TW202012293A - 玻璃膜的製造方法 - Google Patents

Abstract

一種玻璃膜的製造方法，包括修正步驟P7，即，一面搬運帶狀玻璃膜1，一面藉由修正機構15來修正帶狀玻璃膜1的實際的通過路徑R2相對於本來的搬運路徑R1的偏離，在所述玻璃膜的製造方法中，設為在修正機構15設置吸附輸送機3，所述吸附輸送機3是以帶狀玻璃膜1吸附於搬運面的狀態搬運帶狀玻璃膜1，藉由改變利用吸附輸送機3的帶狀玻璃膜1的傳送路徑S，來執行修正步驟P7。

Description

玻璃膜的製造方法

本發明是有關於一種玻璃膜的製造方法，詳細而言，是有關於一種包括如下步驟的製造方法，所述步驟是一面搬運作為玻璃膜的原料的帶狀玻璃膜，一面修正所述帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離。

近年來，迅速普及的智慧型手機（smartphone）或平板電腦（tablet）等行動終端被要求體型薄、重量輕，因而對於裝入於該些終端的玻璃板，對薄板化的要求提高。在如上所述的現狀下，達成了開發、製造經薄板化（例如厚度為300 μm以下）至膜狀的被稱為玻璃膜的玻璃板。

在玻璃膜的製造步驟中，多數情況是藉由利用卷對卷（roll to roll）的方式，而一面搬運作為產品玻璃膜的原料的帶狀玻璃膜，一面對帶狀玻璃膜實施各種處理。作為一例，有時對搬運中的帶狀玻璃膜實施如下的處理：分割出對產品而言多餘的部位，或清洗表背面，或檢測缺陷的有無。

然而，在搬運帶狀玻璃膜時，存在如下的情況：在搬運路徑的途中帶狀玻璃膜產生蛇行或斜行，而在本來的搬運路徑與帶狀玻璃膜實際通過的通過路徑之間產生偏離。對帶狀玻璃膜實施的處理的數量越增加，此種不良情況越容易產生。其原因在於，伴隨著處理的增加，帶狀玻璃膜的搬運路徑的距離變長，為了因應此情況，輥或輸送機（conveyor）等的數量增加。

此處，在專利文獻1中揭示有能夠用於修正所述偏離的方法。所述方法是用以在搬運腹板（web）（帶狀的薄板）時，修正實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離的方法，在修正偏離時使用下述修正機構。

修正機構包括：一對上表面接觸輥（所述專利文獻1的輥53、輥56），在腹板的搬運路徑上空開間隔地配置於上游側與下游側，分別與腹板的上表面接觸；以及一對下表面接觸輥（所述專利文獻1的輥54、輥55），在搬運路徑上配置於一對上表面接觸輥的彼此之間，分別與腹板的下表面接觸。即，在所述修正機構中，沿搬運路徑，以上游側的上表面接觸輥、上游側的下表面接觸輥、下游側的下表面接觸輥、下游側的上表面接觸輥的順序配置有共計四根輥。一對下表面接觸輥配置於較一對上表面接觸輥更高的位置，上游側的下表面接觸輥及下游側的下表面接觸輥分別配置於上游側的上表面接觸輥及下游側的上表面接觸輥的大致正上方。

藉由所述配置關係，通過該些四根輥的配置部位的腹板如下所述依次不斷轉換行進方向。首先，伴隨著搬運而抵達至上游側的上表面接觸輥為止的腹板，沿所述輥將行進方向自水平方向轉換為上方向。其次，當抵達至上游側的下表面接觸輥為止後，沿所述輥將行進方向自上方向再次轉換為水平方向。其後，當抵達至下游側的下表面接觸輥為止後，沿所述輥將行進方向自水平方向轉換為下方向。最後，當抵達至下游側的上表面接觸輥為止後，沿所述輥將行進方向自下方向再次轉換為水平方向。

一對下表面接觸輥將該些的兩端部藉由連結桿（connector bar）（所述專利文獻1的連結桿57、連結桿58）而連結。兩輥及連結桿藉由以在上下方向延伸的旋轉軸線為中心一體地旋轉，可進行搖擺頭部動作。再者，在所述修正機構中，以貫通上游側的下表面接觸輥的中央部的方式配置有旋轉軸線。並且，成為如下的結構：伴隨著兩輥及連結桿的搖擺頭部動作，對所述偏離進行修正。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2011-42459號公報

[發明所欲解決之課題] 但是，在利用專利文獻1所揭示的方法的情況下，存在如下所述的應解決的問題。

即，在所述方法中，需要使腹板抵接於下表面接觸輥的表面至如下的程度，即，修正偏離時在腹板與下表面接觸輥之間不產生滑動，因此必須多次使腹板的行進方向轉換成大致直角，且需要在每次轉換時使腹板以大曲率彎曲。因此，若在搬運帶狀玻璃膜的情況下利用所述方法，則在使行進方向轉換時，有時會因伴隨著彎曲而產生的應力，而導致帶狀玻璃膜破損。由於如上所述的情況，故而期待確立如下的技術：不使帶狀玻璃膜破損，而可進行偏離的修正。

鑒於所述情況而完成的本發明的技術課題在於，在搬運帶狀玻璃膜時，修正所述帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離時，防止帶狀玻璃膜的破損。 [解決課題之手段]

用以解決所述課題的本發明是一種玻璃膜的製造方法，包括修正步驟，即，一面搬運帶狀玻璃膜，一面藉由修正機構來修正帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離，所述玻璃膜的製造方法中，在修正機構設置搬運部，所述搬運部是以將帶狀玻璃膜固定保持於搬運面的狀態搬運帶狀玻璃膜，藉由改變利用搬運部的帶狀玻璃膜的傳送路徑，來執行修正步驟。

在本方法中，設置於修正機構的搬運部能夠以將帶狀玻璃膜固定保持於搬運面的狀態搬運帶狀玻璃膜。並且，藉由所述狀態下的搬運部改變帶狀玻璃膜的傳送路徑，來修正所述帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離，而使修正步驟完成。如上所述，在本方法中，在修正偏離時，可適當排除使帶狀玻璃膜以大曲率彎曲的必要性。其結果為，可必然防止產生如下的事態：因伴隨著彎曲而產生的應力，而導致帶狀玻璃膜破損。由於以上所述，故根據本方法，在搬運帶狀玻璃膜時，修正帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離時，可防止帶狀玻璃膜的破損。

在所述方法中，較佳為：設置相對於修正機構與搬運路徑的上游側鄰接而配置的第一搬運機構及與下游側鄰接而配置的第二搬運機構，且使搬運部的搬運面與第一搬運機構及第二搬運機構兩者的搬運面位於帶狀玻璃膜的同一面側。

如此一來，可確實地避免帶狀玻璃膜的表背面之中的一個面，與搬運部的搬運面、第一搬運機構的搬運面及第二搬運機構的搬運面接觸。藉此，若將帶狀玻璃膜的一個面設為保證面，使所述保證面避免與各搬運面接觸，則可儘可能地防止保證面受損，在提高以帶狀玻璃膜為原料而製造的玻璃膜產品的品質的方面有利。

在所述方法中，較佳為：將修正機構與第一搬運機構及第二搬運機構，配置於在搬運路徑上以平放姿勢搬運帶狀玻璃膜的區間，使搬運部的搬運面與第一搬運機構及第二搬運機構兩者的搬運面位於同一高度。

如此一來，對於使帶狀玻璃膜自第一搬運機構移載至修正機構的搬運部時、及自修正機構的搬運部移載至第二搬運機構時，亦可儘可能地避免帶狀玻璃膜的彎曲。因此，在防止因彎曲而引起的帶狀玻璃膜的破損的方面更有利。

在所述方法中，較佳為：作為搬運部，使用以吸附帶狀玻璃膜的狀態搬運帶狀玻璃膜的吸附輸送機。

如此一來，容易充分確保搬運部的搬運面（吸附輸送機的搬運面）與帶狀玻璃膜的主面（表背面中的一者）的接觸面積，可適當地將帶狀玻璃膜固定保持於搬運面，甚至可更確實地執行修正步驟。此外，亦可一面確實地執行修正步驟，一面順利地搬運帶狀玻璃膜。

在所述方法中，較佳為：藉由使吸附輸送機以旋轉軸線為中心而搖擺頭部，來改變傳送路徑，所述旋轉軸線是相對於吸附輸送機的搬運面鉛垂地延伸。

如此一來，可伴隨著吸附輸送機搖擺頭部，改變利用搬運部的帶狀玻璃膜的傳送路徑，從而可極其簡便且確實地改變傳送路徑。

在所述方法中，較佳為：使旋轉軸線位於吸附輸送機的傳送方向的上游側端部。

如此一來，藉由使旋轉軸線位於吸附輸送機的傳送方向的上游側端部，而使得伴隨著吸附輸送機的搖擺頭部，吸附輸送機的搬運面沿帶狀玻璃膜的寬度方向移動時的擺動幅度，越靠傳送方向的上游側越小。因此，可避免產生如下的事態，即，自第一搬運機構移載至吸附輸送機的帶狀玻璃膜在移載後使行進方向急遽轉換。因此，可減少施加至帶狀玻璃膜的載荷，可更確實地防止帶狀玻璃膜的破損。

在所述方法中，較佳為：使旋轉軸線位於吸附輸送機的沿帶狀玻璃膜的寬度方向的方向的中央部。

如此一來，亦可適當地應對如下情況中的任一情況：帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離是朝向帶狀玻璃膜的寬度方向的一側偏離的情況、及所述偏離是朝向另一側偏離的情況。

在所述方法中，較佳為：相對於修正機構在搬運路徑的上游側設置檢測器，基於檢測器所獲得的檢測結果，改變傳送路徑，所述檢測器是檢測帶狀玻璃膜的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離。

如此一來，可準確地檢測帶狀玻璃膜所產生的偏離的程度，並且由於基於檢測結果，改變利用搬運部的帶狀玻璃膜的傳送路徑，故可進行與偏離的程度相應的適當處理。 [發明的效果]

根據本發明，在搬運帶狀玻璃膜時，修正帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離時，可防止帶狀玻璃膜的破損。

以下，一面參照隨附的圖式，一面對本發明的實施形態的玻璃膜的製造方法進行說明。

＜第一實施形態＞ 如圖1所示，在第一實施形態的玻璃膜的製造方法中，利用卷對卷的方式，藉由多個搬運輥2及吸附輸送機3，而沿長度方向搬運作為玻璃膜的原料的帶狀玻璃膜1。

然後，對帶狀玻璃膜1自搬運路徑的上游側起依次執行拉出步驟P1、切斷步驟P2、清洗步驟P3、洗濯步驟P4、除液步驟P5、乾燥步驟P6、修正步驟P7、檢查步驟P8及纏繞步驟P9。再者，該些步驟之中，切斷步驟P2～檢查步驟P8的各步驟是在搬運路徑上以平放姿勢（水平姿勢）搬運帶狀玻璃膜1的區間執行。

帶狀玻璃膜1形成為300 μm以下的厚度，具有可撓性。在所述帶狀玻璃膜1中，在搬運過程中與搬運輥2及吸附輸送機3不接觸的表面1a（上表面）是保證面，與搬運輥2及吸附輸送機3兩者接觸的背面1b（下表面）是非保證面。又，帶狀玻璃膜1在執行切斷步驟P2之前的時點，在寬度方向中央部具有後來成為產品的有效部1x，在寬度方向兩端部分別具有對產品而言多餘的多餘部1y。

在本實施形態中，在多個搬運輥2中，混合存在著驅動輥及自由輥（free roller）。多個搬運輥2所含的驅動輥的數量亦可根據帶狀玻璃膜1的搬運條件而適當增減。再者，作為本實施形態的變形例，亦可取代多個搬運輥2，而使用多個輸送機來搬運帶狀玻璃膜1。

拉出步驟P1是自第一玻璃卷4拉出帶狀玻璃膜1的步驟。

在拉出步驟P1中，自第一玻璃卷4，連續地拉出帶狀玻璃膜1及帶狀保護片材5，並且使帶狀玻璃膜1與帶狀保護片材5兩者相互分離，所述第一玻璃卷4是使帶狀玻璃膜1與帶狀保護片材5以重合的狀態呈卷狀纏繞於卷芯6的周圍而成。分離後的帶狀玻璃膜1是傳送至搬運路徑的下游側的切斷步驟P2。另一方面，分離後的帶狀保護片材5再次纏繞成卷狀而形成為第一片材卷7。

在搬運路徑上在第一玻璃卷4的正下游，配置有第一檢測器8，所述第一檢測器8是檢測搬運中的帶狀玻璃膜1的寬度方向端部的位置。並且，當第一檢測器8所檢測出的寬度方向端部的位置超過允許範圍而向寬度方向一側偏離時，為了修正偏離，卷芯6朝寬度方向另一側移動。

切斷步驟P2是如下的步驟：藉由利用雷射割斷法，沿長度方向對在拉出步驟P1中拉出的帶狀玻璃膜1進行切斷，而自帶狀玻璃膜1分割出多餘部1y。

在切斷步驟P2中，藉由配置於搬運路徑的上方的切斷器9，沿帶狀玻璃膜1的有效部1x與多餘部1y的分界線照射雷射L，並且朝向伴隨著照射而加熱的部位噴射冷媒C（例如水霧）。藉此，連續地切斷帶狀玻璃膜1，且對多餘部1y不斷進行分割。分割後的多餘部1y是自搬運路徑脫離而廢棄。再者，作為本實施形態的變形例，亦可取代雷射割斷法，藉由雷射熔斷法而進行切斷。執行所述切斷步驟P2之後，將僅包含有效部1x的帶狀玻璃膜1傳送至搬運路徑的下游側。

清洗步驟P3是如下的步驟：針對執行切斷步驟P2後的帶狀玻璃膜1（有效部1x），藉由清洗液及毛刷輥（brush roller）10來清洗帶狀玻璃膜1（有效部1x）的表面1a、背面1b。

在清洗步驟P3中，作為清洗液，例如使用純水或混合有洗滌劑的水等。清洗液是自多個供給噴嘴11供給至表面1a、背面1b，所述多個供給噴嘴11是在帶狀玻璃膜1的表面1a側及背面1b側，分別沿搬運路徑而配置。毛刷輥10是以在厚度方向夾著帶狀玻璃膜1而成對（在本實施形態中為兩對）的方式配置，伴隨著旋轉，清洗帶狀玻璃膜1的表面1a及背面1b的整個寬幅。

洗濯步驟P4是如下的步驟：藉由沖洗液而洗濯經清洗步驟P3清洗的帶狀玻璃膜1的表面1a、背面1b。

在洗濯步驟P4中，作為沖洗液，例如使用純水等。沖洗液是以與清洗步驟P3同樣的方式，自供給噴嘴12供給至表面1a、背面1b，所述供給噴嘴12是在帶狀玻璃膜1的表面1a側及背面1b側，分別沿搬運路徑而配置。

除液步驟P5是如下的步驟：針對執行洗濯步驟P4後的帶狀玻璃膜1，藉由氣體的噴射而去除殘留於帶狀玻璃膜1的清洗液或沖洗液。

在除液步驟P5中，自氣刀（air knife）13，向表面1a、背面1b噴射氣體（例如空氣等），所述氣刀13是在帶狀玻璃膜1的表面1a側及背面1b側，分別沿搬運路徑而配置。藉此，藉由氣體的壓力，來去除殘留於帶狀玻璃膜1的表面1a、背面1b的清洗液或沖洗液。

乾燥步驟P6是如下的步驟：使經除液步驟P5去除的帶狀玻璃膜1乾燥。

在乾燥步驟P6中，藉由乾燥機（dryer）14，而使帶狀玻璃膜1的表面1a、背面1b乾燥，所述乾燥機14是在帶狀玻璃膜1的表面1a側及背面1b側，分別沿搬運路徑而配置。

執行修正步驟P7時，使用修正機構15及第二檢測器16，所述修正機構15包括吸附輸送機3，所述第二檢測器16在搬運路徑上配置於吸附輸送機3的正上游。

如圖2所示，吸附輸送機3包括形成有多個吸附用孔3x的帶（belt）3a，能夠伴隨著配置於帶3a的內周側的負壓產生機構的運轉，以將帶狀玻璃膜1吸附於帶3a的表面的狀態搬運帶狀玻璃膜1。因此，吸附輸送機3作為搬運部而發揮作用，以將帶狀玻璃膜1固定保持於搬運面（在本實施形態中為帶3a的表面）的狀態搬運帶狀玻璃膜1。

此處，吸附輸送機3既可如本實施形態所述，僅吸附帶狀玻璃膜1的寬度方向的一部分區域，亦可作為本實施形態的變形例，吸附帶狀玻璃膜1的寬度方向的整個寬幅。

吸附輸送機3、搬運輥2a及搬運輥2b三者的搬運面位於同一高度，所述搬運輥2a是作為在搬運路徑上與吸附輸送機3的上游側鄰接的第一搬運機構，所述搬運輥2b是作為與下游側鄰接的第二搬運機構。又，所述三者的搬運面位於帶狀玻璃膜1的同一面側（背面1b側）。再者，所謂兩搬運輥2a、搬運輥2b的搬運面，是指該些輥的外周面上的頂部。

吸附輸送機3能夠以旋轉軸線Z為中心，如圖2中以空心箭頭所示，進行搖擺頭部動作，所述旋轉軸線Z是相對於搬運面鉛垂地延伸（在本實施形態中為在上下方向延伸）。伴隨著所述搖擺頭部動作，利用吸附輸送機3的帶狀玻璃膜1的傳送路徑S發生變化。旋轉軸線Z位於吸附輸送機3的傳送方向的上游側端部，且位於沿帶狀玻璃膜1的寬度方向的方向的中央部。

此處，作為本實施形態的變形例，亦可沿帶狀玻璃膜1的搬運路徑變更旋轉軸線Z的位置。作為一例，亦可取代本實施形態中的位置即吸附輸送機3的傳送方向的上游側端部，而使旋轉軸線Z位於傳送方向的中央部（吸附輸送機3的搬運面的中心）。又，亦可使旋轉軸線Z位於較吸附輸送機3更靠上游側的位置。

吸附輸送機3能夠向帶狀玻璃膜1的寬度方向一側及另一側分別進行相同角度θ的程度的搖擺頭部動作。當然，作為本實施形態的變形例，於寬度方向一側與另一側，角度θ的大小亦可不同。作為角度θ的大小，較佳為1.0°以下，更佳為0.5°以下，最佳為0.1°以下。又，圖2所示的尺寸D等於如下的距離，即，當吸附輸送機3已進行角度θ的程度的搖擺頭部動作時，在所述吸附輸送機3的通過的前後帶狀玻璃膜1在寬度方向偏離的距離，尺寸D較佳為10.0 mm以下，更佳為5.0 mm以下，最佳為1.0 mm以下。

如圖3a、圖3b所示，修正機構15包括：基座17，設置有導軌（guide rail）17a；棒體18，以在上下方向延伸的狀態固定於基座17；以及擺動構件19，包括沿導軌17a移動的導引件（guide）19a，且伴隨著所述導引件19a的移動，以棒體18為中心而擺動。藉由該些元件，而實現吸附輸送機3的搖擺頭部動作。

基座17自下方支持擺動構件19，並且形成得在俯視時較擺動構件19大一圈。因此，如圖3b中以空心箭頭所示，即使在擺動構件19擺動的情況下，擺動構件19亦不會自基座17露出。導軌17a在俯視時呈以棒體18為中心的圓弧。

棒體18藉由圖略的用以固定的機構（例如螺桿機構等）而固定於基座17。所述棒體18位於吸附輸送機3的傳送方向的上游側端部的正下方，所述棒體18的中心軸線與旋轉軸線Z相一致。

在擺動構件19，形成有與棒體18嵌合的貫通孔19b。又，擺動構件19經由連結構件20自下方支持著吸附輸送機3（圖3b中，吸附輸送機3及連結構件20兩者的圖示省略）。因此，若導引件19a沿導軌17a移動，則伴隨於此，擺動構件19進行擺動，並且支持於擺動構件19的狀態下的吸附輸送機3進行搖擺頭部動作。

如圖2所示，所述第二檢測器16可在搬運路徑上的搬運輥2a與吸附輸送機3的彼此之間（圖2的以圓T包圍而表示的部位），檢測帶狀玻璃膜1的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離。並且，形成為如下的結構：當基於第二檢測器16所獲得的檢測結果，偏離超過允許範圍時，為了修正偏離而使吸附輸送機3進行搖擺頭部動作，改變利用吸附輸送機3的帶狀玻璃膜1的傳送路徑S。

此處，作為本實施形態的變形例，亦可變更第二檢測器16檢測寬度方向端部的偏離的位置。作為一例，亦可設為在搬運路徑上的吸附輸送機3與搬運輥2b的彼此之間，檢測帶狀玻璃膜1的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離。

如圖4所示，修正步驟P7是如下的步驟：一面搬運帶狀玻璃膜1，一面修正帶狀玻璃膜1的實際的通過路徑R2相對於本來的搬運路徑R1的偏離。再者，所謂「本來的搬運路徑R1」，是指當搬運中的帶狀玻璃膜1未產生蛇行或斜行時，帶狀玻璃膜1所通過的路徑。

以下，說明執行修正步驟P7時的具體流程。再者，修正步驟P7僅在如下的情況下執行：搬運中的帶狀玻璃膜1產生有蛇行或斜行的結果為，在兩路徑R1、路徑R2之間產生有偏離，伴隨於此，帶狀玻璃膜1的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離超過允許範圍。即，對於完全未產生蛇行或斜行的情況、即使在產生蛇行或斜行的情況下寬度方向端部朝向寬度方向的偏離亦處於允許範圍內的情況，不執行修正步驟P7。此處，所述允許範圍可任意設定。

首先，當帶狀玻璃膜1完全未產生蛇行或斜行，帶狀玻璃膜1通過本來的搬運路徑R1時（本來的搬運路徑R1與實際的通過路徑R2相一致的情況），吸附輸送機3不進行搖擺頭部動作。因此，利用吸附輸送機3的帶狀玻璃膜1的傳送路徑S如圖4中以兩點鏈線所示，處於與本來的搬運路徑R1平行的狀態。

其後，設為帶狀玻璃膜1產生有蛇行或斜行，帶狀玻璃膜1的實際的通過路徑R2相對於本來的搬運路徑R1產生有偏離。在所述情況下，若帶狀玻璃膜1的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離處於允許範圍內，則利用吸附輸送機3的帶狀玻璃膜1的傳送路徑S仍然如圖4中以兩點鏈線所示，維持在與本來的搬運路徑R1平行的狀態。

其後，設為帶狀玻璃膜1的蛇行或斜行惡化，寬度方向端部朝向寬度方向的偏離超過允許範圍。在所述情況下，執行修正步驟P7，使吸附輸送機3進行搖擺頭部動作。藉此，修正帶狀玻璃膜1的實際的通過路徑R2相對於本來的搬運路徑R1的偏離。具體而言，當寬度方向端部朝向寬度方向一側的偏離超過允許範圍時，吸附輸送機3向寬度方向另一側進行搖擺頭部動作。並且，如圖4中以實線所示，以朝向寬度方向另一側傾斜的方式改變帶狀玻璃膜1的傳送路徑S。藉此，逐漸修正偏離。

最後，若執行修正步驟P7的結果為，帶狀玻璃膜1的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離恢復至允許範圍內，則吸附輸送機3使帶狀玻璃膜1的傳送路徑S恢復至與本來的搬運路徑R1平行的狀態。再者，當藉由帶狀玻璃膜1的蛇行或斜行，而使得寬度方向端部朝向寬度方向的偏離再次超過允許範圍時，以同樣的方式再次執行修正步驟P7。

此處，作為本實施形態的變形例，亦可設為在搬運路徑上配置多個修正機構15（吸附輸送機3）及第二檢測器16，在搬運路徑上的多個部位執行修正步驟P7。

如圖1所示，檢查步驟P8是如下的步驟：檢查帶狀玻璃膜1的缺陷（混入至帶狀玻璃膜1的異物等）的有無。

在檢查步驟P8中，一面使帶狀玻璃膜1通過相機21的視場內，一面連續地不斷檢查缺陷的有無，所述相機21配置於搬運路徑的上方。

纏繞步驟P9是如下的步驟：纏繞檢查後的帶狀玻璃膜1而形成為第二玻璃卷22。

在纏繞步驟P9中，藉由將檢查後的帶狀玻璃膜1、與自第二片材卷23拉出的帶狀保護片材24以重合的狀態，連續地呈卷狀纏繞於卷芯25的周圍，而形成為第二玻璃卷22。

再者，在纏繞步驟P9中，藉由防卷偏機構（圖略），來防止纏繞於卷芯25的周圍的帶狀玻璃膜1的卷偏。所述防卷偏機構可使卷芯25沿帶狀玻璃膜1的寬度方向移動。又，所述機構包括與卷芯25的移動一體移動的檢測器（圖略），所述檢測器形成為如下的結構，即，檢測所纏繞的帶狀玻璃膜1的寬度方向端部的位置。並且，當檢測器所檢測出的寬度方向端部的位置超過允許範圍而向寬度方向一側偏離時，藉由卷芯25配合偏離而朝寬度方向一側（偏離之側）移動，來防止卷偏。

以下，說明藉由所述玻璃膜的製造方法而獲得的主要作用及效果。

在所述製造方法中，吸附輸送機3能夠以將帶狀玻璃膜1吸附於搬運面的狀態搬運帶狀玻璃膜1。並且，藉由所述狀態下的吸附輸送機3改變帶狀玻璃膜1的傳送路徑S，來修正所述帶狀玻璃膜1的實際的通過路徑R2相對於本來的搬運路徑R1的偏離。如上所述，可適當地排除在修正偏離時使帶狀玻璃膜1以大曲率彎曲的必要性，因此可防止產生帶狀玻璃膜1破損之類的事態。

以下，說明本發明的另一實施形態的玻璃膜的製造方法。再者，關於另一實施形態的說明中，與所述第一實施形態中已說明的元件實質上相同的元件，在另一實施形態的說明中所參照的圖式中標註相同符號，藉此省略重覆的說明，而僅說明與第一實施形態的不同點。

＜第二實施形態＞ 如圖5所示，第二實施形態的玻璃膜的製造方法與所述第一實施形態的不同點在於：在搬運路徑上以修正機構15（吸附輸送機3）為基準，上游側呈上升梯度，下游側呈下降梯度。藉此，吸附輸送機3的搬運面存在於較兩搬運輥2a、搬運輥2b的搬運面更高的位置。再者，在圖5中，部分省略了用於執行修正步驟P7的元件以外的圖示。

＜第三實施形態＞ 如圖6所示，第三實施形態的玻璃膜的製造方法與所述第一實施形態的不同點在於：在搬運路徑上以修正機構15為基準，上游側呈上升梯度，下游側呈下降梯度；以及取代吸附輸送機3，配置有吸輥（suction roller）26作為搬運部。再者，在圖6中，部分省略了用以執行修正步驟P7的元件以外的圖示。

吸輥26中，旋轉軸在沿帶狀玻璃膜1的寬度方向的方向延伸，並且在外周面形成有多個吸附用孔（圖略）。所述吸輥26能夠伴隨著配置於內部的負壓產生機構的運轉，以將帶狀玻璃膜1吸附於外周面的狀態搬運帶狀玻璃膜1。

吸輥26能夠以旋轉軸線Z為中心，進行搖擺頭部動作，所述旋轉軸線Z是相對於搬運面（吸輥26的外周面上的頂部）鉛垂地延伸（在本實施形態中為在上下方向延伸）。並且，伴隨著搖擺頭部動作，利用吸輥26的帶狀玻璃膜1的傳送路徑S發生變化。

此處，本發明的玻璃膜的製造方法並不限定於所述實施形態中所說明的形態。例如，在所述實施形態中，是在利用卷對卷的方式搬運帶狀玻璃膜的形態下執行修正步驟，但並不限於此。例如，亦可在如下的形態下執行修正步驟：對帶狀玻璃膜進行搬運之後纏繞成卷狀，而形成為玻璃卷，所述帶狀玻璃膜是藉由下拉法（downdraw method）（作為一例，溢流下拉法（overflow downdraw method））而成形。

又，在所述第一實施形態及第二實施形態中，是使用吸附輸送機作為搬運部，在第三實施形態中，是使用吸輥作為搬運部，但並不限定於此。亦可使用軋輥（nip roller）作為搬運部，所述軋輥是以自表背兩側夾持帶狀玻璃膜的狀態搬運帶狀玻璃膜。並且，亦可藉由改變利用軋輥的帶狀玻璃膜的傳送路徑，來執行修正步驟。

此外，在所述各實施形態中，是藉由使吸附輸送機或吸輥進行搖擺頭部動作，來改變帶狀玻璃膜的傳送路徑，但並不限定於此。例如，亦可藉由使吸附輸送機或吸輥在沿帶狀玻璃膜的寬度方向的方向移動，來改變帶狀玻璃膜的傳送路徑。

1:帶狀玻璃膜 1a:表面（上表面） 1b:背面（下表面） 1x:有效部 1y:多餘部 2、2a、2b:搬運輥 3:吸附輸送機 3a:帶 3x:吸附用孔 4:第一玻璃卷 5、24:帶狀保護片材 6、25:卷芯 7:第一片材卷 8:第一檢測器 9:切斷器 10:毛刷輥 11、12:供給噴嘴 13:氣刀 14:乾燥機 15:修正機構 16:第二檢測器 17:基座 17a:導軌 18:棒體 19:擺動構件 19a:導引件 19b:貫通孔 20:連結構件 21:相機 22:第二玻璃卷 23:第二片材卷 26:吸輥 C:冷媒 D:尺寸 L:雷射 P1:拉出步驟 P2:切斷步驟 P3:清洗步驟 P4:洗濯步驟 P5:除液步驟 P6:乾燥步驟 P7:修正步驟 P8:檢查步驟 P9:纏繞步驟 R1:本來的搬運路徑 R2:實際的通過路徑 S:傳送路徑 T:圓 Z:旋轉軸線 θ:角度

圖1是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造方法的概略的側視圖。 圖2是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造方法中所使用的修正機構的平面圖。 圖3a是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造方法中所使用的修正機構的側視圖。 圖3b是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造方法中所使用的修正機構的平面圖。 圖4是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造方法中的修正步驟的平面圖。 圖5是表示本發明的第二實施形態的玻璃膜的製造方法的概略的側視圖。 圖6是表示本發明的第三實施形態的玻璃膜的製造方法的概略的側視圖。

1:帶狀玻璃膜

1a:表面(上表面)

1x:有效部

2、2a、2b:搬運輥

3:吸附輸送機

3a:帶

3x:吸附用孔

15:修正機構

P7:修正步驟

R1:本來的搬運路徑

R2:實際的通過路徑

S:傳送路徑

T:圓

Z:旋轉軸線

Claims (8)

1. 一種玻璃膜的製造方法，包括修正步驟，即，一面搬運帶狀玻璃膜，一面藉由修正機構來修正所述帶狀玻璃膜的實際的通過路徑相對於本來的搬運路徑的偏離，所述玻璃膜的製造方法的特徵在於： 在所述修正機構設置搬運部，所述搬運部是以將所述帶狀玻璃膜固定保持於搬運面的狀態搬運所述帶狀玻璃膜，藉由改變利用所述搬運部的所述帶狀玻璃膜的傳送路徑，來執行所述修正步驟。
2. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃膜的製造方法，其中 設置有第一搬運機構及第二搬運機構，所述第一搬運機構是相對於所述修正機構與所述搬運路徑的上游側鄰接而配置，所述第二搬運機構是與下游側鄰接而配置， 使所述搬運部的搬運面、與所述第一搬運機構及所述第二搬運機構兩者的搬運面位於所述帶狀玻璃膜的同一面側。
3. 如申請專利範圍第2項所述的玻璃膜的製造方法，其中 將所述修正機構與所述第一搬運機構及所述第二搬運機構，配置於在所述搬運路徑上以平放姿勢搬運所述帶狀玻璃膜的區間， 使所述搬運部的搬運面與所述第一搬運機構及所述第二搬運機構兩者的搬運面位於同一高度。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中作為所述搬運部，使用以吸附所述帶狀玻璃膜的狀態搬運所述帶狀玻璃膜的吸附輸送機。
5. 如申請專利範圍第4項所述的玻璃膜的製造方法，其中藉由使所述吸附輸送機以旋轉軸線為中心而搖擺頭部，來改變所述傳送路徑，所述旋轉軸線是相對於所述吸附輸送機的搬運面鉛垂地延伸。
6. 如申請專利範圍第5項所述的玻璃膜的製造方法，其中使所述旋轉軸線位於所述吸附輸送機的傳送方向的上游側端部。
7. 如申請專利範圍第5項或第6項所述的玻璃膜的製造方法，其中使所述旋轉軸線位於所述吸附輸送機的沿所述帶狀玻璃膜的寬度方向的方向的中央部。
8. 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中 相對於所述修正機構在所述搬運路徑的上游側設置檢測器，所述檢測器是檢測所述帶狀玻璃膜的寬度方向端部朝向寬度方向的偏離， 基於所述檢測器所獲得的檢測結果，改變所述傳送路徑。

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