KR20220062674A - 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 - Google Patents
침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체의 회수 방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 방법 및 시스템으로서, 그러한 방법은 제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하는 단계; 증발된 유전체 유체를 생산하기 위해 필터링된 유전체 유체를 하나 이상의 증류 탱크 내에서 증류하는 단계; 증발된 유전체 유체가 응축물로서 순환 탱크 내로 도입되도록, 증발된 유전체 유체를 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계; 응축물을 순환 탱크로부터 적어도 하나의 필터를 통해서 펌핑하는 것에 의해서 응축물을 순환시키는 단계; 제2 그룹의 오염물질을 제거하기 위해서 순환 응축물을 필터(들)를 통해서 필터링하는 단계; 및 필터링된 응축물을 순환 탱크로 복귀시키는 단계를 포함한다.
Description
관련 출원에 대한 상호 참조
본원은, 전체가 본원에서 참조로 포함되는 2019년 4월 9일자로 출원되고 명칭이 "METHOD AND APPARATUS FOR RECOVERING DIELECTRIC FLUIDS USED FOR IMMERSION COOLING"인 미국 정규 특허출원 제16/379,136호에 대한 우선권 및 그 이익을 주장한다.
본 발명은 일반적으로 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템 및 방법, 보다 특히 다수의 여과 및 증류 스테이지를 이용하여 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
유전체 유체, 예를 들어 냉매, 드라이-크리닝 용매, 및 다른 비-수성 기반의 용액이, 예를 들어 민감한 전자기기 및/또는 전기 장비를 포함하는, 첨단 기술 기구 및 디바이스를 세정하기 위해서 자주 이용된다. 통상적인 세정 방법은, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 침지, 헹굼, 분무, 증발, 및 기타를 포함할 수 있다. 불리하게도, 세정 동작에서의 반복된 사용 중에, 유전체 유체는, 예를 들어 소립자, 불순물, 고체 물질, 액체 물질, 및 기타에 의해서 오염되기 시작할 수 있다.
불순물/오염물질의 예시적인 공급원은 인쇄회로기판(PCB) 플럭스, 가소제, 물, 및 기타를 포함할 수 있다. 플럭스, 예를 들어 수지 및 로진이 원래는 PCB에서 발견될 수 있으나, 유전체 유체에 의해서 PCB로부터 세척될 수 있다. 전형적인 플럭스는 약 100℃ 내지 약 130℃ 사이의 비등점을 갖는다. 가소제는, 예를 들어, 일부 전기 케이블의 코팅에서 전형적으로 발견되는 플라스틱의 연성을 개선하기 위해서 사용되는 첨가제를 포함한다. 플럭스와 마찬가지로, 유전체 유체는 가소제를 씻어 내고, 이는 이어서 유전체 유체 내에서 현탁되어(suspended) 유지되거나 용액 내에서 유지된다. 전자기기 장비의 반복적인 가열 및 냉각으로 인해서, 주변 공기 내의 수증기가 응축될 수 있고 그 후에 유전체 유체 내로 용해될 수 있다.
이러한 오염의 결과로서 유전체 유체는 세정제로서 덜 효과적이 될 수 있다. 특히, 유전체 유체의 반복된 사용은 전기 전송에 대한 유체의 저항의 척도인 유체의 전기 비저항에 영향을 미칠 수 있고, 이는 전자기기 및/또는 전기 장비에 유해할 수 있다.
최근에 유전체 유체를 세정제로서 구현하는 것은, 특히 전자기기 또는 다른 전기 물품의 1-상 또는 2-상 액체 냉각을 위한, 전자기기 장비의 침지 냉각을 포함한다. 침지 냉각에서 반복적으로 사용될 때, 유전체 유체의 전기 비저항, 광학적 투과도, 및 다른 특성이 해로운 영향을 받을 수 있다. 따라서, 작업 유전체 유체가 그 순수한 형태 또는 순수한 상태에서 또는 그에 가깝게 유지되게 보장하기 위해서, 유전체 유체의 전기 비저항, 광학적 투과도, 및 다른 특성이 수용 가능한 한계 내에서 유지되도록, 유전체 유체는 극히 청정하게 유지되어야 하고 액체 및/또는 고체 오염물질을 본질적으로 포함하지 않아야 한다.
일부 유전체 유체의 높은 비용에 의해서, 예를 들어 침지 냉각에서 사용된 유전체 유체를 회수, 재활용, 및 재-사용하는 것이 유리할 수 있다. 그러나, 임의의 회수 및 재-사용은 많은 고체 및 액체 오염물질을 유전체 유체로부터 제거 또는 분리하는 것을 필요로 한다. 예시적인 오염물질은, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 미세-입자 또는 조대-입자 고체 소립자, 유전체 유체 내에 용해되지 않은 액체 오염물질, 유전체 유체 내에서 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 및 유전체 유체 내에서 완전히 용해된 액체 오염물질을 포함할 수 있다. 불리하게, 용해된 그리고 부분적으로 용해된 액체 오염물질은 공비혼합물(azeotrope)을 형성하여, 예를 들어 증류에 의한 유전체 유체로부터의 제거 및 분리를 더 어렵게 만들 수 있는데, 이는 공비혼합물 내의 액체의 동일한 또는 거의 동일한 비등점들 때문이다.
관련 기술은 바람직하지 못한 오염물질을 포함하는 유체를 필터링 및/또는 가열하는 예시적인 시스템 및 방법을 제공한다. 그러나, 이러한 시스템 및 방법의 일부는 전형적으로 용해된 및/또는 혼화성 유체를 효율적으로 필터링 및 제거할 수 없다.
그에 따라, 유전체 유체를 회수하고 정제하여 이를 순수한 또는 거의 순수한 상태 또는 순수한 또는 거의 순수한 형태로 복귀시키기 위한, 예를 들어 전자기기 및/또는 전기 장비의 침지 냉각을 위해서 사용된 오염된 유전체 유체를 재활용하기 위한 시스템 및 방법을 제공하는 것이 바람직할 수 있다. 보다 특히, 하나의 적용예에서, 세정 및 재활용 시스템과 유체 연통되는 침지 냉각 시스템의 동작을 중단시킬 필요가 없이, 오염된 유전체 유체를 재활용하도록 구성된 시스템 및 방법을 제공하는 것이 바람직할 수 있다.
제1 양태에서, 본 발명은 하나 이상의 전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하는 방법에 관한 것이다. 일부 실시형태에서, 방법은 제1 그룹의 고체 오염물질(예를 들어, 중간-입자 내지 조대 입자 고체 오염물질)을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하는 단계; 필터링된 유전체 유체를 하나 이상의 증류 탱크 내에서 증류하여 증발된 유전체 유체를 생산하는 단계; 증발된 유전체 유체가 응축물(condensate)로서 순환 탱크 내로 도입되도록, 증발된 유전체 유체를 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계; 응축물을 순환 탱크로부터 하나 이상의 필터를 통해서 펌핑하는 것에 의해서 응축물을 순환시키는 단계; 제2 그룹의 오염물질(예를 들어, 미세-입자의, 고체 오염물질, 매우 미세-입자의, 고체 오염물질, 오일, 물, 용해된 액체 오염물질, 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 용해되지 않은 액체 오염물질, 및 이들의 임의의 조합)을 제거하기 위해서 순환 응축물을 필터(들)를 통해서 필터링하는 단계; 및 필터링된 응축물을 순환 탱크로 복귀시키는 단계를 포함한다. 일 구현예에서, 제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하는 단계는 유전체 유체를 기계적 여과 프로세스 내로 도입하는 단계를 포함할 수 있고, 기계적 여과 프로세스는, 일부 변경예에서, 가장 큰 소공 크기(pore size)로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열될 수 있는 감소되는 필터 소공 크기의 다수의 기계적 소립자 필터로 구성되거나 본질적으로 구성될 수 있다. 선택적으로, 오염된 유전체 유체를 기계적 여과 프로세스를 통해서 필터링하는 단계에 더하여, 오염된 유전체 유체는 또한 건조제를 갖는 필터를 통해서, 혼합 탄소 필터를 통해서, 및 이들의 조합을 통해서 필터링될 수 있다.
일부 구현예에서, 증발된 유전체 유체를 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하는 단계는, 응축물을 생산하기 위해서 증발된 유전체 유체를 증류 탱크(들) 내에서 응축시키는 단계, 응축물을 순환 탱크 내에서 수집하는 단계, 및 더 적은 휘발성의 오염물질을 증류 탱크(들)의 하단 부분에서 수집하는 단계를 포함할 수 있다. 하나의 변형예에서, 응축시키는 단계는, 증류 탱크(들) 내에, 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 제공하는 단계를 포함하고, 증발된 유전체 유체가 그러한 응축 코일 상에서 응축되며, 응축물을 수집하는 단계는 응축물을 유체-냉각된 응축 코일의 외측부 표면으로부터 순환 탱크로 중력 공급하는 단계를 포함한다. 일부 변경예에서, 하나 이상의 증류 탱크는, 유체 연통되는, 제1 증류 탱크 및/또는 제2 증류 탱크 또는 그 초과를 포함할 수 있고, 증발된 유전체 유체의 응축물을 분리하는 단계는 유전체 유체를 증발시키기 위해서 제1 증류 탱크 내의 유전체 유체를 제1 교정 온도까지 가열하는 단계, 증발된 유전체 유체의 응축물을 제2 증류 탱크 내에서 수집하는 단계, 및 수집된 응축물을 증발시키기 위해서 제2 증류 탱크 내의 수집된 응축물을 (예를 들어, 제1 교정 온도보다 낮은) 제2 교정 온도까지 가열하는 단계를 포함한다.
일부 적용예에서, 순환 응축물을 필터링하는 단계는 응축물을 건조제를 갖는 하나 이상의 필터를 통해서, 하나 이상의 혼합 탄소 필터를 통해서, 및/또는 하나 이상의 기계적 소립자 필터를 통해서 통과시키는 또는 강제하는 단계를 포함하고, 기계적 소립자 필터는 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열된 감소되는 필터 소공 크기의 다수의 기계적 소립자 필터로 구성되거나 본질적으로 구성될 수 있다.
일부 변경예에서, 방법은 또한 이하의 단계 중 하나 이상을 포함할 수 있다: 증류 탱크(들) 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에 증류를 중단시키는 단계, 증류 탱크(들) 내의 필터링된 유전체 유체의 레벨이 최소 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에 증류를 중단시키는 단계, 및/또는 희망하는 전기 비저항 및/또는 희망하는 광학적 투과도 및/또는 희망하는 적외선 투과도가 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키는 단계. 다른 변경예에서, 방법은 또한 유전체 유체를 침지 냉각 시스템으로부터 직접적으로 회수하는 단계 및/또는 필터링된 응축물을 침지 냉각 시스템으로 직접적으로 복귀시키는 단계를 포함할 수 있다.
제2 양태에서, 본 발명은 전자 디바이스(들)의 침지 냉각을 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템에 관한 것이다. 일부 실시형태에서, 시스템은 제1 그룹의 고체 오염물질(예를 들어, 중간-입자 내지 조대 입자 고체 오염물질)을 제거하기 위해서 유전체 유체를 필터링하기 위한 제1 필터 디바이스; 증발된 유전체 유체를 생산하기 위해서 필터링된 유전체 유체를 증류하기 위한 하나 이상의 증류 탱크; 증발된 유전체 유체의 응축물을 분리하기 위해서 각각의 증류 탱크 내에 위치되는 응축 디바이스; 증발된 유전체 유체의 응축물을 순환시키기 위한 순환 탱크로서, 하나 이상의 펌핑 시스템을 선택적으로 포함하는, 순환 탱크; 및 제2 그룹의 오염물질(예를 들어, 미세-입자 고체 오염물질, 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 오일, 물, 용해된 액체 오염물질, 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 용해되지 않은 액체 오염물질, 및 이들의 임의의 조합)을 제거하기 위해서 순환 응축물을 필터링하기 위한 하나 이상의 제2 필터 디바이스를 포함할 수 있다. 일부 적용예에서, 제1 필터 디바이스 및/또는 제2 필터 디바이스는, 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 직렬로 배열된 감소되는 필터 소공 크기의 다수의 기계적 소립자 필터를 포함할 수 있는 하나 이상의 기계적 필터를 포함할 수 있다. 일부 변경예에서, 제1 및/또는 제2 필터 디바이스는 또한 하나 건조제를 갖는 하나 이상의 필터 및/또는 하나 이상의 혼합 탄소 필터를 포함할 수 있다.
일부 적용예에서, 하나 이상의 증류 탱크는, 응축 후에, 제1 증류 탱크로부터의 증발된 유전체 유체가 제2 증류 탱크 내로 도입될 수 있도록, 유체 연통되는 제1 증류 탱크 및 제2 증류 탱크를 포함할 수 있다. 일부 구현예에서, 응축 디바이스는, 증발된 유전체 유체를 응축시킬 수 있는 외측부 표면을 갖는 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 포함할 수 있다.
선택적으로, 시스템은: 증류 탱크 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에 증류를 중단시키도록 구성된 중단 디바이스, 증류 탱크 내의 필터링된 유전체 유체의 레벨이 최소 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에 증류를 중단시키도록 구성된 중단 디바이스, 순환 응축물 내의 전기 비저항을 감지하기 위한 감지 디바이스, 순환 응축물 내의 광학적 투과도를 감지하기 위한 감지 디바이스, 및/또는 희망하는 전기 비저항 및/또는 희망하는 적외선 투과도가 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키기 위한 중단 디바이스를 포함할 수 있다. 일부 변경예에서, 시스템은 또한 유전체 유체를 침지 냉각 시스템으로부터 직접적으로 회수하기 위한 도관 및/또는 필터링된 순환 응축물을 침지 냉각 시스템으로 직접적으로 복귀시키기 위한 도관을 포함할 수 있다.
도면에서, 유사 참조 문자는 일반적으로 상이한 도면들 전체를 통해서 동일 부품을 지칭한다. 또한, 도면이 반드시 실제 축척(scale)이지 않고, 그 대신에 본 발명의 원리를 설명할 때 일반적으로 강조된다. 이하의 설명에서, 본 발명의 여러 실시형태가 설명된다.
도 1은 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 예시적인 방법의 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제1 시스템의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제2 시스템의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 추가적인 실시형태에 따른 침지 냉각 시스템으로부터 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템의 블록도이다.
도 1은 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 예시적인 방법의 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제1 시스템의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유전체 유체를 회수하기 위한 제2 시스템의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 추가적인 실시형태에 따른 침지 냉각 시스템으로부터 유전체 유체를 회수하기 위한 시스템의 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 구현 방법 및 구현 방법을 수행하기 위한 예시적인 시스템이 각각 도시되어 있다. 제1 단계에서, 오염된 또는 부분적으로 오염된 유전체 유체(101)가 오염된 유전체 유체(101)의 회수를 위해서 다수-스테이지 여과 및 증류 시스템(200) 내로 도입될 수 있다(단계 1). 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 유전체 유체는 미국 미네소타 세인트 폴에 소재하는 3MTM에 의해서 제조된 NOVECTM 7100과 같은 조작된 유체일 수 있다. 순수한 또는 실질적으로 순수한 NOVECTM 7100은, 알려진 불순물/오염물질인 물의 비등점보다 훨씬 낮은, 약 61℃의 비등점을 갖는다. 이에 비해서, NOVECTM 7300은, 물의 100℃의 비등점에 매우 가까운, 약 98℃의 비등점을 갖는다. 당업자는, 그 근접한 비등점들로 인해서, NOVECTM 7300 및 물을 포함하는 액체 혼합물이, NOVECTM 7100 및 물을 포함하는 액체 혼합물보다, 공비혼합물을 형성할 가능성이 더 높다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
유전체 유체의 오염물은 (예를 들어, 잔류물, 파편, 불순물, 조대-입자 오염물질, 중간-입자 오염물질, 미세-입자 오염물질, 매우 미세-입자의 오염물질, 및 이들의 조합과 같은) 고체 오염물질, 및/또는 액체 오염물질(예를 들어, 오일, 물, 용해된 액체 오염물질, 부분적으로 용해된 액체 오염물질, 용해되지 않은 액체 오염물질, 및 이들의 임의의 조합)을 포함할 수 있다.
일부 실시형태에서, 오염된 유체(101)가 내부로 도입되는 다수-스테이지 여과 및 증류 시스템(200)의 제1 스테이지(102)가 제1 기계적 소립자 필터(201)를 포함할 수 있다(단계 2). 제1 기계적 소립자 필터(201) 및 제1 스테이지(102)는, 유전체 유체를 큰 고체(예를 들어, 조대-입자 내지 중간-입자) 및 불용성 오염물질로부터 분리하도록 구성되고 배열된다(단계 2). 일부 변경예에서, 제1 기계적 소립자 필터(201)는, (전형적으로 미크론으로 측정되는) 가장 큰 소공 크기를 갖는 필터 요소가 제1 스테이지(102)에 대한 유입구(108)에 가장 가까이 위치되고 가장 작은 소공 크기를 갖는 필터 요소가 제1의 복수의 기계적 필터(201)의 배출구(109)에 가장 가까이 위치되도록 직렬로 배열된 복수의 기계적 필터를 포함할 수 있고, 임의의 중간의 필터들의 소공 크기는 유입구(108)에 근접한 가장 큰 소공 크기로부터 배출구(109)에 근접한 가장 작은 소공 크기까지 감소된다. 동작 시에 제1의 복수의 기계적 필터(201) 내에서, 큰 소공 크기를 갖는 필터 요소는 조대-입자 고체 오염물질을 포획하고 보유하도록 구성되어, 중간-입자 및 미세-입자 내지 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 하류로 더 작은 소공 크기를 갖는 필터 요소에 그리고 배출구(109)에 전달한다. 작은 소공 크기를 갖는 필터는 중간-입자의 고체 오염물질을 포획 및 보유하도록 구성되어, 미세-입자 내지 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 하류로 배출구(109)에 전달한다. 필터는, 막힘을 방지하거나 최소화하기 위해서, 필요에 따라, 시간 경과시에 제거 및 교체될 수 있다.
다음 단계에서, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)가 (예를 들어, 제1 기계적 소립자 필터(201)의 배출구(109)를 통해서) 제1 스테이지(102)를 빠져 나가고(예를 들어, 유동되거나 그로부터 펌핑되고), 증류를 위해서 예를 들어 제1 증류 탱크(203)(단계 3) 내의 유입구(110)를 통해서, 제2 스테이지(103) 내로 도입된다. 증류 전에 또는 그와 동시에, 회수하고자 하는 유전체 유체보다 가볍거나 그보다 덜 조밀한 액체 불순물/오염물질이 액체 혼합물로부터 제거될 수 있다. 더 구체적으로, 회수하고자 하는 유전체 유체보다 가볍거나 그보다 덜 조밀한 액체 불순물/오염물질은 증류 탱크(203) 내의 액체 혼합물의 상단부까지, 더 조밀한 유전체 유체 및 더 조밀한 액체 오염물질의 상단부 상으로, 부유하려는 경향이 있고, 그러한 곳에서 이들은, 예를 들어 액체 스쿠프 또는 사이펀(liquid scoop or siphon)을 이용하여 수작업으로, 제거될 수 있다. 예를 들어, 로진으로 구성된 액체 플럭스 불순물은 전형적으로, 약 1.5 g/ cm3의 전형적인 NOVECTM 7100 밀도에 대비되는, 약 1.07 g/cm3의 밀도를 갖는다. 회수하고자 하는 유전체 유체보다 무겁거나 조밀한 액체 불순물/오염물질은 증류 탱크(203)의 하단부로 가라 앉을 것이다. 일부 변경예에서, 더 조밀한 액체 불순물/오염물질을 제거하기 위해서, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)의 대부분이 증발되고 더 조밀한 액체 불순물/오염물질이 증류 탱크(203)의 하단부까지 가라 앉으면, 하단부의 부분(bottom fraction)이 예를 들어 휴대 가능 저장용기 내로 펌핑될 수 있고, 그에 따라 불순물/오염물질이 증류 탱크(203)로부터 제거된다. 오염의 정도가 허용하는 경우에, 제거된 하단부의 부분이 별도로 회수될 수 있다. 제거된 하단부의 부분이 너무 오염된 경우에, 이는 재활용될 수 없는 폐기물로 처리될 수 있다.
제2 스테이지(103)에서의 증류는 주요 액체 불순물/오염물질의 대부분을 회수하고자 하는 유전체 유체의 대부분으로부터 분리하도록 구성되고 배열된다. 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점보다 상당히 높은 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질은, 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점에 가까운 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질보다, 증류 중에(단계 3), 프로세스된 (즉, 필터링된) 유전체 유체(106)로부터 더 용이하고 더 완전하게 분리된다. 따라서, 제2 스테이지(103) 증류(단계 3)의 하나의 목적은, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106) 내의 더 높은 비등점의 액체 불순물/오염물질이 용액 내에 잔류하도록, 회수하고자 하는 유전체 유체를 더 낮은 온도에서 증발시키는 것이다.
예를 들어, 각각 약 61℃ 및 약 98℃의 비등점을 갖는 NOVECTM 7100 및 NOVECTM 7300를 회상하면, (비등점이 100℃인) 물 및 61℃보다 상당히 높은 비등점을 갖는 다른 액체 불순물/오염물질은, (예를 들어, 약 105℃의 비등점에서) NOVECTM 7300으로부터 분리되는 것보다, 증류 중에(단계 3)(예를 들어, 약 65℃의 비등점에서) NOVECTM 7100으로부터 더 용이하고 완전하게 분리될 것이다. 간략히, NOVECTM 7100이 유전체 유체로서 사용될 때, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)가 약 65℃까지 가열되면, 회수하고자 하는 유전체 유체가 증발되고, 그에 따라 65℃를 초과하는 비등점을 갖는 물 및 다른 액체 불순물/오염물질을 후속 제거를 위해서 용액 내에 남긴다.
일부 구현예에서, 제2 스테이지(103)는 단일 증류 탱크(203)(도 2)를 포함할 수 있는 반면, 다른 구현예에서, 제2 스테이지(103')는 다수의 증류 탱크(203, 303)를 포함할 수 있다(도 3). 유리하게, 다수의 증류 탱크(203, 303)를 이용한 제2 스테이지(103') 증류는 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를, 가변적인 또는 더 넓은 범위의 비등점 및 가변적인 농도를 갖는 액체 불순물/오염물질로부터 점진적으로 분리한다.
관련 부분에서, 증류 탱크(203)는 증류 탱크(203)의 하단 표면에 또는 그 부근에 위치된 가열 요소(204) 및 증류 탱크(203)의 상단 표면에 또는 그 부근에 위치된 응축 디바이스(202)를 포함할 수 있다. 가열 요소(204), 예를 들어 가열 코일은 증류 탱크(203) 내에 포함된 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를 교정 온도(예를 들어, 순수한 또는 거의 순수 상태 또는 형태의 유전체 유체의 비등점보다 약간 높은 온도)까지 가열하도록 구성될 수 있다. 일부 적용예에서, 최대 증류 효과를 달성하기 위한 비등 만이 유지되도록, 가열 요소/코일(204)의 온도가 제어될 수 있다. 그와 달리, 가열 요소(204)의 온도가 제어되지 않는 경우에, 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)의 비등 온도가, 회수하고자 하는 유전체 유체(NOVECTM 7100)의 비등점에 비해서, 너무 높아질 수 있고, 그에 따라 회수하고자 하는 유전체 유체(NOVECTM 7100)와 함께 더 많은 불순물/오염물질이 증발되게 할 수 있다.
일부 변경예에서, 응축 디바이스(202)는, 냉각 유체(예를 들어, 물, 오일, 냉각제, 프레온, 암모니아, 및 기타)가 통과하여 유동되거나 펌핑될 수 있는, 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 포함할 수 있다. 동작 시에, 가열 요소(204)가 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를 교정된 비등 온도까지 가열하면, 증류 탱크(203) 내의 유전체 유체뿐만, 아니라 비등점이 유전체 유체 보다 낮은 임의의 액체 불순물/오염물질이 증발된다. 비등점이 교정된 비등 온도를 초과하는 다른 액체 불순물/오염물질은 증류 탱크(203) 내에서 액체 상태로 잔류할 것이다.
증발된 유전체 유체는 증류 탱크(203)의 상단부로 상승되고, 그 곳에서 응축 디바이스(202)의 외측부 표면(들)과 접촉된다. 응축 디바이스(202)를 통해서 유동하거나 펌핑되는 냉각제는, 고온 증기가 응축 디바이스(202)(예를 들어, 코일)의 외측부 표면(들)과 접촉되게 하여, 코일 상에서 유전체 유체의 액적(droplet)이 형성되게 한다. 유리하게 응축 디바이스(202)는, (예를 들어, 증류 탱크(203) 내의 배출구(111)를 통해서) 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)의 액적을 제3 스테이지(104)에 중력 공급하도록 피칭되거나(pitched) 달리 구성될 수 있다. 그에 따라, 제2 (증류) 스테이지(103)(단계 3)는, 배출구(111)를 통해서 증류 탱크(203)를 빠져 나가는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를, 증류 탱크(203)의 하단부에서 액체로 또는 현탁된 상태로 유지되는, 더 적은 휘발성의 유체 및 오염물질로부터 분리한다.
일부 구현예에서, 센서가 증류 탱크(203) 내로 통합될 수 있고 경고 시스템 및/또는 자동 차단 시스템에 각각 동작 가능하게 커플링될 수 있고, 그에 따라, 발생 가능한 위험 조건이 임박할 때, 발생 가능한 위험 조건을 조작자에게 경고할 수 있고/있거나 가열기 요소(204)를 자동적으로 차단할 수 있다. 예를 들어, 가열 요소(204)가 증류 탱크(203) 내의 프로세스된(즉, 필터링된) 유전체 유체(106)를 계속 증발시키는 동안 응축 유체가 응축 디바이스(202)를 통해서 유동되지 않는 경우에, 과압이 초래될 수 있다. 응축 유체가 응축 디바이스(202)를 통해서 유동하지 않기 때문에, 응축이 존재하지 않는다. 결과적으로, 가열된 증기를 증류 탱크(203)로부터 제거하기 위한 수단이 없기 때문에, 증기의 밀도가 계속 증가될 것이다.
탱크(203) 내의 압력을 감지하기 위해서, 압력-감지 디바이스(125)가 증류 탱크(203) 내에 위치될 수 있다. 압력-감지 디바이스(125)에 의해서 생성되고 증류 탱크(203) 내의 측정 압력을 나타내는 신호가 근거리의 또는 원격의 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 증류 탱크(203)에 대한 최대 허용 가능 압력을 초과할 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 증류 탱크(203)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다른 예에서, 액체 레벨-감지 디바이스(135)가, 증류 탱크(203) 내에 포함된 프로세스된(필터링된) 유전체 유체(106)의 액체 부분의 레벨을 감지하기 위해서 증류 탱크(203) 내에 위치될 수 있다. 액체 레벨-감지 디바이스(135)에 의해서 생성되고 증류 탱크(203) 내의 액체 부분의 높이를 나타내는 신호가 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 증류 탱크(203)에 대한 최소 허용 가능 액체 레벨 미만으로 떨어질 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 증류 탱크(203)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다음 단계에서, 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)는 (예를 들어, 증류 탱크(203)의 배출구(111)를 통해서) 제2 스테이지(103)를 빠져 나가고(예를 들어, 중력 공급에 의해서 그로부터 유동하고), 순환 여과(단계 5)를 위해서 (예를 들어, 순환 탱크(205)의 유입구(114)를 통해서) 제3 스테이지(104) 내로 도입된다(단계 4). 일부 구현예에서, 제3 스테이지(104)는, 폐쇄 시스템에서 서로 유체적으로 커플링된, 순환 탱크(205), 복수의 필터(206, 207, 208), 및 펌프 시스템(211)을 포함할 수 있다. 제3 스테이지(104)(단계 5)에서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를 반복적으로 순환 및 필터링하는 것 또는 순환 필터링하는 것은 회수하고자 하는 유전체 유체를 더 정제한다. 사실상, 순환 필터링은 필터(206) 내의 건조제에 의한 불순물/오염물질의 화학적 흡수를 증폭시키고, 그에 따라 흡수되는 불순물/오염물질의 양 및 속도(rate)를 증가시킨다.
본 발명의 일부 변경예에서, 순환 탱크(205)는, 유입되는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)뿐만 아니라, 예를 들어 미세-입자 또는 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 부가적으로 필터링된 추가적인 필터링된 유전체 유체(210); 혼화성, 용해된, 그리고 부분적으로 용해된 액체 오염물질(예를 들어, 공비혼합물, 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점과 유사한 비등점을 갖는 액체 불순물, 및 기타); 그리고 용해되지 않은 액체 오염물질(예를 들어, 오일, 물, 및 기타)를 유지 및 혼합하기 위한 스테이징 용기로서의 역할을 한다. 일부 변경예에서, 하나 이상의 감지 디바이스가 순환 탱크(205) 내에 위치되어, 순환 탱크(205) 내에 포함된 액체가 추가적인 필터링을 필요로 하는지(단계 5) 또는 침지 냉각 시스템으로 복귀시킬 수 있을 정도로 충분히 순수한지(단계 6)의 여부를 결정하기 위해서 이용될 수 있는 신호를 생성할 수 있다. 예를 들어, 일부 구현예에서, 하나 이상의 센서(140, 145)가 순환 탱크(205) 내로 통합될 수 있고 프로세싱 디바이스(130)에 동작 가능하게 커플링될 수 있고, 그러한 프로세싱 디바이스는, 순환 탱크(205) 내의 액체가 제2의 복수의 필터(206, 207, 208)에 유체적으로 커플링된 제1 배출구(115)를 통해서 탱크(205)를 빠져 나가는지의 여부 또는 제2 배출구(121)를 통해서 침지 냉각 시스템으로 탱크(205)를 빠져 나가는지의 여부를 제어하기 위해서, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
예를 들어, 일부 적용예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)가 순환 탱크(205) 내에 위치될 수 있다. 전기 비저항은, 바람직하지 않은, 전류를 전도할 수 있는 유체의 경향에 관한 척도를 제공한다. 사실상, 침지 냉각 시스템에서 냉각되는 침지된 전자기기 장비에 손상을 가할 수 있는 전류를 유전체 유체가 전송하는 것을 방지하거나 최소화하기 위해서, 유전체 유체 내에서 큰 전기 비저항을 유지하는 것이 바람직할 수 있다. 따라서, 일부 구현예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)에 의해서 감지되거나 측정된 전기 비저항이 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 전기 비저항보다 작을 때, 프로세싱 디바이스(130)는, 순환 탱크(205) 내의 유체가 제2의 복수의 필터(206, 207, 208) 내에서 추가적으로 필터링될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 개방하고 제2 배출구(121)를 폐쇄하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 그러나, 전기 비저항-감지 디바이스(140)에 의해서 감지되거나 측정된 전기 비저항이 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 전기 비저항 이상일 때, 프로세싱 디바이스(130)는 (순환 탱크(205) 내의 액체의 광학적 투과도가 또한 수용될 수 있는 경우에), 청정 유전체 유체(105)가 침지 냉각 시스템으로 복귀될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 폐쇄하고 제2 배출구(121)를 개방하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다.
일부 변경예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)는 순환 탱크(205) 내의 액체의 전기 비저항을 감지하여, 측정된 전기 비저항에 상응하는 신호를 생성하고 프로세싱 디바이스(130)에 전송하도록 구성될 수 있다. 예시적인 전기 비저항-감지 디바이스(140)는, 일본 도쿄에 소재하는 Kyoritsu에 의해서 제조된 Model 3007A와 같은, 디지털 절연/연속성 테스터를 포함할 수 있다.
일부 적용예에서, 전기 비저항-감지 디바이스(140)에 더하여 또는 대안적으로, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)가 또한 순환 탱크(205) 내에 위치될 수 있다. 투과도는 광을 전달할 수 있는 액체의 능력에 관한 척도이고, 이는 다시, 순환 탱크(205) 내의 유체가 흐리게 또는 불투명하게 보일 수 있게 하는 미립자 물질 및/또는 다른 고체 또는 액체 불순물/오염물질의 존재 또는 부재에 관한 표시를 제공한다. 일부 구현예에서, 약 2000 MΩ보다 큰 목표 최소 투과도가 바람직할 수 있으나; 수용 가능한 투과도 최소 값은 회수되는 유전체 유체의 유형 및 특성에 따라 달라진다.
일부 구현예에서, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)에 의해서 측정되거나 감지된 광학적 투과도가 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 광학적 투과도보다 작을 때, 프로세싱 디바이스(130)는, 순환 탱크(205) 내의 유체가 제2의 복수의 필터(206, 207, 208) 내에서 추가적으로 필터링될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 개방하고 제2 배출구(121)를 폐쇄하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 그러나, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)에 의해서 측정되거나 감지된 광학적 투과도가 최소의 허용 가능한 또는 바람직한 광학적 투과도 이상일 때, 프로세싱 디바이스(130)는 (순환 탱크(205) 내의 유체의 전기 비저항이 또한 수용될 수 있는 경우에), 청정 유전체 유체(105)가 침지 냉각 시스템으로 복귀될 수 있도록, 제1 배출구(115)를 폐쇄하고 제2 배출구(121)를 개방하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 예시적인 광학적 투과도-측정 디바이스(145)가 루멘 미터(lumen meter)와 조합된 광원을 포함할 수 있다.
일부 구현예에서, 부가적으로 또는 대안적으로, 적외선 분광법을 기초로 하는 감지 디바이스를 이용하여 순환 응축물의 특성을 결정할 수 있다. 적외선 분광법은, 분자 구조의 특징인 주파수를 분자가 흡수한다는 사실을 활용한다. 이러한 흡수는 공진 주파수에서 발생되고, 즉 흡수된 복사선의 주파수는 진동 주파수에 매칭된다. 에너지가 분자 포텐셜 에너지 표면의 형상, 원자의 질량, 및/또는 연관된 진동 커플링에 의해서 영향을 받을 수 있다. 적외선 복사선과 물질의 상호 작용 지표가 검사 물질의 화학적 구성에 따라 달라진다는 것이 알려져 있다. 따라서, 순환 응축물이 더 많은 오염물질을 포함할수록, 적외선 스펙트럼은 순수 유전체 유체와 더 많이 달라진다.
전술한 바와 같이, 전기 비저항-감지 디바이스(140)는 순환 탱크(205) 내의 액체의 전기 비저항을 감지하여, 측정된 전기 비저항에 상응하는 신호를 생성하고 프로세싱 디바이스(130)에 전송하도록 구성될 수 있는 한편, 광학적 투과도-측정 디바이스(145)는 순환 탱크(205) 내의 액체를 통한 광의 투과도를 감지하여, 측정된 투과도에 상응하는 신호를 생성하고 프로세싱 디바이스(130)에 전송하도록 구성될 수 있다. 감지된 또는 측정된 전기 비저항 및/또는 광학적 투과도가 그 각각의 허용 가능한 최대 및 최소 한계를 만족시키지 못할 때, 프로세싱 디바이스(130)는, 순환 탱크(205) 내의 유체가 순환되도록 그리고 제2의 복수의 필터(206, 207, 208) 내에서 부가적으로 필터링되도록, 제1 배출구(115)를 개방하고 제2 배출구(121)를 폐쇄하기 위한 신호를 생성하도록 프로그래밍될 수 있다. 일부 실시형태에서, 순환 응축물(209)은, 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(206)(단계 5A), 하나 이상의 혼합 탄소 필터(207)(단계 5B), 및 하나 이상의 기계적 소립자 필터(208)(단계 5C)로 이루어진 또는 본질적으로 이루어진 직렬 시퀀스를 통해서 필터링될 수 있다. 순환 응축물(209)이 제2의 복수의 필터(206, 207, 208)를 통과하면, 추가적인 필터링된 응축물(210)이, 전기 비저항 및 광학적 투과도 테스팅을 위해서, 예를 들어 펌프 시스템(211)을 이용한 펌핑에 의해서, 순환 탱크(205)로 복귀될 수 있다.
제3 스테이지(104)에 진입할 때 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내의, 순환 응축물(209) 내의, 및/또는 추가적인 필터링된 응축물(210) 내의 물의 존재는 혼합물의 전기 비저항에 유해한 영향을 미친다. 따라서, 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내의, 순환 응축물(209) 내의, 및/또는 추가적인 필터링된 응축물(210)을 건조제로 반복적으로 순환 및 필터링하는 것은 혼합물이 목표 전기 비저항 값에 도달할 수 있게 한다. 일부 적용예에서, 증류 프로세스 중에 제거되지 않은 또는 가열된 주변 공기의 응축을 통해서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내로 재도입된 임의의 물이, 예를 들어 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(206)에서 순환 응축물(209)을 필터링하는 것(단계 5A)에 의해서, 순환 응축물(209)로부터 분리될 수 있다. 예를 들어, 순환 응축물(209)은, 각각, 유입구(116), 그리고 하나 이상의 혼합 탄소 필터(207)의 유입구(117b)에 유체적으로 커플링된 배출구(117a)를 통해서, 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(들)(206)에 진입 및 진출할 수 있다.
일부 변경예에서, 예를 들어 건조제를 포함하는 필터(206)를 이용한 화학적 흡수(단계 5A)를 주로 이용하여, 증류 프로세스 중에 제거되지 않은 또는 가열된 주변 공기의 응축을 통해서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107) 내로 재도입된 임의의 잔류 물을 제거할 수 있다. 예를 들어, 회수하고자 하는 유전체 유체가 NOVECTM 7100인 경우에, 공비혼합물의 가능성이 낮고, 그에 따라, 증류 후에 물을 제거하기 위해서 건조제를 포함하는 필터(206)를 이용한 화학적 흡수(단계 5A)가 문제가 될 가능성이 낮은데, 이는 NOVECTM 7100의 비등점(61℃)과 물의 비등점(100℃) 사이의 상당한 차이 때문이다. 다른 한편으로, 회수하고자 하는 유전체 유체가 NOVECTM 7300인 경우에, 공비혼합물의 가능성이 더 높고, 그에 따라, 증류 후에 물을 제거하기 위해서 건조제를 포함하는 필터(206)를 이용한 화학적 흡수(단계 5A)가 문제가 될 가능성이 더 높은데, 이는 NOVECTM 7300의 비등점(98℃)과 물의 비등점(100℃)이 근접하기 때문이다. 당업자는, 건조제 필터 흡수 속도가 건조제의 노출 표면적 및 불순물/오염물질이 건조제에 노출되는 시간에 비례하고; 그에 따라, 순환 응축물(209)의 반복적인 순환이, 물을 순환 응축물(209)로부터 분리하기 위한 다수의 기회를 제공한다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이러한 목적을 위한 예시적인 필터는, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 건조제를 포함하는 밀봉된, 예를 들어 강(steel)의, 관을 포함한다.
혼합 탄소 필터(들)(207) 및 기계적 소립자 필터(들)(208)에서, 고체, 미용해 오염물질, 미세-입자 또는 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 그리고 증기 내에서 운반될 정도로 충분히 가벼운 중금속 소립자가 순환 응축물(209)로부터 분리될 수 있다(단계 5B 및 단계 5C). 이러한 목적을 위한 예시적인 필터는, 설명을 위해서 그리고 비제한적으로, 활성 탄소 필터, 이온 교환 중합체 필터, 세라믹 필터, 및 이들의 조합을 포함한다. 일부 실시형태에서, 순환 응축물(209)은, 각각, 유입구(117b), 그리고 하나 이상의 기계적 소립자 필터(208)의 유입구(118b)에 유체적으로 커플링된 배출구(118a)를 통해서, 혼합 탄소 필터(들)(207)에 진입 및 진출할 수 있다. 일부 변경예에서, 기계적 소립자 필터(208)는, 가장 큰 소공 크기를 갖는 필터 요소가 기계적 소립자 필터(208)의 유입구(118b)에 가장 가까이 위치되고 가장 작은 소공 크기를 갖는 필터 요소가 기계적 소립자 필터(208)의 배출구(121)에 가장 가까이 위치되도록 직렬로 배열된 복수의 기계적 필터를 포함할 수 있고, 임의의 중간의 필터들의 소공 크기는 유입구(118b)에 위치된 가장 큰 소공 크기로부터 배출구(121)에 위치되는 가장 작은 소공 크기까지 감소된다. 동작 시에, 가장 큰 소공 크기를 갖는 필터는 미세-입자 고체 오염물질을 포획하고 보유하여, 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 통과시키도록 구성된다. 작은 소공 크기를 갖는 필터는, 이러한 매우 미세-입자의 고체 오염물질을 포획하도록 구성된다.
추가적인 필터링된 응축물(210)이, 예를 들어, 순환 탱크(205)에 유체적으로 커플링된 배출구(121)를 통해서, 기계적 소립자 필터(208), 및 복수의 필터(206, 207, 208)를 빠져 나간다. 일부 변경예에서, 펌프 디바이스(211)가 복수의 필터(206, 207, 208)의 배출구(121)와 순환 탱크(205)의 유입구(120) 사이에 위치되어, 순환 응축물(209) 및 추가적인 필터링된 응축물(210)을 제3 스테이지(104)를 통해서 펌핑한다. 대안적으로, 펌프 디바이스(211)가 순환 탱크(205)의 배출구(115)와 복수의 필터(206, 207, 208)의 유입구(116) 사이에 위치될 수 있다.
순환 응축물(209) 및 추가적인 필터링된 응축물(210)은, 전기 비저항 및 광학적 투과도 요건을 만족시키는 순수한 또는 거의 순수한 형태 또는 상태로 유전체 유체를 복귀시키는데 필요한 횟수만큼, 제3 스테이지(104)(단계 5)에서 순환 탱크(205) 및 복수의 필터(206, 207, 208)를 통해서 순환될 수 있다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 전자 디바이스(들)를 침지 냉각하기 위해서 사용된 유전체 유체를 회수하기 위한 예시적인 시스템(200')의 제2 실시형태가 도시되어 있다. 일부 구현예에서, 구현된 시스템(200')은 전술한 바와 같이 제1 스테이지(102'), 제2 스테이지(103'), 및 제3 스테이지(104)를 포함할 수 있으나, 제1 스테이지(102') 및 제2 스테이지(103')가 수정되었다. 예를 들어, 일 구현예에서, 제1 스테이지(102')는, 제1 구현 시스템(200)과 관련하여 전술한 바와 같은 유일한 기계적 소립자 필터(들)(201) 대신, 복수의 필터(201, 306, 307)를 포함할 수 있다. 수정된 제1 스테이지(102')의 여과 시스템과 비교하면, (수정되지 않은) 제1 스테이지(102)의 여과 시스템은 더 작고 결합시키는데 있어서 더 저렴하나; 예를 들어 필터 유지, 필터 교환, 및 기타를 위한 더 많은 유지보수 및 중단 시간을 필요로 할 수 있다. 많은 양의 조대-입자 내지 중간-입자 고체 오염물질이 존재할 가능성이 높은 경우에, (수정되지 않은) 제1 스테이지(102)가 또한 더 양호한 선택이 될 수 있다. 다른 수정에서, 제2 스테이지(103')는 직렬 구성으로 구성된 복수의 증류 탱크(203, 303)를 포함할 수 있다. 유리하게, 다수의 증류 단계 및 탱크(203, 303)는 더 높은 비등점의 액체 불순물/오염물질의 더 효과적인 제거를 제공한다.
일부 실시형태에서, 수정된 제1 스테이지(102')가 복수의 필터(201, 306, 307)를 포함하는 경우에, 그러한 필터는, 침지 냉각 탱크에 유체적으로 커플링될 수 있는 유입구(108)에 가장 가까이 위치된, 전술한 바와 같은, 파편 및 조대-입자 내지 중간-입자 고체 오염물질을 제거하기 위한(단계 2A) 기계적 소립자 필터(들)(201)와 직렬로 배열될 수 있다. 물을 제거하기 위해서 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(306)가 기계적 소립자 필터(들)(201)의 하류에 위치될 수 있다(단계 2B). 예를 들어, 고체, 용해되지 않은 오염물질, 미세-입자 및 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 및 중금속 소립자를 제거하기 위해서, 하나 이상의 혼합 탄소 필터(307)가 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(들)(306)의 하류에 위치될 수 있다(단계 2C). 혼합 탄소 필터(들)(307)의 배출구(123)는 제2 스테이지(103')와 유체 연통될 수 있다. 복수의 필터(201, 306, 307)를 제1 스테이지(102')에 제공하는 것의 장점은, 예를 들어, 혼합물의 비등점을 낮추는 것, 그에 의해서 혼합물을 증류하는데 필요한 시간 및 에너지를 잠재적으로 줄일 수 있는 것을 포함하고, (증류 전의) 부가적인 예비-필터링은, 유지보수가 필요할 때까지, 시스템(200')이 더 오래 동작하게 할 수 있다.
일부 적용예에서, 오염된 유전체 유체(101)가 기계적 소립자 필터(들)(201)를 통해서 필터링되면(단계 2A), 액체 불순물/오염물질, 예를 들어 물이, 예를 들어, 건조제를 갖는 하나 이상의 필터(306) 내에서 프로세스된(기계적으로-필터링된) 유전체 유체를 필터링하는 것에 의해서, 프로세스된(기계적으로-필터링된) 유전체 유체로부터 분리될 수 있다(단계 2B). 유리하게, 증류 전의 물의 제거는 혼합물의 비등점을 낮출 수 있고, 그에 따라 증류를 완료하는데 필요한 에너지 및 시간을 줄일 수 있으며, 이는 물론 회수되는 유전체 유체의 비등점에 따라 달라진다. 동작 시에, 프로세스된(기계적으로-필터링된) 유전체 유체가, 각각, 기계적 소립자 필터(들)(201)의 배출구(109a)에 유체적으로 커플링될 수 있는 유입구(109b) 및 하나 이상의 혼합 탄소 필터(들)(307)의 유입구(122b)에 유체적으로 커플링될 수 있는 배출구(122a)를 통해서, 건조제를 갖는 필터(들)(306)에 진입 및 진출할 수 있다.
혼합 탄소 필터(들)(307) 내에서, 고체, 용해되지 않은 오염물질, 미세-입자 및 매우 미세-입자의 고체 오염물질, 그리고 중금속 소립자가 프로세스된(건조된) 유전체 유체로부터 분리될 수 있다(단계 2C). 동작 시에, 프로세스된(건조된) 유전체 유체는, 각각, 유입구(122b), 및 제2 스테이지(103')의 유입구(110)에 유체적으로 커플링될 수 있는 배출구(123)를 통해서, 혼합 탄소 필터(들)(307)에 진입 및 진출할 수 있다.
제2 수정예에서, 제2 스테이지(103')는 다수의 증류 탱크(203, 303), 그리고 결과적으로, 다수의 증류 프로세스를 포함할 수 있다. 유리하게, 다수의 증류 탱크(203, 303) 및 다수의 증류 프로세스는, 회수하고자 하는 유전체 유체보다 높은 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질로부터, 회수하고자 하는 유전체 유체의 보다 효율적인 분리를 가능하게 한다. 예를 들어, NOVECTM 7100의 비등점은 61℃이고, 물의 비등점은 100℃이며, 다양한 플럭스의 비등점은 100℃내지 130℃의 범위인 한편, 다른 불순물/오염물질(예를 들어, 가소제, 오일 및 기타)은 보다 더 높은 비등점을 가질 수 있다. 결과적으로, 제1 증류 탱크(203) 내의 이러한 불순물의 일부 부분과 NOVECTM 7100 유전체 유체가 조합된 프로세스된(필터링되고 건조된) 유전체 유체가 약 65℃의 혼합물 비등 온도를 가질 수 있다. 이러한 혼합물이 66℃의 온도까지 가열되는 경우에, 제2 증류 탱크(303) 내에서 수집된 응축물(305)은 더 높은 비율의 NOVECTM 7100 유전체 유체 및 더 낮은 비율의 물 및 다른 액체 불순물/오염물질을 가질 것이고, 결과적으로 65℃가 아니라 62℃의 비등점을 가질 수 있다. 제2 증류 탱크(303) 내에서, 응축물(305) 혼합물이 63℃까지 가열되는 경우에, 제3 스테이지(104)로 유동하는 프로세스 (증류된) 유전체 유체(107)는 보다 더 높은 비율의 NOVECTM 7100 유전체 유체 및 낮은 비율의 물 및 다른 불순물/오염물질을 가질 것이다.
비록 도 3이 2개의 증류 탱크(203, 303)를 도시하지만, 당업자는, 제2 스테이지(103')가 2개 초과의 증류 탱크(203, 303) 및 2개 초과의 증류 프로세스를 포함할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 2개의 도시된 증류 탱크(203, 303)를 포함하는 구현예에서, 제1 교정 온도에서 혼합 탄소 필터(들)(307)로부터 유동하는(또는 펌핑되는) 프로세스된(필터링되고 건조된) 유전체 유체(106)를 가열하는 제1 증류 프로세스(단계 3A)에 의해서 생산된 제1 응축물(305)에, 제2 교정 온도에서 제1 응축물(305)을 가열하는 제2 증류 프로세스(단계 3B)를 적용할 수 있다. 전형적으로, 제1 교정 온도는 제2 교정 온도보다 높고, 유전체 유체를, 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점보다 높은 비등점을 갖는 액체 불순물/오염물질로부터 분리하기 위해서, 제1 및 제2 교정 온도 모두는 회수하고자 하는 유전체 유체의 비등점을 초과한다.
관련 부분에서, 각각의 증류 탱크(203, 303)는 증류 탱크(203, 303)의 각각의 하단 표면에 또는 그 부근에 위치된 가열 요소(204, 304), 예를 들어 가열 코일 및 증류 탱크(203, 303)의 각각의 상단 표면에 또는 그 부근에 위치된 응축 디바이스(202, 302)를 포함할 수 있다. 일부 변경예에서, 응축 디바이스(202, 302)는, 비교적 큰 비열 용량을 갖는 냉각 유체(예를 들어, 물, 오일, 냉각제, 프레온, 암모니아, 및 기타)가 통과하여 유동되거나 펌핑될 수 있는, 하나 이상의 유체-냉각된 응축 코일을 포함할 수 있다. 동작 시에, 각각의 가열 요소(204, 304)가 증류 탱크(203, 303) 내에 포함된 액체를 적절한 교정 온도까지 가열하면, 유전체 유체가 증발된다. 증발된 유전체 유체는 증류 탱크(203, 303)의 상단부로 상승되고, 그 곳에서 증발된 유전체 유체는 응축 디바이스(202, 302)의 외측부 표면(들)과 접촉된다. 응축 디바이스(202, 302)를 통해서 유동하거나 펌핑되는 냉각제는, 고온 증기가 응축 디바이스(202, 302)(예를 들어, 코일)의 외측부 표면들과 접촉되게 하여, 코일 상에서 액적이 형성되게 한다. 유리하게, 제1 응축 디바이스(202)는 (예를 들어, 유입구(112)를 통해서) 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(305)의 액적을 제2 증류 탱크(303) 내로 중력 공급하도록 피칭되거나 달리 구성될 수 있고, 제2 증류 탱크에서 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(305)가 제2의 더 낮은 교정 온도까지 가열된다. 그에 따라, 제2 스테이지(103')의 제1 증류 프로세스는, 배출구(111)를 통해서 제1 증류 탱크(203)를 빠져 나가는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(305)를, 제1 증류 탱크(203)의 하단부에서 액체로 또는 현탁된 상태로 유지되는, 더 적은 휘발성의 유체 및 오염물질로부터 분리한다.
일부 적용예에서, 제2 응축 디바이스(302)는 또한, (예를 들어, 제2 증류 탱크(303) 내의 배출구(113)를 통해서) 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)의 액적을 제3 스테이지(104)에 중력 공급하도록 피칭되거나 달리 구성될 수 있다. 그에 따라, 제2 스테이지(103')는, 배출구(113)를 통해서 제2 증류 탱크(303)를 빠져 나가는 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를, 제1 증류 탱크(203) 및 제2 증류 탱크(303)의 하단부에서 액체로 또는 현탁된 상태로 유지되는, 더 적은 휘발성의 유체 및 오염물질로부터 분리한다.
일부 구현예에서, 센서가 또한 제2 증류 탱크(303) 내로 통합될 수 있고 경고 시스템 및/또는 자동 차단 시스템에 각각 동작 가능하게 커플링될 수 있고, 그에 따라, 발생 가능한 위험 조건이 임박할 때, 발생 가능한 위험 조건을 조작자에게 경고할 수 있고/있거나 가열기 요소(304)를 자동적으로 차단할 수 있다. 예를 들어, 가열 요소(304)가 제2 증류 탱크(303) 내의 응축물(305)을 계속 증발시키는 동안 응축 유체가 응축 디바이스(302)를 통해서 유동되지 않는 경우에, 과압이 초래될 수 있다. 응축 유체가 응축 디바이스(302)를 통해서 유동하지 않기 때문에, 응축이 존재하지 않는다. 결과적으로, 가열된 증기를 제2 증류 탱크(303)로부터 제거하기 위한 수단이 없기 때문에, 증기의 밀도가 계속 증가될 것이다.
제2 증류 탱크(303) 내의 압력을 감지하기 위해서, 압력-감지 디바이스(125)가 제2 증류 탱크(303) 내에 위치될 수 있다. 압력-감지 디바이스(125)에 의해서 생성되고 제2 증류 탱크(303) 내의 측정 압력을 나타내는 신호가 근거리의 또는 원격의 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 제2 증류 탱크(303)에 대한 최대 허용 가능 압력을 초과할 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 제2 증류 탱크(303)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다른 예에서, 액체 레벨-감지 디바이스(135)가, 제2 증류 탱크(303) 내에 포함된 응축물(305)의 액체 부분의 레벨을 감지하기 위해서 제2 증류 탱크(303) 내에 위치될 수 있다. 액체 레벨-감지 디바이스(135)에 의해서 생성되고 제2 증류 탱크(303) 내의 액체 부분의 높이를 나타내는 신호가 프로세싱 디바이스(130)에 전송될 수 있다. 프로세싱 디바이스(130)는, 수신된 신호가 제2 증류 탱크(303)에 대한 최소 허용 가능 액체 레벨 미만으로 떨어질 때, 발생 가능한 위험한 조건을 사람에게 알리기 위해서 경고, 예를 들어 광학적 경고, 청각적 경고, 촉각적 경고, 또는 기타를 개시하도록, 및/또는 제2 증류 탱크(303)의 즉각적인 또는 지연된 차단을 유발하기 위한 신호를 생성하도록, 소프트웨어, 알고리즘, 드라이버 프로그램 및 기타를 포함할 수 있거나, 달리 프로그래밍될 수 있다.
다음 단계에서, 전술한 바와 같이, 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)는 (예를 들어, 제2 증류 탱크(303)의 배출구(113)를 통해서) 제2 스테이지(103')를 빠져 나가고(예를 들어, 중력 공급에 의해서 그로부터 유동하고), (예를 들어, 순환 탱크(205)의 유입구(114)를 통해서) 제3 스테이지(104) 내로 도입된다(단계 4). 일부 구현예에서, 전술한 바와 같이, 제3 스테이지(104)는, 폐쇄 시스템에서 서로 유체적으로 커플링된, 순환 탱크(205), 복수의 필터(206, 207, 208), 및 펌프 시스템(211)을 포함할 수 있다. 프로세스된 (응축물) 유전체 유체(107)를 필터(206, 207, 208)를 통해서 제3 스테이지(104)에서 반복적으로 순환시킴으로써, 필터(206) 내의 건조제에 의한 불순물/오염물질의 화학적 흡수 및 흡수 속도가 증가된다.
전술한 구현된 시스템(200, 200') 모두가 독립형 시스템일 수 있거나, 유리하게, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(102, 102')의 유입구(108) 및 제3 스테이지(104)의 배출구(121)가 침지 냉각 시스템(401)과 유체 연통되도록, 침지 냉각 시스템(401) 내로 통합되거나 그에 포함될 수 있다. 바람직하게, 시스템(200, 200') 내외로의 유량이 일정할 때, 시스템(200, 200')을 침지 냉각 시스템(401) 내로 통합하는 것 또는 그에 포함시키는 것이 실현 가능하고, 경제적이며, 실용적이다. 예를 들어, 제3 스테이지(104)를 빠져 나가는 회수된 유전체 유체(105)의 출력 속도가 제1 스테이지(102) 내로의 오염된 유전체 유체(101)의 입력 속도와 동일(또는 초과)하기만 한다면, 시스템(200, 200') 모두가 침지 냉각 시스템(401) 내로 효율적으로 통합되거나 그에 포함될 수 있다. 그러나, 제3 스테이지(104)를 빠져 나가는 회수된 유전체 유체(105)의 출력 속도가 제1 스테이지(102) 내로의 오염된 유전체 유체(101)의 입력 속도보다 크게 또는 약간 이상 초과하는 경우에, 시스템(200, 200')을 침지 냉각 시스템(401)에 커플링시키는 것은 경제적이지 않을 수 있다. 대조적으로, 제3 스테이지(104)를 빠져 나가는 회수된 유전체 유체(105)의 출력 속도가 제1 스테이지(102) 내로의 오염된 유전체 유체(101)의 입력 속도 미만인 경우에, 시스템(200, 200')은 침지 냉각 시스템(401) 내로 효율적으로 통합될 수 없거나 그에 포함되지 않을 수 있다.
대안적으로, 일부 적용예에서, 침지 냉각 시스템(401)은 과다한 오염된 유전체 유체를 저장하기 위한 버퍼 탱크를 포함할 수 있고, 그에 따라, 침지 냉각 시스템(401)의 버퍼 탱크의 액체 레벨이 특정의 미리-규정된 문턱값을 초과하는 경우에, 오염된 유전체 유체(101)는 펌프 시스템(402)을 통해서 제1 스테이지(102, 102') 내로만 유동할 수 있다. 일부 대안적인 적용예에서, 제3 스테이지(104)는 세정된 유전체 유체를 저장하기 위한 버퍼 탱크를 포함할 수 있고, 그에 따라, 제3 스테이지(104)의 버퍼 탱크의 액체 레벨이 특정의 미리-규정된 문턱값을 초과하는 경우에, 세정된 유전체 유체(105)는 펌프 시스템(403)을 통해서 침지 냉각 시스템 내로만 유동할 수 있다.
일부 적용예에서, 하나 이상의 펌프 시스템(402, 403)이, 구현된 시스템(200, 200')과 침지 냉각 시스템(401) 사이의 도관 내에 통합될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 펌프 시스템(402)이 침지 냉각 시스템(401)과 제1 스테이지(102, 102')의 유입구(108) 사이에 설치되어 오염된 유전체 유체(101)를 제1 스테이지(102, 102')로 전달(즉, 펌핑)할 수 있는 한편, 제2 펌프 시스템(403)이 침지 냉각 시스템(401)과 제3 스테이지(104)의 배출구(121) 사이에 설치되어 회수된 유전체 유체(105)를 침지 냉각 시스템(401)에 전달(즉, 펌핑)할 수 있다.
유리하게, 본 발명의 다수 스테이지의 여과 및 증류는, 회수된 유전체 유체(105)가 방출되어 침지 냉각 시스템(401)에 복귀하기 전에, 순환 탱크(205)에서 수행된 전기 비저항 및 광학적 투과도 측정에 의해 입증되는 바와 같이, 예를 들어 순수한 형태 또는 순수한 상태의, 공장에서의 신선한 유전체 유체에 필적하는 순도 레벨을 달성할 수 있다.
본 발명의 사상 및 본질적인 특성으로부터 벗어나지 않고도, 본 발명이 다른 구체적인 형태로 이용될 수 있을 것이다. 그에 따라, 전술한 실시예는 모든 측면에서, 본원에서 설명된 발명을 제한하지 않고, 예시적인 것으로 간주된다. 그에 따라, 본 발명의 범위는, 전술한 설명이 아니라, 첨부된 청구항에 의해서 결정되고, 청구항의 의미 내의 그리고 균등론 범위 내의 모든 변화가 그에 따라 포함될 것이다.
Claims (20)
- 적어도 하나의 전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 액체 유전체를 회수하기 위한 시스템이며:
제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 액체 유전체를 필터링하기 위한 제1 필터 디바이스;
증발된 유전체 기체를 생산하기 위해서 필터링된 액체 유전체를 증류하기 위한 적어도 하나의 증류 탱크;
증발된 유전체 기체의 응축물을 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하기 위해서 각각의 증류 탱크 내에 위치되는 응축 디바이스;
증발된 유전체 기체의 응축물을 순환시키기 위해 증류 탱크의 하류에 배치된 순환 탱크; 및
제2 그룹의 오염물질을 제거하도록 순환 응축물을 필터링하기 위해 증류 탱크의 하류에 배치된 적어도 하나의 제2 필터 디바이스를 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
제1 필터 디바이스 및 제2 필터 디바이스 중 적어도 하나가 적어도 하나의 기계적 필터를 포함하는, 시스템. - 제2항에 있어서,
적어도 하나의 기계적 필터는 필터 소공 크기가 감소되는 복수의 기계적 소립자 필터를 포함하는, 시스템. - 제3항에 있어서,
액체 유전체가 가장 큰 소공 크기로부터 가장 작은 소공 크기까지 복수의 기계적 소립자 필터를 통해서 직렬로 이동되도록, 복수의 기계적 소립자 필터가 구성되고 배열되는, 시스템. - 제1항에 있어서,
제1 필터 디바이스 및 제2 필터 디바이스 중 적어도 하나가 건조제를 갖는 필터를 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
제1 필터 디바이스 및 제2 필터 디바이스 중 적어도 하나가 혼합 탄소 필터를 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크는, 응축 후에, 제1 증류 탱크로부터의 증발된 유전체 기체가 제2 증류 탱크 내로 도입될 수 있도록, 제2 증류 탱크와 유체 연통되는 제1 증류 탱크를 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
응축 디바이스는 적어도 하나의 유체-냉각된 응축 코일을 포함하고, 유체-냉각된 응축 코일 상에서 증발된 유전체 기체가 응축되는, 시스템. - 제1항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에, 증류를 중단하도록 구성된 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크 내의 필터링된 액체 유전체의 레벨이 최소의 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에, 증류를 중단하도록 구성된 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
순환 응축물 내의 광학적 투과도를 감지하기 위한 감지 디바이스; 및
희망하는 광학적 투과도가 순환 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키기 위한 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
필터링된 순환 응축물을 침지 냉각 시스템으로 직접적으로 복귀시키기 위한 도관을 더 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
순환 탱크 및 적어도 하나의 제2 필터 디바이스가 폐쇄 루프 내에서 구성되고, 시스템은 적어도 하나의 펌핑 시스템을 더 포함하는, 시스템. - 제1항에 있어서,
순환 응축물 내의 전기 비저항을 감지하기 위한 감지 디바이스; 및
희망하는 전기 비저항이 순환 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키기 위한 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템 - 제1항에 있어서,
순환 응축물 내의 적외선 분광을 감지하기 위한 감지 디바이스; 및
희망하는 적외선 분광이 순환 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통한 응축물의 순환을 중단시키기 위한 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템 - 제1항에 있어서,
액체 유전체를 침지 냉각 시스템으로부터 직접적으로 회수하기 위한 도관을 더 포함하는, 시스템. - 적어도 하나의 전자 디바이스의 침지 냉각을 위해서 사용된 액체 유전체를 회수하기 위한 시스템이며:
제1 그룹의 고체 오염물질을 제거하기 위해서 액체 유전체를 필터링하기 위한 제1 필터 디바이스;
제1 증발된 유전체 기체를 생산하기 위해서 필터링된 액체 유전체를 증류하기 위한 제1 증류 탱크;
제1 증발된 유전체 기체의 응축물을 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하기 위해서 제1 증류 탱크 내에 위치되는 제1 응축 디바이스;
제2 증발된 유전체 기체를 생산하기 위해서 제1 증류 탱크로부터 응축된 액체 유전체를 증류하기 위한 제1 증류 탱크와 유체 연통하는 제2 증류 탱크;
제2 증발된 유전체 기체의 응축물을 더 적은 휘발성의 오염물질로부터 분리하기 위해서 제2 증류 탱크 내에 위치되는 제2 응축 디바이스;
제2 증류 탱크로부터 제2 증발된 유전체 기체의 응축물을 순환시키기 위해 제2 증류 탱크의 하류에 배치된 순환 탱크; 및
제2 그룹의 오염물질을 제거하도록 순환 응축물을 필터링하기 위해 제2 증류 탱크의 하류에 배치된 적어도 하나의 제2 필터 디바이스를 포함하는, 시스템. - 제17항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크 내의 압력이 허용 가능 압력을 초과하는 경우에, 증류를 중단하도록 구성된 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템. - 제17항에 있어서,
적어도 하나의 증류 탱크 내의 필터링된 액체 유전체의 레벨이 최소의 허용 가능 유체 레벨 미만인 경우에, 증류를 중단하도록 구성된 중단 디바이스를 더 포함하는, 시스템. - 제17항에 있어서,
순환 응축물 내의 전기 비저항을 감지하기 위한 감지 디바이스;
순환 응축물 내의 적외선 분광을 감지하기 위한 감지 디바이스;
순환 응축물 내의 광학적 투과도를 감지하기 위한 감지 디바이스; 및
희망하는 전기 비저항, 희망하는 적외선 분광, 및 희망하는 광학적 투과도 중 적어도 하나가 순환 응축물 내에서 측정될 때 순환 탱크를 통해 응축물을 순환시키는 것을 중단시키기 위한 중단 디바이스
중 적어도 하나를 더 포함하는, 시스템.
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