CN117716793A - 异常判定装置、异常判定方法以及异常判定系统 - Google Patents

Abstract

异常判定装置具备：取得部，其取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过电热体的电流计算出的电热体的电阻值，并且取得加热器的温度值；第一判定部，其基于所取得的电阻值来进行异常判定；第二判定部，其判定是否是所取得的温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态；以及第三判定部，其判定是否是所取得的电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态。在第二判定部判定为在整个第一期间内处于温度稳定状态、且第三判定部判定为在整个第二期间内处于电阻稳定状态的情况下，第一判定部进行异常判定。

Description

异常判定装置、异常判定方法以及异常判定系统

技术领域

本公开涉及判定加热器的异常的异常判定装置、异常判定方法以及异常判定系统。

背景技术

在专利文献1中公开了根据通电时的电阻增加率的变化的大小来判定加热器的异常的电加热器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-124653号公报

发明内容

发明所要解决的课题

电加热器的加热线的电阻具有温度特性。专利文献1的电加热器不具备用于检测加热线的温度的传感器，因此有时无法准确地判定通电时的电阻增加率的变化的大小。

本公开提供能够更准确地判定加热器的异常的异常判定装置、异常判定方法以及异常判定系统。

用于解决课题的手段

本公开的一个方式的异常判定装置具备：取得部，其取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过所述电热体的电流计算出的所述电热体的电阻值，并且取得所述加热器的温度值；第一判定部，其基于所取得的所述电阻值来进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定；第二判定部，其判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态；以及第三判定部，其判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，在所述第二判定部在整个第一期间内判定为是所述温度稳定状态且所述第三判定部在整个第二期间内判定为是所述电阻稳定状态的情况下，所述第一判定部进行所述异常判定。

在本公开的一个方式的异常判定方法中，取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过所述电热体的电流计算出的所述电热体的电阻值，并且取得所述加热器的温度值，判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态，判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，在整个第一期间内判定为是所述温度稳定状态且在整个第二期间内判定为是所述电阻稳定状态的情况下，进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定。

本公开的一个方式的异常判定系统具备第一设备、与所述第一设备通信连接的第二设备以及与所述第一设备通信连接的第三设备，

所述第一设备具有：第一取得部，其取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过所述电热体的电流计算出的所述电热体的电阻值；以及第一判定部，其基于所取得的所述电阻值来进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定，

所述第二设备具有：第二取得部，其取得所述加热器的温度值；以及第二判定部，其判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态，

所述第三设备具有：第三取得部，其取得所述电热体的所述电阻值；以及第三判定部，其判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，

所述第一取得部取得所述第二判定部的判定结果以及所述第三判定部的判定结果，在所述第二判定部在整个第一期间内判定为是所述温度稳定状态且所述第三判定部在整个第二期间内判定为是所述电阻稳定状态的情况下，所述第一判定部进行所述异常判定。

发明效果

根据所述方式的异常判定装置，能够实现可更准确地判定加热器的异常的异常判定装置。

根据所述方式的异常判定方法，能够更准确地判定加热器的异常。

根据所述方式的异常判定系统，能够实现应对各种实施方式并且能够更准确地判定加热器的异常的异常判定系统。

附图说明

图1是表示本公开的一个实施方式的异常判定装置的框图。

图2是用于说明图1的异常判定装置的温度稳定状态的图。

图3是用于说明图1的异常判定装置的电阻稳定状态的图。

图4是用于说明图1的异常判定装置的第二目标值的设定处理的第一图。

图5是用于说明图1的异常判定装置的第二目标值的设定处理的第二图。

图6是用于说明图1的异常判定装置的异常判定处理的流程图。

图7是用于说明图1的异常判定装置的目标值设定处理的流程图。

具体实施方式

下面，根据附图对本公开的一例进行说明。此外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定的方向或者位置的用语(例如，包括“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但这些用语的使用是为了容易参照附图来理解本公开，并不通过这些用语的含义来限定本公开的技术范围。另外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本公开、其应用物或者其用途。而且，附图是示意性的图，各尺寸的比率等未必与现实的尺寸一致。

作为一个例子，如图1所示，本公开的一个实施方式的异常判定装置1具有进行运算的CPU2、存储部3以及通信部4，进行加热器的电热体10的异常判定。存储部3存储电热体10的异常判定所需的程序以及数据等信息。通信部4与通过无线或有线连接的外部装置之间进行信息的输入输出。电热体10例如是电阻加热器的电热线。在电热体10连接有调温器11以及SSR(固态继电器)12，在固态继电器12连接有电源13。调温器11对固态继电器12进行接通断开控制。在固态继电器12接通的情况下，向电热体10供给来自电源13的电流。

异常判定装置1具备取得部100、第一判定部110、第二判定部120、第三判定部130以及目标值设定部140。取得部100、第一判定部110、第二判定部120、第三判定部130以及目标值设定部140分别例如是通过CPU2执行规定的程序而实现的功能。

取得部100例如经由通信部4取得电热体10的电阻值以及加热器的温度值，该电热体10的电阻值是根据加热器的电热体10的两端的电压以及流过电热体10的电流计算出的。电热体10的电阻值例如由CPU2或外部装置(未图示)根据由电流传感器20检测出的电流值以及由电压传感器30检测出的电压值计算出。加热器的温度值例如由温度传感器40进行检测。温度传感器40例如配置于被电热体10加热的被热处理物(例如，配置于包括加热器的热处理装置的壳体内的工件)的附近。

在本实施方式中，对取得的电热体10的电阻值实施低通滤波处理(例如，移动平均处理)。对电热体10的电阻值的低通滤波处理例如由异常判定装置1或外部装置实施。对电阻值实施的移动平均化处理次数(以下称为电阻值的移动平均次数)根据加热器的种类等来设定。

第一判定部110基于取得部100取得的电阻值，进行作为加热器是否异常的判定的异常判定。异常判定例如通过所取得的电阻值是否超过预先设定的阈值来进行。在取得的电阻值超过阈值的情况下，第一判定部110判定为加热器异常。

在判定为加热器异常的情况下，例如进行怀疑加热器劣化或加热器故障的内容的通知。此时，也可以构成为设置多个阈值，阶段性地报告加热器的异常。例如，将电阻基准值(＝后述的第二目标值)的103％的值设为第一阈值，将电阻基准值的105％的值设为第二阈值。在取得的电阻值超过第一阈值的情况下，通知加热器的劣化状态为“注意”等级，在取得的电阻值超过第二阈值的情况下，通知加热器的劣化状态为“警报”等级。

在第二判定部120判定为在整个规定期间内是温度稳定状态、且第三判定部130判定为在整个规定期间内是电阻稳定状态的情况下，第一判定部110进行异常判定。在本实施方式中，在判定为在整个对取得电阻值的周期乘以电阻值的移动平均次数所得的期间内(第一期间的一例)是温度稳定状态、且判定为在整个对取得电阻值的周期乘以电阻值的移动平均次数所得的期间内(第二期间的一例)是电阻稳定状态的情况下(换言之，稳定条件成立的情况下)，第一判定部110判定为加热器是稳定状态，进行异常判定。移动平均次数根据加热器的种类等来设定。

图2表示在整个规定期间内第二判定部120的判定结果全部为温度稳定状态的情况的例子，图3表示在整个规定期间内第三判定部130的判定结果全部为电阻稳定状态的情况的例子。在图2和图3中，电阻值的移动平均次数被设定为10次。在图2中，用C0表示作为目标温度值的第一目标值，用C1表示相对于第一目标值的幅度的上限值，用C2表示相对于第一目标值的幅度的下限值。在图3中，用R0表示作为电阻基准值的第二目标值，用R1表示相对于第二目标值的幅度的上限值，用R2表示相对于第二目标值的幅度的下限值。

在图2中，在整个从时间T1到时间T2之间的期间T0内，所取得的全部温度值位于相对于第一目标值C0的幅度内。在图3中，在整个期间T0内，所取得的全部电阻值位于相对于第二目标值R0的幅度内。第一判定部110基于在时间T2以后取得的电阻值来进行异常判定，但在满足以下的任一条件的情况下不进行异常判定，再次取得第二判定部120及第三判定部130的判定结果。

·在期间T0取得的第二判定部120的判定结果中包含不是温度稳定状态的判定的情况、或者在期间T0取得的第三判定部130的判定结果中包含不是电阻稳定状态的判定的情况。

·所取得的第二判定部120的判定结果是判定为不是温度稳定状态的情况、或者所取得的第三判定部130的判定结果是判定为不是电阻稳定状态的情况。

第二判定部120对是否是所取得的温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态进行判定。在本实施方式中，第一目标值例如根据加热器的设计、温度传感器40的位置以及由温度传感器40测定的测定对象而预先设定。相对于第一目标值的幅度例如设定为第一目标值的正负摄氏10度。相对于第一目标值的幅度的上限值以及下限值可以包含于“相对于第一目标值的幅度内”，也可以不包含于其中。

第三判定部130判定是否是所取得的电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态。在本实施方式中，第二目标值由目标值设定部140设定。相对于第二目标值的幅度例如设定为第二目标值的正负1％。相对于第二目标值的幅度的上限值以及下限值可以包含于“相对于第二目标值的幅度内”，也可以不包含于其中。

目标值设定部140将开始第二目标值的设定时的电阻值设定为临时第二目标值，在判定为在规定期间内取得的全部温度值处于相对于第一目标值的幅度内、且在规定期间内取得的全部电阻值处于相对于临时第二目标值的幅度内的情况下，将临时第二目标值设定为第二目标值。例如，如图5所示，在第二目标值的设定从时间T3开始的情况下，目标值设定部140将在时间T3取得的电阻值R10设定为临时第二目标值。在本实施方式中，在判定为在对取得电阻值的周期乘以电阻值的移动平均次数而得到的期间(第三期间的一例)内取得的全部的温度值处于相对于第一目标值的幅度内、且在对取得电阻值的周期乘以电阻值的移动平均次数而得到的期间(第四期间的一例)内取得的全部的电阻值处于相对于临时第二目标值的幅度内的情况下(换言之，第二目标值的设定条件成立的情况下)，将临时第二目标值设定为第二目标值。相对于临时第二目标值的幅度例如与第二目标值同样地设定为临时第二目标值的正负1％。

在未判定为在规定期间内取得的全部的温度值处于相对于第一目标值的幅度内、且在规定期间内取得的全部的电阻值处于相对于临时第二目标值的幅度内的情况下，目标值设定部140将最后取得的电阻值重新设定为临时第二目标值。

例如，如图4以及图5所示，第二目标值的设定从时间T3开始，但在最初的期间T01内取得的全部的温度值不在相对于第一目标值的幅度内，在最初的期间T01内取得的全部的电阻值不在相对于设定的临时第二目标值的幅度内。在该情况下，目标值设定部140将在最初的期间T01的最后取得的电阻值R20重新设定为临时第二目标值。在图4及图5中，在下一个期间T02内取得的全部的温度值处于相对于第一目标值的幅度内、且在下一个期间T02内取得的全部的电阻值处于相对于作为重新设定的临时第二目标值的电阻值R20的幅度内，因此目标值设定部140将电阻值R20设定为第二目标值。最后取得的电阻值成为在期间内取得的电阻值的平均值，因此通过将在期间的最后取得的电阻值重新设定为临时第二目标值，能够缩短第二目标值的设定处理。

也可以对目标值设定部140重新设定临时第二目标值的次数(换言之，判定第二目标值的设定条件是否成立的次数)设置上限。例如，目标值设定部140在连续规定次数(例如5次)未达到第二目标值的设定的情况下，不进行临时第二目标值的重新设定，中止第二目标值的设定。

在所取得的温度值为温度稳定状态且所取得的电阻值为电阻稳定状态的情况下，目标值设定部140基于所取得的电阻值的最近多次(例如移动平均次数)的平均值，重新设定第二目标值。第二目标值的重新设定例如在每次取得规定次数(例如电阻值的移动平均次数)电阻值时进行。

参照图6，对异常判定装置1的异常判定处理(本公开的异常判定方法的一例)进行说明。此处，作为一例，对如下情况进行说明：在判定为在整个第一期间内处于温度稳定状态，且判定为在整个第二期间内处于电阻稳定状态的情况下，稳定条件成立，每当取得一次电阻值时，重新设定第二目标值。此外，作为一个例子，通过CPU执行规定的程序来实施以下说明的处理。

如图6所示，若取得部100取得电热体10的电阻值以及温度值(步骤S1)，则第一判定部110判定稳定条件是否成立，换言之，判定是否在整个第一期间内判定为是温度稳定状态且是否在整个第二期间内判定为是电阻稳定状态(步骤S2)。在未判定为稳定条件成立的情况下，第一判定部110不进行异常判定。之后，返回步骤S1，取得电热体10的电阻值以及温度值。

在判定为稳定条件成立的情况下，第一判定部110基于所取得的电阻值是否大于阈值来进行异常判定(步骤S3)。在判定为所取得的电阻值大于阈值的情况下，第一判定部110判定为加热器异常(步骤S4)，异常判定处理结束。

在判定为所取得的电阻值为阈值以下的情况下，目标值设定部140重新设定第二目标值(步骤S5)。之后，返回步骤S1，取得电热体10的电阻值以及温度值。

参照图7，对异常判定装置1的目标值设定处理进行说明。在此，作为一例，对判定第二目标值的设定条件是否成立的次数设置有上限的情况进行说明。此外，作为一个例子，通过CPU执行规定的程序来实施以下说明的处理。

如图7所示，若从目标值设定的开始起经过规定时间(步骤S11)，取得部100取得电热体10的电阻值以及温度值(步骤S12)，则目标值设定部140判定第二目标值的设定条件是否成立(步骤S13)。

在判定为第二目标值的设定条件成立的情况下，目标值设定部140设定第二目标值(步骤S14)，目标值设定处理结束。

在判定为第二目标值的设定条件不成立的情况下，目标值设定部140对判定为设定条件不成立的次数是否为规定次数(例如5次)以上进行判定(步骤S15)。在判定为设定条件不成立的次数为规定次数以上的情况下，目标值设定部140不进行第二目标值的设定，目标值设定处理结束。在判定为设定条件不成立的次数小于规定次数的情况下，返回步骤S12，取得电热体10的电阻值以及温度值。

异常判定装置1能够发挥如下的效果。

异常判定装置1具备：取得部100，其取得电热体10的电阻值以及温度值；第一判定部110，其基于所取得的电阻值来进行作为加热器是否异常的判定的异常判定；第二判定部120，其判定是否是所取得的温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态；以及第三判定部130，其判定是否是所取得的电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态。在第二判定部120判定为在整个第一期间内处于温度稳定状态、且第三判定部130判定为在整个第二期间内处于电阻稳定状态的情况下，第一判定部110进行异常判定。通过这样的结构，能够实现能够更准确地判定加热器的异常的异常判定装置1。

对电阻值实施低通滤波处理。通过这样的结构，能够容易地稳定电阻值。

对电阻值实施的低通滤波处理是移动平均。通过这样的结构，能够容易地稳定电阻值。

第二期间是对取得电阻值的周期乘以电阻值的移动平均次数而得到的期间。根据这样的结构，能够更准确地判定加热器是否处于电阻稳定状态。

异常判定装置1具备设定第二目标值的目标值设定部140。目标值设定部140将开始第二目标值的设定时的电阻值设定为临时第二目标值，在判定为在第三期间内取得的全部的温度值处于相对于第一目标值的幅度内、且在第四期间内取得的全部电阻值处于相对于临时第二目标值的幅度内的情况下，将临时第二目标值设定为第二目标值。根据这样的结构，能够更准确地设定第二目标值。

目标值设定部140在未判定为在第三期间内取得的全部的温度值处于相对于第一目标值的幅度内、且在第四期间内取得的全部的电阻值处于相对于临时第二目标值的幅度内的情况下，将最后取得的电阻值重新设定为临时第二目标值。根据这样的结构，能够更准确地设定第二目标值。

目标值设定部140在所取得的温度值处于温度稳定状态且所取得的电阻值处于电阻稳定状态的情况下，基于所取得的电阻值的最近多次的平均值，重新设定第二目标值。根据这样的结构，能够设定与加热器的经时变化相应的更准确的第二目标值。

对电阻值实施移动平均，第四期间是对取得电阻值的周期乘以电阻值的移动平均次数而得到的期间。根据这样的结构，能够容易地稳定电阻值，并且能够更准确地判定加热器是否处于电阻稳定状态。

根据本公开的异常判定方法，能够发挥如下效果。

在异常判定方法中，取得根据加热器的电热体10的两端的电压以及流过电热体10的电流计算出的电热体10的电阻值，并且取得加热器的温度值。判定是否是所取得的温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态。判定是否是所取得的电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，在整个第一期间内判定为是温度稳定状态且在整个第二期间内判定为是电阻稳定状态的情况下，进行作为加热器是否异常的判定的异常判定。根据这样的结构，能够更准确地判定加热器的异常。

异常判定装置1也能够如下构成。

第一判定部110也可以构成为：在以下四个条件全部满足的情况下，判定为加热器处于稳定状态，进行异常判定。

·在第一期间内取得的全部的温度值处于相对于第一目标值的幅度内(换言之，在整个第一期间内加热器处于温度稳定状态)。

·在第二期间内取得的全部的电阻值处于相对于第二目标值的幅度内(换言之，在整个第二期间内加热器处于电阻稳定状态)。

·所取得的电压值为阈值以上。

·所取得的电流值为阈值以上。

例如，在加热器未运转的状态下发出了异常判定装置1的动作指令的情况下、以及在发出了异常判定装置1的动作指令之后加热器停止的情况下，满足“所取得的电压值为阈值以上”这一条件，因此不进行异常判定。

第一判定部110也可以在取得不处于温度稳定状态的判定或者不处于电阻稳定状态的判定的时刻，中止异常判定，再次取得第二判定部120以及第三判定部130的判定结果。

能够省略目标值设定部140。在该情况下，第二目标值例如由用户预先设定。

目标值设定部140也可以构成为：在以下四个条件全部满足的情况下，将临时第二目标值设定为第二目标值。

·在第三期间内取得的全的部温度值处于相对于临时第一目标值的幅度内(换言之，在整个第三期间内加热器处于温度稳定状态)。

·在第四期间内取得的全部的电阻值处于相对于临时第二目标值的幅度内(换言之，在第四期间内加热器处于电阻稳定状态)。

·所取得的电压值为阈值以上。

·所取得的电流值为阈值以上。

例如，在加热器未运转的状态下发出异常判定装置1的动作指令的情况下、以及发出异常判定装置1的动作指令之后加热器停止的情况下，通过“所取得的电压值为阈值以上”这一条件，中止第二目标值的设定。此外，由于可能发生因过冲等而电压暂时变低的情况，因此即使在所取得的电压值低于阈值的情况下，各目标值的设定也不会立即中止，除了四个条件连续规定次数地全部不满足的情况以外，继续进行。

目标值设定部140也可以构成为将最初判定为未处于相对于临时第二目标值的幅度内时的电阻值(例如，在图5中用R30表示)重新设定为临时第二目标值。

第一期间、第二期间、第三期间以及第四期间可以是彼此相同长度的期间，也可以是彼此不同长度的期间。第一期间、第二期间、第三期间和第四期间中的任意2个或3个可以是长度彼此相同的期间。

第一期间和第三期间例如可以是由用户设定的任意长度的期间。

第二期间和第四期间不限于对取得所述电阻值的周期乘以所述电阻值的移动平均次数而得到的期间，也可以是由用户设定的任意长度的期间。

针对由取得部100取得的电阻值可以不实施低通滤波处理，也可以实施移动平均以外的低通滤波处理。

可以构成为将第一判定部110、第二判定部120以及第三判定部130配置于相互不同的服务器等设备中的异常判定系统。异常判定系统例如具备配置有第一判定部110的第一设备、配置有第二判定部120的第二设备、以及配置有第三判定部130的第三设备。在第一设备、第二设备以及第三设备分别设置有取得部100，第一设备与第二设备通过有线或无线进行通信连接，第一设备与第三设备通过有线或无线进行通信连接。第一设备的取得部取得第二判定部120的判定结果和第三判定部130的判定结果。通过这样构成，能够实现应对各种实施方式并且能够更准确地判定加热器的异常的异常判定系统。

温度传感器40能够配置于能够由第二判定部120判定加热器是否处于温度稳定状态的任意的位置，换言之，配置于能够直接或间接地检测电热体10的温度的位置。即，由温度传感器40测定温度的测定对象可以是电热体10，也可以是被热处理物，还可以是电热体10周围的环境。例如，可以将以如下所示的方式测定出的值作为“加热器的温度值”。

·利用温度传感器40直接测定电热体10的温度。

·利用温度传感器40(例如热电偶)测定被电热体10加热后的被热处理物(例如半导体晶片)的表面温度。

·利用温度传感器40测定被配置于炉内的电热体10加热后的被热处理物的周围的环境温度。

以上，参照附图对本公开中的各种实施方式进行了详细说明，最后，对本公开的各种方式进行说明。此外，在以下的说明中，作为一例，也添加附图标记来记载。

本公开的第一方式的异常判定装置1具备：取得部100，其取得根据加热器的电热体10的两端的电压以及流过所述电热体10的电流计算出的所述电热体的电阻值，并且取得所述加热器的温度值；第一判定部110，其基于所取得的所述电阻值来进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定；第二判定部120，其判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态；以及第三判定部130，其判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，

在所述第二判定部120判定为在整个第一期间内处于所述温度稳定状态、且所述第三判定部130判定为在整个第二期间内处于所述电阻稳定状态的情况下，所述第一判定部110进行所述异常判定。

在本公开的第二方式的异常判定装置1中，对所述电阻值实施低通滤波处理。

在本公开的第三方式的异常判定装置1中，对所述电阻值实施的低通滤波处理是移动平均。

在本公开的第四方式的异常判定装置1中，所述第二期间是对取得所述电阻值的周期乘以所述电阻值的移动平均次数而得到的期间。

本公开的第五方式的异常判定装置1具备设定所述第二目标值的目标值设定部140，所述目标值设定部140将开始所述第二目标值的设定时的所述电阻值设定为临时第二目标值，在判定为在第三期间内取得的全部的所述温度值处于相对于所述第一目标值的幅度内、且在第四期间内取得的全部的所述电阻值处于相对于所述临时第二目标值的幅度内的情况下，将所述临时第二目标值设定为所述第二目标值。

在本公开的第六方式的异常判定装置1中，在未判定为在第三期间内取得的全部的所述温度值处于相对于所述第一目标值的幅度内且在第四期间内取得的全部的所述电阻值处于相对于所述临时第二目标值的幅度内的情况下，所述目标值设定部140将最后取得的所述电阻值重新设定为所述临时第二目标值。

在本公开的第七方式的异常判定装置1中，在取得的所述温度值处于所述温度稳定状态且取得的所述电阻值处于所述电阻稳定状态的情况下，所述目标值设定部140基于所取得的所述电阻值的最近多次的平均值，重新设定所述第二目标值。

在本公开的第八方式的异常判定装置1中，对所述电阻值实施移动平均，所述第四期间是对取得所述电阻值的周期乘以所述电阻值的移动平均次数而得到的期间。

在本公开的第九方式的异常判定方法中，取得根据加热器的电热体10的两端的电压以及流过所述电热体10的电流计算出的所述电热体10的电阻值，并且取得所述加热器的温度值，判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态，判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，在判定为在整个第一期间内处于所述温度稳定状态且判定为在整个第二期间内处于所述电阻稳定状态的情况下，进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定。

本公开的第十方式的异常判定系统具备第一设备、与所述第一设备通信连接的第二设备以及与所述第一设备通信连接的第三设备，

所述第一设备具有：第一取得部，其取得根据加热器的电热体10的两端的电压以及流过所述电热体10的电流计算出的所述电热体10的电阻值；以及第一判定部110，其基于所取得的所述电阻值来进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定，

所述第二设备具有：第二取得部，其取得所述加热器的温度值；以及第二判定部120，其判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态，

所述第三设备具有：第三取得部，其取得所述电热体10的所述电阻值；以及第三判定部130，其判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，

所述第一取得部取得所述第二判定部120的判定结果和所述第三判定部130的判定结果，在所述第二判定部120判定为在整个第一期间内处于所述温度稳定状态且所述第三判定部130判定为在整个第二期间内处于所述电阻稳定状态的情况下，所述第一判定部110进行所述异常判定。

通过适当组合上述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例，能够起到各自所具有的效果。另外，能够进行实施方式彼此的组合或实施例彼此的组合或实施方式与实施例的组合，并且也能够进行不同的实施方式或实施例中的特征彼此的组合。

本公开参照附图并与优选的实施方式相关联地进行了充分记载，但对于熟练该技术的人而言，各种变形、修改是显而易见的。应当理解的是，在不脱离根据所附技术方案的本公开的范围的情况下，这种变形、修改包括在本公开的范围中。

产业上的利用可能性

本公开的异常判定装置不限于电加热器，能够应用于具备熔丝、导线、输电线等通过电阻加热而发热的电热体的加热器。

本公开的异常判定方法不限于电加热器，能够应用于具备熔丝、导线、输电线等通过电阻加热而发热的电热体的加热器。

本公开的异常判定系统不限于电加热器，能够应用于具备熔丝、导线、输电线等通过电阻加热而发热的电热体的加热器。

附图标记说明

1：异常判定装置；2：CPU；3：存储部；4：通信部；10：电热体；11：调温器；12：SSR；13：电源；20：电流传感器；30：电压传感器；40：温度传感器；100：取得部；110：第一判定部；120：第二判定部；130：第三判定部；140：目标值设定部。

Claims (10)

1.一种异常判定装置，其中，所述异常判定装置具备：

取得部，其取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过所述电热体的电流计算出的所述电热体的电阻值，并且取得所述加热器的温度值；

第一判定部，其基于所取得的所述电阻值进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定；

第二判定部，其判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态；以及

第三判定部，其判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，

在所述第二判定部在整个第一期间内判定为是所述温度稳定状态、且所述第三判定部在整个第二期间内判定为是所述电阻稳定状态的情况下，所述第一判定部进行所述异常判定。

2.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中，

对所述电阻值实施低通滤波处理。

3.根据权利要求2所述的异常判定装置，其中，

对所述电阻值实施的低通滤波处理是移动平均。

4.根据权利要求3所述的异常判定装置，其中，

所述第二期间是对取得所述电阻值的周期乘以所述电阻值的移动平均次数而得到的期间。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的异常判定装置，其中，

所述异常判定装置具备设定所述第二目标值的目标值设定部，

所述目标值设定部将开始所述第二目标值的设定时的所述电阻值设定为临时第二目标值，在判定为在第三期间内取得的全部的所述温度值处于相对于所述第一目标值的幅度内且在第四期间内取得的全部的所述电阻值处于相对于所述临时第二目标值的幅度内的情况下，将所述临时第二目标值设定为所述第二目标值。

6.根据权利要求5所述的异常判定装置，其中，

在未判定为在所述第三期间内取得的全部的所述温度值处于相对于所述第一目标值的幅度内且在所述第四期间内取得的全部的所述电阻值处于相对于所述临时第二目标值的幅度内的情况下，所述目标值设定部将最后取得的所述电阻值重新设定为所述临时第二目标值。

7.根据权利要求5或6所述的异常判定装置，其中，

在所取得的所述温度值为所述温度稳定状态且所取得的所述电阻值为所述电阻稳定状态的情况下，所述目标值设定部基于所取得的所述电阻值的最近多次的平均值，重新设定所述第二目标值。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的异常判定装置，其中，

对所述电阻值实施移动平均，

所述第四期间是对取得所述电阻值的周期乘以所述电阻值的移动平均次数而得到的期间。

9.一种异常判定方法，其中，

取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过所述电热体的电流计算出的所述电热体的电阻值，并且取得所述加热器的温度值，

判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态，

判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，

在整个第一期间内判定为是所述温度稳定状态且在整个第二期间内判定为是所述电阻稳定状态的情况下，进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定。

10.一种异常系统，其中，所述异常系统具备第一设备、与所述第一设备通信连接的第二设备以及与所述第一设备通信连接的第三设备，

所述第一设备具有：第一取得部，其取得根据加热器的电热体的两端的电压以及流过所述电热体的电流计算出的所述电热体的电阻值；以及第一判定部，其基于所取得的所述电阻值进行作为所述加热器是否异常的判定的异常判定，

所述第二设备具有：第二取得部，其取得所述加热器的温度值；以及第二判定部，其判定是否是所取得的所述温度值处于相对于第一目标值的幅度内的温度稳定状态，

所述第三设备具有：第三取得部，其取得所述电热体的所述电阻值；以及第三判定部，其判定是否是所取得的所述电阻值处于相对于第二目标值的幅度内的电阻稳定状态，

所述第一取得部取得所述第二判定部的判定结果以及所述第三判定部的判定结果，

在所述第二判定部在整个第一期间内判定为是所述温度稳定状态且所述第三判定部在整个第二期间内判定为是所述电阻稳定状态的情况下，所述第一判定部进行所述异常判定。