A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (, ) 1 1 本 發 明 係 有 Μ 一 種 根 據 串 請 専 利 範 園 第 一 項 前 部 份 1 1 所 述 具 白 動 調 整 接 Η 位 置 的 半 導 體 配 置 及 其 製 造 方 法 〇 1 I 專 利 US -A4 , 729 , 969 曾 提 出 具 白 動 調 整 接 觸 位 置 的 半 請 1 1 導 體 配 置 〇 該 處 所 述 之 半 導 9S 配 置 特 激 為 具 有 一 個 電 極 先 閱 1 I 讀 1 或 接 觴 面 t 其 不 只 在 一 個 欲 接 觸 的 摻 雑 區 上 方 延 伸 » 更 背 1 孔 對 之 1 伸 展 到 一 個 與 此 摻 雜 區 相 鄹 的 絕 緣 區 上 方 0 接 觸 相 注 I 意 I 於 摻 雜 而 設 置 並 在 絕 緣 區 上 方 〇 此 處 所 達 到 的 是 ： 兩 事 項 1 I 再 1 1 m 在 第 * 個 横 向 上 相 鄰 之 欲 接 m 摻 m 區 中 9 其 中 個 具 填 寫 本 有 上 述 之 接 觸 面 * —~- 個 具 有 只 在 摻 雑 區 上 方 的 般 接 觸 頁 1 面 • 摻 雜 區 可 儘 量 彼 此 儘 量 彼 此 靠 近 参 而 不 會 使 相 對 應 1 1 之 接 觸 之 閭 的 最 小 距 離 未 被 達 到 〇 兩 接 觸 中 之 一 接 觸 相 1 | 對 於 相 對 應 之 摻 雜 區 而 設 定 在 背 向 另 一 接 觸 的 方 向 中 並 1 1 位 在 相 對 應 之 m 緣 區 上 方 〇 η 1 上 述 方 法 的 缺 點 為 9 在 第 一 個 横 向 上 相 鄰 之 欲 接 摻 1 I 雑 區 有 兩 個 Μ 上 時 » 不 能 達 到 預 期 的 结 果 即 1 多 個 相 1 1 郾 之 摻 雑 區 彼 此 具 有 一 儘 量 小 的 距 離 0 若 兩 相 對 應 之 接 1 I 觸 間 一 定 要 達 到 最 小 距 離 時 » 則 依 據 上 述 方 法 只 能 減 少 | 兩 相 對 應 之 摻 雜 區 間 的 距 離 〇 但 若 第 一 個 横 向 上 的 摻 雜 1 1 區 的 尺 寸 不 能 被 放 大 » 且 所 有 接 觸 間 要 保 持 一 涸 相 同 的 1 | 最 小 距 離 時 則 甚 至 必 須 放 大 摻 雜 區 至 與 其 相 郾 之 摻 雜 1 1 區 間 的 距 離 〇 所 提 出 接 觸 面 的 结 構 因 此 不 容 許 在 規 則 的 1 1 结 構 中 K 最 小 容 許 摻 雑 區 之 間 的 距 離 來 配 置 摻 雜 區 及 絕 1 I 緣 區 0 1 1 若 如 US Α4 ,729 ,969 所 建 議 3- $ 兩 相 鄰 摻 雜 區 的 接 觸 在 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210x29*7公犛） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ ) 1 1 各 相 反 方 向 上 相 對 於 摻 雜 區 而 設 置 時 * 則 問 题 更 為 嚴 重 1 1 〇 雖 然 9 (接觸間保持相同的最小距緘） 可 使 該 兩 摻 雑 區 1 I 彼 此 更 接 近 « 但 卻 由 於 至 其 他 與 此 相 郾 之 摻 雜 區 的 距 離 /·—N. 請 1 1 而 造 成 成 本 增 加 0 龙 閱 1 I 讀 1 1 本 發 明 的 檷 的 在 提 供 一 種 半 導 體 9 該 半 導 體 配 置 可 在 背 面 1 個 欲 接 之 1 第 —* 個 檐 向 上 Μ —- 個 儘 量 小 的 距 離 規 則 地 排 列 多 注 I 意 I m 之 摻 雑 區 〇 事 項 1 I 再 1 1 本 發 明 之 巨 的 藉 申 請 專 利 範 園 第 1 項 的 半 導 體 配 置 及 填 申 請 專 利 範 園 第 13項 的 製 造 方 法 而 得 >λ 達 成 〇 本 發 明 的 % 本 頁 衣 1 其 它 形 式 猜 參 見 申 請 專 利 範 醒 各 附 颶 項 〇 1 1 本 發 明 排 除 了 上 述 先 前 技 術 的 缺 點 〇 藉 使 接 觭 孔 各 設 1 I 定 在 摻 雜 區 的 相 同 側 » 而 得 Μ 設 多 個 具 有 接 觸 位 置 之 相 1 1 郾 摻 雑 區 « 其 中 所 有 相 郯 摻 雜 區 間 的 距 離 Μ 及 所 有 相 鄰 1T 1 接 m 間 的 距 鐮 皆 可 被 最 小 化 〇 本 發 明 之 方 法 可 實 現 具 極 1 I 有 規 則 结 構 的 半 導 體 配 置 Ο 尤 其 可 使 摻 雜 區 間 的 距 離 及 1 1 接 m 之 間 的 距 離 皆 一 樣 大 〇 若 摻 雑 區 與 接 m 孔 具 相 同 的 1 | 尺 寸 9 則 摻 雜 區 間 的 距 離 可 與 接 觸 孔 間 的 距 離 一 致 〇 I 本 發 明 亦 可 Μ 有 利 的 方 式 製 造 半 導 體 配 置 » 其 中 摻 雜 1 1 區 間 之 基 體 表 面 有 導 電 區 ， 此 導 霣 區 被 絕 緣 區 包 園 〇 此 1 1 種 導 霣 區 可 為 霉 晶 體 的 閘 極 〇 包 園 導 霣 區 的 絕 緣 區 在 與 1 I 摻 雑 區 相 鄰 之 兩 fil 上 構 成 電 晶 體 的 源 極 及 汲 極 〇 1 1 本 發 明 特 別 適 合 用 來 實 現 結 構 具 強 烈 規 則 性 且 可 接 觸 1 I 多 個 緊 密 相 鄘 之 摻 雜 區 的 半 導 體 配 置 〇 例 如 儲 存 器 配 置 1 1 » 尤 其 是 動 態 儲 存 器 (DRAM) 〇 4- 單 電 晶 體 之 DR AM儲 存 單 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國阈家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 1 元 一 般 具 有 一 届 m 擇 電 晶 體 及 一 個 賭 存 單 元 電 容 器 〇 若 1 1 DRAM 儲 存 單 元 以 叠 团 屬 霣 容 器 技 術 設 計 時 9 則 儲 存 單 元 電 1 I 容 器 配 置 在 電 晶 體 上 方 〇 依 據 本 發 明 可 Μ 有 利 的 方 式 9 請 1 1 利 用 相 同 的 程 序 藉 助 白 動 m 整 之 接 觭 位 置 而 在 位 元 線 與 先 閱 1 I 讀 1 霄 晶 體 通 埴 終 端 (源極及汲極） 之 一 之 間 製 造 位 元 線 接 觸 背 \i} 1 I 1 並 在 電 晶 體 的 另 — m 通 道 終 端 與 電 晶 體 上 方 的 儲 存 單 1 | 意 I 元 霄 容 器 之 間 製 造 所 謂 的 厂 内 部 接 觸 J 〇 在 白 動 調 整 之 事 項 1 I 再 I 1 接 觴 位 置 中 * 接 m 面 不 是 以 石 版 照 相 術 (又稱光學技術） 填 寫 確 立 参 而 是 Μ 巳 具 有 的 结 構 而 確 立 〇 本 頁 1 本 發 明 尤 其 使 半 導 體 的 製 造 可 使 用 所 m 的 厂 最 小 光 檷」 1 I 0 最 小 光 柵 是 所 謂 厂 最 小 設 計 規 則 J 的 兩 倍 〇 最 小 設 計 1 I 規 則 相 當 於 一 欲 製 造 之 结 構 的 最 小 尺 寸 9 且 相 當 於 當 小 1 1 設 計 規 則 〇 若 有 镉 差 係 由 於 製 造 容 許 度 或 專 業 人 貝 所 知 訂 1 之 和 技 術 有 關 之 影 響 〇 1 I 若 接 觸 面 在 絕 緣 上 方 延 伸 的 長 度 為 兩 结 構 間 所 使 用 1 1 技 術 所 容 許 的 所 m 厂 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 J 的 兩 倍 時 » 對 1 | 利 用 最 小 光 柵 來 製 造 的 半 導 體 配 置 特 別 有 利 〇 該 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 從 每 一 絕 緣 區 朝 向 各 白 摻 雜 區 的 疽 一 側 開 始 1 1 〇 邊 緣 位 置 誤 差 是 兩 個 欲 製 造 之 结 構 之 邊 緣 的 相 互 間 之 1 I 鴒 差 (0 f f s e t ) • 因 尺 寸 之 誤 差 及 調 整 誤 差 而 造 成 〇 依 據 1 約 略 之 規 則 • 此 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 等 於 Μ 上 所 定 義 之 最 1 1 小 設 計 規 則 1 | 的 三 分 之 一 〇 1 1 若 接 觸 面 具 上 述 之 構 造 1 則 半 導 體 配 置 可 利 用 最 小 光 1 ! 檷 實 現 參 因 為 製 造 接 觸 孔 時 (其如上述在第-5- -個横向上 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 294828 a7 B7五、發明説明（4 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 緣短觸明的。位右 摻方情緣出 下摻於部面面 實發 邊之接發孔，一 緣左 在上之邊若 於此現一觸觸 能本 ^口 大期之本觸if1* 上 面區差大故 明於出第接接。可若 最預應。接 W 大向 觸緣誤最，。說對能與個證路不。 到可對用於 _ 最横 接絕置少方面將相只明 一保短皆面 達不相之等 一 是在位至上觸δ(，差發下可現今觸 易現護止寸Eg每第 份面緣上區接一方誤本由這出至接 輕出保终尺B1由在 部觴邊之雜之 上置據且，間準之 可間可刻的 Η 生 · 一接無份摻連-1區位根，度面水整 整構況蝕上 Μ 產離 第是在部到相*-雑緣份度長觸術調 調结情為向 Μ 置距 中份若一伸生 摻邊部長的接技動 差之一作横 Μ 配的 其部造第延產 於故二的差在他自 誤造每是一i;*之緣 ，二製於而保 9 成。第差誤會其種 a)製在面第δρ±中» 成第的伸此確96形差於誤置不及此 則欲中觸在)a正面 構 ·份延因可9,只誤由置位亦以個 規在其接面則方觸 份份部份且亦72份置。位緣時準多 計會，該觸規上接 部部二部，時4,部位中緣邊造水的 設不免，接計面至 兩的第二度差US一 緣造邊大製術柵 小而遴刻的設觸度 由伸。第長誤利第邊製大最柵技光 最，被蝕例小接長 可延份使的置專使現的最此光述小 於差路行胞最在的 面方部，差位之法出份於為小上最 等誤短進實(=孔差 。《上的成誤緣述方未部β亦最據用 寸置。上此寸觸誤是接區伸完置邊上該區二重除用根利 尺位路面之尺接置皆 雜延況位規),雜第份去利 現 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21〇Χ297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ ) 1 1 明 之 接 觸 面 像 平 常 一 樣 配 置 在 摻 雜 |||^ 上 方 之 中 央 • 只 要 1 1 沒 有 邊 緣 位 置 誤 差 • 則 接 觸 面 於 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 之 長 1 1 度 有 意 義 地 延 伸 於 每 一 接 觸 孔 兩 側 之 絕 緣 匾 上 方 9 使 得 請 1 1 接 觸 面 具 有 最 小 設 計 規 則 的 之 尺 寸 5/ 3 • 接 觸 孔 可 無 問 先 閱 1 I 讀 1 題 地 設 在 其 上 〇 若 將 此 结 m 以 最 小 光 柵 實 琨 9 則 像 本 發 背 τέ 1 I 明 之 物 件 般 若 無 邊 緣 位 置 誤 差 時 9 接 觸 面 間 的 矩 離 將 等 冬 1 | 意 I 於 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 〇 琨 今 若 製 造 半 導 體 配 置 時 • 調 整 事 項 1 I 再 1 1 兩 相 鄰 之 接 觸 面 使 每 一 接 觸 面 在 另 一 接 觸 面 的 方 向 上 填 有 邊 緣 位 置 誤 差 * 於 是 加 上 這 些 邊 緣 位 置 誤 差 9 故 導 寫 本 頁 衣 1 致 兩 接 鵑 面 之 重 叠 〇 1 1 在 現 今 之 技 術 水 m 中 若 Μ 相 同 的 石 版 照 相 術 製 造 m 相 1 I 鄺 之 接 觸 面 則 其 彼 此 間 之 距 離 需 等 於 最 小 設 計 規 則 0 1 1 其 同 樣 不 能 Μ 最 小 光 urn flte 實 現 〇 訂 I 專 利 US -A4 , 7 2 9 , 969亦不可能以最小光柵實現， 這 由 該 1 I 處 的 假 設 便 已 知 0 其 假 設 接 觴 間 的 距 離 不 同 於 摻 雜 區 間 1 1 的 距 離 * 接 觸 面 及 摻 雜 區 之 規 則 配 置 9 如 上 述 9 是 不 可 1 I 能 的 〇 I 本 發 明 之 物 件 中 9 則 不 可 能 導 致 兩 接 觴 面 間 之 短 路 » 1 1 因 為 只 有 接 觸 面 的 第 二 部 份 (其在每- -摻雑區同側的絕 1 I 緣 上 方 )是以石版照相術製造， 因此只有第- -部份可 1 1 1 能 有 邊 蝝 位 置 誤 差 » 若 無 邊 緣 位 置 誤 差 時 9 第 二 部 份 與 1 1 下 一 個 相 鄹 接 觸 面 間 的 距 離 等 於 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 〇 兩 1 I 相 郾 接 觸 面 的 第 二 都 份 在 使 用 最 小 光 ΤΠΙΙ 時 彼 此 之 間 亦 有 1 1 等 於 最 小 設 計 規 刖 的 距 離 〇 7- 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 2^7公釐） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印繁 五、發明説明（ y ) 1 1 下 將 根 據 附 Η 進 一 步 說 明 本 發 明 ： 1 1 圔 1 至 圖 3 顧 示 本 發 明 之 實 施 例 t 即 圃 1 及 圓 2 為 横 1 I 截 面 匾 t 圖 3 為 俯 視 圖 〇 /-S 請 I 1 圖 4 是 匾 2 及 圖 3 之 實 胞 例 的 詳 细 圖 f 該 實 胞 例 Μ 最 先 閱 1 | ύ 1 小 光 檷 實 現 〇 背 ιέ 1 I 圖 1 m 示 —- 個 基 體 1 I 其 表 面 上 有 兩 個 在 第 個 横 向 冬 1 | 意 I 上 相 鄺 的 摻 雑 區 2 Ο 每 一 個 摻 雜 區 2 的 左 邊 各 有 一 涸 m 事 項 1 I 再 1 | 緣 區 3 該 絕 緣 區 3 在 基 體 1 中 作 為 溝 渠 絕 緣 〇 兩 絕 緣 填 區 3 中 之 絕 緣 區 因 此 位 在 兩 摻 雜 區 2 之 間 Ο 基 «3 1 之 寫 本 頁 衣 1 摻 雑 區 2 上 方 有 與 摻 雑 區 連 接 的 霣 極 或 接 觸 面 4 〇 接 觸 1 1 面 4 不 僅 只 在 各 摻 雜 區 上 方 延 伸 • 更 部 份 延 伸 到 摻 雜 區 1 I 左 方 的 絕 緣 區 3 之 上 方 0 接 觸 面 4 位 在 摻 雜 2 上 方 的 1 1 部 份 Μ 下 稱 作 第 一 部 份 4 } 9 接 觸 面 4 位 在 絕 緣 區 3 上 訂 1 方 的 部 份 被 稱 作 第 二 部 份 4 >若要分開製造兩部份4 t 1 I f 4 '則第二部份4 It 除 了 在 絕 緣 區 3 上 方 延 伸 外 » 亦 要 1 1 部 份 延 伸 到 摻 雜 區 2 上 方 使 與 第 一 部 份 4 t 重 叠 Ο 如 1 | 下 面 進 步 所 述 * 若 欲 在 最 小 光 柵 中 製 造 半 導 體 配 置 • | 便 需 如 此 〇 1 1 在 一 個 覆 蓋 上 述 结 構 的 絕 緣 層 7 中 » 在 每 一 個 接 觴 面 1 I 4 上 各 有 一 個 接 觸 孔 5 9 以 承 接 未 出 之 接 觸 此 接 觴 可 1 1 I 由 接 觸 孔 充 填 構 成 0 接 觴 孔 5 在 接 Η 面 4 上 方 的 正 中 • 1 1 其 亦 相 對 於 摻 雜 區 2 而 設 置 〇 此 處 假 設 接 觸 孔 5 製 造 時 1 I 邊 緣 立 置 未 出 現 誤 差 Ο 1 1 圈 1 至 圖 3 顧 示 半 導 « 配 置 8- ， 其 在 製 造 時 未 出 現 邊 緣 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（7 ) 位置誤差。這是實際上極難達到的理想情形。事實上由 於製程之不精確性在接觸孔5與接«面4之間及接觸面 4與摻雑區2或絕緣區3之間會出琨邊緣位置誤差。製 造接觸面4時使用的方法需皤保接《面4在第一個横向 上延伸在摻雜區2的整俚長度上方（第一部份4'),同時 其只延伸於相對應之絕緣區3上方之同俩（第二部份4" )0 Μ下將敘述如何製造圖1之半導體配置。首先在基體 1中製造摻雜區2及絕緣區3 。接著製造接觭面4 。然 後鍍上絕緣層7 ,並進行接觸孔5的蝕刻。再Μ —材料 ，尤其是金鼷，例如鋁，充填接觸孔5 Μ構成接觸。 製造上述结構的方法及材料為專業人員所熟知，故不 在此進一步說明。在此欲說明及顯示的只是本發明之重 要結構及其製造。 接觸面4可由複晶矽製成。ΕΡ-Α0567815曾提出一種逋 當之製造方法。根據該方法鍍上一曆複晶矽層，該複晶 矽層，該複晶矽層在構成接觸面的區域被摻雜（例如以硼 y衣 訂 (請兄閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 用 利 如 例 /1. 法 刻 胜 的 當 遘 Μ 被 矽 晶 複 的 雜 摻 未 VI/ 雜 接 來 經濟部中央標準局員工消費合作社印$i 刻 蝕 濕 之 時 雜 摻 硼 Μ 後摻 最的 若矽 〇 晶 除複 去之 矽方 晶上*7 的 4 雜分 摻部 硼 一 對第 地2( 性區 擇雜 選摻 4 部 份二 部第 一 在 第需 。 只 行為 進因 動 自差 而誤 βη置 之位 出緣 散邊 擴現 2 出 區會 雑不 摻此 由因 用造 利製 雜的 雑 摻 行 雄 域 區 之 製 0 物 化 矽 鼷 金1 造 製 是 法 方 個1 另 的 4 面 觸 接 造 製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公釐） 294828 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 五、發明説明 ) 1 1 造 金 靨 矽 化 物 通 常 先 嫌 上 一 層 金 臞 層 • 接 著 再 鍍 上一 曆 1 I 结 構 化 的 複 晶 矽 曆 〇 然 後 進 行 退 火 t 金 颺 (例如钛）與 複 1 I 晶 矽 因 此 结 合 成 矽 化 物 〇 亦 可 Μ 首 先 鍍 上 —. 曆 複 晶矽 曆 1 I 請 1 I 接 著 再 鍍 上 一 層 结 構 化 的 金 靨 層 〇 US - A4 ,729 ,969 曾 无 閱 1 I 讀 1 敘 述 這 兩 種 方 法 〇 在 這 兩 種 情 況 中 只 需 對 複 晶 矽 進行 结 背 ιέ 1 I 構 化 之 噴 鍍 * 使 欲 製 造 之 接 觸 面 4 延 伸 在 絕 緣 區 3之 上 冬 1 I 意 I 方 > 且 延 伸 於 相 鄰 之 相 對 應 之 摻 雜 區 2 的 一 部 份 (第二 事 項 1 I 再 1 部 份 4 ) 之 上 方 〇 基 體 為 矽 時 « 若 鍍 上 層 金 靨 曆後 進 填 行 退 火 9 在 摻 雜 區 2 上 方 (第— -部份4 )因生成自動對 寫 本 頁 装 1 齊 之 矽 化 物 (S el f A 1 i g n e d Si 1 i C 1 d e ) 而 白 動 產 生一 矽 V«_>· 1 | 化 物 〇 當 然 須 確 保 由 白 動 對 齊 之 矽 化 物 所 生 成 的 矽化 物 1 I (第— -部份4 / )與經由鍍上结構化之複晶矽所產生的矽 1 1 化 物 (第二部份4 " )應互相重叠， 如此才可產生連續的 訂 | 接 m 面 4 0 1 I 上 述 由 摻 雜 之 複 晶 矽 構 成 的 接 觸 面 4 亦 同 樣 遘 用； 亦 1 1 需 確 保 複 晶 矽 層 (第二部份4 ，· )的摻雜部份與摻雜區2 重 1 1 叠 〇 重 叠 區 的 寬 度 需 至 少 等 於 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 .因 此 誤 差 的 調 整 才 不 會 導 致 兩 部 份 4 f 1 4 " 不 相 重 叠 以構 成 1 1 —- 共 同 的 接 觸 面 4 〇 1 I 接 觸 孔 5 之 向 異 性 蝕 刻 時 只 蝕 刻 接 觸 面 4 之 上 方（接 1 1 m 面 4 作 為 蝕 刻 终 止 之 用 )而- -要触刻到接《面的旁邊 1 1 是 很 重 要 的 〇 否 則 絕 緣 區 3 或 基 Η 會 因 蝕 刻 而 損 壊， 而 1 | 可 能 使 所 製 造 的 结 構 間 產 生 短 路 0 因 此 » 接 觸 面 4應 大 1 1 於 接 觸 孔 5 * 使 接 面 4 與 接 觸 孔 5 的 誤 差 調 整 彼此 之 1 1 10 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印狀 五、發明説明 9 ) 1 1 間 差 異 不 大 〇 在 相 對 應 之 絕 緣 區 3 (第二部份4 ·· )上方 1 1 之 每 一 接 m 面 4 所 須 之 長 度 視 所 希 望 的 接 觸 孔 5 之 大 小 1 I 而 定 其 決 定 方 式 需 使 接 觸 孔 5 製 造 時 出 現 的 邊 緣 位 置 請 1 1 誤 差 對 接 m 面 4 無 窖 〇 先 閱 1 I 讀 1 圓 1 及 尚 待 說 明 的 國 2 所 顧 示 的 结 構 可 在 第 一 個 横 向 背 1 I 上 具 有 相 同 的 尺 寸 〇 Μ 最 小 光 4WI 價 製 造 時 t 其 情 況 為 ： 在 1 I 意 I 第 一 横 向 上 9 摻 雜 區 2 絕緣區3 (或 圖 2 中 的 導 霣 區 6) 事 項 1 I 再 1 I 、 接 m 孔 5 及 接 觸 孔 5 間 的 絕 緣 層 7 中 之 小 徑 的 尺 寸 於 填 貧 I 是 基 本 上 部 對 應 於 半 導 體 霣 置 之 製 造 時 所 使 用 技 術 的 最 本 頁 今、 1 小 設 計 規 則 a 〇 在 此 情 形 下 < 若 接 觸 面 4 在 絕 緣 區 3 上 1 1 方 延 伸 的 長 度 等 於 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 的 兩 倍 時 是 有 利 的 1 I 〇 故 其 整 個 寬 度 為 最 小 設 計 規 則 a 的 5/ 3 ： 3/ 3在摻雑區2 1 1 之 上 方 9 2/ 3在相郾的絕緣區3 之上方c > 訂 1 如 此 在 製 造 接 觸 孔 5 時 第 一 横 向 之 左 方 及 右 方 各 出 現 1 I 對 接 觸 面 4 的 可 容 許 之 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 〇 由 於 接 觸 面 1 1 4 間 的 距 離 至 少 等 於 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 9 故 其 調 整 同 樣 1 | 並 非 很 重 要 〇 因 此 • 即 使 有 任 意 多 的 上 述 可 接 觸 之 摻 雜 區 2 互 相 排 列 • 亦 可 利 用 最 小 光 柵 而 沒 有 問 題 地 製 造 半 1 1 導 體 配 置 〇 1 I 圖 2 顧 示 一 個 近 圓 1 的 半 導 體 配 置 〇 但 具 有 多 個 在 1 1 I 第 一 梢 向 上 相 鄰 且 相 互 間 有 距 離 的 摻 雜 區 2 與 相 對 應 的 1 1 絕 緣 區 3 、 接 m 面 4 及 接 m 孔 5 〇 不 同 於 匾 1 • 絕 緣 區 1 I 3 在 基 體 1 的 上 方 〇 匾 中 只 有 兩 届 絕 緣 區 Μ 溝 渠 絕 緣 之 1 1 方 式 而 延 伸 在 基 « 1 之 中 〇 在 基 1 的 上 方 各 有 — 個 對 1 1 11 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公漦） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 卜） 1 1 基 體 1 絕 緣 的 導 fS 區 6 被 絕 緣 區 3 包 圍 著 〇 在 中 間 的 兩 1 1 個 導 電 區 6 可 為 兩 霣 晶 體 T 的 閘 極 • 中 間 的 摻 雑 區 2 是 1 I 霣 晶 體 T 的 一 個 共 同 的 通 道 终 端 (源極或汲極） 〇 在 此 種 請 1 1 情 形 下 導 電 區 6 對 於 基 體 1 的 絕 緣 相 當 於 一 氧 化 閘 〇 經 先 閱 1 I 讀 1 由 相 對 應 之 接 觴 孔 5 不 僅 可 接 觸 到 兩 電 晶 Η Τ 共 同 的 通 背 1 1 之 1 道 终 端 * 亦 可 接 觴 到 由 兩 個 外 側 的 摻 雜 區 2 所 構 成 之 電 注 I 意 I 晶 體 T 的 其 他 通 道 终 端 〇 與 兩 電 晶 體 Τ 相 鄰 之 延 伸 基 體 事 項 1 I 再 1 I 1 中 的 絕 緣 區 3 是 埸 氧 化 區 〇 填 此 種 電 晶 體 T 的 配 置 例 如 存 在 DRAM 中 • 其 儲 存 單 元 Μ 寫 本 頁 木 1 叠 層 霄 容 設 計 « 且 每 兩 m 赭 存 單 元 的 各 電 晶 體 使 用 一 個 1 1 共 同 的 位 元 線 接 觸 〇 若 圖 2 為 此 種 配 置 9 則 中 間 的 摻 雜 1 I 區 2 可 經 一 個 位 元 線 接 觸 而 與 一 位 元 線 連 接 > 該 位 元 線 1 1 接 觸 由 充 填 相 對 應 之 接 觸 孔 5 所 構 成 〇 兩 個 外 側 的 摻 雜 訂 1 區 2 可 經 各 接 觸 孔 5 及 所 謂 的 厂 内 部 接 m J 而 各 與 一 個 1 I 叠 層 電 容 器 m 接 〇 1 1 如 上 所 述 9 本 發 明 使 整 個 配 置 可 利 用 最 小 光 檷 來 製 造 1 | 〇 即 » 導 霣 區 6 Λ 摻 雜 區 2 接 觸 孔 5 及 絕 緣 之 介 於 接 I 觸 孔 5 之 間 的 部 份 在 第 一 個 横 向 上 之 尺 寸 (考慮製造容 1 1 許 度 )基本上都對應於最小設計規則a > 其 只 和 使 用 之 技 1 I 術 有 闞 〇 1 1 I 其 逹 成 方 法 為 • 使 接 觸 面 4 寬 度 為 最 小 設 計 規 則 a 的 1 1 5/3 =接《孔5 對接觸面4 的調整之最大邊緣位置誤差 1 | 不 精 確 性 為 最 小 設 計 規 則 a 的 1/3 , 故不會損埭絕緣區3 1 1 或 基 體 1 而 導 致 可 能 之 短 路 〇 若 無 Λ 緣 位 置 誤 差 • 按 觸 1 1 孔 5 於 是 相 對 於 摻 雑 匾 2 在 第 一 横 向 上 設 置 於 最 小 設 計 1 I - 12 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） Μ Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印象 五、發明説明Ο ) 1 1 規 則 a 的 1/3 處。 1 1 圖 3 顯 示 上 述 叠 層 電 容 器 技 術 實 琨 之 DRAM之儲存單 1 I 元 〇 其 純 為 圖 示 » 且 只 詳 示 根 據 圖 2 所 說 明 之 兩 儲 存 單 請 1 1 I 元 的 電 晶 體 T 與 共 同 的 位 元 線 接 Η 〇 構 成 電 晶 體 Τ 的 摻 % 1 1 讀 1 I 雜 區 2 在 第 二 個 横 向 上 相 對 地 設 置 • 在 本 實 施 例 中 第 二 背 1¾ 1 1 之 1 横 向 垂 直 於 第 個 横 向 0 為 清 楚 說 明 • 所 顯 示 结 構 的 尺 意 1 寸 被 標 示 在 圈 3 中 9 和 最 小 之 設 計 規 則 a 相 Μ 聯 〇 事 項 1 I 再 1 I 如 上 所 述 » 其 相 當 於 製 造 半 導 體 配 置 所 使 用 技 術 之 最 填 寫 I --- 小 光 ΜΑ mn 的 半 〇 頁 1 圖 3 顯 示 出 儲 存 單 元 規 則 地 排 列 〇 兩 涸 與 園 3 中 淸 楚 1 1 顯 示 之 選 擇 電 晶 體 T 相 郾 之 選 擇 電 晶 體 與 共 同 的 位 元 線 1 I 接 觸 之 配 置 如 下 ： 移 動 此 清 楚 顯 示 的 電 晶 體 Τ 一 個 最 小 1 1 光 4im fllfl 距 離 • 即 2a • 先 向 下 然 後 再 向 左 一 同 樣 寬 度 〇 如 此 11 1 可 得 到 一 種 具 相 對 設 置 之 儲 存 單 元 的 儲 存 矩 陣 0 1 I 俯 視 圓 中 顯 示 4 個 平 行 配 置 的 縱 向 延 伸 之 絕 緣 區 3 1 1 被 絕 緣 區 3 包 園 的 導 電 區 6 之 一 在 QSI Mb 3 中 K 虚 線 標 示 於 1 1 右 方 絕 緣 區 3 的 上 部 〇 在 本 寘 施 例 中 導 電 區 6 構 成 DRAM 的 字 元 線 * 其 同 時 也 是 儲 存 單 元 電 晶 體 T 的 閘 極 〇 1 1 儲 存 單 元 電 晶 體 T 以 所 諝 的 厂 四 分 之 一 間 距 之 佈 局 J 1 | 來 配 置 0 即 構 成 儲 存 單 元 電 晶 體 的 摻 雜 區 2 在 第 二 横 1 I 向 上 相 對 地 設 置 〇 在 圖 3 的 實 施 例 中 選 取 此 種 僱 差 (等 1 1 於 2/ 3 a )之有利方式為需能產生電晶«ΙΤ 之最佳配置 D 1 I 該 餳 差 可 實 現 欲 製 造 结 構 間 之 如 下 所 述 之 誤 差 容 許 距 離 1 1 〇 經 由 此 四 分 之 一 間 距 之 佈 局 尤 其 使 得 接 觸 孔 5 在 字 元 1 1 13 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21 ΟΧ 297公楚） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ^ ) 1 1 線 延 伸 之 方 向 誤 差 容 許 距 離 〇 經 由 此 四 分 之 一 間 距 之 佈 1 1 局 尤 其 使 得 接 觸 孔 5 在 字 元 媒 延 伸 之 方 向 上 的 調 整 變 得 1 I 不 重 要 〇 接 m 孔 55在 垂 直 上 之 調 整 可 利 用 本 發 明 之 接 觸 請 1 1 面 4 相 對 於 摻 雜 區 2 的 不 對 稱 或 饒 心 構 造 而 毫 無 問 題 地 先 閱 1 I 讀 1 達 成 〇 背 面 1 I 之 1 每 兩 個 字 元 線 間 有 —' 涸 摻 雜 區 2 9 其 為 矩 形 〇 接 觸 面 意 1 4 則 為 正 方 形 其 不 只 在 摻 雜 區 2 上 方 延 伸 * 更 延 伸 到 事 項 1 I 再 1 I 各 白 之 右 方 相 鄰 的 絕 緣 區 3 上 方 之 —- 部 份 〇 填 寫 絕 緣 區 3 或 導 電 區 6 的 寬 度 及 彼 此 的 距 離 等 於 最 小 設 頁 1 計 規 則 a 〇 摻 雜 區 2 的 尺 寸 在 字 元 線 延 伸 的 方 向 上 等 於 1 1 最 小 設 計 規 則 a 的 5/ 3， 在 垂 直 於 該 方 向 的 方 向 上 等 於 最 I 1 小 設 計 規 則 a 〇 接 觸 面 4 為 正 方 形 $ 邊 長 為 最 小 設 計 規 1 1 則 a 的 5/3 >接觸面4 Μ最小設計規則a 的3 /3在 相 對 應 1 丁 1 之 摻 雜 區 2 之 上 方 延 伸 » 且 Μ 最 小 設 計 規 則 a 的 2/ 3在 1 I 各 別 之 絕 緣 區 3 之 上 方 延 伸 〇 其 彼 此 的 距 離 在 字 元 線 延 1 1 伸 之 方 向 上 (或絕緣區3 及導電區6 的方向上） 等 於 最 小 1 1 設 計 規 則 a , 在 垂 直 於 該 方 向 的 方 向 上 為 等 於 最 小 設 計 規 | 刖 a 的 1/3之最大邊緣位置誤差 1 1 接 觸 孔 5 亦 是 正 方 形 9 其 邊 長 等 於 最 小 設 計 規 則 a 〇 1 | 由 於 接 觸 孔 5 對 接 觸 面 4 精 確 調 整 時 在 每 一 個 方 向 上 安 1 I 全 距 離 決 定 於 最 大 邊 緣 位 置 親 差 • 且 接 觸 面 4 彼 此 間 至 1 1 少 亦 有 一 m 這 樣 的 距 離 故 製 造 時 即 使 出 現 最 大 邊 緣 位 1 | 置 誤 差 » 亦 可 確 保 利 用 最 小 光 櫬 可 製 造 無 誤 差 之 半 導 體 1 配 置 〇 1 1 1 4 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ^ ) 1 i 若 接 觸 面 4 由 一 金 靨 矽 化 物 構 成 9 其 中 首 先 m 上 一 層 1 1 金 臞 層 • 則 只 要 將 複 晶 矽 鍍 到 絕 緣 區 3 及 摻 雜 區 2 (接 觸 1 1 面 4 的 第 二 部 份 4 ) 的 邊 緣 即 已 足 夠 » 因 為 退 火 時 在 摻 '«V 請 1 I 雑 面 (第一 Ϊ 4 t )上方由於自動對齊之矽化物而可自 先 閱 1 I 讀 1 | 動 形 成 矽 化 物 〇 只 需 確 保 絕 緣 區 3 上 方 生 成 的 白 動 對 齊 背 1 I 之 1 之 矽 化 物 與 矽 化 物 互 相 重 叠 〇 因 此 9 由 各 別 絕 緣 1品 3 來 意 1 測 量 » 複 晶 矽 需 至 少 K 最 大 邊 緣 位 置 誤 差 噴 鍍 在 摻 雑 區 事 項 1 I 再 1 I 2 上 方 〇 由 硼 摻 雑 之 複 晶 矽 所 構 成 之 接 觸 面 4 的 製 造 亦 填 寫 本 同 0 頁 1 I 圖 4 顧 示 圖 2 及 鬮 3 之 實 施 例 的 詳 细 横 截 面 匾 9 其 Η 1 1 最 小 光 *mt fBH 製 造 且 無 邊 緣 位 置 誤 差 〇 其 顯 示 出 一 個 摻 雜 區 1 I 2 及 相 對 應 之 絕 緣 區 3 0 兩 者 (K及圖4 未示出之接觸 1 1 訂 1 孔 5) 均 Μ 最 小 光 AW 製 造 9 在 第 一 個 横 向 上 的 尺 寸 等 於 最 小 設 計 規 則 a c >接觸面4 具有第- -部份4 f 及 第 二 部 份 1 I t 其 中 第 一 部 份 4 獨自在摻雜區2 上方延伸之長度約 1 1 為 最 小 設 計 規 則 a ( >第二部份4 " 長 度 亦 為 a , 且 在 絕 緣 區 1 1 3 上 方 延 伸 2/ 3之長度在摻雜區2 上方延伸1 /3之 長 度 ， I 使 第 一 部 份 4 與第二部份4 U 之 間 重 叠 1 / 3 a 〇 1 1 要 注 意 的 是 9 由 於 製 造 之 容 許 度 而 可 預 料 到 上 述 尺 寸 1 | 及 距 離 之 偏 差 〇 尤 其 可 能 的 是 9 一 些 絕 緣 3 之 一 部 份 1 | 亦 延 伸 於 摻 雜 區 2 之 上 〇 其 可 能 是 因 摻 雜 原 子 側 向 擴 1 1 至 摻 雜 區 2 中 而 造 成 或 設 有 導 電 區 6 時 9 由 於 其 側 向 1 I 之 絕 緣 (S p a c e r) • 則 這 些 絕 緣 (S p a c e r )即 為 絕 緣 區 3 之 1 成 份 〇 1 1 15 • 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公犛） 五、發明説明（ A7 B7 各 設長因術地可面置距 元 來略然技全，的配全 單柵個。的完時生體安 存 光一間述可 .0 產導的 儲 小用時已此則所半大 該 最使持 了因規在的較 ,Mii保除。計元計置 造 不普料故制設單設設 製 要中資，限小存柵間 的需AH高計它最儲光構 元 能DR提設其為對小结。 單可在而柵無度可最在性 存。 ，如進光上長則 K 法全 儲觸件例度小計體，是方安 於接條。強最設晶度不造之 用線界構止M在電強。製程 適元》 結截許，若止少之製 亦位之的高容外。截減明高 然的上 3 提置件善的 Μ 發提 當離術圖以配條改體予本可 明分技於體之界術晶上用此 發個於同晶明邊技電成利因 本一由不電發之行保組可 ， 具 計的本上進確積並離 裝 (請.无聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4現格（2丨0Χ 297公漦）