CN212844229U - 多功能真空检漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种多功能真空检漏装置，包括外壳和第一盖板，所述外壳的内部中空，所述第一盖板扣设于其顶部开口处，所述外壳的侧壁上开设有连接管和抽气管，所述连接管内插接有传动件，所述抽气管上连接有检漏仪，所述第一盖板的中部设有向上凸起的第一顶壳，所述第一顶壳上开设有进气口，所述第一顶壳的外周设有若干第一定位孔，所述第一顶壳的外侧设有放气管。该种多功能真空检漏装置，不仅能够提供静态密封检漏，还可通过传动件，对待测部件进行动态检漏；可根据待测部件的需求更换不同的第一盖板，满足多种部件检测的需求。

Description

多功能真空检漏装置

技术领域

本实用新型属于真空检测技术领域，特别是涉及一种针对镀膜设备的多功能真空检漏装置。

背景技术

在高真空镀膜腔体上，有着多种用途的部件用于隔离真空和大气，如果真空部件漏气需要真空腔体放气维修再重新抽气，而镀膜线真空腔体由大气抽到高真空时间很长，影响生产，所以这些设备在保养后需要进行真空状态下的检漏，而现有的方式是不同的真空部件送相应的厂家进行维修检漏，这样付出较大的时间成本。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提供一种多功能真空检漏装置，可方便自己对各种真空部件维修后进行检漏，并提供静态密封和动态密封的双重检漏功能，既节省了维修费用又节省了时间成本。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种多功能真空检漏装置，包括外壳和第一盖板，所述外壳的内部中空，所述第一盖板扣设于其顶部开口处，所述外壳的侧壁上开设有连接管和抽气管，所述连接管内插接有传动件，所述抽气管上连接有检漏仪，所述第一盖板的中部设有向上凸起的第一顶壳，所述第一顶壳上开设有进气口，所述第一顶壳的外周设有若干第一定位孔，所述第一顶壳的外侧设有放气管。

进一步地，所述传动件为磁流体密封传动轴，所述传动件的中部设有旋转转轴，所述转轴与电机主轴传动相接。

进一步地，所述转轴的顶部固设有定位杆，所述定位杆与转轴的轴向相垂直，所述定位杆沿其轴向向转轴的两侧延伸。

进一步地，所述连接管和传动件之间通过法兰连接固定。

进一步地，所述外壳的顶部外沿围设有水平的定位板，所述定位板上开设有若干第一装配孔，所述第一盖板上开设有若干第二装配孔，所述第一装配孔和第二装配孔的位置与尺寸相匹配。

进一步地，所述定位板的顶面设有若干圈密封环，所述第一盖板的底面设有若干与密封环相匹配的密封槽。

进一步地，相邻所述密封环组成的凹槽槽底铺设有密封胶垫，所述密封槽的槽底铺设有密封胶垫。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：

(1)该多功能真空检漏装置，不仅能够提供静态密封检漏，还可通过传动件，对待测部件进行动态检漏。

(2)该多功能真空检漏装置，可根据待测部件的需求更换不同的第一盖板，满足多种部件检测的需求。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型所述的一种多功能真空检漏装置整体结构示意图；

图2为本实用新型所述的一种多功能真空检漏装置整体结构示意图；

图3为本实用新型所述的一种多功能真空检漏装置装配结构示意图；

图4为图3中A部分的放大图；

图5为图3中B部分的放大图；

图6为本实用新型所述的一种多功能真空检漏装置第一盖板结构示意图；

图7为实施例2中的一种多功能真空检漏装置整体结构示意图；

图8为实施例2中的一种多功能真空检漏装置装配结构示意图。

附图标记说明：

1-外壳；11-连接管；12-定位板；121-密封环；122-第一装配孔；13-抽气管；2-第一盖板；21-第一顶壳；211-进气口；22-放气管；23-第一定位孔；24-第二装配孔；25-密封槽；3-传动件；31-转轴；311-定位杆；4-阴极主动端头；41-转筒；411-定位槽；5-第二盖板；51-第二顶壳；53-第二定位孔；6-磁流体传动轴。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型：

如图1～图6所示，一种多功能真空检漏装置，包括外壳1和第一盖板2，外壳1的内部中空，第一盖板2扣设于其顶部开口处，外壳1的顶部外沿围设有水平的定位板12，该定位板12上开设有若干第一装配孔122，第一盖板2上开设有若干第二装配孔24，第一装配孔122和第二装配孔24的位置与尺寸相匹配，外壳1和第一盖板2间通过第一装配孔122和第二装配孔24内所插接的螺杆以及螺杆两端旋紧的螺母固定连接；

为了保证外壳1和第一盖板2间的密封性，定位板12的顶面设有若干圈密封环121，第一盖板2的底面设有若干与密封环121相匹配的密封槽25，且相邻所述密封环121组成的凹槽槽底铺设有密封胶垫，密封槽25的槽底铺设有密封胶垫，外壳1和第一盖板2装配固定的状态下，密封环121的顶面以及凹槽间的环形凸起面均抵接于密封胶垫，增强密封性；

为了能够进行动态检漏，外壳1的侧壁上开设有连接管11，连接管11内插接有传动件3，连接管11和传动件3之间通过法兰连接固定，该传动件3为磁流体密封传动轴，传动件3的中部设有旋转转轴31，转轴31与电机主轴传动相接，用于为待测部件，如图3中所示的真空镀膜设备中的阴极主动端头4；

为了定位转轴31与阴极主动端头4间的周向位置，转轴31的顶部固设有定位杆311，该定位杆311与转轴31的轴向相垂直，且定位杆311沿其轴向向转轴31的两侧延伸相同的长度，待测件阴极主动端头4的侧壁上设有转筒41，转轴31插接于转筒41内，与转筒41间为间隙配合，转筒41的端面上设有与定位杆311相匹配的定位槽411，使转筒41能够随转轴31旋转；

第一盖板2的中部设有向上凸起的第一顶壳21，第一顶壳21上开设有进气口211，用于向第一顶壳21内输入检测用的氦气，同时，第一顶壳21的外周设有若干第一定位孔23，用于固定待测件的位置，而第一顶壳21的形状与待测件的顶部结构相匹配，第一定位孔23与待测件顶部所设安装孔相匹配，如图1～图6所示为待测件为阴极主动端头4时的第一顶壳21形状和第一定位孔23的位置，如图7～图8中所示为待测件为磁流体密封的磁流体传动轴6时的第二顶壳51形状和第二定位孔53的位置；

装配完成后，待测件的顶部边缘处抵接于第一顶壳21的外周，使待测件的顶部与第一顶壳21间形成密封的腔体，使待测件的组件顶部相接面与该密封腔体相接，为了增强密封性，二者间可增设形状适宜的胶垫，用于将二者间的密封腔体与外壳1腔体间进行隔离；

为了将外壳1抽真空，外壳1的侧壁上开设有抽气管13，抽气管13上连接有检漏仪，第一顶壳21的外侧设有放气管22，该放气管22位于待测件与外壳1侧壁之间的位置，抽真空时，将放气管22关闭，抽气管13外接真空泵，启动真空泵直到外壳1内满足检漏所需空气浓度；

使用过程：

进行动态检漏时，如待测件为阴极主动端头4，检测过程中，将阴极主动端头4的顶部与第一盖板2间通过螺栓和螺母固定好位置后，将第一盖板2与外壳1间装配固定，使阴极主动端头4的转筒41对准连接管11位置，然后插入旋转件，将其转轴31上所设定位杆311插入转筒41定位槽411内，旋转件与连接管11间通过法兰固定位置；

关闭放气管22，抽气管13上连接真空泵，将转轴31与电机主轴连接固定，使转轴31与阴极主动端头4的转筒41旋转起来，启动真空泵直到满足检漏条件，对第一顶壳21上的进气口211吹入氦气，通过抽气管13上所设检漏仪检测阴极主动端头4的密封情况，如若密封性不足，氦气将从第一顶壳21进入阴极主动端头4顶部的组件相接面内，并随着组装缝隙流通至外壳1腔体内，被抽气管13处的检漏仪检测到。

图7～图8中为磁流体传动轴6的静态密封检测，其过程与上述过程大体相同，只省略传动件3与待测件间的匹配安装部分，在一些实施例中，通过更换盖板，该检漏装置也可被用于其他不同类型的真空镀膜腔体部件检测。

注：文中未经明确说明的固定方式，根据需要可选用螺纹连接、粘接或焊接等常见的固定连接方式。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种多功能真空检漏装置，其特征在于，包括外壳(1)和第一盖板(2)，所述外壳(1)的内部中空，所述第一盖板(2)扣设于其顶部开口处，所述外壳(1)的侧壁上开设有连接管(11)和抽气管(13)，所述连接管(11)内插接有传动件(3)，所述抽气管(13)上连接有检漏仪，所述第一盖板(2)的中部设有向上凸起的第一顶壳(21)，所述第一顶壳(21)上开设有进气口(211)，所述第一顶壳(21)的外周设有若干第一定位孔(23)，所述第一顶壳(21)的外侧设有放气管(22)。

2.根据权利要求1所述的一种多功能真空检漏装置，其特征在于：所述传动件(3)为磁流体密封传动轴，所述传动件(3)的中部设有旋转转轴(31)，所述转轴(31)与电机主轴传动相接。

3.根据权利要求2所述的一种多功能真空检漏装置，其特征在于：所述转轴(31)的顶部固设有定位杆(311)，所述定位杆(311)与转轴(31)的轴向相垂直，所述定位杆(311)沿其轴向向转轴(31)的两侧延伸。

4.根据权利要求1所述的一种多功能真空检漏装置，其特征在于：所述连接管(11)和传动件(3)之间通过法兰连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种多功能真空检漏装置，其特征在于：所述外壳(1)的顶部外沿围设有水平的定位板(12)，所述定位板(12)上开设有若干第一装配孔(122)，所述第一盖板(2)上开设有若干第二装配孔(24)，所述第一装配孔(122)和第二装配孔(24)的位置与尺寸相匹配。

6.根据权利要求5所述的一种多功能真空检漏装置，其特征在于：所述定位板(12)的顶面设有若干圈密封环(121)，所述第一盖板(2)的底面设有若干与密封环(121)相匹配的密封槽(25)。

7.根据权利要求6所述的一种多功能真空检漏装置，其特征在于：相邻所述密封环(121)组成的凹槽槽底铺设有密封胶垫，所述密封槽(25)的槽底铺设有密封胶垫。

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