TW202231895A - 旋轉式陰極單元用之驅動區塊 - Google Patents

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Abstract

提供一面持有容易進行磁鐵盒對驅動區塊的組裝或分解的構造，一面不用對被配置在標靶之內方的零件施予例如特別的防水加工而可以進行供電的旋轉式陰極單元之驅動區塊。 被設置在具有被配置在真空氛圍中之筒狀的標靶(Tg)，和被內插於該標靶的內筒體(35)之旋轉式陰極之標靶的X軸方向前端，支持標靶的旋轉式陰極單元(Rc)用之驅動區塊(DB)，係具備被設置在內筒體內之零件進行供電的供電手段，具備中空管(4)，該中空管(4)持有設置在內筒體之軸線方向之延長線上的直線部(62)，供電手段具備機械性地被分離的被連接於上述零件之受電部(81 1)和被連接於電源電路的供電部(93 1)，在內筒體之軸線方向之前端部和直線部之軸線方向之後端部，在彼此對峙之狀態下配置受電部和供電部。

Description

旋轉式陰極單元用之驅動區塊
本發明係關於被設置在具有被配置在真空氛圍中之筒狀的標靶，和被內插於該標靶而區劃出與真空氛圍隔絕的內部空間的內筒體之旋轉式陰極之標靶的軸線方向前端，將標靶支持成繞軸線旋轉自如的旋轉式陰極單元用之驅動區塊。
以往，在例如專利文獻1已知被使用於濺鍍裝置之旋轉式陰極單元。此具備在真空腔室內被配置成與基板相向的圓筒狀之標靶。在標靶內，內插區劃出與真空氛圍隔絕之內部空間磁鐵盒，在磁鐵盒內，組裝產生洩漏至標靶之外表面的磁場的磁鐵單元，和使磁鐵單元相對於標靶之外表面朝接近離開方向移動的直線驅動馬達等的零件(電動零件)。而且，為了將標靶支持成繞軸線旋轉自如，在標靶之軸線方向前端設置驅動區塊。
在驅動區塊設置固定配置的內筒體，和被配置在該內筒體之周圍的外筒體，在內筒體和外筒體之間，設置使該外筒體和標靶導通的刷具。而且，內筒體之內部空間與磁鐵盒內之冷媒循環通路之第1通路連通，再者，內筒體和外筒體之間的空間與標靶和磁鐵盒之間的冷媒循環通路之第2通路連通。依此，由以磁鐵盒內之內部空間，和標靶內面及磁鐵盒外面被區劃的間隙，形成冷媒循環通路，使作為冷媒的冷卻水在冷媒循環通路循環，在標靶之濺鍍時，成為標靶超過特定溫度而不被加熱。
在此，上述以往例的技術係驅動區塊之內筒體之內部空間與磁鐵盒內之第1通路連通。因此，當從驅動區塊側，對位於磁鐵盒內之直線驅動馬達供給交流電力，或為了控制直線驅動馬達而進行通訊時，成為通過驅動區塊之內筒體而進行電性配線或通訊配線。在如此之情況，因在內筒體之內部空間流通冷卻水，故必須對配線或連接器等施予防水加工，這不僅使配線工程變得複雜，而且有增加部件數量而導致成本增加的問題。而且，磁鐵盒對驅動區塊組裝時，或伴隨著維修的分解時，必須在驅動區塊和磁鐵盒之間拉繞配線，或裝卸配線用的連接器彼此，作業性較差。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2016/185714號
[發明所欲解決之課題]
本發明係鑑於上述問題點，以提供具有下述構成的旋轉式陰極單元之驅動區塊為課題：持有磁鐵盒容易對驅動區塊的組裝或分解的構造，並且無須對被配置在標靶之內方的零件施予例如特別的防水加工即可進行供電或通訊。 [用以解決課題之手段]
為了解決上述課題，被設置在具有被配置在真空氛圍中之筒狀的標靶，和被內插於該標靶而區劃出與真空氛圍隔絕的內部空間的內筒體之旋轉式陰極之標靶的軸線方向前端，將標靶支持成繞軸線旋轉自如的本發明之旋轉式陰極單元用之驅動區塊係具備對被設置在內筒體內之零件進行供電的供電手段，具備中空管，該中空管持有設置在內筒體之軸線方向之延長線上的直線部，供電手段具備機械性地被分離的被連接於上述零件的受電部和被連接於電源電路的供電部，在內筒體之軸線方向之前端部和直線部之軸線方向之後端部，在彼此對峙之狀態下，配置受電部和供電部。
若藉由本發明時，因採用在標靶內方之內筒體和驅動區塊之中空管分別設置機械性地被分離的供電部和受電部，在驅動區塊組裝內筒體之狀態以非接觸方式被供電之構成，故內筒體對驅動區塊的組裝或分解時，可以不需要在驅動區塊和內筒體之間拉繞電性配線，或不裝卸連接器彼此的作業，可以成為容易組裝或分解的構造。在此情況，若在中空管之周圍，對被設置在標靶內之冷媒循環通路供給冷卻水，設置進行排水的通路時，因可以將中空管內設為大氣氛圍，通過該中空管而朝供電部進行電性配線，故可以不需要對被配線在中空管內之纜線或連接器等施予防水加工，較為有利。
在本發明中，在對上述零件供電交流電力般的情況，可以採用下述構成：上述內筒體具備朝軸線方向前方延伸而在上述中空管之軸線方向後端部分保持氣密的狀態下被內插的插槽部，上述受電部和上述供電部係在將電極間距離維持一定的狀態下被配置的電感器之第1電極和第2電極，被連接於交流電源電路的第1電極係由被突出設置在封閉內筒體之軸線方向前端之壁面的插銷構件構成，被連接於上述零件之第2電極被內插在中空管之軸線方向後端開口，持有接受第1電極的接受凹部的栓構件構成，當將中空管之後端部分內插於內筒體之插槽部而抵接於壁面時，第1電極和第2電極被定位。或是，可以採用下述構成：上述內筒體具備朝軸線方向前方延伸而在上述中空管之軸線方向後端部分保持氣密之狀態下被內插的插槽部，上述受電部和上述供電部係在將電極間距離維持一定之狀態下被配置的電感器之第1電極和第2電極，被連接於交流電源電路的第1電極係由被設置在封閉內筒體之軸線方向前端的壁面的第1板構件構成，被連接於上述零件之第2電極係被設置在中空管之軸線方向後端開口，由與第1電極相向配置的第2電極構成，當在內筒體之插槽部內插中空管之後端部分而抵接於壁面時，第1電極和第2電極被定位。依此，可以使磁鐵盒對驅動區塊的組裝作業更簡化，較為有利。
在此，當在內筒體內設置馬達等之電動零件時，有與其作動相關的熱滯留在內筒體內，導致馬達之動作不良之虞。在本發明中，例如至少設置一個橫跨封閉內筒體之軸線方向前端的壁面、第1電極及第2電極之貫通孔而設為通氣通路，若對內筒體內供給例如壓縮空氣並排出時，可以排出滯留在內筒體的熱，能夠抑制因熱引起的馬達等之動作不良。
再者，為了解決上述課題，被設置在具有被設置在真空氛圍中之筒狀的標靶，和被內插於該標靶而區劃出與真空氛圍隔絕的內部空間的內筒體之旋轉式陰極單元之標靶的軸線方向前端，將標靶支持成繞軸線旋轉自如的本發明之旋轉式陰極單元用之驅動區塊係具備與被設置在內筒體內之零件通訊的通訊手段，具備中空管，該中空管持有設置在內筒體之軸線方向之延長線上的直線部，通訊手段具備機械性地被分離的被連接於上述零件的第1通訊部和被連接於控制驅動區塊之作動的控制單元的第2通訊部，在內筒體之軸線方向之前端部和直線部之軸線方向之後端部，在彼此對峙之狀態下，配置第1通訊部和第2通訊部。
若藉由本發明時，因採用在標靶內方之內筒體和驅動區塊之中空管分別設置機械性地被分離的第1通訊部和第2通訊部，在驅動區塊組裝內筒體之狀態以非接觸方式被通訊之構成，故內筒體對驅動區塊的組裝或分解時，可以不需要在驅動區塊和內筒體之間拉繞電性配線，或裝卸連接器彼此的作業，可以成為容易組裝或分解的構造。在此情況，若在中空管之周圍，對被設置在標靶內之冷媒循環通路供給冷卻水，設置進行排水的通路時，因可以將中空管內設為大氣氛圍，通過該中空管而朝供電部進行電性配線，故可以不需要對被配線在中空管內之纜線或連接器等施予防水加工，較為有利。
以下，參照圖面，將零件(電動零件)收納於作為內筒體之磁鐵盒的直線驅動馬達、對直線驅動馬達供電交流電力之情況為例，說明將本發明之驅動區塊DB適用於在矩形之玻璃基板(以下，稱為「基板S」之一方的表面，成膜特定薄膜的磁控管濺鍍裝置用之旋轉式陰極單元Rc的第1實施型態。
參照圖1，旋轉式陰極單元Rc具備在真空氛圍Vp中與基板S相向配置的圓筒狀之標靶Tg。在以下中，將標靶Tg之母線方向(軸線方向)設為X軸方向，將設置驅動區塊DB之方向設為X軸方向前(圖1中之右方)，將其逆方向設為X軸方向後(圖1中之左邊)。標靶Tg具有圓筒狀之背管11，和經由銦或錫等之接合材(無圖示)而被接合的圓筒狀之標靶材12。作為標靶材12，因應欲在基板S成膜的膜之組成，使用從金屬或金屬化合物中適當被選出者。另外，作為標靶Tg，可以使用對母材金屬直接切削加工而形成者，在此情況，省略背管11。
在背管11，區劃出與真空氛圍Vp內隔絕的空間的磁鐵盒3被內插在標靶Tg的大致整個長度上。磁鐵盒3係封閉其X軸方向兩端者，在其內部形成於整個長度延伸的冷媒通路31。而且，雖然無特別圖示並說明，但是在磁鐵盒之X軸方向後端，冷媒通路31與磁鐵盒3之外周面和後管11之內周面之間之間隙32連通而在冷媒通路31和間隙32形成冷媒循環路Fp。在本實施型態中，間隙32構成冷媒循環路Fp之去路Fp1，冷媒通路31構成冷媒循環路Fp之回路Fp2。
在磁鐵盒3內，固定配置使洩漏磁場作用於標靶材12之外表面的磁鐵單元33，和使磁鐵單元33相對於標靶材12之外表面朝接近分離方向移動的直線驅動馬達34a。再者，磁鐵盒3係經由在X軸方向以特定間隔被配置的連結構件Lm與被內置在磁鐵盒3之內筒體35連結，在該內筒體35內，設置磁鐵單元33和直線驅動馬達34a。另外，作為連結構件Lm或連結的方法，因可以利用眾知技術，故省略更多的說明。再者，即使將冷媒通路31經由連結構件Lm固定在內筒體35亦可。
磁鐵單元33具備磁軛33a，該磁軛33a持有與標靶Tg之X軸方向長度相等之長度。雖然無特別圖示說明磁軛33a，但是其係由形成有與基板S平行的頂面，和從頂面分別向下方傾斜的一對傾斜面的磁性材料製造的板狀構件構成，在其頂面配置棒狀之中央磁鐵33b，在兩傾斜面配置棒狀之周邊磁鐵33c之各者，以通過洩漏磁場之垂直成分成為零的位置的線沿著X軸方向延伸而封閉成跑道狀之方式，使洩漏磁場作用。另外，作為磁鐵單元33，因可以利用眾知的技術，故省略更多的說明。
直線驅動馬達34a之驅動軸34b係經由支持框34c而被連結於與配置有中央磁鐵33b和周邊磁鐵33c之面背對背的磁軛33a之面。依此，藉由使直線驅動馬達34a作動，在相對於X軸方向正交之方向(在圖1中為上下方向)，磁鐵單元33相對於標靶材12外表面，在接近分離方向移動方向移動自如。在直線驅動34a附設檢測其旋轉角的感測器或編碼器等的檢測手段34d。在本實施型態中，雖然以單一的直線驅動馬達34a使磁鐵單元33一體性移動者為例予以說明，但是並不限定於此，例如在磁鐵單元33在X軸方向被分割為複數個部分之情況，使對應於各部分而設置複數個直線驅動馬達34a。而且，在真空腔室內，旋轉自如地支持旋轉式陰極單元Rc，同時為了對直線驅動馬達34a供給交流電力，具備本實施型態之驅動區塊DB。在此情況，雖然無特別圖示並說明，但是在真空氛圍Vp中，也可以配置旋轉自如地支持標靶Tg之X軸方向後端側的支持區塊，但是因該本身可以利用眾知技術，故在此省略詳細說明。
也參照圖2，被設置在標靶Tg之X軸方向前端的驅動驅塊DB具備彼此被配置成同心狀的中空管4、被外插於中空管4的第1內筒體5，和被外插於第1內筒體5之第2內筒體6和外筒體7。中空管4係在其X軸方向後端部分外嵌O環等之冷卻水用之密封Sw4，同時持有被配置在內筒體35之軸線方向之延長線上的直線部，隨時成為大氣氛圍。在此情況，封閉內筒體35之X軸方向前端的壁面36形成朝X軸方向前方延伸的插槽部37，成為經由冷卻水用之密封Sw4而在中空管4之X軸方向後端部分保持氣密的狀態可以內插。
再者，在壁面36，突出設置金屬製之插銷構件81 1，接受該插銷81 1之接受凹部93a的金屬製之栓構件93 1被內插於中空管4之X軸方向後端的開口。插銷構件81 1係經由受電電路82而被電性配線於直線驅動馬達34a，栓構件93 1被連接於交流電源電路94。另外，因可以利用於交流電力之非接觸供電的交流電源電路94或受電電路82本身可以利用眾知技術，故在此省略詳細說明。而且，將中空管4之X軸方向後端之部分內插於插槽部37而其中空管4之插入方向(X軸方向)前端抵接於壁面36時，成為插銷構件81 1相對於接收凹部93a被定位。在本實施型態中，插銷構件81 1和栓構件93 1構成在將電極間距離維持成一定的狀態下被配置的電感器之第1電極(受電部)和第2電極(供電部)。
在中空管4之前端部，經由齒輪機構41設置作為第2驅動手段的伺服馬達42，使中空管4以及磁鐵盒3與被內置於磁鐵盒3的磁鐵單元33可以一起以特定旋轉角之範圍(例如±數十度以下之範圍)繞X軸線旋轉。另外，也可以利用輸送帶機構，取代齒輪機構41。
第1內筒體5在其X軸方向前端側具有厚壁部51，在厚壁部51和中空管4之間設置軸承Br1。再者，在厚壁部51和中空管4之間，位於較軸承Br1更靠X軸方向後側而設置冷卻水用之密封Sw1。而且，成為位於冷卻水用之密封Sw1之X軸方向後側的中空管4和第1內筒體5之間隙區劃與冷媒循環路Fp之回路Fp2連通的第1通路Fp3。再者，第1內筒體5之X軸方向後端經由樹脂製之環部Sw3而被外嵌於磁鐵盒3之X軸方向前端。該樹脂製之環部Sw3具有軸承之功能，同時具有密封冷卻水的功能。
第2內筒體6係在其X軸方向前端側具有朝與X軸方向正交之方向延伸的凸緣壁部61，成為第1內筒體5和第2內筒體6之間隙區劃與冷媒循環路Fp之去路Fp1連通的第2通路Fp4。而且，形成在區劃真空氛圍Vp的隔牆Ip(例如，真空腔室之平面)的安裝孔Ih，經由安裝零件Ap而安裝。此情況，安裝零件Ap係由在一端設置凸緣部Ap1之筒狀構件構成，在凸緣部Ap1之X軸方向前後之面，分別安裝O型環等之真空用密封Sv1，成為兩密封Sv1壓接於隔牆Ip之外面和第2內筒體6之X軸方向之端面而氣密保持。再者，在位於大氣氛圍的凸緣壁部61和厚壁部51之間的空間，設置持有朝X方向延伸的軸部的兩個接頭部8a、8b，在各接頭部8a、8b，從圖外之冷卻單元分別連接圖外之吸水管和排水管。依此，藉由冷卻單元使特定溫度的冷卻水在冷媒循環路Fp循環，依此可以在標靶Tg之濺鍍時，冷卻標靶材12。
外筒體7係經由被外嵌於朝第2內筒體6之X軸方向延伸的直線部62的軸承Br2而設置。在此情況，在背管11之X軸方向一端，設置小直徑的安裝階差部11a，在安裝階插部11a，外筒體7之X軸方向後端經由O型環等的真空用密封Sv2而被外嵌，在該狀態下，藉由夾具Cp而連結外筒體7和背管11。另外，作為利用於上述連結的夾具Cp，因可以利用眾知技術，故省略更多的說明。再者，在由於標靶材12因濺鍍標而侵蝕，須更換標靶Tg之情況，標靶Tg從X軸方向後側之支持區塊脫離，拆除夾具Cp之後，若朝向X軸方向後方拉拔標靶Tg時，可以拆下標靶Tg。
在外筒體7之外周面和安裝零件Ap之內周面之間，設置一面容許外筒體7之旋轉一面氣密保持外筒體7之內側空間的由油封、雙唇密封或磁性流體密封構成的真空用密封Sv3。在本實施型態中，上述各真空用之密封Sv1~Sv3構成從真空氛圍Vp隔絕作為內筒體之磁鐵盒3和中空管4之內部空間的隔絕手段。而且，藉由外筒體7，覆蓋直線部62，和從直線部62朝X軸方向後端側突出而延伸的第1內筒體5之部分成為使去路Fp1和第2通路Fp4完全液密地連通。在此情況，也在較軸承Br2更靠磁鐵盒3側的直線部62和外筒部7之間，設置冷卻水用之密封Sw2。
在外筒體7之外筒面，位於隔牆Ip之大氣側而設置齒部71，設置與此咬合的齒輪91。在齒輪91，連結馬達92之驅動軸92a，藉由馬達92以特定旋轉數使齒輪91旋轉而旋轉驅動外筒體7，依此，在標靶Tg之濺鍍時，成為可以以特定旋轉數使與外筒體7連結的標靶Tg旋轉。再者，在外筒體7，連接來自圖外之濺鍍電源的輸出纜線(省略圖示)，成為可以對標靶材12，輸入持有例如負電位的特定電力。
若藉由上述實施型態時，因採用分別在磁鐵盒3和驅動區塊DB之中空管4分別設置機械性地被分離的第1電極81 1和第2電極93 1，在驅動區塊DB組裝磁鐵盒3之狀態下以非接觸方式被供電的構成，故在磁鐵盒3對驅動區塊DB的組裝或分解時，可以不需要再驅動區塊DB和磁鐵盒3之間拉繞電性配線，或裝卸連接器彼此的作業，可以成為容易組裝或分解的構造，僅將磁鐵盒3嵌裝於驅動區塊DB之中空管4，第1電極81 1和第2電極93 1就被定位，因此可以使磁鐵盒3對驅動區塊DB之組裝作業更為簡化，較為有利。而且，因採用在中空管4之周圍，設置對被設置在標靶Tg內之冷媒循環通路Fp供給冷卻水，且進行排水的各通路Fp3、Fp4的構成，故可以成為將中空管4內設為大氣氛圍，通過該中空管4而朝交流電源電路94的電性配線，故可以不需要對被配線在中空管4內之纜線或連接器等施予防水加工，較為有利。
在上述實施型態中，雖然以將零件被收納於內筒體35內的直線驅動馬達34a，對此供電交流電力之情況為例予以說明，但是不限定於此，即使在被收納於內筒體35內的零件(電動零件)也可以廣泛地適用本發明。在上述實施型態中，雖然以將機械性地被分離的第1電極81及第2電極93，將插銷構件81 1和栓構件93 1分別設置在磁鐵盒3和驅動區塊DB之中空管4者為例予以說明，但是亦可以如圖3所示的第1變形例般，在壁面36設置金屬製之第1板構件81 2，以與第1板構件81 2相向配置之方式，設置在中空管4之X軸方向後端之開口，而分別構成第1電極81和第2電極93。在此情況，雖然僅在驅動區塊DB之中空管4嵌裝磁鐵盒3，第1電極81 2和第2電極93 2就被定位，但是亦可以不用在壁面36設置插槽部37而另外設置進行內筒體35之定位的定位機構，而進行第1板構件81 2和第2板構件93 2的定位。再者，在上述實施型態中，雖然以使用機械地被分離的電感器者為例而進行說明，但是不限定於此，可以利用使用電容器之方式或電波接收方式等的其他非接觸式的供電，在如此之情況，在內筒體35之壁面36和中空管4之X軸方向後端部，因應供電方式而適當配置電容器等的供電用零件。
然而，在內筒體35內設置直線驅動馬達34a之情況，有與其作動相關的熱滯留在內筒體35內，導致直線驅動馬達34a之動作不良之虞 於是，如圖4所示的第2變形例般，即使在內筒體35之側壁36之中央部和第1電極81 1開口設置彼此連通的貫通孔36a、81a，將作為導入通路10a的氣體導入管10a 1、10a 2分別插入至該些貫通孔36a、81a，同時分別開口設構成與壁面36之貫通孔36a之徑向外側部分和第2電極93 1彼此連通的排出通路10b的貫通孔36b、93b亦可。而且，若經氣體導入管10a 1、10a 2而將壓縮空氣等導入至內筒體35內，該導入的壓縮空氣等經由排氣通路10b而從內筒體35排出時，可以排出滯留在內筒體35的熱，可以抑制直線驅動馬達34a之動作不良，較為有利。
再者，在上述實施型態中，雖然以藉由非接觸方式對直線驅動馬達34a進行供電的技術為例予以說明，但是，亦可以構成使用光通訊、紅外線通訊、可見光通訊、其他各種無線通訊等的眾知通訊方法，在被設置在直線驅動馬達34a或檢測手段34d之內筒體35內的零件和驅動區塊DB之控制單元Cu之間，藉由非接觸式通訊接收發送動作司令等的訊號。例如，對相同的構件標示相同的符號的圖5(a)所示的第2實施型態，係在設置有第1電極81 1的壁面36分別開口設置各貫通孔36b、36b，在各貫通孔36b、36b內，分別插裝作為第1通訊部之光纖發光部11a 1及光纖受光部11b 1。光纖發光部11a 1係被電性配置在圖外之檢測手段34d，光纖受光部11b 1係被電性配線在圖外之直線驅動馬達34a。再者，在光纖發光部11a 1及與光纖受光部11b 1相向的第2電極93 1之位置，分別開口設置各貫通孔93b、93b，在各貫通孔93b、93b內，分別插裝作為第2通訊部的光纖受光部11b 2及光纖發光部11a 2。光纖受光部11b 2及光纖發光部11a 2分別被配線在驅動區塊DB之控制單元Cu。而且，來自控制單元Cu之動作司令等的訊號經由光纖發光部11a 2及光纖受光部部11b 1被發送至直線驅動馬達34a，同時在控制單元Cu，經由光纖發光部11a 1及光纖受光部11b 2而接收在檢測手段34d被檢測出的直線驅動馬達34a的旋轉角之資訊等的訊號。另外，被利用於非接觸式通訊的各光纖發光部11a 1、11a 2及各光纖受光部11b 1、11b 2本身或通訊方法可以利用例如RS-485通訊等的眾知技術，在此省略詳細說明。
再者，圖5(b)所示之第3實施型態係在壁面36及第1電極81 1開口設置各貫通孔36a、81a，在與該貫通孔81a相向的第2電極93 1之位置開口設置貫通孔93c。以紅外線通過該些貫通孔93c、81a、36a內之方式，在中空管4內設置作為第2通訊部的紅外線發光部12a，在內筒體35內設置作為接收通過各貫通孔93c、81a、36a內的紅外線的第1通訊部的紅外線接收部12b。紅外線發光部12a係被配線在控制單元Cu，紅外線接收部12b係被電性配線在直線驅動馬達34a。而且，來自控制單元Cu的動作司令等之訊號經由紅外線發光部12a及紅外線接收部12b，而被發送至直線驅動馬達34a。另外，在本實施型態中，雖然以在中空管4內設置紅外線發光部12a，在內筒體35內設置紅外線受光部12b者為例予以說明，但是也可以構成在中空管4內設置紅外線受光部，同時在內筒體35內設置紅外線發光部，經由該些紅外線發光部及紅外線受光部，控制單元Cu接收在檢測手段34d被檢出的直線驅動馬達34a之旋轉角的資訊等的訊號。再者，因被利用於非接觸式通訊的紅外線發光部12a及紅外線受光部12b之本身或通訊方法可以利用例如RS-485通訊等之眾知技術，故在此省略詳細說明。
若藉由上述第2及第3實施型態時，因採用在磁鐵盒3和驅動區塊DB之中空管4，分別設置機械性地被分離的作為第1通訊部的光纖發光部11a 1、光纖受光部11b 1或紅外線受光部12b，和作為第2通訊部之光纖發光部11a 2、光纖受光部11b 2或紅外線受光部12a，在將磁鐵盒3組裝於驅動區塊DB之狀態下以非接觸方式被通訊的構成，故在磁鐵盒3對驅動區塊DB的組裝或分解時，可以不需要在驅動區塊DB和磁鐵盒3之間拉繞配線，或裝卸連接器彼此的作業，可以成為容易組裝或分解的構造，因僅將磁鐵盒3嵌裝於驅動區塊DB之中空管4，光纖發光部11a 1、11a 2或紅外線發光部12a和光纖受光部11b 1、11b 2或紅外線受光部12b就被定位，故可以使磁鐵盒3對驅動區塊DB的組裝作業更簡化，較為有利。再者，因與上述第1實施型態相同，採用在中空管4之周圍，設置對被設置在標靶Tg內之冷媒循環通路Fp供給冷卻水，且進行排水的各通路Fp3、Fp4的構成，故可以成為將中空管4內設為大氣氛圍，通過該中空管4而朝控制單元Cu的配線，故可以不需要對被配線在中空管4內之纜線或連接器等施予防水加工，較為有利。
以上，雖然針對本發明之實施型態予以說明，但是只要在不脫離本發明之技術思想的範圍，就能進行各種變形。在上述實施型態中，雖然以中空管4在其整個長度上呈直線狀者為例而予以說明，但是若從磁鐵盒3至少至外插第1內筒體5之處呈直線狀者時，則不限定於此。
DB:驅動區塊 Cu:控制單元 Rc:旋轉式陰極單元 Tg:標靶 Vp:真空氛圍 4:中空管 10:通氣通路 34a:直線驅動馬達(被設置在內筒體35內的零件) 35:內筒體 36:壁面 37:插槽部 81 1:插銷構件、第1電極(受電部) 81 2:第1板構件、第1電極(受電部) 93 1:栓構件、第2電極(供電部) 93 2:第2板構件、第2電極(供電部) 93a:接收凹部 94:交流電源電路(電源電路) 11a 1:光纖發光部(第1通訊部) 11a 2:光纖發光部(第2通訊部) 11b 1:光纖受光部(第1通訊部) 11b 2:光纖受光部(第2通訊部) 12a:紅外線發光部(第2通訊部) 12b:紅外線受光部(第1通訊部)
[圖1]為說明本發明之濺鍍裝置用之旋轉式陰極單元之構成的圖。 [圖2]為放大表示旋轉式陰極單元之重要部位的部分剖面圖。 [圖3]為說明旋轉式陰極單元之第1變形例的部分剖面圖。 [圖4]為放大表示旋轉式陰極單元之第2變形例所涉及之圖2之重要部位的部分剖面圖。 [圖5](a)為放大表示旋轉式陰極單元之第2實施型態所涉及之圖2之重要部位的部分剖面圖，(b)為放大表示旋轉式陰極單元之第3實施型態所涉及之圖2之重要部位的部分剖面圖。
DB:驅動區塊
Tg:標靶
3:磁鐵盒
4:中空管
5:第1內筒體
6:第2內筒體
7:外筒體
8a:接頭部
8b:接頭部
11:背管
11a:安裝階差部
12:標靶材
32:間隙
35:內筒體
36:壁面
37:插槽部
41:齒輪機構
42:伺服馬達
51:厚壁部
61:凸緣壁部
62:直線部
71:齒部
811:插銷構件、第1電極(受電部)
82:受電電路
91:齒輪
931:栓構件、第2電極(供電部)
92:連結馬達
92a:驅動軸
93a:接收凹部
94:交流電源電路(電源電路)
Sw1~Sw4:密封
Sv1~Sv3:密封
Fp1:去路
Fp3:第1通路
Fp4:第2通路
Ap:安裝零件
Ap1:凸緣部
Br1~Br2:軸承
Vp:真空氛圍
Ip:隔牆
Ih:安裝孔
Cp:夾具

Claims (6)

  1. 一種旋轉式陰極單元用之驅動區塊，其係被設置在具有被配置在真空氛圍中之筒狀的標靶，和被內插於該標靶而區劃出與真空氛圍隔絕的內部空間的內筒體之旋轉式陰極單元之標靶的軸線方向前端，將標靶支持成繞軸線旋轉自如，該旋轉式陰極單元用之驅動區塊之特徵在於， 其係屬於具備對被設置在內筒體內之零件進行供電的供電手段的構件，其中 具備中空管，該中空管持有設置在內筒體之軸線方向之延長線上的直線部， 供電手段具備機械性地被分離的被連接於上述零件的受電部和被連接於電源電路的供電部， 在內筒體之軸線方向之前端部和直線部之軸線方向之後端部，在彼此對峙之狀態下，配置受電部和供電部。
  2. 如請求項1之旋轉式陰極單元用之驅動區塊，其中，其屬於對上述零件供電交流電力的構件， 上述內筒體具備朝軸線方向前方延伸而在上述中空管之軸線方向後端部分保持氣密的狀態下被內插的插槽部， 上述受電部和上述供電部係在將電極間距離維持一定的狀態下被配置的電感器之第1電極和第2電極， 被連接於交流電源電路的第1電極係由被突出設置在封閉內筒體之軸線方向前端之壁面的插銷構件構成，被連接於上述零件之第2電極被內插在中空管之軸線方向後端開口，持有接受第1電極的接受凹部的栓構件構成，當將中空管之後端部分內插於內筒體之插槽部而抵接於壁面時，第1電極和第2電極被定位。
  3. 如請求項1之旋轉式陰極單元用之驅動區塊，其中，其係屬於對上述零件供電交流電力的構件， 上述內筒體具備朝軸線方向前方延伸而在上述中空管之軸線方向後端部分保持氣密的狀態下被內插的插槽部， 上述受電部和上述供電部係在將電極間距離維持一定的狀態下被配置的電感器之第1電極和第2電極， 被連接於交流電源電路的第1電極係由被設置在封閉內筒體之軸線方向前端之壁面的第1板構件構成，被連接於上述零件之第2電極被設置在中空管之軸線方向後端開口，由與第1電極相向配置的第2板構件構成，當將中空管之後端部分內插於內筒體之插槽部而抵接於壁面時，第1電極和第2電極被定位。
  4. 如請求項2或3之旋轉式陰極單元用之驅動區塊，其中， 形成能夠進行在上述內筒體和上述中空管之間之通氣的通氣通路。
  5. 如請求項1至4中之任一項之旋轉式陰極單元用之驅動區塊，其中， 進一步具備與被設置在上述內筒體內之零件通訊的通訊手段， 通訊手段具備機械性地被分離的被連接於上述零件的第1通訊部和被連接於控制驅動區塊之作動之控制單元的第2通訊部，在內筒體之軸線方向之前端部和直線部之軸線方向之後端部，在彼此對峙之狀態下，配置第1通訊部和第2通訊部。
  6. 一種旋轉式陰極單元用之驅動區塊，其係被設置在具有被配置在真空氛圍中之筒狀的標靶，和被內插於該標靶而區劃出與真空氛圍隔絕的內部空間的內筒體之旋轉式陰極單元之標靶的軸線方向前端，將標靶支持成繞軸線旋轉自如，該旋轉式陰極單元用之驅動區塊之特徵在於， 其係屬於具備與對被設置在內筒體內之零件進行通訊的通訊手段的構件，其中 具備中空管，該中空管持有設置在內筒體之軸線方向之延長線上的直線部， 通訊手段具備機械性地被分離的被連接於上述零件的第1通訊部和被連接於控制驅動區塊之作動的控制單元的第2通訊部，在內筒體之軸線方向之前端部和直線部之軸線方向之後端部，在彼此對峙之狀態下，配置第1通訊部和第2通訊部。
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