TW202106621A - 硫化羰的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之目的在於提供能夠在不使用觸媒下以氣相流通方式製造硫化羰的製造方法。本發明係一種硫化羰的製造方法，其包含使包含由CS2 與選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種而成之起始物的原料氣體，在連續流通之狀態下放電，隨後釋出至放電區域外。

Description

硫化羰的製造方法
本發明係關於硫化羰的製造方法者。
硫化羰（COS）作為對半導體製造工序中之碳硬質光罩等之蝕刻有用的氣體而著稱。
而且，作為以氣相來製造硫化羰的方法，已知有使碳酸氣與二硫化碳在觸媒之存在下反應的方法（專利文獻1及2）、使硫與一氧化碳在觸媒之存在下反應的方法（專利文獻3）。
『專利文獻』 《專利文獻1》：日本專利公告第S47-40632號公報 《專利文獻2》：美國專利第3409399號說明書 《專利文獻3》：日本專利公開第S52-131993號公報
然而，上述硫化羰的製造方法皆為使用觸媒者，產率會隨著觸媒的活性降低而降低等，難以連續製造。
於是，本發明之目的在於提供能夠在不使用觸媒下以氣相流通方式製造硫化羰的製造方法。
本發明人為了達成上述目的而潛心進行研究，發現藉由使指定原料氣體在連續流通之狀態下放電，隨後連續釋出至放電區域外，可獲得硫化羰，進而完成本發明。
本發明係以順利解決上述問題為目的者，其係關於一種硫化羰的製造方法，其包含：使包含由CS2 與選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種而成之起始物的原料氣體在連續流通之狀態下放電，隨後連續釋出至放電區域外。
在本發明之硫化羰的製造方法中，透過使原料氣體在連續流通之狀態下放電，將原料氣體所包含之由CS2 與選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種而成之起始物，轉變為得成為COS之前驅物的活性物種，隨後連續釋出至放電區域外，藉此，上述活性物種會再結合而生成硫化羰。如此，根據本發明，可在不使用觸媒下以氣相流通方式製造硫化羰（COS）。
起始物係由CS2 與選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種而成。藉由使用此等之組合，可合適生成得成為COS之前驅物之由CS活性物種、CO活性物種、氧單體而成的活性物種。
在本發明中，由於可在不使用觸媒下製造COS，故有利。
在本發明中，可供應0.3 kW以上之電力來使原料氣體放電，並且，可使原料氣體在具有1 cm以上之電極間距離的電極間放電。此等在可穩定轉換得成為COS之前驅物的活性物種這點上有利。
在本發明中，CS2 之體積相對於選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種之體積之總和的比，以0.02以上為佳。藉由定為此範圍，可充分獲得COS。
在本發明中，CS2 之體積相對於原料氣體之體積的比，以0.02以上且0.3以下為佳。藉由定為此範圍，可充分獲得COS。
根據本發明，可在不使用觸媒下以氣相流通方式製造硫化羰。本發明之製造方法可避免因觸媒之活性降低所致之產率之降低這樣的事態，還可連續製造硫化羰。
以下詳細說明本發明之實施型態。
［原料氣體］
原料氣體包含由CS2 與選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種而成之起始物。就有效率獲得COS這點而言，以CS2 與CO2 之組合為較佳，CS2 與O2 之組合就原料轉化率及選擇率之平衡這點而言為較佳。
就硫化羰之選擇率這點而言，CS2 之體積相對於選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種之體積之總和的比，以0.02以上為佳。就COS之選擇率這點而言，以0.3以上為較佳。並且，體積之比以35以下為佳。若為此範圍，可維持原料轉化率，同時獲得良好的選擇率。
原料氣體亦可包含惰性氣體（inert gas）。藉由包含惰性氣體，可輕易獲得穩定的放電。作為惰性氣體，可列舉：N2 、He、Ne、Ar、Xe、Kr等，以N2 、Ar、He為佳，以N2 、Ar為較佳。在使用惰性氣體的情況下，惰性氣體可僅使用1種，亦可併用2種以上。
在使用惰性氣體的情況下，原料氣體中之惰性氣體的含有比例可為99.9體積%以下，以99體積%以下為佳。惰性氣體的含有比例亦可為0體積%。
原料氣體除了起始物及任意惰性氣體以外，還得包含不可避免自周圍環境混入的雜質。作為雜質，可舉出水分。原料氣體可為由起始物及不可避免之雜質而成者。
CS2 之體積相對於原料氣體的比，以0.02以上為佳。並且，體積比以0.3以下為佳。若為此範圍，可充分獲得COS。
原料氣體只要在使之放電時包含起始物及任意惰性氣體即可。舉例而言，為了放電，可將起始物及任意惰性氣體分別以氣體的形式，個別供應至具有放電機構的氣相流通反應器（以下亦簡稱為「氣相流通反應器」。）來做成原料氣體，亦可以預先混合全部之氣體的形式供應至氣相流通反應器來做成原料氣體，或者還可以預先混合一部分之氣體的形式，與殘餘部分之氣體個別供應至氣相流通反應器來做成原料氣體。
起始物在標準狀態下分別為氣體或液體。起始物雖可以氣體的形式供應至氣相流通反應器而無須另外設置氣化室等，但對於液體則是以在另外設置之氣化室使之氣化後再供應至氣相流通反應器為佳。供應可連續進行。供應流量的控制可使用質流控制器等來進行。
舉例而言，可藉由將起始物以液體之狀態導入至保持在起始物會充分氣化之溫度及壓力的氣化室來使之氣化。氣化室的溫度及壓力，以保持在起始物能夠瞬間氣化的溫度及壓力為佳。藉由利用如此之氣化室，可將起始物以液體的形式連續導入至氣化室，使之在氣化室瞬間氣化，而以氣體的形式連續供應至氣相流通反應器。在起始物為固體之狀態的情況下，可將之加熱做成液體後導入至氣化室，亦可直接使之在氣化室昇華，而以氣體的形式連續供應至氣相流通反應器。
供應流量的控制，可藉由以質流控制器等控制已在氣化室氣化之氣體來進行，或者藉由在將起始物以液體之狀態連續導入至氣化室時，以液體質流控制器控制來進行。亦可在將經氣化之起始物導入至氣相流通反應器時，以惰性氣體等稀釋。
使原料氣體流通於氣相流通反應器時的空間速度，並不特別受限，以0.01 h−1 以上為佳，以0.1 h−1 以上為較佳，以0.3 h−1 以上為更佳，並且，以100000 h−1 以下為佳，以50000 h−1 以下為較佳，以10000 h−1 以下為更佳。若空間速度為上述範圍內，可避免放電變得困難，在不降低生產性下有效率製造目標物質。
［放電］
在氣相流通反應器中使原料氣體放電，使得成為COS之前驅物的活性物種自原料氣體生成。放電方面，可將電力供應至氣相流通反應器之放電機構來使之發生，舉例而言，可藉由電力之供應，使放電在設置於氣相流通反應器內的電極間發生。
在引發放電時的供應電力以0.3 kW以上為佳。若為此範圍，放電會穩定並可有效率製造目標物質。並且，供應電力以100 kW以下為佳。若為此範圍，可避免因原料氣體之積碳所致之反應管的篩孔堵塞等發生，穩定製造目標物質。供應電力以0.5 kW以上為較佳，並且以60 kW以下為較佳。
放電可在電極間發生，在本發明中，電極間距離以1 cm以上為佳。並且，電極間距離以100 cm以下為佳。若為此範圍內，可進行穩定的放電。
作為原料氣體之放電的方法，可使用具有施加了用以引發放電之電壓的電極之方式，舉例而言，可使用高頻放電、微波放電、介電質阻擋放電、輝光放電、電弧放電、電暈放電等方式。就放電之穩定性、氣體之處理量的點而言，以高頻放電、輝光放電、電弧放電為佳。
放電時的壓力（絕對壓力），只要在所使用之放電的方法中為原料氣體得放電的壓力，即不特別受限，以1 PaA以上為佳，以5 PaA以上為較佳，並且，以1 MPaA以下為佳，以0.5 MPaA以下為較佳。若壓力（絕對壓力）為上述範圍內，可有效率製造目標物質。
［目標物質］
藉由將經放電之原料氣體自放電區域連續釋出，所生成之活性物種會再結合，生成係為目標物質的硫化羰。連續之釋出，可藉由對應於原料氣體之連續之流通的空間速度來進行。
於此，所謂放電區域，係謂使原料氣體之放電發生的空間。舉例而言，在具備平行平板型電極作為放電機構的氣相流通反應器的情況下，係電極間之放電會發生的空間。所謂釋出至放電區域外，係謂自上述空間之中出來到外面。
在將經放電之氣體釋出至放電區域外並移出氣相流通反應器後，亦可進一步導入至熱交換器冷卻。熱交換器的方式並不特別受限，可列舉氣冷、水冷式等。由於冷卻後的生成物可能包含硫化羰以外的物質，故亦可藉由得任意實施之分離純化工序，將硫化羰分離純化。作為分離純化方法，可列舉蒸餾、由溶液等所致之吸收、膜分離等。
『實施例』
以下藉由實施例更詳細說明本發明，但本發明並非受限於此等實施例者。
（實施例1）
使用CS2 、CO2 作為起始物，並使用Ar作為惰性氣體，分別以70 sccm、2 sccm、228 sccm之流量，導入至內部裝配有能夠高頻放電之平行平板型之金屬製的氣相流通反應管（頻率60 MHz，容量35 L，電極間距離3.5 cm）。
於反應管內，在保持於10 PaA（絕對壓力）之狀態下，以供應電力500 W使混合氣體放電。自反應管連續釋出氣體，並以鋁袋收集。
藉由質量分析氣相層析儀（GC-MS）（Agilent公司製Agilent 7890A）分析所收集之氣體。自分析獲得之GC-MS之各成分的面積值求出CO2 的莫耳轉化率作為原料轉化率。並且，自上述面積值求出生成物中之各成分的莫耳選擇率。結果揭示於表1。
（實施例2）
除了將CS2 、CO2 、Ar的流量分別變更為50 sccm、10 sccm、240 sccm以外，與實施例1相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CO2 之莫耳轉化率。
（實施例3）
除了將CS2 、Ar的流量分別變更為30 sccm、260 sccm以外，與實施例2相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CO2 之莫耳轉化率。
（實施例4）
除了將CS2 、Ar的流量分別變更為10 sccm、280 sccm以外，與實施例2相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例5）
除了將CO2 、Ar的流量分別變更為30 sccm、260 sccm以外，與實施例4相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例6）
除了將CO2 、Ar的流量分別變更為100 sccm、190 sccm以外，與實施例4相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例7）
除了將Ar變更為N2 以外，與實施例3相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CO2 之莫耳轉化率。
（實施例8）
除了將Ar變更為N2 以外，與實施例5相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例9）
除了將CS2 、CO2 的流量分別調成70 sccm、230 sccm，且不使用惰性氣體以外，與實施例1相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例10）
除了將供應電力變更為2000 W以外，與實施例9相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例11）
除了將CS2 、CO2 的流量分別變更為5 sccm、295 sccm以外，與實施例9相同。結果揭示於表1。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例12）
除了將CO2 變更為O2 以外，與實施例2相同。結果揭示於表2。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的O2 之莫耳轉化率。
（實施例13）
除了將CO2 變更為O2 以外，與實施例3相同。結果揭示於表2。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的O2 之莫耳轉化率。
（實施例14）
除了將CO2 變更為O2 以外，與實施例4相同。結果揭示於表2。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例15）
除了將CO2 變更為CO以外，與實施例2相同。結果揭示於表3。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CO之莫耳轉化率。
（實施例16）
除了將CO2 變更為CO以外，與實施例4相同。結果揭示於表3。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
（實施例17）
除了將CO2 變更為CO以外，與實施例5相同。結果揭示於表3。本實施例中之原料轉化率，係自GC-MS之各成分之面積值求得的CS2 之莫耳轉化率。
『表1』
生成物選擇率[mol%] 其他 0.0% 0.0% 0.0% 0.0% 0.0% 0.0% 77.2% 0.6% 0.0% 0.0% 0.0% ＊推測為因原料氣體中不可避免包含之水分所致者。
SO2 0.0% 0.0% 0.0% 62.9% 88.6% 97.1% 0.0% 93.3% 50.6% 46.9% 77.8%
COS 100.0% 100.0% 100.0% 29.5% 8.0% 2.5% 22.8% 4.6% 49.4% 53.1% 22.2%
H2 S* 0.0% 0.0% 0.0% 7.6% 3.5% 0.4% 0.0% 1.4% 0.0% 0.0% 0.0%
  原料轉化率 [mol%] 1.9% 1.9% 1.8% 5.3% 38.7% 70.1% 3.2% 15.7% 8.9% 20.5% 11.6%
  空間速度 [h-1 ] 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
  電力 (kW) 0.50 0.50 0.50 0.50 0.50 0.50 0.50 0.50 0.50 2.00 0.50
  體積比 (起始物①/所有氣體) 0.23 0.17 0.10 0.03 0.03 0.03 0.10 0.03 0.23 0.23 0.02
  體積比 (起始物①/起始物②) 35.0 5.00 3.00 1.00 0.33 0.10 3.00 0.33 0.30 0.30 0.02
  流量[sccm] 228 240 260 280 260 190 260 260 - - -
  惰性 氣體 Ar N2 - - -
  流量 [sccm] 2 10 10 10 30 100 10 30 230 230 295
起始 物② CO2
流量[sccm] 70 50 30 10 10 10 30 10 70 70 5
起始 物① CS2
實施例 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 實施例7 實施例8 實施例9 實施例10 實施例11
『表2』
生成物選擇率[mol%] 其他 0.0% 0.0% 0.0% ＊推測為因原料氣體中不可避免包含之水分所致者。
SO2 0.0% 0.0% 64.2%
COS 55.1% 45.4% 4.2%
H2 S* 0.0% 0.0% 1.9%
CO2 44.9% 54.6% 29.7%
  原料轉化率 [mol%] 5.7% 9.2% 43.9%
  空間速度 [h-1 ] 0.5 0.5 0.5
  電力 (kW) 0.50 0.50 0.50
  體積比 (起始物①/所有氣體) 0.20 0.13 0.07
  體積比 (起始物①/起始物②) 5.00 3.00 1.00
  流量 [sccm] 240 260 280
  惰性氣體 Ar
  流量 [sccm] 10 10 10
  起始 物② O2
  流量 [sccm] 50 30 10
  起始 物① CS2
  實施例 實施例12 實施例13 實施例14
『表3』
生成物選擇率[mol%] 其他 0.0% 0.0% 0.0% ＊推測為因原料氣體中不可避免包含之水分所致者。
SO2 0.0% 0.0% 0.0%
COS 19.0% 11.2% 11.4%
H2 S* 0.0% 0.0% 0.0%
CO2 81.0% 88.8% 88.6%
  原料轉化率 [mol%] 6.2% 8.8% 12.5%
  空間速度 [h-1 ] 0.5 0.5 0.5
  電力 (kW) 0.50 0.50 0.50
  體積比 (起始物①/所有氣體) 0.20 0.07 0.13
  體積比 (起始物①/起始物②) 5.00 1.00 0.33
  流量 [sccm] 240 280 260
  惰性氣體 Ar
  流量 [sccm] 10 10 30
  起始 物② CO
  流量 [sccm] 50 10 10
  起始 物① CS2
  實施例 實施例15 實施例16 實施例17
由表1～3可知，在實施例中，可在不使用觸媒下製造硫化羰。並且，可知在起始物中CS2 所佔之體積比例較大者，COS之選擇率會變高。如實施例9～11所示，可知即使不使用惰性氣體，亦可達成良好的硫化羰之選擇率。
根據本發明，可在不使用觸媒下以氣相流通方式製造硫化羰。本發明之製造方法可避免因觸媒之活性降低所致之產率之降低這樣的事態，還可連續製造硫化羰，產業利用性高。
無。
無。
無。

Claims (6)

  1. 一種硫化羰的製造方法，其包含：使包含由CS2 與選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種而成之起始物的原料氣體，在連續流通之狀態下放電，隨後釋出至放電區域外。
  2. 如請求項1所述之硫化羰的製造方法，其不使用觸媒。
  3. 如請求項1或2所述之硫化羰的製造方法，其中在引發前述原料氣體之放電時，供應0.3 kW以上之電力。
  4. 如請求項1或2所述之硫化羰的製造方法，其中使前述原料氣體在具有1 cm以上之電極間距離的電極間放電。
  5. 如請求項1或2所述之硫化羰的製造方法，其中前述CS2 之體積相對於前述選自由CO2 、CO、O2 及O3 而成之群組之至少1種之體積之總和的比為0.02以上。
  6. 如請求項1或2所述之硫化羰的製造方法，其中前述CS2 之體積相對於前述原料氣體之體積的比為0.02以上且0.3以下。
TW109121538A 2019-06-27 2020-06-24 硫化羰的製造方法 TWI843866B (zh)

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024070744A1 (ja) * 2022-09-28 2024-04-04 日本ゼオン株式会社 硫化カルボニルの製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3409399A (en) 1964-03-18 1968-11-05 Thiokol Chemical Corp Process for the preparation of carbonyl sulfide
JPS4740632Y1 (zh) 1969-05-30 1972-12-08
JPS52131993A (en) 1976-04-28 1977-11-05 Ihara Chem Ind Co Ltd Production of carbonyl sulfide
GB2057412B (en) * 1979-08-20 1983-05-18 Ihara Chemical Ind Co Process for preparing carbonyl sulphide
GB0308283D0 (en) * 2003-04-10 2003-05-14 Fink Winston D Manufacture of carbonyl sulphide
CN101289186B (zh) * 2008-05-24 2011-06-15 孔庆然 一种生产二硫化碳的方法
KR100938435B1 (ko) * 2009-06-15 2010-01-25 (주)원익머트리얼즈 황화카보닐의 합성방법 및 합성반응장치
WO2011047179A2 (en) * 2009-10-14 2011-04-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Plasma ashing compounds and methods of use
CN101811698B (zh) * 2009-12-24 2012-01-25 上海百金化工集团有限公司 一种生产二硫化碳的方法
CN102695672A (zh) * 2010-01-07 2012-09-26 国际壳牌研究有限公司 制备硫化物的方法
CN103328379B (zh) * 2011-04-18 2015-04-08 昭和电工株式会社 羰基硫的制造方法
JP5721517B2 (ja) * 2011-04-18 2015-05-20 昭和電工株式会社 硫化カルボニルの製造方法
JP2014020812A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Taiyo Nippon Sanso Corp ガス中の硫黄化合物の酸化方法及び硫黄化合物の分析装置
US9951430B2 (en) * 2015-04-16 2018-04-24 Saudi Arabian Oil Company Methods for co-processing carbon dioxide and hydrogen sulfide
CN108147411A (zh) * 2017-04-14 2018-06-12 阳城县瑞兴化工有限公司 一种以碳氧化合物为原料制备二硫化碳的方法
CN108786665B (zh) * 2018-05-25 2024-09-17 福建久策气体股份有限公司 羰基硫制备装置及使用方法

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