TW202034106A - 電磁閥系統 - Google Patents

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TW202034106A
TW202034106A TW108148385A TW108148385A TW202034106A TW 202034106 A TW202034106 A TW 202034106A TW 108148385 A TW108148385 A TW 108148385A TW 108148385 A TW108148385 A TW 108148385A TW 202034106 A TW202034106 A TW 202034106A
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倉田敏徳
久保史
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日商Ｓｍｃ股份有限公司
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Abstract

電磁閥系統(10A)係具備：供氣用電磁閥(14)；複數個排氣用電磁閥(16、18)；及閥控制部(126)，係藉由PWM控制或PFM控制來控制供氣用電磁閥(14)與複數個排氣用電磁閥(16、18)之各者的開閉動作。複數個排氣用電磁閥(16、18)係彼此並排地配置；供氣用電磁閥(14)的流量特性與複數個排氣用電磁閥(16、18)之各者的流量特性係彼此大致相同；複數個排氣用電磁閥(16、18)的數量，係供氣用電磁閥(14)之數量的2倍。

Description

電磁閥系統
本發明係關於一種電磁閥系統。
在日本特開第2005-157644號公報中，已揭示一種電磁閥系統，該電磁閥系統係具備：供氣閥體，係將使入口通口(port)與出口通口連通的供氣流路予以開閉；及導引(pilot)閥部，係用以驅動供氣閥體。此電磁閥系統係具有各一個：供氣用電磁閥，係控制供給至導引閥部之導引室之氣體的流量；及排氣用電磁閥，係控制從導引室所排出之氣體的流量。供氣用電磁閥及排氣用電磁閥係藉由PWM(Pulse Width Modulation，脈衝寬度調變)控制或PFM(Pulse Frequency Modulation，脈衝頻率調變)而控制開閉動作。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開第2005-157644號公報
不過，在上述的電磁閥系統中，為了謀求成本的低廉化，供氣用 電磁閥與排氣用電磁閥，較佳為使用彼此相同者(流量特性彼此大致相同者)。然而，此時，在排氣用電磁閥之控制周期的最大排氣量，會比在供氣用電磁閥之控制周期的最大供氣量更少。
因此，在電磁閥系統中，排氣用電磁閥之開閉動作的次數(驅動次數)，會比供氣用電磁閥之開閉動作的次數(驅動次數)更多。依據本發明人的致力探究，排氣用電磁閥的驅動次數，會是供氣用電磁閥之驅動次數的約2倍。因此，在電磁閥系統中，排氣用電磁閥的壽命會比供氣用電磁閥的壽命更短。當排氣用電磁閥達到壽命時，必須更換電磁閥系統整體。
本發明係考慮到此問題而研創完成者，其目的在提供一種可謀求成本的低廉化及長壽命化的電磁閥系統。
本發明的一態樣為一種電磁閥系統，係具備：供氣閥體，係將使入口通口與出口通口彼此連通的供氣流路予以開閉；及導引閥部，係用以驅動前述供氣閥體；且前述電磁閥系統具備：供氣用電磁閥，係控制供給至前述導引閥部之導引室之氣體的流量；複數個排氣用電磁閥，係控制從前述導引室所排出之氣體的流量；及閥控制部，係藉由PWM控制或PFM控制來控制前述供氣用電磁閥與前述複數個排氣用電磁閥之各者的開閉動作；前述複數個排氣用電磁閥係彼此並排地配置，前述供氣用電磁閥的流量特性與前述複數個排氣用電磁閥之各者的流量特性係彼此大致相同，前述複數個排氣用電磁閥的數量係前述供氣用電磁閥之數量的2倍。
依據本發明，由於供氣用電磁閥的流量特性與複數個排氣用電磁閥之各者的流量特性彼此大致相同，而可謀求零件的共通化，因此可謀求電磁閥 系統的低廉化。此外，由於將複數個排氣用電磁閥的數量設為供氣用電磁閥之數量的2倍，因此可有效率地減低各排氣用電磁閥的驅動次數。藉此，即可縮小各排氣用電磁閥與供氣用電磁閥的壽命差，故可謀求電磁閥系統的長壽命化。
上述之目的、特徵及優點，應可從參照所附圖式進行說明之下述實施型態的說明中易於明瞭。
10A、10B:電磁閥系統
12、200:閥本體
14:供氣用電磁閥
16:第一排氣用電磁閥
18:第二排氣用電磁閥
20、72、201:閥主體
22:供氣閥部
24:排氣閥部
26、202:導引閥部
28:入口通口
30:出口通口
32:供氣流路
34:供氣閥體
36:供氣閥座
38:供氣彈推構件
40:排氣通口
42:排氣流路
44:排氣閥體
46:排氣閥座
48:排氣彈推構件
50:隔膜
52:閥體操作部
54:導引室
56:背壓室
58:中間流路
60:固定部
62:桿
64:卡合凸部
66:連通流路
68:第一排出流路
70:第二排出流路
74:提升閥
76:外殼
78:固定鐵心
80:可動鐵心
82:彈推構件
84:螺線管部
84a:線圈
84b:繞線管
85:內孔
86:輸入通口
88:輸出通口
90:流路
92:閥座
100:檢測感測器
102:電源
104:輸入部
106:顯示部
108:控制部
112:信號轉換部
114:偏差算出部
116:開啟時間設定部
118:臨限值設定部
120:判定部
122:動作模式設定部
124:使用電磁閥設定部
126:閥控制部
128:計時器
204:節流部
206:連通路
208:第一流路
210、214:檢測感測器
212:第二流路
300:氣體供給源
302:氣壓機器
A1:第一下限臨限值
Au:第一上限臨限值
Bu:第二上限臨限值
M:使用電磁閥
P0、P2:初始值
P1、P3:設定值
T:控制時間
T1:上限開口時間
t1:時點
Tf:開啟經過時間
Ton:開啟時間
Tr:開啟經過時間
第1圖係本發明之第一實施型態之電磁閥系統的概略構成圖。
第2圖係供氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥及第二排氣用電磁閥)的剖面圖。
第3圖係控制部的方塊圖。
第4圖係用以說明電磁閥系統之控制的第一流程圖。
第5圖係用以說明電磁閥系統之控制的第二流程圖。
第6圖係用以說明電磁閥系統之控制的第三流程圖。
第7圖係用以說明電磁閥系統之控制的第四流程圖。
第8圖係開啟第1圖之供氣用電磁閥後之狀態的說明圖。
第9圖係開啟第1圖之第一排氣用電磁閥後之狀態的說明圖。
第10圖係開啟第1圖之第一排氣用電磁閥及第二排氣用電磁閥後之狀態的說明圖。
第11圖係第1圖之電磁閥系統之上升控制的時序圖。
第12圖係第1圖之電磁閥系統之下降控制的時序圖。
第13圖係本發明之第二實施型態之電磁閥系統的概略構成圖。
以下列舉較佳的實施型態，一面參照所附的圖式一面說明本發明的電磁閥系統。
(第一實施型態)
第1圖所示之本發明之第一實施型態的電磁閥系統，係例如被用來作為電動氣動調節器(regulator)使用，該電動氣動調節器係根據輸入信號而進行氣壓機器302的壓力控制。
如第1圖所示，電磁閥系統10A係具備：閥本體12、供氣用電磁閥14、第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18。閥本體12係具有閥主體20、供氣閥部22、排氣閥部24及導引閥部26。在閥主體20中，係形成有使入口通口28與出口通口30彼此連通的供氣流路32。入口通口28係供用以供給壓縮氣體(例如壓縮空氣)的氣體供給源300連接。出口通口30係供氣壓機器302連接。
供氣閥部22係將供氣流路32予以開閉。具體而言，供氣閥部22係具有：供氣閥體34，係配設於供氣流路32內；供氣閥座36，係供供氣閥體34座落；及供氣彈推構件38，係將供氣閥體34向供氣閥座36彈推。
供氣閥體34係被供氣彈推構件38朝總是關閉的方向彈推。供氣閥座36係設於形成供氣流路32的壁部。以供氣彈推構件38而言，雖例如有壓縮線圈彈簧，但不限定於此。
在閥主體20中，係形成有使比供氣流路32中之供氣閥座36更下游側與排氣通口40彼此連通的排氣流路42。排氣通口40係開放於大氣中。
排氣閥部24係配置成在供氣彈推構件38彈推供氣閥體34的方向上與供氣閥部22並排。排氣閥部24係將排氣流路42予以開閉。具體而言，排氣閥部24係具有：排氣閥體44，係配設於排氣流路42內；排氣閥座46，係供排氣閥體44座落；及排氣彈推構件48，係將排氣閥體44向排氣閥座46彈推。
排氣閥體44係被排氣彈推構件48朝總是關閉的方向彈推。排氣閥座46係設於形成排氣流路42的壁部。排氣彈推構件48的彈推方向係相對於供氣彈推構件38的彈推方向為相反方向。以排氣彈推構件48而言，雖例如有壓縮線圈彈簧，但不限定於此。
導引閥部26係用以使供氣閥體34及排氣閥體44驅動者，且設於閥主體20。導引閥部26係包含：隔膜(diaphragm)50、及設於隔膜50的閥體操作部52。
隔膜50係將形成於閥主體20之預定的空間，劃分為導引室54與背壓室56。背壓室56係經由形成於閥主體20的中間流路58而與出口通口30連通。閥體操作部52係具有：固定部60，係固定於隔膜50的中央部；及桿62，係以從固定部60貫通排氣閥部24之方式延伸至供氣閥部22。
桿62的延伸端部係抵接著供氣閥體34。桿62係朝向與供氣彈推構件38之彈推方向的相反方向推壓供氣閥體34。在桿62中之供氣閥部22與排氣閥部24之間係設有卡合於排氣閥體44的卡合凸部64。卡合凸部64係朝向與排氣彈推構件48之彈推方向的相反方向推壓排氣閥體44。
供氣用電磁閥14係將使入口通口28與導引室54彼此連通的連通流路66予以開閉。供氣用電磁閥14係控制供給至導引室54之氣體的流量。
第一排氣用電磁閥16係將連接於連通流路66的第一排出流路68予以開閉。第二排氣用電磁閥18係將連接於連通流路66的第二排出流路70予以開閉。第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18係彼此並排地配設。第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的各者係控制從導引室54排出之氣體的流量。
在本實施型態中，係相對於一個供氣用電磁閥14設有二個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)。換言之，排氣用電磁閥的數量係供氣用電磁閥14之數量的2倍。
如第2圖所示，供氣用電磁閥14係具備：閥主體72；提升(poppet)閥74；外殼76；固定鐵心78；可動鐵心80；彈推構件82；及螺線管(solenoid)部84。在閥主體72中，係形成有使輸入通口86與輸出通口88連通的流路90。提升閥74係開閉流路90。具體而言，提升閥74係以座落於設在形成流路90之壁部上之閥座92之方式配設於流路90內。
外殼76係以收容固定鐵心78、可動鐵心80、彈推構件82及螺線管部84之方式設於閥主體72。螺線管部84係包含捲繞有線圈84a的繞線管(bobbin)84b。在繞線管84b中，係形成有供配設固定鐵心78及可動鐵心80的內孔85。
固定鐵心78係固定於外殼76。可動鐵心80係與固定鐵心78同軸配設，並且固定於提升閥74。可動鐵心80係滑動於繞線管84b的內面。彈推構件82係彈推可動鐵心80，讓提升閥74座落於閥座92。
在此種供氣用電磁閥14中，係在未通電於線圈84a的非激磁狀態下，藉由彈推構件82的彈推力使提升閥74座落於閥座92而關閉流路90。另一 方面，當對線圈84a通電時，線圈84a被激磁，可動鐵心80因為激磁作用而被吸引至固定鐵心78側，可動鐵心80一面滑動於繞線管84b的內面一面位移。藉此，提升閥74即從閥座92離開，故流路90敞開。
第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的各者係與供氣用電磁閥14同樣地構成。亦即，第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18與供氣用電磁閥14為相同的部件構成，且為經由相同製造步驟所製造的電磁閥。換言之，第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18之各者的流量特性係與供氣用電磁閥14的流量特性大致相同。
在此，所謂流量特性係指藉由表示使用音速電導(conductance)與臨界壓力比所算出之壓力損耗的公式所決定者(JIS B8390)。此外，所謂流量特性大致相同，係指當供氣用電磁閥14之流量特性的壓力損耗設為1時，第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18之各者之流量特性的壓力損耗會落入0.7至1.3的範圍內。
如此，由於第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的各者係具備與供氣用電磁閥14相同的構成要素，因此省略其詳細之構成的說明。
如第1圖及第3圖所示，電磁閥系統10A更具備：檢測感測器(sensor)100；電源102；輸入部104；顯示部106；及控制部108。
檢測感測器100係檢測與出口通口30及背壓室56連通之中間流路58內之壓力的壓力感測器。換言之，檢測感測器100係檢測在出口通口30之下游側所產生的壓力(氣壓機器302的壓力)。檢測感測器100係將與氣壓機器302之壓力對應的信號輸出至控制部108。此時，電磁閥系統10A係控制出口通口30之下游側之氣體的壓力。
檢測感測器100不限定於壓力感測器。檢測感測器100亦可為檢測出口通口30之流量的流量感測器。此時，電磁閥系統10A將控制被排出於出口通口30之下游側的流量。
電源102係對於控制部108供給電力。輸入部104係例如具有用以輸入氣壓機器302之設定值(設定壓力)的按鍵。輸入部104亦可為觸控面板(touch panel)等。顯示部106係顯示設定值(設定壓力)及測量值(經由檢測感測器100所檢測出的壓力)等。
控制部108係包含微電腦(microcomputer)的計算機，具有CUP(Central Processing Unit，中央處理裝置)、屬於記憶體的ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)等，且由CPU讀取並執行記憶在ROM中的程式以發揮作為各種功能實現部(功能實現手段)的功能。另外，各種功能實現部亦可藉由作為硬體(hardware)的功能實現器來構成。
如第3圖所示，控制部108係具有：信號轉換部112；偏差算出部114；開啟時間設定部116；臨限值設定部118；判定部120；動作模式設定部122；使用電磁閥設定部124；閥控制部126；及計時器(timer)128。
信號轉換部112係將來自檢測感測器100的類比(analogue)信號轉換為數位(digital)信號(測量值)。偏差算出部114係算出來自輸入部104之指示值(設定值)與來自信號轉換部112之測量值的偏差。
開啟時間設定部116係設定為了使測量值與設定值一致所需之供氣用電磁閥14及排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開啟時間Ton。
如第11圖等所示，臨限值設定部118係設定第一上限臨限值Au、第一下限臨限值A1、第二上限臨限值Bu及第二下限臨限值B1。第一上限臨限值Au係設定為比設定值更大達相應於第一臨限值範圍△A的值。第一下限臨限值A1係設定為比設定值更小了相應於第一臨限值範圍△A的值。第二上限臨限值Bu係設定為比設定值更大達相應於第二臨限值範圍△B的值。第二下限臨限值B1係設定為比設定值更小了相應於第二臨限值範圍△B的值。
第一臨限值範圍△A較佳為設定為未達電磁閥系統10A之滿刻度(full scale)之輸出值(最大壓力值)之3%的範圍內，尤佳為設定為1%。第二臨限值範圍△B較佳為設定為電磁閥系統10A之滿刻度之輸出值(最大壓力值)的3%以上且7%以下，尤佳為設定為5%。此時，可使電磁閥系統10A之下游側的壓力(氣壓機器302的壓力)精確度良好地與設定值一致(接近)。
在第3圖中，判定部120係比較經由偏差算出部114所算出的偏差、與在臨限值設定部118所設定之第一臨限值範圍△A及第二臨限值範圍△B。判定部120係判定經由計時器128所測量的時間是否已到達預定的時間(控制周期、開啟時間)。
動作模式設定部122係設定由第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18交替地各開啟一次(或各複數次)之第一動作模式、及由第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18同時地開啟之第二動作模式的任一者。
使用電磁閥設定部124係設定以第一動作模式之控制周期所控制的排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16或第二排氣用電磁閥18)作為使用電磁閥。
閥控制部126係將供氣用電磁閥14、第一排氣用電磁閥16及第 二排氣用電磁閥18之各者的開閉動作進行PWM控制或PFM控制。
接著說明電磁閥系統10A的控制。另外，在初始狀態下，如第1圖所示，假設供氣用電磁閥14、第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的各者係已關閉著。亦即，在初始狀態下，係供氣閥體34座落於供氣閥座36，並且排氣閥體44座落於排氣閥座46。
如第4圖所示，在步驟S1中，使用者係將氣壓機器302的設定壓力輸入於輸入部104。如此一來，即從輸入部104將與設定壓力對應的輸入信號(設定值)輸入於控制部108。此外，檢測感測器100係檢測出口通口30(氣壓機器302)的壓力。檢測感測器100的檢測信號係輸出至信號轉換部112。
接著，在步驟S2中，偏差算出部114係藉由從設定值減去測量值(從信號轉換部112所輸出的信號)而算出偏差。再者，在步驟S3中，計時器128係開始控制時間T的測量。之後，在步驟S4中，判定部120係判定偏差的絕對值是否比第一臨限值範圍△A更小。
當偏差的絕對值(設定值與測量值的差)為第一臨限值範圍△A以上時(步驟S4：NO(否))，在第5圖中，開啟時間設定部116係算出為了將氣壓機器302的壓力設為設定值所需之供氣用電磁閥14或排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開啟時間Ton(步驟S5)。
此時，當偏差的極性為正(設定值比測量值更大)時，開啟時間設定部116係算出供氣用電磁閥14的開啟時間Ton。當偏差的極性為負(設定值比測量值更小)時，開啟時間設定部116係算出排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開啟時間Ton。
接下來，在步驟S6中，開啟時間設定部116係判定所算出的開啟 時間Ton是否為控制周期之上限開口時間T1以下。當開啟時間Ton比上限開口時間T1更大時(步驟S6：NO)，在步驟S7中，開啟時間設定部116係將開啟時間Ton設定為上限開口時間T1。當開啟時間Ton為上限開口時間T1以下時(步驟S6：YES(是))，開啟時間設定部116係使用在步驟S5所算出的值作為開啟時間Ton。
當開啟時間Ton被設定時，在步驟S8中，判定部120係判定偏差的極性是否為正。換言之，判定部120係根據偏差的極性而判定應控制供氣用電磁閥14與排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的哪一者。亦即，當偏差的極性為正時，由於測量值比設定值更小，因此判定部120係判定應控制供氣用電磁閥14。另一方面，當偏差的極性為負時，由於測量值比設定值更大，因此判定部120係判定應控制排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)。
當偏差為正的值時(步驟S8：YES)，在步驟S9中，閥控制部126係將ON(接通)信號(閥開啟信號)輸出至供氣用電磁閥14。藉此，使供氣用電磁閥14開啟。
在第8圖中，當供氣用電磁閥14開啟時，由於連通流路66敞開，因此入口通口28的壓縮氣體經由連通流路66而被導入至導引室54內。因此，導引室54內的壓力上升。當導引室54內的壓力比背壓室56內的壓力更大時，隔膜50即位移至背壓室56側，因此桿62以抵抗供氣彈推構件38之彈推力之方式推壓供氣閥體34。
藉此，使供氣閥體34開啟，因此供氣流路32敞開。因此，入口通口28的壓縮氣體係經由供氣流路32而流動於出口通口30，且被導入至氣壓 機器302。因此，測量值(檢測感測器100所檢測的壓力)上升。另外，此時，排氣閥體44係藉由排氣彈推構件48的彈推力而座落於排氣閥座46。
此時，從入口通口28被導入至出口通口30的壓縮氣體係經由中間流路58而被導入至背壓室56。亦即，背壓室56內的壓力上升。再者，隔膜50會動作成使背壓室56內之壓力與供氣彈推構件38之彈推力的合成力與導引室54內的壓力均衡。
此外，如第5圖所示，在步驟S10中，計時器128係開始測量從閥控制部126輸出接通信號後的開啟經過時間Tr。再者，在步驟S11中，判定部120係判定開啟經過時間Tr是否已到達開啟時間Ton。步驟S11係重複進行至開啟經過時間Tr到達開啟時間Ton(步驟S11：NO)。
當開啟經過時間Tr到達開啟時間Ton時(步驟S11：YES)，在步驟S12中，閥控制部126係將OFF(關斷)信號(閥閉信號)輸出至供氣用電磁閥14。藉此，使供氣用電磁閥14關閉。
之後，在步驟S13中，判定部120係判定控制時間T是否已到達控制周期。步驟S13係重複進行至控制時間T到達控制周期(步驟S13：NO)。
當控制時間T到達控制周期時(步驟S13：YES)，在步驟S14中，控制部108係取得測量值。亦即，控制部108係藉由檢測感測器100進行壓力的檢測。之後，返回步驟S2的處理(參照第4圖)。
當偏差為負的值時(步驟S8：NO)，在步驟S15中，判定部120係判定偏差的絕對值是否比第二臨限值範圍△B更小。當偏差的絕對值比第二臨限值範圍△B更小時(步驟S15：YES)，在步驟S16中，動作模式設定部122係設定由第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18交替地各開啟一次的第一動 作模式。
亦即，如第6圖所示，在步驟S17中，判定部120係判定以第一動作模式之前次之控制周期所設定的使用電磁閥M是否為第一排氣用電磁閥16。換言之，判定部120係在此次的控制周期中，判定應控制第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的哪一者。亦即，判定部120係判定為應以此次的控制周期控制與以第一動作模式之前次之控制周期動作之排氣用電磁閥不同的排氣用電磁閥。另外，使用電磁閥M之初始值(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的任一者均未動作時的初始設定值)係被設定為第二排氣用電磁閥18。
當以第一動作模式之前次之控制周期所設定的使用電磁閥M非為第一排氣用電磁閥16(第二排氣用電磁閥18)時(步驟S17：NO)，在步驟S18中，閥控制部126係將ON信號(閥開信號)輸出至第一排氣用電磁閥16。藉此，使第一排氣用電磁閥16開啟。此時，第二排氣用電磁閥18係關閉著。
在第9圖中，當第一排氣用電磁閥16開啟時，導引室54內的壓縮氣體係從第一排出流路68排出至外部，導引室54內的壓力降低。
當導引室54內的壓力變得比背壓室56內的壓力更小時，隔膜50即位移至導引室54側，因此設於桿62的卡合凸部64以抵抗排氣彈推構件48之彈推力之方式推壓排氣閥體44。藉此，使排氣閥體44開啟，因此排氣流路42敞開。因此，測量值(檢測感測器100所檢測的壓力)降低。另外，此時，供氣閥體34係藉由供氣彈推構件38的彈推力而座落於供氣閥座36。
此時，背壓室56內的壓縮氣體係經由中間流路58、出口通口30及排氣流路42而被引導至排氣通口40。亦即，背壓室56內的壓力降低。再者， 隔膜50動作成使導引室54內之壓力與排氣彈推構件48之彈推力的合成力與背壓室56內的壓力均衡。
此外，如第6圖所示，在步驟S19中，計時器128係開始測量從閥控制部126輸出ON信號後的開啟經過時間Tf。再者，在步驟S20中，判定部120係判定開啟經過時間Tf是否已到達開啟時間Ton。步驟S20係重複進行至開啟經過時間Tf到達開啟時間Ton(步驟S20：NO)。
當開啟經過時間Tf到達開啟時間Ton時(步驟S20：YES)，在步驟S21中，閥控制部126係將OFF信號(閥閉信號)輸出至第一排氣用電磁閥16。藉此，使第一排氣用電磁閥16關閉。此外，在步驟S22中，使用電磁閥設定部124係將以第一動作模式之此次的控制周期所控制的使用電磁閥M設定為第一排氣用電磁閥16。之後，如第4圖及第5圖所示，進行步驟S13之後的處理。
如第6圖所示，在步驟S17中，當以第一動作模式之前次的控制周期所設定的使用電磁閥M為第一排氣用電磁閥16時(步驟S17：YES)，在步驟S23中，閥控制部126係將ON信號(閥開信號)輸出至第二排氣用電磁閥18。藉此，使第二排氣用電磁閥18開啟。此時，第一排氣用電磁閥16係關閉著。此時之電磁閥系統10A的動作係與上述之開啟第一排氣用電磁閥16時的動作相同。
此外，在步驟S24中，計時器128係開始測量從閥控制部126輸出ON信號後的開啟經過時間Tf。再者，在步驟S25中，判定部120係判定開啟經過時間Tf是否已到達開啟時間Ton。步驟S25係重複進行至開啟經過時間Tf到達開啟時間Ton(步驟S25：NO)。
當開啟經過時間Tf到達開啟時間Ton時(步驟S25：YES)，在步 驟S26中，閥控制部126係將OFF信號(閥閉信號)輸出至第二排氣用電磁閥18。藉此，使第二排氣用電磁閥18關閉。此外，在步驟S27中，使用電磁閥設定部124係將以第一動作模式之此次的控制周期所控制的使用電磁閥M設定為第二排氣用電磁閥18。之後，如第4圖及第5圖所示，進行步驟S13之後的處理。
如第5圖所示，在步驟S15中，當偏差的絕對值為第二臨限值範圍△B以上時(步驟S15：NO)，在步驟S28中，動作模式設定部122係設定第一排氣用電磁閥16與第二排氣用電磁閥18同時開啟的第二動作模式。
亦即，如第7圖所示，在步驟S29中，閥控制部126係將ON信號(閥開信號)同時輸出至第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的兩方。藉此，使第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18同時開啟。
如第10圖所示，當開啟第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18之兩方時，導引室54內的壓縮氣體即從第一排出流路68及第二排出流路70之兩方被排出至外部，導引室54內的壓力降低。如此一來，閥本體12即與開啟第一排氣用電磁閥16時同樣地動作，因此從信號轉換部112所輸出的測量值(檢測感測器100所檢測的壓力)降低。
此外，如第7圖所示，在步驟S30中，計時器128係開始測量從閥控制部126輸出ON信號後的開啟經過時間Tf。再者，在步驟S31中，判定部120係判定開啟經過時間Tf是否已到達開啟時間Ton。步驟S31係重複進行至開啟經過時間Tf到達開啟時間Ton(步驟S31：NO)。
當開啟經過時間Tf到達開啟時間Ton時(步驟S31：YES)，在步驟S32中，閥控制部126係將OFF信號(閥閉信號)同時輸出至第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18之兩方。藉此，使第一排氣用電磁閥16及第二排 氣用電磁閥18關閉。之後，如第4圖及第5圖所示，進行步驟S13之後的處理。
如第4圖所示，在步驟S4中，當偏差的絕對值比第一臨限值範圍△A更小時(步驟S4：YES)，在步驟S33中，閥控制部126係將OFF信號(閥閉信號)輸出至供氣用電磁閥14、第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18。之後，在步驟S34中，判定部120係判定控制時間T是否已到達控制周期。步驟S34係重複進行至控制時間T到達控制周期(步驟S34：NO)。當控制時間T到達控制周期時(步驟S34：YES)，在步驟S35中，控制部108係判定偏差之絕對值比第一臨限值範圍△A更低的狀態(設定值到達狀態)是否已持續了預定時間。
當設定值到達狀態未持續預定時間時(步驟S35：NO)，進行步驟S2之後的處理。當設定值到達狀態已持續了預定時間時(步驟S35：YES)，一連串的動作流程結束。
在上述之電磁閥系統10A的控制中，係已說明了在第一動作模式中，第一排氣用電磁閥16與第二排氣用電磁閥18交替地各開啟一次之例。然而，閥控制部126亦可以在第一動作模式中，第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18交替地各開啟複數次之方式控制開閉動作。
接著說明使用電磁閥系統10A而使氣壓機器302的壓力從初始值P0上升至設定值P1的上升控制(第11圖所示之控制)。亦即，在此上升控制中，使用者係將對應於設定值P1的設定壓力輸入至輸入部104(第4圖的步驟S1)。
在上升控制中，係在第11圖的時點t1，開始第4圖至第7圖所示之流程圖的步驟S2。亦即，在時點t1中，如第4圖所示，偏差算出部114係藉由從設定值減去測量值來算出偏差(步驟S2)。再者，在步驟S3中，計時器128 係開始控制時間T的測量。
接下來，在步驟S4中，判定部120係判定偏差的絕對值是否比第一臨限值範圍△A更大(步驟S4：NO)。此時，如第5圖所示，由於偏差的極性為正，因此在步驟S5中，開啟時間設定部116係算出為使測量值與設定值一致所需之供氣用電磁閥14的開啟時間Ton。在時點t1中，由於開啟時間Ton比控制周期的上限開口時間T1更長(步驟S6：NO)，因此開啟時間設定部116係將開啟時間Ton設定為控制周期的上限開口時間T1(步驟S7)。
再者，判定部120係判定偏差的極性為正(步驟S8：YES)。因此，閥控制部126係在供氣用電磁閥14開啟了相應於開啟時間Ton之後關閉(步驟S9至步驟S12，參照第8圖)。如第11圖所示，此種供氣用電磁閥14的開啟控制係重複地實施(參照第4圖及第5圖之步驟S2至步驟S14)。藉此，測量值即上升。
在時點t2中，測量值係上升至第一下限臨限值A1。如此一來，如第4圖所示，判定部120判定偏差的絕對值比第一臨限值範圍△A更小(步驟S4：YES)。
再者，在步驟S33中，閥控制部126係將OFF信號輸出至供氣用電磁閥14、第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18。接下來，當控制時間T到達控制周期時(步驟S34：YES)，控制部108係判定設定值到達狀態是否已持續了預定時間(步驟S35)。由於設定值到達狀態未持續預定時間(步驟S35：NO)，因此進行步驟S2之後的處理。
在第11圖的時點t3中，測量值係上升至第一上限臨限值Au。如此一來，在第4圖中，判定部120係判定偏差的絕對值為第一臨限值範圍△A以 上(步驟S4：NO)。
此時，由於偏差的極性為負，因此在第5圖中，第一排氣用電磁閥16係算出為使測量值與設定值一致所需之排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開啟時間Ton。在此，由於開啟時間Ton為控制周期的上限開口時間T1以下(步驟S6：YES)，因此開啟時間設定部116係使用在步驟S5中所算出的值作為開啟時間Ton。
再者，判定部120係判定為偏差的極性為負(步驟S8；NO)，且判定為偏差的絕對值比第二臨限值範圍△B更小(步驟S15：YES)。因此，在步驟S16中，動作模式設定部122係設定第一動作模式。
在第6圖中，當判定部120判定為以第一動作模式之前次的控制周期設定了第二排氣用電磁閥18作為使用電磁閥M時(步驟S17：NO)，閥控制部126係在第一排氣用電磁閥16開啟了相應於開啟時間Ton之後關閉(步驟S18至步驟S21，參照第9圖)。藉此，出口通口30(氣壓機器302)的壓力即降低。之後，在步驟S22中，使用電磁閥設定部124係將使用電磁閥M設定為第一排氣用電磁閥16。
在第11圖的時點t4中，測量值係上升至第二上限臨限值Bu。如此一來，在第5圖中，判定部120係判定為偏差的絕對值已達第二臨限值範圍△B以上(步驟S15：NO)。因此，在步驟S28中，動作模式設定部122係設定第二動作模式。
因此，如第7圖所示，閥控制部126係在第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18同時開啟了相應於預定的開啟時間Ton之後同時關閉(步驟S29至步驟S32，參照第10圖)。藉此，出口通口30(氣壓機器302)的壓力即 降低。
在第11圖的時點t5中，測量值係降低至第二上限臨限值Bu。如此一來，在第5圖中，判定部120係判定為偏差的絕對值已比第二臨限值範圍△B更小(步驟S15：YES)。因此，在步驟S16中，動作模式設定部122係設定第一動作模式。
如第6圖所示，判定部120係判定為已設定有第一排氣用電磁閥16作為使用電磁閥M(步驟S17：YES)，因此閥控制部126係在第二排氣用電磁閥18開啟了相應於開啟時間Ton之後關閉(步驟S23至步驟S26)。藉此，出口通口30(氣壓機器302)的壓力即降低。之後，在步驟S27中，使用電磁閥設定部124係將使用電磁閥M設定為第二排氣用電磁閥18。
在第11圖的時點t6中，測量值係降低至第一上限臨限值Au。如此一來，在第4圖中，判定部120係判定為偏差的絕對值已比第一臨限值範圍△A更小(步驟S4：YES)。此時，進行步驟S33至步驟S35的處理。在此，由於設定值到達狀態未持續預定時間(步驟S35：NO)，因此進行步驟S2之後的處理。
在第11圖的時點t7中，測量值係降低至第一下限臨限值A1。如此一來，在第4圖中，判定部120係判定為偏差的絕對值已達第一臨限值範圍△A以上(步驟S4：NO)。再者，在第5圖中，判定部120係判定為偏差為正(步驟S8：YES)。因此，閥控制部126係在供氣用電磁閥14開啟相應於預定的開啟時間Ton之後關閉(步驟S9至步驟S12，參照第8圖)。
在第11圖的時點t8中，測量值係上升至第一下限臨限值A1。如此一來，在第4圖中，判定部120係判定為偏差的絕對值比第一臨限值範圍△A更小(步驟S4：YES)。此時，進行第4圖之步驟S33至步驟S35的處理。在此， 由於設定值到達狀態持續預定時間(步驟S35：YES)，因此上升控制的處理結束。
接著說明使用電磁閥系統10A而使氣壓機器302的壓力從初始值P2下降至設定值P3的下降控制(第12圖所示之控制)。亦即，在此下降控制中，使用者係將對應於設定值P3的設定壓力輸入至輸入部104(步驟S1)。
在下降控制中，係於第12圖的時點t10中，開始第4圖之流程圖的步驟S2。亦即，在時點t10中，如第4圖所示，偏差算出部114係藉由從設定值減去測量值而算出偏差(步驟S2)。再者，在步驟S3中，計時器128係開始控制時間T的測量。
接下來，在步驟S4中，判定部120係判定為偏差的絕對值比第一臨限值範圍△A更大(步驟S4：NO)。此時，由於偏差的極性為負，因此如第5圖所示，在步驟S5中，開啟時間設定部116係算出為使測量值與設定值一致所需之排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開啟時間Ton。在時點t10中，由於開啟時間Ton比控制周期的上限開口時間T1更長(步驟S6：NO)，因此開啟時間設定部116係將開啟時間Ton設定為控制周期的上限開口時間T1(步驟S7)。
再者，判定部120係判定為偏差的極性為負(步驟S8：NO)，且判定為偏差的絕對值比第二臨限值範圍△B更大(步驟S15：NO)。因此，在步驟S28中，動作模式設定部122係設定第二動作模式。
亦即，如第7圖所示，閥控制部126係在第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18同時開啟了相應於預定的開啟時間Ton之後同時關閉(步驟S29至步驟S32，參照第10圖)。藉此，出口通口30(氣壓機器302)的壓力即降低。
在第12圖的時點t11中，測量值係降低至第二上限臨限值Bu。如此一來，如第5圖所示，判定部120係判定為偏差的絕對值已比第二臨限值範圍△B更小(步驟S15：YES)。因此，在步驟S16中，動作模式設定部122係設定第一動作模式。
在第6圖中，判定部120係當判定為以第一動作模式之前次的控制周期設定了第二排氣用電磁閥18作為使用電磁閥M時(步驟S17：NO)，閥控制部126係在第一排氣用電磁閥16開啟了相應於預定的開啟時間Ton之後關閉(步驟S18至步驟S21，參照第8圖)。藉此，出口通口30(氣壓機器302)的壓力即降低。之後，在步驟S22中，使用電磁閥設定部124係將使用電磁閥M設定為第一排氣用電磁閥16。
在第12圖的時點t12中，測量值係降低至第一上限臨限值Au。如此一來，在第4圖中，判定部120係判定為偏差的絕對值已比第一臨限值範圍△A更小(步驟S4：YES)。此時，進行第4圖之步驟S33至步驟S35的處理。在此，由於設定值到達狀態未持續預定時間(步驟S35：NO)，因此進行步驟S2之後的處理。
在第12圖的時點t13中，測量值係降低至第一下限臨限值A1。如此一來，如第5圖所示，判定部120係判定為偏差的絕對值已達第一臨限值範圍△A以上(步驟S4：NO)，且判定為偏差為正(步驟S8；YES)。因此，閥控制部126係在供氣用電磁閥14開啟了相應於開啟時間Ton之後關閉(步驟S9至步驟S12，參照第8圖)。
在第12圖的時點t14中，測量值係上升至第一下限臨限值A1。如此一來，如第4圖所示，判定部120係判定為偏差的絕對值比第一臨限值範圍 △A更小(步驟S4：YES)。此時，進行第4圖的步驟S33至步驟S35的處理)。在此，由於設定值到達狀態持續預定時間(步驟S35：YES)，因此下降控制的處理結束。
本實施型態之電磁閥系統10A係達成下述的功效。
電磁閥系統10A係具備：供氣用電磁閥14，係控制供給至導引閥部26之導引室54之氣體的流量；複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)，係控制從導引室54所排出之氣體的流量；及閥控制部126，係藉由PWM控制或PFM控制來控制供氣用電磁閥14與複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)之各者的開閉動作。複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)係彼此並排地配置，供氣用電磁閥14的流量特性與複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)之各者的流量特性係彼此大致相同，複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的數量係供氣用電磁閥14之數量的2倍。
依據此構成，供氣用電磁閥14的流量特性與複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)之各者的流量特性即彼此大致相同。藉此，可謀求零件的共通化，因此可謀求電磁閥系統10A的低廉化。
此外，由於將複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的數量設為供氣用電磁閥14之數量的2倍，因此可有效率地減低各排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的驅動次數。藉此，即可縮小各排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)與供氣用電磁閥14的壽命差(提升閥74座落於閥座92時的磨損及可動鐵心 80滑動於繞線管84b之內面時之磨損所導致的壽命差)，故可謀求電磁閥系統10A的長壽命化。
電磁閥系統10A係具備動作模式設定部122，該動作模式設定部122係設定由複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)交替地各開啟一次或複數次的第一動作模式、及由複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)同時開啟之第二動作模式的任一者。閥控制部126係根據經由動作模式設定部122所設定的動作模式來控制複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開閉動作。
依據此構成，即可藉由進行由複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)交替地各開啟一次或複數次的第一動作模式，將控制周期中之排氣用電磁閥之最小開口時間設為與供氣用電磁閥14的最小開口時間相同。藉此，即可抑制導引室54內之壓力的控制分解度降低，同時有效率地降低各排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的驅動次數。此外，藉由進行由複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)同時開啟的第二動作模式，即可抑制導引室54內之壓力之降低速度(下降反應時間)的延遲。
電磁閥系統10A係具備檢測出口通口30之氣體的壓力或流量的檢測感測器100。動作模式設定部122係當設定值與檢測感測器100之測量值之偏差的絕對值比預定的臨限值更小時，設定第一動作模式，而當偏差的絕對值為臨限值以上時，設定第二動作模式。
依據此構成，由於當偏差的絕對值比臨限值(第二臨限值範圍△B)更小時(測量值與設定值的差相對較小時)進行第一動作模式，因此可使測量值 (出口通口30之下游側的壓力)精確度良好地與設定值一致(接近)。此外，由於當偏差的絕對值為臨限值(第二臨限值範圍△B)以上時(測量值與設定值的差相對較大時)進行第二動作模式，因此可使測量值(出口通口30之下游側的壓力)有效率地降低。
當閥控制部126控制複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開閉動作時，動作模式設定部122係依每一閥控制部126的控制周期來設定第一動作模式及第二動作模式的任一者。
依據此構成，即可使測量值(出口通口30之下游側的壓力)有效率地且精確度良好地接近設定值。
當動作模式設定部122設定了第一動作模式時，閥控制部126係以複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)交替地各開啟一次之方式控制複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)的開閉動作。
依據此構成，即可均衡地驅動複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)。
當動作模式設定部122設定了第一動作模式時，閥控制部126係控制與以前次的控制周期動作之排氣用電磁閥不同之排氣用電磁閥的開閉動作。
依據此構成，即可均衡地驅動複數個排氣用電磁閥(第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18)。
(第二實施型態)
接著說明本發明之第二實施型態的電磁閥系統10B。在本實施型態中，對於與第一實施型態相同的構成要素係賦予相同的參照符號，且省略其說明。
如第13圖所示，電磁閥系統10B係具備閥本體200以取代閥本體12。閥本體200係具有：閥主體201；供氣閥部22；及導引閥部202。在閥主體201中，係形成有使入口通口28與出口通口30彼此連通的供氣流路32。
導引閥部202係用以使供氣閥體34驅動者，且設於閥主體201。導引閥部202係包含：隔膜50，係將形成於閥主體201之預定的空間劃分為導引室54與背壓室56；及閥體操作部52，係設於隔膜50。閥體操作部52係具有：固定部60，係固定於隔膜50的中央部；及桿62，係從固定部60延伸至供氣閥部22。
在出口通口30中係設有節流部204。節流部204係節流孔(orifice)，且為從形成出口通口30的內面朝內方突出的環狀部。在閥主體201中，係形成有使供氣流路32中之供氣閥部22及節流部204之間與背壓室56彼此連通的連通路206。
電磁閥系統10B係具備：檢測感測器210，係檢測連通至背壓室56之第一流路208的壓力；及檢測感測器214，係檢測連通至供氣流路32中之比節流部204更下游側之第二流路212的壓力。各檢測感測器210、214係壓力感測器。
在此電磁閥系統10B中，係以檢測感測器210、214來檢測節流部204之上游側的壓力與節流部204之下游側的壓力。再者，藉由其壓力差來算出流量，藉以控制供氣用電磁閥14、第一排氣用電磁閥16及第二排氣用電磁閥18的開閉動作，讓被排出至出口通口30之下游之氣體的流量與設定值一致。
此時，可同時測量排出至出口通口30之下游的流量與所產生的壓力，而能夠選擇壓力與流量的任一者以作為電磁閥系統10B的控制對象。
依據本實施型態，可達成與上述之第一實施型態之電磁閥系統10A相同的效果。
在本實施型態中，亦可設置檢測節流部204之上游與下游之壓力差的差壓感測器、與壓力修正用的壓力感測器以取代二個檢測感測器210、214。
本發明不限定於上述的構成。本發明中，複數個排氣用電磁閥的適量若為供氣用電磁閥之數量的2倍即可，不限定於供氣用電磁閥14設置一個並且排氣用電磁閥設置二個之例。亦即，亦可供氣用電磁閥14設置二個並且設置四個排氣用電磁閥。
本發明之電磁閥系統不限定於上述的實施型態，在不脫離本發明之要旨下，當然亦可採用各種構成。
10A:電磁閥系統
12:閥本體
14:供氣用電磁閥
16:第一排氣用電磁閥
18:第二排氣用電磁閥
20:閥主體
22:供氣閥部
24:排氣閥部
26:導引閥部
28:入口通口
30:出口通口
32:供氣流路
34:供氣閥體
36:供氣閥座
38:供氣彈推構件
40:排氣通口
42:排氣流路
44:排氣閥體
46:排氣閥座
48:排氣彈推構件
50:隔膜
52:閥體操作部
54:導引室
56:背壓室
58:中間流路
60:固定部
62:桿
64:卡合凸部
66:連通流路
68:第一排出流路
70:第二排出流路
100:檢測感測器
102:電源
104:輸入部
106:顯示部
108:控制部
300:氣體供給源
302:氣壓機器

Claims (6)

  1. 一種電磁閥系統(10A、10B)，係具備：供氣閥體(34)，係將使入口通口(28)與出口通口(30)彼此連通的供氣流路(32)予以開閉；及導引閥部(26)，係用以驅動前述供氣閥體；且前述電磁閥系統具備：
    供氣用電磁閥(14)，係控制供給至前述導引閥部之導引室(54)之氣體的流量；
    複數個排氣用電磁閥(16、18)，係控制從前述導引室所排出之氣體的流量；及
    閥控制部(126)，係藉由PWM控制或PFM控制來控制前述供氣用電磁閥與前述複數個排氣用電磁閥之各者的開閉動作；
    前述複數個排氣用電磁閥係彼此並排地配置；
    前述供氣用電磁閥的流量特性與前述複數個排氣用電磁閥之各者的流量特性係彼此大致相同；
    前述複數個排氣用電磁閥的數量，係前述供氣用電磁閥之數量的2倍。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之電磁閥系統，係具備動作模式設定部(122)，該動作模式設定部(122)係設定由前述複數個排氣用電磁閥交替地各開啟一次或複數次的第一動作模式、及由前述複數個排氣用電磁閥同時開啟之第二動作模式的任一者；
    前述閥控制部係根據經由前述動作模式設定部所設定的動作模式來控制前述複數個排氣用電磁閥的開閉動作。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之電磁閥系統，係具備檢測前述出口通口之氣體的壓力或流量的檢測感測器(100、210、214)；
    前述動作模式設定部係進行如下操作：
    當設定值與前述檢測感測器之測量值之偏差的絕對值比預定的臨限值更小時，設定前述第一動作模式；
    當前述偏差的絕對值為前述臨限值以上時，設定前述第二動作模式。
  4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述之電磁閥系統，其中，當前述閥控制部控制前述複數個排氣用電磁閥的開閉動作時，前述動作模式設定部係依前述閥控制部的每一控制周期來設定前述第一動作模式及前述第二動作模式的任一者。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之電磁閥系統，其中，當前述動作模式設定部設定了前述第一動作模式時，前述閥控制部係控制前述複數個排氣用電磁閥的開閉動作，讓前述複數個排氣用電磁閥交替地各開啟一次。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之電磁閥系統，其中，當前述動作模式設定部設定了前述第一動作模式時，前述閥控制部係控制與以前次的控制周期動作之排氣用電磁閥不同之排氣用電磁閥的開閉動作。
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