成 而 具 有 強 度 1 1 | 電 子 穿 透 性 及 不 透 氣 性 等 方 面 的 優 點 〇 但 是 若 要 Μ 這 種 1 1 單 晶 薄 膜 製 成 單 一 的 大 面 積 透 射 窗 則 可 能 極 度 困 難 0 第 1 1 二 9 透 射 窗 之 一 失 效 時 未 必 有 損 整 個 装 置 〇 依 照 用 途 而 1 1 定 9 已 形 成 針 孔 的 透 射 窗 t 或 是 只 須 使 用 諸 如 環 氧 樹 脂 之 1 I 密 封 劑 塞 住 針 孔 9 並 將 真 空 管 重 新 真 空 抽 氣 C 1 1 I 使 用 多 數 透 射 窗 也 允 許 產 生 電 子 的 真 空 管 可 有 各 種 不 同 1 1 的 形 狀 9 因 為 真 空 管 的 電 子 發 射 區 並 不 限 於 使 用 單 一 透 射 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 窗。 為了使電子通過透射窗矩陣，必須使電子柱依照微處理 器控制的順序，横向掃描整個矩陣。嵌住矩陣的面板，連 接一電流監視器，以反饋有關電子柱可Μ通過透射窗而不 會撞擊面板的精準度資料，微處理器使用的反饋資料，可 調整電子柱於掃描矩陣時或於後續掃描時的強度或方向。 圖式簡單說明 圖1為本發明多窗式裝置的斜視圖。 圖2 Α及画2Β顯示流經圖1所示發明之偏轉線圈的電流。 圖3A為本發明實施例之一的斜視圖，其中之裝置具有彎 弧形前端。 圖3B為本發明另一實施例的斜視圖，其中之裝置具有半 球形前端。 圖3 C為本發明一面板之前視圖，其上設有二列交錯排列 的透射窗。 圖4顯示圖1所示裝置中使用的電子控制電路圖。 發明最佳實施模式： 請參閱圖1，其中顯示一電子柱裝置（12)。此裝置包括 一不透氣殼體（15)，此殻體具有前端（18)及後端（20)。圖 1之斜視圖中並顯示一面板（22)，暫時從殼體（15)之前端 (1 8 )移開，一如製作期間之情況。面板（2 2 )可用矽、玻璃 、陶瓷、金靨或其他不透氣材料形成，其與製造透射窗使 用之材料，諸如矽，具有類似的熱膨脹係數。面板（2 2 )設 有多數矩形開孔（25)形成之矩陣。開孔（25)可藉成型、触 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 6 I-------:¾衣------IT------Λ. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) SU282 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（4 ) 1 1 刻 或 其 他 技術產生 〇 多 數 個 厚 度 薄 Λ 不 透 氣 > 電 子可穿 透 1 1 | 的 透 射 窗 (2 7 )接設於窗 片 段 (30 )上 t 並 覆 蓋 開 孔 (25)。 1 1 在 較 佳 實施例中 窗 片 段 (3 0 )係 用 單 晶 矽 晶 片 形成。 製 —S 請 先 1 作 透 射 窗 (27)時， 例 如 可 用 異 向 性 蝕 刻 法 > 將 矽製窗 片 閱 讀 背 面 1 1 I 段 (3 0 )的 中央蝕去 與 透 射 窗 相 同 大 小 之 矩 形 面 積 ，Μ於 各 之 1 1 中 央 部 位 留下一薄 厚 度 的 透 射 窗 (27) 〇 窗 片 段 (3 0 )係個 別 事 1 項 1 生 產 f Μ 避免生產 中 發 生 瑕 疵 或 操 作 中 發 生 斷 裂 ，這些 現 再 填 寫 本 頁 i 1 象 是 較 大 矽塊易於 發 生 的 〇 随 後 使 用 陽 極 會 接 或 其他技 術 會 接 窗 片 段（30)與面板 (22) 〇 接 著 0 將 附 有 窗 片 段（30)的 1 1 面 板 (22) Μ類似方式會接於殼體 (15)之前端 (18) 〇 1 I 為 了 減 少操作或 處 理 期 間 對 透 射 窗 (27)產生 的 損傷， 可 1 訂 於 殼 體 (15)真空抽氣 刖 稍 微 壓 縮 透 射 窗 (27) 〇 例 如，可 在 1 | 透 射 窗 區 域内進行 離 子 植 入 法 導 致 透 射 窗 (27)稍微地機 1 1 械 膨 脹 而達到透 射 窗 壓 縮 〇 1 1 殻 體 (1 5 )之後端 (20)設有 多 數 從 該 朝 外 突 出 的 插腳（3 3 ) 1 ，-泉 1 I f 但 圖 1中僅可顯示其中少數插腳 >插腳（33)提供與殼體 (15)内 部 連接的各 種 不 同 電 接 頭 I 也 可 作 為 殻 體 (1 5 )的支 1 1 撐 部 〇 插 腳（33)之 一 是 抽 氣 管 (35) > 它 可 連 接 一 幫浦， 抽 1 1 除 殺 體 (1 5 )内的氣 atat 體 9 m 後 予 密 封 9 以 防 止 氣 體重新 進 1 1 人 骰 體 (1 5) 〇 另一 對 插 腳 (33)為導通連接器 (36 ) ，用Μ 連 1 | 接 置 於 殼 體（15)内 的 絲 極 (38) 0 絲 極 (38)大抵 呈 U形釘書 1 I 針 狀 :使電流通過這對連接器 36)時 ，絲極< 38)因熱離子 1 1 I 發 射 而 產 生自由電 子 0 另 一 對 插 腳 (33)是與 置 於 骰體（15) 1 1 内 的 陰 極 (4 0 )連接 的 電 接 頭 (39 ) 〇 陰 極 (40>大抵環繞躲 極 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7 $11232 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（ 5 ) 1 1 (3 8 )的 各 面 9 僅 留 下 面 對 前 端 (1 8 )的 一 側 與 面 對 後 端 (20) 1 1 的 一 對 開 孔 t 供 絲 極 連 接 器 (3 6 )從開孔穿過 〇 吾 人 可 對 1 1 陰 極 (4 0 )供應高負 電 壓 9 使 電 子 從 絲 極 加 速 流 向 前 端 \ 請 先 1 1 (18) 9 前 端 (1 8 )則維持在接近接地電壓 〇 由於大抵U形的 閱 讀 背 1 1 絲 極 (3δ)與大抵盒狀 的 陰 極 (40) f 從 絲 極 (3 8 )發射的電子 面 之 1 注 1 都 由 陰 極 (40)聚焦及加速度 9 成 為 帶 狀 的 電 子 柱 9 移 向 前 意 事 1 項 1 端 (18) 〇 再 填 寫 裝 1 當 帶 狀 電 子 柱 加 速 度 移 向 前 端 時 被 軛 Aff». 鐵 (4 2 )偏轉 9 本 .頁 將 電 子 柱 引 導 至 透 射 窗 (27)之 一 〇 軛 鐵 (42 )由 四 個 導 電 的 1 1 線 圈 構 成 :四個線圈沿著殼體前端（1 8 )與後端（2 0 )之間的 1 | 頸 部 9 環 繞 — 圏 彼 此 間 隔 〇 每 —· 線 圈 之 軸 線 與 殼 體 (15) 1 訂 之 縱 軸 大 抵 垂 直 並 相 交 ;線圈的排列方式形成- -對共用縱 ! 軸 的 線 圈 與 — 對 共 用 横 軸 的 線 圏 〇 每 一 線 圈 產 生 的 磁 場 與 1 1 流 經 每 一 線 圈 的 電 流 成 比 例 並 大 抵 沿 各 該 線 圈 的 軸 線 發 1 1 展 其 方 向 0 磁 場 對 行 進 的 電 子 產 生 作 用 力 這 些 作 用 力 是 1 Λ 1 I 電 子 速 度 與 磁 場 向 量 的 向 量 積 〇 電 子 柱 的 垂 直 位 置 係 由 殻 體 (15)內 大 致 水 平 方 向 的 磁 場 1 1 線 來 決 定 而 這 些 磁 場 線 係 由 左 線 圈 (44)與 右 線 圈 (46 )中 1 1 的 電 流 產 生 的 0 電 子 柱 的 水 平 位 置 係 由 殻 體 (1 5) 内 大 抵 垂 1 1 直 延 伸 的 磁 場 線 來 決 定 1 而 這 些 磁 場 線 係 由 環 m 上 線 圈 1 (48)與 下 線 圈 (5 0 )流 動 的 電 流 形 成 的 〇 每 一 線 圈 (44) * 1 I (46) 9 (48) r (5 0 )各經 由 一 對 個 別 的 導 線 而 獲 得 電 流 0 圖 1 1 中 並 未 顯 示 這 些 導 m 1 Μ 便 顯 示 其 他 元 件 〇 利 用 水 平 與 垂 1 1 直 偏 轉 屏 (圖中未示） » 亦 可 產 生 電 子 柱 的 水 平 及 垂 直 偏 轉。 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -8 - $11232 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（6 ) 1 1 為 了 諶 電 子 柱 通 過 面 板 (22)上 的 每 個 透 射 窗 (27) 9 可 1 1 I 在不 連 續 的 步 驟 中 同 步 變 化 絲 極 (38) 陰 極 (40) 、 右 線 圈 1 1 (44) 、 左 線 圈 (46) 上 線 圈 U8)及下線 圈 (5 0 )的電流與電 /--S 請 先 1 1 壓。 例 如 > 可 Μ 先 用 電 流 脈 動 絲 極 (38) 以 於 絲 極 (38)附 閱 讀 背 之 注 1 I 近產 生 大 群 S 由 電 子 〇 同 時 9 或 是 稍 後 片 刻 用 高 電 平 之 1 1 I 負電 壓 脈 動 陰 極 (40) 造 成 一 束 電 子 移 向 前 端 (18) 〇 根 據 意 事 項 1 1 計算 出 的 電 子 束 加 速 度 與 速 度 9 然 後 可 Μ 用 軛 鐵 (4 2 )的線 再 填 圈， 產 生 欲 偏 轉 波 束 至 選 定 的 透 射 窗 (27)時所需 的 磁 場 量。 寫 本 頁 裝 1 第 二 波 白 由 電 子 束 接 著 被 推 向 前 端 (18) 9 同 時 縱 軸 或 1 1 橫軸 線 圈 内 的 電 流 量 發 生 變 化 其 變 量 足 Μ 將 第 二 波 束 偏 1 I 轉到 與 第 一 電 子 束 偏 rfftl 向 的 透 射 窗 (27)毗鄰的 另 一 透 射 窗 1 訂 (27) ύ 磁 場 的 偏 FTTtl 轉 強 度 在 線 圈 遠 端 急 剌 減 弱 所 Μ 脈 衝 不 1 1 一定 需 要 間 隔 才 能 允 許 第 一 電 子 束 通 過 一 透 射 窗 後 再 讓 磁 1 1 場變更Μ偏轉第 二 電 子 束 到 毗 鄰 的 透 射 窗 〇 m 而 一 電 子 1 1 束前 端 經 歷 到 的 偏 rfWI 轉 通 常 應 該 等 於 一 電 子 束 後 端 經 歷 到 1 X 1 I 的偏 轉 9 Μ 便 引 導 電 子 束 穿 過 個 別 的 透 射 窗 〇 圖2 Α顯示 右 線 圈 (44)與左線圈 (46)內 流 動 的 電 流 (I i )與 1 1 1 時間 (Τ)成- -函數 =圖2B顯示相同時間在上線圈（48)與下 1 1 線圈 (50)内 流 動 的 電 流 (12) 〇 由 於 磁 力 的 向 量 性 質 y 所 Μ 1 線圈 (44)與 (46 )中 的 電 流 (I i >決定在殻體 (1 5 ) 内 移 向 前 端 1 (1 8 )的電子的 垂 直 偏 轉 9 而 線 圏 (48)與 (50 )内 的 電 流 (I 2 ) 1 I 則決 定 這 些 電 子 的 水 平 偏 轉 〇 在 t 0 時 所 有 線 圈 (44) » 1 1 1 (46 ) t (4 8 )及 (50)内 的 電 流 (ί □) 皆 為 零 所 Μ 移 向 前 端 1 1 (18) 的 電 子 束 未 受 偏 轉 t 因 此 穿 越 圖 1的中央透射窗（ 27 a ) 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（ 7 ) 1 I 〇 當 時 間 (Τ)為 t 1 > T > t 2 時 9 線 圈 (4 4 )與 (46)中 的 電 流 1 1 (I【）已 增 至 電 平 (i 1 ) 而 線 圈 (48) (50)中 的 電 流 (I 2 )則 1 1 增 至 (i 2 ) f 因 此 t 在 時 間 t 1 > T> t 2時經過軛鐵（4 2 )的第 請 先 1 二 波 電 子 束 被 偏 轉 到 透 射 窗 (27b)= 在時間t 2 > T > t 3 時 9 閱 讀 背 1 I 1 | 電 流 (Ii)降至零 9 而 電 流 (I 2 ) 已 增 至 (is) > 使 下 一 电 子 束 之 1 注 1 被 偏 PTtti 轉 而 穿 越 透 射 窗 (27c)( 繼缠以此方式進行 所有透 意 事 1 項 1 射 窗 (2 7 )都能有電子柱穿越 〇 再 填 '] 寫 本 頁 裝 1 圖 1所示的交錯透射窗矩陣 可對在透射窗（27)前方相 對 裝 置 (12) Κ 垂 直 方 向 移 動 的 物 體 9 提供 連 續 的 水 平 電 子 1 1 柱 處 理 區 〇 也 請 注 意 吾 人 可 Μ 使 用 不同 的 電 流 順 序 使 1 I 電 子 Μ 不 同 的 順 序 射 過 不 同 的 透 射 窗 。例 如 某 一 特 定 的 1 訂 用 途 中 可 能 只 需 要 —· 列 透 射 窗 來 發 射電 子 0 此 時 可 以 1 1 選 用 中 央 的 一 列 透 射 窗 並 讓 電 流 (I 2)保 持 在 零 而 電 流 1 1 (I 2 )逐步 改 使 各 束 電 子 柱 水 平 横 向拂 掠 面 板 (22) 0 在 1 1 此 情 況 時 若 有 一 透 射 窗 形 成 針 孔 可用 環 氧 樹 脂 或 其 他 J ，旅 密 封 劑 密 封 該 針 孔 ;此後 可偏轉電子柱到鄰列的透射窗 1 I (27) 避 免 電 子 柱 拂 掠 有 針 孔 的 透 射窗 0 1 1 1 從 許 多 小 透 射 窗 (27)形成寬闊電子柱裝置 (1 2) 允 許 透 1 1 射 窗 (27)用 單 晶 薄 膜 或 膜 片 形 成 :若在較大尺寸時 此種 1 單 晶 薄 膜 是 不 易 形 成 及 處 理 的 〇 單 晶 薄膜 具 有 許 多 優 點 > 1 | 週 於 製 成 電 子 柱 裝 置 不 透 氣 但 電 子 可 穿透 的 透 射 窗 〇 這 種 1 I 單 晶 薄 膜 的 整 齊 晶 格 I 可 讓 電 子 更 容 晃穿 透 薄 膜 允 許 陰 1 1 I 極 (40)與 面 板 (22)之 間 有 較 低 的 供 電 電壓 並 產 生 較 低 能 1 1 量 的 電 子 0 同 時 t 此 種 薄 膜 的 整 齊 晶 格， 更 能 防 止 氣 體 或 1 1 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） B11232 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（8 ) 1 1 液 體 分 子 潑 透 薄 膜 〇 單 晶 也 具 有 極 高的 強 度 f 允 許 此 種 材 1 1 I 料 製 成 的 薄 膜 具 有 更 薄 的 厚 度 9 允 許更 高 的 電 子 透 通 度 〇 I 1 此 種 單 晶 通 常 也 由 原 子 數 巨 相 當 低 的元 素 形 成 9 如 此 可 降 /-—S 請 先 1 低 電 子 穿 越 薄 膜 時 的 散 射 〇 因 此 9 使用 單 晶 薄 膜 製 作 電 子 閱 讀 背 δ 之 1 1 柱 產 生 裝 置 (1 2 )的電子透射窗 (27) ，具 有 他 型 透 射 窗 (27) 1 注 1 中 找 不 到 的 綜 合 特 質 而 本 發 明 之 多窗 式 裝 置 (1 2 )更促 進 意 事 1 項 1 此 種 特 質 〇 再 填 寫 ▲ 1 單 晶 薄 膜 的 製 作 可 藉 選 擇 性 地 蝕刻 -- 單 晶 基 片 並 在 本 頁 窗 片 段 (30)内 留 下 所 要 尺 寸 的 窗 P 0或 者 使 用 晶 格 相 配 1 1 可 促 進 單 晶 形 成 的 结 晶 性 基 片 來形成單 晶 隨 後 蝕 去 基 片 1 | 上 阻 礙 透 射 窗 的 部 份 〇 不 論 在 哪 一 種實 施 例 中 剩 餘 的 基 1 訂 片 亦 稱 為 ”單晶薄膜” 皆 可 作 為 一個 窗 片 段 (30) 用 以 1 接 合 在 真 空 管 裝 置 (1 2 )的其餘部份 0 1 1 請 參 閱 圖3A及 圖 3B 〇 在 電 子 槍 中 使用 多 數 窗 片 段 (30) » 1 1 允 許 電 子 的 前 端 形 成 不 同 的 形 狀 這在 單 一 透 射 窗 的 情 況 1 1 I 下 如 果 不 是 不 可 能 也 是 很 難 達 成的 〇 圖 3 A顯示 一 裝 置 (1 3) 其 前 端 呈 彎 弧 形 對 某 些 用 途特 別 有 益 〇 個 別 的 透 1 1 I 射 窗 (27)可 為 大 抵 平 坦 的 9 並 可 用 單晶 形 成 〇 同 樣 地 圖 1 1 3B顯 示 — 装 置 (14) 具 有 多 數 角 形的 窗 節 段 (30) 嵌 住 1 多 數 . 角 形 的 透 射 窗 (27 ) 〇 在 裝 置 (14) 中 9 其 前 端 (1 8 )為 1 半 球 形 ， 這 是 單 一 透 射 窗 不 易 形 成 的另 一 種 結 構 〇 雖 未 1 1 一 一 顯 示 f 但 是 透 射 窗 (27 )可 形 成其 他 各 種 不 同 的 多 邊 I 1 形 t 而 具 有 例 如 三 角 形 或 五 邊 形 的 透射 窗 區 域 〇 多 窗 式 電 1 1 子 槍 亦 可 具 有 圓 形 、 橢 圓 形 及 長 圓 形的 透 射 窗 區 域 〇 圖 3C 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ ι ι _ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（ d ) 1 i 顯 示 一 扁 平 面 板 (22 ) 9 其 上 設 有 二 列 交 錯 間 隔 的 透 射 窗 1 1 (27 ) 9 每 一 透 射 窗 (27 ) 可 為 一 單 晶 薄 膜 或 製 得 更 薄 ， 而 不 1 1 致 於 因 為 真 空 產 生 的 [tfg 愿 力 而 失 效 〇 若 是 一 單 一 透 射 窗 而 其 -·—V 請 先 1 面 積 類 似 個 別 透 射 窗 (27) 的 總 合 面 積 時 9 此 種 真 空 產 生 的 閱 讀 1 I 1 | 應 力 將 會 使 單 一 透 射 窗 破 裂 〇 之 1 注 1 若 有 任 一 個 別 透 射 窗 (27) 内 形 成 針 孔 9 則 可 觀 察 到 高 電 意 事 1 項 1 流 經 過 接 頭 (39) 流 往 陰 極 (40) f 如 圖 1所示c 此乃因為進 再 填 ί 寫 裝 1 入 殼 體 (1 5) 的 氣 體 被 陰 極 (40) 的 高 負 電 位 游 離 9 提 供 —* 路 本 頁 徑 給 陰 極 (4 0 )流 出 的 電 流 0 接 頭 (39)處 及 電 源 處 (圖中未 1 1 示 )可連接- -電流感測電路（圖 中 未 示 ) Μ便在連接器 1 | (39) 有 高 電 流 通 過 時 切 斷 通 往 陰 極 (40) 絲 極 (38) 及 線 1 訂 圏 (44) (46 ) (48) Λ (50) 的 電 壓 與 電 流 〇 1 切 斷 裝 置 的 電 源 後 即 可 找 出 並 密 封 針 孔 〇 尋 找 針 孔 時 1 1 9 可 用 檢 驗 方 式 完 成 或 利 用 壓 敏 電 功 率 轉 換 器 在 每 一 窗 1 1 片 段 (30) 外 側 形 成 一 密 封 容 室 9 並 使 用 真 空 抽 氣 管 (36) 在 1 1 I 穀 體 (1 5) 内 形 成 真 空 0 唯 當 電 功 率 轉 換 器 置 於 有 針 孔 的 透 射 窗 前 時 才 能 察 覺 殼 體 (1 5) 的 真 空 狀 態 〇 同 樣 地 可 在 1 1 所 有 窗 片 段 (30) 外 側 覆 蓋 一 薄 層 塑 膠 萡 狀 後 用 真 空 抽 氣 1 1 管 (36) 從 殻 體 (1 5) 抽 除 氣 體 同 時 觀 察 各 個 透 射 窗 (27) 外 1 側 塑 膠 萡 的 移 位 情 況 » 作 為 透 射 窗 (27 ) 是 否 有 針 孔 的 證 據。 I 一 旦 找 出 針 孔 9 可 用 環 氧 樹 脂 或 其 他 密 封 劑 密 封 之 〇 然 1 I 後 從 密 封 後 的 m 體 (1 5) 抽 除 氣 m 9 使 裝 置 (1 2) 可 再 度 用 1 1 I 於 產 生 電 子 〇 依 昭 裝 置 (1 2) 的 用 途 與 所 用 的 密 封 劑 類 別 而 1 1 定 1 可 改 變 電 子 的 聚 焦 方 式 ， 避 開 含 有 密 封 針 孔 的 透 射 窗 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 12 - 經濟部中央標隼局員工消費合作杜印策 A7 ----— __B7_ 五、發明説明（) 途中必須再度用電子穿透含有密封針孔的透 Ιί® (27)時’可以選擇與敷設電子可穿透的密封劑。 現參考圖4’具有多窗27的電子柱裝置（12)的電子 控制.包括—電流監視器（6 0 )，諸如一電流計，其導線（6 2 ) 3 1妾一g S性的面板（2 2 )。監視器（6 〇)偵測到的電流可用 來決定電子柱穿越前端（18)時的不同特性。例如，若監視 §5 (60)偵痴1SJ的電流可用來決定電子柱穿越前端（18)時的 不（¾特性。例如’若監視器（6 〇 )偵測到的電流佔電子柱電 流中極高比例的部份，那麽電子最好以金靥製成，例如鋁 科’可比透射窗（27)厚些，並吸收更多電子柱電流，經由 導線（62)將電流傳導至監視器（60)。 電流監視器（60)發出的信號，表示從面板（22)偵測到的 電流已經由線路（6 2 )送注微處理器（6 5 )。請注意，電流監 視器（60)實際上可由微處理器（65)内的電路形成，但圖中 分開顯示監視器（60), K方便描述和說明。微處理器（65) 控制一電源（70)，此電源經由開關（66)，（67)與（68)分別 提供絲極（38)、陰極（40)及軛鐵（42)的電流與電壓。請注 意，輒鐵（42)實際包括線圈（44)、（46)、（48)及（50)，但 此圖中未顯示，以方便圖示說明。各線圈也分別由數個開 關控制，但圖中亦未顯示這些開關，而僅顯示控制軛戡 (42)的單一開關（68)。微處理器（65)包括記憶體與時鐘（ 圖中未示），用以控制供給絲極（3 8 )、陰極（4 0 )及扼娥 (42)的電壓及電流，使電子柱以脈波横向拂掠前端U8)’ 穿越透射窗（27)而不撞擊面板（22)。此棰功能可在微處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -13 - I--------------.W------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（11) 1 1 器 (6 5 )中 K 程 式 設 定 9 並 可加 Μ 變 更 9 Μ 針 對 裝 置 (1 2 )不 1 1 同 的 用途， 提 供 不 同 的 電 子柱 拂 掠 ) 或 是 避 開 已 經 受 損 的 1 1 透 射 窗（27) ύ —、 請 先 1 1 微 處理器 (6 5 )與電流監視器 (6 0 )结 合 時 利 用 電 流 監 視 閱 讀 背 1 I 器 發 生的信 號 控 制 電 子 柱 的脈 動 i 可 Μ 增 加 電 子 柱 撞 擊 透 1 1 | 射 窗 (27)而不是面板 (2 2 )的精 準 度 〇 例 如 如 果 電 流 監 視 意 事 項 1 1 器 (6 0 )偵測到佔 電 子 柱 電 流極 高 比 例 的 電 流 時 表 示 電 子 再 填 ] 柱 擊 中面板 (22)而非透射窗（27) 這 個 資 訊 被 饋 往 微 處 理 寫 本 頁 裝 1 器 (65)，微 處 理 器 (6 5 )可經程式控制 降 低 電 流 (70)供給 1 1 絲 極 (38)與 陰 極 (4 0 )的電壓與電流 藉此減少電子柱電流 I 〇 電 子柱與 電 子 電 路 中 的 電子 移 動 速 度 比 電 子 柱 横 向 拂 掠 1 訂 前 端 (1 8 )的 速 度 快 得 多 所Μ 此 種 反 饋 m 構 的 作 用 近 似 於 1 | 控 制 電子柱 上 被 監 視 器 (6 0 )測得 的 電 子 柱 電 流 〇 微 處 理 器 1 1 (65)亦可在 其 記 憶 體 中 儲 存某 一 拂 掠 期 間 某 一 時 間 由 監 視 1 1 器 (6 0 )所偵測到電子柱電流的 資 訊 並 使 用 此 一 資 訊 控 制 1 旅 後 墦 1►►汽 拂掠期 間 於 該 一 時 間 的電 子 柱 電 流 便 更 精 確 地 控 1 I 制 電 子柱位 置 〇 除 了 控 制 供給 絲 極 (38)與陰極 (4 0 )的電源 I 1 以 增 加電子 柱 脈 波 擊 中 透 射窗 (2 7)的m準度外 亦 可 由 微 1 1 處 理 器（6 5 )改變供給線 圈 (44) Λ (46) 、 (48)及 (5 0 )的電流 1 ! » 以 便更理 想 地 引 導 電 子 柱穿 過 透 射 窗 (27 ) 〇 1 | 為 了提供 反 饋 信 號 給 監 視器 (60) Μ 校 正 電 子 柱 擊 中 透 1 I 射 窗 (27 )時 沒 有 高 電 流 的 倒轉 情 況 9 可 在 欲 使 電 子 柱 擊 中 1 1 I 面 板 (2 2 )時給 予 低 電 流 或 殘餘 電 流 而 在 欲 使 電 子 柱 擊 中 1 1 透 射 窗（27)時 給 予 高 電 流。 於 高 狀 態 的 電 子 柱 電 流 可 能 1 1 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 在一毫安的大小，而於低狀態的電子柱電流可能在一微安 的大小，所Μ高、低電子柱電流的差距達一千倍。因此， 監視器（6 0)偵測到的電流可能是四個基本上不同的值之一 *視電子柱電流及電子柱撞擊前端之位置而定。第一個值 稱為”高通”，發生於高電子柱電流通過一透射窗（2 7)時， 被透射窗（2 7 )吸收的電子柱電流僅有微量被監視器（6 0 )偵 測到。監視器（6 0 )偵測到的第二個值稱為”高停”，所指情 況是，高電子柱電流撞擊在面板（22)上·，導致監視器（60) 偵測到相當大量的電流。第三個值稱為”低通”，發生於低 電子柱電流通過一透射窗（27)，所Μ此一低電子柱電流僅 有微量被透射窗吸收和被監視器（6 0 )偵測到。第四個值稱 為”低停”，發生於低電子柱電流撞擊在面板（22)上時。通 常，低通與高停信號藉由微處理器（65)的控制而減至最少 ，而高通與低停信號則受微處理器（6 5 )激勵。 圖4中雖未顯示，但是微處理器可控制多個此種裝置 (12)的電子柱強度與方向，並可接收與每一個別装置（12) 連接之電流監視器（6 0 )所產生的輸出。也請注意，微處理 器（6 5 )可架構電子柱掃描的強度和方向，Κ配合透射窗的 安排方式，而不須對微處理器（65)提供有關透射窗安排方 式的原始指令。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） I ，裝 訂 π (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 Φ0 大 一 定 並 端 後1 及 : 端 括前 包 一 ， 有 置具 装 ’ 柱體 子骰 電氣 種透 一 不 於 置 窗 射 透 的 透 穿 可 子 電 Λ 的 氣 透 不 r 的 •an 8 : 個 室個 ¥ 數 之複 空 端 遠 之 對 相 端 前 與 内 室 容 於 ♦ 位 處’ 端置 前装 室 生 容產 該子 近電 靠 颯上 前窗 向射 移透 速於 加焦 子聚 電 子 使 電 第 ， 使 圍 置 範 裝置利 度装專 速焦請 加聚申 子子如 電電2. 置 裝 之 項 及Μ 份 Rr 吾 大 窗 射 透 之 中 其 上 域 區 形 矩 等 此 於 焦 聚 即 子 電 第 ' 圍 域 範區 利的 。 專形 膜 請矩 薄申抵 晶如大 單 η 有 是 具 置 裝 之 項 份 β 咅 大 窗 射 透 之 中 其 I--------A-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 第域 圍 區 範的 利形 專 逷 請多 申抵 如大 4.有 具 份 β- 咅 大 窗 射 透 之 中 其 置 装 之 項 上 域 區 形 邊 多 等 此 於 焦 聚 即 子 電 第域第 圍區 _ 範的範 利形利 專圓專 請橢請 申抵申 如大如 5 有 6 具 項 置卩置 3Λ 裝 1 裝 項 其 其 隹·' 份„成 部 i 置 區 力吧㉟ 窗 Ξ 窗 圓0 0 0 罾等S 之tb之 中 中 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 成 置 設 窗 射 透 之 中 其 置 裝 之 項 1 ο 第陣 範的 利行 專直 請與 申列 如横 列7.有 一 具 第棋第 圍呈圍 範，範 f9l. 利 專横專 請數請· 申多申 如之如。 8 隔 9 的 間 坦 錯 交 為 窗 射 透 之 中 其 置 裝 之 項 βκ 樣 式 盤 棋 呈 平 為 抵 大 端 前 之 中 置 裝 之 項 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 SH282 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 10. 如申請專利範圍第1項之裝置、其中之前端大抵為彎 弧形/ 11. 如申請專利範圍第1項之裝置，、其中之前端大抵為细 長形，横貫連.接前端與後端之軸線而延伸· ( 1 2 .如申請專利範圍第1項之裝置 其中之透射窗呈壓縮 狀態扣持於前端。 1 3 .如申請專利範圍第1項之裝置' 進而包括量度裝置， 用以偵測電子撞擊前端之位置 14. 如申請專利範圍第13項之裝置 進而包括控制裝置 ，Μ使電子按照順序撞擊透射窗上 菡控制装置係與該度 量装置结合。 15. —種電子柱裝置〗包括： 一真空抽氣的不透氣殼體 具有一後端與一前端； 、 複數涸分離的 Τ透氣的’、電子可穿透的透射窗，置於 該前端； 絲極裝置/用Κ在殼體内產生電子； 電子加速度装置 味電子沿著從後端至前端的方向加速 移動 偏轉装晝•使電子橫貫該方向加速移動引導電子直接 撞擊在透射窗上；以及 定時裝置 茭該軌線裝置與聚焦裝置同步 '«而使電子 Μ連績脈波穿越至少二個透射窗 16. 如申請專利範圍第15項之裝置 進而包括量度装置 ，與該定時裝置结合 Μ偵測電子撞擊前端之位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -?- ---------^------tT------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 311232 A8 Pi 〇 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 17. 如申請專利範圍第15項之裝置 其中之透射窗大部 份為單晶薄膜 18. —種產生自由電子的方法，包括： 提供一真空管，其上具有電子產生與加速度裝置；並包 括在該真空管上由電子加速移注之一端，形成多數開口， 並在該端接合多數電子可穿透之透射窗，以使透射窗覆蓋 該開口； 從真空管霣空抽除氣體； 產生多數電子並使電子加速移向透射窗。 19. 如申請專利範圍第18項之方法，更包括使電子偏轉 移向連續的透射窗 2 0 .如申請專利範圍第1 9項之方法.更包括蒐集有關電 子撞擊前端位置的資訊，似及部份根據此等資訊來控制電 子的加速度與偏轉。 2 1 .如申請專利範圍第1 8項之方法更包括監視装置的 透射窗中有無孔口 '並包括找出透射窗中的孔口位置 Μ 及密封該孔口。 2 2 .如申請專利範圍第2 1項之方法、其中 產生電子並 使電子加速移向至少一個透射窗的步驟，包括使電子避開 含有密封孔口的透射窗 2 3 .如申請專利範圍第1 8項之方法 更包括Μ’膜磊晶生 長來形成透射窗 ’ 2~4 .如Μ靖專利範圍第2 3項之方法 唭中透射窗之形成 包括單晶薄膜之磊晶生長横跨·透射窗、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -3 - L--------—裝------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 5 .如申請專利範圍第1 8項之方法，其中，將透射窗接 合於一端而使透射窗覆蓋開口之步驟，包括使透射窗在壓 縮狀態横貫開口而接合於該處。 K--------i------IT------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 -