JP3247282B2 - 空気圧レギュレータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電磁弁から給排
気される気体に基づいてパイロット圧力を加減すること
で、メインバルブから吐出される気体の流量や圧力を調
整することの可能な空気圧レギュレータに関する。

【０００２】

【従来の技術】空気圧機器に一定圧力を供給するための
空気圧レギュレータの従来技術が、例えば、特公平７−
５０４１８号公報に開示されている。

【０００３】この空気圧レギュレータは、メインバルブ
から吐出される吐出圧力を調整する際に吐出圧力を検出
し、検出した吐出圧力と設定圧力とを比較し、その比較
結果に応じてダイヤフラム室（パイロット室）に対して
電磁弁から供給される空気圧パルスのパルス幅を調節す
る。そして、電磁弁から供給される空気圧パルスのパル
ス幅に応じてパイロット圧力を加減することでダイヤフ
ラム室に連結された給気弁体を開閉し、メインバルブか
ら吐出される吐出圧力を設定圧力に調整する装置であ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の従来
技術に係る空気圧レギュレータにおいて、電磁弁の駆動
回路は、一定周波数でオンデューティが変化する、いわ
ゆるパルス幅変調信号を電磁弁の電磁コイル（励磁コイ
ル）に供給するように構成されていた。

【０００５】したがって、たとえば、メインバルブから
の吐出圧力を一定値に設定した場合には、電磁弁の駆動
開始時点においては、吐出圧力値がゼロ値であるので前
記パルス幅変調信号のオンデューティが最大になり、吐
出圧力値が設定圧力値に近づくにしたがいオンデューテ
ィが小さくなるようなパルス幅変調信号が電磁コイルに
供給されるようにフィードバック制御がなされていた。

【０００６】しかしながら、パルス幅変調信号により電
磁コイルを駆動した場合には、一定周期で電磁コイルが
駆動されることから、吐出圧力値が設定圧力値（目標
値）に近い状態において、設定圧力値を超える行き過ぎ
量（いわゆるオーバーシュート）が比較的大きくなり、
設定圧力値付近の安定性が悪くなることを本発明者等が
つきとめた。

【０００７】この発明はこのような課題を考慮してなさ
れたものであり、吐出圧力値を設定圧力値に滑らかに近
づけるとともに、設定圧力値に到達後の吐出圧力値の変
動を少なくすることを可能とする空気圧レギュレータを
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は、電磁弁から
給排気される気体に基づいてパイロット圧力を加減する
ことで、メインバルブから吐出される気体の吐出圧力値
を設定圧力値に調整する空気圧レギュレータにおいて、
前記メインバルブから吐出される気体の吐出圧力値を検
出する圧力センサと、 前記圧力センサにより検出された
吐出圧力値と前記設定圧力値の圧力差に応じて前記電磁
弁を駆動するメインコントロールユニットとを備え、 前
記メインコントロールユニットは、前記吐出圧力値と前
記設定圧力値との圧力差の比例微分制御値が所定値より
大きい場合には前記電磁弁をパルス幅変調信号で駆動
し、前記圧力差の比例微分制御値が前記所定値より小さ
い場合には前記電磁弁をパルス周波数変調信号で駆動す
ることを特徴とする。

【０００９】この発明によれば、吐出圧力値が設定圧力
値に対して比較的小さい場合には、パルス幅変調信号に
より電磁弁を駆動しているので入出力応答の高速性が保
持され、かつ吐出圧力値が設定圧力値に近くなっている
場合には、パルス周波数変調信号により電磁弁を駆動す
るので行き過ぎ量が少なくなり、かつ設定圧力値に到達
後の吐出圧力値の変動を少なくすることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態に
ついて、図面を参照して説明する。

【００１１】図１は、この発明の一実施の形態が適用さ
れた空気圧レギュレータ１０の機械的構成を示してい
る。図２は、この空気圧レギュレータの回路的構成を示
している。

【００１２】図１および図２において、この空気圧レギ
ュレータ１０は、図示しない空気圧機器の圧力制御を行
うためのメインバルブ１１と、このメインバルブ１１を
覆って一体的に結合されるボンネット１２とを有してい
る。

【００１３】メインバルブ１１には、図示しない空気圧
源に接続される供給ポート（給気ポートともいう。）１
３と、図示しない空気圧機器に接続される吐出ポート１
４が形成されている。

【００１４】供給ポート１３と吐出ポート１４間を結ぶ
通路１５内には、給気口１６を開閉する給気弁体１７が
配設され、この給気弁体１７は、ばね１８の圧縮力によ
って給気口１６を常時閉じる方向に付勢されている。

【００１５】メインバルブ１１には、排気ポート２１が
形成され、この排気ポート２１と吐出ポート１４間を連
通する排気口２２には、この排気口２２を開閉する排気
弁体２３が摺動可能に嵌合されている。排気弁体２３
は、ばね２０の圧縮力により排気口２２を常時閉じる方
向に付勢されている。

【００１６】メインバルブ１１の中央部には、ステム１
９が配設され、ステム１９の一端側は給気弁体１７に当
接している。ステム１９の他端側はダイヤフラム２５に
一体的に連結されている。

【００１７】ダイヤフラム２５により第１ダイヤフラム
室（パイロット室ともいう。）２６ａと第２ダイヤフラ
ム室２６ｂとが区画される。第２ダイヤフラム室２６ｂ
は吐出ポート１４に連通している。第１ダイヤフラム室
２６ａと第２ダイヤフラム室２６ｂとを併せてダイヤフ
ラム室２６という。

【００１８】第１ダイヤフラム室２６ａ内の圧力（パイ
ロット圧力）が第２ダイヤフラム室２６ｂ内の圧力より
大きくなったときにダイヤフラム２５が図中下降する。
このとき、ダイヤフラム２５と一体的に下降するステム
１９の先端により給気弁体１７が開かれ、圧力流体ＳＵ
Ｐが給気ポート１３から通路１５、給気口１６を通じて
吐出ポート１４に供給される（図３参照）。

【００１９】図１に示すように、ダイヤフラム２５の第
１ダイヤフラム室２６ａに加わるパイロット圧力を制御
する空気圧パルス供給用の２ポート電磁弁（単に、電磁
弁または給気弁ともいう。）３１と排気用の２ポート電
磁弁（単に、電磁弁または排気弁ともいう。）３２とが
その第１ダイヤフラム室２６ａに連通している。

【００２０】一方の電磁弁３１は、メインコントロール
ユニット３３から電磁コイルに電流信号が供給されたと
きに弁体３６が開放され、給気ポート１３から供給され
る圧力流体ＳＵＰを第１ダイヤフラム室２６ａに供給す
る。これにより、図３に示したように、ステム１９が下
降して給気弁体１７が開放する。この意味から電磁弁３
１は給気弁として機能する。

【００２１】残りの電磁弁３２は、メインコントロール
ユニット３３から電流信号が供給されたときに弁体３７
が開放され、第１ダイヤフラム室２６ａの圧力流体が排
気ポート２１を通じて大気に放出され、第２ダイヤフラ
ム室２６ｂに比較して圧力が小さくなる。これによりス
テム１９が上昇し、ステム１９の中間位置に固定された
止め輪３４が上昇することで排気弁体２３が開放され、
吐出ポート１４が排気口２２、排気ポート２１を通じて
大気圧に連通される（図４参照）。この意味から電磁弁
３２は排気弁として機能する。

【００２２】第２ダイヤフラム室２６ｂの圧力、すなわ
ち吐出圧力Ｐが吐出ポート１４に連通する圧力検出手段
としての圧力センサ３５により測定される。圧力センサ
３５は、吐出圧力Ｐを検出しこれを電気信号（圧力検出
信号、吐出圧力信号または圧力信号ともいう。）Ｂに変
換してメインコントロールユニット３３に供給する。

【００２３】図２に示すように、メインコントロールユ
ニット３３は、制御・判断・処理・演算・記憶の各手段
として機能するＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）
３８を有している。

【００２４】圧力センサ３５から出力される吐出圧力信
号Ｂは、Ａ／Ｄ変換器３９を通じてデジタルの吐出圧力
信号Ｂ（同一符号とする。）としてＭＰＵ３８に供給さ
れる。

【００２５】電磁弁３１、３２は、それぞれ、給気弁コ
ントロールユニット４０と排気弁コントロールユニット
４１により駆動制御され、これらコントロールユニット
４０、４１はＭＰＵ３８に接続されている。

【００２６】また、吐出圧力信号Ｂにより検出された圧
力値等がＬＥＤ表示器４３に表示されるとともに、必要
に応じて、キー入力装置４４により設定した設定圧力値
Ｑが表示される。したがって、ＬＥＤ表示器４３とキー
（ＫＥＹ）入力装置４４とは、いわゆるユーザインタフ
ェース４５として機能する。

【００２７】ＭＰＵ３８には、コネクタ４６（図１参
照）を通じて、図示しない操作卓を構成する入出力イン
タフェース４７（図２参照）が接続される。入出力イン
タフェース４７は、アナログ入力機能４８、デジタル入
力機能４９、１Ｖ〜５Ｖのアナログ信号を出力するアナ
ログ出力機能５０、オープンコレクタのＰＮＰ、ＮＰＮ
トランジスタによる圧力スイッチ出力機能５１と、＋１
２Ｖ、２４Ｖの電源供給機能５２を有している。アナロ
グ入力機能４８から出力されるアナログ信号はＡ／Ｄ変
換器５３を通じてＭＰＵ３８に供給される。入出力イン
タフェース４７は、端子群５４を通じて外部機器に接続
される。

【００２８】図５は、メインコントロールユニット３３
に記憶されているソフトウェアの機能（この実施の形態
においては、設定圧力信号（設定値信号ともいう。）Ａ
がゼロ値から正の一定値（設定圧力値）Ｑに立ち上がる
信号であるとしたときの機能）を等価的に表した電気的
回路構成を示している。

【００２９】例えば、キー入力装置４４により設定され
た設定圧力値Ｑに対応する設定圧力信号Ａが図５の入力
端子６１から結合点（減算器として機能するので、減算
器ともいう。）６２に加算入力（正入力ともいう。）と
して供給され、結合点６２の減算入力（負入力）には吐
出圧力信号Ｂが供給される。

【００３０】設定圧力信号Ａと吐出圧力信号Ｂとの差信
号が、周知の比例制御回路６４を通じて結合点６３の正
入力に供給されるとともに、周知の微分制御回路６５を
通じて結合点６３の負入力に供給される。比例制御回路
６４と微分制御回路６５による比例微分制御は、比例制
御だけでは応答が振動的になるのを比例微分制御により
振動を減衰させて安定化するために用いるものであり、
この実施の形態では、繁雑さを避けるために、結合点６
３の出力信号が設定圧力信号Ａと吐出圧力信号Ｂの差信
号Ｃ（Ｃ＝Ａ−Ｂ）であるものとする。

【００３１】この差信号Ｃは、ＰＷＭ（パルス幅変調）
回路６７を通じてパルス幅変調（ＰＷＭ）信号Ｄに変換
され、スイッチ手段であるマルチプレクサ６８の一方の
固定端子（固定接点ともいう。）６８ｂに供給される。

【００３２】また、差信号Ｃは、積分制御回路６９に供
給され、その積分信号ＧがＰＦＭ（パルス周波数変調）
回路７０を通じてパルス周波数変調（ＰＦＭ）信号Ｊに
変換され、他方の固定端子（固定接点ともいう。）６８
ｃに供給される。ここでＰＦＭ信号Ｊはオア回路７５を
通じてリセット信号として当該積分制御回路６９に供給
される。なお、積分制御回路６９の端子Ｓからは他方の
マルチプレクサ７２の切換制御端子に切換信号Ｈが供給
される。

【００３３】前記差信号Ｃは、絶対値回路７４に供給さ
れ、その差絶対値信号｜Ｃ｜がコンパレータ７３の一方
の入力端子に供給される。コンパレータ７３の他方の端
子には基準信号ΔＥが供給される。コンパレータ７３
は、リセット信号および切換信号として機能する出力信
号（したがって、リセット信号または切換信号ともい
う。）Ｆを出力する。出力信号Ｆは、オア回路７５を通
じて積分制御回路６９にリセット信号として供給され、
さらにマルチプレクサ６８の切換制御端子に切換信号と
して供給される。

【００３４】ＰＷＭ信号ＤまたはＰＦＭ信号Ｊはマルチ
プレクサ６８の共通端子（共通接点ともいう。）６８ａ
を通じ、駆動信号Ｋとしてマルチプレクサ７２の共通端
子（共通接点ともいう。）７２ａ、固定端子７２ｂを通
じて給気弁３１に供給されるとともに、共通端子７２
ａ、固定端子７２ｃを通じて排気弁３２に供給される。

【００３５】給気弁３１に供給される駆動信号Ｋに応じ
て給気弁３１の開放時間が制御され、圧力流体ＳＵＰが
パイロット室２６ａに供給される。

【００３６】排気弁３２が閉じられて給気弁３１が開放
されることで、圧力流体が給気弁３１からパイロット室
２６ａに供給され、給気弁３１が閉じられて排気弁３２
が開放されることでパイロット室２６ａ内の圧力流体が
排気弁３２、排気ポート２１（図１参照）を通じて大気
中に放出される。

【００３７】図５において、パイロット室２６ａの圧力
により給気弁体（メインバルブ１１と考えることができ
るので主弁ともいう）１７の開放制御がなされる。吐出
ポート１４の吐出圧力Ｐが圧力センサ３５により電気信
号としての圧力信号Ｂに変換されフィードバック信号と
して結合点６２にもどされる。

【００３８】次に、上述の実施の形態の要部動作につい
て図６の波形図をも参照しながら説明する。なお、制御
主体は、ＭＰＵ３８である。

【００３９】設定圧力値Ｑがキー入力装置４４により設
定され、図６中、時点ｔ０に示すように、ステップ波形
で示す設定値信号Ａ（図６ａ中、点線で示す波形参照）
がゼロレベルからハイレベルのＱ（Ａ＝Ｑ）に立ち上が
るものとする。この場合、コンパレータ７３に設定され
る基準信号ΔＥは、設定圧力値Ｑの数パーセントに設定
される。

【００４０】この時点ｔ０において、圧力センサ３５の
出力信号である圧力検出信号Ｂ（図６ａ中、実線で示す
波形参照）の値はゼロ値であるので差信号Ｃは最大値と
なる。絶対値信号｜Ｃ｜も基準信号ΔＥのレベルより大
きいので出力信号Ｆ（図６ｃ参照）はローレベルになっ
ており、この出力信号Ｆのローレベルの期間ではマルチ
プレクサ６８は、図５に示す状態、すなわち、共通接点
６８ａがＰＷＭ回路６７側の固定接点６８ｂに接続され
た状態になっている。また、積分制御回路６９から出力
される切換信号Ｈ（図６ｅ参照）は、積分信号Ｇ（図６
ｄ参照）が正の閾値Ｔｈを超えるまではローレベルにな
っており、このローレベルの期間ではマルチプレクサ７
２の共通端子７２ａが給気弁３１側の固定端子７２ｂに
接続される。

【００４１】したがって、時点ｔ０においては、設定圧
力値Ｑに対して、差信号Ｃが最大値Ｃ＝Ｑとなるので、
ＰＷＭ回路６７が最大オンデューティ、いわゆるフルデ
ューティで駆動され、給気弁３１（図１も参照）が開放
されて圧力流体ＳＵＰが給気ポート１３から給気弁３１
を通じて第１ダイヤフラム室２６ａに供給される。これ
により、ステム１９がダイヤフラム２５の下降に応じて
下降して、給気弁体１７、すなわち、メインバルブ１１
が開放する。これにより、給気ポート１３から吐出ポー
ト１４に対して圧力流体ＳＵＰが供給される。

【００４２】時点ｔ０経過後に、吐出圧力Ｐが徐々に大
きくなり、圧力センサ３５の圧力検出信号Ｂが、図６ａ
に示すように、吐出圧力Ｐに比例して徐々に大きくなり
差信号Ｃが徐々に小さくなるのでＰＷＭ回路６７のＰＷ
Ｍ信号Ｄ（図６ｂ参照）のオンデューティが徐々に小さ
くなる。時点ｔ１付近以降において、差信号Ｃの値が所
定値よりも小さくなってくると、ＰＷＭ回路６７の出力
信号であるＰＷＭ信号Ｄのオンデューティが最小値にな
る。

【００４３】絶対値信号｜Ｃ｜が基準信号ΔＥのレベル
より小さくなった時点ｔ２において、コンパレータ７３
が反転して出力信号Ｆがローレベルからハイレベルに反
転する（図６ｃ参照）。これによりマルチプレクサ６８
の共通接点６８ａがＰＦＭ回路７０側の固定接点６８ｃ
に切り替えられるとともに、積分制御回路６９がリセッ
トされて積分信号Ｇがゼロ値とされ、差信号Ｃに応じた
ゼロ値からの積分動作を開始する。時点ｔ２においてＰ
ＷＭ制御からＰＦＭ制御に切り替わる。なお、積分制御
回路６９の出力信号である積分信号Ｇの極性は負極性に
なっている。

【００４４】積分信号Ｇが負の閾値−Ｔｈになったとき
に、ＰＦＭ回路７０から一定パルス幅のオン信号（オン
期間は、例えば、ＰＷＭ信号Ｄの最小オンデューティに
対応した期間とされる。）であるＰＦＭ信号Ｊ（図６ｂ
参照）が出力され、これが駆動信号Ｋとして給気弁３１
に供給される。

【００４５】時点ｔ３において、圧力検出信号Ｂの値が
設定圧力値Ｑにほぼ等しくなる。この時点ｔ３において
は、ＰＷＭ信号Ｄの一定周期Ｔｐより長い周期Ｔｆで動
作するＰＦＭ信号Ｊにより給気弁３１が駆動されること
になり、吐出圧力Ｐ、すなわち圧力検出信号Ｂが設定圧
力値Ｑに対していわゆるソフトランディングされ、行き
過ぎ量いわゆるオーバーシュートの発生が最小限にされ
る（ほぼなくなる）。

【００４６】時点ｔ３においてＰＦＭ信号Ｊが出力され
たとき、そのＰＦＭ信号Ｊにより積分制御回路６９がリ
セットされ、新たにゼロ値からの積分動作を開始する。

【００４７】時点ｔ４において積分制御回路６９がリセ
ットされた後、何らかの原因により吐出圧力Ｐが大きく
なる方向に変化した場合には、積分信号Ｇの傾斜が正の
傾斜となり、時点ｔ５において、積分信号Ｇの値が閾値
Ｔｈを超えたとき、切換信号Ｈ（図６ｅ参照）がローレ
ベルからハイレベルに反転する。これにより、マルチプ
レクサ７２が排気弁３２側に接続され、点線で示したＰ
ＦＭ信号Ｊが排気弁３２側に供給される。

【００４８】このとき、そのＰＦＭ信号Ｊの発生期間の
み、排気弁３２が開放され、パイロット室（第１ダイヤ
フラム室）２６ａが排気ポート２１を通じて大気に連通
される。これによるステム１９の上昇により排気弁体２
３がそのＰＦＭ信号Ｊの発生期間に対応した期間開放し
て、吐出ポート１４の吐出圧力Ｐが下がる。時点ｔ６に
おいては、また給気弁３１が開放する。

【００４９】このように、圧力検出信号Ｂが、すなわち
吐出圧力Ｐが設定圧力値Ｑに達した時点ｔ３以降におい
ても、ＰＷＭ制御の周期Ｔｐより長い周期Ｔｆ（図６ｂ
参照）で、かつその周期（周波数）Ｔｆが差信号（圧力
差）Ｃの積分信号（積分値）Ｇに応じて制御されるＰＦ
Ｍ信号Ｊにより給気弁３１と排気弁３２とが制御される
ので、空気圧レギュレータ１０の吐出圧力Ｐを脈動の少
ない、安定した圧力値に保持することができる。

【００５０】この場合において、吐出ポート１４に接続
される外部の空気圧機器が、一定の吐出圧力Ｐで駆動さ
れる期間が長いとき、ＰＦＭ制御領域（期間）において
は、電磁弁である給気弁３１と排気弁３２の開放頻度
（動作頻度）が少なくなるので、従来技術にかかるＰＷ
Ｍ制御のみによる制御に比較してパイロット室２６ａを
制御するための圧力流体ＳＵＰの消費量を低減すること
ができるという効果も併せて達成される。

【００５１】もちろん、図２に示す圧力スイッチ出力機
能５１を利用することで、圧力スイッチとして機能させ
ることも可能となり、例えば、供給圧力不足による吐出
圧力Ｐの異常、具体的には、吐出圧力Ｐが設定圧力値Ｑ
に到達しない場合または吐出圧力Ｐが上がらない場合
に、外部からこの吐出圧力Ｐの異常を検知することもで
きる。

【００５２】また、吐出圧力ＰをＬＥＤ表示器４３に表
示した場合には、外部に圧力計を設ける必要がなく、そ
のための配管・配線の必要もなくなる。

【００５３】さらに、圧力流体ＳＵＰが印加されていな
い状態においても、たとえば、キー入力装置４４とＬＥ
Ｄ表示器４３を利用して、デジタル値で設定圧力を設定
し、かつ表示することができる。

【００５４】アナログ入力機能４８またはデジタル入力
機能４９を利用して遠隔制御により設定圧力を多段制御
することもできる。

【００５５】なお、この発明は上述の実施の形態に限ら
ず、この発明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採
り得ることはもちろんである。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、空気圧レギュレータの吐出圧力値が設定圧力値に対
して比較的小さい（設定圧力値と吐出圧力値との差が大
きい）場合にはパルス幅変調信号により電磁弁を駆動し
ているので、入出力応答（設定圧力値に対する吐出圧力
値の変化特性）の高速性が保持され、かつ吐出圧力値が
設定圧力値に近くなっている場合にはパルス周波数変調
信号により電磁弁を駆動しているので、行き過ぎ量、い
わゆるオーバーシュートが少なくなり、かつ設定圧力値
になった吐出圧力値の変動、いわゆるリップルをも少な
くすることができるという効果が達成される。

【００５７】結局、この発明による空気圧レギュレータ
では、そのメインバルブから吐出する流体の圧力や流量
を正確に調整することができるという効果が達成され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態の機械的構成を示す一
部省略断面図である。

【図２】この発明の一実施の形態の全体的構成を示すブ
ロック回路図である。

【図３】供給ポートと吐出ポートが連通した状態を示す
一部省略断面図である。

【図４】吐出ポートと排気ポートが連通した状態を示す
一部省略断面図である。

【図５】主に、メインコントロールユニットの機能ブロ
ックの構成を示す線図である。

【図６】主に、図５例の動作説明に供される波形図であ
って、それぞれ、図６ａは設定値信号と圧力検出信号、
図６ｂはＰＷＭ信号とＰＦＭ信号、図６ｃはマルチプレ
クサの切換信号、図６ｄは積分信号、図６ｅはマルチプ
レクサの切換信号を示す波形図である。

【符号の説明】

１０…空気圧レギュレータ １１…メインバル
ブ １３…供給ポート １４…吐出ポート １７…給気弁体 ２５…ダイヤフラ
ム ２６…ダイヤフラム室 ２６ａ…第１ダイヤフラム室（パイロット室） ２６ｂ…第２ダイヤフラム室 ３１…２ポート電
磁弁（給気用電磁弁） ３２…２ポート電磁弁（排気用電磁弁） ３３…メインコントロールユニット ３５…圧力センサ ６７…ＰＷＭ回路 ７０…ＰＦＭ回路

フロントページの続き (72)発明者 猪原 徹 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (72)発明者 小熊 和行 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 特開 昭63−20605（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−301（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−150401（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 16/00 - 16/20 G05D 23/00 - 23/32 G05B 11/00 - 13/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電磁弁から給排気される気体に基づいてパ
   イロット圧力を加減することで、メインバルブから吐出
   される気体の吐出圧力値を設定圧力値に調整する空気圧
   レギュレータにおいて、前記メインバルブから吐出される気体の 吐出圧力値を検
   出する圧力センサと、 前記圧力センサにより検出された吐出圧力値と前記設定
   圧力値の圧力差に応じて前記電磁弁を駆動するメインコ
   ントロールユニットとを備え、 前記メインコントロールユニットは、 前記吐出圧力値と
   前記設定圧力値との圧力差の比例微分制御値が所定値よ
   り大きい場合には前記電磁弁をパルス幅変調信号で駆動
   し、前記圧力差の比例微分制御値が前記所定値より小さ
   い場合には前記電磁弁をパルス周波数変調信号で駆動す
   ることを特徴とする空気圧レギュレータ。
2. 【請求項２】請求項１記載の空気圧レギュレータにおい
   て、 前記メインコントロールユニットは、 さらに、前記パルス周波数変調信号の周波数が、前記圧
   力差の比例微分制御値の積分値に応じて変化するように
   制御する ことを特徴とする空気圧レギュレータ。