TW202304249A - 異常判定裝置、異常判定方法以及異常判定系統 - Google Patents

Abstract

實現可更準確地判定加熱器的異常的異常判定裝置。異常判定裝置包括：獲取部，獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經電熱體的電流算出的電熱體的電阻值，並且獲取加熱器的溫度值；第一判定部，基於所獲取的電阻值進行異常判定；第二判定部，判定所獲取的溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及第三判定部，判定所獲取的電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態。第一判定部在由第二判定部判定為遍及第一期間為溫度穩定狀態，且由第三判定部判定為遍及第二期間為電阻穩定狀態時，進行異常判定。

Description

異常判定裝置、異常判定方法以及異常判定系統

本發明是有關於一種判定加熱器的異常的異常判定裝置、異常判定方法以及異常判定系統。

專利文獻1中揭示了一種電加熱器，其根據通電時的電阻增加率的變化的大小來判定加熱器的異常。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平8-124653號公報

[發明所欲解決之課題]

電加熱器的加熱絲的電阻具備溫度特性。專利文獻1的電加熱器不包括用於對加熱絲的溫度進行檢測的感測器，因此有時無法準確地判定通電時的電阻增加率的變化的大小。

本揭示提供一種可更準確地判定加熱器的異常的異常判定裝置、異常判定方法以及異常判定系統。 [解決課題之手段]

本揭示的一形態的異常判定裝置包括： 獲取部，獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值，並且獲取所述加熱器的溫度值； 第一判定部，基於所獲取的所述電阻值來進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定； 第二判定部，判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及 第三判定部，判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 所述第一判定部在由所述第二判定部判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且由所述第三判定部判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。

本揭示的一形態的異常判定方法， 獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值，並且獲取所述加熱器的溫度值， 判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態， 判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 在判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定。

本揭示的一形態的異常判定系統包括： 第一機器，具有第一獲取部及第一判定部，所述第一獲取部獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經所述電熱體的電流算出的所述電熱體的電阻值，所述第一判定部基於所獲取的所述電阻值來進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定； 第二機器，具有第二獲取部及第二判定部，且與所述第一機器進行通訊連接，所述第二獲取部獲取所述加熱器的溫度值，所述第二判定部判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及 第三機器，具有第三獲取部及第三判定部，且與所述第一機器進行通訊連接，所述第三獲取部獲取所述電熱體的所述電阻值，所述第三判定部判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 所述第一獲取部獲取所述第二判定部得出的判定結果及所述第三判定部得出的判定結果， 所述第一判定部在由所述第二判定部判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且由所述第三判定部判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。 [發明的效果]

根據所述形態的異常判定裝置，可實現能夠更準確地判定加熱器的異常的異常判定裝置。

根據所述形態的異常判定方法，可更準確地判定加熱器的異常。

根據所述形態的異常判定系統，可實現既能應對各種實施形態，又能更準確地判定加熱器的異常的異常判定系統。

以下，依據附圖來說明本揭示的一例。再者，以下的說明中，根據需要來使用表示特定的方向或位置的用語（例如包含「上」、「下」、「右」、「左」的用語），但該些用語的使用是為了便於參照圖式來理解本揭示，本揭示的技術範圍不受該些用語的含義所限定。而且，以下的說明本質上不過是例示，並非意圖限制本揭示、其適用物或者其用途。進而，圖式是示意性者，各尺寸的比率等未必與現實的一致。

作為一例，如圖1所示，本揭示的一實施形態的異常判定裝置1具有進行運算的中央處理單元（Central Processing Unit，CPU）2、記憶部3以及通訊部4，進行加熱器的電熱體10的異常判定。記憶部3記憶電熱體10的異常判定所需的程式及資料等的資訊。通訊部4與利用無線或有線而連接的外部裝置之間進行資訊的輸入/輸出。電熱體10例如為電阻加熱器的電熱絲。在電熱體10，連接有調溫器11及固態繼電器（Solid State Relay，SSR）12，在固態繼電器12，連接有電源13。調溫器11對固態繼電器12進行通斷控制。當固態繼電器12導通時，來自電源13的電流被供給至電熱體10。

異常判定裝置1包括獲取部100、第一判定部110、第二判定部120、第三判定部130以及目標值設定部140。獲取部100、第一判定部110、第二判定部120、第三判定部130及目標值設定部140各自為例如藉由CPU2執行規定的程式而實現的功能。

獲取部100例如經由通訊部4來獲取根據加熱器的電熱體10兩端的電壓及流經電熱體10的電流而算出的電熱體10的電阻值與加熱器的溫度值。電熱體10的電阻值例如是由CPU2或外部裝置（未圖示）根據由電流感測器20檢測出的電流值及由電壓感測器30檢測出的電壓值而算出。加熱器的溫度值例如是由溫度感測器40來檢測。溫度感測器40例如被配置於藉由電熱體10來加熱的被熱處理物（例如被配置於包含加熱器的熱處理裝置的框體內的工件）的附近。

本實施形態中，對於所獲取的電熱體10的電阻值實施低通濾波處理（例如移動平均處理）。對電熱體10的電阻值的低通濾波處理例如是由異常判定裝置1或外部裝置實施。對電阻值實施的移動平均化處理次數（以下稱作電阻值的移動平均次數）是根據加熱器的種類等來設定。

第一判定部110基於由獲取部100所獲取的電阻值，來進行加熱器是否異常的判定即異常判定。異常判定例如是根據所獲取的電阻值是否超過預先設定的臨限值來進行。若所獲取的電阻值超過臨限值，則第一判定部110判定加熱器為異常。

若判定加熱器為異常，則例如進行猜測加熱器的劣化或加熱器的故障的意旨的告知。此時，亦可構成為，設置多個臨限值，階段性地告知加熱器的異常。例如，將電阻基準值（=後述的第二目標值）的103%的值設為第一臨限值，將電阻基準值的105%的值設為第二臨限值。若所獲取的電阻值超過第一臨限值，則告知加熱器的劣化狀態為「注意」級別，若所獲取的電阻值超過第二臨限值，則告知加熱器的劣化狀態為「警報」級別。

第一判定部110在由第二判定部120判定為遍及規定期間為溫度穩定狀態，且由第三判定部130判定為遍及規定期間為電阻穩定狀態的情況下，進行異常判定。本實施形態中，第一判定部110在判定為遍及將獲取電阻值的週期乘以電阻值的移動平均次數所得的期間（第一期間的一例）為溫度穩定狀態，且判定為遍及將獲取電阻值的週期乘以電阻值的移動平均次數所得的期間（第二期間的一例）為電阻穩定狀態的情況下（換言之，在穩定條件成立的情況下），判定加熱器為穩定狀態，從而進行異常判定。移動平均次數是根據加熱器的種類等來設定。

將遍及規定期間而第二判定部120的判定結果全部為溫度穩定狀態時的示例示於圖2，將遍及規定期間而第三判定部130的判定結果全部為電阻穩定狀態時的示例示於圖3。圖2及圖3中，電阻值的移動平均次數被設定為十次。圖2中，以C0來表示作為目標溫度值的第一目標值，以C1來表示相對於第一目標值的幅度的上限值，以C2來表示相對於第一目標值的幅度的下限值。圖3中，以R0來表示作為電阻基準值的第二目標值，以R1來表示相對於第二目標值的幅度的上限值，以R2來表示相對於第二目標值的幅度的下限值。

圖2中，遍及時間T1至時間T2之間的期間T0，所獲取的所有的溫度值位於相對於第一目標值C0的幅度內。圖3中，遍及期間T0，所獲取的所有的電阻值位於相對於第二目標值R0的幅度內。第一判定部110基於在時間T2以後獲取的電阻值來進行異常判定，但在滿足下述任一條件的情況下，不進行異常判定，而是再次獲取第二判定部120及第三判定部130得出的判定結果。 ・在期間T0獲取的第二判定部120得出的判定結果中包含並非溫度穩定狀態這一判定的情況、或者在期間T0獲取的第三判定部130得出的判定結果中包含並非電阻穩定狀態這一判定的情況。 ・所獲取的第二判定部120得出的判定結果為並非溫度穩定狀態這一判定的情況、或者所獲取的第三判定部130得出的判定結果為並非電阻穩定狀態這一判定的情況。

第二判定部120判定所獲取的溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態。本實施形態中，第一目標值例如是根據加熱器的設計、溫度感測器40的位置及由溫度感測器40所測定的測定對象來預先設定。相對於第一目標值的幅度例如設定為第一目標值的正負10攝氏度。相對於第一目標值的幅度的上限值及下限值既可包含於「相對於第一目標值的幅度內」，亦可不包含於「相對於第一目標值的幅度內」。

第三判定部130判定所獲取的電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態。本實施形態中，第二目標值是由目標值設定部140來設定。相對於第二目標值的幅度例如被設定為第二目標值的正負1%。相對於第二目標值的幅度的上限值及下限值既可包含於「相對於第二目標值的幅度內」，亦可不包含於「相對於第二目標值的幅度內」。

目標值設定部140將開始第二目標值的設定時的電阻值設定為臨時第二目標值，若判定為在規定期間內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內，且在規定期間內獲取的所有的電阻值處於相對於臨時第二目標值的幅度內，則將臨時第二目標值設定為第二目標值。例如，如圖5所示，在從時間T3開始第二目標值的設定的情況下，目標值設定部140將在時間T3獲取的電阻值R10設定為臨時第二目標值。本實施形態中，若判定為在將獲取電阻值的週期乘以電阻值的移動平均次數所得的期間（第三期間的一例）內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內，且在將獲取電阻值的週期乘以電阻值的移動平均次數所得的期間（第四期間的一例）內獲取的所有的電阻值處於相對於臨時第二目標值的幅度內（換言之，若第二目標值的設定條件成立），則將臨時第二目標值設定為第二目標值。相對於臨時第二目標值的幅度例如與第二目標值同樣，被設定為臨時第二目標值的正負1%。

若並非判定為在規定期間內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內，且在規定期間內獲取的所有的電阻值處於相對於臨時第二目標值的幅度內，則目標值設定部140將最後獲取的電阻值重新設定為臨時第二目標值。

例如，假設如圖4及圖5所示，第二目標值的設定是從時間T3開始，但在最開始的期間T01內獲取的所有的溫度值並非處於相對於第一目標值的幅度內，且在最開始的期間T01內獲取的所有的電阻值並非處於相對於所設定的臨時第二目標值的幅度內。此時，目標值設定部140將在最開始的期間T01最後獲取的電阻值R20重新設定為臨時第二目標值。圖4及圖5中，在下個期間T02內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內，且在下個期間T02內獲取的所有的電阻值處於相對於重新設定的臨時第二目標值即電阻值R20的幅度內，因此目標值設定部140將電阻值R20設定為第二目標值。最後獲取的電阻值為在期間內獲取的電阻值的平均值，因此藉由將在期間的最後獲取的電阻值重新設定為臨時第二目標值，從而可縮短第二目標值的設定處理。

亦可對目標值設定部140重新設定臨時第二目標值的次數（換言之，判定第二目標值的設定條件是否成立的次數）設置上限。例如，若連續規定次數（例如五次）未能達成第二目標值的設定，則目標值設定部140不進行臨時第二目標值的重新設定，而中止第二目標值的設定。

若所獲取的溫度值為溫度穩定狀態，且所獲取的電阻值為電阻穩定狀態，則目標值設定部140基於所獲取的電阻值的最近多次（例如移動平均次數）的平均值來重新設定第二目標值。第二目標值的重新設定例如是每獲取規定次數（例如電阻值的移動平均次數）的電阻值時進行。

參照圖6來說明異常判定裝置1的異常判定處理（本揭示的異常判定方法的一例）。此處，作為一例，對下述情況進行說明，即，當判定為遍及第一期間為溫度穩定狀態，且判定為遍及第二期間為電阻穩定狀態時，穩定條件成立，每獲取一次電阻值時重新設定第二目標值。再者，作為一例，以下說明的處理是藉由CPU執行規定的程式而實施。

如圖6所示，當獲取部100獲取電熱體10的電阻值及溫度值時（步驟S1），第一判定部110判定穩定條件是否已成立，換言之，判定是否已判定為遍及第一期間為溫度穩定狀態，且判定為遍及第二期間為電阻穩定狀態（步驟S2）。若並非判定為穩定條件已成立，則第一判定部110不進行異常判定。隨後，返回步驟S1，獲取電熱體10的電阻值及溫度值。

若判定為穩定條件已成立，則第一判定部110基於所獲取的電阻值是否大於臨限值來進行異常判定（步驟S3）。若判定為所獲取的電阻值大於臨限值，則第一判定部110判定加熱器為異常（步驟S4），異常判定處理結束。

若判定為所獲取的電阻值為臨限值以下，則目標值設定部140重新設定第二目標值（步驟S5）。隨後，返回步驟S1，獲取電熱體10的電阻值及溫度值。

參照圖7來說明異常判定裝置1的目標值設定處理。此處，作為一例，對下述情況進行說明，即，對判定第二目標值的設定條件是否成立的次數設有上限。再者，作為一例，以下說明的處理是藉由CPU執行規定的程式而實施。

如圖7所示，當從目標值設定的開始經過規定時間（步驟S11），獲取部100獲取電熱體10的電阻值及溫度值（步驟S12）時，目標值設定部140判定第二目標值的設定條件是否已成立（步驟S13）。

若判定為第二目標值的設定條件已成立，則目標值設定部140設定第二目標值（步驟S14），目標值設定處理結束。

若判定為第二目標值的設定條件不成立，則目標值設定部140判定已判定為設定條件不成立的次數是否為規定次數（例如五次）以上（步驟S15）。若判定為已判定為設定條件不成立的次數為規定次數以上，則目標值設定部140不進行第二目標值的設定，目標值設定處理結束。若判定為已判定為設定條件不成立的次數小於規定次數，則返回步驟S12，獲取電熱體10的電阻值及溫度值。

異常判定裝置1可發揮如下的效果。

異常判定裝置1包括：獲取部100，獲取電熱體10的電阻值及溫度值；第一判定部110，基於所獲取的電阻值來進行加熱器是否異常的判定即異常判定；第二判定部120，判定所獲取的溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及第三判定部130，判定所獲取的電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態。第一判定部110在由第二判定部120判定為遍及第一期間為溫度穩定狀態，且由第三判定部130判定為遍及第二期間為電阻穩定狀態的情況下，進行異常判定。藉由此種結構，可實現能夠更準確地判定加熱器的異常的異常判定裝置1。

對於電阻值，實施有低通濾波處理。藉由此種結構，可容易地使電阻值穩定。

對電阻值實施的低通濾波處理為移動平均。藉由此種結構，可容易地使電阻值穩定。

第二期間是將獲取電阻值的週期乘以電阻值的移動平均次數所得的期間。藉由此種結構，可更準確地判定加熱器是否為電阻穩定狀態。

異常判定裝置1包括設定第二目標值的目標值設定部140。目標值設定部140將開始第二目標值的設定時的電阻值設定為臨時第二目標值，在判定為於第三期間內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內，且於第四期間內獲取的所有的電阻值處於相對於臨時第二目標值的幅度內的情況下，將臨時第二目標值設定為第二目標值。藉由此種結構，可更準確地設定第二目標值。

目標值設定部140在並非判定為於第三期間內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內，且於第四期間內獲取的所有的電阻值處於相對於臨時第二目標值的幅度內的情況下，將最後獲取的電阻值重新設定為臨時第二目標值。藉由此種結構，可更準確地設定第二目標值。

目標值設定部140在所獲取的溫度值為溫度穩定狀態，且所獲取的電阻值為電阻穩定狀態的情況下，基於所獲取的電阻值的最近多次的平均值來重新設定第二目標值。藉由此種結構，可設定與加熱器的經時變化相應的更準確的第二目標值。

對於電阻值實施移動平均，第四期間是將獲取電阻值的週期乘以電阻值的移動平均次數所得的期間。藉由此種結構，既容易使電阻值穩定，又能更準確地判定加熱器是否為電阻穩定狀態。

根據本揭示的異常判定方法，可發揮如下的效果。

異常判定方法中，獲取根據加熱器的電熱體10兩端的電壓及流經電熱體10的電流而算出的電熱體10的電阻值，並且獲取加熱器的溫度值。判定所獲取的溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態。判定所獲取的電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態。在判定為遍及第一期間為溫度穩定狀態，且判定為遍及第二期間為電阻穩定狀態的情況下，進行加熱器是否為異常的判定即異常判定。藉由此種結構，可更準確地判定加熱器的異常。

異常判定裝置1亦可如下述般構成。

第一判定部110亦可構成為，在下述四個條件全部滿足的情況下，判定加熱器為穩定狀態，以進行異常判定。 ・於第一期間內獲取的所有的溫度值處於相對於第一目標值的幅度內（換言之，遍及第一期間而加熱器為溫度穩定狀態）。 ・於第二期間內獲取的所有的電阻值處於相對於第二目標值的幅度內（換言之，遍及第二期間而加熱器為電阻穩定狀態）。 ・所獲取的電壓值為臨限值以上。 ・若獲取的電流值為臨限值以上。

例如，在加熱器尚未運轉的狀態下發布了異常判定裝置1的動作指令的情況下、及在發布了異常判定裝置1的動作指令後加熱器停止的情況下，滿足「所獲取的電壓值為臨限值以上」這一條件，因此不進行異常判定。

第一判定部110亦可在獲取了並非溫度穩定狀態這一判定或並非電阻穩定狀態這一判定的時間點，中止異常判定，並再次獲取第二判定部120及第三判定部130得出的判定結果。

目標值設定部140可予以省略。此時，第二目標值例如是由用戶預先設定。

目標值設定部140亦可構成為，在下述四個條件全部滿足的情況下，將臨時第二目標值設定為第二目標值。 ・於第三期間內獲取的所有的溫度值處於相對於臨時第一目標值的幅度內（換言之，遍及第三期間而加熱器為溫度穩定狀態）。 ・於第四期間內獲取的所有的電阻值處於相對於臨時第二目標值的幅度內（換言之，遍及第四期間而加熱器為電阻穩定狀態）。 ・所獲取的電壓值為臨限值以上。 ・所獲取的電流值為臨限值以上。

例如，在加熱器尚未運轉的狀態下發布了異常判定裝置1的動作指令的情況下、及在發布了異常判定裝置1的動作指令後加熱器停止的情況下，根據「所獲取的電壓值為臨限值以上」這一條件，中止第二目標值的設定。再者，有可能因過沖（over shoot）等引起電壓暫時變低，因此即便在所獲取的電壓值低於臨限值的情況下，各目標值的設定亦不會立即中止，除了連續規定次數不滿足全部四個條件的情況以外，將繼續進行。

目標值設定部140亦可構成為，若並非處於相對於臨時第二目標值的幅度內，則將最開始判定時的電阻值（例如圖5中以R30表示）重新設定為臨時第二目標值。

第一期間、第二期間、第三期間及第四期間既可為彼此相同長度的期間，亦可為彼此不同長度的期間。第一期間、第二期間、第三期間及第四期間中的任兩個或三個亦可為彼此相同長度的期間。

第一期間及第三期間例如亦可為由用戶所設定的任意長度的期間。

第二期間及第四期間並不限於將獲取所述電阻值的週期乘以所述電阻值的移動平均次數所得的期間，亦可為由用戶所設定的任意長度的期間。

由獲取部100所獲取的電阻值亦可不實施低通濾波處理，還可實施移動平均以外的低通濾波處理。

亦可將第一判定部110、第二判定部120及第三判定部130構成為配置於互不相同的伺服器等的機器中的異常判定系統。異常判定系統例如包括配置有第一判定部110的第一機器、配置有第二判定部120的第二機器、以及配置有第三判定部130的第三機器。於第一機器、第二機器及第三機器中分別設有獲取部100，第一機器及第二機器利用有線或無線來進行通訊連接，第一機器及第三機器利用有線或無線來進行通訊連接。第一機器的獲取部獲取第二判定部120的判定結果及第三判定部130的判定結果。藉由如此般構成，可實現既能應對各種實施形態，又能更準確地判定加熱器的異常的異常判定系統。

溫度感測器40可配置於可藉由第二判定部120來判定加熱器是否為溫度穩定狀態的任意位置，換言之，可直接或間接地檢測電熱體10的溫度的位置。即，藉由溫度感測器40來測定溫度的測定對象既可為電熱體10，亦可為被熱處理物，還可為電熱體10周圍的環境。例如可將以下文所示的形態測定出的值設為「加熱器的溫度值」。 ・利用溫度感測器40來直接測定電熱體10的溫度。 ・利用溫度感測器40（例如熱電偶）來測定經電熱體10加熱的被熱處理物（例如半導體晶圓）的表面溫度。 ・利用溫度感測器40來測定經配置於爐內的電熱體10加熱的被熱處理物的周圍的環境溫度。

以上，參照圖式詳細說明了本揭示中的各種實施形態，但在最後對本揭示的各種形態進行說明。再者，以下的說明中，作為一例，還追加參照符號來進行記載。

本揭示的第一形態的異常判定裝置1包括： 獲取部100，獲取根據加熱器的電熱體10兩端的電壓及流經所述電熱體10的電流而算出的所述電熱體的電阻值，並且獲取所述加熱器的溫度值； 第一判定部110，基於所獲取的所述電阻值來進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定； 第二判定部120，判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及 第三判定部130，判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 所述第一判定部110在由所述第二判定部120判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且由所述第三判定部130判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。

本揭示的第二形態的異常判定裝置1中， 對於所述電阻值實施有低通濾波處理。

本揭示的第三形態的異常判定裝置1中， 對所述電阻值實施的低通濾波處理為移動平均。

本揭示的第四形態的異常判定裝置1中， 所述第二期間是將獲取所述電阻值的週期乘以所述電阻值的移動平均次數所得的期間。

本揭示的第五形態的異常判定裝置1包括： 目標值設定部140，設定所述第二目標值， 所述目標值設定部140將開始所述第二目標值的設定時的所述電阻值設定為臨時第二目標值，在判定為於第三期間內獲取的所有的所述溫度值處於相對於所述第一目標值的幅度內，且於第四期間內獲取的所有的所述電阻值處於相對於所述臨時第二目標值的幅度內的情況下，將所述臨時第二目標值設定為所述第二目標值。

本揭示的第六形態的異常判定裝置1中， 所述目標值設定部140在並非判定為於第三期間內獲取的所有的所述溫度值處於相對於所述第一目標值的幅度內，且於第四期間內獲取的所有的所述電阻值處於相對於所述臨時第二目標值的幅度內的情況下，將最後獲取的所述電阻值重新設定為所述臨時第二目標值。

本揭示的第七形態的異常判定裝置1中， 所述目標值設定部140在所獲取的所述溫度值為所述溫度穩定狀態，且所獲取的所述電阻值為所述電阻穩定狀態的情況下，基於所獲取的所述電阻值的最近多次的平均值來重新設定所述第二目標值。

本揭示的第八形態的異常判定裝置1中， 對於所述電阻值實施移動平均， 所述第四期間是將獲取所述電阻值的週期乘以所述電阻值的移動平均次數所得的期間。

本揭示的第九形態的異常判定方法中， 獲取根據加熱器的電熱體10兩端的電壓及流經所述電熱體10的電流而算出的所述電熱體10的電阻值，並且獲取所述加熱器的溫度值， 判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態， 判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 在判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定。

本揭示的第十形態的異常判定系統包括： 第一機器，具有第一獲取部及第一判定部110，所述第一獲取部獲取根據加熱器的電熱體10兩端的電壓及流經所述電熱體10的電流算出的所述電熱體10的電阻值，所述第一判定部110基於所獲取的所述電阻值來進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定； 第二機器，具有第二獲取部及第二判定部120，且與所述第一機器進行通訊連接，所述第二獲取部獲取所述加熱器的溫度值，所述第二判定部120判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及 第三機器，具有第三獲取部及第三判定部130，且與所述第一機器進行通訊連接，所述第三獲取部獲取所述電熱體10的所述電阻值，所述第三判定部130判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 所述第一獲取部獲取所述第二判定部120得出的判定結果及所述第三判定部130得出的判定結果， 所述第一判定部110在由所述第二判定部120判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且由所述第三判定部130判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。

藉由將所述各種實施形態或變形例中的任意的實施形態或變形例適當組合，可起到各自具有的效果。而且，可進行實施形態彼此的組合、實施例彼此的組合或者實施形態與實施例的組合，並且亦可進行不同的實施形態或實施例中的特徵彼此的組合。

本揭示已一邊參照附圖一邊關聯於較佳實施形態進行了充分記載，但對於熟習該技術的人們而言，各種變形或修正是顯而易見的。應理解為，此種變形或修正只要未脫離基於隨附的請求項的本揭示的範圍，便包含於其中。 [產業上的可利用性]

本揭示的異常判定裝置並不限於電加熱器，可適用於包括藉由熔絲、導線、輸電線等的電阻加熱而發熱的電熱體的加熱器。

本揭示的異常判定方法並不限於電加熱器，可適用於包括藉由熔絲、導線、輸電線等的電阻加熱而發熱的電熱體的加熱器。

本揭示的異常判定系統並不限於電加熱器，可適用於包括藉由熔絲、導線、輸電線等的電阻加熱而發熱的電熱體的加熱器。

1:異常判定裝置 2:CPU 3:記憶部 4:通訊部 10:電熱體 11:調溫器 12:SSR 13:電源 20:電流感測器 30:電壓感測器 40:溫度感測器 100:獲取部 110:第一判定部 120:第二判定部 130:第三判定部 140:目標值設定部 C0:第一目標值 C1、R1:上限值 C2、R2:下限值 R0:第二目標值 R10、R20、R30:電阻值 S1～S5、S11～S15:步驟 T0、T01、T02:期間 T1～S3:時間

圖1是表示本揭示的一實施形態的異常判定裝置的方塊圖。 圖2是用於說明圖1的異常判定裝置的溫度穩定狀態的圖。 圖3是用於說明圖1的異常判定裝置的電阻穩定狀態的圖。 圖4是用於說明圖1的異常判定裝置的第二目標值的設定處理的第一圖。 圖5是用於說明圖1的異常判定裝置的第二目標值的設定處理的第二圖。 圖6是用於說明圖1的異常判定裝置的異常判定處理的流程圖。 圖7是用於說明圖1的異常判定裝置的目標值設定處理的流程圖。

S1~S5:步驟

Claims (10)

1. 一種異常判定裝置，包括： 獲取部，獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值，並且獲取所述加熱器的溫度值； 第一判定部，基於所獲取的所述電阻值來進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定； 第二判定部，判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及 第三判定部，判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 所述第一判定部在由所述第二判定部判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且由所述第三判定部判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。
2. 如請求項1所述的異常判定裝置，其中 對於所述電阻值實施有低通濾波處理。
3. 如請求項2所述的異常判定裝置，其中 對所述電阻值實施的低通濾波處理為移動平均。
4. 如請求項3所述的異常判定裝置，其中 所述第二期間是將獲取所述電阻值的週期乘以所述電阻值的移動平均次數所得的期間。
5. 如請求項1至請求項4中任一項所述的異常判定裝置，包括： 目標值設定部，設定所述第二目標值， 所述目標值設定部將開始所述第二目標值的設定時的所述電阻值設定為臨時第二目標值，在判定為於第三期間內獲取的所有的所述溫度值處於相對於所述第一目標值的幅度內，且於第四期間內獲取的所有的所述電阻值處於相對於所述臨時第二目標值的幅度內的情況下，將所述臨時第二目標值設定為所述第二目標值。
6. 如請求項5所述的異常判定裝置，其中 所述目標值設定部在並非判定為於所述第三期間內獲取的所有的所述溫度值處於相對於所述第一目標值的幅度內，且於所述第四期間內獲取的所有的所述電阻值處於相對於所述臨時第二目標值的幅度內的情況下，將最後獲取的所述電阻值重新設定為所述臨時第二目標值。
7. 如請求項5所述的異常判定裝置，其中 所述目標值設定部在所獲取的所述溫度值為所述溫度穩定狀態，且所獲取的所述電阻值為所述電阻穩定狀態的情況下，基於所獲取的所述電阻值的最近多次的平均值來重新設定所述第二目標值。
8. 如請求項5所述的異常判定裝置，其中 對於所述電阻值實施移動平均， 所述第四期間是將獲取所述電阻值的週期乘以所述電阻值的移動平均次數所得的期間。
9. 一種異常判定方法， 獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經所述電熱體的電流而算出的所述電熱體的電阻值，並且獲取所述加熱器的溫度值， 判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態， 判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 在判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定。
10. 一種異常判定系統，包括： 第一機器，具有第一獲取部及第一判定部，所述第一獲取部獲取根據加熱器的電熱體兩端的電壓及流經所述電熱體的電流算出的所述電熱體的電阻值，所述第一判定部基於所獲取的所述電阻值來進行所述加熱器是否為異常的判定即異常判定； 第二機器，具有第二獲取部及第二判定部，且與所述第一機器進行通訊連接，所述第二獲取部獲取所述加熱器的溫度值，所述第二判定部判定所獲取的所述溫度值是否為處於相對於第一目標值的幅度內的溫度穩定狀態；以及 第三機器，具有第三獲取部及第三判定部，且與所述第一機器進行通訊連接，所述第三獲取部獲取所述電熱體的所述電阻值，所述第三判定部判定所獲取的所述電阻值是否為處於相對於第二目標值的幅度內的電阻穩定狀態， 所述第一獲取部獲取所述第二判定部得出的判定結果及所述第三判定部得出的判定結果， 所述第一判定部在由所述第二判定部判定為遍及第一期間為所述溫度穩定狀態，且由所述第三判定部判定為遍及第二期間為所述電阻穩定狀態的情況下，進行所述異常判定。

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