TW202017099A - 一種基板夾持承載台 - Google Patents

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Abstract

本發明屬於半導體行業基板濕法處理領域，具體的說是一種基板夾持承載台，包括電機、承載台、升降杯及固定杯，電機的輸出端與承載台相連，電機週邊設有固定杯，固定杯的週邊設有可升降的升降杯；承載臺上沿圓周方向分別安裝有隨承載台轉動的轉動柱及固定柱，轉動柱與固定柱均包括柱體及夾持塊，固定柱的柱體固接在承載臺上，轉動柱的柱體轉動安裝在承載臺上，轉動柱和固定柱的夾持塊均偏心設置在柱體頂部，轉動柱的底部安裝有轉動磁石；固定杯內設有內磁石，升降杯內設有外磁石，內磁石與外磁石分別位於轉動磁石的內外兩側。本發明對基板正面與背面無磨損、污染，能夠帶動基板旋轉，完成基板工藝處理。

Description

一種基板夾持承載台
本發明屬於半導體行業基板濕法處理領域，具體的說是一種基板夾持承載台。
目前，半導體領域基板潔淨度要求越來越高。在基板的濕法處理設備中，避免基板正面、背面與設備其它部件接觸，造成基板的磨損與污染十分重要。因此，設計一種僅與基板側面、稄邊接觸，對基板正面與背面無磨損、污染，並且能夠帶動基板旋轉，完成基板工藝處理的基板夾持承載台十分重要。
為了滿足基板潔淨度的要求，完成基板濕法處理工藝，本發明的目的在於提供一種基板夾持承載台。
本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：本發明包括電機、承載台、升降杯及固定杯，其中電機的輸出端與承載台相連、驅動承載台旋轉，該電機週邊設有固定杯，該固定杯的週邊設有可升降的升降杯；該承載臺上沿圓周方向分別安裝有隨承載台轉動的轉 動柱及固定柱，該轉動柱與固定柱均包括柱體及夾持塊，該固定柱的柱體固接在承載臺上，轉動柱的柱體轉動安裝在承載臺上，該轉動柱和固定柱的夾持塊均偏心設置在柱體頂部，該轉動柱的底部安裝有轉動磁石；該固定杯內設有內磁石，升降杯內設有外磁石，該內磁石與外磁石分別位於該轉動磁石的內外兩側；其中：該外磁石的數量與轉動柱的數量相同，且外磁石在該升降杯上的安裝位置與轉動柱在該承載臺上的安裝位置一一對應；該升降杯位於上升狀態時，轉動柱通過該轉動磁石與固定杯上的內磁石的磁力作用向夾緊基板的方向旋轉，進而夾緊基板；該升降杯位於下降狀態時，該升降杯上的外磁石與轉動磁石之間的磁力大於該內磁石與轉動磁石之間的磁力，該轉動柱向放開基板的方向旋轉，進而放開基板；該轉動柱及固定柱的柱體頂部的支撐面與基板邊緣的稄邊接觸，該夾持塊的側表面為夾持面，該夾持面與該基板的側面接觸；該轉動柱及固定柱的柱體頂部的支撐面為斜面；該內磁石為多個，沿該固定杯頂部內表面圓周方向均布；該轉動柱及固定柱沿承載台邊緣的圓周方向均布；該升降杯頂部內徑大於承載台的外直徑，該升降杯與該承載台的安裝位置同心，該外磁石安裝於升降杯頂部的內表面；該固定杯位於承載台的下方，該固定杯與承載台的安裝位置同心，該內磁石安裝於固定杯頂部的內表面。
本發明的優點與積極效果為： 1．本發明的內磁石與轉動柱的轉動磁石之間的磁力，使轉動柱旋轉並與固定柱共同夾緊基板，基板所受夾緊力恒定，基板在工藝過程中不同轉速及加速度下旋轉時與固定柱之間無相對轉動，對基板是一種很好的保護；2．本發明的外磁石隨升降杯下降時，外磁石與轉動磁石的磁力大於內磁石與轉動磁石間的磁力，轉動柱隨轉動磁石旋轉放開基板，傳送機構可進行基板的取送操作，結構簡單；3．本發明在帶動基板旋轉進行工藝處理過程中，僅轉動柱及固定柱與基板稄邊及側面接觸，基板的正面、背面不與任何部件接觸，可有效防止基板正面及背面損傷。
1‧‧‧電機
2‧‧‧承載台
3‧‧‧升降杯
4‧‧‧固定杯
5‧‧‧轉動柱
501‧‧‧轉動磁石
502‧‧‧支撐面A
503‧‧‧夾持面A
504‧‧‧柱體A
505‧‧‧夾持塊A
6‧‧‧固定柱
601‧‧‧支撐面B
602‧‧‧夾持面B
603‧‧‧柱體B
604‧‧‧夾持塊B
7‧‧‧外磁石
8‧‧‧內磁石
9‧‧‧基板
901‧‧‧棱邊
902‧‧‧側面
903‧‧‧正面
904‧‧‧背面
圖1為本發明中升降杯處於下降狀態的整體結構示意圖；圖2為本發明中升降杯處於升起狀態的整體結構示意圖；圖3為本發明基板被夾緊的結構示意圖；圖4為本發明基板被放開的結構示意圖；圖5為本發明內磁石在固定杯上的分佈示意圖；圖6為本發明基板被夾緊時、轉動柱與基板相對位置的結構示意圖；圖7為本發明基板被夾緊時、固定柱與基板相對位置的結構示意圖。
下面結合附圖對本發明作進一步詳述。
如圖1~7所示，本發明包括電機1、承載台2、升降杯3、固定杯4、轉動柱5、固定柱6、外磁石7及內磁石8，其中電機1的輸出端與承載台2相連、驅動承載台2旋轉，電機週邊設有位於承載台2下方的固定杯4，該固定杯4的週邊設有可升降的升降杯3。
承載台2上沿圓周方向分別安裝有隨承載台2轉動的轉動柱5及固定柱6，轉動柱5及固定柱6沿承載台2邊緣的圓周方向均布。轉動柱5與固定柱6均包括圓柱形的柱體及圓柱形的夾持塊，固定柱6的柱體B603固接在承載台2上，在柱體B603的頂部偏心設有夾持塊B604，即夾持塊B604的軸向中心線與柱體B603的軸向中心線平行。轉動柱5的柱體A504轉動安裝在承載台2上，在柱體A504的頂部偏心設有夾持塊A505，即夾持塊A505的軸向中心線與柱體A504的軸向中心線平行。轉動柱5的底部安裝有轉動磁石501。
固定杯4內設有內磁石8，升降杯3內設有外磁石7，該內磁石8與外磁石7分別位於轉動磁石501的內外兩側。固定杯4位於承載台2的下方，該固定杯4與承載台2的安裝位置同心，內磁石8為多個、安裝於固定杯4頂部的內表面，沿固定杯4頂部內表面圓周方向均布。升降杯3可進行升降動作(此為現有技術，在此不再贅述。)，頂部內徑大於承載台2的外直徑，該升降杯3與承載台2的安裝位置同心，外磁石7安裝於升降杯3頂部的內表面，並隨升降杯3升降。外磁石7的數量與轉動柱5的數量相同，且外磁石7在升降杯3上的安裝位置與轉動柱5在承載台2上的安裝位置一一對應。
轉動柱5的柱體A504頂部的支撐面A502及固定柱6的柱體B603頂部的支撐面B601均為斜面，分別僅與基板9邊緣的稄邊901接觸，避免對基板9的正面903或背面904產生磨損或者污染。夾持塊A505的側表面為夾持面A503，夾持塊B604的側表面為夾持面B602，夾持面A503及夾持面B602分別僅與基板9的側面902接觸。
升降杯3位於上升狀態時，轉動柱5通過轉動磁石501與固定杯4上的內磁石8的磁力作用向夾緊基板9的方向旋轉，進而夾緊基板9。升降杯3位於下降狀態時，該升降杯3上的外磁石7與轉動磁石501之間的磁力大於內磁石8與轉動磁石501之間的磁力，轉動柱5向放開基板9的方向旋轉，進而放開基板9。
本發明的工作原理為：承載台2與電機1的輸出軸連接。轉動柱5與固定柱6圓周均布於承載台2之上。轉動柱5與固定柱6的支撐面為斜面，用於支撐基板9。轉動柱5與固定柱6的支撐面僅與基板9的邊緣接觸，避免對基板9的正面903或背面904產生磨損或者污染。每片基板9完成工藝後，承載台2在電機1的帶動下進行一次回零動作，確保固定柱6的位置保持不變。
外磁石7安裝於升降杯3頂部的內表面，隨升降杯3一同升降。外磁石7的數量與轉動柱5的數量相同，且外磁石7在升降杯3的安裝位置與轉動柱5在承載台2上的安裝位置對應。當升降杯3處於上升位置，外磁石7與轉動柱5內的轉動磁石501無磁力作用；當升降杯3處於下降位置，外磁石7與轉動磁石501間產生磁力，該磁力使轉動柱5旋轉，轉動柱5上的夾持塊A505具有向放開基板9的方向轉動的趨勢。
內磁石8圓周均布於固定杯4頂部的內表面。內磁石8與轉動磁石501間的磁力使轉動柱5旋轉，轉動柱5上的夾持塊A505具有向夾緊基板9的方向轉動的趨勢。
當傳送機構準備將基板9傳送到工藝單元中的承載台2上時，升降杯3處於下降位置，外磁石7與轉動磁石501間的磁力大於內磁石8與轉動磁石501間的磁力，轉動柱5向放開基板9的方向旋轉，傳送機構將基板9放置於轉動柱5的支撐面A502及固定柱6的支撐面B601上。隨後，傳送機構退出工藝腔體，升降杯3升起，轉動柱5僅與內磁石8之間具有相互磁力，該磁力使轉動柱5旋轉，轉動柱5上的夾持塊A505向夾緊基板9的方向旋轉。基板9在轉動柱5與固定柱6之間的夾緊力作用下，隨承載台2在電機1的帶動下旋轉，進行基板9的工藝處理。內磁石8圓周均勻布於固定杯4頂部的內表面，內磁石8與轉動磁石501間的磁力在轉動磁石501隨承載台2旋轉的過程中保持不變，即基板9在旋轉的過程中所受夾持力保持不變，基板9與轉動柱5、固定柱6之間無相對滑動，避免基板9的磨損與污染。
1‧‧‧電機
2‧‧‧承載台
3‧‧‧升降杯
4‧‧‧固定杯
5‧‧‧轉動柱
501‧‧‧轉動磁石
6‧‧‧固定柱
7‧‧‧外磁石
8‧‧‧內磁石
9‧‧‧基板

Claims (9)

  1. 一種基板夾持承載台，包括電機、承載台、升降杯及固定杯，其中電機的輸出端與承載台相連、驅動承載台旋轉，該電機週邊設有固定杯，該固定杯的週邊設有可升降的升降杯；其特徵在於：該承載台(2)上沿圓周方向分別安裝有隨承載台(2)轉動的轉動柱(5)及固定柱(6)，該轉動柱(5)與固定柱(6)均包括柱體及夾持塊，該固定柱(6)的柱體固接在承載台(2)上，轉動柱(5)的柱體轉動安裝在承載台(2)上，該轉動柱(5)和固定柱(6)的夾持塊均偏心設置在柱體頂部，該轉動柱(5)的底部安裝有轉動磁石(501)；該固定杯(4)內設有內磁石(8)，升降杯(3)內設有外磁石(7)，該內磁石(8)與外磁石(7)分別位於該轉動磁石(501)的內外兩側。
  2. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該外磁石(7)的數量與轉動柱(5)的數量相同，且外磁石(7)在該升降杯(3)上的安裝位置與轉動柱(5)在該承載台(2)上的安裝位置一一對應。
  3. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該升降杯(3)位於上升狀態時，轉動柱(5)通過該轉動磁石(501)與固定杯(4)上的內磁石(8)的磁力作用向夾緊基板(9)的方向旋轉，進而夾緊基板(9)。
  4. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該升降杯(3)位於下降狀態時，該升降杯(3)上的外磁石(7)與轉動磁石(501)之間的磁力大於該內磁石(8)與轉動磁石(501)之間的磁力，該轉動柱(5)向放開基板(9)的方向旋轉，進而放開基板(9)。
  5. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該轉動柱(5)及固定柱(6)的柱體頂部的支撐面與基板(9)邊緣的稄邊(901)接觸，該夾持塊的側表面為夾持面，該夾持面與該基板(9)的側面(902)接觸。
  6. 如請求項5所述的基板夾持承載台，其中：該轉動柱(5)及固定柱(6)的柱體頂部的支撐面為斜面。
  7. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該內磁石(8)為多個，沿該固定杯(4)頂部內表面圓周方向均布；該轉動柱(5)及固定柱(6)沿承載台(2)邊緣的圓周方向均布。
  8. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該升降杯(3)頂部內徑大於承載台(2)的外直徑，該升降杯(3)與該承載台(2)的安裝位置同心，該外磁石(7)安裝於升降杯(3)頂部的內表面。
  9. 如請求項1所述的基板夾持承載台，其中：該固定杯(4)位於承載台(2)的下方，該固定杯(4)與承載台(2)的安裝位置同心，該內磁石(8)安裝於固定杯(4)頂部的內表面。
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