TW202338393A - 異常判定裝置、異常判定系統及異常判定方法 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種能夠以低成本判定燈加熱器的異常可能性的異常判定裝置。異常判定裝置包括：獲取部，獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經電熱體的電流而算出的電熱體的電阻值；以及判定部，基於所獲取的電阻值來進行燈加熱器是否為異常的判定即異常判定。判定部在所獲取的電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為燈加熱器為異常。
Description
本發明是有關於一種對加熱器的異常進行判定的異常判定裝置、異常判定系統及異常判定方法。
專利文獻1中揭示了一種電加熱器，其根據通電時的電阻增加率的變化的大小來判定加熱器的異常。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開平8-124653號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，在電加熱器中的鹵素加熱器等燈加熱器中，由於玻璃管內部的黑化或玻璃管外部的污垢的附著（以下稱為黑化現象）而使紅外線的放出衰減，有時會成為加熱不足或加熱不均等異常的原因。因此，一般而言，燈加熱器的異常是藉由對玻璃管的黑化現象進行目視或進行利用照相機圖像的監視來檢測。
然而，若對玻璃管的黑化現象進行目視或利用照相機圖像進行監視，則由於人工費或裝置成本等監視成本變高，因此有時無法始終監視燈加熱器的異常。在所述情況下，對玻璃管的黑化現象的監視頻度降低，有可能漏掉燈加熱器的異常。
本揭示提供一種能夠以低成本判定燈加熱器的異常可能性的異常判定裝置、異常判定系統及異常判定方法。
[解決課題之手段]
本揭示的一形態的異常判定裝置包括：
獲取部，獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值；以及
判定部，基於所獲取的所述電阻值來進行異常判定，所述異常判定是所述燈加熱器是否為異常的判定，
所述判定部在所獲取的所述電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為所述燈加熱器為異常。
本揭示的一形態的異常判定系統包括：
所述形態的異常判定裝置；
所述燈加熱器；以及
對所述燈加熱器進行控制的控制裝置。
本揭示的一形態的異常判定方法是：
獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值，
在所獲取的所述電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為所述燈加熱器為異常。
[發明的效果]
藉由所述形態的異常判定裝置，可實現能夠以低成本判定燈加熱器的異常可能性的異常判定裝置。
藉由所述形態的異常判定系統，可實現能夠以低成本判定燈加熱器的異常可能性的異常判定系統。
藉由所述形態的異常判定方法，可以低成本判定燈加熱器的異常可能性。
以下，依據隨附圖式來說明本揭示的一例。以下的說明本質上只不過是示例，並非意圖限制本揭示、其適用物或者其用途。圖式是示意性者，各尺寸的比率等未必與現實者一致。
作為一例，如圖1所示，本揭示的一實施方式的異常判定裝置10構成異常判定系統1的一部分。異常判定系統1包括：鹵素加熱器等燈加熱器20、以及對燈加熱器20的溫度值進行控制的調溫器22。調溫器22是對燈加熱器20進行控制的控制裝置的一例。在本實施方式中，異常判定系統1除了包括燈加熱器20及調溫器22以外，更包括固態繼電器（Solid State Relay，SSR）23、溫度感測器25、電壓感測器26及電流感測器27。
如圖1所示，燈加熱器20具有電熱線等電熱體21。在本實施方式中，作為一例，在電熱體21經由固態繼電器23而連接調溫器22，在固態繼電器23連接有電源24。調溫器22基於由溫度感測器25檢測出的溫度值，以燈加熱器20的溫度值成為既定值的方式，經由固態繼電器23對電熱體21進行控制。在固態繼電器23接通的情況下，來自電源24的電流被供給至電熱體21。電熱體21的發熱量根據操作量而發生變化。電壓感測器26對電熱體21兩端的電壓進行檢測。電流感測器27對流經電熱體21的電流進行檢測。
異常判定裝置10包括獲取部100及判定部110，對燈加熱器20的異常進行判定。作為一例，異常判定裝置10包括處理器11、記憶部12及通訊部13。獲取部100及判定部110中的各者例如藉由處理器11執行記憶在記憶部12中的規定程式來實現。處理器11包括中央處理單元（Central Processing Unit，CPU）、微處理單元（Micro Processing Unit，MPU）、圖形處理單元（Graphic Processing Unit，GPU）、數位訊號處理器（Digital Signal Processor，DSP）、現場可程式閘陣列（Field Programmable Gate Array，FPGA）、特定應用積體電路（Application-Specific Integrated Circuit，ASIC）等。記憶部12例如包括內部記錄介質或外部記錄介質。內部記錄介質包括非揮發記憶體等。外部記錄介質包括硬碟（硬磁碟驅動機（Hard Disk Drive，HDD））、固態硬碟（Solid State Drive，SSD）、光碟裝置等。通訊部13例如包括用於與伺服器等外部裝置之間進行資料收發的通訊電路或通訊模組。
獲取部100例如經由通訊部13獲取電熱體21的電阻值（以下稱為電阻值）。電阻值例如根據由電壓感測器26檢測出的電熱體21的兩端的電壓與由電流感測器27檢測出的流經電熱體21的電流來算出。在本實施方式中，獲取部100除了獲取電阻值以外，獲取燈加熱器20的功率值（以下稱為功率值）、與燈加熱器20的溫度值（以下稱為溫度值）。功率值例如根據由電壓感測器26檢測出的電熱體21的兩端的電壓與由電流感測器27檢測出的流經電熱體21的電流來算出。
亦可對所獲取的電阻值及功率值實施低通濾波處理（例如移動平均處理）。對電阻值及功率值的低通濾波處理例如根據燈加熱器20的種類等來設定，由異常判定裝置10或外部裝置來實施。
溫度值由溫度感測器25測定。由溫度感測器25測定溫度的測定對象可為電熱體21，亦可為由電熱體21加熱的被熱處理物，亦可為電熱體21周圍的環境。例如，可將以如下所示的形態由溫度感測器25測定而得的值設為「溫度值」。
·利用溫度感測器25直接測定電熱體21的溫度而得的值。
·利用溫度感測器25對經電熱體21加熱的被熱處理物（例如，配置於收容有燈加熱器20的框體內的工件或半導體晶圓）的表面進行測定而得的值。
·利用溫度感測器25對經配置於爐內的電熱體21加熱的被熱處理物周圍的環境溫度進行測定而得的值。
判定部110基於所獲取的電阻值進行燈加熱器20是否為異常的異常判定。詳細而言，判定部110在所獲取的電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為燈加熱器20為異常。
第一臨限值例如是基於燈加熱器20為正常且穩定狀態時的電阻值（以下稱為基準電阻值）而算出。作為一例，第一臨限值是將基準電阻值乘以餘量係數（例如1.05）而算出。關於算出第一臨限值時的燈加熱器20是否為正常，例如利用目視或照相機圖像來進行判定。在燈加熱器20正常的狀態中，包括未被判定部110判定為燈加熱器20為異常的狀態。第一臨限值的算出可利用異常判定裝置10進行，亦可利用外部裝置進行。燈加熱器20是否為穩定狀態例如藉由是否滿足後述的穩定條件來判斷。算出的第一臨限值可記憶於記憶部12中，亦可記憶於外部裝置中。
在本實施方式中，判定部110在燈加熱器20為穩定狀態的情況下進行異常判定。以下示出判定為燈加熱器20為穩定狀態的穩定條件的一例。燈加熱器20是否為穩定狀態可基於下述的穩定條件中的任意一個來判定，亦可基於下述的穩定條件中的任意多個或下述的穩定條件以外的條件來判定。
·功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內的情況。例如，只要預定的監視期間（例如60秒）中的功率值的變動幅度在正負20%以內，則判斷為處於第一範圍內。第一期間例如是將獲取功率值的週期乘以功率值的移動平均次數而獲得的期間，是較監視期間更長的期間（例如120秒）。
·溫度值遍及第二期間而處於預定的第二範圍內的情況。例如，只要預定的監視期間（例如60秒）中的燈加熱器20的溫度的變動幅度在攝氏正負1度以內，則判斷為處於第二範圍內。第二期間例如是較監視期間更長的期間（例如120秒）。
以下示出在對電阻值及功率值實施移動平均處理的情況下，判定為「功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內」的一例。
·在對功率值實施的移動平均處理次數大於對電阻值實施的移動平均處理次數的情況下，只要功率值連續以對功率值實施的移動平均處理次數處於第一範圍內，則判定為「功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內」。
·在對功率值實施的移動平均處理次數小於對電阻值實施的移動平均處理次數的情況下，只要功率值連續以對電阻值實施的移動平均處理次數處於第一範圍內，則判定為「功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內」。
在判定燈加熱器20是否為穩定狀態時，自監視期間或第一期間或第二期間的開始起經過的時間例如由外部裝置測量，經由通訊部13而由獲取部100獲取。
判定部110在所獲取的電阻值超過第一臨限值時，根據所獲取的功率值，判定燈加熱器20的異常是起因於「燈加熱器20的黑化現象」、或者是起因於「電熱體21的電阻劣化」。詳細而言，判定部110在所獲取的功率值超過第二臨限值的情況下，判定為燈加熱器20的異常是起因於「燈加熱器20的黑化」的異常，在所獲取的功率值未超過第二臨限值的情況下，判定為燈加熱器20的異常是起因於「電熱體21的電阻劣化」的異常。「燈加熱器20的黑化現象」例如包括由於在覆蓋電熱體21的玻璃管的內表面附著蒸發的燈絲而變黑的現象、及由於在覆蓋電熱體21的玻璃管的外表面附著污垢而變黑的現象。「電熱體21的電阻劣化」包括由經年變化引起的電熱體21的電阻值增加的現象。
第二臨限值例如是基於燈加熱器20為正常且穩定狀態時的功率值（以下稱為基準功率值）而算出。作為一例，第二臨限值是將基準功率值乘以餘量係數（例如1.1）而算出。關於算出第二臨限值時的燈加熱器20是否為正常，例如利用目視或照相機圖像來進行判定。第二臨限值的算出可在異常判定裝置10中進行，亦可在外部裝置中進行。燈加熱器20是否為穩定狀態例如藉由是否滿足所述的穩定條件來判斷。算出的第二臨限值可記憶於記憶部12中，亦可記憶於外部裝置中。
在判定為燈加熱器20為異常的情況下，例如進行懷疑燈加熱器20有劣化或燈加熱器20有故障的意旨的告知。此時，亦可構成為，根據所獲取的電阻值，階段性地告知燈加熱器20的異常。例如，在所獲取的功率值超過第一臨限值的103%的情況下，告知加熱器的劣化狀態為「注意」級別。在所獲取的功率值超過第一臨限值的105%的情況下，告知加熱器的劣化狀態為「警報」級別。
參照圖2～圖4，對使用異常判定裝置10的異常判定方法的一例進行說明。作為一例，圖2～圖4所示的異常判定方法藉由處理器11執行規定的程式來實施。
如圖2所示，當開始異常判定方法時，獲取部100獲取電阻值（步驟S1）。判定部110對所獲取的電阻值是否超過第一臨限值進行判定（步驟S2）。若判定為所獲取的電阻值超過第一臨限值，則判定部110判定為燈加熱器20為異常（步驟S3）。
在步驟S3中判定為燈加熱器20為異常之後、或者在步驟S2中未判定為所獲取的電阻值超過第一臨限值的情況下，判定部110對是否結束異常判定方法進行判定（步驟S4）。在未判定為結束異常判定方法的情況下，返回步驟S1，獲取電阻值。
以下示出異常判定方法的結束條件的一例。
·獲取部100獲取了結束指令的情況。
·判定部110進行了規定次數的異常判定的情況。
·自異常判定方法的開始經過了規定時間的情況。
參照圖3，對在燈加熱器20為穩定狀態時進行異常判定的情況下的異常判定方法的第一例進行說明。
如圖3所示，當開始異常判定方法時，判定部110對燈加熱器20是否為穩定狀態進行判定（步驟S5）。重覆步驟S5，直至判定為燈加熱器20為穩定狀態為止。
當判定為燈加熱器20為穩定狀態時，執行步驟S1～步驟S4。在步驟S4中未判定為結束異常判定方法的情況下，返回步驟S5，判定燈加熱器20是否為穩定狀態。
參照圖4，對在燈加熱器20為穩定狀態時進行異常判定的情況下的異常判定方法的第二例進行說明。
如圖4所示，當開始異常判定方法時，由判定部110判定燈加熱器20是否為穩定狀態（步驟S5），當判定為燈加熱器20為穩定狀態時，獲取部100獲取電阻值及功率值（步驟S6）。例如，功率值與電阻值在大致相同的定時獲取。
當獲取電阻值及功率值時，由判定部110判定所獲取的電阻值是否超過第一臨限值（步驟S2），若判定為所獲取的電阻值超過第一臨限值，則判定部110對所獲取的功率值是否超過第二臨限值進行判定（步驟S7）。
在判定為所獲取的功率值超過第二臨限值的情況下，判定部110判定為燈加熱器20為起因於燈加熱器20的黑化現象的異常（步驟S8），然後進入步驟S4。在未判定為所獲取的功率值超過第二臨限值的情況下，判定部110判定為燈加熱器20為起因於電熱體21的電阻劣化的異常（步驟S9），然後進入步驟S4。
異常判定裝置10可發揮如下的效果。
異常判定裝置10包括：獲取部100，獲取根據燈加熱器20的電熱體21兩端的電壓及流經電熱體21的電流而算出的電熱體21的電阻值；以及判定部110，基於所獲取的電阻值來進行燈加熱器20是否為異常的判定即異常判定。判定部110在所獲取的電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為燈加熱器20為異常。藉由此種結構，可在不進行目視或不使用照相機圖像的情況下判定燈加熱器20的異常可能性。其結果，可實現能夠以低成本判定燈加熱器20的異常可能性的異常判定裝置10。
此處，將正常的燈加熱器20的功率值與異常的燈加熱器20的功率值的關係示於圖5。在圖5中，利用虛線表示正常的燈加熱器20的功率值，利用實線表示異常的燈加熱器20的功率值。作為一例，如圖6所示，將因黑化現象而導致對溫度感測器25進行直接加熱的放射熱202減少的狀態的燈加熱器20設為異常的燈加熱器20。在圖6中，燈加熱器20具有因黑化現象而變黑的部分201，對被熱處理物200進行加熱。
如圖5所示，異常的燈加熱器20與正常的燈加熱器20相比，穩定狀態的功率值增加。因此，藉由獲取功率值並與基於正常的燈加熱器20的功率值算出的第一臨限值進行比較，可判定燈加熱器20的異常可能性。另外，藉由在燈加熱器20為穩定狀態的情況下進行異常判定，可更準確地判定燈加熱器20的異常可能性。
判定部110在所獲取的功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內的情況下，判定為燈加熱器20為穩定狀態。藉由此種結構，可更準確地判定燈加熱器20的異常可能性。
當所獲取的電阻值超過所述第一臨限值時，在所獲取的功率值超過第二臨限值的情況下，判定部110判定為燈加熱器20的異常是起因於燈加熱器20的黑化現象的異常。藉由此種結構，可確定燈加熱器20的異常的因素。
當所獲取的電阻值超過第一臨限值時，在所獲取的功率值未超過第二臨限值的情況下，判定部110判定為燈加熱器20的異常是起因於電熱體21的電阻劣化的異常。藉由此種結構，可確定燈加熱器20的異常的因素。
對功率值實施有低通濾波處理。藉由此種結構，可容易地使功率值穩定。
判定部110在所獲取的溫度值遍及第二期間而處於預定的第二範圍內的情況下，判定為燈加熱器20為穩定狀態。藉由此種結構，可更準確地判定燈加熱器20的異常可能性。
藉由本揭示的異常判定系統，可發揮如下的效果。
異常判定系統1包括：異常判定裝置10、燈加熱器20、以及對燈加熱器20進行控制的控制裝置。藉由此種結構，可實現能夠以低成本判定燈加熱器的異常可能性的異常判定系統。
藉由本揭示的異常判定方法，可發揮如下的效果。
在異常判定方法中，獲取根據燈加熱器20的電熱體21兩端的電壓及流經電熱體21的電流而算出的電熱體21的電阻值，在所獲取的電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為燈加熱器20為異常。藉由此種結構，可以低成本判定燈加熱器的異常可能性。
異常判定裝置10、異常判定系統1及異常判定方法亦可以如下方式構成。
獲取部100只要構成為至少能夠獲取電阻值即可。
判定部110只要構成為至少在所獲取的電阻值超過第一臨限值的情況下能夠判定為燈加熱器20為異常即可。
控制裝置並不限於包括調溫器22的情況，例如，如圖7所示，亦可包括功率調整器28。圖7的異常判定系統1與圖1的異常判定系統1相比，代替溫度感測器25、調溫器22及固態繼電器23而包括功率調整器28。即，在圖7的異常判定系統1中，不控制燈加熱器20的溫度值。功率調整器28將供給至燈加熱器20的有效電壓控制為既定值。藉此，可提高異常判定系統1的設計自由度。
如圖8所示，判定部110在基於功率值而未判定為燈加熱器20為穩定狀態的情況下，亦可判定為燈加熱器20為異常。作為一例，圖8所示的穩定狀態判定處理藉由處理器11執行規定的程式來實施。
如圖8所示，當開始穩定狀態判定處理時，獲取部100獲取溫度值（步驟S10）。判定部110判定所獲取的溫度值是否遍及第二期間而處於第二範圍內，換言之，判定是否遍及第二期間而滿足「下限臨限值≦溫度值≦上限臨限值」（步驟S11）。重覆步驟S11，直至判定為遍及第二期間而滿足「下限臨限值≦溫度值≦上限臨限值」為止。
當判定為遍及第二期間而滿足「下限臨限值≦溫度值≦上限臨限值」時，獲取部100獲取功率值（步驟S12）。判定部110判定所獲取的功率值是否遍及第一期間而處於第一範圍內，換言之，判定是否遍及第一期間而滿足「下限臨限值≦功率值≦上限臨限值」（步驟S13）。作為一例，在基準功率值為1000 W的情況下，下限臨限值是基準功率值的80%（=800 W），上限臨限值是基準功率值的120%（=1200 W）。
在判定為所獲取的功率值遍及第一期間而處於第一範圍內的情況下，判定部110判定為燈加熱器20為穩定狀態（步驟S14），結束穩定狀態判定處理。在未判定為所獲取的功率值遍及第一期間而處於第一範圍內的情況下，判定部110判定為燈加熱器20為異常（步驟S15），結束穩定狀態判定處理。
亦可將判定部110構成為，在步驟S15中，在連續多次未判定為所獲取的功率值遍及第一期間而處於第一範圍內的情況下，判定為燈加熱器20為異常。
本揭示的異常判定方法可使電腦執行。即，本揭示包括用於使電腦執行異常判定方法的程式、及對用於使電腦執行異常判定方法的程式進行記憶的電腦可讀性的記憶介質。
以上，參照圖式詳細說明了本揭示中的各種實施方式，但在最後對本揭示的各種形態進行說明。再者，以下的說明中，作為一例，亦追加參照符號來進行記載。
本揭示的第一形態的異常判定裝置10包括：
獲取部100，獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值；以及
判定部110，基於所獲取的所述電阻值來進行所述燈加熱器是否為異常的判定即異常判定，
所述判定部110在所獲取的所述電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為所述燈加熱器為異常。
本揭示的第二形態的異常判定裝置10中，
所述判定部110在所述燈加熱器為穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。
本揭示的第三形態的異常判定裝置10中，
所述獲取部100獲取所述電熱體的功率值，
在所獲取的所述功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內的情況下，所述判定部110判定為所述燈加熱器為穩定狀態。
本揭示的第四形態的異常判定裝置10中，
當所獲取的所述電阻值超過所述第一臨限值時，在所獲取的所述功率值超過第二臨限值的情況下，所述判定部110判定為所述燈加熱器的異常是起因於所述燈加熱器的黑化現象的異常。
本揭示的第五形態的異常判定裝置10中，
當所獲取的所述電阻值超過所述第一臨限值時，在所獲取的所述功率值未超過第二臨限值的情況下，所述判定部110判定為所述燈加熱器的異常是起因於所述電熱體的電阻劣化的異常。
本揭示的第六形態的異常判定裝置10中，
對所述功率值實施有低通濾波處理。
本揭示的第七形態的異常判定裝置10中，
所述獲取部100獲取所述燈加熱器的溫度值，
所述判定部110在所獲取的所述溫度值遍及第二期間而處於預定的第二範圍內的情況下，判定為所述燈加熱器為穩定狀態。
本揭示的第八形態的異常判定系統1包括：
所述形態的異常判定裝置10；
所述燈加熱器20；以及
對所述燈加熱器20進行控制的控制裝置。
本揭示的第九形態的異常判定系統1中，
所述控制裝置將所述燈加熱器20的溫度值控制為既定值。
本揭示的第十形態的異常判定系統中，
所述控制裝置將供給至所述燈加熱器20的有效電壓控制為既定值。
本揭示的第十一形態的異常判定方法中，
獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值，
在所獲取的所述電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為所述燈加熱器為異常。
藉由將所述各種實施方式或變形例中的任意的實施方式或變形例適當組合，可起到各自具有的效果。另外，能夠進行實施方式彼此的組合、實施例彼此的組合或者實施方式與實施例的組合，並且亦能夠進行不同的實施方式或實施例中的特徵彼此的組合。
本揭示已一邊參照隨附圖式一邊關聯於較佳實施方式進行了充分記載，但對於熟習該技術的人們而言，各種變形或修正是顯而易見的。應理解為，此種變形或修正只要未脫離基於隨附的請求項的本揭示的範圍，便包含於其中。
[產業上之可利用性]
本揭示的異常判定裝置、異常判定系統及異常判定方法可應用於例如鹵素加熱器。
1:異常判定系統
10:異常判定裝置
11:處理器
12:記憶部
13:通訊部
20:燈加熱器
21:電熱體
22:調溫器
23:SSR
24:電源
25:溫度感測器
26:電壓感測器
27:電流感測器
28:功率調整器
100:獲取部
110:判定部
200:被熱處理物
201:因黑化現象而變黑的部分
202:放射熱
S1～S15:步驟
圖1是表示包括本揭示的一實施方式的異常判定裝置的異常判定系統的框圖。
圖2是用於說明使用了圖1的異常判定裝置的異常判定方法的第一流程圖。
圖3是用於說明使用了圖1的異常判定裝置的異常判定方法的第二流程圖。
圖4是用於說明使用了圖1的異常判定裝置的異常判定方法的第三流程圖。
圖5是表示正常的燈加熱器的功率值與異常的燈加熱器的功率值的關係的圖表。
圖6是表示異常的燈加熱器的一例的示意圖。
圖7是表示圖1的異常判定系統的變形例的框圖。
圖8是用於說明使用了圖1的異常判定裝置的穩定狀態判定處理的流程圖。
S1~S4:步驟
Claims (11)
- 一種異常判定裝置，包括： 獲取部，獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值；以及 判定部，基於所獲取的所述電阻值來進行異常判定，所述異常判定是所述燈加熱器是否為異常的判定， 所述判定部在所獲取的所述電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為所述燈加熱器為異常。
- 如請求項1所述的異常判定裝置，其中所述判定部在所述燈加熱器為穩定狀態的情況下進行所述異常判定。
- 如請求項2所述的異常判定裝置，其中所述獲取部獲取所述電熱體的功率值， 在所獲取的所述功率值遍及第一期間而處於預定的第一範圍內的情況下，所述判定部判定為所述燈加熱器為穩定狀態。
- 如請求項3所述的異常判定裝置，其中當所獲取的所述電阻值超過所述第一臨限值時，在所獲取的所述功率值超過第二臨限值的情況下，所述判定部判定為所述燈加熱器的異常為起因於所述燈加熱器的黑化現象的異常。
- 如請求項3或4所述的異常判定裝置，其中當所獲取的所述電阻值超過所述第一臨限值時，在所獲取的所述功率值未超過第二臨限值的情況下，所述判定部判定為所述燈加熱器的異常為起因於所述電熱體的電阻劣化的異常。
- 如請求項3或4所述的異常判定裝置，其中對所述功率值實施有低通濾波處理。
- 如請求項2至4中任一項所述的異常判定裝置，其中所述獲取部獲取所述燈加熱器的溫度值， 在所獲取的所述溫度值遍及第二期間而處於預定的第二範圍內的情況下，所述判定部判定為所述燈加熱器為穩定狀態。
- 一種異常判定系統，包括： 如請求項1至7中任一項所述的異常判定裝置； 所述燈加熱器；以及 對所述燈加熱器進行控制的控制裝置。
- 如請求項8所述的異常判定系統，其中所述控制裝置將所述燈加熱器的溫度值控制為既定值。
- 如請求項8所述的異常判定系統，其中所述控制裝置將供給至所述燈加熱器的有效電壓控制為既定值。
- 一種異常判定方法，獲取根據燈加熱器的電熱體的兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值， 在所獲取的所述電阻值超過第一臨限值的情況下，判定為所述燈加熱器為異常。
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