TW202014356A - 行走車控制裝置、行走車系統、及行走車控制方法 - Google Patents

Abstract

控制器，是針對複數個行走車之中的1個行走車亦即對象行走車與含有往目的地移動之要求的行走要求之組合，來選定對象行走車的行走路徑。控制器，具備：記憶部，其儲存地圖資訊，前述地圖資訊包含複數個節點、複數個連接路、及表示設定在每個連接路之行走車通過連接路所需之時間的靜態行走成本；算出部，其算出遲延成本，前述遲延成本，是表示：因對象行走車與非對象行走車之間的關係所致之對象行走車及非對象行走車之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量；以及選定部，其基於由靜態行走成本與遲延成本所算出的總行走成本來從複數個候補路徑之中選定行走路徑。

Description

行走車控制裝置、行走車系統、及行走車控制方法

本發明，是關於行走車控制裝置、行走車系統、及行走車控制方法。

以往，例如在半導體製造工廠等，已知有控制搬運半導體等之物品的行走車之行走的無人行走車系統。在這種無人行走車系統，每當新的行走要求(作為一例，是包含表示成為搬運對象的物品、取貨位置(From地點)、及卸貨位置(To地點)之各種資訊的搬運要求)發生時，例如實行下述般的最佳台車優先控制。首先，從存在於包含取貨位置之模組(迴圈)內的複數個空行走車(非物品搬運中的行走車)之中，界定出可用最短路徑或最短時間到達取貨位置的行走車。然後，對被界定出的行走車分擔上述搬運要求。

作為這種無人搬運車系統，例如於專利文獻1，揭示有一種系統，是從行走車的現在位置到目的地為止的複數個候補路徑之中，將基於該候補路徑之距離及限制速度等來判定可有效率地行走的候補路徑，選定成為該行走車的行走路徑。且，例如於專利文獻2，揭示有一種系統，是針對各行走車，在事先選定的行走路徑中，製成表示行走車加速或減速之位置及時刻的行走計畫，在基於該行走計畫來判定前後的行走車有干涉的情況時，修正後續的行走車的行走計畫。

[專利文獻1]日本專利第4915302號公報 [專利文獻2]日本專利第5743169號公報

[發明所欲解決的課題]

在專利文獻1所揭示的無人搬運車系統，是沒有考慮到行走車彼此的關係所致之行走車之行走互相妨礙的情況，便從複數個候補路徑之中選定行走路徑。但是，實際上，行走車例如是有必要一邊迴避與其他行走車的干涉來一邊行走，而不一定能經常用限制速度的上限之速度來行走。因此，因行走車彼此的關係，有著將各行走車無法有效率地行走的候補路徑選定成行走路徑的情況。

且，在專利文獻2所揭示的無人搬運車系統，是沒有考慮到行走車彼此的關係便事先選定行走路徑，並在事後修正與該行走路徑對應的行走計畫。於是，在選定行走路徑之際，期望能事先考慮到行走車彼此的關係，藉此來更適當地選定行走路徑。

因此，本發明，其目的在於提供可更適當地選定行走車之行走路徑的行走車控制裝置、行走車系統、及行走車控制方法。 [用以解決課題的手段]

本發明之一態樣的行走車控制裝置，是針對沿著搬運路來行走之複數個行走車之中的1個行走車亦即對象行走車與行走要求之組合，來選定從對象行走車的現在位置到目的地為止之行走路徑，前述行走要求是含有朝向事先設定之目的地移動用之要求的行走要求，前述行走車控制裝置，其具備：取得部，其取得行走要求；記憶部，其儲存搬運路的地圖資訊，前述地圖資訊包含複數個節點、複數個連接路、以及靜態行走成本，前述複數個節點，是分別表示包含在對象行走車可行走之區域的特定的地點，前述複數個連接路，是連接節點間，前述靜態行走成本，是設定在每個連接路之行走車通過連接路所需之時間；算出部，其算出遲延成本，前述遲延成本，是表示：對象行走車與對象行走車以外的行走車亦即非對象行走車之間的關係所致之該對象行走車及該非對象行走車之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量；以及選定部，其基於靜態行走成本與遲延成本來對每個連接路算出總行走成本，並基於所算出的總行走成本，來從對象行走車的現在位置到目的地為止之複數個候補路徑之中選定行走路徑。

本發明之一態樣的行走車控制方法，是針對沿著搬運路來行走之複數個行走車之中的1個行走車亦即對象行走車與行走要求之組合，來選定從對象行走車的現在位置到目的地為止之行走路徑，前述行走要求是含有朝向事先設定之目的地移動用之要求的行走要求，前述行走車控制方法，其含有：取得步驟，其取得行走要求；算出步驟，其對於靜態行走成本，來算出遲延成本，前述靜態行走成本，是對在搬運路中將分別表示包含在對象行走車可行走之區域的特定的地點的複數個節點間予以連接的複數個連接路，分別設定之行走車通過連接路所需之時間，前述遲延成本是表示：對象行走車與對象行走車以外的行走車亦即非對象行走車之間的關係所致之對象行走車及非對象行走車之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量；以及選定步驟，其基於靜態行走成本與遲延成本來對每個連接路算出總行走成本，並基於所算出的總行走成本，來從對象行走車的現在位置到目的地為止的複數個候補路徑之中選定行走路徑。

在該行走車控制裝置或行走車控制方法，不只是對每個連接路設定的固有之靜態行走成本，還考慮到表示對象行走車與非對象行走車之間的關係所致之該對象行走車及該非對象行走車之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量的遲延成本，來算出每個連接路的總行走成本。而且，基於所算出的總行走成本，來從複數個候補路徑之中選定行走路徑。因此，考慮到因行走車彼此的關係而妨害到該行走車之行走的情況，可將更有效率地使對象行走車行走到行走要求之目的地為止的候補路徑選定為行走路徑。因此，根據該行走車控制裝置或行走車控制方法，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

在本發明之一態樣的行走車控制裝置，選定部，是對每個連接路算出靜態行走成本與遲延成本之總和的總行走成本，將複數個候補路徑之中該候補路徑所包含之連接路的總行走成本之總和為最小的候補路徑選定為行走路徑亦可。藉此，在該行走車控制裝置，是算出靜態行走成本與遲延成本之總和的總行走成本，故可用簡便的處理來算出總行走成本。且，在該行走車控制裝置，是將複數個候補路徑之中該候補路徑所包含之連接路的總行走成本之總和為最小的候補路徑選定為行走路徑。藉此，可將特別有效率地使對象行走車行走到行走要求之目的地為止的候補路徑選定為行走路徑。

在本發明之一態樣的行走車控制裝置，遲延成本，亦可包含第1遲延成本，前述第1遲延成本是表示：因沿著對象行走車之搬運路之前方的非對象行走車亦即前方行走車之影響所致之對象行走車通過連接路所需之時間的增加量。藉此，在該行走車控制裝置，是將因前方行走車的影響而使對象行走車通過連接路所需之時間增加的量反映至遲延成本，藉此可適當推估行走車通過該連接路所需之時間。藉此，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

本發明之一態樣的行走車控制裝置，具備：針對複數個行走車的各個，製成關於將來之各時刻之該行走車之位置之行走計畫的計畫部，計畫部，是製成不考慮對象行走車與非對象行走車之間的關係的行走車之行走計畫亦即靜態行走計畫，並基於對象行走車之靜態行走計畫與前方行走車的行走計畫，來以迴避對象行走車與前方行走車之干涉的方式製成修正對象行走車之靜態行走計畫的修正行走計畫，算出部，是基於對象行走車的靜態行走計畫與對象行走車的修正行走計畫來算出第1遲延成本亦可。藉此，在該行走車控制裝置，可考慮到對象行走車與前方行走車之干涉的影響，來更適當地選定對象行走車的行走路徑。

本發明之一態樣的行走車控制裝置，具備：在既定的時機從複數個行走車接收關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊的通訊部，節點，包含搬運路分歧或合流之地點的分歧合流部，算出部，是基於行走車的狀態資訊，算出第1待機遲延成本，前述第1待機遲延成本，是表示：在位於沿著對象行走車之搬運路之前方的分歧合流部，因對象行走車與前方行走車之間的關係而使對象行走車得在分歧合流部之前待機的情況時，對象行走車的待機時間，第1遲延成本，含有第1待機遲延成本亦可。藉此，在該行走車控制裝置，為了迴避與欲對於行走有對象行走車的搬運路分歧或合流之前方行走車的干涉而實行使對象行走車在分歧合流部之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

在本發明之一態樣的行走車控制裝置，行走車，是進行物品之搬運及移載的無人搬運車，具備通訊部，前述通訊部在既定的時機從複數個行走車接收：關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車進行物品之移載的移載位置、時刻、及所需之時間的移載資訊，算出部，是基於行走車的狀態資訊及移載資訊，算出第1移載遲延成本，前述第1移載遲延成本是表示：因前方行走車之物品的移載而使得對象行走車得在前方行走車的移載位置之前待機的情況時，對象行走車的待機時間，第1遲延成本，含有第1移載遲延成本亦可。藉此，在該行走車控制裝置，為了迴避與進行物品之移載的前方行走車之干涉而實行使對象行走車在移載位置之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

在本發明之一態樣的行走車控制裝置，遲延成本，亦可包含第2遲延成本，前述第2遲延成本是表示：因對象行走車的影響而使得沿著對象行走車之搬運路之後方的非對象行走車亦即後方行走車通過連接路所需之時間的增加量。藉此，在該行走車控制裝置，是將因對象行走車的影響而使後方行走車通過連接路所需之時間增加的量反映至遲延成本，藉此可考慮到對象行走車對其他行走車的行走造成的影響。藉此，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

本發明之一態樣的行走車控制裝置，具備：針對複數個行走車的各個，製成關於將來之各時刻之該行走車之位置之行走計畫的計畫部，計畫部，是製成不考慮到對象行走車與非對象行走車之間的關係的行走車之行走計畫亦即靜態行走計畫，並基於對象行走車的行走計畫與後方行走車的靜態行走計畫，來以迴避對象行走車與後方行走車之干涉的方式製成修正後方行走車之靜態行走計畫的修正行走計畫，算出部，是基於後方行走車的靜態行走計畫與後方行走車的修正行走計畫來算出第2遲延成本亦可。藉此，在該行走車控制裝置，可考慮到對象行走車與後方行走車之干涉的影響，來更適當地選定對象行走車的行走路徑。

本發明之一態樣的行走車控制裝置，具備：在既定的時機從複數個行走車接收關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊的通訊部，節點，包含搬運路分歧或合流之地點的分歧合流部，算出部，是基於行走車的狀態資訊，算出第2待機遲延成本，前述第2待機遲延成本，是表示：在位於沿著對象行走車之搬運路之前方的分歧合流部，因對象行走車與後方行走車之間的關係而使後方行走車得在分歧合流部之前待機的情況時，後方行走車的待機時間，第2遲延成本，含有第2待機遲延成本亦可。藉此，在該行走車控制裝置，為了迴避與欲對於行走有對象行走車的搬運路分歧或合流之後方行走車的干涉而實行使後方行走車在分歧合流部之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

在本發明之一態樣的行走車控制裝置，行走車，是進行物品之搬運及移載的無人搬運車，具備通訊部，前述通訊部在既定的時機從複數個行走車接收：關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車進行物品之移載的移載位置、時刻、及所需之時間的移載資訊，算出部，是基於行走車的狀態資訊及移載資訊，算出第2移載遲延成本，前述第2移載遲延成本是表示：因對象行走車之物品的移載而使得後方行走車得在對象行走車的移載位置之前待機的情況時，後方行走車的待機時間，第2遲延成本，含有第2移載遲延成本亦可。藉此，在該行走車控制裝置，為了迴避與進行物品之移載的對象行走車之干涉而實行使後方行走車在移載位置之前待機的控制的情況下，可更適當地選定對象行走車的行走路徑。

在本發明之一態樣的行走車控制裝置，取得部，是取得並累積複數個行走要求，選定部，是對於作為對象行走車之複數個行走車的各個與由取得部所累積之複數個行走要求的各個的每個組合來選定行走路徑，具備導出部，其基於對每個組合所選定出之行走路徑各自對應的總行走成本，來導出對複數個行走要求之各個來對應1個行走車的配對資訊亦可。藉此，在該行走車控制裝置，是使複數個行走要求暫時累積之後，導出對於該複數個行走要求的各個來1對1地對應行走車的配對資訊。因此，可並非單一行走要求而是考慮到複數個行走要求間的互相影響，來對複數個行走要求的各個進行行走車的對應(分擔)。於是，在該行走車控制裝置，與每發生1個行走要求就對該行走要求進行行走車之分擔的情況相比之下，可更適當地對行走車分擔行走要求。

本發明之一態樣的行走車系統，含有：上述行走車控制裝置、搬運路、可沿著搬運路行走的複數個行走車。由於該行走車系統含有上述的行走車控制裝置，故在該行走車系統，是因上述的理由，而可更適當地選定對象行走車的行走路徑。 [發明的效果]

根據本發明之各種的態樣，而可更適當地選定行走車的行走路徑。

以下，參照圖式，針對舉例的實施形態進行說明。又，在各圖中對相同或相當的部分附上相同符號，並省略重複的說明。

圖1，是表示本實施形態之行走車系統1之佈局配置例的圖。圖2，是表示控制器3之硬體構造之一例的方塊圖。圖3，是表示控制器3之功能構造的方塊圖。如圖1至圖3所示般，本實施形態的行走車系統1，含有：搬運路4、可沿著搬運路4行走的複數個行走車2、控制各行走車2之動作的控制器(行走車控制裝置)3。

行走車2，是無人行走車，例如高架行走車、有軌道台車等。在本實施形態，行走車2，是例如設置成可沿著鋪設在工廠內的搬運路4來行走，且進行物品之搬運及移載的無人搬運車。如圖1所示般，在本實施形態，作為一例，行走車2，是設置成可沿著在工廠內之天花板附近鋪設的軌道(rail)等之搬運路4來行走的高架搬運車。例如，行走車2，是高架行走式無人搬運車(OHT：Overhead Hoist Transfer)。作為一例，藉由行走車2所搬運的物品，是收容有複數片半導體晶圓的盒(亦即FOUP(Front Opening Unified Pod))。行走車2，是在既定的時機將狀態資訊與移載資訊發送給控制器3。所謂的狀態資訊，是關於該行走車2之現在位置及行走速度的資訊。所謂的移載資訊，是關於該行走車進行物品之移載的移載位置、時刻、及所需時間的資訊。

搬運路4，是分成複數個(在圖1之例為12個)區塊(迴圈)。搬運路4，含有：迴圈內的路線亦即圈內路線5、連接不同迴圈間的路線亦即圈際路線6。沿著搬運路4，設有裝載埠7及暫存區8。裝載埠7，是在未圖示的半導體處理裝置與行走車2之間進行FOUP之交貨的地點。暫存區8，是行走車2可暫放FOUP的地點。分歧合流部9，是搬運路4分歧或合流的地點。在分歧合流部9，是必須在搬運路4上，進行將複數個行走車2同時進入之情況予以排除的排他控制。

控制器3，是對各行走車2藉由例如無線通訊來輸出搬運命令，藉此控制各行走車2的搬運動作。在此，搬運動作，是用來進行FOUP之搬運及移載之一連串的動作，例如，包含在裝載埠7及暫存區8等之抓取FOUP的動作(取貨動作)及放下FOUP的動作(卸貨動作)、以及在搬運路4行走的行走動作等。控制器3，是例如從未圖示之MES(Manufacturing Execution System)及MCS(Material Control System)等之上位控制器，接收到關於FOUP之搬運的搬運要求(搬運指令)，而分擔給行走車2。亦即，控制器3，若從上位控制器接收到搬運要求的話，決定實行該搬運要求的行走車2，並對所決定的行走車2命令實行該搬運要求。在此，搬運要求，是包含用來特定成為搬運對象的物品、取貨位置(From地點)、及卸貨位置(To地點)等的資訊。亦即，搬運要求，是要求將配置在作為目的地之取貨位置(From地點)的FOUP(物品)予以取貨並在既定的卸貨位置(To地點)進行卸貨的指令。

控制器3，是直接控制存在於圖1所示之控制對象區域(含有複數個迴圈的區域)的行走車2亦可，藉由比控制器3還下位的控制器來間接控制行走車2亦可。例如，使控制對象區域分割成複數個區塊(例如迴圈單位)，在每個區塊設置用來控制區塊內之行走車2的區塊控制器(迴圈控制器)亦可。該情況時，控制器3，是對各區塊控制器發送控制訊號，使各區塊控制器對各區塊內的行走車2發送控制訊號亦可。亦即，各區塊內的行走車2，是透過各區塊的區塊控制器，而間接地被控制器3所控制。

如圖2所示般，控制器3，可作為電腦系統而構成，其含有：一個以上的CPU(Central Processing Unit)等的處理器301、主記憶裝置亦即一個以上的RAM (Random Access Memory)302及一個以上的ROM(Read Only Memory)303、用來供操作員進行操作輸入的鍵盤等之輸入裝置304、對操作員提示資訊的顯示器等之輸出裝置305、用來在上位控制器及行走車2等之間進行有線通訊或無線通訊的通訊模組306、HDD及SSD等之輔助記憶裝置307。控制器3，是作為1台伺服裝置來構成亦可，作為互相協調而動作的複數個伺服裝置來構成亦可。後述之控制器3的各功能，例如，是在RAM302等之記憶體上讀取既定的程式，在處理器301的控制下使輸入裝置304及輸出裝置305動作並使通訊模組306動作，在RAM302及輔助記憶裝置307進行資料的讀取及寫入而實現。

如圖3所示般，控制器3，作為功能性構成要件，具備：取得部31、記憶部32、計畫部33、算出部34、選定部35、導出部36、通訊部37。控制器3，是藉由該等的各功能，而實行：將包含往事先設定之目的地之移動要求的行走要求分擔給從複數個行走車2之中選擇的1個行走車2亦即對象行走車2A之處理。在本實施形態，行走要求，是上述的搬運要求，事先設定的目的地，是搬運要求所包含的取貨位置。控制器3，是針對對象行走車2A與搬運要求的組合，選定從對象行走車2A的現在位置到該搬運要求的目的地為止的行走路徑。在以下的說明，有將作為行走要求之分擔對象來注目的行走車2稱為對象行走車2A的情況。且，有將對象行走車2A以外的行走車2稱為非對象行走車2B的情況。且，有將沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的非對象行走車2B稱為前方行走車2F的情況，有將沿著對象行走車2A之搬運路4之後方的非對象行走車2B稱為後方行走車2R的情況。

取得部31，是取得從上位控制器輸出的複數個搬運要求並累積。取得部31，是將從上位控制器取得的搬運要求，暫時儲存至控制器3所具備的記憶體等。在本實施形態，取得部31，是以既定的周期(第1控制周期)，周期性地從上位控制器接收搬運要求。也就是說，取得部31，是在以第1控制周期反覆到來的接收時機，從上位控制器接收搬運要求。例如，取得部31，是將從前次的接收時機到這次的接收時機為止的期間發生於上位控制器中之一個以上的搬運要求，在這次的接收時機取得。又，若從前次的接收時機到這次的接收時機為止的期間連一個搬運要求都沒發生的情況，在這次的接收時機，不由取得部31來取得搬運要求亦可。

記憶部32，是將關於行走車系統1之佈局配置的地圖資訊予以儲存。地圖資訊，是含有複數個節點、複數個連接路、設定在每個連接路的靜態行走成本的資訊。地圖資訊，是由後述的計畫部33來參照。

複數個節點，是分別表示在搬運路4中，包含對象行走車2A可行走之區域(例如圖1所示的控制對象區域)的特定的地點的資訊。特定的地點，是在搬運路4上預先登錄之任意的地點。特定的地點，例如，配置有裝載埠7、暫存區8等之既定作業裝置的地點，或是包含搬運路4分歧或合流之地點的分歧合流部9等的地點。連接路，是表示連接節點間的部分(搬運路4的一部分)的資訊。於各連接路，設定行走車2可行走的方向。亦即，地圖資訊所包含的複數個節點與複數個連接路，是構成為有向圖示。

靜態行走成本，是表示行走車2通過連接路所需的時間(以下亦稱為「成本」)的資訊。靜態行走成本，是事先設定在連接路的成本，為不考慮對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係之情況的成本。換言之，靜態行走成本，是不受其他行走車2之影響的成本。例如，靜態行走成本，是表示一個行走車2在不受其他行走車2之影響的狀況下可通過連接路之最短時間的成本。這種靜態行走成本，例如，可基於連接路的長度(距離)、在連接路所設定的速度限制等來算出。

計畫部33，是針對複數個行走車2的各個，製成關於在將來的各時刻之該行走車2之位置的行走計畫(參照圖17)。更詳細來說，計畫部33，首先，是製成不考慮到對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係的行走車2之行走計畫亦即靜態行走計畫。

之後，計畫部33，是基於對象行走車2A的靜態行走計畫與前方行走車2F的行走計畫(前方行走車2F之已確定的行走計畫)，來以迴避對象行走車2A與前方行走車2F之干涉的方式製成修正對象行走車2A之靜態行走計畫的修正行走計畫。亦即，計畫部33，是檢測出對象行走車2A與前方行走車2F的干涉，並以排除該干涉的方式，來製成對象行走車2A的修正行走計畫。

且，計畫部33，是基於對象行走車2A的行走計畫(對象行走車2A之已確定的行走計畫)與後方行走車2R的靜態行走計畫，來以迴避對象行走車2A與後方行走車2R之干涉的方式製成修正後方行走車2R之靜態行走計畫的修正行走計畫。亦即，計畫部33，是檢測出對象行走車2A與後方行走車2R的干涉，並以排除該干涉的方式，來製成後方行走車2R的修正行走計畫。關於由計畫部33所製成的行走計畫，詳細待留後述。

算出部34，是算出遲延成本，前述遲延成本是表示：因對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係所致之對象行走車2A及非對象行走車2B之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量。在遲延成本，含有：第1遲延成本Ti1，其表示因前方行走車2F的影響而使對象行走車2A通過連接路所需之時間增加的量；以及第2遲延成本Ti2，其表示因對象行走車2A的影響而使後方行走車2R通過連接路所需之時間增加的量(參照圖23)。更詳細來說，算出部34，是基於對象行走車2A的靜態行走計畫與對象行走車2A的修正行走計畫來算出第1遲延成本Ti1。且，算出部34，是基於後方行走車2R的靜態行走計畫與後方行走車2R的修正行走計畫來算出第2遲延成本Ti2。

選定部35，是對於作為對象行走車2A之複數個行走車2的各個與由取得部31所累積之複數個行走要求的各個的每個組合來選定行走路徑。選定部35，是基於靜態行走成本與遲延成本來對每個連接路算出總行走成本。而且，選定部35，是基於所算出的總行走成本，來從對象行走車2A的現在位置到目的地為止之複數個候補路徑之中選定行走路徑。例如，選定部35，是對每個連接路算出靜態行走成本與遲延成本之總和的總行走成本，將複數個候補路徑之中該候補路徑所包含之連接路之各自的總行走成本之總和為最小的候補路徑選定為行走路徑。

針對選定部35所致之處理，參照圖4及圖5進行說明。圖4及圖5，是用來說明選定部35之處理之一例的圖。

選定部35，是對由取得部31所累積的複數個搬運要求之中的1個搬運要求與複數個行走車2之中的1個行走車2的每個組合，算出表示行走車2實行搬運要求的情況所需之時間(在本實施形態，是行走車2到達搬運要求之目的地(From地點)為止的所需時間)的路徑成本。具體來說，選定部35，是對於搬運要求與行走車2的每個組合，基於儲存在記憶部32的地圖資訊所含有的靜態行走成本、由算出部34所算出的遲延成本，來對每個連接路算出總行走成本。而且，選定部35，是基於所算出的總行走成本，來從對象行走車2A的現在位置到目的地(取貨位置的From地點)為止的複數個候補路徑之中選定行走路徑。

在本實施形態，是如上述般，選定部35，是針對搬運要求與行走車2之任意的組合，從行走車2的現在位置到搬運要求的目的地(From地點)為止的複數個候補路徑之中，將候補路徑所包含之連接路的總行走成本之和(亦即路徑成本)為最小的候補路徑(亦即最短路徑)，決定成為行走路徑。選定部35，是例如使用戴克斯特拉法(Dijkstra's algorithm)、A＊(A-star)等之公知的最短路徑探索演算，來對搬運要求與行走車2的每個組合，決定行走路徑(最短路徑)，而可算出其路徑成本。

參照圖4，針對行走車2與搬運要求之某組合之選定部35的處理進行說明。在此，作為一例，針對使用戴克斯特拉演算法的處理進行說明。圖4中，標記有「E」、及「1」～「6」的節點N，是對應於上述之地圖資訊所包含的節點。標記有「S」的節點N(以下亦稱為「起點S」)，表示路線探索的出發地(亦即行走車2的現在位置)。標記有「E」的節點N(以下亦稱為「終點E」)，表示路線探索的目的地(亦即搬運要求的From地點)。標記有「1」～「6」的節點N，表示非出發地也非目的地的節點。連接該等之節點N間的連接路L，是對應於地圖資訊所包含的連接路。設定於各連接路L的「Cost」，是對應於地圖資訊所包含的成本。在此，各連接路L的成本，是靜態行走成本與遲延成本之總和的總行走成本。各連接路L的朝向，表示行走車2可行走的方向。又，在起點S與事先登錄在地圖資訊的節點不一致的情況(亦即，起點S是對應於事先登錄在地圖資訊之連接第1節點與第2節點的連接路之途中位置的情況)，選定部35，是重新設定連接起點S與第1節點的第1連接路和連接起點S與第2節點的第2連接路，藉此取得圖4所示般的地圖資訊亦可。該情況時，在第1連接路及第2連接路之各個所設定的行走成本，例如，是基於在連接第1節點與第2節點的連接路所設定的行走成本、第1連接路及第2連接路之距離的比來決定。

選定部35，是如圖4所示般對有向圖示實行最短路徑探索演算(這邊是戴克斯特拉法)，藉此導出從起點S到終點E為止的最短路徑、該最短路徑所含之一個以上的連接路L的行走成本之和亦即路徑成本。圖5，是表示最短路徑探索演算之實行結果的圖。如圖5所示般，選定部35，作為從起點S到終點E為止的最短路徑，是以沿著「S」→「1」→「2」→「4」→「6」→「5」→「E」的順序來決定路線。且，選定部35，作為該最短路徑的路徑成本，是算出該最短路徑所含之連接路L的行走成本之和(亦即路徑成本)的「16(=2+3+3+4+2+2)」。如上述般，選定部35，是實行公知的最短路徑探索演算，藉此針對行走車2與搬運要求的1個組合，導出行走路徑(最短路徑)與其路徑成本。選定部35，是針對由取得部31所累積的複數個搬運要求與存在於控制對象區域的複數個行走車2之間所有可能的組合，來實行上述最短路徑探索演算。藉此，選定部35，導出每個組合的行走路徑與其路徑成本。

藉由上述的選定部35的處理，能夠得到由取得部31所累積的複數個搬運要求與複數個行走車2之間可能的各組合的路徑成本。圖6，是表示對複數個(在此為4個)搬運要求(搬運要求1～搬運要求4)與複數個(在此為7個)行走車2(由A～G的行走車ID來識別的行走車2)的每個組合所算出之路徑成本之一例的圖。例如，圖6的搬運要求1的表中的第1行表示出，將搬運要求1分擔給行走車ID為「A」的行走車2(以下，將行走車ID為「X」的行走車2，簡稱為「行走車X」來記載)的情況，行走車A從行走車A的現在位置到達搬運要求1之From地點為止所需的最短時間為「3」。又，在圖6之例，是排除路徑成本為既定閾值(在此為30)以上的行走車2。

導出部36，是基於每個組合所選定之行走路徑的各個所對應的路徑成本，來導出對複數個行走要求之各個來對應1個行走車的配對資訊。更具體來說，導出部36，是導出將1個行走車2對應於(分擔)由取得部31所累積之複數個搬運要求的各個的配對資訊。導出部36，是基於藉由選定部35對每個組合所算出的路徑成本(亦即，如圖6所示般的算出結果)，來導出配對資訊。在本實施形態，導出部36，是使由取得部31所累積的複數個搬運要求與複數個行走車2的組合之路徑成本之總和成為最小的方式，來導出配對資訊。

圖7，是表示針對圖6之例所導出之配對資訊的圖。如圖7所示般，將行走車C對應於搬運要求1，將行走車E對應於搬運要求2，將行走車B對應於搬運要求3，將行走車A對應於搬運要求4的情況，路徑成本的總和會取最小值「21(=6+5+6+4)」。於是，將顯示這種對應的配對資訊，由導出部36來導出。如上述般，根據導出部36，以路徑成本之總和成為最小的方式，來得到謀求全體最佳的配對資訊(以下稱為「最佳配對資訊」)。

接著，參照圖8至圖15，針對用來導出最佳配對資訊的導出部36之處理之一例進行說明。在此例，導出部36，是將搬運要求與行走車2的對應(配對)作為最低成本方式題目來公式化，藉由解開該最低成本方式題目，來導出配對資訊。在此，如圖8所示般，針對在2個搬運要求1、2與3個行走車A、B、C之間導出路徑成本之總和為最小的最佳配對資訊的情況之處理進行說明。圖8(A)，是將為了說明本例而準備之選定部35的算出結果之一例以與圖6同樣的表格形式來表現者。圖8(B)，是將圖8(A)所示之關係以無向圖示來表現者。圖8(B)所示的圖示，是將搬運要求1、2與行走車A、B、C分別表現成節點，並將搬運要求1、2與行走車A、B、C的各組合之路徑成本作為連結搬運要求與行走車的連接路之成本來表現者。

圖9，是表示處理順序的流程圖。首先，在步驟S11中，導出部36，為了將導出最佳配對資訊的題目作為最低成本方式題目來公式化，是製作出圖10所示之附成本網路。具體來說，如圖10所示般，導出部36，是設定出表示搬運要求1、2之節點1、2的各個與藉由成本「0」的連接路所連接的起點s，並設定出表示行走車A、B、C之節點A、B、C的各個與藉由成本「0」的連接路所連接的終點e。且，導出部36，是設定各連接路的朝向而使圖示全體成為往「起點s→搬運要求節點(節點1、2)→行走車節點(節點A、B、C)→終點e」之方向流動的有向圖示。在此，各連接路的容量設定為1。以上，導出2個搬運要求1、2與3個行走車A、B、C之間的最佳配對資訊的題目，會變換成對圖10所示之附成本網路(有向圖示)的最低成本方式題目。

接著，在步驟S12中，導出部36，是針對圖10所示之附成本網路，實行戴克斯特拉法等之最短路徑探索演算，藉此求出從起點s到終點e為止的最短路徑P1，並求出從起點s到各節點的最短成本(順著從起點s到各節點的最短路徑的情況所通過之連接路的成本之和)。藉此，如圖11所示般，求出粗線所示的最短路徑P1(起點s→節點1→節點A→終點e)與各節點的最短成本。

接著，在步驟S13中，導出部36，是針對最短路徑P1，製作輔助網路(殘留容量網路)。具體來說，首先，如圖12所示般，導出部36，是使最短路徑P1上的各連接路的朝向逆轉，並使最短路徑P1上的各連接路的成本成為負數(亦即，對各連接路的成本乘上「-1」)。藉此，連結節點1與節點A的連接路之成本，會從「1」變化成  「-1」。接著，如圖13所示般，導出部36，是在有向圖示之各連接路的成本，加上「連接路之起點的最短成本-連接路之終點的最短成本」。藉此，如圖13所示般，得到各連接路的成本更新過的輔助網路AN1。

接著，在步驟S14中，導出部36，是在輔助網路AN1中，判定是否存在從起點s朝向終點e的路徑。在此，輔助網路AN1中，存在有從起點s朝向終點e的路徑，判定結果為「YES」，故導出部36是前進至步驟S15的處理。

在步驟S15中，導出部36，是對於輔助網路AN1，實行戴克斯特拉法等之最短路徑探索演算，藉此求出從起點s到終點e為止的最短路徑P2，並求出從起點s到各節點的最短成本。藉此，如圖14所示般，求出以粗線所示的最短路徑P2(起點s→節點2→節點A→節點1→節點B→終點e)，且更新各節點的最短成本。

接著，回到步驟S13，導出部36，藉由與對最短路徑P1的處理相同的手續，來對最短路徑P2求出輔助網路。藉此，如圖15所示般，使最短路徑P2上之各連接路的朝向逆轉，而得到各連接路的成本更新過的輔助網路AN2。在得到輔助網路AN2的時間點，從起點s朝向終點e的路徑就不存在。於是，步驟S14的判定結果成為「NO」，導出部36是前進至步驟S16的處理。又，如本例般「行走車2的數量(在此為3)＞搬運要求的數量(在此為2)」成立的情況，重複次數(輔助網路的導出次數)是與搬運要求的數量相等。因此，在本例，是在導出第2個輔助網路AN2的階段，就不存在從起點s朝向終點e的路徑。

接著，在步驟S16中，導出部36，是基於從上述重複處理(最短路徑探索及輔助網路製成)結束之時間點之狀態(圖15所示的輔助網路AN2)之行走車(節點A～C)朝向搬運要求(節點1、2)的連接路，來導出最佳配對資訊。在圖15之例，從節點A朝向節點2的連接路與從節點B朝向節點1的連接路，是表示搬運要求與行走車的最佳組合。該情況時，導出部36，是將搬運要求1對應於行走車B並將搬運要求2對應於行走車A的配對資訊作為最佳配對資訊來導出。

又，在此例，步驟S12或步驟S15中，有可能會有藉由戴克斯特拉法等之最短路徑探索演算所得到的最短路徑複數存在的情況(亦即，從起點s到終點e為止的成本相同的複數個最短路徑存在的情況)。在這種情況，導出部36，是選擇複數個最短路徑之中的任意1個最短路徑，來實行後續的處理(步驟S13的輔助網路之製成)即可。根據這種方案，最終可得到最佳配對資訊。又，在圖8之例，是針對複數個搬運要求1、2與複數個行走車A、B、C之間的所有組合都為可能的案例(亦即，所有的行走車A、B、C都可實行所有的搬運要求1、2的案例)來做說明。但是，上述之處理，在存在有只能實行一部分之搬運要求的行走車的情況，及存在有只有一部分的行走車才能實行之搬運要求的情況，亦可適用。

回到圖1～圖3，通訊部37，例如由無線通訊來與行走車2進行資訊的接收發送。通訊部37，是基於導出部36所導出的配對資訊，來對該行走車2發送對應於各行走車2之行走要求的資訊。藉此，控制器3，將行走要求分擔給各行走車2。且，通訊部37，是在既定的時機從複數個行走車2接收：關於該行走車2之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車進行物品之移載的移載位置、時刻、及所需時間的移載資訊。

接著，針對由計畫部33所製成的行走計畫進行說明。圖16，是表示搬運路4之一部分的圖。於搬運路4之示於圖16的部分，含有3個連接路(以下稱為連接路A、連接路B、及連接路C)。連接路A、連接路B、及連接路C是以該順序來連接。連接路A，是與連接路A之上游側的連接路X及連接路Y以節點a來連接。且，連接路A與連接路B是以節點b來連接，連接路B與連接路C是以節點c來連接。連接路C，是與連接路C之下游側的連接路Z以節點d來連接。作為初始狀態，是預設位於連接路B的1個行走車2朝向連接路C側行走，位於連接路A的行走車2朝向連接路B側行走，位於連接路X的行走車2朝向連接路A側行走的狀態。

在此，如圖16所示般，在比位於連接路A的行走車2還靠節點a側(亦即，在位於連接路A的行走車2與位於連接路X的行走車2之間)，預設例如從搬運路Y進入新的行走車2的狀況。以下，將新進入的行走車2設為對象行走車2A，將在初始狀態位於連接路X的行走車2設為後方行走車2R，將在初始狀態位於連接路A的行走車2設為前方行走車2F。且，將在初始狀態位於連接路B的行走車2設為前頭行走車2T。

圖17，是表示對象行走車2A進入連接路A之時間點之前頭行走車2T、前方行走車2F、及後方行走車2R之行走計畫的圖表。在圖17，於橫軸表示時間，於縱軸表示沿著搬運路4的位置。圖表的斜率表示行走車2的行走速度。行走車2的行走速度，在沒受到其他行走車2之影響的情況下例如是由各連接路的限制速度所規定。在對象行走車2A進入連接路A之前，如圖17所示般，前頭行走車2T預定在連接路B為了移載物品而停止。且，在為了移載物品而停止的前頭行走車2T之前(上游側)，為了迴避與前頭行走車2T的干涉而預定使前方行走車2F停止。後方行走車2R，是不受前頭行走車2T及前方行走車2F的影響而預定在搬運路4行走。

圖18，是用來說明對象行走車2A之連接路A內之靜態行走計畫的圖。當對象行走車2A進入連接路A時，如圖18所示般，針對從對象行走車2A的現在位置到節點b為止的範圍，製成對象行走車2A以連接路A的限制速度來行走的靜態行走計畫。又，從對象行走車2A的現在位置到節點b為止的所需時間T1，是以下述的式(1)表示。在此，Cost，是行走車2以連接路A的限制速度從節點a行走到節點b為止之情況的所需時間，L是連接路A的全長，P是從節點a到對象行走車2A之現在位置為止的距離。

圖19，是用來說明對象行走車2A之連接路A內之行走計畫之修正的圖。如圖19所示般，為了保持與因前頭行走車2T之物品的移載而在連接路B內待機的前方行走車2F之間的車間距離，使對象行走車2A到節點b為止的行走速度降低。更具體來說，是使對象行走車2A到節點b為止的行走速度降低，而使前方行走車2F通過節點b的時刻與對象行走車2A到達節點b的時刻之間的時間間隔，成為以下述的式(2)所表示的安全時間T2。在此，v是連接路A的限制速度，a是對象行走車2A的行走速度，Lv是行走車2的全長。

圖20，是用來說明基於流量限制控制的對象行走車2A之連接路A內之行走計畫之修正的圖。所謂的流量限制控制，是如圖20所示般，對可存在於各連接路內之行走車2的數量設定上限，在超過上限之數量的行走車2欲進入該連接路的情況時，是控制該行走車2不進入該連接路。在此，作為一例，對於連接路B，實行有流量限制控制來將可存在於連接路B內的行走車2之上限設定為2個。因此，在連接路B內存在有前頭行走車2T及前方行走車2F的期間，對象行走車2A不進入連接路B。而且，使對象行走車2A到節點b為止的行走速度降低，而在前頭行走車2T退出連接路B藉此成為在連接路B內只有前方行走車2F存在之後，使對象行走車2A進入連接路B。

圖21，是用來說明對象行走車2A之連接路B內之靜態行走計畫的圖。如圖21所示般，針對從節點b到節點c為止的範圍，製成對象行走車2A以連接路B的限制速度來行走的靜態行走計畫。又，在該情況，由於在靜態行走計畫沒有考慮到到對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係，故所製成之對象行走車2A的靜態行走計畫，對象行走車2A會與前方行走車2F的行走計畫干涉。

圖22，是用來說明對象行走車2A之連接路B內之行走計畫之修正的圖。如圖22所示般，基於對象行走車2A的靜態行走計畫與前方行走車2F的行走計畫，以迴避對象行走車2A與前方行走車2F之干涉的方式製成修正對象行走車2A之靜態行走計畫的修正行走計畫。更具體來說，是以對象行走車2A不會追到前方行走車2F而干涉的方式，使對象行走車2A從節點b到節點c為止的行走速度降低。此時，在對象行走車2A的靜態行走計畫中，對象行走車2A通過節點b的時刻與到達節點c的時刻之間的時間間隔，是相當於連接路B的靜態行走成本。且，在對象行走車2A的靜態行走計畫中對象行走車2A到達節點c的時刻與在對象行走車2A的修正行走計畫中對象行走車2A到達節點c的時刻之間的時間間隔，是相當於圖22之狀況之連接路B的遲延成本(更詳細來說，是第1遲延成本Ti1)。又，所製成之對象行走車2A的修正行走計畫，是成為對象行走車2A不與後方行走車2R干涉的行走計畫。

圖23，是用來說明後方行走車2R之連接路B內之行走計畫之修正的圖。如圖23所示般，基於對象行走車2A的行走計畫(在此為修正行走計畫)與後方行走車2R的靜態行走計畫，以迴避對象行走車2A與後方行走車2R之干涉的方式製成修正後方行走車2R之靜態行走計畫的修正行走計畫。更具體來說，是以後方行走車2R不會追到對象行走車2A而干涉的方式，使後方行走車2R從節點b到節點c為止的行走速度降低。此時，在後方行走車2R的靜態行走計畫中後方行走車2R到達節點c的時刻與在後方行走車2R的修正行走計畫中後方行走車2R到達節點c的時刻之間的時間間隔，是相當於圖23之狀況之連接路B的遲延成本(更詳細來說，是第2遲延成本Ti2)。而且，在對象行走車2A的靜態行走計畫中對象行走車2A通過節點b的時刻與在後方行走車2R的修正行走計畫中後方行走車2R到達節點c的時刻之間的時間間隔，是相當於圖23之狀況之對象行走車2A之連接路B的總行走成本。也就是說，在此，連接路B的總行走成本，是對靜態行走成本加上第1遲延成本Ti1及第2遲延成本Ti2的成本。

接著，針對行走車控制方法進行說明。行走車控制方法，是針對對象行走車2A與行走要求的組合，選定從對象行走車2A的現在位置到行走要求之目的地為止的行走路徑的方法。在此，作為一例說明使用上述之控制器3的行走車控制方法。

圖24，是表示行走車控制方法的流程圖。圖24的流程圖，例如是在從上位控制器輸出行走要求時開始。如圖24所示般，在行走車控制方法，於步驟S21中，控制器3，取得行走要求(取得步驟)。更具體來說，藉由取得部31，來取得從上位控制器輸出的行走要求。接著，在步驟S22中，控制器3，對於在連接複數個節點間的複數個連接路之各個所設定的靜態行走成本，算出遲延成本(算出步驟)，該遲延成本表示對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係所致之對象行走車2A及非對象行走車2B之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量。接著，在步驟S23中，控制器3，是基於靜態行走成本與遲延成本來對每個連接路算出總行走成本，並基於所算出的總行走成本，來從對象行走車2A的現在位置到目的地為止的複數個候補路徑之中選定行走路徑(選定步驟)。藉由以上，而結束行走車控制方法之本次的處理。

又，於上述的第1遲延成本Ti1，含有第1待機遲延成本與第1移載遲延成本亦可。且，於上述的第2遲延成本Ti2，含有第2待機遲延成本與第2移載遲延成本亦可。以下，針對第1待機遲延成本、第1移載遲延成本、第2待機遲延成本、及第2移載遲延成本進行說明。

所謂的第1待機遲延成本，是在位於沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的分歧合流部9存在有欲分歧或合流的前方行走車2F之情況，到該前方行走車2F從分歧合流部9退出為止，對象行走車2A在分歧合流部9之前待機所發生的成本。第1待機遲延成本，是由於實行排除複數個行走車2同時進入分歧合流部9之情況的排他控制而發生。如上述般，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊，來算出第1待機遲延成本，前述第1待機遲延成本，是表示：在位於沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的分歧合流部9中，因對象行走車2A與前方行走車2F之間的關係而使對象行走車2A在分歧合流部9之前待機的情況時，對象行走車2A的待機時間。更詳細來說，算出部34，是基於各行走車2的狀態資訊來判定對象行走車2A的待機與否，若判定對象行走車2A的待機為必要的情況時，基於各行走車2的狀態資訊來算出對象行走車2A的待機時間。

所謂的第1移載遲延成本，是因前方行走車2F之物品的移載而使對象行走車2A在前方行走車2F之移載位置之前待機所發生的成本。第1移載遲延成本，是因為對象行走車2A無法超越在該對象行走車2A所行走之搬運路4之前方因移載而停止的前方行走車2F而發生。如上述般，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊及移載資訊，來算出第1移載遲延成本，前述第1移載遲延成本，是表示：因前方行走車2F之物品的移載而使對象行走車2A在前方行走車2F的移載位置之前待機的情況時，對象行走車2A的待機時間。更詳細來說，算出部34，是基於各行走車2的狀態資訊及移載資訊來判定對象行走車2A的待機與否，若判定對象行走車2A的待機為必要的情況時，基於各行走車2的狀態資訊及移載資訊來算出對象行走車2A的待機時間。

所謂的第2待機遲延成本，是對象行走車2A欲在分歧合流部9分歧或合流的情況時，到該對象行走車2A從分歧合流部9退出為止，後方行走車2R在分歧合流部9之前待機所發生的成本。第2待機遲延成本，是由於實行排除複數個行走車2同時進入分歧合流部9之情況的排他控制而發生。如上述般，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊，來算出第2待機遲延成本，前述第2待機遲延成本，是表示：在位於沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的分歧合流部9中，因對象行走車2A與後方行走車2R之間的關係而使後方行走車2R在分歧合流部9之前待機的情況時，後方行走車2R的待機時間。更詳細來說，算出部34，是基於各行走車2的狀態資訊來判定後方行走車2R的待機與否，若判定後方行走車2R的待機為必要的情況時，基於各行走車2的狀態資訊來算出後方行走車2R的待機時間。

所謂的第2移載遲延成本，是因對象行走車2A之物品的移載而使後方行走車2R在對象行走車2A之移載位置之前待機所發生的成本。第2移載遲延成本，是因為後方行走車2R無法超越在該後方行走車2R所行走之搬運路4之前方因移載而停止的對象行走車2A而發生。如上述般，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊及移載資訊，來算出第2移載遲延成本，前述第2移載遲延成本，是表示：因對象行走車2A之物品的移載而使後方行走車2R在對象行走車2A的移載位置之前待機的情況時，後方行走車2R的待機時間。更詳細來說，算出部34，是基於各行走車2的狀態資訊及移載資訊來判定後方行走車2R的待機與否，若判定後方行走車2R的待機為必要的情況時，基於各行走車2的狀態資訊及移載資訊來算出後方行走車2R的待機時間。

如以上說明般，控制器3，是針對沿著搬運路4來行走之複數個行走車2之中的1個行走車2亦即對象行走車2A與行走要求之組合，來選定從對象行走車2A的現在位置到目的地為止之行走路徑，前述行走要求是含有朝向事先設定之目的地移動用之要求的行走要求，前述控制器3，其具備：取得部31，其取得行走要求；記憶部32，其儲存搬運路4的地圖資訊，前述地圖資訊包含複數個節點、複數個連接路、以及靜態行走成本，前述複數個節點，是分別表示包含在對象行走車2A可行走之區域的特定的地點，前述複數個連接路，是連接節點間，前述靜態行走成本，是設定在每個連接路之行走車2通過連接路所需之時間；算出部34，其算出遲延成本，前述遲延成本，是表示：對象行走車2A與對象行走車2A以外的行走車2亦即非對象行走車2B之間的關係所致之該對象行走車2A及該非對象行走車2B之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量；以及選定部35，其基於靜態行走成本與遲延成本來對每個連接路算出總行走成本，並基於所算出的總行走成本，來從對象行走車2A的現在位置到目的地為止之複數個候補路徑之中選定行走路徑。

在該控制器3，不只是對每個連接路設定的固有之靜態行走成本，還考慮到表示對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係所致之該對象行走車2A及該非對象行走車2B之中至少1個通過連接路所需之時間的增加量的遲延成本，來算出每個連接路的總行走成本。而且，基於所算出的總行走成本，來從複數個候補路徑之中選定行走路徑。因此，考慮到因行走車2彼此之關係而妨害到該行走車2之行走的情況，可將更有效率地使對象行走車2A行走到行走要求之目的地為止的候補路徑選定為行走路徑。藉此，根據該控制器3，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，在控制器3，選定部35，是對每個連接路算出靜態行走成本與遲延成本之總和的總行走成本，將複數個候補路徑之中該候補路徑所包含之連接路的總行走成本之總和為最小的候補路徑選定為行走路徑。藉此，在控制器3，是算出靜態行走成本與遲延成本之總和的總行走成本，故可用簡便的處理來算出總行走成本。且，在該控制器3，是將複數個候補路徑之中該候補路徑所包含之連接路的總行走成本之總和為最小的候補路徑選定為行走路徑。藉此，可將特別有效率地使對象行走車2A行走到行走要求之目的地為止的候補路徑選定為行走路徑。

且，在控制器3，遲延成本，包含第1遲延成本Ti1，該第1遲延成本Ti1是表示：因沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的非對象行走車2B亦即前方行走車2F之影響所致之對象行走車2A通過連接路所需之時間的增加量。藉此，在該控制器3，是將因前方行走車2F的影響而使對象行走車2A通過連接路所需之時間增加的量反映至遲延成本，藉此可適當推估行走車2通過該連接路所需之時間。藉此，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，控制器3，具備：針對複數個行走車2的各個，製成關於將來之各時刻之該行走車2之位置之行走計畫的計畫部33，計畫部33，是製成不考慮對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係的行走車2之行走計畫亦即靜態行走計畫，並基於對象行走車2A之靜態行走計畫與前方行走車2F的行走計畫，來以迴避對象行走車2A與前方行走車2F之干涉的方式製成修正對象行走車2A之靜態行走計畫的修正行走計畫，算出部34，是基於對象行走車2A的靜態行走計畫與對象行走車2A的修正行走計畫來算出第1遲延成本Ti1。藉此，在該控制器3，可考慮到對象行走車2A與前方行走車2F之干涉的影響，來更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，控制器3，具備：在既定的時機從複數個行走車2接收關於該行走車2之現在位置及行走速度的狀態資訊的通訊部37，節點，包含搬運路4分歧或合流之地點的分歧合流部9，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊，算出第1待機遲延成本，前述第1待機遲延成本，是表示：在位於沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的分歧合流部9，因對象行走車2A與前方行走車2F之間的關係而使對象行走車2A得在分歧合流部9之前待機的情況時，對象行走車2A的待機時間，第1遲延成本Ti1，含有第1待機遲延成本。藉此，在該控制器3，為了迴避與欲對於行走有對象行走車2A的搬運路4分歧或合流之前方行走車2F的干涉而實行使對象行走車2A在分歧合流部9之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，在控制器3，行走車2，是進行物品之搬運及移載的無人搬運車，具備通訊部37，前述通訊部37在既定的時機從複數個行走車2接收：關於該行走車2之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車2進行物品之移載的移載位置、時刻、及所需之時間的移載資訊，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊及移載資訊，算出第1移載遲延成本，前述第1移載遲延成本是表示：因前方行走車2F之物品的移載而使得對象行走車2A得在前方行走車2F的移載位置之前待機的情況時，對象行走車2A的待機時間，第1遲延成本Ti1，含有第1移載遲延成本。藉此，在該控制器3，為了迴避與進行物品之移載的前方行走車2F之干涉而實行使對象行走車2A在移載位置之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，在控制器3，遲延成本，包含第2遲延成本Ti2，該第2遲延成本Ti2是表示：因對象行走車2A的影響而使得沿著對象行走車2A之搬運路4之後方的非對象行走車2B亦即後方行走車2R通過連接路所需之時間的增加量。藉此，在該控制器3，是將因對象行走車2A的影響而使後方行走車2R通過連接路所需之時間增加的量反映至遲延成本，藉此可考慮到對象行走車2A對其他行走車2的行走造成的影響。藉此，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，控制器3，具備：針對複數個行走車2的各個，製成關於將來之各時刻之該行走車2之位置之行走計畫的計畫部33，計畫部33，是製成不考慮到對象行走車2A與非對象行走車2B之間的關係的行走車2之行走計畫亦即靜態行走計畫，並基於對象行走車2A的行走計畫與後方行走車2R的靜態行走計畫，來以迴避對象行走車2A與後方行走車2R之干涉的方式製成修正後方行走車2R之靜態行走計畫的修正行走計畫，算出部34，是基於後方行走車2R的靜態行走計畫與後方行走車2R的修正行走計畫來算出第2遲延成本Ti2。藉此，在該控制器3，可考慮到對象行走車2A與後方行走車2R之干涉的影響，來更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，控制器3，具備：在既定的時機從複數個行走車2接收關於該行走車2之現在位置及行走速度的狀態資訊的通訊部37，節點，包含搬運路4分歧或合流之地點的分歧合流部9，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊，算出第2待機遲延成本，前述第2待機遲延成本，是表示：在位於沿著對象行走車2A之搬運路4之前方的分歧合流部9，因對象行走車2A與後方行走車2R之間的關係而使後方行走車2R得在分歧合流部9之前待機的情況時，後方行走車2R的待機時間，第2遲延成本Ti2，含有第2待機遲延成本。藉此，在該控制器3，為了迴避與欲對於行走有對象行走車2A的搬運路4分歧或合流之後方行走車2R的干涉而實行使後方行走車2R在分歧合流部9之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，在控制器3，行走車2，是進行物品之搬運及移載的無人搬運車，具備通訊部37，前述通訊部37在既定的時機從複數個行走車2接收：關於該行走車2之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車2進行物品之移載的移載位置、時刻、及所需之時間的移載資訊，算出部34，是基於行走車2的狀態資訊及移載資訊，算出第2移載遲延成本，前述第2移載遲延成本是表示：因對象行走車2A之物品的移載而使得後方行走車2R得在對象行走車2A的移載位置之前待機的情況時，後方行走車2R的待機時間，第2遲延成本Ti2，含有第2移載遲延成本。藉此，在該控制器3，為了迴避與進行物品之移載的對象行走車2A之干涉而實行使後方行走車2R在移載位置之前待機之控制的情況下，可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，在控制器3，取得部31，是取得並累積複數個行走要求，選定部35，是對於作為對象行走車2A之複數個行走車2的各個與由取得部31所累積之複數個行走要求的各個的每個組合來選定行走路徑，具備導出部36，其基於對每個組合所選定出之行走路徑各自對應的總行走成本，來導出對複數個行走要求之各個來對應1個行走車2的配對資訊。藉此，在該控制器3，是使複數個行走要求暫時累積之後，導出對於該複數個行走要求的各個來1對1地對應行走車2的配對資訊。因此，可並非單一行走要求而是考慮到複數個行走要求間的互相影響，來對複數個行走要求的各個進行行走車2的對應(分擔)。於是，在該控制器3，與每發生1個行走要求就對該行走要求進行行走車2之分擔的情況相比之下，可更適當地對行走車2分擔行走要求。

且，行走車系統1，含有：上述的控制器3、搬運路4、可沿著搬運路4行走的複數個行走車2。由於該行走車系統1含有上述的控制器3，故在該行走車系統1，是因上述的理由，而可更適當地選定對象行走車2A的行走路徑。

且，上述的行走車控制方法，是含有取得步驟、算出步驟、選定步驟，藉此可發揮出與上述的控制器3相同的作用及效果。

上述的實施形態，可基於本業業者的知識而以施以各種變更、改良的各種形態來實施。

例如，行走要求，只要是包含往事先設定之目的地的移動要求的要求即可，不為搬運物品的搬運要求亦可。

且，選定部35，亦可並非將總行走成本作為靜態行走成本與遲延成本的總和而算出。例如，選定部35，是將總行走成本，作為靜態行走成本與以事先設定的基準將遲延成本加權後的成本之總和來算出亦可。且，選定部35，亦可並非從複數個候補路徑之中將總行走成本為最小的候補路徑選定為行走路徑。

又，遲延成本，亦可不包含第1遲延成本Ti1。且，遲延成本，亦可不包含第2遲延成本Ti2。

且，算出部34，並不一定要基於計畫部33所製成的行走計畫來算出遲延成本亦可。例如，算出部34，是基於行走車2之過去的行走履歷來統計地算出遲延成本亦可。例如，算出部34，是針對各連接路，基於過去行走車2通過該連接路所需之時間對於靜態行走成本增加的量，來算出該連接路的遲延成本亦可。更具體來說，是針對各連接路，將過去行走車2通過該連接路所需之時間對於靜態行走成本增加的量之平均值，作為該連接路的遲延成本亦可。該情況時，控制器3，亦可不具備計畫部33。

且，第1遲延成本Ti1，亦可不包含第1待機遲延成本。且，第1遲延成本Ti1，亦可不包含第1移載遲延成本。且，第2遲延成本Ti2，亦可不包含第2待機遲延成本。且，第2遲延成本Ti2，亦可不包含第2移載遲延成本。

且，控制器3，是由取得部31取得1個行走要求，由選定部35僅針對1個對象行走車2A與該行走要求的組合來選定行走路徑亦可。該情況時，控制器3，亦可不導出對複數個行走要求的各個對應1個行走車2的配對資訊。亦即，控制器3，亦可不具備導出部36。

且，在上述實施形態，作為被行走車2所搬運的物品(被搬運物)，是示例出收容有複數個半導體晶圓的FOUP，但物品並不限定於此，例如，亦可為收容有玻璃晶圓、光柵等之其他的容器。且，行走車系統1，並不限定於半導體製造工廠，亦可適用於其他的設施。

1:行走車系統 2:行走車 2A:對象行走車 2B:非對象行走車 2F:前方行走車 2R:後方行走車 3:控制器(行走車控制裝置) 4:搬運路 9:分歧合流部 31:取得部 32:記憶部 33:計畫部 34:算出部 35:選定部 36:導出部 37:通訊部

圖1，是表示本實施形態之行走車系統之佈局配置例的圖。 圖2，是表示控制器之硬體構造之一例的方塊圖。 圖3，是表示控制器之功能構造的方塊圖。 圖4，是用來說明選定部之處理之一例的圖。 圖5，是用來說明選定部之處理之一例的圖。 圖6，是表示選定部之處理結果之一例的圖。 圖7，是表示針對圖6的處理結果來導出之配對資訊的圖。 圖8，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖9，是表示導出部之處理之一例的流程圖。 圖10，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖11，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖12，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖13，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖14，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖15，是用來說明導出部之處理之一例的圖。 圖16，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖17，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖18，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖19，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖20，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖21，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖22，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖23，是針對由計畫部所製成之行走計畫來說明用的圖。 圖24，是表示行走車控制方法的流程圖。

2A:對象行走車

2R:後方行走車

2T:前頭行走車

Ti1:第1遲延成本

Ti2:第2遲延成本

Claims (13)

1. 一種行走車控制裝置，是針對沿著搬運路來行走之複數個行走車之中的1個行走車亦即對象行走車與行走要求之組合，來選定從前述對象行走車的現在位置到前述目的地為止之行走路徑，前述行走要求是含有朝向事先設定之目的地移動用之要求的行走要求， 前述行走車控制裝置，其具備： 取得部，其取得前述行走要求； 記憶部，其儲存前述搬運路的地圖資訊，前述地圖資訊包含複數個節點、複數個連接路、以及靜態行走成本，前述複數個節點，是分別表示包含在前述對象行走車可行走之區域的特定的地點，前述複數個連接路，是連接前述節點間，前述靜態行走成本，是表示設定在每個前述連接路之前述行走車通過前述連接路所需之時間； 算出部，其算出遲延成本，前述遲延成本，是表示：前述對象行走車與前述對象行走車以外的前述行走車亦即非對象行走車之間的關係所致之該對象行走車及該非對象行走車之中至少1個通過前述連接路所需之時間的增加量；以及 選定部，其基於前述靜態行走成本與前述遲延成本來對每個前述連接路算出總行走成本，並基於所算出的前述總行走成本，來從前述對象行走車的現在位置到前述目的地為止之複數個候補路徑之中選定前述行走路徑。
2. 如請求項1所述之行走車控制裝置，其中，前述選定部，是對每個前述連接路算出前述靜態行走成本與前述遲延成本之總和的前述總行走成本，將複數個前述候補路徑之中該候補路徑所包含之前述連接路的前述總行走成本之總和為最小的前述候補路徑選定為前述行走路徑。
3. 如請求項1或2所述之行走車控制裝置，其中，前述遲延成本，包含第1遲延成本，前述第1遲延成本是表示：因沿著前述對象行走車之前述搬運路之前方的前述非對象行走車亦即前方行走車之影響所致之前述對象行走車通過前述連接路所需之時間的增加量。
4. 如請求項3所述之行走車控制裝置，其具備：針對複數個前述行走車的各個，製成關於將來之各時刻之該行走車之位置之行走計畫的計畫部， 前述計畫部， 是製成不考慮前述對象行走車與前述非對象行走車之間的關係的前述行走車之行走計畫亦即靜態行走計畫， 並基於前述對象行走車之前述靜態行走計畫與前述前方行走車的前述行走計畫，來以迴避前述對象行走車與前述前方行走車之干涉的方式製成修正前述對象行走車之前述靜態行走計畫的修正行走計畫， 前述算出部，是基於前述對象行走車的前述靜態行走計畫與前述對象行走車的前述修正行走計畫來算出前述第1遲延成本。
5. 如請求項3所述之行走車控制裝置，其具備：在既定的時機從複數個前述行走車接收關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊的通訊部， 前述節點，包含前述搬運路分歧或合流之地點的分歧合流部， 前述算出部，是基於前述行走車的前述狀態資訊，算出第1待機遲延成本，前述第1待機遲延成本，是表示：在位於沿著前述對象行走車之前述搬運路之前方的前述分歧合流部，因前述對象行走車與前述前方行走車之間的關係而使前述對象行走車在前述分歧合流部之前待機的情況時，前述對象行走車的待機時間， 前述第1遲延成本，含有前述第1待機遲延成本。
6. 如請求項3所述之行走車控制裝置，其中， 前述行走車，是進行物品之搬運及移載的無人搬運車， 具備通訊部，前述通訊部在既定的時機從複數個前述行走車接收：關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車進行前述物品之移載的移載位置、時刻、及所需之時間的移載資訊， 前述算出部，是基於前述行走車的前述狀態資訊及前述移載資訊，算出第1移載遲延成本，前述第1移載遲延成本是表示：因前述前方行走車之前述物品的移載而使得前述對象行走車在前述前方行走車的前述移載位置之前待機的情況時，前述對象行走車的待機時間， 前述第1遲延成本，含有前述第1移載遲延成本。
7. 如請求項1或2所述之行走車控制裝置，其中，前述遲延成本，包含第2遲延成本，前述第2遲延成本是表示：因前述對象行走車的影響而使得沿著前述對象行走車之前述搬運路之後方的前述非對象行走車亦即後方行走車通過前述連接路所需之時間的增加量。
8. 如請求項7所述之行走車控制裝置，其具備：針對複數個前述行走車的各個，製成關於將來之各時刻之該行走車之位置之行走計畫的計畫部， 前述計畫部， 是製成不考慮前述對象行走車與前述非對象行走車之間的關係的前述行走車之行走計畫亦即靜態行走計畫， 基於前述對象行走車之前述行走計畫與前述後方行走車的前述靜態行走計畫，來以迴避前述對象行走車與前述後方行走車之干涉的方式製成修正前述後方行走車之前述靜態行走計畫的修正行走計畫， 前述算出部，是基於前述後方行走車的前述靜態行走計畫與前述後方行走車的前述修正行走計畫來算出前述第2遲延成本。
9. 如請求項7所述之行走車控制裝置，其具備：在既定的時機從複數個前述行走車接收關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊的通訊部， 前述節點，包含前述搬運路分歧或合流之地點的分歧合流部， 前述算出部，是基於前述行走車的前述狀態資訊，算出第2待機遲延成本，前述第2待機遲延成本，是表示：在位於沿著前述對象行走車之前述搬運路之前方的前述分歧合流部，因前述對象行走車與前述後方行走車之間的關係而使前述後方行走車在前述分歧合流部之前待機的情況時，前述後方行走車的待機時間， 前述第2遲延成本，含有前述第2待機遲延成本。
10. 如請求項7所述之行走車控制裝置，其中， 前述行走車，是進行物品之搬運及移載的無人搬運車， 具備通訊部，前述通訊部在既定的時機從複數個前述行走車接收：關於該行走車之現在位置及行走速度的狀態資訊、關於該行走車進行前述物品之移載的移載位置、時刻、及所需之時間的移載資訊， 前述算出部，是基於前述行走車的前述狀態資訊及前述移載資訊，算出第2移載遲延成本，前述第2移載遲延成本是表示：因前述對象行走車之前述物品的移載而使得前述後方行走車在前述對象行走車的前述移載位置之前待機的情況時，前述後方行走車的待機時間， 前述第2遲延成本，含有前述第2移載遲延成本。
11. 如請求項1或2所述之行走車控制裝置，其中， 前述取得部，是取得並累積複數個前述行走要求， 前述選定部，是對於作為前述對象行走車之複數個前述行走車的各個與由前述取得部所累積之複數個前述行走要求的各個的每個組合來選定前述行走路徑， 具備導出部，其基於對每個前述組合所選定出之前述行走路徑各自對應的前述總行走成本，來導出對複數個前述行走要求之各個來對應1個前述行走車的配對資訊。
12. 一種行走車系統，其含有： 請求項1至11中任一項所述之行走車控制裝置、 前述搬運路、 可沿著前述搬運路行走的複數個前述行走車。
13. 一種行走車控制方法，是針對沿著搬運路來行走之複數個行走車之中的1個行走車亦即對象行走車與行走要求之組合，來選定從前述對象行走車的現在位置到前述目的地為止之行走路徑，前述行走要求是含有朝向事先設定之目的地移動用之要求的行走要求， 前述行走車控制方法，其含有： 取得步驟，其取得前述行走要求； 算出步驟，其對於靜態行走成本，來算出遲延成本，前述靜態行走成本，是對在前述搬運路中將分別表示包含在前述對象行走車可行走之區域的特定的地點的複數個節點間予以連接的複數個連接路，分別設定之前述行走車通過前述連接路所需之時間，前述遲延成本是表示：前述對象行走車與前述對象行走車以外的前述行走車亦即非對象行走車之間的關係所致之前述對象行走車及前述非對象行走車之中至少1個通過前述連接路所需之時間的增加量；以及 選定步驟，其基於前述靜態行走成本與前述遲延成本來對每個前述連接路算出總行走成本，並基於所算出的前述總行走成本，來從前述對象行走車的現在位置到前述目的地為止的複數個候補路徑之中選定前述行走路徑。

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