TW202106363A - 回收用於浸入式冷卻之介電流體的方法及裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種回收用於電子器件之浸入式冷卻之介電流體的方法及系統，該方法包括過濾該介電流體以移除第一組固體污染物；在一或多個蒸餾槽中蒸餾過濾介電流體以產生汽化介電流體；分離該汽化介電流體與較低揮發性污染物，以使得該汽化介電流體作為冷凝物引入至循環槽中；藉由自該循環槽泵送該冷凝物通過一或多個過濾器來循環該冷凝物；經由該一或多個過濾器過濾循環冷凝物以移除第二組污染物；且使過濾冷凝物返回至該循環槽中。

Description

回收用於浸入式冷卻之介電流體的方法及裝置
本發明大體上係關於回收介電流體之系統及方法，且更特定言之，係關於使用多個過濾及蒸餾階段回收用於浸入式冷卻之介電流體的系統及方法。
介電流體(例如，致冷劑、乾式清潔溶劑及其他非基於水之溶液)常常用以清潔包括(例如)敏感電子器件及/或電氣設備之高技術儀器及器件。出於說明而非限制之目的，習知清潔方法可包括浸入、沖洗、噴霧、汽化等。不利地，在清潔操作中之重複使用期間，介電流體可變得受例如，粒子、雜質、固體物質、液體物質及其類似物污染。
雜質/污染物之例示性來源可包括印刷電路板(PCB)焊劑、塑化劑、水等。焊劑(例如，樹脂及松香)原先可在PCB上發現，但可藉由介電流體自PCB洗滌。典型的焊劑具有可在約100℃與約130℃之間變化之沸點。塑化劑包括用於改良例如一些電纜塗層中通常所見之塑膠之柔軟度的添加劑。如同焊劑，介電流體洗掉塑化劑，其隨後保持懸浮於介電流體中或於介電流體中之溶液中。歸因於電氣設備之重複加熱及冷卻，環境空氣中之水蒸氣可冷凝且隨後溶解於介電流體中。
由於此污染，介電流體作為清潔劑可變得較低效。詳言之，介電流體之重複使用可影響流體之電阻率，其為流體對電傳輸之阻力之量度，其可能對電子器件及/或電氣設備有害。
介電流體作為清潔劑之最近實施方案涉及電氣設備之浸入式冷卻，尤其是電子器件或其他電氣物件之單相或二相流體冷卻。當在浸入式冷卻中重複使用時，介電流體之電阻率、光學透射率及其他特性可能會受到有害影響。因此，為了確保工作介電流體保持處於或接近其純形式或純狀態，介電流體應保持極其清潔且基本上不含液體及/或固體污染物，以使得介電流體之電阻率、光學透射率及其他特性保持在可接受的限值內。
一些介電流體之高成本表明可存在例如，在浸入式冷卻中正使用之介電流體之回收、再循環及再使用的優點。然而，任何回收及再使用使自介電流體移除或分離多種固體及液體污染物成為必要。出於說明及非限制之目的，例示性污染物可包括細粒度至粗粒度之固體粒子、不溶解於介電流體中之液體污染物、部分溶解於介電流體中之液體污染物及完全溶解於介電流體中之液體污染物。不利地，溶解且部分溶解之液體污染物可形成共沸物，使得例如藉由蒸餾自介電流體移除及分離，由於共沸混合物中液體之常見或接近沸點而愈加困難。
先前技術提供用於過濾及/或加熱含有非所需污染物之流體的例示性系統及方法。然而，此等系統及方法中之一些通常無法有效地過濾及移除溶解及/或可混溶流體。
因此，需要提供一種再循環例如用於電子器件及/或電氣設備之浸入式冷卻之受污染之介電流體用以回收及純化該介電流體、使其返回至純或接近純狀態或純或接近純形式的系統及方法。更特定言之，在一個應用中，可能需要提供一種系統及方法，該系統及方法經組態以再循環受污染之介電流體而不必中斷與清潔及再循環系統流體連通之浸入式冷卻系統的操作。
在第一態樣中，本發明係關於一種回收用於一或多個電子器件之浸入式冷卻之介電流體的方法。在一些實施例中，該方法包括過濾介電流體以移除第一組固體污染物(例如，中等粒度至粗粒度之固體污染物)；在一或多個蒸餾槽中蒸餾過濾介電流體以產生汽化介電流體；分離該汽化介電流體與較低揮發性污染物，以使得該汽化介電流體作為冷凝物引入至循環槽中；藉由自該循環槽泵送該冷凝物通過一或多個過濾器來循環該冷凝物；經由該一或多個過濾器過濾循環冷凝物以移除第二組污染物(例如，細粒度之固體污染物、極細粒度之固體污染物、油、水、溶解之液體污染物、部分溶解之液體污染物、未溶解之液體污染物及其組合)；且使過濾冷凝物返回至該循環槽中。在一個實施方案中，過濾介電流體以移除第一組固體污染物可包括將介電流體引入至機械過濾製程中，該機械過濾製程在一些變化形式中可由以下組成或基本上由以下組成：多個可自最大孔徑至最小孔徑連續配置之過濾器孔徑遞減之機械粒子過濾器。視情況，除經由機械過濾製程過濾受污染之介電流體之外，該受污染之介電流體亦可經由具有乾燥劑之過濾器、經由混合碳過濾器及其組合過濾。
在一些實施方案中，分離該汽化介電流體與較低揮發性污染物可包括在該一或多個蒸餾槽中冷凝該汽化介電流體以產生冷凝物，在循環槽中收集該冷凝物，及在該一或多個蒸餾槽之底部處收集該較低揮發性污染物。在一個變化形式中，冷凝包括在該一或多個蒸餾槽內提供一或多個流體冷卻之冷凝旋管，該汽化介電流體冷凝於該等冷凝旋管上，且收集冷凝物包括將該冷凝物自該流體冷卻之冷凝旋管之外表面重力饋入至循環槽中。在一些變化形式中，一或多個蒸餾槽可包括流體連通之第一蒸餾槽及/或第二蒸餾槽或更多蒸餾槽，且分離汽化介電流體之冷凝物包括將該第一蒸餾槽中之介電流體加熱至第一校準溫度以使介電流體汽化，在該第二蒸餾槽中收集汽化介電流體之冷凝物，及將該第二蒸餾槽中該所收集之冷凝物加熱至第二校準溫度(例如，低於第一校準溫度)以使該所收集之冷凝物汽化。
在一些應用中，過濾循環冷凝物可包括傳遞或迫使循環冷凝物穿過一或多個具有乾燥劑之過濾器、穿過一或多個混合碳過濾器及/或穿過一或多個機械粒子過濾器，該一或多個機械粒子過濾器可由以下組成或基本上由以下組成：多個自最大孔徑至最小孔徑連續配置之過濾器孔徑遞減之機械粒子過濾器。
在一些變化形式中，該方法亦可包括以下中之一或多者：在該一或多個蒸餾槽中之壓力超過可允許壓力的情況下中斷蒸餾；在該一或多個蒸餾槽中之過濾介電流體含量小於最小可允許流體含量的情況下中斷蒸餾；及/或在該冷凝物中量測所需電阻率及/或所需光學透射率及/或所需紅外透射率時，中斷經由該循環槽循環該冷凝物。在其他變化形式中，該方法亦可包括直接自浸入式冷卻系統回收介電流體及/或使過濾冷凝物直接返回至該浸入式冷卻系統。
在第二態樣中，本發明係關於一種回收用於(一或多個)電子器件之浸入式冷卻之介電流體的系統。在一些實施例中，該系統可包括用於過濾介電流體以移除第一組固體污染物(例如，中等粒度至粗粒度之固體污染物)的第一過濾器件；用於蒸餾該過濾介電流體以產生汽化介電流體的一或多個蒸餾槽；用於將該汽化介電流體之冷凝物與較低揮發性污染物分離之位於各蒸餾槽內之冷凝器件；用於循環汽化介電流體之冷凝物的循環槽，該循環槽視情況包括一或多個泵送系統；及用於過濾循環冷凝物以移除第二組污染物(例如，細粒度之固體污染物、極細粒度之固體污染物、油、水、溶解之液體污染物、部分溶解之液體污染物、未溶解之液體污染物及其組合)的一或多個第二過濾器件。在一些應用中，第一過濾器器件及/或第二過濾器器件可包括一或多個機械過濾器，該一或多個一或多個機械過濾器可包括多個自最大孔徑至最小孔徑連續配置之過濾器孔徑遞減之機械粒子過濾器。在一些變化形式中，第一及/或第二過濾器件亦可包括一或多個具有乾燥劑之過濾器及/或一或多個混合碳過濾器。
在一些應用中，一或多個蒸餾槽可包含流體連通之第一蒸餾槽及第二蒸餾槽，以使得在冷凝之後，來自第一蒸餾槽之該汽化介電流體可引入至第二蒸餾槽中。在一些實施方案中，冷凝器件可包括具有外表面之一或多個流體冷卻之冷凝旋管，汽化介電流體可冷凝於該等冷凝旋管上。
視情況，該系統可包括：經組態以在蒸餾槽中之壓力超過可允許壓力的情況下中斷蒸餾的中斷器件， 經組態以在蒸餾槽中過濾介電流體含量小於最小可允許流體含量的情況下中斷蒸餾的中斷器件，用於感測循環冷凝物中之電阻率的感測器件，用於感測循環冷凝物中之光學透射率的感測器件，及/或用於在該冷凝物中量測所需電阻率及/或所需光學透射率時，中斷經由該循環槽循環該冷凝物的中斷器件。在一些變化形式中，該系統亦可包括用於直接自浸入式冷卻系統回收該介電流體的管道及/或用於使過濾循環冷凝物直接返回至該浸入式冷卻系統的管道。
參看圖1及圖2，分別展示用於執行所實施方法的第一實施方法及例示性系統。在第一步中，可將受污染或部分受污染之介電流體101引入多階段過濾及蒸餾系統200(步驟1)中用以回收受污染之介電流體101。出於說明而非限制之目的，介電流體可為工程流體，諸如由Saint Paul, Minnesota之3MTM 製造之NOVECTM 7100。純或實質上純NOVECTM 7100之沸點為約61℃，遠低於水之沸點，其為已知雜質/污染物。相比而言，NOVECTM 7300之沸點為約98℃，其非常接近於水之100℃沸點。彼等熟習此項技術者可瞭解，由於其接近沸點，含有NOVECTM 7300及水之液體混合物比含有NOVECTM 7100及水之液體混合物更可能形成共沸物。
介電流體之污染可包括固體污染物(諸如，殘餘物、殘渣、雜質、粗粒度之污染物、中等粒度之污染物、細粒度之污染物、極細粒度之污染物及其組合)及/或液體污染物(諸如，油、水、溶解之液體污染物、部分溶解之液體污染物、未溶解之液體污染物及其組合)。
在一些實施例中，多階段過濾及蒸餾系統200(可向其中引入受污染之流體101)之第一階段102可包括第一機械粒子過濾器201(步驟2)。第一機械粒子過濾器201及第一階段102經構造及配置以將介電流體與較大(例如，粗粒度至中等粒度)固體及不溶性污染物分離(步驟2)。在一些變化形式中，第一機械粒子過濾器201可包括複數個連續配置之機械過濾器，以使得具有通常按微米量測之最大孔徑之過濾器元件位於最接近於第一階段102之入口108，且具有最小孔徑之過濾器元件位於最接近於第一複數個機械過濾器201之出口109，其中任何介入過濾器之孔徑自接近於入口108之最大孔徑至接近於出口109之最小孔徑遞減。在操作中，在第一複數個機械過濾器201內，具有較大孔徑之過濾器元件經組態以獲取及保留粗粒度之固體污染物，向下游傳遞中等粒度及細粒度至極細粒度之固體污染物至具有較小孔徑之過濾器元件及出口109。具有較小孔徑之過濾器經組態以獲取及保留中等粒度之固體污染物，向下游傳遞細粒度至極細粒度之固體污染物至出口109。可移除過濾器且視需要隨時間推移替換以防止堵塞或使堵塞減至最少。
在下一步中，經處理(亦即，經過濾)之介電流體106 (例如，經由第一機械粒子過濾器201之出口109)自第一階段102離開(例如，流動或經泵送)且例如，經由第一蒸餾槽203中之入口110引入至第二階段103(步驟3)中用於蒸餾。在蒸餾之前或同時在蒸餾期間，可自液體混合物移除比待回收之介電流體要輕或密度更小之液體雜質/污染物。更特定言之，比待回收之介電流體要輕或密度更小之液體雜質/污染物往往浮動至蒸餾槽203中之液體混合物之頂部，在密度較大介電流體及密度較大液體污染物之上，在該頂部處可例如手動使用液體勺或虹吸管移除該等液體混合物。例如，相比於典型NOVECTM 7100密度為約1.5 g/cm3 ，由松香構成之液體焊劑雜質通常密度為約1.07 g/cm3 。比待回收之介電流體要重或密度更大之液體雜質/污染物將沈降至蒸餾槽203之底部。在一些變化形式中，為移除密度較大之液體雜質/污染物，在大部分經處理(亦即，經過濾)之介電流體106已汽化且密度較大之液體雜質/污染物已沈降至蒸餾槽203之底部後，可將底部餾分泵出例如至攜帶型儲集層中，以使得自蒸餾槽203移除雜質/污染物。若污染程度允許，則可分開回收經移除底部餾分。若經移除底部餾分過於受污染，則其可作為非可再循環廢料處理。
第二階段103中之蒸餾經構造及配置以分離大部分主要液體雜質/污染物與大部分待回收之介電流體。沸點明顯地高於待回收之介電流體之沸點的液體雜質/污染物在蒸餾(步驟3)期間比沸點更接近於待回收之介電流體之沸點的液體雜質/污染物更容易且更完全地與經處理(亦即，經過濾)之介電流體106分離。因此，第二階段103蒸餾(步驟3)之一個目的為在低溫下使待回收之介電流體汽化，以使得經處理(亦即，經過濾)之介電流體106中之較高沸點液體雜質/污染物保留在溶液中。
例如，鑒於NOVECTM 7100及NOVECTM 7300之沸點分別為約61℃及約98℃，水(沸點為100℃)及沸點明顯高於61℃之其他液體雜質/污染物在蒸餾(步驟3)期間比其與NOVECTM 7300分離(例如，在約105℃之沸點溫度下)將更容易且更完全地與NOVECTM 7100分離(例如，在約65℃之沸點溫度下)。簡而言之，當NOVECTM 7100用作介電流體時，在經處理(亦即，經過濾)介電流體106加熱至約65℃後，使待回收之介電流體汽化，在溶液中留下沸點超過65℃之水及其他液體雜質/污染物以供後續移除。
在一些實施方案中，第二階段103可包括單個蒸餾槽203 (圖2)，而在其他實施方案中，第二階段103'可包括多個蒸餾槽203、303 (圖3)。有利地，使用多個蒸餾槽203、303之第二階段103'蒸餾將經處理(亦即，經過濾)之介電流體106逐漸與具有變化或較寬範圍之沸點及變化濃度之液體雜質/污染物分離。
在相關部分中，蒸餾槽203可包括位於蒸餾槽203之底表面處或附近的加熱元件204及位於蒸餾槽203之頂表面處或附近的冷凝器件202。加熱元件204，例如，加熱旋管，可適於將容納於蒸餾槽203中之經處理(亦即，經過濾)介電流體106加熱至校準溫度(例如，比介電流體呈其純或接近純狀態或形式之沸點溫度略高的溫度)。在一些應用中，可控制加熱元件/旋管204之溫度以使得僅維持沸騰以達成最大蒸餾作用。否則，若不控制加熱元件204之溫度，則經處理(亦即，經過濾)介電流體106之沸點溫度與待回收之介電流體之沸點(NOVECTM 7100)相比可能變得過高，使得更多的雜質/污染物與待回收之介電流體(NOVECTM 7100)一起汽化。
在一些變化形式中，冷凝器件202可包括一或多個流體冷卻之冷凝旋管，冷卻流體(例如，水、油、冷卻劑、氟利昂(Freon)、氨等等)可經由該等冷凝旋管流動或泵送。在操作中，在加熱元件204已將經處理(亦即，經過濾)介電流體106加熱至經校準之沸點溫度後，使蒸餾槽203中之介電流體以及沸點低於待回收之介電流體的任何液體雜質/污染物汽化。沸點超過經校準之沸點溫度的其他液體雜質/污染物將在蒸餾槽203中保持液態。
汽化介電流體上升至蒸餾槽203之頂部，在該處該汽化介電流體接觸冷凝器件202之(一或多個)外表面。經由冷凝器件202流動或泵送之冷卻劑使熱蒸氣與冷凝器件202(例如，旋管)之(一或多個)外表面接觸以在旋管上形成介電流體之液滴。有利地，冷凝器件202可經傾斜或以其他方式經組態以將經處理之(冷凝)介電流體107之液滴(例如，經由蒸餾槽203中之出口111)重力饋入至第三階段104。第二(蒸餾)階段103 (步驟3)因此將經由出口111離開蒸餾槽203之經處理之(冷凝)介電流體107與較低揮發性之流體及污染物分離，該等流體及污染物在蒸餾槽203之底部處保持液態或懸浮狀態。
在一些實施方案中，感測器可併入至蒸餾槽203中且以操作方式分別耦接至警報系統及/或自動關斷系統，以在可能的危險狀況即將發生時警示操作員可能的危險狀況及/或自動關斷加熱元件204。例如，若冷凝流體不流經冷凝器件202，而加熱元件204繼續使蒸餾槽203中之經處理(亦即，經過濾)介電流體106汽化，則可導致過壓。因為冷凝流體並不流經冷凝器件202，所以不存在冷凝。因此，由於不存在自蒸餾槽203移除經加熱蒸氣之手段，蒸氣之密度將繼續增加。
出於感測槽203內之壓力的目的，壓力感測器件125可位於蒸餾槽203內。可將由壓力感測器件125產生且表示蒸餾槽203內所量測之壓力的信號傳輸至本地或遠端處理器件130。處理器件130可包括軟體、演算法、驅動器程式及類似者，或可以其他方式程式化以啟動警報(例如，光學警報、聽覺警報、觸覺警報或類似者)來警示人員可能的危險狀況及/或在所接收之信號超過蒸餾槽203之最大可允許壓力時產生引起蒸餾槽203之立即或延遲停用的信號。
在另一實例中，出於感測容納於蒸餾槽203內之經處理(經過濾)介電流體106之液體部分之含量的目的，液位感測器件135可位於蒸餾槽203內。可將由液位感測器件135產生且表示蒸餾槽203內液體部分之升高的信號傳輸至處理器件130。處理器件130可包括軟體、演算法、驅動器程式及類似者，或可以其他方式程式化以啟動警報(例如，光學警報、聽覺警報、觸覺警報或類似者)來警示人員可能的危險狀況及/或在所接收之信號降低至低於蒸餾槽203之最小可允許液位時產生引起蒸餾槽203之立即或延遲停用的信號。
在下一步驟中，經處理之(冷凝)介電流體107 (例如，經由蒸餾槽203之出口111)自第二階段103離開(例如，藉由重力饋入流動)且(例如，經由至循環槽205之入口114)引入至第三階段104 (步驟4)中用於循環過濾(步驟5)。在一些實施方案中，第三階段104可包括循環槽205、複數個過濾器206、207、208及泵系統211，其在封閉系統中彼此流體耦接。重複循環及過濾或循環過濾，第三階段104中之經處理之(冷凝)介電流體107 (步驟5)進一步純化待回收之介電流體。實際上，循環過濾係藉由過濾器206中之乾燥劑增大雜質/污染物之化學吸收，從而增加所吸收雜質/污染物之量及速率。
在本發明之一些變化形式中，循環槽205充當用於容納及混合引入之經處理之(冷凝)介電流體107，以及已經歷額外過濾以移除例如，細粒度及極細粒度之固體污染物；可混溶之、溶解之及部分溶解之液體污染物(例如，共沸物、沸點類似於所回收之介電流體之沸點的液體雜質及類似物)；及未溶解之液體污染物(例如，油，水等)的進一步過濾之介電流體210的分段容器。在一些變化形式中，一或多個感測器件可位於循環槽205中以產生信號，該等信號可用以判定容納於循環槽205中之液體是否需要進一步過濾(步驟5)或足夠純以返回至浸入式冷卻系統(步驟6)。例如，在一些實施方案中，一或多個感測器140、145可併入至循環槽205中且以操作方式耦接至處理器件130，該處理器件130可包括軟體、演算法、驅動器程式及類似者，或可以其他方式經程式化以控制循環槽205中之液體是否經由流體耦接至第二複數個過濾器206、207、208之第一出口115離開槽205或經由第二出口121離開槽205至浸入式冷卻系統。
例如，在一些應用中，電阻率感測器件140可位於循環槽205中。電阻率提供流體對傳導電流之傾向的量測，此為不合需要的。實際上，為了防止介電流體傳輸電流或使介電流體傳輸電流(其可破壞在浸入式冷卻系統中經冷卻之浸入電氣設備)降至最小，期望保持介電流體中之較高電阻率。因此，在一些實施方案中，當藉由電阻率感測器件140所感測或量測之電阻率小於最小可允許或所需電阻率時，處理器件130可經程式化以產生信號來打開第一出口115且關閉第二出口121，以使得循環槽205中之流體可在第二複數個過濾器206、207、208內經歷進一步過濾。然而，當藉由電阻率感測器件140所感測或量測之電阻率等於或超出最小可允許或所需電阻率時，處理器件130可經程式化(若循環槽205中之液體之光學透射率亦為可接受的)以產生信號來關閉第一出口115且打開第二出口121，以使得清潔介電流體105可返回至浸入式冷卻系統。
在一些變化形式中，電阻率感測器件140可適於感測循環槽205中之液體之電阻率，產生與所量測之電阻率相稱的信號且將其傳輸至處理器件130。例示性電阻率感測器件140可包括數位絕緣/連續性測試器，諸如由日本東京Kyoritsu製造之Model 3007A。
在一些應用中，除電阻率感測器件140之外或作為其替代方案，光學透射率量測器件145亦可位於循環槽205中。透射率為液體傳輸光之能力之量度，其轉而提供使流體在循環槽205中呈現混濁或不透明的微粒物質及/或其他固體或液體雜質/污染物之存在或不存在的標誌。在一些實施方案中，大於約2000 MΩ之目標最小透射率為所需的，然而，可接受之透射率最小值視所回收之介電流體之類型及特性而定。
在一些實施方案中，當藉由光學透射率量測器件145所量測或感測之光學透射率小於最小可允許或所需光學透射率時，處理器件130可經程式化以產生信號來打開第一出口115且關閉第二出口121，以使得循環槽205中之流體在第二複數個過濾器206、207、208內經歷進一步過濾。然而，若藉由光學透射率量測器件145所量測或感測之光學透射率等於或超出最小可允許或所需光學透射率，則處理器件130可經程式化(若循環槽205中之流體之電阻率亦為可接受的)以產生信號來關閉第一出口115且打開第二出口121，以使得清潔介電流體105返回至浸入式冷卻系統。例示性光學透射率量測器件145可包括與流明計組合之光源。
在一些實施方案中，除此之外或作為另一替代方案，基於紅外光譜之感測器件亦可用以測定循環冷凝物之特性。紅外光譜利用分子吸收頻率的事實，該等頻率為其結構特徵。此等吸收在共振頻率下發生，亦即，經吸收輻射之頻率匹配振動頻率。能量可受分子位能表面之形狀、原子之質量及/或相關聯之振動耦合的影響。已知，紅外輻射與物質之相互作用指標視所檢驗物質之化學組成而定。因此，循環冷凝物含有愈多污染物，該紅外光譜愈不同於純介電流體。
如上文所提及，電阻率感測器件140可適於感測循環槽205中之液體之電阻率，產生與所量測之電阻率相稱的信號且將其傳輸至處理器件130，而光學透射率量測器件145可適於感測通過循環槽205中之液體之光的透射率，產生與所量測之透射率相稱的信號且將其傳輸至處理器件130。當所感測或量測之電阻率及/或光學透射率未能滿足其各別可允許最大及最小限值時，處理器件130可經程式化以產生信號來打開第一出口115且關閉第二出口121，以使得循環槽205中之流體經歷循環且在第二複數個過濾器206、207、208內經歷額外過濾。在一些實施例中，循環冷凝物209可經由由以下組成或基本上由以下組成之連續順序過濾：一或多個具有乾燥劑之過濾器206(步驟5A)、一或多個混合碳過濾器207(步驟5B)及一或多個機械粒子過濾器208(步驟5C)。在循環冷凝物209已通過第二複數個過濾器206、207、208後，可例如，藉由使用泵系統211泵送使進一步過濾之冷凝物210返回至循環槽205以進行電阻率及光學透射率測試。
經處理之(冷凝)介電流體107進入第三階段104時其中、循環冷凝物209中及/或進一步過濾之冷凝物210中水的存在不利地影響混合物之電阻率。因此，重複循環及過濾經處理之(冷凝)介電流體107、循環冷凝物209及/或具有乾燥劑之進一步過濾之冷凝物210使得混合物能夠達至目標電阻率值。在一些應用中，可例如，藉由在一或多個具有乾燥劑之過濾器206中循環冷凝物209(步驟5A)將在蒸餾製程期間未移除或經由冷凝經加熱之環境空氣再引入至經處理之(冷凝)介電流體107中的任何水與循環冷凝物209分離。例如，循環冷凝物209可經由入口116及流體耦接至一或多個混合碳過濾器207之入口117b的出口117a分別進入及離開具有乾燥劑之(一或多個)過濾器206。
在一些變化形式中，例如，使用含有乾燥劑之過濾器206進行化學吸收(步驟5A)可主要用於移除在蒸餾製程期間未移除或經由冷凝經加熱之環境空氣再引入至經處理之(冷凝)介電流體107中的任何剩餘水。例如，若待回收之介電流體為NOVECTM 7100，則共沸混合物存在可能較小，且因此在蒸餾之後使用含有乾燥劑之過濾器206進行化學吸收(步驟5A)以移除水之需要由於NOVECTM 7100(61℃)與水(100℃)之沸點之間的顯著差異而問題較小。另一方面，若待回收之介電流體為NOVECTM 7300，則共沸混合物存在可能較大，且因此在蒸餾之後使用含有乾燥劑之過濾器206進行化學吸收(步驟5A)以移除水之需要由於NOVECTM 7300 (98℃)與水(100℃)之沸點接近而問題較大。彼等熟習此項技術者可理解，乾燥劑過濾器吸收率與乾燥劑之暴露表面積及雜質/污染物暴露於乾燥劑之時間成比例；因此，重複循環循環冷凝物209為分離水與循環冷凝物209提供多個機會。出於說明而非限制之目的，例示性過濾器包括含有乾燥劑之密封(例如，鋼)管。
在一或多個混合碳過濾器207及一或多個機械粒子過濾器208中，可將固體、未溶解之污染物、細粒度及極細粒度之固體污染物及輕到足以在蒸氣中輸送之重金屬粒子與循環冷凝物209分離(步驟5B及步驟5C)。出於說明而非限制之目的，例示性過濾器包括活性碳過濾器、離子交換聚合物過濾器、陶瓷過濾器及其組合。在一些實施例中，循環冷凝物209可經由入口117b及耦接至一或多個機械粒子過濾器208之入口118b的出口118a分別進入及離開(一或多個)混合碳過濾器207。在一些變化形式中，機械粒子過濾器208可包括複數個連續配置之機械過濾器，以使得具有最大孔徑之過濾器元件位於最接近於機械粒子過濾器208之入口118b，且具有最小孔徑之過濾器元件位於最接近於機械粒子過濾器208之出口121，其中任何介入過濾器之孔徑自入口118b處之最大孔徑遞減為出口121處之最小孔徑。在操作中，具有較大孔徑之過濾器經組態以獲取及保留細粒度之固體污染物，從而傳遞極細粒度之固體污染物。具有較小孔徑之過濾器經組態以獲取及保留此等極細粒度之固體污染物。
進一步過濾之冷凝物210例如，經由流體耦接至循環槽205之出口121離開機械粒子過濾器208以及複數個過濾器206、207、208。在一些變化形式中，泵器件211可位於複數個過濾器206、207、208之出口121與循環槽205之入口120之間以經由第三階段104泵送循環冷凝物209及進一步過濾之冷凝物210。替代地，泵器件211可位於循環槽205之出口115與複數個過濾器206、207、208之入口116之間。
循環冷凝物209及進一步過濾之冷凝物210可視需要在第三階段104(步驟5)中經由循環槽205及複數個過濾器206、207、208循環多次以使介電流體返回至滿足電阻率及光學透射率要求之純或接近純形式或狀態。
參看圖1及圖3，描繪回收用於浸入式冷卻(一或多個)電子器件之介電流體的說明性系統200'的第二實施例。在一些實施方案中，實施系統200'可包括如先前所描述之第一階段102'、第二階段103'、及第三階段104，然而，其中對第一階段102'及第二階段103'進行了調整。例如，在一項調整中，第一階段102'可包括複數個過濾器201、306、307，而非僅包括如先前結合第一實施系統200所描述之(一或多個)機械粒子過濾器201。與經調整之第一階段102'之過濾系統相比，(未經調整之)第一階段102之過濾系統較小且較便宜而可放置在一起；然而，其可能需要較大維護及停工時間以例如維護、更換過濾器等。若可能存在大量粗粒度至中等粒度之固體污染物，則(未經調整之)第一階段102亦將為較佳選擇。在另一調整中，第二階段103'可包括複數個以串聯組態進行組態之蒸餾槽203、303。有利地，多個蒸餾步驟及槽203、303提供對較高沸點液體雜質/污染物之更有效移除。
在一些實施例中，當經調整第一階段102'包括複數個過濾器201、306、307時，過濾器可經連續配置，其中用以移除殘渣及如先前所描述之粗粒度至中等粒度之固體污染物(步驟2A)的(一或多個)機械粒子過濾器201位於最接近於可流體耦接至浸入式冷卻槽的入口108。(一或多個)機械粒子過濾器201下游可為具有乾燥劑之一或多個過濾器306以用以移除水(步驟2B)。(一或多個)具有乾燥劑之過濾器306下游可為一或多個混合碳過濾器307以移除例如，固體、未溶解之污染物、細粒度及極細粒度之固體污染物及重金屬粒子(步驟2C)。(一或多個)混合碳過濾器307之出口123可與第二階段103'流體連通。在第一階段102'中提供複數個過濾器201、306、307之優點包括例如，降低混合物之沸點，由此潛在地減少蒸餾混合物所需的時間及能量，且額外預過濾(在蒸餾之前)可使得系統200'能夠在需要維護之前操作較長時間。
在一些應用中，在受污染之介電流體101已經由(一或多個)機械粒子過濾器201過濾(步驟2A)後，液體雜質/污染物例如，水可例如藉由在一或多個具有乾燥劑之過濾器306中過濾經處理(經機械過濾)之介電流體而與經處理(經機械過濾)之介電流體分離(步驟2B)。有利地，在蒸餾之前移除水可降低混合物之沸點，且因此減少完成蒸餾所需的能量及時間，其理所當然視所回收之介電流體的沸點而定。在操作中，經處理之(經機械過濾之)介電流體可經由可流體耦接至(一或多個)機械粒子過濾器201之出口109a的入口109b及可流體耦接至(一或多個)混合碳過濾器307之入口122b的出口122a分別進入及離開(一或多個)具有乾燥劑之過濾器306。
在(一或多個)混合碳過濾器307中，固體、未溶解之污染物、細粒度及極細粒度之固體污染物及重金屬粒子可與經處理(乾化)介電流體分離(步驟2C)。在操作中，經處理之(乾化)介電流體可分別經由入口122b及可流體耦接至第二階段103'之入口110的出口123進入及離開(一或多個)混合碳過濾器307。
在第二調整中，第二階段103'可包括多個蒸餾槽203、303且因此包括多個蒸餾製程。有利地，多個蒸餾槽203、303及多個蒸餾製程使得能夠更加有效地分離待回收之介電流體與沸點高於待回收之介電流體的液體雜質/污染物。例如，NOVECTM 7100之沸點為61℃，水之沸點為100℃，各種焊劑之沸點在100℃與130℃之間的範圍內，而其他雜質/污染物(例如，塑化劑、油等)可具有甚至更高沸點。因此，在第一蒸餾槽203中組合此等雜質之一些部分與NOVECTM 7100介電流體的經處理之(經過濾及乾化)介電流體可具有約65℃之混合物沸點溫度。若此混合物加熱至66℃之溫度，則第二蒸餾槽303中所收集之冷凝物305將具有更高比例之NOVECTM 7100介電流體及更低比例之水及其他液體雜質/污染物，且因此可具有62℃而非65℃之沸點。若在第二蒸餾槽303中，將冷凝物305混合物加熱至63℃之溫度，則流動至第三階段104之製程(蒸餾)介電流體107將具有甚至更高比例之NOVECTM 7100介電流體及更低比例之水及其他雜質/污染物。
儘管圖3展示兩個蒸餾槽203、303，但彼等一般熟習此項技術者可瞭解，第二階段103'可包括多於兩個蒸餾槽203、303及多於兩個蒸餾製程。在包括兩個所描繪之蒸餾槽203、303之實施方案中，藉由在第一校準溫度下加熱自(一或多個)混合碳過濾器307流動(或泵送)之經處理(經過濾及乾化)介電流體106的第一蒸餾製程(步驟3A)產生之第一冷凝物305可經歷在第二校準溫度下加熱第一冷凝物305之第二蒸餾製程(步驟3B)。通常，第一校準溫度高於第二校準溫度，且為將介電流體與沸點大於待回收之介電流體之沸點的液體雜質/污染物分離，第一校準溫度及第二校準溫度兩者均超過待回收之介電流體之沸點。
在相關部分中，各蒸餾槽203、303可包括位於蒸餾槽203、303之各別底表面處或附近的加熱元件204、304(例如，加熱旋管)及位於蒸餾槽203、303之各別頂表面處或附近之冷凝器件202、302。在一些變化形式中，冷凝器件202、302可包括一或多個流體冷卻之冷凝旋管，具有相對較高比熱容之冷卻流體(例如，水、油、冷卻劑、氟利昂、氨等等)可經由該等冷凝旋管流動或泵送。在操作中，在各加熱元件204、304已將容納於蒸餾槽203、303中之液體加熱至合適校準溫度後，使介電流體汽化。汽化介電流體上升至蒸餾槽203、303之頂部，在該處該汽化介電流體接觸冷凝器件202、302之(一或多個)外表面。經由冷凝器件202、302流動或泵送之冷卻劑使熱蒸氣與冷凝器件202、302(例如，旋管)之外表面接觸以在旋管上形成液滴。有利地，第一冷凝器件202可經傾斜或以其他方式經組態以將經處理之(冷凝)介電流體305之液滴(例如，經由入口112)重力饋入至第二蒸餾槽303中，在該第二蒸餾槽中經處理之(冷凝)介電流體305加熱至第二較低校準溫度。第二階段103'之第一蒸餾製程因此將經由出口111離開第一蒸餾槽203的經處理之(冷凝)介電流體305與在第一蒸餾槽203之底部處保持液態或懸浮狀態的較低揮發性之流體及污染物分離。
在一些應用中，第二冷凝器件302亦可經傾斜或以其他方式經組態以將經處理之(冷凝)介電流體107之液滴(例如，經由第二蒸餾槽303中之出口113)重力饋入至第三階段104中。第二階段103'因此將經由出口113離開第二蒸餾槽303的經處理之(冷凝)介電流體107與在第一蒸餾槽203及第二蒸餾槽303之底部處保持液態或懸浮狀態的較低揮發性之流體及污染物分離。
在一些實施方案中，感測器亦可併入至第二蒸餾槽303中且以操作方式分別耦接至警報系統及/或自動關斷系統，以在可能的危險狀況即將發生時警示操作員可能的危險狀況及/或自動關斷加熱元件304。例如，若冷凝流體不流經冷凝器件302，而加熱元件304繼續使第二蒸餾槽303中之冷凝物305汽化，則可導致過壓。因為冷凝流體並不流經冷凝器件302，所以不存在冷凝。因此，由於不存在自第二蒸餾槽303移除經加熱蒸氣之手段，蒸氣之密度將繼續增加。
出於感測第二蒸餾槽303內之壓力的目的，壓力感測器件125可位於第二蒸餾槽303內。可將由壓力感測器件125產生且表示第二蒸餾槽303內所量測之壓力的信號傳輸至本地或遠端處理器件130。處理器件130可包括軟體、演算法、驅動器程式及類似者，或可以其他方式程式化以啟動警報(例如，光學警報、聽覺警報、觸覺警報或類似者)來警示人員可能的危險狀況及/或在所接收之信號超過第二蒸餾槽303之最大可允許壓力時產生引起第二蒸餾槽303之立即或延遲停用的信號。
在另一實例中，出於感測容納於第二蒸餾槽303內之冷凝物305之液體部分之含量的目的，液位感測器件135可位於第二蒸餾槽303內。可將由液位感測器件135產生且表示第二蒸餾槽303內液體部分之升高的信號傳輸至處理器件130。處理器件130可包括軟體、演算法、驅動器程式及類似者，或可以其他方式程式化以啟動警報(例如，光學警報、聽覺警報、觸覺警報或類似者)來警示人員可能的危險狀況及/或在所接收之信號降低至低於第二蒸餾槽303之最小可允許液位時產生引起第二蒸餾槽303之立即或延遲停用的信號。
在下一步驟中，經處理之(冷凝)介電流體107 (例如，經由第二蒸餾槽303之出口113)自第二階段103'離開(例如，藉由重力饋入流動)且如先前所描述(例如，經由至循環槽205之入口114)引入至第三階段104 (步驟4)中。在一些實施方案中，第三階段104可包括循環槽205、複數個過濾器206、207、208及泵系統211，其如先前所描述在封閉系統中彼此流體耦接。藉由使第三階段104中之經處理之(冷凝)介電流體107重複循環通過過濾器206、207、208，過濾器206中之乾燥劑對雜質/污染物之化學吸收及吸收率增加。
上文所描述之實施系統200、200'可為獨立系統，或有利地，如圖4中所描繪，可整合至或包括於浸入式冷卻系統401中，以使得經由浸入式冷卻系統401第一階段102、102'之入口108與第三階段104之出口121流體連通。較佳地，當進入及離開系統200、200'存在恆定流率時，將系統200、200'中之任一者整合至或包括於浸入式冷卻系統401中係可行、經濟且實用的。例如，只要離開第三階段104之經回收之介電流體105的輸出率等於(或超過)進入第一階段102之受污染之介電流體101的輸入率，則系統200、200'中之任一者均可有效地整合至或包括於浸入式冷卻系統401中。然而，若離開第三階段104之經回收之介電流體105的輸出率極大地或大於稍微超過進入第一階段102之受污染之介電流體101的輸入率，則將系統200、200'耦接至浸入式冷卻系統401可能並不經濟。對比而言，若離開第三階段104之經回收之介電流體105的輸出率小於進入第一階段102之受污染之介電流體101的輸入率，則系統200、200'可能無法有效地整合至或包括於浸入式冷卻系統401中。
替代地，在一些應用中，浸入式冷卻系統401可包括緩衝槽以儲存過量受污染之介電流體，以使得受污染之介電流體101可僅在浸入式冷卻系統401之緩衝槽之液位超過某一預界定臨限值的情況下經由泵系統402流動至第一階段102、102'中。在一些替代應用中，第三階段104可包括儲存經清潔介電流體之緩衝槽，以使得清潔介電流體105可僅在第三階段104之緩衝槽之液位超過某一預界定臨限值的情況下經由泵系統403流動至浸入式冷卻系統中。
在一些應用中，一或多個泵系統402、403可併入至實施系統200、200'與浸入式冷卻系統401之間的導管中。例如，如圖4中所展示，第一泵系統402可安裝於浸入式冷卻系統401與第一階段102、102'之入口108之間以將受污染之介電流體101遞送(亦即，泵送)至第一階段102、102'，而第二泵系統403可安裝於浸入式冷卻系統401與第三階段104之出口121之間以將經回收之介電流體105遞送(亦即，泵送)至浸入式冷卻系統401。
有利地，本發明之多個過濾及蒸餾階段可達成與工廠新鮮介電流體相當之純度，例如呈其純形式或純狀態，如藉由在經回收之介電流體105經釋放以返回至浸入式冷卻系統401之前在循環槽205中進行之電阻率及光學透射率量測所證明。
在不脫離本發明之精神或基本特徵之情況下，本發明可以其他特定形式實施。因此，前述實施例應在所有方面視為說明性的而非限制本文中所描述的本發明。因此，本發明之範疇由隨附申請專利範圍而非前述描述指示，且本文意欲涵蓋申請專利範圍等效物之含義及範圍內之所有變化。
101:受污染之介電流體 102:第一階段 102':第一階段/經調整之第一階段 103:第二階段/第二(蒸餾)階段 103':第二階段 104:第三階段 105:清潔介電流體/經回收之介電流體 106:經處理(經過濾及乾化)之介電流體 107:經處理之(冷凝)介電流體/製程(蒸餾)介電流體 108:第一階段之入口 109:第一機械粒子過濾器之出口 109a:機械粒子過濾器之出口 109b:機械粒子過濾器之入口 110:蒸餾槽之入口/第二階段之入口 111:第一蒸餾槽之出口 112:第二蒸餾槽之入口 113:第二蒸餾槽之出口 114:循環槽之入口 115:循環槽之出口/第一出口 116:過濾器之入口 117a:混合碳過濾器之出口 117b:混合碳過濾器之入口 118a:機械粒子過濾器之出口 118b:機械粒子過濾器之入口 120:循環槽之入口 121:第三階段之出口/第二出口/機械粒子過濾器之出口 122a:出口 122b:混合碳過濾器之入口 123:混合碳過濾器之出口 125:壓力感測器件 130:處理器件/處理器 135:液位感測器件 140:電阻率感測器件/感測器 145:光學透射率量測器件/感測器 200:多階段過濾及蒸餾系統 200':多階段過濾及蒸餾系統 201:第一機械粒子過濾器 202:冷凝器件/第一冷凝器件 203:第一蒸餾槽/蒸餾槽 204:加熱元件/加熱旋管 205:循環槽 206:具有乾燥劑之過濾器/過濾器 207:混合碳過濾器/過濾器 208:機械粒子過濾器/過濾器 209:循環冷凝物 210:進一步過濾之介電流體/進一步過濾之冷凝物 211:泵系統/泵器件 302:冷凝器件/第二冷凝器件 303:第二蒸餾槽/蒸餾槽 304:加熱元件 305:冷凝物/第一冷凝物/(冷凝)介電流體 306:具有乾燥劑之過濾器/過濾器 307:混合碳過濾器/過濾器 401:浸入式冷卻系統 402:第一泵系統/泵系統 403:第二泵系統/泵系統
在各圖式中，貫穿不同視圖相同元件符號一般係指相同部件。此外，圖式未必按比例繪製，取而代之，重點通常置放於說明本發明之原理上。在以下描述中，描述本發明之各種實施例。
圖1為根據本發明之一些實施例的用於回收介電流體之例示性方法的流程圖；
圖2為根據本發明之一些實施例的用於回收介電流體之第一系統的示意圖；
圖3為根據本發明之其他實施例的用於回收介電流體之第二系統的示意圖；及
圖4為根據本發明之其他實施例的用於自浸入式冷卻系統回收介電流體之系統的方塊圖。

Claims (33)

  1. 一種回收用於至少一個電子器件之浸入式冷卻之介電流體的方法，該方法包含： 過濾該介電流體以移除第一組固體污染物； 在至少一個蒸餾槽中蒸餾過濾介電流體以產生汽化介電流體； 分離該汽化介電流體與較低揮發性污染物，其中該汽化介電流體作為冷凝物引入至循環槽中； 藉由自該循環槽泵送該冷凝物通過至少一個過濾器來循環該冷凝物； 用該至少一個過濾器過濾循環冷凝物以移除第二組污染物；及 使過濾冷凝物返回至該循環槽中。
  2. 如請求項1之方法，其中過濾該介電流體以移除該第一組包含將該介電流體引入至機械過濾製程中。
  3. 如請求項2之方法，其中該機械過濾製程包含經由過濾器孔徑遞減之複數個機械粒子過濾器過濾該介電流體。
  4. 如請求項3之方法，其中該機械過濾製程包含經由自最大孔徑至最小孔徑連續配置之該等複數個機械粒子過濾器過濾該介電流體。
  5. 如請求項1之方法，其中過濾該介電流體以移除該第一組包含將該介電流體引入至具有乾燥劑之過濾器中。
  6. 如請求項1之方法，其中過濾該介電流體以移除該第一組包含將該介電流體引入至混合碳過濾器中。
  7. 如請求項1之方法，其中產生該汽化介電流體及分離其與較低揮發性污染物包含： 在校準溫度下在該至少一個蒸餾槽中冷凝該汽化介電流體以產生該冷凝物； 在該循環槽中收集該冷凝物；及 在該至少一個蒸餾槽之底部處收集該等較低揮發性污染物。
  8. 如請求項7之方法，其中該至少一個蒸餾槽包含與第二蒸餾槽流體連通之第一蒸餾槽，且產生及分離該汽化介電流體包含： 將該第一蒸餾槽中之介電流體加熱至第一校準溫度以使該介電流體汽化； 在該第二蒸餾槽中收集該汽化介電流體之冷凝物；及 將該第二蒸餾槽中之所收集之冷凝物加熱至第二校準溫度以使所收集之冷凝物汽化。
  9. 如請求項8之方法，其中該第二校準溫度低於該第一校準溫度。
  10. 如請求項7之方法，其中冷凝包含在該至少一個蒸餾槽內提供至少一個流體冷卻之冷凝旋管，該汽化介電流體冷凝於該冷凝旋管上。
  11. 如請求項10之方法，其中收集該冷凝物包含將該冷凝物自該流體冷卻之冷凝旋管之表面重力饋入該循環槽中。
  12. 如請求項1之方法，其中過濾循環冷凝物包含經由至少一個具有乾燥劑之過濾器過濾循環冷凝物。
  13. 如請求項1之方法，其中過濾循環冷凝物包含經由至少一個混合碳過濾器過濾循環冷凝物。
  14. 如請求項1之方法，其中過濾循環冷凝物包含經由至少一個機械粒子過濾器過濾循環冷凝物。
  15. 如請求項14之方法，其中過濾循環冷凝物包含經由複數個過濾器孔徑遞減之機械粒子過濾器過濾循環冷凝物。
  16. 如請求項15之方法，其中過濾循環冷凝物包含經由自最大孔徑至最小孔徑連續配置之該等複數個機械粒子過濾器過濾循環冷凝物。
  17. 如請求項1之方法，其進一步包含在該至少一個蒸餾槽中之任一者中之壓力超過可允許壓力的情況下中斷蒸餾。
  18. 如請求項1之方法，其進一步包含在該至少一個蒸餾槽中之任一者中之過濾介電流體含量小於最小可允許流體含量的情況下中斷蒸餾。
  19. 如請求項1之方法，其進一步包含在循環冷凝物中量測所需電阻率、所需紅外光譜或所需光學透射率中之至少一者時，中斷經由該循環槽循環該冷凝物。
  20. 如請求項1之方法，其進一步包含以下中之至少一者： 直接自浸入式冷卻系統回收該介電流體；及 使過濾冷凝物直接返回至該浸入式冷卻系統。
  21. 一種回收用於至少一個電子器件之浸入式冷卻之介電流體的系統，該系統包含： 用於過濾該介電流體以移除第一組固體污染物的第一過濾器件； 用於蒸餾過濾介電流體以產生汽化介電流體的至少一個蒸餾槽； 用於將該汽化介電流體之冷凝物與較低揮發性污染物分離之位於各蒸餾槽內之冷凝器件； 用於循環該汽化介電流體之冷凝物的循環槽；及 用於過濾循環冷凝物以移除第二組污染物的至少一個第二過濾器件。
  22. 如請求項21之系統，其中該第一過濾器件及該第二過濾器件中之至少一者包含至少一個機械過濾器。
  23. 如請求項22之系統，其中該至少一個機械過濾器包含複數個過濾器孔徑遞減之機械粒子過濾器。
  24. 如請求項21之系統，其中該等複數個機械粒子過濾器經構造及配置，以使得該介電流體自最大孔徑至最小孔徑連續行進穿過該等複數個機械粒子過濾器。
  25. 如請求項21之系統，其中該第一過濾器件及該第二過濾器件中之至少一者包含具有乾燥劑之過濾器。
  26. 如請求項21之系統，其中該第一過濾器件及該第二過濾器件中之至少一者包含混合碳過濾器。
  27. 如請求項21之系統，其中該至少一個蒸餾槽包含與第二蒸餾槽流體連通之第一蒸餾槽，以使得來自該第一蒸餾槽之汽化介電流體在冷凝之後可引入至該第二蒸餾槽中。
  28. 如請求項21之系統，其中該冷凝器件包含至少一個流體冷卻之冷凝旋管，該汽化介電流體冷凝於該冷凝旋管上。
  29. 如請求項21之系統，其進一步包含經組態以在該至少一個蒸餾槽中之壓力超過可允許壓力的情況下中斷蒸餾的中斷器件。
  30. 如請求項21之系統，其進一步包含經組態以在該至少一個蒸餾槽中之過濾介電流體含量小於最小可允許流體含量的情況下中斷蒸餾的中斷器件。
  31. 如請求項21之系統，其進一步包含以下中之至少一者： 用於感測循環冷凝物中之電阻率的感測器件； 用於感測循環冷凝物中之紅外光譜的感測器件； 用於感測循環冷凝物中之光學透射率的感測器件；及 用於在循環冷凝物中量測所需電阻率、所需紅外光譜或所需光學透射率中之至少一者時，中斷經由該循環槽循環該冷凝物的中斷器件。
  32. 如請求項21之系統，其進一步包含以下中之至少一者： 用於直接自浸入式冷卻系統回收該介電流體的管道；及 用於使過濾循環冷凝物直接返回至該浸入式冷卻系統的管道。
  33. 如請求項21之系統，其中該循環槽及至少一個第二過濾器件經組態處於進一步包含至少一個泵送系統之封閉迴路中。
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