TW202415526A - 疊層裝置及使用該疊層裝置之真空疊層裝置、平面加壓疊層裝置 - Google Patents

Abstract

為了提供一種可抑制所得之疊層體的孔隙產生，並製造平坦性已提高之疊層體的疊層裝置，具備：真空疊層裝置1；以及第1平面加壓疊層裝置2；真空疊層裝置1具有一對的平板塊11、12，並於其之間按壓上述基材104與樹脂106；上述可前進後退的平板塊12具有：彈性加壓板22以及緩衝材21，該緩衝材21係由具有纖維層與橡膠層之3層以上之複層體所構成，且將在上述一對的平板塊11、12間之對上述基材104與樹脂106之按壓力係設定為每500mm見方面積在2.5～3.97MPa之範圍。

Description

疊層裝置及使用該疊層裝置之真空疊層裝置、平面加壓疊層裝置

本發明係關於一種疊層基材與樹脂之裝置，詳而言之，係關於一種可謀求提高所得之疊層體之基材與樹脂之密合性，且高度保持平坦性之等級，並且縮短為了製造疊層體所花費之時間(產距時間(tact time))，且在短時間製造更多疊層體之疊層裝置者。

近年來，伴隨著電子設備之小型化、高性能化，搭載於該等之電子電路基板大多使用經多層化之高密度類型之印刷基板(所謂「增層基板」)。此增層基板係製造成為將於表面具有因配線等所產生之凹凸之基材以及作為絕緣層之樹脂交互多段疊層(積層)而成之疊層體者，其製造係使用疊層裝置。

上述增層基板之製造要求以下兩點：對於具有凹凸之基材，於其所有的凹部內，無間隙地填充樹脂來使基材與樹脂密合；以及於基材之凹凸面將樹脂平坦地疊層，特別是要求以相較於以往更嚴格之基準來滿足其密合性及平坦性等級。亦即，伴隨著樹脂材料之多樣化，使用流動性低之樹脂之機會亦增加，又，關於增層基板，即便是若為一層的話則容許之表面的凹凸，在疊層有多層之情況下，其凹凸會積累，而出現作為疊層體所無法忽視之凹凸之故。

從而，為了以更高等級來實現所得之疊層體之基材與樹脂之密合性及表面之平坦性，便提議有各種提案。例如，專利文獻1中，提議有加熱疊層所使用之樹脂，以提高樹脂之柔軟性而柔軟地沿著基材之凹凸來使用，而提高與樹脂之密合性，並使表面成為平坦之內容。

另一方面，疊層裝置，就生產效率之方面而言，係要求盡可能地縮短產距時間。 為了謀求產距時間之縮短，便考量到例如將疊層所使用之樹脂加熱至更高之溫度，來更加提高樹脂膜之流動性，而成為容易流入至基材之凹部之技術。

然而，能觀察到若將樹脂以設定之溫度以上的高溫來加熱，則該樹脂便開始熱硬化，反倒是損及流動性而產生孔隙之傾向，進而有使所得之疊層體之質量下降之虞。 〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕

［專利文獻1］日本專利第4926840號公報

〔發明所欲解決之問題〕

此處，本發明係在如此般之背景下，提供一種謀求提升所得之疊層體之基材與樹脂之密合性，並且更加提高平坦性之等級，並可縮短產距時間，且在短時間製造更多之疊層體之疊層裝置。 〔解決問題之方式〕

此外，本發明人有鑑於相關情況，便努力檢討疊層裝置之構成。其結果，發現到藉由以下技術特徵，即可解決上述課題：為了在所得之疊層體中，抑制孔隙之產生，且提高疊層體表面之平坦性，便於具備真空疊層裝置與平面加壓疊層裝置之疊層裝置中，使上述真空疊層裝置及／或平面加壓疊層裝置中之可前進後退的平板塊具有彈性加壓板或平面加壓板，且上述一對的平板塊間之對於對象物之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。

亦即，本發明具有以下［1］～［10］之態樣。 ［1］一種疊層裝置，於基材疊層樹脂而形成疊層體；上述疊層裝置具備：真空疊層裝置，係在減壓下按壓上述基材與樹脂而形成預疊層體；第1平面加壓疊層裝置，係按壓上述預疊層體而形成疊層體；上述真空疊層裝置具有：呈對向之一對的平板塊，上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在上述一對的平板塊間按壓上述基材與樹脂；上述可前進後退的平板塊具有彈性加壓板；上述一對的平板塊間之對上述基材與樹脂之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。 ［2］一種疊層裝置，於基材疊層樹脂而形成疊層體；上述疊層裝置具備：真空疊層裝置，係在減壓下按壓上述基材與樹脂而形成預疊層體；以及第1平面加壓疊層裝置，係按壓上述預疊層體而形成疊層體；上述第1平面加壓疊層裝置具有呈對向之一對的平板塊，上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在上述一對的平板塊間按壓上述預疊層體；上述可前進後退的平板塊具有平面加壓板；上述一對的平板塊間之對上述預疊層體之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。 ［3］如［1］之疊層裝置，其係於上述真空疊層裝置之平板塊連結有油壓缸，並藉由上述油壓缸之作動可使上述平板塊前進後退，上述油壓缸之缸筒之直徑係設定為200mm以上。 ［4］如［2］之疊層裝置，其係於上述第1平面加壓疊層裝置之平板塊連結有油壓缸，並藉由上述油壓缸之作動可使上述平板塊前進後退，上述油壓缸之缸筒之直徑係設定為200mm以上。 ［5］如［1］～［4］中任一者之疊層裝置，更具備：第2平面加壓疊層裝置；上述第2平面加壓疊層裝置具有呈對向之一對的平板塊；上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，經由利用第1平面加壓疊層裝置所進行之按壓所得之疊層體係在上述一對的平板塊間進一步地被按壓。 ［6］如［1］～［4］中任一項之疊層裝置，其中，上述真空疊層裝置中之彈性加壓板係以選自於由氟橡膠、聚矽氧橡膠、乙烯/醋酸乙烯酯共聚物、丙烯酸橡膠、環氧氯丙烷橡膠所構成之群組中之至少一者所構成。 ［7］一種真空疊層裝置，用於如［1］或［3］之疊層裝置；該真空疊層裝置係具有：呈對向之一對的平板塊；上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在上述一對的平板塊間按壓上述基材與樹脂；上述可前進後退的平板塊具有彈性加壓板；上述一對的平板塊間之對上述基材與樹脂之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。 ［8］一種真空疊層裝置，係用於［5］之疊層裝置；該真空疊層裝置具有：呈對向之一對的平板塊；上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在上述一對的平板塊間按壓上述基材與樹脂；上述可前進後退的平板塊具有彈性加壓板；上述一對的平板塊間之對上述基材與樹脂之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。 ［9］一種第1平面加壓疊層裝置，用於［2］或［4］之疊層裝置；上述第1平面加壓疊層裝置具有：呈對向之一對的平板塊；上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在上述一對的平板塊間按壓上述預疊層體；上述可前進後退的平板塊具有平面加壓板；上述一對的平板塊間之對上述預疊層體之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。 ［10］一種第1平面加壓疊層裝置，用於［5］之疊層裝置；上述第1平面加壓疊層裝置具有：呈對向之一對的平板塊；上述一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在上述一對的平板塊間按壓上述預疊層體；上述可前進後退的平板塊具有平面加壓板；上述一對的平板塊間之對上述預疊層體之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍。 〔發明功效〕

根據本發明之疊層裝置，能夠更加提高基材與樹脂之密合性，且可抑制孔隙之產生。又，能夠實現產距時間之縮短，並高度保持所得之疊層體之平坦性之等級。 然後，根據本發明之真空疊層裝置、第1平面加壓疊層裝置，能夠藉由將先前設置之疊層裝置的一部分替換為該等裝置，來獲得孔隙之產生受到抑制，且平坦性高之疊層體。

以下，基於用以實施本發明之形態之例來說明本發明。然而，本發明並不限定於以下說明之實施形態。

此外，本發明中，在呈現「X～Y」(X、Y為任意數字)之情況，只要無特別說明，便意指「X以上且Y以下」之意涵，並亦包含「較佳為大於X」或「較佳為小於Y」之意涵。 又，在呈現「X以上」(X為任意數字)或「Y以下」(Y為任意數字)之情況，亦包含「較佳為大於X」或「較佳為未達Y」之內容的意涵。 進而，所謂「X及／或Y(X、Y為任意構成)意指X及Y中之至少一者，且意指僅X、僅Y、X及Y之3種意義。

圖1為表示本發明一實施形態之疊層裝置。此疊層裝置係用以於設置有銅圖案105等之利用配線等所產生之凹凸之增層基板用之基材104疊層由樹脂106等所構成之絕緣層之裝置，並具備藉由從一邊側抽出搬送用膜4、4’，並在另邊側捲取該膜，來將作為按壓對象物之工件100依序搬送之搬送裝置3、3’。然後，沿著此搬送用膜4、4’之箭頭的方向，來依序配設真空疊層裝置1以及第1平面加壓疊層裝置2。

上述真空疊層裝置1係用以形成第1預疊層體101之裝置，該第1預疊層體101係藉由按壓工件100來在上述基材104上之利用銅圖案105所形成之凹凸使上述樹脂106不產生間隙地密合追隨，該按壓工件100係將基材104之兩面分別藉由銅圖案105之配置來形成為凹凸面，且於其凹凸面載置有樹脂106。 上述第1平面加壓疊層裝置2係用以藉由進一步地按壓利用上述真空疊層裝置1所形成之第1預疊層體101，來形成將上述第1預疊層體101表面之凹凸面平坦化後之第1疊層體102之裝置。

工件100、第1預疊層體101、第1疊層體102係被夾置於搬送用膜4及4’之間，並從搬送裝置3朝向搬送裝置3’進行搬送。然後，搬送裝置3具有用以將工件100搬入至製程之搬入用輸送帶7。又，搬送裝置3’具有用以將藉由第1平面加壓疊層裝置2所平坦化後之第1疊層體102冷卻之風扇6、6’。然後，搬送裝置3’中，係從捲取之搬送用膜4、4’之間，來將完成之第1疊層體102從搬送線取出。

本發明之疊層裝置在設為對象之工件100中，作為絕緣層所使用之樹脂106之形狀並無特別限定，可為薄膜狀，亦可為粉末狀。然而，本發明之疊層裝置即便在以往的疊層裝置中疊層難以進行之以粉末狀樹脂、聚醯亞胺般之具有高耐熱性而無法期待有利用加熱所產生之追隨性之樹脂等為主成分之樹脂材料、或是使用少量之樹脂材料來謀求表面之平坦化之情況，仍不會於內部產生孔隙，而可獲得表面平坦性優異之疊層體，故而適合用於使用該等之粉末狀樹脂之工件100的疊層。 以下，就各裝置1～3來詳細說明。

［真空疊層裝置1］ 上述真空疊層裝置1係將藉由搬送裝置3之搬入用輸送帶7以及搬送用膜4、4’搬送而來之工件100定位在上側平板塊11與下側平板塊12之間，並在減壓狀態之空間部26內對上述工件100以每500mm見方面積在1.67～3.97MPa以上之力來進行按壓，以將樹脂106無間隙地填充於具有凹凸之基材104之凹部內，而沿著基材104上所形成之凹凸來使樹脂106密合，藉此來形成第1預疊層體101。

更加詳地說明上述真空疊層裝置1之構成。此真空疊層裝置1如圖2所示，具備：立設於加壓台8之四個角落的4支(圖2中僅圖示出2支)之支柱9；以螺栓、螺帽等的固定構件來固定於該等各支柱9之上側平板塊11；以及可前進後退(上下移動)地安裝於上述各支柱9之下側平板塊12等。此下側平板塊12係透過接頭13來連結於油壓缸14，藉由此油壓缸14之作動來前進後退(上下移動)。從而，藉由將上述支柱9配置於加壓台8之四個角落，能夠保持住上述平板塊12之平行來使之前進後退，即便以相較於以往要更強之力來按壓，仍可於工件100整面進行均勻按壓，並可謀求所得之第1預疊層體101之厚度不一致之降低(參照圖4)。

上述上側平板塊11係從上方依序固定有平板狀之上側熱盤16、上側緩衝材17及上側彈性加壓板18，下側平板塊12係從下方依序固定有平板狀之下側熱盤20、下側緩衝材21及下側彈性加壓板22。

上述緩衝材17、21係對應於按壓時之彈性加壓板18、22之變形而變形，藉此可在使上述彈性加壓板18、22沿著工件100之凹凸之狀態下進行按壓。上述緩衝材17、21之材質、厚度等通常對應於上述彈性加壓板18、22來適當選擇。

上述緩衝材17、21可為單層，亦可由複層所構成，當中更佳為由3層以上之複層所構成，特佳為由3～7層所構成者。 在將上述緩衝材17、21設為複層之情況，就可進行更加均勻的按壓之方面而言，較佳使用由具有纖維與橡膠層之複層體所構成者，特別是更佳為如纖維層／橡膠層／纖維層般，以使纖維層成為最表面之方式來配置各層之複層體。上述緩衝材17、21亦可因調整緩衝效果等之理由，而將複數之緩衝材17、21上下重疊使用。於此情況，上述緩衝材17、21之層數便成為被包含於疊加之緩衝材之合計層數。

作為上述緩衝材17、21之纖維層，係適合使用例如化學纖維、玻璃纖維等紡織為布狀者。作為上述纖維，就容易與橡膠接著之方面而言，較佳使用例如：玻璃纖維、或聚酯、醯胺或其他的極性硬質素材；聚乙烯等的非極性硬質素材；聚酯系及尼龍系等的極性軟質素材；烯烴系等的無極性軟質素材，就強度及耐熱性優異之方面而言，更佳使用聚酯、尼龍、醯胺。

作為上述緩衝材17、21之橡膠層，可列舉例如：天然橡膠(NR)、異戊二烯橡膠(IR)、丁基橡膠(IIR)、乙烯-丙烯橡膠(EPDM)、丁二烯橡膠(BR)、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)、氯丁橡膠(CR)、丁腈橡膠(NBR)等的硫磺硫化橡膠；聚矽氧橡膠(SI)、氟橡膠(FKM)、乙烯-丙烯橡膠(EPDM)、氫化丁腈橡膠(HNBR)、丁二烯橡膠(BR)、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)等的過氧化物硫化橡膠等。 當中，較佳為具有到230℃為止之耐熱性者，特別是氟橡膠，特別是較佳使用偏二氟乙烯橡膠。又，亦可使用乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(EVA)、環氧氯丙烷橡膠(CO、ECO、GECO)等。 該等可單獨亦可併用2種以上。 此外，本發明中，係將使橡膠硬化總稱為「硫化」，藉由交聯而硬化者亦被包含於硫化。

上述緩衝材17、21之厚度並無特別限定，較佳為0.1～5mm，更佳為0.2～3mm。在上述緩衝材17、21為複層體之情況，較佳為使各層厚度的合計(總厚度)位在上述範圍內。

上述彈性加壓板18、22係在按壓時碰觸於工件100之構件，並以可以均勻的力來按壓工件100之方式，來成為通常使其厚度不一致呈越少越好。然而，本發明中，係以每500mm見方面積1.67～3.97MPa般強之力來進行按壓，故而可抑制源自厚度不一致之不均勻的按壓。因此，上述彈性加壓板18、22之厚度不一致並無特別限定，只要例如設定在0.25mm以下的話便足夠，更佳為設定在0.2mm以下，特佳為設定在0.1mm以下，最佳為設定在0.05mm以下。 上述厚度不一致係藉由測微計來測定複數處(此例中為5處)之厚度，並表示測定值之最大值與最小值之差者。

作為上述彈性加壓板18、22，較佳為使表面之蕭氏(Shore)A硬度(Durometer硬度)位在10～80度之範圍，更佳為位在20～70度之範圍，特佳為位在40～60度之範圍。若過硬，則有無法對應於工件表面所呈現之凹凸來變形之傾向，若過柔軟，則難以對工件無損失地進行按壓，而觀察到有成為低於設定值之按壓的傾向。又，觀察到有損及針對於重複使用之耐久性之傾向。 又，上述彈性加壓板18、22之厚度通常為0.2～20mm，較佳為0.2～10mm，更佳為0.5～5mm。存在有即便過厚，仍無法獲得規定以上之效果之傾向，若過薄，則有無法對應於工件表面所呈現之凹凸來變形之傾向。

上述彈性加壓板18、22之材質並無特別限定，較佳為具有到230℃為止之耐熱性者。根據工件100所使用之樹脂106之種類，可藉由適當之加熱來更加縮短產距時間。 作為上述彈性加壓板18、22之材質，可列舉例如：天然橡膠(NR)、異戊二烯橡膠(IR)、丁基橡膠(IIR)、乙烯-丙烯橡膠(EPDM)、丁二烯橡膠(BR)、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)、氯丁橡膠(CR)、丁腈橡膠(NBR)等的硫黃硫化橡膠；聚矽氧橡膠(SI)、氟橡膠(FKM)、丙烯酸橡膠(ACM)、乙烯-丙烯橡膠(EPDM)、氫化丁腈橡膠(HNBR)、丁二烯橡膠(BR)、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)等的過氧化物硫化橡膠等。 又，亦可使用乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(EVA)、環氧氯丙烷橡膠(CO、ECO、GECO)等。 該等可單獨亦可併用2種以上。

上述上側熱盤16及下側熱盤20係於其內部以適當之配置來設置有用以加熱彈性加壓板18、22之加熱構件。然而，上述熱盤16、20非為必要之構成。 亦即，本發明之疊層裝置中，即便不進行過多之加熱仍可進行充分的疊層。另一方面，由於根據疊層所使用之樹脂106之材質來進行加熱係有縮短產距時間之情形，故而較佳為設置熱盤16、20。在設置熱盤16、20之情況，上述加熱構件並無特別限定，可列舉例如於內部配置有複數支之鞘狀加熱器者等。

在設置熱盤16、20之情況，較佳為具備進行熱盤16、20之溫度控制之溫度控制系統。若具備上述溫度控制系統，則可不受氛圍溫度影響，而在固定之溫度下進行按壓，故而可抑制因按壓使厚度不一致產生之情事。又，由於在按壓工件100時，無需檢討或是變更按壓條件，故而效率佳。 上述溫度控制系統，只要可進行熱盤16、20之溫度控制的話，可為任意者，可列舉例如：具有測定熱盤16、20之溫度的溫度感應器、連接於電腦之控制器等，並算出藉由上述溫度感應器所得之溫度資訊與預設之溫度的差異，而以成為所設定之溫度之方式來開啟關閉加熱構件之電源者。

又，上述真空疊層裝置1具備用以創造減壓狀態之空間部26(參照圖1)之可動真空框23。此可動真空框23具備：氣密狀地被固定於上側平板塊11之下面之略四角形框狀的上側固定框部24、以及被氣密狀地固定於下側平板塊12之上面的可動框部25。 上側固定框部24係連結有抽真空用管嘴(未圖示)，並可在將上下兩平板塊11、12關閉之狀態下，藉由此抽真空用管嘴，來將形成於上側固定框部24與可動框部25間之密封的空間部26內抽真空，且調整此空間部26之壓力(亦即，成為特定壓力之減壓狀態)。工件100按壓時之上述空間部26的壓力較佳為0.1～2hPa，更佳為0.2～1hPa。 此外，抽真空用管嘴非於上側固定框部24，亦可連結於上側平板塊11，亦可進一步地設置於複數處。若將抽真空用管嘴設置於複數處，則可以更高精度來調整空間部26之壓力。

然後，此實施形態中，係於下側平板塊12連結有用以使下側平板塊12前進後退之油壓缸14，並對工件100進行油壓加壓。然而，只要可實現特定之按壓力的話，亦可使用任何升降機構。作為如此般之升降機構，除油壓缸14以外，可列舉例如：電動馬達等。當中，就即便小型化仍可進行強按壓之方面而言，較佳為進行使用油壓缸14之油壓加壓。 上述油壓缸14較佳為將其行程長度L ₁設定在230mm以下，更佳為設定在150～200mm之範圍。若將油壓缸14之行程長度L ₁設定在上述範圍內，即可為相較於以往更強之按壓力，且實現與以往之疊層裝置相同程度之裝置尺寸，故而可與以往之裝置進行置換，只要準備必須之裝置即可，因此在配置上無需多餘的費用與空間而為佳。 又，上述油壓缸14較佳為將其徑設定在200mm以上，更佳為設定在200～270mm之範圍。若將油壓缸14之缸筒直徑設定在上述範圍內，則可觀察到易於實現相較於以往更強之按壓力之傾向。

上述一對的平板塊11、12間之對工件100(基材104與樹脂106)之按壓力設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍是非常重要的，當中較佳為設在2.0～3.5MPa之範圍，更佳為設在2.5～3.5MPa之範圍。此外，本發明所使用之油壓缸14通常亦可進行未達1.67MPa之按壓。 若將對工件100之按壓力設在上述範圍內，則即便不嚴密進行作為觸碰於工件100之構件的彈性加壓板18、22之厚度不一致的控制，仍可使樹脂106以更密合之狀態下來追隨於設置於基材104表面之因銅圖案105所產生之凹凸，而可在短時間形成無孔隙之第1預疊層體101。

本實施形態之疊層裝置較佳為具備進行上述一對的平板塊11、12間之按壓力的控制之按壓控制系統。若具備上述按壓控制系統，若為具有固定之按壓力的升降機構的話，則可無特別限定而使用。又，由於變得易於根據所欲之範圍來設定按壓力，故而可實現例如對照按壓時之溫度資訊來施予最適當之按壓力等更高等級之疊層。

上述按壓控制系統只要可控制上述一對的平板塊11、12間之按壓力的話可為任意者，可列舉例如：具有檢知油壓缸14之油壓之感應器、檢知油壓缸14之位置之感應器以及連接於電腦之控制器等，並從藉由上述感應器所得之資訊，來控制以賦予預定之按壓力方式所控制之油壓泵浦之電磁閥的開閉者。

［第1平面加壓疊層裝置2］ 上述第1平面加壓疊層裝置2(回到圖1)係將從上述真空疊層裝置1藉由搬送用膜4、4’所搬送而來之第1預疊層體101定位在上下兩平板塊27、28間，並以該等上下兩平板塊27、28來進行按壓，以將第1預疊層體101之表面平滑化，而成為第1疊層體102。 此實施形態中，如圖3所示，具備：立設於加壓台29之4支(圖3中僅圖示出2支)之支柱30；以螺栓、螺帽等的固定構件來固定於該等各支柱30之上側平板塊27；以及可上下移動(前進後退)地安裝於上述各支柱30之下側平板塊28等。 此下側平板塊28係透過接頭31來連結於油壓缸32，並藉由此油壓缸32之作動來進行上下移動(前進後退)。

上述上下兩平板塊27、28中，上側平板塊27係構成為從上方依序固定有平板狀之上側熱盤34、平板狀之上側緩衝材35及上側可撓式金屬板(平面加壓板)36，下側平板塊28係構成為從下方依序固定有平板狀之下側熱盤38、平板狀之下側緩衝材39及下側可撓式金屬板(平面加壓板)40。

上述上側熱盤34及下側熱盤38係於其內部以適當之配置來設置有用以加熱可撓式金屬板36、40之加熱構件。然而，上述熱盤34、38並非為必要構成。 亦即，本發明之疊層裝置中，即便不進行加熱仍可進行充分地疊層。另一方面，根據疊層所使用之樹脂106之材質，進行加熱有縮短產距時間之情況。在設置熱盤34、38之情況，上述加熱構件並無特別限定，可列舉例如於內部配置有複數支之鞘狀加熱器者等。

又，在設置熱盤34、38的情況，較佳為具備進行熱盤34、38之溫度控制之溫度控制系統。若具備上述溫度控制系統，則可不受氛圍溫度影響，而以固定之溫度下來進行按壓，故而可抑制因按壓使厚度不一致產生之情事。又，由於變得無需在按壓第1預疊層體101時檢討或變更按壓條件，故而效率佳。 上述溫度控制系統只要可進行熱盤34、38之溫度控制的話可為任意者，可列舉例如具有測定熱盤34、38之溫度之溫度感應器、連接於電腦之控制器等，並算出藉由上述溫度感應器所得之溫度資訊以及預設溫度之差異，而以成為設定之溫度之方式來開啟關閉加熱構件之電源者。

作為上述緩衝材35、39，表面之蕭氏A硬度(durometer硬度)較佳為60度以上，更佳為65～75度。這是因為若表面蕭氏A硬度為上述範圍內，則按壓後之樹脂106之膜厚會變得更加均勻之故。 此外，本發明中，蕭氏A硬度係基於JIS K6253，並使用類型A durometer所測定者。蕭氏A硬度亦可為製作由構成緩衝材35、39之橡膠或合成樹脂等所構成之試驗片，而對各試驗片進行測定者。

又，上述緩衝材35之39之厚度通常為0.2～20mm，較佳為0.2～10mm，更佳為0.5～3mm。若緩衝材35、39之厚度為上述範圍內，則可充分發揮緩衝效果，並對按壓面施予均勻的力，故而可以追隨於第1預疊層體101表面之凹凸之狀態來進行按壓。 此外，上述上側緩衝材35及下側緩衝材39彼此厚度可不同，亦可相同。

上述緩衝材35、39之材質通常可使用紙、橡膠、合成樹脂、纖維等。當中較佳為橡膠，特佳為氟系橡膠。作為氟系橡膠，可列舉例如：偏二氟乙烯系橡膠、含氟聚矽氧橡膠、四氟乙烯系橡膠、含氟乙烯醚系橡膠、含氟磷腈系橡膠、含氟丙烯酸酯系橡膠、含氟亞硝基甲烷系橡膠、含氟聚酯橡膠、含氟三嗪橡膠等。 此外，上述緩衝材35、39可為於內部包含耐熱性樹脂、玻璃纖維片或金屬箔片等者，亦可為例如將如橡膠與纖維般不同材質者組合者。又，上述上側緩衝材35及下側緩衝材39彼此材質可不同，亦可為相同。

作為上述平面加壓板所使用之可撓式金屬板36、40之厚度通常為0.1～10mm，較佳為1～3mm。若可撓式金屬板36、40之厚度為上述範圍內，即便施予相較於以往更強之按壓力，仍可保證機械強度，且可在上述緩衝材35、39追隨於第1預疊層體101時充分追隨於上述緩衝材35、39之變形。

作為上述可撓式金屬板36、40之材質，通常使用不鏽鋼、鐵、鋁、鋁合金等，當中就耐鏽性優異之方面而言較佳使用不鏽鋼。又，若上述可撓式金屬板36、40之表面藉由拋光研磨等來進行鏡面研磨，則可將所得之第1疊層體102之表面更加修飾如鏡面。

然後，此實施形態中，係於下側平板塊28連結有油壓缸32，對上述第1預疊層體101之按壓力通常為每500mm見方面積在1.6MPa以下，較佳為設定在0.3～1.6MPa之範圍。又，亦可取代油壓缸32而使用氣缸、伺服加壓等的其他升降機構。

利用上述第1平面加壓疊層裝置2所進行之按壓可在大氣下，亦可在減壓下進行。在大氣下進行之情況，可縮短產距時間，又，由於亦可不具備用以在減壓下進行按壓之構成，故而可謀求低成本化。 另一方面，於減壓下進行按壓之情況，雖需要於上述第1平面加壓疊層裝置2設置用以在減壓下進行按壓之構成，但除了可利用真空環境來降低孔隙產生之外，即便在使用柔軟性低之樹脂之情況，仍可使第1預疊層體101表面之凹凸更加平坦化，而更加提高所得之疊層體之表面之平坦性。

［搬送裝置］ 搬送裝置3、3’(回到圖1)具備：位於製程之起始點的上下之搬送用膜抽出機55、55’；用以於製程搬入工件100之搬入用輸送帶7；配置於製程之終點之搬送用膜捲取機56、56’；以及在製程各處支撐搬送工件100等之搬送用膜4、4’之複數引導滾輪等。

然後，從搬入用輸送帶7以特定間隔來供給至製程之片葉狀之工件100係在從各搬送用膜抽出機55、55’所抽出之上下之搬送用膜4、4’之間，以特定之間隔來受到夾置，並在與該等搬送用膜4、4’之流動(行進)同步之狀態下，被上述各引導滾輪所引導，且經過真空疊層裝置1之上下之平板塊11、12之間、第1平面加壓疊層裝置2之上下之平板塊27、28之間、用以將所得之第1疊層體102冷卻之風扇6、6’之間。在第1疊層體102冷卻後，使上下之搬送用膜4、4’離型，而將第1疊層體102從搬送線取出。

將第1疊層體102取出之上下之搬送用膜4、4’係分別被搬送用膜捲取機56、56’捲取。被捲取之搬送用膜4、4’通常被廢棄，但亦可對應於需要而再利用。 若具備上述搬送裝置3、3’，則可使疊層效率變得更高，並縮短產距時間。

根據上述疊層裝置，上述真空疊層裝置1之平板塊11、12具有緩衝材17、21以及彈性加壓板18、22，上述彈性加壓板18、22係由將厚度不一致設定在0.25mm以下之橡膠所構成，且將在上述一對的平板塊11、12間之對上述基材104與樹脂106之按壓力設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍，故而可如圖4所示，在上述真空疊層裝置1內，使樹脂106之狀態變化，而將樹脂106無間隙地填充於基材104之凹凸之凹部內。其結果，便會使樹脂106密合追隨於基材104之凹凸，而獲得已抑制孔隙之產生之第1預疊層體101。此外，圖4中，符號1所示之範圍係表示上述真空疊層裝置1內之工件100的狀態變化。 然後，已抑制上述孔隙之產生之第1預疊層體101係在第1平面加壓疊層裝置2內，藉由上述第1平面加壓疊層裝置2之可撓式金屬板(平面加壓板)36、40(參照圖3)之平坦面，來如圖4之符號2所示，保持住平坦性而被按壓於上述第1預疊層體101，故而可獲得進一步地消除表面之凹凸，且樹脂106之滲出量少之第1疊層體102。此外，圖4中，符號2所示之範圍係表示上述第1平面加壓疊層裝置2內之第1預疊層體101的狀態變化。

如此般，在此實施形態中，首先，係以高壓力進行按壓，而抑制孔隙之產生並在短時間製作第1預疊層體101，故而可抑制所得之第1疊層體102之孔隙之產生，並在短時間製造更多之第1疊層體102。因此，作為樹脂106，不僅是以往之膜類型的樹脂，即便為粉末類型之樹脂，仍可抑制孔隙之產生，且進行表面之平坦性之等級極高之疊層。進而，為了產距時間之縮短化，在以往觀察到有以更加過剩之高溫來加熱樹脂106之傾向，但由於如此般之加熱非為必要，故而不會使樹脂106產生熱硬化，且不會損及流動性。 此外，圖4之各圖都是概略性地表示製程及裝置者，並省略非必須說明之部分的記載。

接著，於圖5表示本發明之另一實施形態。 圖5所示之疊層裝置與圖1所示之疊層裝置同樣地，係用以於設置有銅圖案105等之因配線等所產生之凹凸之增層基板用之基材104，疊層由樹脂106所構成之絕緣層之裝置，具備：將搬送用膜4、4’從一邊側抽出，並在另邊側將其捲取，藉此來依序搬送工件100之搬送裝置3、3’。 然後，沿著此搬送用膜4、4’之箭頭之方向，依序配設有真空疊層裝置60、第1平面加壓疊層裝置61。

上述真空疊層裝置60係將基材104之兩面分別藉由銅圖案105之配置來形成為凹凸面，且對於該凹凸面載置有樹脂之工件100之按壓力通常設定為每500mm見方面積未達1.67MPa，藉由在減壓下以油壓缸62按壓上述工件100，來形成使上述樹脂106不產生間隙地密合追隨於上述基材104表面之凹凸之第2預疊層體107。 上述第1平面加壓疊層裝置61係將對利用上述真空疊層裝置60所形成之第2預疊層體107之按壓力設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍，且可前進後退之下側平板塊82具有緩衝材92以及可撓式金屬板(平面加壓板)93，故而藉由按壓上述第2預疊層體107，來在上述第2預疊層體107中沿著上述基材104之凹凸填充樹脂106，即便在表面呈現凹凸之情況、或是樹脂106沒有充分填充於上述基材104之凹部內之情況，仍將樹脂106填充到基材104之凹部的各角落，以將上述第2預疊層體107表面之凹凸面平坦化，而形成厚度均勻化之第1疊層體102。 此外，圖5中，其他部分係與圖1相同，而附加相同之符號並省略其說明。 以下，就各裝置來詳細說明。

［真空疊層裝置60］ 上述真空疊層裝置60如圖6所示，具備：立設於加壓台63之複數支(圖6中僅圖示出2支)之支柱64；以螺栓、螺帽等之固定構件來被固定於該等各支柱64之上側平板塊65；以及可上下移動地被安裝於上述各支柱64之下側平板塊66等。此下側平板塊66係透過接頭67來連結於油壓缸62，並藉由此油壓缸62之作動來進行上下移動。 此外，此實施形態中，係於下側平板塊66連結有油壓缸62，但亦可取代油壓缸62而使用氣缸等的其他升降機構。然而，若使用油壓缸62，則就能獲得緻密及高壓之方面而言為佳。

上述真空疊層裝置60之按壓力並無特別限定，可為與圖2之真空疊層裝置1同樣地設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍者，亦可未達1.67MPa。

上述上側平板塊65係從上方依序固定有平板狀之上側熱盤69、上側緩衝材70以及上側彈性加壓板71，下側平板塊66係從下方依序固定有平板狀之下側熱盤73、下側緩衝材74以及下側彈性加壓板75。

該等上下之兩熱盤69、73係於其內部以適當之配置來設置有用以加熱彈性加壓板71、75之加熱構件。然而，上述熱盤69、73非為必要之構成。 亦即，本發明之疊層裝置中，即便不進行過剩之加熱仍可充分地進行疊層。另一方面，根據疊層所使用之樹脂106之材質，進行加熱有使產距時間縮短之情況，故而較佳為設置熱盤69、73。在設置熱盤69、73之情況，上述加熱構件並無特別限定，可列舉例如於內部配置有複數支之鞘狀加熱器者等。 上述熱盤69、73為任意之構成，在具備該等之情況，較佳為以成為60～180℃之方式，藉由加熱構件來進行加熱，更佳為以90～130℃來進行加熱。

上述彈性加壓板71、75並無特別限定，可列舉例如與圖2所示之真空疊層裝置1同樣地由將厚度不一致設定在0.25mm以下之橡膠所構成者。

又，上述真空疊層裝置60具備可動真空框76。此可動真空框76具備：被氣密狀地固定於上側平板塊65之下面的略四角形框狀之上側固定框部77；以及被氣密狀地固定於下側平板塊66之上面之可動框部78。上側固定框部77係連結有抽真空用管嘴(未圖示)，可在上下之兩平板塊65、66密封閉合時，藉由該抽真空用管嘴，來將在上側固定框部77與可動框部78間所形成之密封後之空間部79(參照圖5)內抽真空，並調整該空間部79之壓力(亦即，成為特定壓力之減壓狀態)。此外，抽真空用管嘴不僅於上側固定框部77，亦可連結於上側平板塊65，進而若設置於複數處，則可效率良好地調整空間部79之壓力。

［第1平面加壓疊層裝置61］ 上述第1平面加壓疊層裝置61(回到圖5)係將從上述真空疊層裝置60藉由搬送用膜4、4’搬送而來之第2預疊層體107定位在上下兩平板塊81、82間，並利用該等上下兩平板塊81、82進行按壓，使第2預疊層體107之表面平滑化，而成為第1疊層體102者。 此實施形態中，如圖7所示，具備：立設於加壓台83之4支(圖7中僅圖示出2支)支柱84；以螺栓、螺帽等之固定構件來被固定於該等各支柱84之上側平板塊81；以及可上下移動(前進後退)地被安裝於上述各支柱84之下側平板塊82等。 此下側平板塊82具有連結於動力源及油壓泵浦(油壓單元)之油壓缸80，藉由此油壓缸80之作動來前進後退(上下移動)。

上述上下兩平板塊81、82中，上側平板塊81係構成為從上方依序固定有平板狀之上側熱盤87、平板狀之上側緩衝材88及上側可撓式金屬板89，下側平板塊82係構成為從下方依序固定有平板狀之下側熱盤91、平板狀之下側緩衝材92及下側可撓式金屬板93。

上述緩衝材88、92係藉由對應於按壓時之可撓式金屬板89、93之變形來變形，而可在使上述可撓式金屬板89、93沿著第2預疊層體107之凹凸狀態下進行按壓者。上述緩衝材88、92之材質、厚度、厚度不一致的容許範圍通常可配合上述可撓式金屬板89、93來適當選擇。

作為上述可撓式金屬板(板狀體)89、93之材質通常使用不鏽鋼、鐵、鋁及鋁合金等，當中，就耐鏽性優異之方面而言較佳使用不鏽鋼。又，若上述可撓式金屬板(板狀體)89、93之表面藉由拋光研磨等來進行鏡面研磨，則可更將第2預疊層體107之表面作成鏡面，故而較佳。 上述可撓式金屬板89、93之厚度通常為0.2～20mm，較佳為0.2～10mm，更佳為0.5～3mm。若厚度位在上述範圍內，則可保證機械強度並發揮可撓式性，且在使上述緩衝材88、92追隨於第2預疊層體107時充分地追隨於上述緩衝材88、92之變形。

該等上下之兩熱盤87、91係於其內部以適當之配置來設置有用以加熱可撓式金屬板89、93之加熱構件。然而，上述熱盤87、91非為必要之構成。 亦即，本發明之疊層裝置中，即便不進行過剩之加熱仍可進行充分的疊層。另一方面，根據疊層所使用之樹脂106之材質來進行加熱有縮短產距時間之情況，故而較佳為設置熱盤87、91。在設置熱盤87、91之情況，上述加熱構件並無特別限定，可列舉例如於內部配置有複數支之鞘狀加熱器者等。

又，在設置熱盤87、91之情況，較佳為具備進行熱盤87、91之溫度控制之溫度控制系統。若使用上述溫度控制系統，則氛圍溫度不受到影響，而可在固定之溫度下進行按壓，故而可抑制依按壓而使厚度不一致產生之情事。又，由於在進行按壓時無需檢討或變更按壓條件，故而效率佳。 上述溫度控制系統只要可進行熱盤87、91之溫度控制的話可為任意者，可列舉例如：具有測定熱盤87、91之溫度之溫度感應器及連接於電腦之控制器等，並算出藉由上述溫度感應器所得之溫度資訊與預設之溫度的差異，而以成為所設定之溫度之方式來開啟關閉加熱構件之電源般者。

此實施形態中，係使用連結於油壓泵浦之油壓缸80來作為下側平板塊82之動力，但只要為可將對第2預疊層體107之按壓力設定為每500mm見方面積在1.67MPa以上者的話，亦可使用連結於油壓泵浦之油壓馬達等其他的升降機構。就即便小型化仍可進行強按壓之方面而言，較佳為使用連結於油壓泵浦之油壓缸。 上述油壓缸80較佳為將其行程長度L ₂設定在230mm以下，更佳為設定在150～200mm之範圍。若將油壓缸80之行程長度L ₂設定在上述範圍內，則可實現與以往之疊層裝置相同等級之裝置尺寸，故而可與以往裝置進行置換，而只要準備必須之裝置即可，故而在配置上無需多餘之費用及空間而較佳。 又，上述油壓缸80較佳為將其徑設定在200mm以上，更佳為設定在200～270mm之範圍。若將油壓缸80之缸筒直徑設定在上述範圍內，則可觀察到變得容易實現相較於以往更強之按壓力之傾向。

上述一對的平板塊81、82間之對第2預疊層體107之按壓力係設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍是重要的，當中較佳為位在2.0～3.5MPa之範圍，更佳為位在2.5～3.5MPa之範圍。此外，本發明所使用之油壓缸80通常亦可在每500mm見方未達1.67MPa下進行按壓。 若對第2預疊層體107之按壓力位在上述範圍內，則在上述第2預疊層體107中，即便在樹脂106無法充分地填充於上述基材104之凹部內之情況，仍可將樹脂106填充至基材104之凹部的各角落，並使上述第2預疊層體107表面之凹凸面平坦化，而形成厚度均勻化後之第1疊層體102。

本實施形態之疊層裝置較佳為具備進行在上述一對的平板塊81、82間之按壓力之控制的按壓控制系統。若具備上述按壓控制系統，若為具有固定之按壓力之升降機構的話，則可無特別限定地使用。又，由於變得更容易將按壓力設定在所欲之範圍，故而可實現例如對照按壓時之溫度資訊來施予最佳之按壓力等更高等級之疊層。

上述按壓控制系統只要可控制上述一對的平板塊81、82間之按壓力的話則可為任意者，可列舉例如：具有檢知來自油壓泵浦之油壓之感應器、檢知油壓缸80之位置之感應器以及連接於電腦之控制器等，並從藉由上述感應器所獲得之資訊，來控制以賦予預設之按壓力之方式所控制之油壓泵浦80之電磁閥的開閉者。

利用上述第1平面加壓疊層裝置61所進行之按壓可在大氣下進行，亦可在減壓下進行。在大氣下進行之情況，可縮短產距時間，又，由於可不具備用以在減壓下進行按壓之構成，故而可謀求低成本化。 另一方面，在減壓下進行按壓之情況，雖有需要在上述第1平面加壓疊層裝置2設置用以在減壓下進行按壓之構成，但除了可利用真空環境，來降低孔隙產生之外，即便在使用柔軟性低之樹脂之情況，仍可使第1預疊層體101表面之凹凸更加平坦化，而更加提高所得之疊層體之表面之平坦性。

根據上述疊層裝置，由於真空疊層裝置60之可前進後退之平板塊66具有：下側緩衝材74；以及下側彈性加壓板75，且上述下側彈性加壓板75係由橡膠所構成，並在上述一對的平板塊間，在真空下來按壓工件100，故而可如圖8所示，於上述真空疊層裝置60內，獲得使樹脂106之狀態變化，並使樹脂106密合追隨於基材104之凹凸之第2預疊層體107。此外，圖8中，符號60所示之範圍係表示上述真空疊層裝置60內之工件100之狀態變化。 然而，上述第2預疊層體107係在第1平面加壓疊層裝置61內，如圖8之符號2所示，藉由上述第1平面加壓疊層裝置61之可撓式金屬板93之平坦面，來保持住平坦性，並以設定為每500mm見方面積在1.67～3.97MPa之範圍之力來按壓於上述第2預疊層體107，故而獲得使表面之凹凸進一步地消失，並使表面平坦化而鏡面化，且樹脂106之滲出量少之第1疊層體102。此外，圖8中，符號61所示之範圍係表示上述第1平面加壓疊層裝置61內之第2預疊層體107之狀態變化。

如此般，此實施形態中，係首先，製作使樹脂106密合追隨於基材104之凹凸之第2預疊層體107，並以高壓力來按壓該第2預疊層體107，而在短時間製作第1疊層體102，故而可高度保持所得之第1疊層體102之平坦性等級，並縮短產距時間且在短時間製造更多之第1疊層體102。又，假設在上述第2預疊層體107中，即便在樹脂106未充分地填充於上述基材104之凹部內之情況，仍可將樹脂106填充至基材104之凹部之各角落。因此，作為樹脂106，不僅是以往的膜類型，即便為粉末類型，仍可抑制孔隙之產生，且進行表面之平坦性之等級極高之疊層。進一步地，為了使產距時間短縮化，以往係需要將樹脂106進行過剩的加熱，然由於無需如此般之加熱，故而不會受到因樹脂106之熱硬化所導致之不良影響，而可充分地發揮本來的特性。 此外，圖8之各圖都為概略性地表示製程及裝置者，並省略無說明之必要之部分的記載。

進而，本發明之疊層裝置可例如圖9(a)、(b)所示，為真空疊層裝置1及第1平面加壓疊層裝置61之任一者具有特徵性的構成者，亦可如圖9(c)所示，真空疊層裝置1及第1平面加壓疊層裝置61兩者具有特徵性的構成者(以虛線來圈出具有本發明之特徵之裝置部分)。

又，本發明之疊層裝置可為將裝置整體全新製造所得者，亦可為與既存之裝置組合而成者。 亦即，亦可在圖9(a)～(c)所示之例中，取代既存之疊層裝置之真空疊層裝置及／或第1平面加壓疊層裝置，而使用本發明所使用之部分(以虛線所圈出表示)。

進而，於圖10表示本發明之另一實施形態。此另一實施形態係於圖1所示之疊層裝置之第1平面加壓疊層裝置2之下游進一步地設置第2平面加壓疊層裝置110，並將經過上述第1平面加壓疊層裝置2之第1疊層體102以與上述第1平面加壓疊層裝置2不同之條件來利用上述第2平面加壓疊層裝置110進行按壓，進而形成凹凸面被平坦化後之第2疊層體108者。

上述第2平面加壓疊層裝置110中，如圖11所示，於上側平板塊111及下側平板塊112之內側(加壓側)安裝有內建加熱器之熱盤114、118，進一步地於其內側(加壓側)配設有金屬板(平面加壓板)116、120。然後，可將經過第1平面加壓疊層裝置2而形成之第1疊層體102在該等金屬板(平面加壓板)116、120間進行按壓，藉此使第1疊層體102之厚度均勻化，且使表面鏡面化，而作成形成為平坦面之第2疊層體108。

如圖11所示，上述第2平面加壓疊層裝置110並未於上述平板塊111、112之熱盤114、118之內側(加壓側)配置有緩衝材。從而，即可更確實地將金屬板(板狀體)116、120之平坦性傳遞至第1疊層體102，而可獲得將表面修飾為更具有鏡面性之平坦面的第2疊層體108。 然而，亦可根據基材104及膜106等之種類，來在熱盤114、118與金屬板(板狀體)116、120之間設置緩衝材，於此情況，較佳為相較於上述第1平面加壓疊層裝置61所使用之緩衝材，緩衝效果更小之緩衝材。緩衝效果之大小通常會根據緩衝材之材質及厚度來決定，但在本發明中，除上述以外，還使用追隨性作為緩衝效果的一種指標。亦即，可將追隨性高之緩衝材作為緩衝效果大。

於上述第2平面加壓疊層裝置110設置緩衝材之情況，表面之蕭氏A硬度較佳為60度以上，更佳為65～75度。若緩衝材之表面蕭氏A硬度為上述範圍內，則觀察到所得之第2疊層體108之樹脂106之厚度成為更加均勻之傾向。

又，於設置上述緩衝材之情況，其厚度通常為0.2～20mm，較佳為0.2～3mm，更佳為0.2～1mm。然後，若上述緩衝材為緩衝效果小於上述第1平面加壓疊層裝置61之緩衝材88、92者，則可更確實地傳遞金屬板(平面加壓板)116、120之平坦性，而可獲得將表面形成為更平坦面之第2疊層體108。此外，緩衝材之材質可使用與第1平面加壓疊層裝置61相同者，但較佳為組合合成樹脂、合成樹脂與其他材質者。

安裝於上述平板塊111、112之內側(加壓側)之金屬板(板狀體)116、120之厚度通常為0.1～10mm，較佳為0.5～7mm，更佳為1～5mm，最佳為2～5mm。若金屬板(板狀體)116、120之厚度為上述範圍內，則機械強度優異，故而可使第1疊層體102之厚度更加均勻化，而作成將表面形成為更平坦面之第2疊層體108。又，若將金屬板(板狀體)116、120之表面藉由拋光研磨等來進行鏡面研磨，則可將第2疊層體108之表面修飾為均勻的鏡面，故而較佳。

作為上述金屬板(板狀體)116、120之材質通常使用不鏽鋼、鐵、鋁、鋁合金等，就耐鏽性優異之方面而言較佳為不鏽鋼。 又，上述金屬板(板狀體)116、120可具有可撓式性，亦可不具有。然而，在使用緩衝材之情況，就不過度發揮其緩衝效果而言，較佳為可撓式性少者。

上述下側平板塊112下側之空間係設置有由伺服馬達121等所構成之升降部。上述伺服馬達121之旋轉數係基於來自可程式邏輯控制器(PLC)之指令訊號及所反饋之平板塊111、112間的距離資訊，並藉由伺服放大器(省略圖式)來控制。因此，藉由控制伺服馬達121之旋轉動作，能夠升降自由地控制此下側平板塊112。

進而，下側平板塊112下側之空間係配設有計測下側平板塊112與加壓台29之間之距離的線性標度尺122。此線性標度尺122具有：被固定於加壓台29之標度尺123；以及被安裝於平板塊112，並同步於平板塊112來上下移動之編碼器頭(encoder head)124，而間接性地測定伴隨著上述伺服馬達121之旋轉動作而升降之下側平板塊112與上側平板塊111之距離(間隙)。本發明中，所謂伺服馬達意指具備有伺服機構之馬達，其用途並無限制。

作為上述線性標度尺122，可使用例如：具有磁性頭之磁性式、或具有發光、感光元件之光學式等的任一類型之線性標度尺(線性編碼器)等。進一步地，亦可取代線性標度尺122，而使用可直接性或間接性地以接觸或非接觸來計測平板塊111、112之間隙的其他樣式之距離計。

上述線性標度尺122亦可以能直接計測下側平板塊112與上側平板塊111之間隙之方式來配設。然而，若將線性標度尺122配設於平板塊111、112之間，則有從熱盤114、118受到熱之影響之虞，若無對熱之考量，則有難以測定正確之間隙之虞。因此，線性標度尺122較佳為配設在遠離熱盤114、118之位置，例如此例般，配設於下側平板塊112之下側，來計測下側平板塊112與加壓台29之間之距離，而間接性地計測下側平板塊112與上側平板塊111之間隙。

上述第2平面加壓疊層裝置110係具備有基於來自PLC之指令訊號及平板塊111、112間之距離資訊之反饋，來控制伺服馬達121之旋轉動作的伺服放大器(圖示省略)。又，平板塊111、112之間隙並非為僅基於被編入至PLC之指令訊號(按壓間隙控制程式)者，而藉由考量從線性標度尺122所得之距離訊號而設定之按壓間隙控制系統來進行控制。亦即，藉由來自PLC之指令訊號而動作之伺服馬達121之旋轉動作係藉由將從線性標度尺122所傳送之平板塊111、112間之距離資訊進行反饋來進行控制。此例中，係藉由來自PLC之指令訊號而使伺服馬達121旋轉並使平板塊112上升，若平板塊111、112之間隙(從線性標度尺122所傳送之平板塊111、112間之距離資訊)成為預設之值，則將成為設定之值的資訊反饋至編入至PLC之指令訊號，而使伺服馬達121之旋轉變慢或停止。藉此，可更正確地設定平板塊112之停止位置，而可更正確地設定平板塊111、112之間隙。

上述第2平面加壓疊層裝置110亦可不使用伺服馬達121，而使用油壓缸等之其他按壓裝置來進行加壓。又，在藉由油壓缸來進行按壓之情況，較佳為具有可控制按壓力之控制系統。

此實施形態中，係可對應於基材104及樹脂106之材質來適當選擇第1平面加壓疊層裝置2及第2平面加壓疊層裝置110中之按壓時之溫度、按壓。當中，就第2疊層體108之修飾性(平坦性、鏡面性)優異之方面而言，較佳為將第1平面加壓疊層裝置2之按壓條件相對於第2平面加壓疊層裝置110之按壓條件設為高溫且低壓力。又，較佳為將第2平面加壓疊層裝置110之按壓時間設為相對於第1平面加壓疊層裝置2之按壓時間要長。

上述實施形態中，係表示於圖1之疊層裝置之下游設置有第2平面加壓疊層裝置110之例(參照圖12(a))，亦可如圖12(b)所示，於圖5之疊層裝置之下游設置第2平面加壓疊層裝置110。又，亦可如圖13所示，於具備有真空疊層裝置1與第1平面加壓疊層裝置61者，設置第2平面加壓疊層裝置110(以虛線來圈出具有本發明之特徵之部分)。 ［實施例］

藉由以下實施例來進一步地說明本發明。然而，本發明並不被限定解釋於下述所示之實施例。 此外，例中為「%」者意指質量基準。

［實施例1］ 使用圖1所示之疊層裝置。 製作出將膜狀(厚度22.5μm)之環氧系之樹脂106載置在表面具有凹凸(銅圖案105)之基材104(凸部之厚度18μm、α部之銅圖案殘銅率80%、β部之銅圖案殘銅率30%、γ部之銅圖案殘銅率0%)之工件100。上述樹脂106雖具有針對射頻之低介電正切之特性，但在因加熱所產生之樹脂流動性上存在有缺點。 藉由真空疊層裝置1之上側熱盤16、下側熱盤20來將空間部26預先調整為110℃，並將吸引開始30秒鐘後之空間部26之壓力設在100Pa以下，而在厚度3mm且厚度不一致為0.2mm之由聚矽氧橡膠所構成之上側彈性加壓板18及下側彈性加壓板22之間將工件100以每500mm見方面積2.5MPa來按壓30秒鐘，以製作出第1預疊層體101。作為上述真空疊層裝置1之上側緩衝材17、下側緩衝材21都使用以於表面配置有布之方式來疊層有5層［醯胺纖維(纖維層)／聚矽氧橡膠(橡膠層)／醯胺纖維(纖維層)／聚矽氧橡膠(橡膠層)／醯胺纖維(纖維層)］且厚度2.6mm之疊層體。又，上述真空疊層裝置1之油壓缸14之缸筒之行程長度為(200mm)。 第1平面加壓疊層裝置2中，係使用厚度2mm之不鏽鋼板狀體來作為上側可撓式金屬板(平面加壓板)36、下側可撓式金屬板(平面加壓板)40，使用厚度2.5mm之偏二氟乙烯系橡膠(VDF)來作為上側緩衝材35、下側緩衝材39。然後，將上側熱盤34、下側熱盤38調整為120℃，並藉由油壓缸32來使下側平板塊28上升，並在上側可撓式金屬板(平面加壓板)36、下側可撓式金屬板(平面加壓板)40將第1預疊層體101以每500mm見方面積0.8MPa之壓力來加熱加壓40秒鐘，而製作出第1疊層體102。

［參考例1］ 使用圖5所示之疊層裝置。 製作出與實施例1同樣地將樹脂106載置在表面具有凹凸(銅圖案105)之基材104(凸部之厚度18μm、α部之銅圖案殘銅率80%、β部之銅圖案殘銅率30%、γ部之銅圖案殘銅率0%)之工件100。 藉由真空疊層裝置60之上側熱盤69、下側熱盤73來將空間部79預先調整為150℃，並將吸引開始30秒鐘後之空間部79之壓力設為100Pa以下，而在厚度3mm且厚度不一致為0.2mm之由聚矽氧橡膠所構成之上側彈性加壓板71及下側彈性加壓板75之間將工件100以每500mm見方面積1MPa來按壓30秒鐘，以製作出第2預疊層體107。上述真空疊層裝置60之上側緩衝材70、下側緩衝材74係使用與實施例1之真空疊層裝置1相同之5層之疊層體。 第1平面加壓疊層裝置61中，係使用厚度2mm之不鏽鋼板狀體來作為上側可撓式金屬板(平面加壓板)89、下側可撓式金屬板(平面加壓板)93，使用厚度2.5mm之偏二氟乙烯系橡膠(VDF)來作為上側緩衝材88、下側緩衝材92。然後，將上側熱盤87、下側熱盤91調整為120℃，並藉由油壓缸80來使下側平板塊82上升，而利用上側可撓式金屬板(平面加壓板)89、下側可撓式金屬板(平面加壓板)93將第2預疊層體107以每500mm見方面積2MPa來按壓40秒鐘，而製作出第1疊層體108。第1平面加壓疊層裝置61之油壓缸80之缸筒之行程長度為200mm。

［實施例2］ 使用圖10所示之疊層裝置。 亦即，除了於實施例1(圖1)之疊層裝置之下游設置有第2平面加壓疊層裝置110以外，都與實施例1同樣地製作出第2疊層體108。 第2平面加壓疊層裝置110並不具備緩衝材，且將熱盤114、118調整為100℃，並藉由伺服馬達121來使下側平板塊112上升，且將加壓面之平面度設定在10μm以內之由不鏽鋼板狀體(厚度2mm)所構成之可撓式金屬板(平面加壓板)116、120間之距離以相較於第2預疊層體107之厚度要少20μm之方式來設定，並加壓40秒鐘，而製作出第2疊層體108。

［實施例3］ 除了取代實施例2之第1平面加壓疊層裝置2，而使用在參考例1所使用之第1平面加壓疊層裝置61以外，都與實施例2同樣地製作出第2疊層體108。

［實施例4］ 除了將實施例3中，工件100之按壓時間設為10秒鐘以外，都與實施例3同樣地製作出第2疊層體108。

［比較例1］ 使用在圖1所示之疊層裝置中，取代真空疊層裝置1，而使用圖6所示之真空疊層裝置60之疊層裝置，且其真空疊層裝置60中之構成及按壓條件係與參考例1同樣地製作出第1疊層體102。 亦即，此比較例1中，係在真空疊層裝置60及第1平面加壓疊層裝置2之任一者之平板塊間之按壓力都未達每500mm見方面積1.67MPa。

就實施例1～4、參考例1、比較例1中所得之第1疊層體102或第2疊層體108，使用下述所示之指標來對「孔隙有無產生」及「厚度之不一致」進行評價。

［孔隙有無產生］ 對各疊層體(102或108)，從表面側藉由250倍顯微鏡來進行觀察，並確認是否於內部產生孔隙。將其結果一併表示於後述表1。 ◎(excellent)：完全未產生孔隙。 〇(very good)：雖有產生非常少數之孔隙，但不會受到不良影響。 ×(poor)：產生多數孔隙。

［厚度之不一致］ 測定各疊層體(102或108)之上述銅圖案(殘銅率)不同之部位(α部、β部、γ部)所對應之處的厚度，並算出最大厚度與最小厚度之差，而評價其值來適用於下述指標。將其結果一併表示於後述表1。 ◎(excellent)：5μm以下。 〇(very good)：超過5μm且為10μm以下。 △(good)：超過10μm且為15μm以下。 ×(poor)：超過15μm。

［表1］

如表1所示，實施例1係在真空疊層裝置1之一對的平板塊11、12間之按壓力為每500mm見方面積2.5MPa，故而在所得之疊層體完全未發現到孔隙之產生。 參考例1中，在真空疊層裝置1之一對的平板塊11、12間之按壓力為每500mm見方面積1.0MPa，故而雖以相較於實施例1要更高溫來進行處理，雖僅有些許但有產生孔隙。然而，第1平面加壓疊層裝置61之一對的平板塊81、82間之按壓力為每500mm見方面積2.0MPa，故而所得之疊層體之厚度之不一致變少。 然後，實施例2～4中，係進一步地設置有第2平面加壓疊層裝置110，故而所得之疊層體幾乎沒有厚度之不一致，且在孔隙產生之抑制上亦優異。特別是實施例3、4中，係獲得更加優異之疊層體，在厚度不一致、孔隙產生之任一者上都有效果地受到抑制。 又，實施例4中之真空疊層裝置中，係已將其按壓時間縮短至以往的1／3左右。

相對於該等，比較例1中，真空疊層裝置60及第1平面加壓疊層裝置2之任一者之平板塊間之按壓力都如以往般每500mm見方面積1MPa、0.8MPa，故而所得之疊層體之厚度呈不一致，且亦觀察到孔隙之產生。

［實施例5］ 接著，為了評價因緩衝材之差異所產生之按壓的均勻性不同，首先，使用實施例1之真空疊層裝置1，並在溫度110℃、真空時間30秒鐘、按壓力每500mm見方面積2.5MPa、按壓時間20秒鐘之條件下進行下述之工件的按壓，而製作出第1預疊層體130。 工件：將厚度22.5μm之膜狀之環氧系的樹脂載置於500mm見方面積之已形成有Cu圖案之基板(將在基板形成有相同之Cu圖案之40mm見方面積的附體試片以11×11之配置來進行面圖排版)上者。

［實施例6］ 除了取代實施例5之真空疊層裝置1之緩衝材，而使用厚度2.6mm之由聚矽氧橡膠單層所構成之緩衝材以外，都與實施例5同樣地進行工件之按壓，而製作出第1預疊層體131。

［比較例2］ 除了將實施例6之按壓條件變更為溫度150℃、真空時間30秒鐘、按壓力每500mm見方面積1.0MPa、按壓時間30秒鐘以外，都與實施例6同樣地進行工件之按壓，而製作出第1預疊層體132。

取出實施例5, 6、比較例2中所得之利用真空疊層裝置1之按壓完成後之工件(第1預疊層體130、131、132)，並個別從外側藉由250倍顯微鏡來進行觀察，而確認是否於內部產生孔隙。將其結果表示於圖14～圖16。該等圖中，框內之數字係表示各試片內所存在之孔隙的數量。

如圖14所示，由於實施例5完全未觀察到孔隙之產生，故而得知對工件之按壓已均勻地進行。又，如圖15所示，實施例6係部分性地觀察到孔隙之產生，而得知對工件之按壓呈不均勻。然而，若為這種程度之孔隙的話，則可例如去除調整在真空疊層裝置1中按壓時之溫度、或是在接續之平面加壓疊層裝置2中之按壓。 另一方面，如圖16所示，比較例2中，對工件之按壓呈更加不均勻。且按壓力呈如以往般每500mm見方面積1.0MPa之按壓，故而孔隙之產生數多，又，由於以150℃之高溫條件來進行按壓，故而無法利用溫度之調整來降低已然產生之孔隙，即便在接續之平面加壓疊層裝置2中之按壓中仍無法降低。

上述實施例中，雖已就本發明中之具體形態來表示，但上述實施例僅不過為例示，而非為限定解釋。發明所屬技術領域中具有通常知識者所顯知之各種變形係意圖為本發明之範圍內。 ［產業利用性］

本發明可作為能將基材與樹脂進行精密疊層之疊層裝置來利用。

1:真空疊層裝置 2:第1平面加壓疊層裝置 3,3’:搬送裝置 4,4’:搬送用膜 6,6’:風扇 7:搬入用輸送帶 8:加壓台 9:支柱 11:平板塊 12:平板塊 13:接頭 14:油壓缸 16:上側熱盤 17:上側緩衝材 18:上側彈性加壓板 20:下側熱盤 21:緩衝材 22:彈性加壓板 23:可動真空框 24:上側固定框部 25:可動框部 26:空間部 27:平板塊 28:平板塊 29:加壓台 30:支柱 31:接頭 32:油壓缸 34:上側熱盤 35:上側緩衝材 36:可撓式金屬板 38:下側熱盤 39:下側緩衝材 40:可撓式金屬板 55,55’:搬送用膜抽出機 56,56’:搬送用膜捲取機 60:真空疊層裝置 61:第1平面加壓疊層裝置 62:油壓缸 63:加壓台 64:支柱 65:上側平板塊 66:下側平板塊 67:接頭 69:上側熱盤 70:上側緩衝材 71:彈性加壓板 73:下側熱盤 74:下側緩衝材 75:下側彈性加壓板 76:可動真空框 77:上側固定框部 78:可動框部 79:空間部 80:油壓缸 81:上側平板塊 82:下側平板塊 83:加壓台 84:支柱 87:上側熱盤 88:上側緩衝材 89:上側可撓式金屬板 91:下側熱盤 92:下側緩衝材 93:下側可撓式金屬板 100:工件 101:第1預疊層體 102:第1疊層體 104:基材 105:銅圖案 106:樹脂 107:第2預疊層體 108:第2疊層體 110:第2平面加壓疊層裝置 111:上側平板塊 112:下側平板塊 114:熱盤 116:金屬板 118:熱盤 120:金屬板 121:伺服馬達 122:線性標度尺 123:標度尺 124:編碼器頭 130:第1預疊層體 131:第1預疊層體 132:第1預疊層體 L ₁:行程長度 L ₂:行程長度

［圖1］為說明本發明一實施形態相關之疊層裝置之概略之構成圖。 ［圖2］為上述疊層裝置之真空疊層裝置之說明圖。 ［圖3］為上述疊層裝置之第1平面加壓疊層裝置之說明圖。 ［圖4］為說明上述疊層裝置中之真空疊層裝置及第1平面加壓疊層裝置中之按壓對象物的疊層狀態之變化之圖。 ［圖5］為說明本發明另一實施形態相關疊層裝置之概略之構成圖。 ［圖6］為上述疊層裝置之真空疊層裝置之說明圖。 ［圖7］為上述疊層裝置之第1平面加壓疊層裝置之說明圖。 ［圖8］為說明上述疊層裝置中之真空疊層裝置及第1平面加壓疊層裝置中之按壓對象物的疊層狀態之變化之圖。 ［圖9］(a)～(c)為說明本發明實施形態之變化之構成圖。 ［圖10］為說明本發明又一實施形態相關之疊層裝置之概略之構成圖。 ［圖11］為上述疊層裝置之第2平面加壓疊層裝置之說明圖。 ［圖12］(a)～(b)為說明本發明實施形態之變化之構成圖。 ［圖13］為說明本發明實施形態之變化之構成圖。 ［圖14］為表示實施例6之結果之圖。 ［圖15］為表示實施例7之結果之圖。 ［圖16］為表示比較例2之結果之圖。

1:真空疊層裝置

2:第1平面加壓疊層裝置

3,3’:搬送裝置

4,4’:搬送用膜

6,6’:風扇

7:搬入用輸送帶

8:加壓台

9:支柱

11:平板塊

12:平板塊

13:接頭

14:油壓缸

26:空間部

27,28:平板塊

29:加壓台

30:支柱

31:接頭

32:油壓缸

55,55’:搬送用膜抽出機

56,56’:搬送用膜捲取機

100:工件

101:第1預疊層體

102:第1疊層體

104:基材

105:銅圖案

106:樹脂

Claims (10)

1. 一種疊層裝置，於基材疊層樹脂而形成疊層體； 該疊層裝置具備：真空疊層裝置，於減壓下按壓該基材與樹脂而形成預疊層體；以及第1平面加壓疊層裝置，按壓該預疊層體而形成疊層體； 該真空疊層裝置具有呈對向之一對的平板塊，該一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在該一對的平板塊間按壓該基材與樹脂； 該可前進後退的平板塊具有彈性加壓板與緩衝材，該緩衝材係由具有纖維層與橡膠層之3層以上的複層體所構成； 該一對的平板塊間之對該基材與樹脂之按壓力係設定為每500mm見方面積在2.5～3.97MPa之範圍。
2. 一種疊層裝置，於基材疊層樹脂而形成疊層體； 該疊層裝置具備：真空疊層裝置，係於減壓下按壓該基材與樹脂而形成預疊層體；以及第1平面加壓疊層裝置，係按壓該預疊層體而形成疊層體； 該真空疊層裝置具有呈對向之一對的平板塊，該一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在該一對的平板塊間按壓該基材與樹脂； 該可前進後退的平板塊具有彈性加壓板與緩衝材，該緩衝材係由具有纖維層與橡膠層之3層以上的複層體所構成； 該第1平面加壓疊層裝置具有呈對向之一對的平板塊，該一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，並在該一對的平板塊間按壓該預疊層體； 該可前進後退的平板塊具有平面加壓板； 該一對的平板塊間之對該預疊層體之按壓力係設定為每500mm見方面積在2.5～3.97MPa之範圍。
3. 如請求項1之疊層裝置，其係於該真空疊層裝置之平板塊連結有油壓缸，並藉由該油壓缸之作動使該平板塊可前進後退，該油壓缸之缸筒之直徑係設定為200mm以上。
4. 如請求項2之疊層裝置，其係於該第1平面加壓疊層裝置之平板塊連結有油壓缸，並藉由該油壓缸之作動可使該平板塊前進後退，該油壓缸之缸筒之直徑係設定為200mm以上。
5. 如請求項1或2之疊層裝置，更具備：第2平面加壓疊層裝置； 該第2平面加壓疊層裝置具有呈對向之一對的平板塊，該一對的平板塊中之至少一者係設定為可相對於另一者前進後退，經由利用第1平面加壓疊層裝置進行之按壓所得到之疊層體進一步地在該一對的平板塊間被按壓。
6. 如請求項1或2之疊層裝置，其中， 該真空疊層裝置中之彈性加壓板係以選自於由氟橡膠、聚矽氧橡膠、乙烯/醋酸乙烯酯共聚物、丙烯酸橡膠、環氧氯丙烷橡膠所構成之群組中的至少一個所構成。
7. 一種真空疊層裝置，用於如請求項1或3之疊層裝置。
8. 一種真空疊層裝置，用於如請求項5之疊層裝置。
9. 一種第1平面加壓疊層裝置，用於如請求項2或4之疊層裝置。
10. 一種第1平面加壓疊層裝置，用於如請求項5之疊層裝置。

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