CN116057199A - 旋转式阴极单元用的驱动块 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(81₁)；以及与电源电路连接的供电部(93₁)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。

Description

旋转式阴极单元用的驱动块

技术领域

本发明涉及一种旋转式阴极单元用的驱动块，其设置在旋转式阴极的靶的轴线方向前端，并绕轴线可自由旋转地支撑靶，所述旋转式阴极具有：配置在真空气氛中的筒状靶；以及插入该靶内并限定出与真空气氛隔绝的内部空间的内筒体。

背景技术

以往，溅射装置中使用的旋转式阴极单元例如在专利文献1中已知。该装置具备在真空室内与基板相对配置的圆筒状的靶。在靶内插入磁盒，其限定出与真空气氛隔绝的内部空间，在磁盒中内置有：产生泄漏到靶的外表面的磁场的磁铁单元；以及使磁铁单元相对于靶的外表面在接近远离方向上移动的直线电机等的部件(电动部件)。并且，为了绕轴线可自由旋转地支撑靶，在靶的轴线方向前端设置有驱动块。

驱动块上设置有：固定配置的内筒体；以及配置在该内筒体的周围的外筒体，在内筒体和外筒体之间设置有导通该外筒体和靶的电刷。并且，内筒体的内部空间连通磁盒内的冷媒循环通道的第1通道，再有，内筒体和外筒体之间的空间连通靶和磁盒之间的冷媒循环通道的第2通道。由此，通过磁盒内的内部空间和由靶内面以及磁盒外表面所限定出的间隙，形成冷媒循环通道，使作为冷媒的冷却水在冷媒循环通道中循环，在靶的溅射时使靶不被加热到超过规定温度。

此处，在上述以往例的装置中，驱动块的内筒体的内部空间与磁盒内的第1通道连通。因此，如果从驱动块侧向位于磁盒内的直线电机供给交流电力，或者要为了控制直线电机而进行通信，则会经过驱动块的内筒体进行电气布线或通信布线。这种情况下，由于冷却水会在内筒体的内部空间中流动，因此需要对所布线和连接器等实施防水处理，如此，不但布线工序变得复杂，而且存在部件数量增加导致成本上升这类问题。而且，在对驱动块安装磁盒时或维护所伴随的拆卸时，需要进行在驱动块和磁盒之间拉线，或者对布线用的连接器之间进行拆装的作业，操作性不佳。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】国际公开第2016/185714号

发明内容

发明要解决的技术问题

鉴于上述情况，本发明要解决的技术问题是提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和拆卸的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电和通信。

解决技术问题的手段

为解决上述技术问题，本发明的旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：设置在旋转式阴极单元的靶的轴线方向前端，并绕轴线可自由旋转地支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶；以及插入该靶内并限定出与真空气氛隔绝的内部空间的内筒体；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部；以及与电源电路连接的供电部，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。

采用本发明，由于使用了将机械分离的供电部和受电部分别设置在靶内侧的内筒体和驱动块的中空管处，在内筒体安装在驱动块上的状态下以非接触方式进行供电的结构，因此在对驱动块安装和拆卸内筒体时，不需要进行在驱动块和内筒体之间拉电线或者对连接器之间进行拆装的作业，可实现容易进行安装和拆卸的结构。这种情况下，如果在中空管周围设置有向靶内设置的冷媒循环通道供给、排出冷却水的通道的话，则可使中空管内为大气气氛，经该中空管向供电部进行电气布线，因此可无需对中空管内布设的线缆和连接器等实施防水处理，是有利的。

在本发明中，在给所述部件供给交流电力这样的情况下，可采取下述结构：所述内筒体具备插座部，其向轴线方向前方延伸，被所述中空管的轴线方向后端部分在保持气密的状态下插入，所述受电部和所述供电部是以维持电极间距离固定的状态配置的电感器的第1电极和第2电极，连接交流电源电路的第1电极由突出设置在封闭内筒体的轴线方向前端的壁面上的销构件构成，与所述部件连接的第2电极插入中空管的轴线方向后端开口内，由带有接收第1电极的接收凹部的栓构件构成，当中空管的后端部分插入内筒体的插座部中与壁面抵接时，第1电极和第2电极被定位。或者，可采取下述结构：所述内筒体具备插座部，其向轴线方向前方延伸，被所述中空管的轴线方向后端部分在保持气密的状态下插入，所述受电部和所述供电部是以维持电极间距离固定的状态配置的电感器的第1电极和第2电极，连接交流电源电路的第1电极由设置在封闭内筒体的轴线方向前端的壁面上的第1板构件构成，与所述部件连接的第2电极设置在中空管的轴线方向后端开口处，由与第1电极相对配置的第2板构件构成，当中空管的后端部分插入内筒体的插座部中与壁面抵接时，第1电极和第2电极被定位。由此，可进一步简化磁盒对驱动块的安装操作，是有利的。

此处，如果在内筒体内设置电机等的电动部件，则运转所伴随的热量会积存在内筒体内，可能会诱发电机的工作故障等。在本发明中，例如，至少设置1个穿过封闭内筒体的轴线方向前端的壁面、第1电极和第2电极的贯通孔作为通气通道，如果例如将压缩空气供给、排出内筒体内的话，则可排出内筒体中积存的热量，可抑制因热量导致的电机等的工作故障。

再有，为解决上述技术问题，本发明的旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：设置在旋转式阴极单元的靶的轴线方向前端，并绕轴线可自由旋转地支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶；以及插入该靶内并限定出与真空气氛隔绝的内部空间的内筒体；所述驱动块具备与内筒体内设置的部件通信的通信装置，具备中空管，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部，通信装置具备机械分离的：与所述部件连接的第1通信部；以及与控制驱动块的运转的控制单元连接的第2通信部，第1通信部和第2通信部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。

采用本发明，由于使用了将机械分离的第1通信部和第2通信部分别设置在靶内侧的内筒体和驱动块的中空管处，在内筒体安装在驱动块上的状态下以非接触方式进行通信的结构，因此在对驱动块安装和拆卸内筒体时，不需要在驱动块和内筒体之间拉电线或者对连接器之间进行拆装的作业，可实现容易进行安装和拆卸的结构。这种情况下，如果在中空管周围设置有为靶内设置的冷媒循环通道供给、排出冷却水的通道的话，则可使中空管内为大气气氛，经该中空管向供电部进行电气布线，因此可无需对中空管内布设的线缆和连接器等实施防水处理，是有利的。

附图说明

图1是说明本发明的溅射装置用的旋转式阴极单元的结构的图。

图2是示出旋转式阴极单元的关键部分的局部放大剖视图。

图3是说明旋转式阴极单元的第1变形例的局部剖视图。

图4是示出旋转式阴极单元的第2变形例涉及的图2关键部分的局部放大剖视图。

图5的(a)是示出旋转式阴极单元的第2实施方式涉及的图2关键部分的局部放大剖视图，(b)是示出旋转式阴极单元第3实施方式涉及的图2关键部分的局部放大剖视图。

具体实施方式

以下参照附图，以采用作为内筒体的磁盒中收纳的直线电机为部件(电动部件)，向直线电机供给交流电力的情况为例，说明第1实施方式，其将本发明的驱动块DB应用到为了在矩形的玻璃基板(下称“基板S”)的一侧的表面上形成规定的薄膜的磁控溅射装置用的旋转式阴极单元Rc上。

参照图1，旋转式阴极单元Rc具备在真空气氛Vp中与基板S相对配置的圆筒状的靶Tg。以下以靶Tg的母线方向(轴线方向)为X轴方向，以设置有驱动块DB的方向为X轴方向前方(图1中的右侧)，以其相反方向为X轴方向后方(图1中的左侧)。靶Tg具有：圆筒状的背管11；以及经铟或锡等的粘合材料(未图示)而与圆筒状的背管11的外筒面接合的圆筒状的靶材12。可根据要在基板S上形成的薄膜的组分而从金属或金属化合物中适当选择的靶用作靶材12。此外，可使用直接切削加工母材金属而形成的靶作为靶Tg，这种情况下省略背管11。

在背管11中贯穿靶Tg大致全长地插入磁盒3，其限定出与真空气氛Vp内隔绝的空间。磁盒3其X轴方向两端封闭，其内部形成有沿大致全长延伸的冷媒通路31。并且，虽未特别图示说明，但在磁盒3的X轴方向后端，磁盒3的外周面和背管11的内周面之间的间隙32与冷媒通路31连通，以冷媒通路31和间隙32形成冷媒循环通道Fp。在本实施方式中，间隙32构成冷媒循环通道Fp的去路Fp1，冷媒通路31构成冷媒循环通道Fp的回路Fp2。

在磁盒3内固定配置有：使漏磁场作用在靶材12的外表面的磁铁单元33；以及使磁铁单元33相对于靶材12的外表面在接近远离方向上移动的直线电机34a。再有，磁盒3通过以规定的间隔配置在X轴方向上的连结构件Lm与安装在磁盒3内的内筒体35连结，该内筒体35内设置有磁铁单元33和直线电机34a。此外，作为连结构件Lm和连结方法，可使用公知的构件和方法，因此省略更多的说明。再有，也可通过连结构件Lm将冷媒通路31固定到内筒体35上。

磁铁单元33具备磁轭33a，其长度与靶Tg的X轴方向长度相同。虽未特别图示说明，磁轭33a由磁性材料制成的板状构件构成，该板状构件形成有与基板S平行的顶面和分别从顶面向下倾斜的一对倾斜面，分别在该顶面上配置有棒状的中央磁铁33b、在两倾斜面上配置有棒状的周边磁铁33c，漏磁场作用使得通过漏磁场的垂直分量为零的位置的线沿X轴方向延伸并闭合为跑道状。此外，作为磁铁单元33，可使用公知的产品，故省略更多的说明。

直线电机34a的驱动轴34b通过支撑架34c连接到与配置有中央磁铁33b和周边磁铁33c的表面相背对的磁轭33a的表面。由此，通过运转直线电机34a，磁铁单元33可在与X轴方向正交的方向(图1中上下方向)上相对于靶材12的外表面在接近远离方向上自由移动。直线电机34a上附设有检测其旋转角度的传感器或编码器等的检测装置34d。在本实施方式中，以由单个直线电机34a一体移动磁铁单元33为例进行了说明，但并不限于此，例如当磁铁单元33在X轴方向上被分割成多个部分这样的情况下，对应各部分设置多个直线电机34a。并且，为了在真空室内可自由旋转地支撑旋转式阴极单元Rc并且向直线电机34a供给交流电力而装备了本实施方式的驱动块DB。此时，虽未特别图示说明，但也可在真空气氛Vp中配置可自由旋转地支撑靶Tg的X轴方向后端侧的支撑块，但这本身可使用公知的装置，故此处省略详细说明。

也参照图2，靶Tg的X轴方向前端处设置的驱动块DB具备：彼此同心配置的中空管4、套在中空管4外的第1内筒体5、套在第1内筒体5外的第2内筒体6、以及外筒体7。中空管4是在其X轴方向后端部分外嵌O形环等的冷却水用的密封件Sw4，并带有配置在内筒体35的轴线方向的延长线上的直线部的管，始终处于大气气氛。这种情况下，在封闭内筒体35的X轴方向前端的壁面36上形成有沿X轴方向前方延伸的插座部37，间隔冷却水用的密封件Sw4中空管4的X轴方向后端部分能以保持气密的状态插入。

再有，在壁面36上突出设置金属材质的销构件81₁，带有接收该销构件81₁的接收凹部93a的金属材质的栓构件93₁插入中空管4的X轴方向后端的开口。销构件81₁通过受电电路82电气布线到直线电机34a，栓构件93₁连接到交流电源电路94。此外，由于交流电力的非接触供电中使用的交流电源电路94或受电电路82本身可使用公知的电路，故此处省略详细说明。并且，当中空管4的X轴方向后端的部分插入插座部37中，该中空管4的插入方向(X轴方向)前端与壁面36抵接时，销构件81₁相对于接收凹部93a被定位。在本实施方式中，销构件81₁和栓构件93₁构成以电极间距离维持固定的状态配置的电感器的第1电极(受电部)和第2电极(供电部)。

中空管4的前端部通过齿轮机构41设置有作为第2驱动装置的伺服电机42，可使中空管4进而磁盒3与磁盒3中内置的磁铁单元33一同绕X轴线以规定的旋转角度的范围(例如±几十度以下的范围)旋转。此外，也可使用皮带轮机构代替齿轮机构41。

第1内筒体5在其X轴方向前端侧具有料厚部51，在料厚部51和中空管4之间设置有轴承Br1。再有，料厚部51和中空管4之间在比轴承Br1位置更靠X轴方向后侧设置有冷却水用的密封件Sw1。并且，位于冷却水用的密封件Sw1的X轴方向后侧的中空管4和第1内筒体5之间的间隙限定出与冷媒循环通道Fp的回路Fp2连通的第1通道Fp3。再有，第1内筒体5的X轴方向后端间隔树脂材质的环Sw3外嵌在磁盒3的X轴方向前端。该树脂材质的环Sw3具有轴承的功能，并具有密封冷却水的功能。

第2内筒体6，在其X轴方向前端侧具有在与X轴方向正交的方向上延伸的凸缘壁部61，第1内筒体5和第2内筒体6的间隙限定出与冷媒循环通道Fp的去路Fp1连通的第2通道Fp4。并且，通过安装部件Ap安装在限定真空气氛Vp的分隔壁Ip(例如真空室的平面)上形成的安装孔Ih上。这种情况下，安装部件Ap由一端设置了凸缘部Ap1的筒状构件构成，在凸缘部Ap1的X轴方向前后的表面上，分别安装有O形环等真空用的密封件Sv1，两密封件Sv1与分隔壁Ip的外表面和第2内筒体6的X轴方向的端面抵接，保持气密。再有，在位于大气气氛中的凸缘壁部61和料厚部51之间的空间内设置有2个接头部8a、8b，其带有沿X轴方向延伸的轴部，各接头部8a、8b分别连接来自图外的冷却单元的图外的吸水管和排水管。由此，通过用冷却单元使规定温度的冷却水在冷媒循环通道Fp中循环，可在靶Tg的溅射时冷却靶材12。

外筒体7间隔沿第2内筒体6的X轴方向延伸的直线部62上外嵌的轴承Br2设置。这种情况下，在背管11的X轴方向一端设置小直径的安装阶梯部11a，外筒体7的X轴方向后端间隔O形环等真空用的密封件Sv2外嵌于安装阶梯部11a，在该状态下，通过夹具Cp连结外筒体7和背管11。此外，由于可使用公知装置作为上述连结所使用的夹具Cp，故此处省略更多说明。再有，在溅射所伴随的靶材12的侵食导致更换靶Tg这样的情况下，使靶Tg从X轴方向后侧的支撑块脱离，在拆下夹具Cp后，如果朝X轴方向后方拉出靶Tg的话，可拆下靶Tg。

在外筒体7的外周面和安装部件Ap的内周面之间，设置有真空用的密封件Sv3，其容许外筒体7旋转并使外筒体7的内侧空间保持气密，由油封件、双唇密封件或磁性流体密封件构成。在本实施方式中，上述各真空用的密封件Sv1～Sv3构成将作为内筒体的磁盒3和中空管4之间的内部空间与真空气氛Vp隔绝的隔绝装置。并且，通过外筒体7，覆盖直线部62和从直线部62向X轴方向后端侧突出延伸的第1内筒体5的部分并使去路Fp1和第2通道Fp4液密地完全连通。这种情况下，在比轴承Br2更靠磁盒3侧的直线部62和外筒部7之间也设置有冷却水用的密封件Sw2。

在外筒体7的外筒面，设置有位于分隔壁Ip的大气侧的齿71，配置有齿轮91与之啮合。齿轮91与电机92的驱动轴92a连结，通过以电机92使齿轮91旋转规定转数而旋转驱动外筒体7，从而可在靶Tg的溅射时使与之连结的靶Tg旋转规定转数。再有，外筒体7连接来自图外的溅射电源的输出电缆(省略图示)，可向靶材12施加例如带负电位的规定电力。

通过采用以上的实施方式，由于采用了将机械分离的第1电极81₁和第2电极93₁分别设置在磁盒3和驱动块DB的中空管4上，在磁盒3安装到驱动块DB上的状态下以非接触方式供电的结构，因此在对驱动块DB安装、拆卸磁盒3时，不需要进行在驱动块DB和磁盒3之间拉电线或者对连接器之间进行拆装的作业，可实现容易进行安装和拆卸的结构，只要将磁盒3嵌入驱动块DB的中空管4中，就可使第1电极81₁和第2电极93₁定位，因此可进一步简化磁盒3对驱动块DB的安装作业，是有利的。而且，由于采用了在中空管4周围设置向靶Tg内设置的冷媒循环通道Fp供给、排出冷却水的各通路Fp3、Fp4的结构，因此可使中空管4内为大气气氛，经该中空管4向交流电源电路94进行电气布线，因此可无需对中空管4内布设的线缆和连接器等实施防水处理，是有利的。

在上述实施方式中，以采用内筒体35内收纳的直线电机34a作为部件，对其供给交流电力的情况为例进行了说明，但不限于此，本发明也可广泛适用于内筒体35内收纳的部件(电动部件)。在上述实施方式中，以将销构件81₁和栓构件93₁作为机械分离的第1电极81和第2电极93，分别设置在磁盒3和驱动块DB的中空管4上的情况为例进行了说明，但也可将第1电极81和第2电极93分别构成为设置在中空管4的X轴方向后端的开口处，以如图3所示第1变形例那样，在壁面36上设置金属材质的第1板构件81₂，与第1板构件81₂相对地配置金属材质的第2板构件93₂。这种情况下，也只要将磁盒3嵌入驱动块DB的中空管4中，就可使第1电极81₂和第2电极93₂定位，但也可不将插座部37设置在壁面36上，而是另行设置对内筒体35进行定位的定位机构，进行第1板构件81₂和第2板构件93₂的定位。再有，在上述实施方式中，以使用机械分离的电感器的情况为例进行了说明，但并不限于此，可使用采用电容器的方式或电波接收方式等其他的非接触式供电，这样的情况下，在内筒体35的壁面36和中空管4的X轴方向后端部根据供电方式适当配置电容器等供电用部件。

再有，在内筒体35内设置了直线电机34a的情况下，其运转所伴随的热量会积存在内筒体35内，可能会引发直线电机34a的工作故障。因此，也可如图4所示第2变形例那样，在内筒体35的侧壁36的中央部和第1电极81₁上开设彼此连通的贯通孔36a、81a，将作为导入通道10a的气体导入管10a₁、10a₂分别插入这些贯通孔36a、81a中，并且在壁面36的贯通孔36a的径向外侧部分和第2电极93₁上分别开设彼此连通的构成排出通道10b的贯通孔36b、93b。并且，只要通过气体导入管10a₁、10a₂向内筒体35内导入压缩空气等，通过排出通道10b将所导入的压缩空气等排出内筒体35，就可排出内筒体35中积存的热量，可抑制直线电机34a的工作故障，是有利的。

此外，在上述实施方式中，以通过非接触方式对直线电机34a进行供电的情况为例进行了说明，但也可构成为使用光通信、红外线通信、可见光通信、其他各种无线通信等的公知的通信方法，在直线电机34a和检测装置34d的内筒体35内设置的部件和驱动块DB的控制单元Cu之间，通过非接触式通信接收发送工作指令等信号。例如，在对相同构件标注相同附图标记的图5(a)所示的第2实施方式中，在设置了第1电极81₁的壁面36上分别开设各贯通孔36b,36b，在各贯通孔36b,36b内分别插装作为第1通信部的光纤发光部11a₁和光纤受光部11b₁。光纤发光部11a₁电气布线到图外的检测装置34d，光纤受光部11b₁电气布线到图外的直线电机34a。再有，在与光纤发光部11a₁和光纤受光部11b₁相对的第2电极93₁的位置上分别开设各贯通孔93b,93b，在各贯通孔93b,93b内分别插装作为第2通信部的光纤受光部11b₂和光纤发光部11a₂。光纤受光部11b₂和光纤发光部11a₂分别布线到驱动块DB的控制单元Cu。并且，来自控制单元Cu的工作指令等的信号通过光纤发光部11a₂和光纤受光部11b₁发送到直线电机34a，并且控制单元Cu通过光纤发光部11a₁和光纤受光部11b₂接收检测装置34d检测到的直线电机34a的旋转角度的信息等信号。此外，由于使用非接触式通信的各光纤发光部11a₁、11a₂和各光纤受光部11b₁、11b₂本身和通信方法可使用例如RS-485通信等的公知装置和方法，故此处省略详细说明。

再有，图5(b)所示的第3实施方式在壁面36和第1电极81₁上开设各贯通孔36a、81a，在与该贯通孔81a相对的第2电极93₁的位置上开设贯通孔93c。在中空管4内设置作为第2通信部的红外线发光部12a，使得红外线在这些贯通孔93c、81a、36a内穿过，在内筒体35内设置对在各贯通孔93c、81a、36a内穿过的红外线进行接收的作为第1通信部的红外线接收部12b。红外线发光部12a布线到控制单元Cu，红外线接收部12b电气布线到直线电机34a。并且，来自控制单元Cu的工作指令等的信号通过红外线发光部12a和红外线接收部12b发送到直线电机34a。此外，在本实施方式中，以在中空管4内设置红外线发光部12a，在内筒体35内设置红外线受光部12b的情况为例进行了说明，但也可构成为在中空管4内设置红外线受光部，并在内筒体35内设置红外线发光部，控制单元Cu通过这些红外线发光部和红外线受光部接收检测装置34d检测出的直线电机34a的旋转角度的信息等信号。再有，由于非接触式通信中使用的红外线发光部12a和红外线受光部12b本身和通信方法例如可使用RS-485通信等的公知的装置和方法，故此处省略详细说明。

根据上述第2和第3实施方式，由于采用的是机械分离的作为第1通信部的光纤发光部11a₁、光纤受光部11b₁以及红外线受光部12b与作为第2通信部的光纤发光部11a₂、光纤受光部11b₂以及红外线受光部12a分别设置在磁盒3和驱动块DB的中空管4上，在对驱动块DB安装了磁盒3的状态下，以非接触的方式进行通信的结构，因此在对驱动块DB安装和拆卸磁盒3时，不需要进行在驱动块DB和磁盒3之间拉电线或者对连接器之间进行拆装的作业，可实现容易进行安装和拆卸的结构，只要将磁盒3嵌入驱动块DB的中空管4中，就可使光纤发光部11a₁、11a₂或红外线发光部12a和光纤受光部11b₁、11b₂或红外线受光部12b定位，因此可进一步简化磁盒3对驱动块DB的安装作业，是有利的。再有，与上述第1实施方式同样地，由于采用了在中空管4周围设置对靶Tg内设置的冷媒循环通道Fp供给、排出冷却水的各通路Fp3、Fp4的结构，因此可使中空管4内为大气气氛，经该中空管4向控制单元Cu进行电气布线，因此可无需对中空管4内布设的线缆和连接器等实施防水处理，是有利的。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但只要不脱离本发明的技术思想范围，可进行各种变形。在上述实施方式中，以中空管4其全长是直线状的情况为例进行了说明，但不限于此，只要是从磁盒3至少到外套有第1内筒体5的位置为止是直线状即可。

附图标记说明

DB.驱动块、Cu.控制单元、Rc.旋转式阴极单元、Tg.靶、Vp.真空气氛、4.中空管、10.通气通道、34a.直线电机(内筒体35内设置的部件)、35.内筒体、36.壁面、37.插座部、81₁.销构件，第1电极(受电部)、81₂.第1板构件，第1电极(受电部)、93₁.栓构件，第2电极(供电部)、93₂.第2板构件，第2电极(供电部)、93a.接收凹部、94.交流电源电路(电源电路)、11a₁.光纤发光部(第1通信部)、11a₂.光纤发光部(第2通信部)、11b₁.光纤受光部(第1通信部)、11b₂.光纤受光部(第2通信部)、12a.红外线发光部(第2通信部)、12b.红外线受光部(第1通信部)。

Claims (6)

1.一种旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：

设置在旋转式阴极单元的靶的轴线方向前端，并绕轴线可自由旋转地支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶；以及插入该靶内并限定出与真空气氛隔绝的内部空间的内筒体；

所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，

具备中空管，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部；以及与电源电路连接的供电部，

受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。

2.根据权利要求1所述的旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：

给所述部件供给交流电力，

所述内筒体具备插座部，其向轴线方向前方延伸，被所述中空管的轴线方向后端部分在保持气密的状态下插入，

所述受电部和所述供电部是以维持电极间距离固定的状态配置的电感器的第1电极和第2电极，

连接交流电源电路的第1电极由突出设置在封闭内筒体的轴线方向前端的壁面上的销构件构成，与所述部件连接的第2电极插入中空管的轴线方向后端开口内，由带有接收第1电极的接收凹部的栓构件构成，当中空管的后端部分插入内筒体的插座部中从而与壁面抵接时，第1电极和第2电极被定位。

3.根据权利要求1所述的旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：

给所述部件供给交流电力，

所述内筒体具备插座部，其向轴线方向前方延伸，被所述中空管的轴线方向后端部分在保持气密的状态下插入，

所述受电部和所述供电部是以维持电极间距离固定的状态配置的电感器的第1电极和第2电极，

连接交流电源电路的第1电极由设置在封闭内筒体的轴线方向前端的壁面上的第1板构件构成，与所述部件连接的第2电极设置在中空管的轴线方向后端开口处，由与第1电极相对配置的第2板构件构成，当中空管的后端部分插入内筒体的插座部中从而与壁面抵接时，第1电极和第2电极被定位。

4.根据权利要求2或3所述的旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：

形成可在所述内筒体和所述中空管之间通气的通气通道。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：

还具备与所述内筒体内设置的部件通信的通信装置，

通信装置具备机械分离的：与所述部件连接的第1通信部；以及与控制驱动块的运转的控制单元连接的第2通信部，第1通信部和第2通信部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。

6.一种旋转式阴极单元用的驱动块，其特征在于：

设置在旋转式阴极单元的靶的轴线方向前端，并绕轴线可自由旋转地支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶；以及插入该靶内并限定出与真空气氛隔绝的内部空间的内筒体；

具备与内筒体内设置的部件通信的通信装置，

具备中空管，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部，

通信装置具备机械分离的：与所述部件连接的第1通信部；以及与控制驱动块的运转的控制单元连接的第2通信部，第1通信部和第2通信部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。

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