TW202118610A - 樹脂材料供給裝置、樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠縮短樹脂材料的供給時間的樹脂材料供給裝置、樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法。樹脂材料供給裝置包括：樹脂收納部，收納樹脂材料；多個樹脂供給部，將樹脂材料供給至一個供給對象物；以及分配器，將從所述樹脂收納部供給的樹脂材料分配給多個所述樹脂供給部。

Description

樹脂材料供給裝置、樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法

本發明有關於一種樹脂材料供給裝置、樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法的技術。

在專利文獻1中公開了一種對作為供給對象物的樹脂材料移送托盤（tray）供給樹脂材料的樹脂材料供給裝置。所述樹脂材料供給裝置包括：樹脂材料保持部，保持樹脂材料；以及料槽（trough），將由樹脂材料保持部保持的樹脂材料供給至樹脂材料移送托盤。藉由所述樹脂材料供給裝置供給至樹脂材料移送托盤的樹脂材料進一步移送至成形模的模腔，來用於樹脂成形品的製造。 [現有技術文獻]

[專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2018-065335號公報

[發明所要解決的問題] 近年來，伴隨樹脂成形品的大型化，向成形模供給樹脂材料所需要的時間變長，從而擔心樹脂成形品的製造效率的劣化。因此，要求縮短樹脂材料的供給時間的技術。但在專利文獻1中未公開如上所述的問題或用於解決所述問題的手段。

本發明是鑒於如上所述的狀況而成，其所要解決的問題在於提供一種能夠縮短樹脂材料的供給時間的樹脂材料供給裝置、樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法。

[解決問題的技術手段] 本發明所要解決的問題如上所述，為了解決所述問題，本發明的樹脂材料供給裝置包括：樹脂收納部，收納樹脂材料；多個樹脂供給部，將樹脂材料供給至一個供給對象物；以及分配器，將從所述樹脂收納部供給的樹脂材料分配給多個所述樹脂供給部。

另外，本發明的樹脂成形裝置包括所述樹脂材料供給裝置。

另外，本發明的樹脂成形品的製造方法使用所述樹脂成形裝置來製造樹脂成形品。

[發明的效果] 根據本發明，可縮短樹脂材料的供給時間。

以下，將圖中的箭頭U、箭頭D、箭頭F、箭頭B、箭頭L及箭頭R所示的方向分別定義為上方向、下方向、前方向、後方向、左方向及右方向來進行說明。

首先，使用圖1對本實施方式的樹脂成形裝置1的結構進行說明。樹脂成形裝置1對半導體晶片等電子零件進行樹脂密封，來製造樹脂成形品。尤其在本實施方式中，例示了採用將模腔內的樹脂材料壓縮並成形的壓縮成形方式（壓縮方式）的樹脂成形裝置1。再者，在本實施方式中假定使用顆粒狀的樹脂材料，但作為樹脂材料，不僅能夠使用顆粒狀的材料，還能夠使用粉末狀或液狀等任意形態的材料。

樹脂成形裝置1包括基板搬入搬出模塊10、基板交接模塊20、成形模塊30、樹脂供給模塊40及控制部50作為結構元件。各結構元件能夠相對於其他結構元件裝卸且能夠更換。

基板搬入搬出模塊10搬入安裝有電子零件的基板P，並且搬出電子零件經樹脂密封的基板P。在本實施方式中，假定使用相對較大型的基板P。例如，基板P形成為一邊為450 mm以上、500 mm以上、或600 mm以上的矩形板狀。基板搬入搬出模塊10主要包括：搬入部11、搬出部12、檢查部13及臂機構14。

搬入部11為配置未經樹脂密封的基板P的部分。搬出部12為配置經樹脂密封的基板P的部分。搬入部11及搬出部12可分別收納多個基板P。

檢查部13為進行經樹脂密封的基板P的檢查的部分。檢查部13包括：載置經樹脂密封的基板P的載置部、對基板P進行檢查的檢查機構（未圖示）等。

臂機構14使基板P移動。臂機構14包括：吸附基板P的吸附手部14a、用來安裝吸附手部14a的臂部14b、使臂部14b適當旋轉或移動的驅動部14c等。

基板交接模塊20為在基板搬入搬出模塊10與後述的成形模塊30之間進行基板P的交接的部分。基板交接模塊20主要包括裝載器21及卸載器22。

裝載器21從臂機構14接收未經樹脂密封的基板P，並搬送至後述的成形模塊30的成形模31。卸載器22從後述的成形模31接收經樹脂密封的基板P，並搬送至基板搬入搬出模塊10。裝載器21及卸載器22可沿著在左右方向上延伸的導軌L移動。在本實施方式中，裝載器21與卸載器22以一體地移動的方式相互連結。

成形模塊30使用從後述的樹脂供給模塊40供給的樹脂材料，來對安裝在基板P的電子零件進行樹脂密封。在本實施方式中，成形模塊30排列兩個而配置。藉由利用兩個成形模塊30並行地進行基板P的樹脂密封，可提高樹脂成形品的製造效率。成形模塊30主要包括成形模31、合模機構（未圖示）等。

成形模31使用熔融的樹脂材料對基板P進行壓縮成形。成形模31包括上下一對模（上模及下模）。在下模形成用來收納樹脂材料的凹狀的模腔（未圖示）。另外，在成形模31設置用於使樹脂材料熔融的加熱器（未圖示）。

樹脂供給模塊40向成形模塊30的成形模31供給樹脂材料。樹脂供給模塊40主要包括：樹脂材料供給裝置100、小拖盤41、小拖盤搬送機構42、大拖盤43及大拖盤搬送機構44。

樹脂材料供給裝置100向後述的小拖盤41供給樹脂材料。樹脂材料供給裝置100以左右排列的方式設置兩個。藉由兩個樹脂材料供給裝置100，可並行地向兩個小拖盤41供給樹脂材料。再者，關於樹脂材料供給裝置100的詳細結構將在後面敘述。

小拖盤41將從樹脂材料供給裝置100接收到的樹脂材料供給至後述的大拖盤43。小拖盤41可在上表面保持樹脂材料。小拖盤41以俯視時的大小成為後述大拖盤43的大小的四分之一左右的方式形成。

小拖盤搬送機構42將小拖盤41搬送至適當的位置。小拖盤搬送機構42可在樹脂材料供給裝置100與大拖盤43之間以使小拖盤41往返的方式搬送小拖盤41。

大拖盤43將從小拖盤41接收到的樹脂材料供給至成形模塊30的成形模31。大拖盤43可在上表面保持樹脂材料。大拖盤43以成為與成形模31的模腔的平面形狀對應的平面形狀（例如，矩形形狀）的方式形成。

大拖盤搬送機構44將大拖盤43搬送至適當的位置。大拖盤搬送機構44可沿著在左右方向上延伸的導軌L移動。

再者，小拖盤41是本發明的供給對象物及樹脂搬送構件的一實施形態。小拖盤41及大拖盤43的詳細結構在後面敘述。

控制部50對樹脂成形裝置1的各模塊的動作進行控制。利用控制部50對基板搬入搬出模塊10、基板交接模塊20、成形模塊30及樹脂供給模塊40的動作進行控制。另外，可使用控制部50任意地變更（調整）各模塊的動作。

接著，對如上所述那樣構成的樹脂成形裝置1的動作（樹脂成形品的成形方法）的概要進行說明。

首先，配置在搬入部11的未經樹脂密封的基板P藉由臂機構14搬送至裝載器21。

接著，裝載器21沿著導軌L移動，將基板P搬送至其中一個成形模塊30。搬送至成形模塊30的基板P吸附並保持在成形模31的上模。

接著，以覆蓋成形模31的下模的方式配置離型膜。

接著，從樹脂供給模塊40向成形模塊30的成形模31供給樹脂材料。此處，在樹脂供給模塊40中，預先從樹脂材料供給裝置100供給的樹脂材料經由小拖盤41而供給至大拖盤43。由於小拖盤41以成為大拖盤43的四分之一左右的大小的方式形成，因此利用共計四個小拖盤41向大拖盤43整體大致均勻地供給樹脂材料。

藉由使大拖盤搬送機構44沿著導軌L移動，將保持有樹脂材料的大拖盤43搬送至成形模塊30的成形模31。其後，將大拖盤43的樹脂材料供給至成形模31（下模）的模腔。大拖盤搬送機構44向成形模31供給樹脂材料之後，返回至樹脂供給模塊40。

接著，利用成形模31的加熱器將樹脂材料熔融。其後，藉由所述合模機構而下模與上模相互接近（合模），基板P的電子零件浸漬於樹脂材料。在此狀態下，對樹脂材料適當施加壓力。藉由在所述狀態下樹脂材料硬化，可獲得電子零件經樹脂密封的基板P。

接著，藉由所述合模機構而下模與上模相互分離（開模）。另外，卸載器22沿著導軌L移動，從成形模31接收電子零件經樹脂密封的基板P。此時，可利用與卸載器22一起移動的裝載器21將新的基板P配置在成形模31。其後，卸載器22沿著導軌L移動，並返回至基板交接模塊20。

接著，由卸載器22保持的基板P藉由臂機構14搬送至檢查部13。在檢查部13中，進行電子零件經樹脂密封的基板P的檢查。

接著，檢查結束後的基板P藉由臂機構14搬送至搬出部12。配置在搬出部12的基板P被適當搬出至外部。

如上所述，藉由對安裝在基板P的電子零件進行樹脂密封，可製造樹脂成形品。再者，在所述的動作說明中省略了說明，但在本實施方式的樹脂成形裝置1中，可利用設置有兩個的成形模塊30，並行地進行基板P的樹脂密封。具體而言，在利用其中一個成形模塊30進行樹脂密封（樹脂材料的熔融、或對基板P的按壓等）時，可向另一個成形模塊30供給樹脂材料，或進行基板P的樹脂密封。如此，可效率良好地製造樹脂成形品（電子零件經樹脂密封的基板P）。

以下，使用圖2至圖8對樹脂供給模塊40的樹脂材料供給裝置100進行具體說明。

如圖2所示，樹脂材料供給裝置100在樹脂供給模塊40的框體40a內以左右排列兩個的方式設置。兩個樹脂材料供給裝置100除了左右大致對稱地配置這一點以外，具有相互大致相同的結構。因此，以下，對其中一個（右側）的樹脂材料供給裝置100的結構進行具體說明，省略另一個（左側）的樹脂材料供給裝置100的結構的說明。

如圖3及圖4所示，樹脂材料供給裝置100主要包括儲料器110、第一振動部120、料槽130、第二振動部140、重量計150及分配器160。再者，在圖3及圖4中，用陰影線表示收納在儲料器110及料槽130的樹脂材料。

儲料器110收納樹脂材料，並將其供給至後述的料槽130。再者，儲料器110是本發明的樹脂收納部的一實施形態。儲料器110主要包括收納部111及供給部112。

收納部111是收納樹脂材料的部分。收納部111以在內部能夠收納樹脂材料的方式形成為中空狀。在收納部111的上部形成有用於將樹脂材料供給至內部的開口部（未圖示）。在適當的時機向收納部111供給（補充）樹脂材料。

供給部112是將收納在收納部111的樹脂材料供給至後述的料槽130的部分。供給部112以樹脂材料能夠在內部移動的方式形成為中空狀。供給部112以從收納部111的一側面的下部向後述的分配器160的上方延伸的方式形成。在供給部112的前端部（左端部）附近，設置用於將供給部112的內部的樹脂材料向下方排出的供給口112a。

第一振動部120用於從儲料器110排出樹脂。第一振動部120設置在儲料器110的下部，可使儲料器110振動。第一振動部120藉由使儲料器110振動，可使收納部111內的樹脂材料移動至供給部112，並使其從供給口112a向下方排出。

料槽130收納樹脂材料，並將其供給至小拖盤41。再者，料槽130是本發明的樹脂供給部的一實施形態。如圖3所示，料槽130在儲料器110的下方以左右排列兩個的方式（在俯視時，為隔著儲料器110的供給口112a而左右對稱的位置）配置。料槽130主要包括收納部131及供給部132。

收納部131是收納樹脂材料的部分。收納部131以在內部能夠收納樹脂材料的方式形成為中空狀。在收納部131的上部形成有用於將樹脂材料供給至內部的開口部（未圖示）。

供給部132是將收納在收納部131的樹脂材料供給至小拖盤41的部分。供給部132以樹脂材料能夠在內部移動的方式形成為中空狀。供給部132以從收納部131的一側面的下部向單方向（後方）延伸的方式形成。在供給部132的前端部（後端部）附近設置用於將供給部132的內部的樹脂材料向下方排出的供給口132a。

再者，兩個料槽130配置在相互在某種程度上接近的位置，以便可同時對一個小拖盤41供給樹脂材料。具體而言，兩個料槽130（尤其是供給口132a）以左右方向上的間隔成為小拖盤41的左右寬度的大約二分之一的方式配置。

圖4所示的第二振動部140用於從料槽130排出樹脂。第二振動部140設置在料槽130的下部，可使料槽130振動。第二振動部140藉由使料槽130振動，可使收納部131內的樹脂材料移動至供給部132，並使其從供給口132a向下方排出。

重量計150用於測定收納在料槽130的樹脂材料的重量。重量計150設置在第二振動部140的下部，可測定料槽130及第二振動部140的重量。由於料槽130及第二振動部140的重量是已知的，因此，藉由從重量計150的測定值減去料槽130及第二振動部140的重量，可測定收納在料槽130的樹脂材料的重量。

第二振動部140及重量計150分別設置在兩個料槽130。

圖3至圖5所示的分配器160用於將從儲料器110供給的樹脂材料分配給兩個料槽130。分配器160配置在儲料器110的供給口112a的下方。分配器160主要包括框體161、引導部162、切換構件163、及致動器164。

框體161收納後述的引導部162及切換構件163。框體161形成為大致長方體狀。框體161以在內部能夠收納引導部162及切換構件163的方式形成為中空狀。在框體161的上表面形成有上部開口部161a，所述上部開口部161a用於供從上方（儲料器110）供給的樹脂材料流入至框體161的內部。在框體161的底面形成底部開口部161b，所述底部開口部161b用於供框體161的內部的樹脂材料向下方（料槽130）流出。

圖5的（a）、圖5的（b）所示的引導部162是將供給至框體161的樹脂材料引導至兩個料槽130的部分。引導部162形成為在正面觀察時左右對稱的梯形狀（等腰梯形狀）。引導部162具有從上表面朝向右下方傾斜的第一引導面162a及從上表面朝向左下方傾斜的第二引導面162b。引導部162設置在框體161的下部的左右中央部。底部開口部161b的左右中央部被引導部162堵塞，底部開口部161b被分成左右兩部分。

切換構件163是切換供給至框體161的樹脂材料的供給方向的部分。切換構件163主要包括引導板163a及擺動軸163b。

引導板163a是將樹脂材料向規定的方向引導的構件。引導板163a形成為具有與框體161的前後寬度大致相同的前後寬度的板狀。

擺動軸163b是成為引導板163a的擺動中心的構件。擺動軸163b使長度方向朝向前後而配置。擺動軸163b固定在引導板163a的底面的左右中央部。

切換構件163配置在引導部162的上方。具體而言，切換構件163配置成從上方覆蓋引導部162的上表面。藉由如上所述那樣配置，可防止塵埃（樹脂材料的粉末等）堆積於引導部162的上表面（水平的面）。

圖3及圖4所示的致動器164是用於使切換構件163擺動的驅動源。作為致動器164，可使用能夠使輸出軸旋轉任意的角度的伺服馬達等。致動器164固定在框體161的前表面。致動器164連結於切換構件163的擺動軸163b。致動器164藉由使擺動軸163b旋轉任意的角度，可任意地變更引導板163a的傾斜角度。

具體而言，致動器164藉由使擺動軸163b在正面觀察時順時針旋轉適當的角度，可將引導板163a切換為從左上方朝向右下方傾斜那樣的姿勢（右下的姿勢）（參照圖5的（a））。在所述狀態下，從上部開口部161a供給至框體161內的樹脂材料在引導板163a之上向右下方滑落，並被引導至引導部162的第一引導面162a。被引導至第一引導面162a的樹脂材料進一步在第一引導面162a之上向右下方滑落，並從底部開口部161b的右端部向下方排出。從底部開口部161b的右端部排出的樹脂材料被供給至右側的料槽130（參照圖3）。再者，以下為了便於說明，將所述切換構件163的姿勢稱為“右側供給姿勢”。

另外，致動器164藉由使擺動軸163b在正面觀察時逆時針旋轉適當的角度，可將引導板163a切換為從右上方朝向左下方傾斜那樣的姿勢（左下的姿勢）（參照圖5的（b））。在所述狀態下，從上部開口部161a供給至框體161內的樹脂材料在引導板163a之上向左下方滑落，並被引導至引導部162的第二引導面162b。被引導至第二引導面162b的樹脂材料進一步在第二引導面162b之上向左下方滑落，並從底部開口部161b的左端部向下方排出。從底部開口部161b的左端部排出的樹脂材料被供給至左側的料槽130（參照圖3）。再者，以下為了便於說明，將所述切換構件163的姿勢稱為“左側供給姿勢”。

接著，使用圖6及圖7對將從樹脂材料供給裝置100接收的樹脂材料供給至成形模塊30的小拖盤41及大拖盤43進行具體說明。再者，圖6及圖7是用於說明各構件的結構的示意性的圖，圖示的各構件的相對位置關係與實際的位置關係不同。另外，在圖6及圖7以外的圖中，簡化小拖盤41的形狀而圖示。

小拖盤41主要包括樹脂保持部41a及擋板41b。

樹脂保持部41a是保持樹脂材料的部分。樹脂保持部41a形成為俯視時大致正方形的板狀。在樹脂保持部41a，以前後排列多個的方式形成有左右延伸的狹縫41c。

擋板41b是能夠從下方阻塞樹脂保持部41a的狹縫41c的部分。擋板41b形成為俯視時大致正方形的板狀。在擋板41b，以與樹脂保持部41a的狹縫41c對應的方式形成有狹縫41d。即，擋板41b的狹縫41d形成為左右延伸，並且前後排列多個。另外，擋板41b的狹縫41d的前後間隔以成為與樹脂保持部41a的狹縫41c的前後間隔相同的方式形成。擋板41b配置在樹脂保持部41a的靠近其的下方。擋板41b可藉由未圖示的移動機構相對於樹脂保持部41a前後相對地移動。

如圖6所示，在擋板41b的狹縫41d與樹脂保持部41a的狹縫41c不上下相向的情況下，樹脂保持部41a的狹縫41c被擋板41b從下方阻塞。在所述狀態下，可將樹脂材料保持在小拖盤41的上表面（具體而言，樹脂保持部41a的狹縫41c內）。另外，藉由使擋板41b移動，使樹脂保持部41a的狹縫41c與擋板41b的狹縫41d相向，可將保持在樹脂保持部41a的狹縫41c內的樹脂材料向下方排出。從小拖盤41排出的樹脂材料被供給至後述的大拖盤43的收納部43b。

大拖盤43主要包括框構件43a及收納部43b。

框構件43a是支撐收納部43b的構件。框構件43a形成為俯視時大致正方形的框狀。即，框構件43a形成為在俯視時大致中央部開口。

收納部43b是收納樹脂材料的部分。收納部43b形成為大致圓柱狀。收納部43b使長度方向朝向左右，配置在框構件43a的內側（開口部分）。收納部43b的左右兩端部以能夠相對於框構件43a轉動的方式受到支撐。在收納部43b的側面形成能夠收納樹脂材料的槽43c。槽43c以沿著收納部43b的長度方向延伸的方式形成。收納部43b以前後排列多個的方式設置。鄰接的收納部43b彼此的前後間隔（間距）以成為與小拖盤41的狹縫41c的前後間隔（間距）相同的方式形成。收納部43b可藉由未圖示的驅動機構相對於框構件43a轉動任意的角度。

如圖6所示，在收納部43b的槽43c朝向上方的情況下，可在槽43c的內部收納樹脂材料。另外，藉由使收納部43b轉動，使槽43c朝向下方，可將收納在槽43c內的樹脂材料向下方排出。

此處，小拖盤41的狹縫41c的左右長度以成為大拖盤43的收納部43b（槽43c）的左右長度的大約一半的方式形成。另外，小拖盤41的狹縫41c的個數以成為大拖盤43的收納部43b的個數的一半的方式形成。如此，小拖盤41的俯視時的大小以成為大拖盤43的大小的四分之一左右的方式形成。因此，為了使用小拖盤41向大拖盤43的收納部43b整體供給樹脂材料，需要使用合計四個小拖盤41。

接著，對如上所述那樣構成的樹脂材料供給裝置100的動作（用於將樹脂材料從儲料器110經由料槽130而供給至小拖盤41的動作）進行說明。

在藉由重量計150檢測到收納在料槽130的樹脂材料的重量低於規定值的情況下，利用控制部50對第一振動部120及分配器160的動作進行控制，對料槽130供給樹脂材料。

例如，在收納在圖3所示的兩個料槽130的樹脂材料的重量均低於規定值的情況下，對致動器164進行控制，來將切換構件163的姿勢切換為右側供給姿勢或左側供給姿勢中的任一者（例如，圖5的（a）所示的右側供給姿勢）。

在所述狀態下，第一振動部120工作，從而將樹脂材料從儲料器110的供給口112a排出。所述樹脂材料經由上部開口部161a而供給至分配器160的框體161內。進而，所述樹脂材料由引導板163a及引導部162（第一引導面162a）引導，並被供給至右側的料槽130。

當藉由重量計150檢測到收納在右側的料槽130的樹脂材料的重量超過規定值時，第一振動部120停止，從而將樹脂材料從儲料器110向分配器160的供給停止。其後，對致動器164進行控制，來將切換構件163的姿勢切換為右側供給姿勢或左側供給姿勢中的另一者（例如，圖5的（b）所示的左側供給姿勢）。再者，為了簡化控制，也可在使第一振動部120工作的狀態下（不使其停止）而切換切換構件163的姿勢。

在所述狀態下，第一振動部120再次工作，從而將樹脂材料從儲料器110的供給口112a排出。所述樹脂材料經由上部開口部161a而供給至分配器160的框體161內。進而，所述樹脂材料由引導板163a及引導部162（第二引導面162b）引導，並被供給至左側的料槽130。

當藉由重量計150檢測到收納在左側的料槽130的樹脂材料的重量超過規定值時，第一振動部120停止，從而將樹脂材料從儲料器110向分配器160的供給停止。

如此，當收納在料槽130的樹脂材料的重量低於規定值時，收納在儲料器110內的樹脂材料被自動地供給至料槽130。由此，在料槽130內始終收納規定值以上的重量的樹脂材料。

再者，在所述說明中，假定收納在兩個料槽130的樹脂材料的重量均低於規定值的情況進行了說明，但在僅收納在任一個料槽130的樹脂材料的重量低於規定值的情況下，也可對所述料槽130大致同樣地供給樹脂材料。

即，在收納在右側的料槽130的樹脂材料的重量低於規定值的情況下，在切換構件163的姿勢被切換為右側供給姿勢（參照圖5的（a））的狀態下，將樹脂材料從儲料器110供給至分配器160。另外，在收納在左側的料槽130的樹脂材料的重量低於規定值的情況下，在切換構件163的姿勢被切換為左側供給姿勢（參照圖5的（b））的狀態下，將樹脂材料從儲料器110供給至分配器160。

以如上所述方式收納在左右的料槽130的樹脂材料在適當的時機被供給至小拖盤41。以下，進行具體說明。

如圖8的（a）所示，在向小拖盤41供給樹脂材料的情況下，藉由小拖盤搬送機構42（參照圖1），被供給樹脂材料之前的小拖盤41向兩個料槽130的下方移動。此時，調節小拖盤41的位置，以使得兩個料槽130的供給口132a位於規定的開始位置S的正上方。

接著，第二振動部140工作，從而將樹脂材料分別從兩個料槽130的供給口132a供給至小拖盤41。對第二振動部140的動作進行控制，以使從料槽130供給至小拖盤41的樹脂材料的流速（每單位時間的供給重量）大致一定。

另外，在第二振動部140的工作的同時，開始小拖盤41向水平方向的移動。具體而言，藉由小拖盤搬送機構42而小拖盤41向前後及左右適當移動。小拖盤搬送機構42使小拖盤41移動，以使得兩個料槽130的供給口132a藉由小拖盤41的一半（前半部分）的區域。另外，小拖盤搬送機構42使小拖盤41移動，以使得兩個料槽130的供給口132a最終返回到開始位置S的正上方。在圖8的（a）中示出了兩個料槽130的相對於小拖盤41的相對的移動軌跡的一例。

當兩個料槽130的供給口132a返回到開始位置S的正上方時，第二振動部140停止，從而將樹脂材料從料槽130向小拖盤41的供給停止。

如此，向小拖盤41的一半（前半部分）的區域供給樹脂材料（參照圖8的（b））。在圖8的（a）～圖8的（d）中，用陰影示出了供給有樹脂材料的區域。再者，藉由利用料槽130進行的一次樹脂材料的供給（從第二振動部140工作到停止為止的樹脂材料的供給），對供給至小拖盤41的樹脂材料的重量進行控制，以使其成為預先設定的目標值（目標供給量）。具體而言，藉由適當對第二振動部140及小拖盤搬送機構42的動作進行控制，目標供給量的樹脂材料被供給至小拖盤41。

接著，藉由小拖盤搬送機構42而小拖盤41的前後朝向反轉（參照圖8的（c）），從兩個料槽130向小拖盤41的未供給有樹脂材料的剩餘一半的區域供給樹脂材料（參照圖8的（d））。在此情況下，也沿著圖8的（a）所示那樣的移動軌跡使小拖盤41移動，同時將樹脂材料從料槽130供給至小拖盤41。如此，在對一個小拖盤41供給樹脂材料的情況下，使小拖盤41的前後方向反轉，分為兩次供給樹脂材料。

在本實施方式中，藉由設為使用多個（兩個）料槽130將樹脂材料供給至一個小拖盤41的結構，可縮短向小拖盤41供給樹脂材料的供給時間。

再者，如本實施方式那樣，在並非使用多個料槽130，而是使用一個料槽130來縮短向小拖盤41供給樹脂材料的供給時間的情況下，考慮使從料槽130供給至小拖盤41的樹脂材料的流速的方法。然而，為此有時需要料槽130的大型化，從而不較佳。另外，伴隨於此，樹脂材料的供給量的控制的精度（例如，重量計150的測定精度、利用料槽130進行的樹脂材料的流速的精度）有可能下降，在這一點上也不較佳。相對於此，在本實施方式中，藉由使用多個料槽130，來抑制各個料槽130的大型化、樹脂材料的供給量的控制的精度的下降。

進而，在本實施方式中，在樹脂供給模塊40設置有兩個樹脂材料供給裝置100（參照圖1及圖2）。由此，可對兩個小拖盤41並行地供給樹脂材料，因此可縮短向大拖盤43及成形模31供給樹脂材料的供給時間，進而可實現利用樹脂成形裝置1進行的樹脂成形品的製造的效率化。

如上所述那樣供給至小拖盤41的樹脂材料經由大拖盤43供給至成形模31的模腔。以下，進行具體說明。

保持有樹脂材料的小拖盤41藉由小拖盤搬送機構42向大拖盤43的上方移動（參照圖6）。其後，藉由使小拖盤41的擋板41b相對於樹脂保持部41a相對地移動，樹脂保持部41a的狹縫41c打開，將樹脂材料從小拖盤41供給至大拖盤43。供給至大拖盤43的樹脂材料收納在收納部43b的槽43c內。

此處，如上文所述，小拖盤41形成為大拖盤43的大小的四分之一左右。因此，如圖7所示，分別對在俯視時，將大拖盤43四等分而得到的四個區域（參照圖7的雙點劃線）供給來自小拖盤41的樹脂材料。即，從合計四個小拖盤41向大拖盤43供給樹脂材料。

收納有樹脂材料的大拖盤43藉由大拖盤搬送機構44搬送至成形模塊30的成形模31的上方。其後，大拖盤43的收納部43b上下反轉，將樹脂材料從大拖盤43供給至成形模31的模腔。

此時，在大拖盤43與成形模31的模腔之間配置圖6所示那樣的擴散板31a。在擴散板31a設置多個貫通孔。另外，擴散板31a可藉由未圖示的驅動機構進行振動。從大拖盤43落下的樹脂材料被振動的擴散板31a擴散。由此，可實現成形模31的模腔內的樹脂材料的均勻化。

接著，對用於實現利用如上所述那樣構成的樹脂材料供給裝置100進行的樹脂供給量的精度的提高的控制的一例進行說明。

如上所述，在本實施方式中，樹脂材料供給裝置100使用兩個料槽130向一個小拖盤41供給樹脂材料（參照圖8的（a）～圖8的（d））。另外，樹脂成形裝置1包括兩個樹脂材料供給裝置100（參照圖2）。即，本實施方式的樹脂成形裝置1可使用四個料槽130，向兩個小拖盤41同時供給樹脂材料。

另外，在本實施方式中，從合計四個小拖盤41向大拖盤43供給樹脂材料（參照圖7）。另外，樹脂材料供給裝置100分為兩次將樹脂材料供給至小拖盤41（參照圖8的（a）～圖8的（d））。

若對這些進行總結，則如圖9所示，在本實施方式中，在向一個大托盤43供給樹脂材料的情況下，四個料槽130（在圖9中，為了區別四個料槽130，標記為料槽（1）～料槽（4））將樹脂材料向小托盤41分別供給四次。

如此，若使用多個料槽130進行多次的樹脂材料的供給，則樹脂材料的供給量的誤差累積，而有向大托盤43供給的樹脂材料的總供給量與目標值（目標總供給量）大不相同的可能性。因此，在本實施方式中，假定進行用於將樹脂材料的總供給量的誤差抑制得小的控制。以下，使用圖9對所述控制的具體例進行說明。再者，圖9所示的數值是為了說明本控制而方便起見設定的值，並不限定實際上進行本控制時的值。

在圖9中示出了從料槽130供給至小托盤41的樹脂材料的重量的目標值、及實際上所供給的樹脂材料的重量的一例。具體而言，在圖9中，作為目標值，示出了各料槽130的第一次至第四次為止的樹脂材料供給中的目標供給量、及藉由基於四個料槽130的四次的樹脂供給而供給的樹脂材料的目標總重量（應向一個大托盤43供給的樹脂材料的重量的目標值）。另外，在各目標值下方的欄中示出了實際的樹脂材料的供給量。

在圖9所示的例子中，是將藉由基於四個料槽130的四次的樹脂材料的供給而供給總計160.0 g的樹脂材料作為目標。

在藉由樹脂材料供給裝置100供給樹脂材料的情況下，首先設定向小托盤41供給的樹脂材料的目標值（目標供給量）。每一次的樹脂材料的供給的目標值藉由目標總供給量（160.0 g）除以基於料槽130的樹脂供給的合計次數來決定。在本例中，四個料槽130各供給四次樹脂材料，因此基於料槽130的樹脂材料的合計次數為16次。因此，各料槽130的每一次的目標供給量為10.0 g。

接著，實際上進行第一次的樹脂材料的供給。在圖9所示的例子中，根據第一次目標供給量（10.0 g）將樹脂材料從料槽130供給至小托盤41，結果在料槽（1）及料槽（2）中相對於目標供給量產生誤差（參照第一次供給量）。

因此，第二次目標供給量被修正為消除在第一次的樹脂材料的供給中產生的誤差那樣的值。例如，在基於料槽（1）的第一次的樹脂材料的供給中，產生+0.1 g的誤差。因此，作為第二次目標供給量，設定從最初計算出的目標供給量（10.0 g）減去0.1 g而得的值（即，9.9 g）。若藉由第二次的樹脂材料的供給可供給第二次目標供給量（9.9 g）的樹脂材料，則第一次與第二次的供給量的平均值為10.0 g。即，可消除在第一次的樹脂材料的供給中產生的誤差。

在圖9中，關於料槽（2），也示出了第二次目標供給量被修正為10.2 g的例子。

接著，實際上進行第二次的樹脂材料的供給。如圖9所示，根據第二次目標供給量將樹脂材料從料槽130供給至小托盤41，結果在料槽（1）及料槽（2）中相對於目標供給量產生誤差（參照第二次供給量）。

因此，與第二次目標供給量同樣地，第三次目標供給量被修正為消除在第二次的樹脂材料供給中產生的誤差那樣的值。例如，在基於料槽（1）的第二次的樹脂材料的供給中，產生+0.2 g的誤差。因此，作為第三次目標供給量，設定從最初計算出的目標供給量（10.0 g）減去0.2 g而得的值（即，9.8 g）。若藉由第三次的樹脂材料的供給可供給第三次目標供給量（9.8 g）的樹脂材料，則從第一次至第三次為止的供給量的平均值為10.0 g。即，可消除在第一次及第二次的樹脂材料的供給中產生的誤差。

在圖9中，關於料槽（2），也示出了第三次目標供給量被修正為10.2 g的例子。另外，關於第四次的樹脂材料的供給，也與第二次及第三次同樣地，適當進行目標供給量的修正。

如此，在第二次以後的各次的樹脂材料的供給時，藉由進行對基於各料槽130的樹脂材料的目標供給量進行修正的控制（以下，將所述控制稱為“各次修正控制”），可將相對於目標總供給量的誤差抑制得小。

進而，在本實施方式中，在最後（第四次）的樹脂材料的供給中，使用任一個料槽130（在圖9的例子中為料槽（4））來進行進一步將誤差抑制得小的控制。

即，即使如上所述那樣進行各次校正控制，也有實際的供給量產生誤差的可能性。因此，在進行最後（第四次）的樹脂材料的供給的情況下，進行調節基於至少一個料槽130（在本例中為料槽（4））的樹脂材料的供給量，來消除誤差的控制。

具體而言，在進行最後（第四次）的樹脂材料的供給的情況下，使基於料槽（4）的樹脂材料的供給的完成比基於其他的料槽（1）～料槽（3）的樹脂材料的供給的完成延遲。然後，在掌握了基於料槽（1）～料槽（3）的實際的樹脂材料供給量的基礎上，以第一次～第四次為止的樹脂材料的總供給量成為目標總供給量（160.0 g）的方式調節基於料槽（4）的樹脂材料的供給量。在圖9的例子中，示出了儘管設定了目標供給量（10.0 g），但是基於料槽（4）的第四次的樹脂材料的供給量被調節為10.4 g的例子。

如此，在進行最後（第四次）的樹脂材料的供給時，藉由進行調節基於至少一個料槽130的樹脂材料的供給量的控制（以下，將所述控制稱為“最終修正控制”），可將相對於目標總供給量的誤差抑制得小。

此外，在圖9的例子中，示出了藉由兩個控制（各次修正控制及最終修正控制）來抑制誤差的例子，但也可僅進行其中任一個控制。另外，在誤差足夠小至可容許的程度的情況下，也可未必進行各次修正控制及最終修正控制。

如上所述，本實施方式的樹脂材料供給裝置100包括： 樹脂收納部（儲料器110），收納樹脂材料； 多個樹脂供給部（料槽130），將樹脂材料供給至一個供給對象物（小拖盤41）；以及 分配器160，將從所述樹脂收納部供給的樹脂材料分配給多個所述樹脂供給部。

藉由如上所述那樣構成，可縮短樹脂材料的供給時間。即，可藉由多個料槽130將樹脂材料供給至小拖盤41，因此可縮短向小拖盤41供給樹脂材料的供給時間。另外，與使用單個料槽130的情況相比，不需要使料槽130大型化、或使料槽130單體的樹脂材料的流速增加，因此也可防止樹脂材料的供給量的精度的下降。

另外，所述分配器160向從多個所述樹脂供給部擇一地選擇的所述樹脂供給部供給樹脂材料。

藉由如上所述那樣構成，可容易管理向樹脂供給部（料槽130）供給的樹脂材料的量。即，並非集中向多個料槽130供給樹脂材料而是各別地供給樹脂材料，由此可供給適合於各料槽130的量的樹脂材料。

另外，所述分配器160包括切換構件163，所述切換構件163切換從所述樹脂收納部供給的樹脂材料的供給方向。

藉由如上所述那樣構成，可藉由簡單的構成進行樹脂材料的分配。

另外，所述分配器160還包括切換所述切換構件163的傾斜度的致動器164。

藉由如上所述那樣構成，可容易地進行樹脂材料的供給方向的切換。

另外，所述分配器160包括將樹脂材料引導至所述樹脂供給部（料槽130）的引導部162。

藉由如上所述那樣構成，可順利地將樹脂材料供給至樹脂供給部。尤其是在本實施方式中，可使用兩個斜面（第一引導面162a及第二引導面162b）將因自重而落下的樹脂材料引導至兩個樹脂供給部（料槽130），因此可藉由簡單的結構將樹脂材料引導至料槽130。

另外，所述供給對象物是搬送樹脂材料的樹脂搬送構件（小拖盤41）。

藉由如上所述那樣構成，可縮短樹脂材料的搬送時間。

另外，本實施方式的樹脂成形裝置1包括所述樹脂材料供給裝置100。

藉由如上所述那樣構成，可縮短樹脂材料的供給時間。另外，伴隨於此，可有效地進行樹脂成形品的製造。

另外，樹脂成形裝置1包括多個所述樹脂材料供給裝置100。

藉由如上所述那樣構成，可進一步縮短樹脂材料的供給時間。另外，伴隨於此，可有效地進行樹脂成形品的製造。

另外，本實施方式的樹脂成形品的製造方法使用所述樹脂成形裝置1來製造樹脂成形品。

藉由如上所述那樣構成，可縮短樹脂材料的供給時間。另外，伴隨於此，可有效地進行樹脂成形品的製造。

以上，對本發明的實施方式進行了說明，但本發明並不限定於所述實施方式，能夠在發明申請專利範圍中所記載的發明的技術思想的範圍內進行適當的變更。

例如，在本實施方式中，例示了壓縮方式的樹脂成形裝置1，但本發明並不限於此，也能夠採用其他方式（例如，將熔融的樹脂移送至模腔內並使其硬化的傳送方式等）。

另外，本實施方式的樹脂成形裝置1所使用的結構元件（基板搬入搬出模塊10等）為一例，能夠適當進行裝卸或更換。例如，也能夠不設置基板搬入搬出模塊10，作業者藉由手動進行基板P的搬入搬出。

另外，在本實施方式中，例示了矩形板狀的基板P，但本發明並不限於此，能夠使用其他各種形狀（例如，圓形板狀等）的基板P。

另外，在本實施方式中，作為樹脂材料供給裝置100供給樹脂材料的對象（供給對象物），例示了搬送樹脂材料的小拖盤41，但本發明並不限於此。例如，供給對象物也可為搬送樹脂材料的其他樹脂搬送構件（例如，大拖盤43等）。另外，供給對象物並不限於樹脂搬送構件。例如，供給對象物也可為成形模31的模腔或其他構件、容器等。

另外，在本實施方式中所示的小拖盤41及大拖盤43的結構為一例，能夠變更為能夠搬送樹脂材料的適當的結構。

另外，在本實施方式中，作為分配器160的致動器164，列舉了伺服馬達為例，但本發明並不限於此，也能夠使用其他各種致動器。例如，作為致動器164，也可使用氣缸等。

另外，在本實施方式中，示出了使用致動器164來使切換構件163運行的例子，但本發明並不限於此。例如，也能夠不使用致動器164而藉由手動使切換構件163運行。

另外，在本實施方式中，例示了板狀的切換構件163（引導板163a），但本發明並不限於此，能夠使用各種形狀的切換構件163。即，切換構件163只要可切換樹脂材料的供給方向即可，例如也能夠使用具有適當的立體的形狀（多邊形形狀）的構件。

另外，在本實施方式中，設為分配器160向擇一地選擇的料槽130供給樹脂材料，但本發明並不限於此。即，分配器160可同時（並行地）對多個料槽130供給樹脂材料。

另外，在本實施方式中，例示了包括兩個料槽130（樹脂供給部）的樹脂材料供給裝置100，但本發明並不限於此，也可包括三個以上的料槽130。

另外，設為本實施方式的樹脂成形裝置1包括兩個樹脂材料供給裝置100，但本發明並不限於此，也可包括一個或三個以上的樹脂材料供給裝置100。

另外，在本實施方式中，設為利用單個控制部50對各模塊的動作進行控制，但本發明並不限於此，也能夠設置多個控制部50。例如，也能夠針對各模塊或各裝置設置控制部50，使各模塊等的動作相互聯動，同時各別地進行控制。

1:樹脂成形裝置 10:基板搬入搬出模塊 11:搬入部 12:搬出部 13:檢查部 14:臂機構 14a:吸附手部 14b:臂部 14c:驅動部 20:基板交接模塊 21:裝載器 22:卸載器 30:成形模塊 31:成形模 31a:擴散板 40:樹脂供給模塊 40a、161:框體 41:小拖盤 41a:樹脂保持部 41b:擋板 41c、41d:狹縫 42:小拖盤搬送機構 43:大拖盤 43a:框構件 43b、111、131:收納部 43c:槽 44:大拖盤搬送機構 50:控制部 100:樹脂材料供給裝置 110:儲料器 112、132:供給部 112a、132a:供給口 120:第一振動部 130:料槽 140:第二振動部 150:重量計 160:分配器 161a:上部開口部 161b:底部開口部 162:引導部 162a:第一引導面 162b:第二引導面 163:切換構件 163a:引導板 163b:擺動軸 164:致動器 L:導軌 P:基板 S:開始位置

圖1是表示本發明一實施方式的樹脂成形裝置的整體結構的平面示意圖。 圖2是表示本發明一實施方式的樹脂材料供給裝置設置在樹脂供給模塊的狀態的前視圖。 圖3是表示樹脂材料供給裝置的前視圖。 圖4是表示樹脂材料供給裝置的側視圖。 圖5的（a）是表示切換構件切換為右側供給姿勢的狀態的分配器的前視剖面圖。圖5的（b）是表示切換構件切換為左側供給姿勢的狀態的分配器的前視剖面圖。 圖6是表示小拖盤、大拖盤及擴散板的結構的側視剖面圖。 圖7是表示小拖盤及大拖盤的結構的平面圖。 圖8的（a）是表示料槽相對於小拖盤的移動軌跡的平面圖。圖8的（b）是表示將樹脂材供給至小拖盤的一半的情況的平面圖。圖8的（c）是表示小拖盤反轉的情況的平面圖。圖8的（d）表示將樹脂材料供給至小拖盤的整個區域的情況的平面圖。 圖9是藉由各次修正控制及最終修正控制而供給樹脂材料的結果的一例的圖。

41:小拖盤

100:樹脂材料供給裝置

110:儲料器

111:收納部

112:供給部

112a、132a:供給口

120:第一振動部

130:料槽

131:收納部

160:分配器

161:框體

164:致動器

Claims (9)

1. 一種樹脂材料供給裝置，包括： 樹脂收納部，收納樹脂材料； 多個樹脂供給部，將樹脂材料供給至一個供給對象物；以及 分配器，將從所述樹脂收納部供給的樹脂材料分配給多個所述樹脂供給部。
2. 如請求項1所述的樹脂材料供給裝置，其中 所述分配器向從多個所述樹脂供給部擇一地選擇的所述樹脂供給部供給樹脂材料。
3. 如請求項1或請求項2所述的樹脂材料供給裝置，其中 所述分配器包括切換構件，所述切換構件切換從所述樹脂收納部供給的樹脂材料的供給方向。
4. 如請求項3所述的樹脂材料供給裝置，其中 所述分配器還包括切換所述切換構件的傾斜度的致動器。
5. 如請求項1或請求項2所述的樹脂材料供給裝置，其中 所述分配器包括將樹脂材料引導至所述樹脂供給部的引導部。
6. 如請求項1或請求項2所述的樹脂材料供給裝置，其中 所述供給對象物是搬送樹脂材料的樹脂搬送構件。
7. 一種樹脂成形裝置，包括如請求項1至請求項6中任一項所述的樹脂材料供給裝置。
8. 如請求項7所述的樹脂成形裝置，包括多個所述樹脂材料供給裝置。
9. 一種樹脂成形品的製造方法，使用如請求項7或請求項8所述的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品。

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