TW306075B - - Google Patents

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306075 Λ 6 Β6 經濟部中央標準局员工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 本發明乃測定溫度用熱電偶有關者。以往的這類熱電 偶有在陶磁製絕緣管中穿入電導體形式者’或將氧化鎂等 金屬氧化物的微粒狀物填充於由不銹鋼合金所構成耐熱性 合金製管狀物中將熱電偶線穿入而成之形式的護套（sheath )型熱電偶。 本文中所稱之熱電偶線係指作遇1重览1丄!1左1與〇 coup I e )之線形元件，以下簡稱爲熱電偶線。利用陶磁製 一 _一..一 絕緣管而達成絕緣功能的熱電偶缺少柔靱性且容量過大爲 其最大缺點。另外在高眞空中使用時，絕緣材料本身爲多 孔性且表面積大，所以還有吸附大量氣體的問題存在。 護套型.熱_電偶則因爲由耐熱性合金管子和熱電偶線所 構成，有外徑過大和末端處理困難等缺失。 本發明的目的在提供絕緣層薄而緊密，具有優異之柔 靱性，但不具備氣體吸附源的熱電偶。 本發明的熱電偶在熱電偶線的周圍覆蓋有金屬氧化物 層。 圖1示依據本發明在熱電偶線⑴的周圍覆蓋有金屬氧 化物層⑵的熱電偶。 本發明中金屬氧化物層係藉液膠凝膠法將分散有金屬 氧化物的前驅體微粒狀物的液膠調製後，浸漬熱電偶線於 該液膠中，以熱電偶線爲陰極，通電後將金屬氧化物的前 驅體微粒狀物附着在上面，再加熱處理而形成。 本發明中爲提升液膠分散媒的電介質常數（dielectric constant )，可添加有機化合物鹽以及/或金屬無機鹽。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙5t尺度边用中曲B家櫺準(CNS)甲4規格(210X297公*) 3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 S06GU__J36__ 五、發明説明（4 ) 本發明中用以浸漬熱電偶線的液膠（sol)，以相對 應於金屬氧化物的金屬醇鹽或金屬羧酸酯的加水分解反 應和縮合反應而調製者爲宜。 另外，金屬氧化物以含有氧化矽、氧化鋁、氧化锆 及氧化鎂所溝成群中選擇化合物的至少一種者爲宜。 浸漬熱電偶線液膠可含有陶磁類粉末，上述陶磁類粉 末以由裏母粉末、氧化矽、氮化矽、碳化矽、氧化錦、氮 化硼以及氮化鋁所溝成群中選擇化合物的至少一植者爲宜 Ο 本發明中，絕緣性陶磁層的有機金屬齊聚物 (ο 1 i gome r)以及有機金屬單體（monomer )以含有矽石、 氧化鋁、氧化锆、氮化矽、碳化矽、氮化鋁或其混合物或 局部安定化的氧化锆爲宜。 本發明中，熱電偶線的表面以經加熱而氧化處理者爲 宜。據上述氧化處理可提升金屬氧化物層對於熱電偶線的 緊密結合性。 本發明的第一種較佳實施形態乃係設置絕緣性陶磁層 於金屬氧化物層的外面。上述絕緣性陶磁層乃由有機金屬 .$聚合物、有機金屬齊聚物以^友有機金屬單體中至少一種加 以加熱分解而形成。 上述第一種實施形態中，絕緣性陶磁層係由含有有機 金屬聚合物，有機金屬齊聚物以及有機金屬單體中至少一 種的適當濃度溶液，重複施行塗布和燒成工程而形成爲宜 。換言之，將每次塗布燒成所形成的皮膜厚度設法降低， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂_ 本紙張尺度遑用中B國家搮準(CNS)甲4規格(210X297公龙) 4 Λ6 13 6___ 五、發明説明（5 ) 層積薄膜層而完成爲宜。由上述薄膜層的層積’可使旣使 金屬氧化物層表面有龜裂或多凹凸不平處’上述絕緣性陶 磁層會滲透入龜裂或凹凸處令其變成平滑狀。因此’形成 金屬氧化物層中含浸有絕緣性陶磁層之情形。 圖2示依據第一種實施形態的實施例的斷面圖。參照 圖2可知熱電偶線（11)的周圍設置有金屬氧化物層〇2) 。另外金屬氧化物層（12 )的周圍設置有絕緣性陶磁層 (13) ° 本發明的第二種較佳實施形態，乃在金屬氧化物層的 。上述耐熱性有機樹脂層 外面設置有耐熱性有機i桑适醯胺、聚醯胺亞醯 胺以及矽氧橡膠樹脂所構成群中選擇而得之化合物爲宜。 上述耐熱性有機樹脂層在30 Ot以下環境中，能發揮金屬 氧化物層的有效保護層的功能，並能提升可撓性或耐耗 損性。 圖3示第二實施形態的一種實施例的斷面圖。由圖中 可知熱電偶線（21 )的周圍設置有金屬氧化物㈣ °金 屬氧化物層（22)的周圍設置有耐熱性有機樹脂層（23)。 經濟部中央標準局员工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再蜞寫本頁) 熱電偶乃利用傑貝克效果所致熱起電作用的計測溫 度有關技術。上述熱起電作用的大小和所接觸二種金屬 的組成有關。因此，日本專利特願平1-322376號所記載 那種容易附着陶磁的不銹鋼等合金，無法形成在熱電偶 線的表面。 本發明係浸漬熱電偶線於分散有金屬氧化物的前驅 體微粒狀物的液膠中，以熱電偶線爲陰極經導電後使金 本紙张尺度逍用中B B家標準(CNS)甲4規格(210X297公釐) 5 經濟部中央標準局员工消#合作社印製 Λ 6 13 6 五、發明説明（6 ) 屬氧化物的前驅體微粒狀物電泳而析出在熱電偶線表面 而成。 另外，本發明中爲增加液膠的電泳效率，得添加有 機化合物鹽和/或無機鹽。據此，提升電泳效率，能在 較低的施加電壓和/或較短的通電時間裏*將金屬氧化 物的前驅體微粒狀物附着在熱電偶線表面上。結果可形 成厚陶磁之覆蓋層。 上述可提升分散媒的電介質常數的有機化合物鹽， 有相間移動催化劑所使用的有機銨鹽等。另外，金屬無 機鹽可使用選自鋁、鎂、鉀和锆之硝酸鹽、硫酸鹽、氯 化物以及氫氧化物所痛成之群中得之至.少一種化合物。 更進而獲得大而厚的膜，可以混合陶磁的微粉末在 上述金屬氧化物前驅體的液膠中。上述陶磁的微粉末可 使用由雲母粉末、氧化矽、氮化矽、碳化矽和氮化鋁所構 成群中選擇之至少一種化合物。 又上述第二種實施形態中，在所形成金屬氧化物層的 外面，再設置以絕緣性陶磁層。上述絕綠性陶磁層由有機 金屬聚合物、有機金屬齊聚物和有機金屬單體中至少一種 經加熱分解而形成。因此，金屬氧化物層表面有龜裂或凹 凸不平存在，由所設置的絕緣注陶磁層，可使熱電偶表面 變成平滑狀。藉上述平滑狀可使表面積變小而減少氣體吸 附源。因此，依據本貢施例形態所得熱電偶，尤其適合於 超高眞空中用途。 依據本發明，使厚度變薄也能獲得高絕緣性，所以能 本紙張尺度遑用中國困家搮準(CNS)甲4規格(210X297公货） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 6 θϋβΟ 75 Β6 五、發明説明（7 ) 降低絕緣膜之厚度，而成爲具有可撓性者。 上述第二植實施形態下，由於具有優異之柔靱性的耐 熱注有機樹脂層覆蓋在金屬氧化物層上’因此整體而言， 可變成更具有優異之可撓性的熱電偶。 圖面的簡單說明如下： 圖1示本發明實施例之一的斷面圖。 圖2示本發明另一實施例的斷面圖。 圖3示本發明又一實施例的斷面圖。 實施本發明的最佳形態擧實施例說明如下： 實施例1 首先在大氣中，9 OOt下分別就熱電偶線的直徑1. 〇mm CA熱電偶正極部分（以鎳和鉻爲主的合金製）和負極部分 (以鎳爲主的合金製）加熱處理15分鐘。 另外在含有四乙基原矽酸鹽4莫耳％，水4〇莫耳％以 及乙醇56莫耳％的混合溶液中，以四乙基原矽酸鹽的莫耳數 計添加百分之一量的硝酸，並在80C下反應2小時而調製液 膠。對於上述液膠溶液l〇〇ml在室溫下添加硝酸鋁六水合物 l〇mg 〇 \ 浸漬上述熱電偶線於上述調製好的液膠中，導20 〇V的 直流電壓加印5秒鐘。從液膠中取出熱電偶線，觀察結果在 表面上形成有10/^1左右的白色凝膠膜。 將塗布有凝膠的正極和負極部分的各熱電，線在670t 下加熱處理10分鐘。形成有加熱後膜厚爲2Pm的矽氧一氧化 錦複合膜。 按上述所得熱電偶線正極和負極末端加以熔融粘接，提 本紙張尺度適用中a S家樣準（CNS)甲4規格（210x297公嫠） {請先M讀背面之注意事項再填寫本页) .裝. •J· ::線· A6 B6 五、發明説明（8 ) 供熱電偶用途結果70(TC爲止皆能獲得良好成績。 以下就金屬氧化物層的外面再設置絕緣性陶磁層的實 施例說明之。 實施例2 在大氣中，分別將熱電偶線的直徑爲〇. 65mm的CA熱 電偶的正極部分（以鎳和鉻爲主成分的合金）和負極部分 (以鎳爲主成分的合金）80Q°C下加熱處理15分鐘。 其次調配四乙氧基锆5莫耳％，水8莫耳％，乙軒10莫 耳％以及丁醇77莫耳％的混合溶液，於室溫下攪拌2小時而 得液膠溶液。按上述液膠溶液l〇〇ml計，在室溫下添加2g 的硝酸釔六水合物。 浸漬上述熱電偶線於上述調製得液膠溶液中*導入 200V的直流電壓施行30秒鐘加印處理。結果在熱電偶線表 面形成以凝膠計20Pm左右的白膜。 按上述塗布有凝膠的熱電偶線的正負極部分，在9〇(Tc 下加熱10分鐘後，冷却之。冷却後形成有2m厚的釔局部 安定化氧化锆膜。 其次，在氮氣中，混合以1 ，1 ，1，3，3，3 -六 甲基矽氨烷4〇g和三氯化矽烷15g，在70eC下攪拌5小時。 繼之在160eC下進行蒸餾去除所形成副產物。然後在12〇4C ，5mm Hg施行眞空蒸餾完全去除副產物而得聚矽氨烷。 上述副產物主爲三甲基氯矽烷和寡矽烷。聚矽氨烷以 甲苯稀櫸5倍而得含有陶磁前驅體的塗布溶液。 浸漬上述形成有釔局部安定锆膜之熱電偶線於上述塗 (請先聞請背面之注龙事項再填莴本頁) .裝· •打. .線· 本纸張尺度適用中aa家標準(CNS)T4規格(210x297公釐）8

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•T A6 B6 五、發明説明（9) 布溶液中。按上述方法將塗布溶液塗布在熟電偶線的外表 後，在氮氣流中，700 °C下加熱1〇分鐘。總計重複上述塗 布和加熱工程10次。 所得熱電偶線採取3 〇cm長的試樣。在上述試料上每隔 大約50mm地方分四處分別大約長1 〇mm的部分，以〇 . 〇 2mm 厚的白金箔加以緊密地捲住後，用6〇Hz的交流電壓導入導 體-金屬箔之間施行加印，結果在；5 00V下絕緣顯示破壞。 將絕緣電線加以彎曲，結果彎曲爲直徑5〇rnn也能保持絕緣 特性。將上述熱電偶線加以熔融粘接提供熱電偶用途，結 果到700eC爲止尙能保持良好效果。 本熱電偶線的表面狀況，依據IS04 68-1982的表面粗 度測定法，其中均粗 度（Ra)爲0.03Pm，最高（Ry)爲 0.2 lPm，上述測定係藉美國s 1 oan公司製的表面形狀測定 儀Dektak 30 30型，觸針徑〇 · 5触，針壓l〇mg，標準長爲 50^n，來用切斷濾器而測定者。 實施例3 使用實施例2所採用相同熱電偶線，並按實施例2同樣 在大氣中進行加熱處理。 在含有丁醇锆10莫耳％和甲醇胺20莫耳％的正丁醇溶液 中，按丁醇锆計加入2·1倍莫耳量以二乙二醇單甲醚所稀釋 的水，並在110°C下攪禅2小時調製得塗布溶液。 將加熱處理後的熱電偶線浸漬上述塗布溶液中，把塗布 溶液塗布在熱電偶線外表後，氮氣流中，用8〇(Tc加熱10分 鐘。上述塗布和加熟工程總計重複施行10次。 表紙張尺度適用中a 8家樣準（CNS) T4規格（210x297公釐） {請先閏ii背面之注意事項再填寫本頁) •裝· *«.'· 9 A6 B6 五、發明説明（10 ) 由所得熱電偶線採取長30 cm的試料，然後在每隔大約 50mm處，分四個地方分別在大約lOmn長部分，用〇 . 02ιπη 厚的白金箔緊密地加以捲住。 導體-金屬箔之間，以60Hz交流電壓施行加印結果在 700V絕緣顯示破壞。絕緣電線加以彎曲結果，彎成直徑 ΙΟΟιπη也能保持絕緣特性。 所得熱電偶線的表面，按實施例2所述相同方法評估 之。其中心線平均粗度（Ra)爲0 . 〇5An，最高〔Ry)爲 0。48户m 〇 實施例4 使用實施例2所採用相同熱電偶線，首先在大氣中按 實施例2所示相同方法進行加熱處理。 其次溶解聚硼二苯基矽氧烷（SiPh2 - 0 - B02)n於 甲苯中調製成10重量％溶液。 浸漬熱電偶線於上述塗布溶液中，將塗布溶液塗布於 熱電偶線的外表後，在氮氣流下，以600 °C加熱1〇分鐘。 將上述塗布和加熱工程總計重複施行20次。 由所得熱電偶線採取3〇 cm長的試料，在試料上大約每 隔5 Oran處，分四個地方分別大約1 Omm長部分，用〇 · 02nm 厚的白金箔緊密地加以捲住。導體-金屬箔之間用60Hz的 交流電壓施加結果，在500V顯示絕緣破壞。 絕緣電線加以彎曲成爲直徑3〇mm狀，尙能保持絕緣特 性° 將上述熱電偶線熔融粘接提供熱電偶用途700爲止 本纸Λ尺度適用中Β®家標準（CNS)f 4規格（210x297公釐） ]〇 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. •訂· .線· A6 B6 __ 五、發明説明（11 ) 尙能保有良好結果。 按貿施例2同樣方法評估熱電偶線的表面狀況，其中 心線平均粗度Ua)為〇· 〇2卢m，最高（Ry)爲0.25卢m 〇 金屬氧化物之外面再設置耐熱有機樹脂層者擧實施例 說明如下： 實施例5 首先，將直徑〇.32mm的CA熱電偶的正極部分（以鎳 和鉻爲主成分的合金）和負極部分（以鎳爲主成分的合金） 的電線分別在大氣中以800 °C加熱處理15分鐘。其次，調 配由四丁氧基锆5莫耳％，水8莫耳％，乙酐10莫耳％以 及丁醇77莫耳％所成混合溶液，在室溫下攪拌2小時而成 爲液膠溶液。按液膠溶液100ml計，在室溫下添加硝酸釔 六水合物2g。 浸漬上述熱電偶線於上述調製成液膠中，用200V的直 流電壓施加2分鐘，結果在熱電偶線表面上以凝膠計形成 70^η左右厚度的白色膜。 按上述塗布有凝膠的正極和負極部分的各熱電偶線在 9〇〇°C下加熱處理1〇分鐘後，冷却之。冷却後形成5ium厚的 釔局部安定化锆膜。 繼之，用N -甲基-2 -吡咯烷酮稀榉杜邦公司製聚亞 醯胺淸漆C型號Pyre ML)〗6重量％者成爲5重量％，然後 塗布於陶磁被覆熱電偶線上。在4〇〇°c爐中以每分鐘3.5m 速度經過而施行燒成處理後，形成厚的聚亞醯胺膜。 所得材料測定其破壞絕緣電壓結果爲1. 6KV。可撓注 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本页) •装. •訂. •線· 本紙張尺度適用中B國家樣準(CNS)甲4規格(210x297公釐） 11 谷 06G75 a6 _ B6_ 五 '發明説明（12 ) 則纒繞在直徑1mm的圓筒上的熱電偶線，膜上並未發生龜 裂現象。單向式磨損試驗値爲52〇 g，來回式Cw = 0.6 kg) 爲12次，_示耐磨損性良好結果。 將正極和負極部分的各熱電偶線末端加以熔融粘接提 供熱電1禹用途，到700 °C爲止獲得良好效果。 實施例6 分別準備好直徑0. 1 6rmi的CA熱電偶的正極部分（以 錁和鉻爲主成分的合金）和負極部分（以錁爲主成分的合 金）的熱電偶線。 其次，在含四乙基原矽酸鹽4莫耳％，水40莫耳％， 乙醇56莫耳％的混合溶液中，按四乙基原矽酸鹽的莫耳數 計，將一百分之一量的硝酸滴加後，在80°C下反應2小時 而調製成液膠溶液，再混合以據稱粒徑爲的雲母粉末 5g而調製得電解溶液》 浸漬上述熱電偶線於上述調製得液膠中，用35〇v的直流 電壓加印2分鐘，結果在熱電偶線表面形成2⑽m左右厚的 白色膜。 按上述塗布有凝膠的正極和負極部分的各熱電偶線， 經濟部t央懔111-而9工消'!''合作杜卬货 {請先閲讀背面之注意事項再瑱寫本頁) 以100 〇C加熱1小時後急冷之。冷却後形成有1 8pm厚的氧 化矽。雲母複合膜。 其次，稀釋矽酮樹脂H - 19- 2(日本東麗-DOW Corn ing公司製品）於二甲苯中調製得1〇 %溶液。塗布上 述矽酮樹脂溶液於上述形成有氧化矽，雲母複合膜的熱電 偶線外面，在300 °C下加熱5分鐘。重複上述塗布和加熱燒 本纸張尺度逋用中國國家樣準（CNS)甲4規格（210x297公釐）12 A6 B6 五、發明説明（13 ) 成處理5次而得1 om厚的塗膜。 評估所得熱電偶線結果，破壞絕緣電壓爲1. OKV。其柔 靱性則纏繞在直徑lmrn的圓筒上，其膜也未發生任何龜裂現 象0 將正極和負極部分的各熱電偶線末端加以熔融粘結，提 供熱電偶用途，發現到700 °C尙能保持良好結果。 本發明有關熱電偶在產業上之用途，擧例言之，需要耐 熱性或超高眞空中使用時最能發揮其優異性能。 (請先閲讀背面之注意事項再瑱筠本頁) •裝. •打· •線· 嫂濟邾t央標11'局Η工消"合作杜印" 本纸ft尺度逋用中國囲家標準(CNS)T4規格(210x297公釐）〇

Claims (1)

1. 第80106972號專利申請案 申請專利範圍修正本 (----------- U 5年本I 1病Jj 4 i > 丨補宄 :1 . 一種J靈遇之製造方j去，包括下列之JT程':一 1 準備熱雷偶線之製程； 使余驅醇塩或金臛羧酸酯經加木分解反應和縮合 氐應而調製疲g (so丨）之製程； 將有機化合物塩與金霉之無機塩之至少任一種添 加於上述掖_之製程； 將上述之.熱電興綠浸漬於添加有上述之及之液曝 中，並且以上述熱電偶線_為陰楔通以電流而使余属氧 扎物之前驅體撤粒狀物隊:1於該激電偶線之製程；以 及 將附箸有上述微粒狀物之熟霍偶線予以加熱處理. 而在該熱電偶線上#域金屬氣化物層之製程者（ 2 .如申請專利範圍第1項之熱電偶之製造方法，其中，該 | 液_膠倦含有陶磁粉末者。 3. 如申請專利範圍第1項之熱電偶之製造方法，其中，金 屬氣化物層你含有由氣化矽，氣化鋁，氣化結以及氣 化鎂所構成化合物群中之至少一種化合物者。 4. 如申請專利範圍第2項之熱電偶之製造方法，其中，該 ，掏磁粉末像為由雲母粉末.氧化矽，磺化矽，氡化矽. 氣化鋁，Μ化硼和氮化鋁所構成群中選擇至少一種而 成者。 5. 如申請專利範圍第1項之熱電偶之製造方法，其中，熱 表紙張尺度適用中國國家標準（CMS )Α4規格（2丨0Χ 297公釐） ] Η 者 fw*·-- II 處 化 氣 加 施 rr 面 表 在第外 熱一圍的 加一範層 經利物 偽專化 線請氣 偶申 羼 電如金 6 在 中 其 法 方 谄 製 之 熱 之 項 有 物 合 聚 屬 金 機 有 JJ τη 有 備 外 0Ρ 面 至 之 中 醱 。 單者 驅 層 金磁 機陶 有乱 及緣第 以絶圍 物的範 聚成利 齊形專 屬而請 金解，申 機分如 熱 加 經 種 該 中 其 法 方 造 1¾ 之 Π% 1MB*— ^ΒΓ 熱 之 項 β, 體烷 單 矽 羼化 金硪 機聚 有 -或烷 物氨 0 矽 齊聚 颶 · 金塩 機酸 有機 , 有 物屬 合 金 聚 ， 羼 塩 金 醇 機騰 有金 該 中 其 法 方 造 製 之 mP* 俱 響 熱 之 項 6 。 第 者圍 烷範 氣利 矽專 硼請 聚申 或如 8 含鋁 俱化 體氮 眞 3马 · EB矽 金化 機磺 有 . 或矽 物化 聚気 齊 · 鼷結 金化 機氣 有 ， 的鋁 層 化既， 性石 M. 0 龙有 者 結 化 氣 的 化 定 安 部 局 或第 物圍 合範 混 利 之專 述請 上 申 或如 9 法 方 造 0 Λ3 之 ajaj 借 lyat I^sr 熱 之 項 該 中 其 者 層 HH 樹 * ^ 有M醯 i 之 性禹亞 熱1聚 » A'由_ 熱 ， 有 -有 之 備 — 含 項 再 9 偽 面第層 外圍脂 之範樹 物利機 化專有 氣請性 B申熱 金如耐 該 中 其 胺 醯 亞 胺 酷 聚 者 轉 一 少 至 中 其 擇 選 m 群 物 合 化 成 構 所 脂 樹 酮 及 以 第 圍 範 利 專 請 ·· 申 備 以 具 像 ， , 者 ffi造 屬製 激所 種法 一 方 之 項 --- 任 中 項 化 氧 由 像 層 緣 絶 該 M 之 線 及偶 以 電 ; 熱 線述 偶ί 上 電' 覆 熱' 包 中 ~ 群 S J ffl 物 1 合 徑 化 直 之且於 成而繞 構.，捲 所成可 M而線 化物^偶 氣化電 ¾氣熱 以颶之 結舍覆 化種包 氣一層 、 少線 鋁至 絶 化之由 氧擇該 、 選 矽 所 本紙張尺度適用中國國家標準(.C N S ) A 4规格（210 X 297公梦）〇 H3 1 00b 1»之圓筒， 而捲繞於該圓筒後仍能維持絶綠性者。 12 •如 申 請 專 利 範 圍 第 11 項 之 熱 電 偶 * 其 中 > 該 熱 電 偶 線 之 表 面 偽 經 加 熱 施 加 氣 化 處 理 者 〇 13 如 串 請 專 利 範 圍 第 11 項 之 熱 電 偶 t 其 中 1 在 該 ψ 緣 層 之 外 表 面 又 具 備 由 有 機 金 羼 聚 合 物 t 有 機 金 屬 齊 聚 物， 以 及 有 機 金 驅 單 體 中 之 至 少 種 經 加 熱 分 解 而 形 成 之 絶 緣 性 陶 磁 層 者 〇 1 4 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 3 項 之 熱 電 偶 » 其 中 t 該 有 an 機 金 饜 聚 合 物 1 有 機 金 屬 齊 聚 物 或 有 機 金 羼 OCI m 體 係 金 羼 醇 塩， 金 颶 有 機 酸 塩 聚 矽 氨 院 1 聚 m 化 &9 烷 t 或 聚 硼 矽 氧 烷 者 C 15 如 申 請 專 利 範 圍 第 1 3 項 之 熱 電 偶 1 其 中 % 該 絶 緣 性 陶 磁 層 的 有 機 金 驅 齊 聚 物 或 有 機 金 屬 單 m 含 有 的 石 t 氣 化 鋁 < 氣 化 m t Μ 化 矽 i m 化 矽 » 氙 化 鋁 或 上 述 之 混 合 物 或 局 部 安 定 化 的 氣 化 結 J-tL C 1 6 如 請 專 利 範 圍 第 11 項 之 熱 電 偶 其 中 ♦ 該 金 羼 氣 化 物 之 外 面 再 備 有 耐 熱 性 有 機 樹 脂 層 者 c 17 如 窜 請 專 利 範 圍 第 1 6 項 之 熱 電 偶 * 其 中 » 該 耐 熱 性 有 機 樹 脂 層 至 Φ 含 有 由 聚 亞 酸 胺 » 聚 醯 胺 亞 酸 胺 以 及 m 樹 脂 所 構 成 化 合 物 群 中 m 擇 其 中 至 少 一„. 種 者 ：> ——1 8 種 Μ .重. 偶 J 俗 以 申 謓 專 利 範 圍 第 1〜1 0項中任- -項之 V 方 法 所 製 造 者 1 具 備 * 熱 電 铒 以 及 包 覆 該 熱 電 偶 線 之 絶 緣 麗 * 該 绝 緣 層 傜 由 氣 化 矽 、 氣化鋁、 氣化結以及氣化鎂所構成之化合物群中所 本紙張尺度適用中國國家標準（C:NS )A4規格（210 X 297公釐） 3 5 / G 6 ϋ 3 Η 化 氣 末 粉 母 雲 由 及 以 ' 物 化 氣 颶 金 -1· # | 少 至 之 擇 選 所 鋁 化 ， 氡 且 及而 以 ； 硼成 化而 氛末 , 粉 鋁磁 化陶 氣 之 . 擇 矽選 化中 氡群 . 物 矽 合 ^ib 磺之 , 成 矽構 徑 直 於 繞 捲 可 俱 線 0¾ 倡 熱 之 覆 包 層 緣 絶 由 該 者 性 緣 絶 持 維 可 仍 後 筒 圓 It 於 嬈 捲 而 筒 圓 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（ 210X 297公Ο 4