TW202213659A - 半導體裝置及其製造方法 - Google Patents

半導體裝置及其製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TW202213659A
TW202213659A TW110144416A TW110144416A TW202213659A TW 202213659 A TW202213659 A TW 202213659A TW 110144416 A TW110144416 A TW 110144416A TW 110144416 A TW110144416 A TW 110144416A TW 202213659 A TW202213659 A TW 202213659A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
semiconductor die
substrate
semiconductor
lateral
encapsulation material
Prior art date
Application number
TW110144416A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI763613B (zh
Inventor
李文古
杜旺朱
易吉寒
Original Assignee
美商艾馬克科技公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 美商艾馬克科技公司 filed Critical 美商艾馬克科技公司
Publication of TW202213659A publication Critical patent/TW202213659A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI763613B publication Critical patent/TWI763613B/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0657—Stacked arrangements of devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
    • H01L23/3128—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation the substrate having spherical bumps for external connection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5384—Conductive vias through the substrate with or without pins, e.g. buried coaxial conductors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5385—Assembly of a plurality of insulating substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5386—Geometry or layout of the interconnection structure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5389—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates the chips being integrally enclosed by the interconnect and support structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/50—Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, each device being of a type provided for in group H01L27/00 or H01L29/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/12105—Bump connectors formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bumps on chip-scale packages
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161—Disposition
    • H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321—Disposition
    • H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732—Location after the connecting process
    • H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253—Bump and layer connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732—Location after the connecting process
    • H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73267—Layer and HDI connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06524—Electrical connections formed on device or on substrate, e.g. a deposited or grown layer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06548—Conductive via connections through the substrate, container, or encapsulation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06555—Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking
    • H01L2225/06558—Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking the devices having passive surfaces facing each other, i.e. in a back-to-back arrangement
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06582—Housing for the assembly, e.g. chip scale package [CSP]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

本發明公開的各個態樣提供半導體裝置和製造半導體裝置的方法。作為非限制性範例，本發明公開的各個態樣提供了包括堆疊晶粒結構的半導體裝置及其製造方法。

Description

半導體裝置及其製造方法
本發明涉及半導體裝置及其製造方法。
目前半導體裝置和用於製造半導體裝置的方法是不足的，例如導致製造過程太耗時及/或太昂貴，導致具有不可靠連接及/或具有次優尺寸的互連結構等的半導體封裝。透過將這些方法與在本發明的其餘部分中參考附圖所闡述的揭露內容進行比較，常規和傳統方法的進一步限制和缺點將對本領域技術人士而言變得顯而易見。
本發明的各個態樣提供了半導體裝置和製造半導體裝置的方法。作為非限制性範例，本發明的各個態樣提供了包括堆疊晶粒結構的半導體裝置及其製造方法。
以下討論透過提供本發明的範例來呈現本發明的各個態樣。這些範例是非限制性的，因此本發明的各個態樣的範圍未必受到所提供範例的任何具體特徵所限制。在下面的討論中，用語“例如”、“比如”和“示例性”是非限制性的，並且通常是與“作為示例而非限制”、“例如而非限制”和類似用語的同義詞。
如本文所使用的，“及/或”表示透過“及/或”連接的列表中的任何一個或多個項目。作為範例，“x及/或y”表示三元素集合{（x），（y），（x，y）}中的任何元素。換句話說，“x及/或y”表示“x和y中的一個或兩個”。作為另一個例子，“x、y及/或z”表示七元素集合{（x），（y），（z），（x，y），（x，z），（y，z），（x，y，z）}。換句話說，“x、y及/或z”表示“x、y和z中的一個或多個”。
本文使用的用語僅用於描述特定範例的目的，並不意圖限制本發明。如本文所使用的，單數形式也意圖包括複數形式，除非上下文另有明確指出。進一步理解，在本說明書中使用的用語“包括”、“包含”、“包括有”、“包含有”、“有”、“具有”、“含有”以及類似用語指定存在所描述的特徵、整數、步驟、操作、元件及/或組件，但不排除存在或添加一個或多個其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組。
應當理解的是，儘管本文可以使用用語第一、第二等來描述各種元件，但是這些元件不應受這些用語的限制。這些用語僅用於區分一個元件和另一個元件。因此，例如，在不脫離本發明的教導的情況下，可以將下面討論的第一元件、第一組件或第一部分稱為第二元件、第二組件或第二部分。類似地，可以使用各種空間用語諸如“上”、“上方”、“下”、“下方”、“側”、“橫向”、“水平”、“垂直”及類似用語來以相對的方式區分一個元件和另一個元件。然而，應當理解的是，組件可以不同的方式定向，例如，半導體裝置可以側向轉動，使得其“頂”表面面向水平並且其“側”表面面向垂直，而不脫離本發明的教導。
還將理解的是，除非另有明確說明，用語耦合、連接、附接和類似用語皆包括直接和間接（例如，具有中間元件）耦合、連接、附接等。例如，如果元件A耦合到元件B，元件A可以透過中間信號分佈結構間接地耦合到元件B，元件A可以直接耦合到元件B（例如，直接黏著到、直接焊接到、由直接金屬至金屬接合來附接等）等。
在附圖中，為了清楚起見，可能誇大了結構、層、區域等的尺寸（例如，絕對及/或相對尺寸）。雖然這種維度通常是示例性實施方案的表示，但它們不是限制性的。例如，如果結構A被圖示為大於區域B，則這通常是示例性實施方案的表示，但是除非另有說明，否則結構A通常不需要大於結構B。另外，在附圖中，相似的元件符號可以在整個討論中指代相似的元件。
隨著目前趨向於更小和更薄的電子產品的趨勢，通常期望在這種電子產品中使用的半導體裝置具有增加的功能和減小的尺寸。這些目標導致了各種半導體封裝技術的發展。這種封裝技術的例子包括半導體封裝堆疊在另一個封裝上的PoP（Package-on-Package）配置、半導體封裝安裝在另一個封裝中的PiP（Package-in-Package）配置等。然而，這種封裝技術通常與增加的封裝（或裝置）厚度和相對複雜的製造製程相關聯，例如涉及增加的循環時間、增加的成本、增加缺陷的機會等。
本發明的各個態樣提供了半導體裝置（在本文也可以稱為半導體封裝）及其製造方法，其中所述半導體裝置具有減小的總體厚度並且可促進半導體晶粒的堆疊。
本發明的各個態樣提供一種半導體裝置，其包括：第一基板；第一金屬柱，其在所述第一基板的第一側上；第一半導體晶粒，其耦合到所述第一基板的所述第一側；第二金屬柱，其在所述第一金屬柱上；第二半導體晶粒，其耦合到所述第一半導體晶粒；第二基板，其在所述第二金屬柱上和所述第二半導體晶粒上；以及囊封材料，其在所述第一基板和所述第二基板之間且至少囊封所述第一金屬柱、所述第一半導體晶粒、所述第二金屬柱和所述第二半導體晶粒中的每一個的一側。
在各種示例性實施方案中，所述囊封材料可以例如包括：第一囊封材料，其中自所述第一基板起算，所述第一囊封材料具有與所述第一金屬柱相同的高度；以及第二囊封材料，其中自所述第二基板起算，所述第二囊封材料具有與所述第二金屬柱相同的高度。所述第一囊封材料和所述第二囊封材料可以由相同的材料形成。自所述第一基板起算，所述第一囊封材料可以例如具有比所述第一半導體晶粒的高度還高的高度，並且所述第一囊封材料可以囊封所述第一半導體晶粒的所述第一側。
在各種示例性實施方案中，所述半導體裝置可以例如包括將所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒彼此耦合的黏著構件。在一示例性實施方案中，所述囊封材料可以包括：第一囊封材料，其中自所述第一基板起算，所述第一囊封材料具有與所述第一金屬柱相同的高度；以及第二囊封材料，其中自所述第二基板起算，所述第二囊封材料具有與所述第二金屬柱相同的高度且圍繞所述黏著構件。自所述第二基板起算，所述黏著構件可以例如具有與所述第二囊封材料相同的高度。
在各種示例性實施方案中，所述第一半導體晶粒的作用側至少透過所述第一基板、所述第一金屬柱、所述第二金屬柱和所述第二基板而電性耦合到所述第二半導體晶粒的作用側。
在各種示例性實施方案中，所述第一金屬柱和所述第二金屬柱可以在與所述第一金屬柱和所述第二金屬柱堆疊的堆疊方向垂直的方向上彼此偏移；以及所述半導體裝置包括柱重新分佈結構，其電性連接所述第一金屬柱和所述第二金屬柱。所述囊封材料可以例如包括：第一囊封材料，其中自所述第一基板起算，所述第一囊封材料具有與所述第一金屬柱相同的高度；以及第二囊封材料，其在所述第一囊封材料和所述第二基板之間，其中所述柱重新分佈結構在所述第一囊封材料之上，並且所述柱重新分佈結構的至少一部分嵌入所述第二囊封材料中。
在各種示例性實施方案中，所述第二半導體晶粒可以在與所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒堆疊的堆疊方向垂直的方向上從所述第一半導體晶粒位移。再者，在各種示例性實施方案中，在所述第一金屬柱和所述第二金屬柱之間可以沒有中間層。
本公開的各個態樣還提供一種半導體裝置，其包括：第一基板；第一金屬柱，其被鍍在所述第一基板的第一側上；第一半導體晶粒，包括：第一側，其背離所述基板；以及第二側，其面向所述基板且包括用多個導電凸塊連接到所述基板的所述第一側的多個襯墊；第二金屬柱，其被鍍在所述第一金屬柱上；第二半導體晶粒，包括：第一側，其背離所述第一半導體晶粒且包括多個襯墊；以及第二側，其耦合到所述第一半導體晶粒的所述第一側；第二基板，包括：第一側，其背離所述第二半導體晶粒；以及第二側，其面向所述第一半導體晶粒且包括連接到所述第二半導體晶粒的所述多個晶粒襯墊的導電層；以及囊封材料，其在所述第一基板和所述第二基板之間並且至少囊封所述第一金屬柱、所述第一半導體晶粒、所述第二金屬柱和所述第二半導體晶粒的橫向側。
在各種示例性實施方案中，所述囊封材料可以包括：第一囊封材料，其中自所述第一基板起算，所述第一囊封材料具有與所述第一金屬柱相同的高度；以及第二囊封材料，其完全在所述第一囊封材料和所述第二基板之間延伸。
在各種示例性實施方案中，所述半導體裝置可以包括將所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒彼此耦合的黏著構件。所述囊封材料可以例如包括：第一囊封材料；以及第二囊封材料，其中自所述第二基板起算，所述第二囊封材料具有與所述黏著構件相同的高度。
在各種示例性實施方案中，所述第二金屬柱可以直接鍍在所述第一金屬柱上。在各種示例性實施方案中，所述半導體裝置可以包括柱重新分佈結構，其中所述第一金屬柱和所述第二金屬柱透過所述柱重新分佈結構而電性連接。
本公開的各個態樣提供一種製造半導體裝置的方法，其中所述製造方法包括：提供第一基板；在所述第一基板的第一側上形成第一金屬柱；將第一半導體晶粒耦合到所述第一基板的所述第一側；在所述第一金屬柱上形成第二金屬柱；將第二半導體晶粒耦合到所述第一半導體晶粒；在所述第二金屬柱上和所述第二半導體晶粒上形成第二基板；以及在所述第一基板和所述第二基板之間形成囊封材料，所述囊封材料至少囊封所述第一金屬柱、所述第一半導體晶粒、所述第二金屬柱和所述第二半導體晶粒中的每一個的一側。
現在將參考附圖詳細描述本發明的各個態樣，使得它們可以由本領域技術人士輕易地實施。
圖1顯示了根據本發明的各個態樣來製造半導體裝置的示例性方法100的流程圖。圖2A-2J顯示了根據圖1的示例性方法100的製造期間的示例性半導體裝置的橫截面圖。下面的討論將一起參考圖1和圖2A-2J。
參考圖1，製造半導體裝置的示例性方法100可以包括：（S1）形成第一基板，（S2）形成第一金屬柱，（S3）附接第一半導體晶粒，（S4）形成第一囊封材料，（S5）執行第一薄化，（S6）形成第二金屬柱，（S7）附接第二半導體晶粒，（S8）形成第二囊封材料，（S9）執行第二薄化，（S10）形成第二基板，（S11）附接互連結構，以及（S12）單一化分割。現在將參考圖2A-2J來描述圖1所示的示例性方法100的各個方塊（或步驟、階段、過程等）。
參考圖1和圖2A的示例性結構200a，示例性方法100可以在方塊S1處包括形成（或提供、接收等）載體105且在載體105上形成第一基板110。載體105可以包括各種特性中的任何一種，其非限制性範例在本文中提供。載體105可以例如包括用於單個半導體裝置（或封裝）的載體，或者可以例如包括其上可以形成任何數量的半導體裝置（或封裝）的晶圓或面板。載體105可以例如包括半導體晶圓或面板。載體105還可以例如包括玻璃晶圓或面板、金屬晶圓或面板、陶瓷晶圓或面板、塑料晶圓或面板等。
在示例性方案中，可以在其上已經形成有第一基板110的情況下接收載體105。在這種方案下，在方塊S1處不需要形成第一基板110。在另一示例性方案下，載體105可以在其上未形成有第一基板110（或其一部分）的情況下被接收，並且方塊S1可以包括在其上形成第一基板110（或其餘部分）。注意，第一基板110在本文中也可以被稱為中介層。
例如，方塊S1可以包括形成具有任何數量的介電層和導電層（例如，信號分佈層、襯墊層、導電通孔、凸塊下金屬化等）的第一基板110。在示例性實施方案中，包括信號分佈層112、介電層111和襯墊（或通孔）層113的第一基板110可以形成在載體105上。
信號分佈層112（其在本文也可以稱為重新分佈層、分佈層、導電層、跡線層等）可以包括各種材料（例如銅、鋁、鎳、鐵、銀、金、鈦、鉻、鎢、鈀、其組合、其合金、其等效物等）中的任何一種，但是本發明的範圍不限於此。信號分佈層112（或第一基板110）可以例如在第一半導體晶粒130的多個端子和相應的第一金屬柱120之間提供電信號路徑。
方塊S1可以包括以各種方式中的任何一種形成信號分佈層112，其非限制性範例在本文中呈現。例如，方塊S1可以包括利用各種製程（例如，電解電鍍、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）、濺射或物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積、印刷、網版印刷、微影等）中的任何一種或多種來形成信號分佈層112，但是本發明的範圍不限於此。信號分佈層112可以例如直接形成在載體105上、在中間介電層上等。
在各種示例性方案下，例如其中信號分佈層112被電鍍，方塊S1可以包括在電鍍信號分佈層112之前形成一個或多個晶種層。例如，雖然圖2A中未顯示，方塊S1可以包括在載體105的頂表面上形成一個或多個晶種層。這種晶種層可以包括各種材料中的任何一種。例如，晶種層可以包括銅。再例如，晶種層可以包括一層或多層各種金屬（例如，銀、金、鋁、鎢、鈦、鎳、鉬等）中的任何一種。晶種層可以利用各種技術（例如，濺射或其它物理氣相沉積（PVD）技術、化學氣相沉積（CVD）、無電電鍍、電解電鍍等）中的任何一種形成。晶種層可以例如在隨後的電鍍製程中使用。
注意，在各種示例性實施方案中，載體105可以在其上提供（或形成）具有氧化物及/或氮化物層（或其它介電材料），在這種情況下，方塊105可以包括在形成基板110之前移除該層、在該層上形成基板110、在形成基板110之前在載體105上形成另一層等。
介電層111可以包括一層或多層各種介電材料中的任何一種，例如無機介電材料（例如，Si 3N 4、SiO 2、SiON、SiN、氧化物、氮化物、其組合、其等效物等）及/或有機介電材料（例如，聚合物、聚醯亞胺（PI）、苯環丁烯（BCB）、聚苯並噁唑（PBO）、雙馬來醯亞胺-三氮雜環（bismaleimide triazine，BT）、模塑材料、酚樹脂、環氧樹脂、聚矽氧、丙烯酸酯聚合物、其組合、其等效物等），但是本發明的範圍不限於此。
方塊S1可以包括利用各種製程（例如，旋塗、噴塗、印刷、燒結、熱氧化、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）、低壓化學氣相沉積（LPCVD）、電漿增強化學氣相沉積（PECVD）、電漿氣相沉積（PVD）、片層壓、蒸發等）中的任何一種或多種來形成介電層111，但本發明的範圍不限於此。
例如，方塊S1也可以包括圖案化介電層111，例如於其中形成孔，其暴露本文討論的各種導電層的各個部分（例如，信號分佈層112、其它信號分佈層、導電層、襯墊層等）。例如，方塊S1可以包括燒蝕孔（例如，利用雷射燒蝕、利用機械燒蝕、利用蝕刻等）。也例如，方塊S1可以包括最初形成具有所需孔的介電層111（例如，沉積等）。
襯墊（或通孔）層113，其在本文也可以稱為襯墊、通孔、跡線、連接盤（land）、接合襯墊層、導電層、跡線層等，可以包括各種材料（例如，銅、鋁、鎳、鐵、銀、金、鈦、鉻、鎢、鈀、其組合、其合金、其等效物等）中的任何一種，但是本發明的範圍是不限於此。
方塊S1可以包括以各種方式中的任何一種形成襯墊（或通孔）層113，其非限制性範例在本文中呈現。例如，方塊S1可以包括使用各種製程（例如，電解電鍍、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）、濺射或物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積、印刷、網版印刷、微影等）中的任何一種或多種製程來形成襯墊層113，但是本發明的範圍不限於此。例如，方塊S1可以包括在信號分佈層112的由介電層111中的孔暴露的部分上、在介電層111的部分上等形成襯墊層113。
與本文所討論的信號分佈層112或任何導電層一樣，方塊S1可以包括形成一個或多個晶種層，作為形成襯墊（或通孔）層113的處理的一部分（例如，在電鍍襯墊層113之前等）。例如，雖然圖2A中未顯示，但是方塊S1可以包括在信號分佈層112的頂表面上、在介電層111的頂表面及/或孔表面上等形成一個或多個晶種層。
注意，儘管附圖中顯示了一組說明性的導電層和介電層，但是方塊S1可以包括形成第一基板110以具有任何數量的這種導電及/或介電層。
如本文所討論的，載體105可以包括矽（或其它半導體）晶圓。在這種情況下，信號分佈層112、介電層111和襯墊（或通孔）層113可以形成在半導體晶圓製造製程中（例如，在晶圓廠設施等）。例如也可以在封裝製程（例如，半導體裝置封裝設備等）中形成任何或所有這些層，例如可以將半導體晶圓作為輸入接收至封裝製程。
在示例性方法100的各種階段中的任一階段中，可以去除載體105的至少一部分（並且在一些示例性實施方案中為所有載體）。這種去除可以各種方式中的任一種進行（例如，透過機械研磨載體105的背面或其一部分、透過化學蝕刻載體105的背面或其一部分、透過進行化學/機械平坦化（CMP）等）。在其他示例性實施方案中，載體105或其一部分可以藉由剝離、拉伸、剪切等來去除。因此，本發明的範圍不應受除去載體105的全部或一部分的任何特定方式的限制。注意的是，儘管載體105在附圖中通常被顯示為薄層，但載體105可以相對較厚（例如，在封裝製程的各個階段期間提供結構支撐）直到其變薄及/或移除。
通常，方塊S1可以包括在形成（或提供或接收）載體105及/或其上形成第一基板110。因此，本發明的範圍不應受到任何特定載體或基板的特性或藉由形成這種載體或基板的任何特定方式的特性的限制。
參考圖1和圖2B的示例性結構200b，示例性方法100可以在方塊S2處包括形成一第一金屬（或導電）柱或多個第一金屬柱。例如，第一金屬柱120可以形成在第一基板110上（例如，在其襯墊層113上、其信號分佈層112上等）。
在示例性實施方案中，方塊S2可以包括形成第一金屬柱120以從第一基板110的襯墊層113（或重新分佈層112）垂直地延伸。這種形成可以以各種方法執行，其非限制性範例於本文中提供。
在示例性實施方案中，方塊S2可以例如包括在（例如，在方塊S1所形成或接收）襯墊層113的相應互連襯墊上形成第一金屬柱120或在另一導電層部分上形成第一金屬柱120。如本文所討論的，相應互連襯墊可以例如包括各種導電材料（例如，銅、鋁、銀、金、鎳、其合金等）中的任何一種。相應互連襯墊可以例如透過介電層111或另一介質層中的孔露出。介電層111可以例如覆蓋相應互連襯墊的側表面及/或相應互連襯墊的頂表面的外周邊。
在示例性實施方案中，可以形成凸塊下金屬化（UBM）結構110a，然後第一金屬柱120可以形成於其上。UBM結構110a在本文中也可以稱為柱晶種層110a。
在示例性實施方案中，方塊S2（或方塊S1）可以包括在介電層111上及/或在藉由介電層111中的孔露出的襯墊層113的相應互連襯墊之部分上形成UBM結構110a的UBM晶種層。UBM晶種層可以例如包括各種導電材料（例如，銅、金、銀、金屬等）中的任何一種。UBM晶種層可以各種方式（例如，濺射、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積等）中的任何一種形成。
方塊S2可以例如包括在UBM晶種層上形成遮罩（或模板）以定義要形成UBM結構110a的一個或多個UBM層及/或第一金屬柱120（或其他互連結構）的區域。例如，遮罩可以包括光阻（PR）材料或其它材料，其可以被圖案化以覆蓋除了要形成UBM層及/或第一金屬柱120的區域之外的區域。然後，方塊S2可以例如包括在透過遮罩暴露的UBM晶種層上形成一個或多個UBM層。UBM層可以包括各種材料（例如，鈦、鉻、鋁、鈦/鎢、鈦/鎳、銅、其合金等）中的任何一種。方塊S2可以包括以各種方式（例如，電鍍、濺射、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積等）中的任何一種在UBM晶種層上形成UBM層。
然後，方塊S2可以例如包括在UBM結構110a（或柱晶種層）上形成第一金屬柱120（或桿或其他互連結構）。第一金屬柱120可以包括各種特性中的任何一種。例如，第一金屬柱120可以是圓柱形的、橢圓柱形的、矩形桿形狀等。第一金屬柱120可以例如包括平的上端、凹的上端或凸的上端。第一金屬柱120可以例如包括本文中關於導電層討論的任何材料。在示例性實施例中，第一金屬柱120可以包括銅（例如，純銅、具有一些雜質的銅、銅合金等）。在示例性實施例中，方塊S2（或示例性方法100的另一方塊）還可以包括在第一金屬柱120上形成焊料帽（或圓頂）。方塊S2可以包括以任何方式（例如，電鍍、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）、濺射或物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積、印刷、網版印刷、微影等）中的任何一種來形成第一金屬柱120，但是本發明的範圍不限於此。
在形成第一金屬柱120之後，如果使用遮罩，方塊S2可以包括剝離或去除遮罩（例如，化學剝離、灰化等）。另外，方塊S2可以包括去除UBM晶種層的至少一部分（例如，至少該部分不被第一金屬柱120覆蓋（例如，透過化學蝕刻等））。注意的是，例如，在UBM晶種層的蝕刻期間，UBM層下方的至少UBM晶種層的橫向邊緣部分可以被蝕刻。例如，這種蝕刻可能導致第一金屬柱120和UBM結構110a的UBM層下方的底切。
參考圖1和圖2C的示例性結構200c，示例性方法100可以在方塊S3處包括將第一半導體晶粒130附接到第一基板110的頂側（或部分）。第一半導體晶粒130可以例如以第一半導體晶粒130的作用側131（例如，通常形成有半導體）面向第一基板110且與作用側131相對的非作用側背離第一基板的方式定向。注意的是，作用側131也可以被稱為導電側（例如，包括電連接到晶粒的半導體電路的晶粒接合襯墊），而非作用側也可以被稱為非導電側（或非圖案化側）。例如，如圖2C所示，第一半導體晶粒130的下側可以用導電凸塊132（例如，C4凸塊、微凸塊、金屬柱、導電球等）附接到襯墊層113的互連襯墊。方塊S3可以包括將第一半導體晶粒130以各種方式（例如，質量回焊、熱壓接合、直接金屬至金屬金屬間接合、雷射焊接、導電環氧樹脂接合等）附接到第一基板110的頂側。
第一半導體晶粒130可以例如在基板110上位於中央，但也可以橫向偏移。例如，可以將多個第一半導體晶粒130附接到基板110以包含在相同的封裝半導體裝置中。
注意的是，例如當附接到基板110時，第一半導體晶粒130可以比第一金屬柱120還高、比第一金屬柱120還矮或與第一金屬柱120大致相同的高度。如本文所討論的，半導體晶粒130及/或第一金屬柱120的頂部可以在方法100的各種階段中的任一階段進行平坦化。
第一半導體晶粒130（與本文所討論的第二半導體晶粒160一樣）可以包括各種電路特性中的任何一種。例如，第一半導體晶粒130可以包括電性電路，諸如中央處理單元（CPU）、數位信號處理器（DSP）、網絡處理器、功率管理單元、音頻處理器、RF電路、無線基帶晶片上系統（SoC）處理器、感測器、特定應用積體電路（ASIC）、揮發性及/或非揮發性記憶體等。
參考圖1和圖2D的示例性結構200d，示例性方法100可以在方塊S4處包括形成第一囊封材料140。方塊S4可以包括以各種方式中的任何一種形成第一囊封材料140（或囊封劑），其非限制性實例在本文中提供。
第一囊封材料140可以包括各種囊封或模塑材料（例如，樹脂、聚合物、聚合物複合材料、具有填料的聚合物、環氧樹脂、具有填料的環氧樹脂、具有填料的環氧丙烯酸酯、聚矽氧樹脂、其組合、等效物等）中的任何一種。第一囊封材料140還可以例如包括本文討論的任何介電材料（例如，關於介電層111等）。
方塊S4可以包括以各種方式（例如，壓縮模塑、轉移模塑、液體囊封劑模塑、真空層壓、膏印刷（paste printing）、薄膜輔助模塑等）中的任何一種形式形成第一囊封材料140。另外例如，方塊S4可以包括利用可用於形成介電層的各種技術中的任何一種來形成第一囊封材料140，其範例在此提供（例如，關於形成介電層111等）。
如圖2D所示，第一囊封材料140可以覆蓋基板110的頂側（例如，在基板110的頂側暴露的任何介電質及/或導電層）。第一囊封材料140還可以覆蓋第一半導體晶粒130（或多個第一半導體晶粒）的橫向側及/或第一金屬柱120（或多個第一金屬柱）的整體或部分。第一囊封材料140可以形成為也覆蓋第一半導體晶粒130的頂側及/或第一金屬柱120的頂側。儘管圖2D和其它本文的附圖顯示了僅覆蓋第一基板110的頂側的第一囊封材料140，應當理解的是，第一囊封材料140也可形成為覆蓋第一基板110的橫向側（例如，在將第一基板110與晶圓或面板或其它組基板分開之後）。
注意的是，第一囊封材料140也可以在第一半導體晶粒130下方填充，及/或與第一囊封材料140分離的底部填充物可以在第一半導體晶粒130的附著期間及/或之後被施加。例如，這種底部填充物可以包括各種類型的材料中的任何一種，例如環氧樹脂、熱塑性材料、可熱固化材料、聚醯亞胺、聚胺甲酸酯、聚合物材料、填充的環氧樹脂、填充的熱塑性材料、填充的可熱固化材料、填充的聚醯亞胺、填充的聚胺甲酸酯、填充的聚合物材料、助熔的底部填充物及其等效物，但不限於此。可以使用毛細管底部填充製程、利用預先施加的底部填充物等進行這種底部填充。
參考圖1和圖2E的示例性結構200e，示例性方法100可以在方塊S5處包括對於方塊S4處囊封的組裝件進行薄化（例如，執行第一薄化操作等）。例如，方塊S5可以包括使第一囊封材料140的頂側薄化到期望的厚度（例如，機械研磨、化學蝕刻、剃刮或剪切、剝離、其任何組合等）。例如，方塊S5可以包括使第一半導體晶粒130（或多個第一半導體晶粒）及/或第一金屬柱120（或多個第一金屬柱）薄化（例如，機械研磨、化學蝕刻、剃刮、剝離、其任何組合等）。在圖2E所示的示例性實施方案中，方塊S5包括以導致第一囊封材料140、第一半導體晶粒130及/或第一金屬柱120頂表面共平面的方式執行薄化，因此，第一半導體晶粒130和第一金屬柱120的至少相應的頂表面（及/或至少橫向側表面的上部）從第一囊封材料140的頂表面暴露（或於第一囊封材料140的頂表面處暴露）。注意的是，雖然示例性實施方案顯示了從第一囊封材料140暴露的第一半導體晶粒130的頂側，但是這種曝光並非必要。例如，在各種實施方案中，可以保留覆蓋第一半導體晶粒130的頂側的第一囊封材料140的薄層。
在各種示例性實施方案中，方塊S1-S5（及/或所得到的結構）可以與於2016年8月11日提交的名稱為“半導體封裝和其製造方法”的美國專利申請號第14/823,689號中所示的大體上類似的方塊（及/或所得到的結構）共享任何或全部特徵，其中該美國專利申請案的全部內容透過引用方式將用於所有目的的整體併入本文。
參考圖1和圖2F的示例性結構200f，示例性方法100可以在方塊S6處包括形成第二金屬柱（或多個第二金屬柱）。第二金屬柱150例如可以形成在第一金屬柱120上（例如，直接形成、以一個或多個中間層間隔地形成）。另外，例如也可以多個第二金屬柱150中每個第二金屬柱可形成在多個第一金屬柱120中的相應第一金屬柱上。
在示例性實施方案中，方塊S6可以包括形成第二金屬柱150以從第一金屬柱120垂直延伸。這種形成可以各種方式中的任何一種來執行，其非限制性範例在本文中提供。例如，方塊S6可以包括以與方塊S2處形成第一金屬柱120的相同方式形成第二金屬柱150。例如，方塊S6可以包括以與形成第一金屬柱120不同的方式形成第二金屬柱150。
在示例性實施方案中，方塊S6可以例如包括在相應的第一金屬柱120上（例如，直接地或間接地）形成第二金屬柱150。如本文所討論的，第一金屬柱120可以例如包括各種導電材料（例如，銅、鋁、銀、金、鎳、其合金等）中的任何一種。第一金屬柱120（例如，其頂表面、其側表面的頂部等）可以例如暴露在第一囊封材料140的頂表面處。第一囊封材料140可以例如覆蓋第一金屬柱120的橫向側的下部或全部及/或可以覆蓋第一金屬柱120的頂表面的外周邊。
在示例性實施方案中，方塊S6可以包括直接在第一金屬柱120的頂表面上形成第二金屬柱150。注意的是，第二金屬柱150的橫向及/或垂直尺寸（及/或形狀）可以匹配相應的第一金屬柱120的橫向及/或垂直尺寸（及/或形狀），但是這不一定是這種情況。例如，第二金屬柱150可以包括比第一金屬柱120更小或更大的橫向及/或垂直尺寸。
在另一示例性實施方案中，可以在第一金屬柱120上形成凸塊下金屬化（UBM）結構（或界面層結構），然後可以在UBM結構上形成第二金屬柱150。如果形成的話，方塊S6可以包括以與本文中關於可在方塊S2處形成的UBM結構110a（或柱晶種層）所討論的相同方式來形成這樣的UBM結構（或界面層結構），例如利用相同或相似的遮罩製程、金屬形成製程、遮罩及/或金屬去除製程等。
第二金屬柱150可以包括各種特徵中的任何一種。例如，第二金屬柱150可以是圓柱形的、橢圓柱形的、矩形桿形狀等。第二金屬柱150可以例如包括平的上（及/或下）端、凹的上（及/或下）端或凸的上（及/或下）端。例如，第二金屬柱150可以包括本文中關於導電層、關於第一金屬柱120等討論的任何材料。在示例性實施例中，第二金屬柱150可以包括銅（例如，純銅、含有雜質的銅等、銅合金等）。在示例性實施方案中，方塊S6（或示例性方法100的另一方塊）還可以包括在第二金屬柱150上形成焊料帽（或圓頂）或另一金屬層。方塊S6可以包括以各種方式（例如，電鍍、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）、濺射或物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積、印刷、網版印刷、微影等）中的任何一種來形成第二金屬柱150，但是本發明的範圍不限於此。
如本文所討論的，第二金屬柱150（或多個第二金屬柱）可以與相應的第一金屬柱精確對準，但是這種對準也可以是不對準的（例如，通過設計或由於製造公差）。因此，第二金屬柱150和第一金屬柱120之間可能存在表面不連續（例如，階梯狀、尖銳曲線等）。注意的是，如本文所述，第二金屬柱150可以從第一金屬柱120橫向移位，使得在第二金屬柱150和第一金屬柱120之間沒有正好垂直重疊（例如，形成信號分佈結構以電連接第二金屬柱150和第一金屬柱120）。
如本文所討論的，第二金屬柱150可以形成為具有各種高度（或垂直）尺寸中的任何一個。例如，方塊S6可以包括形成第二柱150以具有比期望的最終高度更高的高度（例如，以補償製造公差等）。同樣例如，方塊S6可以包括形成第二金屬柱150以具有與（例如，在方塊S7等安裝）第二半導體晶粒的預期高度的高度一樣高或高於第二半導體晶粒的預期高度的高度。
參考圖1和圖2G的示例性結構200g，示例性方法100可以在方塊S7處包括將第二半導體晶粒160（或多個第二半導體晶粒160）附接到第一半導體晶粒160的頂側（或部分）。方塊S7可以例如與方塊S3共享任何或全部特徵。
在示例性實施方案中，第二半導體晶粒160可以例如半導體晶粒160的作用側161背離第一半導體晶粒130且半導體晶粒160的非作用側面向第一半導體晶粒130的方式來定向。例如，第一和第二半導體晶粒130和160的各個非作用側可以彼此面對。第二半導體晶粒160可以例如在第一半導體晶粒130上位於中央。第二半導體晶粒160可以例如具有等於、小於或大於第一半導體晶粒130的尺寸的尺寸。注意的是，如本文所討論的，第二半導體晶粒160可以相對於第一半導體晶粒130橫向移位。還應注意的是可以存在（相同或不同類型的）一個或多個第一半導體晶粒130和（相同或不同類型的）一個或多個第二半導體晶粒160。
第二半導體晶粒160（如本文所討論的第一半導體晶粒130一樣）可以包括各種電路特性中的任何一個。例如，第二半導體晶粒160可以包括諸如電性電路，諸如中央處理單元（CPU）、數位信號處理器（DSP）、網絡處理器、功率管理單元、音頻處理器、RF電路、無線基帶晶片上系統（SoC）處理器、感測器、特定應用積體電路（ASIC）、揮發性及/或非揮發性記憶體等。在示例性實施方案中，第二半導體晶粒160可以執行與第一半導體晶粒130相同的功能（例如，皆執行記憶體功能、皆執行處理功能等）。在另一示例性實施方案中，第二半導體晶粒160可以執行與第一半導體晶粒130不同的功能。然而，這些不同的相應功能可以是互補的（例如，一個執行處理功能、一個執行記憶體功能、另一個晶粒執行通信功能、另一個晶粒執行感測器功能等）。
例如，如圖2G所示，第二半導體晶粒160的下側可以用黏著構件160a附接到第一半導體晶粒130的上側。黏著構件160a可以例如包括黏著漿糊層、液體黏著層、預先形成的雙面膠帶或片（例如，晶粒附著帶）等。黏著構件160a可以例如部分地或完全地覆蓋第二半導體晶粒160的底側。黏著構件160a也可以例如部分地或完全地覆蓋第一半導體晶粒130的頂側。例如，儘管在圖2G中未顯示，黏著構件160a可以覆蓋第一囊封材料140的頂側的至少一部分，例如第一囊封材料140的頂側中圍繞第一半導體晶粒130的周邊且緊鄰第一半導體晶粒130的部分。黏著構件160a可以例如包括阻止第一半導體晶粒130和第二半導體晶粒160之間的電連接的介電材料。然而，黏著構件160a可以是導熱的。注意的是，在各種示例性實施方案中，黏著構件160a可以是導電的。
注意的是，第二半導體晶粒160例如當附接到第一半導體晶粒130時可以比第二金屬柱150更高、比第二金屬柱150更短或與第二金屬柱大致相同的高度。在示例性實施方案中，第二半導體晶粒160可包括作用側161上以向上方向延伸的導電凸塊162（或襯墊、柱、球、其它互連結構等）。在這種實施方案中，第二金屬柱150的高度可以至少與這種導電凸塊162的下端一樣高。在這種構造中，第二金屬柱150和第二半導體晶圓160的導電凸塊162可以平坦化（例如，在方塊S9等），而不損壞第二半導體晶粒160的作用側161上的主動電路。導電凸塊162、第二半導體晶粒160及/或第二金屬柱150的頂部可以在方法100的各種階段中的任一階段被平坦化。
注意的是，雖然在圖1中沒有明確顯示，但是可以在方塊S7的附接第二半導體晶粒之前對組裝件執行測試操作。
參考圖1和圖2H的示例性結構200h，示例性方法100可以在方塊S8處包括形成第二囊封材料170。方塊S8可以包括以各種方式中的任何方式來形成第二囊封材料170（或囊封劑），其非限制性範例在本文中提供。方塊S8可以例如與本文所討論的方塊S4共享任何或所有特徵。
第二囊封材料170可以包括各種囊封或模塑材料（例如，樹脂、聚合物、聚合物複合材料、具有填料的聚合物、環氧樹脂、具有填料的環氧樹脂、具有填料的環氧丙烯酸酯、聚矽氧樹脂、其組合、等效物等）。第二囊封材料170也可以例如包括本文討論的任何介電材料（例如，關於介電層111等）。例如，囊封材料170可以包括與第一囊封材料140相同的材料。然而，注意的是，在示例性實施方案中，第二囊封材料170可以是與第一囊封材料140不同的材料，例如具有不同的物理性質（例如，不同的熱膨脹係數（CTE）、彈性模量、收縮因子等）的材料。例如，這種實施方案可以用於藉由調諧（或平衡）（例如，由於半導體裝置的各種組件的不同相應熱膨脹係數等）翹曲力來減小或消除半導體封裝的翹曲。
方塊S8可以包括以各種方式（例如，壓縮模塑、轉移模塑、液體囊封劑模塑、真空層壓、膏印刷、薄膜輔助模塑等）中的任何一種形成第二囊封材料170。同樣例如，方塊S8可以包括利用可用於形成介電層的各種技術中的任何一種來形成第二囊封材料170，其範例在此提供（例如，關於形成介電層111等）。
如圖2H所示，第二囊封材料170可以覆蓋第一囊封材料140的頂側。第二囊封材料170還可以全部或部分地覆蓋第二半導體晶粒160的橫向側及/或第二金屬柱150的橫向側。第二囊封材料170可另外覆蓋黏著構件160a的橫向側及/或上側。第二囊封材料170可以形成為也覆蓋第二半導體晶粒160的頂側（例如，其頂側上的介電層中的任何一個或全部、其頂側上的導電層、頂部上的導電凸塊等）及/或第二金屬柱150的頂側。如圖2H所示，第二囊封材料170可以覆蓋第二半導體晶粒160的作用側161上的導電凸塊162的橫向側而導電凸塊162的上端可以暴露。與在方塊S4處形成的第一囊封材料140一樣，第二囊封材料170可以同時形成在多個半導體封裝的晶圓或面板級，或者可以單個封裝級形成。
注意的是，在第二半導體晶粒160和第一半導體晶粒130或第一囊封材料140之間存在空間的示例性實施方案中（例如，當黏著構件160a未完全填充這樣的空間等），第二囊封材料170還可以在第二半導體晶粒160和第一半導體晶粒130及/或第一囊封材料140之間的第二半導體晶粒160下面填充。
仍然參考圖1和2H，示例性方法100可以在方塊S9包括薄化在方塊S8處已囊封的組裝件（例如，執行第二薄化操作等）。例如，方塊S9可以包括薄化（例如，機械研磨、化學蝕刻、剃刮或剪切、剝離、其任何組合等）第二囊封材料170的頂側、第二金屬柱150及/或第二半導體晶粒160的頂側（例如，第二半導體晶粒160的作用側161上的導電凸塊162）到期望的厚度。方塊S9可以例如與方塊S5共享任何或所有特徵。
在圖2H所示的示例性實施方案中，方塊S9包括以導致第二囊封材料170、第二半導體晶粒160（例如，導電凸塊162或其作用側161上的其它互連結構等）及/或第二金屬柱150的共平面頂表面的方式執行薄化。因此，第二半導體晶粒160和第二金屬柱150的頂側上的導電凸塊162的至少相應的頂表面（及/或至少橫向側表面的至少上部）從第二囊封材料170的頂表面露出。
如本文所討論的，在一些實施方案中，第二金屬柱150可以在其頂端上形成有界面層（例如，焊料層、UBM層、界面金屬化等）。在圖2H所示的示例性實施方案中，方塊S9還可以包括在第二金屬柱150的頂端處暴露及/或平面化這種界面層。
如本文所討論的，第二囊封材料170可最初形成為具有各種厚度的任何一種。在第二囊封材料170形成有期望厚度且頂側導體根據需要從第二囊封材料170暴露（例如，利用薄膜輔助模塑、旋塗等）之示例性實施例中，可能會跳過方塊S9處的薄化。
參考圖1和圖2I的示例性結構200i，示例性方法100可以在方塊S10處包括形成第二基板180。方塊S10可以例如包括在第二囊封材料170、第二金屬柱150及/或第二半導體晶粒160的頂部上形成第二基板180。
方塊S10可以包括以各種方式中的任何一種形成第二基板180，其也可以在這裡被稱為中介層，其非限制性範例在本文中提供。例如，方塊S10可以與方塊S1共享任何或所有特徵。例如，方塊S10可以共享在2016年8月11日提交的名稱為“半導體封裝和其製造方法”的美國專利申請案第14/823,689號中所示的通常類似的方塊（及/或所得結構）的任何或所有特徵，其中該美國專利申請案的全部內容透過引用方式將用於所有目的的整體併入本文。
例如，方塊S10可以包括形成具有任何數量的介電層和導電層（例如，信號分佈層、襯墊層、導電通孔、凸塊下金屬化、連接盤層等）的第二基板180。在示例性實施方案中，可以形成包括信號分佈層182、介電層181和襯墊（或通孔）層183的第二基板180。注意的是，雖然第二基板180可以大體上不同於第一基板110，但是任何或所有特徵可以是相同的、可以垂直及/或水平對稱等。
可以在本文中也稱為襯墊、通孔、跡線、連接盤、接合襯墊層、導電層、跡線層等的襯墊（或通孔）層183可以包括各種材料（例如，銅、鋁、鎳、鐵、銀、金、鈦、鉻、鎢、鈀、其組合、其合金、其等效物等）中的任何一種，但是本發明的範圍是不限於此。
方塊S10可以包括以各種方式中的任何一種形成襯墊（或通孔）層183，其非限制性範例在本文中呈現。例如，方塊S10可以包括利用各種製程（例如，電解電鍍、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）、濺射或物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積、印刷、網版印刷、微影等）中的任何一種或多種來形成襯墊（或通孔）層183，但是本發明的範圍不限於此。方塊S10可以例如包括形成襯墊層183在第二金屬柱150的頂側上、在導電凸塊162的頂側上等。
與本文所討論的任何導電層一樣，方塊S10可以包括形成一個或多個晶種層，作為形成襯墊（或通孔）層183的處理的一部分（例如，在電鍍襯墊層183之前等）。例如，雖然圖2I中未顯示，但方塊S10可以包括形成一個或多個晶種層在第二金屬柱150、導電凸塊162、第二囊封材料170等的頂表面上。
注意的是，在各種示例性實施方案中，在形成襯墊（或通孔）層183之前，可以在第二囊封材料170的頂表面、第二半導體晶粒160及/或第二金屬柱150的頂表面上形成一個或多個介電層。
介電層181可以包括各種介電材料中的任何一種之一層或多層，例如無機介電材料（例如，Si 3N 4、SiO 2、SiON、SiN、氧化物、氮化物、其組合、其等效物等）及/或有機介電材料（例如，聚合物、聚醯亞胺（PI）、苯環丁烯（BCB）、聚苯並噁唑（PBO）、雙馬來醯亞胺-三氮雜環（BT）、模塑材料、酚樹脂、環氧樹脂、聚矽氧、丙烯酸酯聚合物、其組合、其等效物等），但是本發明的範圍不限於此。
方塊S10可以包括使用各種製程（例如，旋塗、噴塗、印刷、燒結、熱氧化、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）、低壓化學氣相沉積（LPCVD）、電漿增強化學氣相沉積（PECVD）、電漿氣相沉積（PVD）、片層壓、蒸鍍等）中的任何一種或多種方法來形成介電層181，但本發明的範圍不限於此。
例如，方塊S10可以包括圖案化介質層181，例如在其中形成孔，其暴露本文所討論的各種導電層的各種部分（例如，襯墊層183、信號分佈層等）。例如，方塊S10可以包括燒蝕孔（例如，利用雷射燒蝕、利用機械燒蝕、利用蝕刻等）。另外例如，方塊S10可以包括最初形成具有所需孔的介電層181（例如，沉積等）。
信號分佈層182（其也可以稱為重新分佈層、分佈層、導電層、跡線層等）可以包括各種材料（例如，銅、鋁、鎳、鐵、銀、金、鈦、鉻、鎢、鈀、其組合、其合金、其等效物等）中的任何一種，但是本發明的範圍不限於此。信號分佈層182（或第二基板180）可以例如在第二半導體晶粒160的端子及/或相應的第二金屬柱120及/或相應的連接盤184之間提供電信號通路。
方塊S10可以包括以各種方式中的任何方式形成信號分佈層182，其非限制性範例在本文中呈現。例如，方塊S10可以包括使用各種製程（例如，電鍍、無電電鍍、化學氣相沉積（CVD）、金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）、濺射或物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）、電漿氣相沉積、印刷、網版印刷、微影等）的任何一種或多種製程來形成信號分佈層182，但是本發明的範圍不限於此。
在各種示例性實施方案下，例如其中信號分佈層182被電鍍，方塊S10可以包括在電鍍信號分佈層182之前形成一個或多個晶種層。例如，儘管圖2I中未顯示，方塊S10可以包括在第二囊封材料170、第二半導體晶粒160及/或第二金屬柱150的頂表面上形成一個或多個晶種層。這種晶種層可以包括多種材料中的任何一種。例如，晶種層可以包括銅。還例如，晶種層可以包括一層或多層各種金屬（例如，銀、金、鋁、鎢、鈦、鎳、鉬等）中的任何一種。可以利用各種技術（例如，濺射或其它物理氣相沉積（PVD）技術、化學氣相沉積（CVD）、無電電鍍、電解電鍍等）中的任何一種來形成晶種層。晶種層可以例如在隨後的電鍍製程中使用。
方塊S10可以包括形成第二基板180的任何數量的導電和介電層。在圖2I所示的示例性實施方案中，方塊S10包括形成第二介電層185和連接盤層184。第二介電層185及/或其形成可以與本文討論的其它介電層及/或其形成共享任何或所有特徵。連接盤層184及/或其形成可以與本文討論的其它導電層及/或其形成共享任何或所有特徵。注意的是，連接盤層184也可以例如稱為導電層、襯墊、連接盤、信號分佈結構等。
例如，在示例性實施方案中，如本文所討論的，連接盤層184可以包括凸塊下金屬化。例如，方塊S10可以包括形成連接盤層184以具有有利於連接互連結構（例如，導電球、導電柱或桿等）的一個或多個金屬化層，例如在方塊S11處的附接。例如，連接盤層184可以暴露在第二基板180的頂表面（例如，第二介電層185等）處。
與信號分佈層182或本文討論的任何導電層一樣，方塊S10可以包括形成一個或多個晶種層，作為形成連接盤層184的處理的一部分（例如，在電鍍連接盤層184之前等）。例如，儘管在圖2I中未顯示，但方塊S10可以包括在信號分佈層182的頂表面上、在介電層181等的頂表面及/或孔表面上等形成一個或多個晶種層。
注意的是，儘管附圖中顯示了一組說明性的導電層和介電層，但方塊S10可以包括形成第二基板180以具有任何數量的這種導電及/或介電層。
如本文所討論的，第一基板110（或中介層）或其一部分可以在半導體晶圓製造製程中（例如，在晶圓廠設施等）形成。還例如，第一基板110的任何一層或全部層可以在封裝製程中進行，例如可以將半導體晶圓作為輸入而接收至封裝製程。在示例性實施方案中，可以在封裝製程中執行第二基板180的層（例如，導電層、介電層等）。因此，在各種示例性實施方案中，可以在半導體晶圓製造製程中形成一個或多個基板部分，並且可以在半導體裝置封裝製程中形成一個或多個基板部分。
通常，方塊S10可以包括形成第二基板180（或中介層）。因此，本發明的範圍不應受到任何特定載體或基板的特徵或形成這種載體或基板的任何特定方式的特徵的限制。
參考圖1和圖2I的示例性結構200i，示例性方法100可以在方塊S11處包括在第二基板180上形成導電互連結構190。
導電互連結構190可以包括各種特徵中的任何一種。例如，互連結構190可以包括導電球或凸塊（例如，焊球或凸塊、晶圓凸塊、實心芯或銅芯焊球等）。例如，在包括焊球或凸塊的示例性實施方案中，這樣的球或凸塊可以包括錫、銀、鉛、Sn-Pb、Sn 37-Pb、Sn 95-Pb、Sn-Pb-Ag、Sn-Pb-Bi、Sn-Cu、Sn-Ag、Sn-Au、Sn-Bi、Sn-Ag-Cu、Sn-Ag-Bi、Sn-Zn、Sn-Zn-Bi、其組合、其等效物等，本發明公開內容不限於此。導電互連結構190還可以包括導電柱或桿、導線、連接盤等，其可以例如包括本文所討論的任何導電材料（例如，金屬、導電黏著劑等）。
導電互連結構190可以以任何或各種配置來配置。例如，導電互連結構190可以球柵陣列配置、平面柵陣列配置等來配置。
方塊S11可以包括以各種方式中的任何一種方式來形成（或附接）這種互連結構190，其非限制性範例在本文中提供。例如，方塊S11可以包括透過球滴、凸塊化、金屬鍍覆、黏貼和回焊等形成（或附接）這種互連結構190。例如，方塊S11可以包括將導電球落在連接盤層184（或襯墊上）、回焊和冷卻。
步驟S11還可以例如在第二基板180的連接盤層184上形成（或附接）組件191（例如，被動組件、主動組件等）。在示例性實施方案中，組件191可以具有比導電互連結構190更小的高度。例如，組件191可以具有比焊球導電互連結構190更小的高度、比焊球導電互連結構190的實心芯（例如，銅芯等）更小的高度等。在這種實施方案中，當導電互連結構190附接到另一基板或組件時，導電互連結構190可以提供間隔以保持組件191的空間。
參考圖1和圖2I的示例性結構200i，示例性方法100可以在方方塊S12處包括從多個連接的封裝單一化切割半導體裝置封裝。
如這裡所述，示例性方法100的任何或所有方塊可以在晶圓或面板級執行，例如同時形成多個半導體封裝。然後，晶圓或面板可以例如被單一化分割成個別的封裝。這種單一化分割可以例如透過機械切割（例如，鋸切、切割、研磨、咬合等）、能量切割（例如，雷射切割、電漿切割等）、化學切割（例如，蝕刻、溶解等）等中的任何一種或多種進行。在示例性實施方案中，這種單一化分割可以形成封裝的共平面的橫向側表面。例如，第一基板110、第一囊封材料140、第二囊封材料170及/或第二基板180的一個或多個橫向側表面可以在經單一化分割的半導體封裝的一個或多個橫向側表面上共平面。
如圖2J所示的示例性半導體裝置封裝200可以由圖1所示的示例性方法100產生，如本文所討論的。注意的是，可以在示例性封裝200上執行其他方法步驟，例如添加或刪除組件等，而不脫離本發明的範圍。注意的是，示例性半導體裝置200（或本文討論的任何裝置）可以被稱為半導體封裝、電子裝置、電子封裝、裝置、封裝等。
如本文所討論的，在示例性實施方案中，方塊S5可以被跳過或者可以執行到使第一囊封材料140具有比第一半導體晶粒130更高的高度的程度。例如，第一囊封材料140的頂表面和第一金屬柱120的頂表面可以是共平面的，而第一半導體晶粒130的頂表面保持被第一囊封材料140覆蓋。在這樣的示例性實施方案中，方塊S7可以包括使用黏著構件160a將第二半導體晶粒160附接到第一囊封材料140的頂表面（例如，直接在第一半導體晶粒130的上方且位於中央、部分在第一半導體晶粒130正上方且部分不在第一半導體晶粒130正上方、從第一半導體晶粒130完全橫向偏移等）。圖3顯示了可能由這種製程產生的示例性半導體裝置300。
更具體地，圖3顯示了根據本發明的各個態樣的示例性半導體裝置300的橫截面圖。應當理解的是，示例性裝置300可以與本文討論的其他示例性裝置（例如，圖2A-2J、4和5所示的其他示例性裝置）共享任何或所有特徵。
如圖3所示，在示例性半導體裝置300中，第一囊封材料240的頂部覆蓋第一半導體晶粒130的頂側。第一金屬柱120比第一半導體晶粒130還高。第一金屬柱120的頂端和第一囊封材料140的頂側可以例如是共平面的。黏著單元160a接觸第一囊封材料140的頂側且接觸第二半導體晶粒160的下側。
在處理期間，第一囊封材料240可以例如防止在第一半導體晶粒130上形成異物。例如，如果在形成第一金屬柱120之後進行研磨以露出第一金屬柱120，存在可能使來自第一金屬柱120研磨的金屬顆粒（例如銅顆粒等）朝向第一半導體晶粒130散射的可能性。然而，由於第一囊封材料240囊封了第一半導體晶粒130的頂側（或部分），第一囊封材料240防止金屬顆粒直接接觸及/或被安裝在第一半導體晶粒130上。因此，囊封材料240可以防止對第一半導體晶粒130造成的損害。
在另一示例性實施方案中，可以跳過示例性方法100的方塊S4及/或S5。例如，方塊S8可以包括執行第一囊封步驟而不是第二囊封步驟。例如，方塊S8可以結合在圖4的示例性方法100中之方塊S4的第一封裝和方塊S8的第二封裝。在這樣的示例性實施方案中，方塊S8可以包括形成單一完整(integral)囊封材料，其覆蓋關於第一囊封材料140和第二囊封材料170兩者的本文所討論的半導體裝置的中各種元件。例如，單一整體囊封材料可以囊封第一金屬柱120、第一半導體晶圓130、第二金屬柱150和第二半導體晶粒160。圖4顯示了可能由這種製程產生的示例性半導體裝置400。
更具體地，圖4顯示了根據本發明的各個態樣的示例性半導體裝置400的橫截面圖。應當理解的是，示例性裝置400可以與本文討論的其他示例性裝置（例如，圖2A-2J、3和5所示的其他示例性裝置）共享任何或所有特徵。
如圖4所示，單個整體(unitary)連續的囊封材料370替代了各種其它實施方案的第一囊封材料140和第二囊封材料170。例如，囊封材料370可以與本文所討論的第一囊封材料140和第二囊封材料共享任何或所有特徵，儘管是單個整體連續的囊封材料。
在示例性實施方案中，例如在示例性方法100的方塊S8（例如，跳過方塊S4等），囊封劑370可以在第一金屬柱120、第一半導體晶粒130、第二金屬柱150和第二半導體晶粒160都形成於第一基板110的頂側上之後形成。例如，方塊S8可以包括藉由同時形成半導體裝置100的第一囊封劑140和第二囊封劑170來形成囊封劑370。
在這種實施方案中，可以簡化的方式形成囊封劑370，從而減少用於製造半導體裝置400的製程步驟的數量和時間。
在另一示例性實施方案中，如本文所討論的，第一金屬柱120和第二金屬柱150可以彼此橫向偏移，並且可以例如藉由信號分佈結構而彼此電耦合。另外，可以使用任何數量的半導體晶粒（或其他電性組件）。圖5顯示了可能由這種製程產生的示例性半導體裝置500。
更具體地，圖5顯示了根據本發明的各個態樣的示例性半導體裝置500的橫截面圖。應當理解的是，示例性裝置500可以與本文討論的其他示例性裝置共享任何或所有特徵，例如，與圖2A-2J、3和4所示的其他示例性裝置。
例如，信號分佈結構450a可以例如在圖1的示例性方法100的方塊S5和S6之間形成。例如，在方塊S5之後，信號分佈結構450a可以形成在第一囊封材料140、第一金屬柱120及/或第一半導體晶粒130上（或上方）。信號分佈結構450a也可以稱為柱重新分佈層、重新分佈層、柱重新分佈結構、跡線等。
信號分佈結構450a可以與本文討論的第一基板110及/或第二基板180共享任何或所有特徵。例如，信號分佈結構450a可以與方塊S1的形成第一基板110及/或方塊S10的形成第二基板180共享任何或所有特徵之方式來形成。信號分佈結構450a可以例如形成為連接到第一金屬柱120。信號分佈結構450a可以例如包括導電層，其將電信號橫向重新分佈到第一金屬柱120及/或將來自第一金屬柱120的電信號橫向重新分佈。信號分佈結構450a可以例如包括襯墊層（或其它導電層、UBM層等），然後在其上可以形成方塊S6的第二金屬柱450。
注意的是，信號分佈結構450a可以形成在第一金屬柱120、第一半導體晶粒130和第一囊封材料140的頂部上。在示例性實施例中，第二囊封材料170可形成為覆蓋信號分佈結構450a。例如，信號分佈結構450a的頂側及/或橫向側部分可以被第二囊封材料170覆蓋。
另外，如本文所討論的，可以在半導體裝置（或封裝）的每個級別上使用多個半導體晶粒，而不是單個半導體晶粒，為了說明清楚，這些半導體晶粒以單個晶粒呈現。作為示例，半導體裝置500包括多個半導體晶粒代替其它實施方案的第二半導體晶粒160。
具體地，第二半導體晶粒460可以例如用黏著構件460a附接到第一半導體晶粒，並且第三半導體晶粒465可以例如以黏著構件465a附接到第一半導體晶粒。黏著構件460a和465a例如可以與本文討論的關於圖1和2A-2H的示例性黏著構件160a共享任何或所有特徵。
第二半導體晶粒460可以例如包括具有附接到第二基板180的導電凸塊的作用側461，並且第三半導體晶粒465可以例如包括具有附接到第二基板180的導電凸塊的作用側466。這種導電凸塊及/或它們與第二基板180的連接可以例如與本文所討論的其它導電凸塊及/或它們的連接共享任何或全部特徵。
注意的是，如本文所述，第二半導體晶粒460和第三半導體晶粒465可以從第一半導體晶粒460（部分或全部）橫向偏移。例如，第二半導體晶粒460附接到第一半導體晶粒130的頂側和第一囊封材料140的頂側，在第一半導體晶粒130的至少一橫向側突出。因此，第一囊封材料140是正好垂直地位於第二半導體晶粒460的一部分下方，再例如，第三半導體晶粒465從第一半導體晶粒130的橫向側向內橫向定位，因此第二囊封材料170的一部分正好位於第一半導體晶粒130的一部分上方。
總之，本發明的各個態樣提供半導體裝置和製造半導體裝置的方法。作為非限制性範例，本發明的各個態樣提供了包括堆疊晶粒結構的半導體裝置及其製造方法。雖然前述內容已經參考某些態樣和範例來描述，但是本領域技術人士將理解，在不脫離本發明的範圍的情況下，可以進行各種改變並且可以替換等效物。此外，在不脫離本發明的範圍的情況下，可以進行許多修改以使特定情況或材料適應本發明的教導。因此，本發明的目的不是限於所公開的具體範例，而是本發明將包括落入所附請求項的範圍內的所有範例。
100:方法/半導體裝置 105:載體 110:第一基板/基板 110a:凸塊下金屬化（UBM）結構/UBM結構/柱晶種層 111:介電層 112:信號分佈層/重新分佈層/襯墊層 113:襯墊（或通孔）層/襯墊層 120:第一金屬柱 130:第一半導體晶粒/半導體晶粒 131:作用側 132:導電凸塊 140:第一囊封材料/第一囊封劑 150:第二金屬柱 160:第二半導體晶粒 160a:黏著構件 161:作用側 162:導電凸塊 170:第二囊封材料/第二囊封劑 180:第二基板 180a:界面層 181:介電層 182:信號分佈層 183:襯墊（或通孔）層/襯墊層 184:連接盤/連接盤層 185:第二介電層 190:導電互連結構/互連結構 191:組件 200:半導體裝置封裝/封裝/半導體裝置 200a-200j:結構 240:第一囊封材料/囊封材料 300:半導體裝置/裝置 370:囊封材料/囊封劑 400:半導體裝置/裝置 450:第二金屬柱 450a:信號分佈結構 460:第二半導體晶粒 460a:黏著構件 461:作用側 465:第三半導體晶粒 465a:黏著構件 466:作用側 500:半導體裝置/裝置 S1-S12:方塊
[圖1]顯示了根據本發明的各個態樣的製造半導體裝置的示例性方法的流程圖。
[圖2A至2J]顯示了根據本發明的各個態樣來說明製造半導體裝置的方法的各個步驟的橫截面圖。
[圖3]顯示了根據本公開的各個態樣的示例性半導體裝置的橫截面圖。
[圖4]顯示了根據本公開的各個態樣的示例性半導體裝置的橫截面圖。
[圖5]顯示了根據本公開的各個態樣的示例性半導體裝置的橫截面圖。
105:載體
110:第一基板/基板
110a:凸塊下金屬化(UBM)結構/UBM結構/柱晶種層
111:介電層
112:信號分佈層/重新分佈層/襯墊層
113:襯墊(或通孔)層/襯墊層
120:第一金屬柱
130:第一半導體晶粒/半導體晶粒
131:作用側
132:導電凸塊
140:第一囊封材料/第一囊封劑
150:第二金屬柱
160:第二半導體晶粒
160a:黏著構件
161:作用側
162:導電凸塊
170:第二囊封材料/第二囊封劑
180:第二基板
180a:界面層
181:介電層
182:信號分佈層
183:襯墊(或通孔)層/襯墊層
184:連接盤/連接盤層
185:第二介電層
190:導電互連結構/互連結構
191:組件
200:半導體裝置封裝/封裝/半導體裝置
200j:結構

Claims (30)

  1. 一種半導體裝置，包括： 第一基板，其包括第一信號分佈層和第一介電結構，所述第一基板包括面向第一方向的第一基板第一側、面向與所述第一方向相對的第二方向的第一基板第二側以及第一基板橫向側，所述第一基板橫向側延伸於所述第一基板第一側和所述第一基板第二側之間； 垂直互連件，其在所述第一基板第一側上，所述垂直互連件包括面向所述第一方向的互連件第一末端、面向所述第二方向且耦接到所述第一基板第一側的互連件第二末端以及互連件橫向側； 第一半導體晶粒，其包括面向所述第一方向的第一半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第一半導體晶粒第二側以及第一半導體晶粒橫向側，所述第一半導體晶粒橫向側延伸在所述第一半導體晶粒第一側和所述第一半導體晶粒第二側之間； 第一導電凸塊，其將所述第一半導體晶粒第二側耦接到所述第一基板第一側； 第二半導體晶粒，其包括面向所述第一方向的第二半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第二半導體晶粒第二側以及第二半導體晶粒橫向側，所述第二半導體晶粒橫向側延伸在所述第二半導體晶粒第一側和所述第二半導體晶粒第二側之間，其中所述第二半導體晶粒第二側耦接到所述第一半導體晶粒第一側使得在所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒之間沒有介置基板； 第二基板，其在所述互連件第一末端上且在所述第二半導體晶粒第一側上，所述第二基板包括第二信號分佈層和第二介電結構；以及 囊封材料，其在所述第一基板和所述第二基板之間，其中所述囊封材料至少囊封所述互連件橫向側、所述第一半導體晶粒橫向側以及所述第二半導體晶粒橫向側；並且所述囊封材料接觸且覆蓋所述第一介電結構。
  2. 如請求項1所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件包括金屬柱。
  3. 如請求項1所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件橫跨所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒。
  4. 如請求項3所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件橫跨所述囊封材料。
  5. 如請求項1所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件包括第一金屬的第一部分以及在所述第一部分上的第二金屬的第二部分。
  6. 如請求項5所述的半導體裝置，其中所述第一金屬包括銅且所述第二金屬包括焊料。
  7. 如請求項1所述的半導體裝置，其中在橫截面中，所述垂直互連件是橢圓形。
  8. 如請求項1所述的半導體裝置，其中所述囊封材料是單個整體囊封材料。
  9. 如請求項1所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件包括在所述垂直互連件和所述第一基板之間的底切，並且所述囊封材料的一部份被設置在所述底切中。
  10. 如請求項1所述的半導體裝置，其包括黏著件，所述黏著件直接接觸所述第二半導體晶粒第二側以及所述第一半導體晶粒第一側。
  11. 如請求項1所述的半導體裝置，其包括黏著件，所述黏著件將所述第二半導體晶粒第二側耦接到所述第一半導體晶粒第一側，其中所述第一半導體晶粒第一側的一部分從所述黏著件被曝露。
  12. 如請求項1所述的半導體裝置，其中所述第一半導體晶粒第二側包括作用側，並且所述第二半導體晶粒第一側包括作用側。
  13. 如請求項12所述的半導體裝置，其包括黏著件，所述黏著件包括耦接到所述第二半導體晶粒第二側的黏著件第一側、耦接到所述第一半導體晶粒第一側的黏著件第二側以及黏著件橫向側，所述黏著件橫向側延伸在所述黏著件第一側和所述黏著件第二側之間，並且其中所述囊封材料直接接觸所述第一半導體晶粒橫向側、所述第二半導體晶粒橫向側以及所述黏著件橫向側。
  14. 如請求項1所述的半導體裝置，其包括底部填充材料，所述底部填充材料不同於所述囊封材料並且被直接設置在所述第一半導體晶粒和所述第一基板之間，並且其中沒有與所述囊封材料不同的底部填充材料被直接設置在所述第二半導體晶粒和所述第二基板之間。
  15. 如請求項1所述的半導體裝置，其包括導電球在所述第一基板第二側上並且所述導電球被橫向地配置在所述第一半導體晶粒的覆蓋區以及所述第二半導體晶粒的覆蓋區之中。
  16. 一種製造半導體裝置的方法，所述方法包括： 提供包括第一信號分佈層和第一介電結構的第一基板，所述第一基板包括面向第一方向的第一基板第一側、面向與第一方向相對的第二方向的第一基板第二側以及第一基板橫向側，所述第一基板橫向側延伸在所述第一基板第一側和所述第一基板第二側之間； 將垂直互連件形成在所述第一基板第一側上，所述垂直互連件包括面向所述第一方向的互連件第一末端、面向所述第二方向並且耦接到所述第一基板第一側的互連件第二末端以及互連件橫向側； 提供第一半導體晶粒，所述第一半導體晶粒包括面向所述第一方向的第一半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第一半導體晶粒第二側以及第一半導體晶粒橫向側，所述第一半導體晶粒橫向側延伸在所述第一半導體晶粒第一側和所述第一半導體晶粒第二側之間； 利用第一導電凸塊將所述第一半導體晶粒第二側耦接到所述第一基板第一側； 提供第二半導體晶粒，所述第二半導體晶粒包括面向所述第一方向的第二半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第二半導體晶粒第二側以及第二半導體晶粒橫向側，所述第二半導體晶粒橫向側延伸在所述第二半導體晶粒第一側和所述第二半導體晶粒第二側之間； 將所述第二半導體晶粒第二側耦接到所述第一半導體晶粒第一側，使得在所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒之間沒有介置基板； 形成第二基板在所述互連件第一末端上以及在所述第二半導體晶粒第一側上，所述第二基板包括第二信號分佈層和第二介電結構；以及 形成囊封材料於所述第一基板和所述第二基板之間，其中所述囊封材料至少囊封所述互連件橫向側、所述第一半導體晶粒橫向側以及所述第二半導體晶粒橫向側，並且所述囊封材料接觸且覆蓋所述第一介電結構。
  17. 如請求項16所述的方法，其中形成所述囊封材料是在形成所述垂直互連件之後執行。
  18. 如請求項16所述的方法，其中所述垂直互連件橫跨所述第一半導體晶粒、所述第二半導體晶粒以及所述囊封材料。
  19. 如請求項16所述的方法，其中所述垂直互連件包括含有銅的第一部分以及含有焊料的第二部分。
  20. 如請求項16所述的方法，其包括形成黏著件，所述黏著件包括耦接到所述第二半導體晶粒第二側的黏著件第一側、耦接到所述第一半導體晶粒第一側的黏著件第二側以及黏著件橫向側，所述黏著件橫向側延伸在所述黏著件第一側和所述黏著件第二側之間，並且其中所述囊封材料直接接觸所述第一半導體晶粒橫向側、所述第二半導體晶粒橫向側以及所述黏著件橫向側。
  21. 一種半導體裝置，其包括： 第一基板，其包括第一信號分佈層和第一介電結構，所述第一基板包括面向第一方向的第一基板第一側、面向與所述第一方向相對的第二方向的第一基板第二側以及第一基板橫向側，所述第一基板橫向側延伸在所述第一基板第一側和所述第一基板第二側之間； 垂直互連件，其在所述第一基板第一側上，所述垂直互連件包括面向所述第一方向的互連件第一末端、面向所述第二方向且耦接到所述第一基板第一側的互連件第二末端以及互連件橫向側； 第一半導體晶粒，其包括面向所述第一方向的第一半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第一半導體晶粒第二側以及第一半導體晶粒橫向側，所述第一半導體晶粒橫向側延伸在所述第一半導體晶粒第一側和所述第一半導體晶粒第二側之間； 多個第一導電凸塊，所述多個第一導電凸塊將所述第一半導體晶粒第二側耦接到所述第一基板第一側； 第二半導體晶粒，其包括面向所述第一方向的第二半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第二半導體晶粒第二側以及第二半導體晶粒橫向側，所述第二半導體晶粒橫向側延伸在所述第二半導體晶粒第一側和所述第二半導體晶粒第二側之間，其中所述第二半導體晶粒第二側耦接到所述第一半導體晶粒第一側，使得在所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒之間沒有介置基板；以及 囊封材料，其在所述第一基板第一側上，其中所述囊封材料至少囊封所述互連件橫向側、所述第一半導體晶粒橫向側以及所述第二半導體晶粒橫向側，並且所述囊封材料接觸且覆蓋所述第一介電結構。
  22. 如請求項21所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件橫跨所述第一半導體晶粒、所述第二半導體晶粒以及所述囊封材料。
  23. 如請求項21所述的半導體裝置，其中所述垂直互連件包括含有銅的第一部分以及含有焊料的第二部分。
  24. 如請求項21所述的半導體裝置，其中所述第一半導體晶粒第二側包括作用側，並且所述第二半導體晶粒第一側包括作用側。
  25. 如請求項21所述的半導體裝置，其包括黏著件，所述黏著件包括耦接到所述第二半導體晶粒第二側的黏著件第一側、耦接到所述第一半導體晶粒第一側的黏著件第二側以及黏著件橫向側，所述黏著件橫向側延伸在所述黏著件第一側和所述黏著件第二側之間，並且其中所述囊封材料直接接觸所述第一半導體晶粒橫向側、所述第二半導體晶粒橫向側以及所述黏著件橫向側。
  26. 一種製造半導體裝置的方法，所述方法包括： 提供包括第一信號分佈層和第一介電結構的第一基板，所述第一基板包括面向第一方向的第一基板第一側、面向與第一方向相對的第二方向的第一基板第二側以及第一基板橫向側，所述第一基板橫向側延伸在所述第一基板第一側和所述第一基板第二側之間； 形成垂直互連件於所述第一基板第一側上，所述垂直互連件包括面向所述第一方向的互連件第一末端、面向所述第二方向且耦接到所述第一基板第一側的互連件第二末端以及互連件橫向側； 提供第一半導體晶粒，所述第一半導體晶粒包括面向所述第一方向的第一半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第一半導體晶粒第二側以及第一半導一側和所述第一半導體晶粒第二側之間； 使用多個第一導電凸塊將所述第一半導體晶粒第二側耦接到所述第一基板第一側； 提供第二半導體晶粒，所述第二半導體晶粒包括面向所述第一方向的第二半導體晶粒第一側、面向所述第二方向的第二半導體晶粒第二側以及第二半導體晶粒橫向側，所述第二半導體晶粒橫向側延伸在所述第二半導體晶粒第一側和所述第二半導體晶粒第二側之間； 將所述第二半導體晶粒第二側耦接到所述第一半導體晶粒第一側，使得在所述第一半導體晶粒和所述第二半導體晶粒之間沒有介置基板；並且 形成囊封材料於所述第一基板第一側上，其中所述囊封材料至少囊封所述互連件橫向側、所述第一半導體晶粒橫向側以及所述第二半導體晶粒橫向側，並且所述囊封材料接觸且覆蓋所述第一介電結構。
  27. 如請求項26所述的方法，其中形成所述囊封材料是在形成所述垂直互連件之後執行。
  28. 如請求項26所述的方法，其中所述垂直互連件橫跨所述第一半導體晶粒、所述第二半導體晶粒以及所述囊封材料。
  29. 如請求項26所述的方法，其中所述垂直互連件包括含有銅的第一部分以及含有焊料的第二部分。
  30. 如請求項26所述的方法，其包括形成黏著件，所述黏著件包括耦接到所述第二半導體晶粒第二側的黏著件第一側、耦接到所述第一半導體晶粒第一側的黏著件第二側以及黏著件橫向側，所述黏著件橫向側延伸在所述黏著件第一側和所述黏著件第二側之間，並且其中所述囊封材料直接接觸所述第一半導體晶粒橫向側、所述第二半導體晶粒橫向側以及所述黏著件橫向側。
TW110144416A 2017-02-28 2017-04-18 半導體裝置及其製造方法 TWI763613B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/445,568 2017-02-28
US15/445,568 US10475770B2 (en) 2017-02-28 2017-02-28 Semiconductor device having stacked dies and stacked pillars and method of manufacturing thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202213659A true TW202213659A (zh) 2022-04-01
TWI763613B TWI763613B (zh) 2022-05-01

Family

ID=62375652

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106112910A TWI749005B (zh) 2017-02-28 2017-04-18 半導體裝置及其製造方法
TW110144416A TWI763613B (zh) 2017-02-28 2017-04-18 半導體裝置及其製造方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106112910A TWI749005B (zh) 2017-02-28 2017-04-18 半導體裝置及其製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (4) US10475770B2 (zh)
KR (3) KR102454788B1 (zh)
CN (2) CN108511428A (zh)
TW (2) TWI749005B (zh)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10535632B2 (en) * 2016-09-02 2020-01-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Semiconductor package structure and method of manufacturing the same
US10475770B2 (en) * 2017-02-28 2019-11-12 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device having stacked dies and stacked pillars and method of manufacturing thereof
US10256114B2 (en) * 2017-03-23 2019-04-09 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device with tiered pillar and manufacturing method thereof
US10622326B2 (en) * 2017-08-18 2020-04-14 Industrial Technology Research Institute Chip package structure
US10886263B2 (en) * 2017-09-29 2021-01-05 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Stacked semiconductor package assemblies including double sided redistribution layers
US10396003B2 (en) * 2017-10-18 2019-08-27 Micron Technology, Inc. Stress tuned stiffeners for micro electronics package warpage control
US10510705B2 (en) * 2017-12-29 2019-12-17 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package structure having a second encapsulant extending in a cavity defined by a first encapsulant
TWI697078B (zh) * 2018-08-03 2020-06-21 欣興電子股份有限公司 封裝基板結構與其接合方法
US11139249B2 (en) * 2019-04-01 2021-10-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor devices and methods of forming the same
KR20200121126A (ko) 2019-04-15 2020-10-23 삼성전자주식회사 반도체 패키지
US11217560B2 (en) * 2019-10-28 2022-01-04 Nanya Technology Corporation Die assembly and method of manufacturing the same
US10978338B1 (en) * 2019-11-13 2021-04-13 Nanya Technology Corporation Semiconductor device and manufacture method thereof
CN110854093A (zh) * 2019-11-21 2020-02-28 上海先方半导体有限公司 一种三维叠层封装结构及其制造方法
CN110970397A (zh) * 2019-12-19 2020-04-07 江苏中科智芯集成科技有限公司 一种堆叠封装结构及其制备方法
US11244906B2 (en) * 2020-05-22 2022-02-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor structure and method of fabricating the same
TWI779617B (zh) * 2021-05-19 2022-10-01 邱志威 半導體超薄堆疊結構的製造方法
CN113270327B (zh) * 2021-07-20 2021-12-07 珠海越亚半导体股份有限公司 主被动器件垂直叠层嵌埋封装结构及其制作方法
CN114975235A (zh) * 2021-11-05 2022-08-30 盛合晶微半导体(江阴)有限公司 半导体封装结构及导电tiv通孔的制备方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100649864B1 (ko) * 2000-12-27 2006-11-24 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 및 그 제조방법
US6933598B2 (en) * 2002-10-08 2005-08-23 Chippac, Inc. Semiconductor stacked multi-package module having inverted second package and electrically shielded first package
DE102004041889B4 (de) * 2004-08-30 2006-06-29 Infineon Technologies Ag Halbleitervorrichtung mit gestapelten Halbleiterbauelementen und Verfahren zu deren Herstellung
JP2006222347A (ja) * 2005-02-14 2006-08-24 Toyota Motor Corp 半導体モジュールと半導体モジュールの製造方法
KR101037229B1 (ko) * 2006-04-27 2011-05-25 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법
JP5259059B2 (ja) * 2006-07-04 2013-08-07 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
WO2009045371A2 (en) * 2007-09-28 2009-04-09 Tessera, Inc. Flip chip interconnection with double post
KR101011863B1 (ko) * 2008-12-02 2011-01-31 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 및 그 제조 방법
KR101215271B1 (ko) * 2010-12-29 2012-12-26 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 구조물 및 반도체 패키지 구조물의 제조 방법
US9601463B2 (en) * 2014-04-17 2017-03-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Fan-out stacked system in package (SIP) and the methods of making the same
KR101672622B1 (ko) * 2015-02-09 2016-11-03 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 디바이스 및 그 제조 방법
CN104810332A (zh) * 2015-05-05 2015-07-29 三星半导体(中国)研究开发有限公司 一种扇出晶圆级封装件及其制造方法
US9917072B2 (en) * 2015-09-21 2018-03-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method of manufacturing an integrated stacked package with a fan-out redistribution layer (RDL) and a same encapsulating process
US10163871B2 (en) * 2015-10-02 2018-12-25 Qualcomm Incorporated Integrated device comprising embedded package on package (PoP) device
US9837378B2 (en) * 2015-10-23 2017-12-05 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Fan-out 3D IC integration structure without substrate and method of making the same
US9786614B2 (en) * 2015-11-16 2017-10-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Integrated fan-out structure and method of forming
US10002857B2 (en) * 2016-04-12 2018-06-19 Qualcomm Incorporated Package on package (PoP) device comprising thermal interface material (TIM) in cavity of an encapsulation layer
CN106129022A (zh) * 2016-08-10 2016-11-16 江阴芯智联电子科技有限公司 双向集成芯片重布线埋入式pop封装结构及其制作方法
US10475770B2 (en) * 2017-02-28 2019-11-12 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device having stacked dies and stacked pillars and method of manufacturing thereof
US10649503B2 (en) * 2017-06-29 2020-05-12 Qualcomm Incorporated Device comprising compressed thermal interface material (TIM) and electromagnetic (EMI) shield comprising flexible portion
KR102551034B1 (ko) * 2018-09-07 2023-07-05 삼성전자주식회사 반도체 패키지 및 그 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
TW201834162A (zh) 2018-09-16
KR20220145795A (ko) 2022-10-31
US20200219849A1 (en) 2020-07-09
KR20180099417A (ko) 2018-09-05
CN207338349U (zh) 2018-05-08
TWI763613B (zh) 2022-05-01
US20180247916A1 (en) 2018-08-30
KR102454788B1 (ko) 2022-10-14
TWI749005B (zh) 2021-12-11
KR102586078B1 (ko) 2023-10-10
US10475770B2 (en) 2019-11-12
US11081470B2 (en) 2021-08-03
US20240194649A1 (en) 2024-06-13
KR20230145960A (ko) 2023-10-18
US11848310B2 (en) 2023-12-19
US20220068889A1 (en) 2022-03-03
CN108511428A (zh) 2018-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI763613B (zh) 半導體裝置及其製造方法
US10943858B2 (en) Semiconductor package and fabricating method thereof
US10658347B2 (en) Semiconductor packages and methods of forming the same
TWI710072B (zh) 半導體裝置封裝體及其製造方法
TWI811191B (zh) 半導體裝置及其製造方法
CN107833864B (zh) 封装结构及其形成方法
CN108987380B (zh) 半导体封装件中的导电通孔及其形成方法
TWI749088B (zh) 半導體裝置的製造方法
US20220217847A1 (en) Integrated Circuit Structure
US20220301970A1 (en) Semiconductor package and method of manufacturing semiconductor package
TWI842093B (zh) 半導體裝置及其製造方法
TW202345243A (zh) 半導體裝置及形成沒有基板的系統級封裝模組的方法