TW201930768A - 快拆式氣閥及應用其之基板容器 - Google Patents

快拆式氣閥及應用其之基板容器 Download PDF

Info

Publication number
TW201930768A
TW201930768A TW107142951A TW107142951A TW201930768A TW 201930768 A TW201930768 A TW 201930768A TW 107142951 A TW107142951 A TW 107142951A TW 107142951 A TW107142951 A TW 107142951A TW 201930768 A TW201930768 A TW 201930768A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
plate
quick
bottom plate
release
base
Prior art date
Application number
TW107142951A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI698608B (zh
Inventor
邱銘乾
莊家和
薛新民
Original Assignee
家登精密工業股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 家登精密工業股份有限公司 filed Critical 家登精密工業股份有限公司
Publication of TW201930768A publication Critical patent/TW201930768A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI698608B publication Critical patent/TWI698608B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K24/00—Devices, e.g. valves, for venting or aerating enclosures
    • F16K24/04—Devices, e.g. valves, for venting or aerating enclosures for venting only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/4272—Special valve constructions adapted to filters or filter elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F16K27/0209—Check valves or pivoted valves
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67793—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations with orientating and positioning by means of a vibratory bowl or track

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Valve Housings (AREA)

Abstract

一種快拆式氣閥及應用其之基板容器，基板容器包括基座，基座包括蓋板及底板，快拆式氣閥用以供氣體進入或離開基板容器，並且包括快拆板、墊圈套筒以及閥體。快拆板可拆卸地扣合於底板，且快拆板扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有氣流通道。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。當快拆板與底板處於扣合狀態時，快拆板用以固定墊圈套筒，避免其自基座脫出。當兩者處於未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。利用可拆卸式的快拆板來提升更換元件的便利性，可以節省時間、提昇工作效率。

Description

快拆式氣閥及應用其之基板容器
本發明是有關於一種快拆式氣閥，且特別是有關於一種應用於基板容器之快拆式氣閥。
隨著科技的進步，半導體製程相關技術亦突飛猛進，其中光學微影技術扮演著相當關鍵的角色。光學微影技術是將設計好的線路經圖案化製作在可透光之光罩上，再將光罩上的圖案通過光源投影至晶圓上，以在晶圓上曝光顯影出特定的圖案。在光學微影的過程中，任何附著在光罩上的微粒，都會造成投影成像品質劣化。尤其是近年來隨著線程的微縮化，業界係朝向更小、更高邏輯密度之晶片發展，微影設備使用的光波長業已推進到極紫外光(Extreme Ultraviolet Light,EUV)範圍，對於光罩上的微粒數量、粒徑，以致於光罩容器內的潔淨度，都有著更為嚴苛的要求。
為了在光罩容器內維持潔淨度，目前已知的作法是在光罩容器上設置數量不等的充氣閥，利用通以氣體之方式維持潔淨度。實際應用上，例如是經由充氣閥通以一定流量的氣體，維持光罩容器內氣體的置換率，來優化光罩存放的環境。光罩容器在充氣閥處設置有過濾膜，用來過 濾氣體中的微粒，在經過一定次數的使用之後，濾膜需要進行更換，以維持過濾的效果。
習知一種光罩容器中，是將濾膜、充氣閥或是其他與相關的元件，經由多個螺絲鎖固的方式組裝結合至光罩容器的基座中。當需要更換其中的元件時，例如需要更換濾膜時，必須依序卸除多個螺絲，將基座的底板整個拆卸後，才能進行濾膜的更換。而濾膜更換完畢之後，又必須重新安裝按裝底板，依序鎖上多個螺絲。如此裝卸底板及多個螺絲之方式相當耗費工時，使得濾膜或是其他必要元件的的更換非常缺乏效率。
有鑒於此，本發明提出一種快拆式氣閥及應用其之基板容器，利用可拆卸式的快拆板來提升更換元件的便利性。
依據本發明之一方面，提出一種快拆式氣閥，應用於一基板容器，用以供一氣體進入或離開基板容器。基板容器包括一基座，基座包括一蓋板及一底板。快拆式氣閥包括一快拆板、一墊墊圈套筒以及一閥體。快拆板以可拆卸之方式扣合於底板之一第一開口中，且快拆板扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有一氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。當快拆板與底板處於一扣合狀態時，快拆板用以固定墊圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出。當快拆板與底板處於一未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。
於一實施例中，快拆板包括一本體及一彈性臂。本體用以固 持於墊圈套筒之一側，彈性臂一端連接於本體，另一端用以卡扣於底板。本體具有一環狀結構，環狀結構係以圍繞墊圈套筒以及不遮蔽氣流通道之方式設置。墊圈套筒之外壁上凸設有一凸環，凸環之外徑大於本體之內徑。
於另一實施例中，快拆板包括一本體及一彈性臂。本體用以固持於墊圈套筒之一側，彈性臂一端連接於本體，另一端用以卡扣於底板。底板對應於第一開口處具有一凸緣及一卡槽。凸緣用以卡固本體於第一開口中之位置，卡槽供彈性臂卡扣，藉以將快拆板扣合至底板。
於又一實施例中，快拆板包括一本體及一彈性臂。本體用以固持於墊圈套筒之一側，彈性臂一端連接於本體，另一端用以卡扣於底板。墊圈套筒之另一側抵接於蓋板之一第二開口處，氣體係通過第一開口、氣流通道與第二開口進入或離開基板容器。蓋板具有一套接壁，圍繞於第二開口設置。墊圈套筒係以可滑動之方式套接或脫離套接壁。當墊圈套筒套接於套接壁時，套接壁與墊圈套筒之外壁間形成一氣密狀態。
依據本發明之另一方面，提出一種基板容器，包括一外盒組件及一內盒組件。外盒組件用以容置內盒組件，內盒組件用以容置一基板。外盒組件包括一基座以及一上蓋。基座包括一底板、一蓋板及一快拆式氣閥。底板具有一第一開口，快拆式氣閥用以供一氣體進入或離開基板容器。快拆式氣閥包括一快拆板、一墊圈套筒及一閥體。快拆板以可拆卸之方式扣合於第一開口中，且快拆板扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有一氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。上蓋用以與基座對接，以於兩者間形成一密封狀態。當快拆板與底板處於一扣合狀態時，快拆板用以固定墊 圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出，當快拆板與底板處於一未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。
於一實施例中，基座更包括一過濾元件，設置於蓋板及墊圈套筒之間，用以過濾氣體。
本發明實施例之快拆式氣閥及應用其之基板容器，利用可拆卸式的快拆板固定墊圈套筒。當快拆板與底板處於未扣合狀態時，墊圈套筒可以從基座脫離，方便使用者更換元件，可以節省時間，提昇工作效率。另當快拆板扣合於底板時，快拆板並至多等齊於底板，使得基板容器底部維持平坦，方便基板容器的各種移送動作，同時亦有助於維持潔淨度。
10‧‧‧基板容器
11‧‧‧基座
12‧‧‧第一部分
13‧‧‧上蓋
14‧‧‧第二部分
15‧‧‧外盒組件
16‧‧‧內盒組件
20‧‧‧基板
110‧‧‧底板
110a‧‧‧第一開口
111‧‧‧凸緣
112‧‧‧卡槽
120‧‧‧蓋板
120a‧‧‧第二開口
121‧‧‧套接壁
130‧‧‧快拆式氣閥
131‧‧‧快拆板
132‧‧‧墊圈套筒
132a‧‧‧氣流通道
133‧‧‧閥體
140‧‧‧過濾元件
150‧‧‧鎖固件
160‧‧‧鎖固件作動機構
1311‧‧‧本體
1312‧‧‧彈性臂
1321‧‧‧凸環
A‧‧‧平面
d1‧‧‧內徑
d2‧‧‧外徑
為讓本發明之上述以及其他特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖繪示依照本發明一實施例之基板容器之示意圖；第2圖繪示第1圖之基座之另一視角之示意圖；第3圖繪示第2圖之基座中對應一處快拆式氣閥之放大示意圖；第4圖繪示第1圖中沿平面A之剖面圖；第5a圖繪示依照本發明一實施例之快拆式氣閥之示意圖；第5b圖繪示第5a圖之快拆式氣閥之爆炸圖；以及第6圖繪示底板對應於一個第一開口處之示意圖。
本發明實施例之快拆式氣閥及應用其之基板容器中，快拆式氣閥用以供一氣體進入或離開基板容器。基板容器包括一基座，基座包括一蓋板及一底板。快拆式氣閥包括一快拆板、一墊圈套筒及一閥體。快拆板以可拆卸之方式扣合於底板之一第一開口中，且快拆板扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有一氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。
當快拆板與底板處於一扣合狀態時，快拆板用以固定墊圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出；當快拆板與底板處於一未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。快拆式氣閥利用可拆卸式的快拆板來提升更換元件的便利性，免去了傳統需要依序取下多個螺絲並將底板整片取下的繁瑣方式，提昇效率，縮短基板容器因更換元件而離開產線的時間。另外，藉由快拆板不凸出於底板之方式，使得基板容器底部維持平坦，方便基板容器的各種移送動作，同時亦有助於維持潔淨度。
請參照第1圖，其繪示依照本發明一實施例之基板容器之示意圖。基板容器10包括一外盒組件15及一內盒組件16。外盒組件15用以容置內盒組件16，內盒組件16用以容置一基板20。外盒組件15包括一基座11以及一上蓋13，上蓋13用以與基座11對接，於兩者之間形成一密封狀態，以隔離外盒組件15之內部與外部，從而使得外盒組件15內部可以達到符合特定半導體製程對於潔淨度的要求。內盒組件16包括相互配合的第一部分12及第二部分14，第一部分12及第二部分14相互對接時，兩者之間形成一容置空間，用於容置基板20。本實施例中，基板20例如是應用於高密度半導體圖案化製程之極紫外光光罩(EUV reticle)，然而在不同的實施例中，基板 20可以是其他具有高潔淨度要求並與半導體製程相關之板體元件。
請同時參照第1圖及第2圖，第2圖繪示第1圖之基座之另一視角之示意圖。本實施例中，基座11包括一蓋板120及一底板110以及一快拆式氣閥130。蓋板120及底板110係相互配合組裝，其中可以依據實際產品的需求設置鎖固件150、鎖固件作動機構160等元件，用來使基座11可以穩固地與上蓋13配合。快拆式氣閥130用以供一氣體進入或離開基板容器10。本實施例係以四個快拆式氣閥130為例進行說明(如第2圖中所示)，其中兩個用以供氣體進入基板容器10，另外兩個則是供氣體離開基板容器10。然而本發明之快拆式氣閥130並不以此為限制，其他數量及配置方式的快拆式氣閥130均可應用於本發明中。
請同時參照第3圖及第4圖，第3圖繪示第2圖之基座中對應一處快拆式氣閥之放大示意圖，第4圖繪示第1圖中沿平面A之剖面圖。本實施例之快拆式氣閥130包括一快拆板131、一墊圈套筒132以及一閥體133。底板110具有一第一開口110a，快拆板131以可拆卸之方式扣合於第一開口110a中，且快拆板130扣合於底板110時至多等齊於底板110(換言之，快拆板130不凸出於底板110)。墊圈套筒132設置於蓋板120及底板110之間，並具有一氣流通道132a貫通蓋板120至底板110。閥體133設置於氣流通道132a中，用以限制氣體之流動方向。當快拆板131與底板110處於一扣合狀態時(如第2圖、第3圖及第4圖中快拆板130與底板110之狀態)，快拆板131用以固定墊圈套筒132，避免墊圈套筒132自基座11脫出。當快拆板131與底板110處於一未扣合狀態時(未扣合狀態容後敘述)，墊圈套筒132用以自基座11脫離，以進行元件的更換動作。
請同時參照第5a圖及第5b圖，第5a圖繪示依照本發明一實施例之快拆式氣閥之示意圖，第5b圖繪示第5a圖之快拆式氣閥之爆炸圖。本實施例之快拆式氣閥130中，快拆板131係包括一本體1311及一彈性臂1312。本體1311用以固持於墊圈套筒132之一側，亦即墊圈套筒132係可抵接於本體1311而被固定位置。本實施例中本體1311具有一環狀結構，環狀結構以圍繞墊圈套筒132以及不遮蔽氣流通道132a之方式設置，使得本體1311在固持墊圈套筒132的同時，不會影響到氣體的流動。
請同時參照第4圖、第5a圖及第5b圖，彈性臂1312之一端連接於本體1311，另一端用以卡扣於底板110。本實施例中以兩個相對設置的彈性臂1312為例，兩彈性臂1312分別位於本體1311相對兩側，用以穩固地將快拆板131扣合至底板110。彈性臂1312具有一彎折部，用來供結構發生彈性變形以發揮彈性卡扣的功能。彎折部係朝向基座11內部凹設，讓彈性臂1312之結構至多等齊於底板110之底面(換言之，彈性臂1312不凸出於底板110)，整體而言使得基板容器10底部維持平坦(基板容器10如第1圖所示)，方便基板容器10的各種移送動作，同時平坦的底部亦有助於維持潔淨度。
本實施例之快拆式氣閥130中，墊圈套筒132具有一凸環1321，凸設於墊圈套筒132之外壁上。凸環1321之外徑d2大於快拆板131之本體1311之內徑d1，使得墊圈套筒132無法穿過環狀結構之本體1311，讓本體1311可以有效地固持墊圈套筒132。
本實施例之快拆式氣閥130中，閥體133係為單向閥，防止氣體逆流。如第5b圖中所示之閥體133，讓氣體僅能沿著由下往上的方向流動進入基板容器10內部(如第1圖所示)。
請同時參照第3圖、第5b圖及第6圖，第6圖繪示底板對應於一個第一開口處之示意圖。第6圖中顯示快拆板131與底板110處於未扣合狀態，亦即底板110未與快拆板131扣接。底板110對應於第一開口110a處具有一凸緣111及一卡槽112，凸緣111用以卡固本體1311於第一開口110a中之位置，卡槽112供彈性臂1312卡扣，用以將快拆板131扣合至底板110。本實施例中，底板110具有多個沿著第一開口110a周圍設置的凸緣111，藉以由多個方向夾置並卡固本體1311。此外，卡槽112之數量對應於彈性臂1312的數量，藉以讓每一個彈性臂1312都可以對應與一個卡槽112卡扣。
請繼續參照第4圖及第5b圖。根據前述，墊圈套筒132之一側係抵接於快拆板131之本體1311。而本實施例中，墊圈套筒132之另一側則抵接於蓋板120之一第二開口120a處。氣體是通過第二開口120a、氣流通道132a以及第一開口110a，流動進入或離開基板容器10。
本實施例中，蓋板120具有一套接壁121，圍繞於第二開口120a設置，墊圈套筒132係以可滑動之方式套接或脫離套接壁121。當墊圈套筒132套接於套接壁121時，套接壁121與墊圈套筒132之外壁間形成一氣密狀態，避免氣體流動至蓋板120與底板110之間而發生漏氣的狀況。
本實施例中，基座11更包括一過濾元件140，設置於蓋板120及墊圈套筒132之間，用以過濾氣體。當快拆板131與底板110處於未扣合狀態時，墊圈套筒132可以滑動脫離套接壁121，讓墊圈套筒132自基座11完全脫離。墊圈套筒132脫離基座11後，便可以進行過濾元件140的更換，利用更換新的或乾淨的過濾元件140，維持氣體的潔淨度。過濾元件140可以例如是濾紙，或是其他編織或不織布料，其他可以過濾微粒的多孔性材料亦 可應用於本發明中。利用可拆卸式的快拆板131，可以快速地取下墊圈套筒132，以便更換過濾元件140或其他部件。以此方式可以提升更換元件的便利性，提升工作效率，並讓基板容器10(如第1圖所示)可以在短時間內回到產線中繼續執行容置、承載或移送基板20(如第1圖所示)等工作。
根據本發明前述實施例之快拆式氣閥及應用其之基板容器，快拆式氣閥用以供氣體進入或離開基板容器。基板容器包括基座，基座包括蓋板及底板。快拆式氣閥包括快拆板、墊圈套筒以及閥體。快拆板以可拆卸之方式扣合於底板之第一開口中，且快拆板扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。當快拆板與底板處於扣合狀態時，快拆板用以固定墊圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出；當快拆板與底板處於未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。快拆式氣閥利用可拆卸式的快拆板來提升更換元件的便利性，可以節省時間並且提昇工作效率。另外，藉由快拆板至多等齊於底板之方式，使得基板容器底部得以維持平坦，方便基板容器的各種移送動作，同時亦有助於維持潔淨度。
雖然本發明已以多個實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附申請專利範圍所界定者為準。

Claims (10)

  1. 一種快拆式氣閥，應用於一基板容器，用以供一氣體進入或離開該基板容器，該基板容器包括一基座，該基座包括一蓋板及一底板，該快拆式氣閥包括：一快拆板，以可拆卸之方式扣合於該底板之一第一開口中，且該快拆板扣合於該底板時至多等齊於該底板；一墊圈套筒，設置於該蓋板及該底板之間，並具有一氣流通道貫通該蓋板至該底板；以及一閥體，設置於該氣流通道中，用以限制該氣體之流動方向；其中，當該快拆板與該底板處於一扣合狀態時，該快拆板用以固定該墊圈套筒，避免該墊圈套筒自該基座脫出，當該快拆板與該底板處於一未扣合狀態時，該墊圈套筒用以自該基座脫離。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之快拆式氣閥，其中該快拆板包括一本體及一彈性臂，該本體用以固持於該墊圈套筒之一側，該彈性臂之一端連接於該本體，該彈性臂之另一端用以卡扣於該底板。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之快拆式氣閥，其中該本體具有一環狀結構，該環狀結構係以圍繞該墊圈套筒以及不遮蔽該氣流通道之方式設置。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之快拆式氣閥，其中該墊圈套筒之外壁上凸設有一凸環，該凸環之外徑大於該本體之內徑。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之快拆式氣閥，其中該底板對應於該第一開口處具有一凸緣及一卡槽，該凸緣用以卡固該本體於該第一開口中之位置，該卡槽供該彈性臂卡扣，藉以將該快拆板扣合至該底板。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之快拆式氣閥，其中該墊圈套筒之另一側抵接於該蓋板之一第二開口處，該氣體係通過該第一開口、該氣流通道與該第二開口進入或離開該基板容器。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之快拆式氣閥，其中該蓋板具有一套接壁，圍繞於該第二開口設置，該墊圈套筒係以可滑動之方式套接或脫離該套接壁。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之快拆式氣閥，其中當該墊圈套筒套接於該套接壁時，該套接壁與該墊圈套筒之外壁間形成一氣密狀態。
  9. 一種基板容器，包括一外盒組件及一內盒組件，該外盒組件用以容置該內盒組件，該內盒組件用以容置一基板，該外盒組件包括：一基座，包括：一底板、一蓋板，及一快拆式氣閥，該底板具有一第一開口，該快拆式氣閥用以供一氣體進入或離開該基板容器，並且包括： 一快拆板，以可拆卸之方式扣合於該第一開口中，且該快拆板扣合於該底板時至多等齊於該底板；一墊圈套筒，設置於該蓋板及該底板之間，並具有一氣流通道貫通該蓋板至該底板；及一閥體，設置於該氣流通道中，用以限制該氣體之流動方向；以及一上蓋，用以與該基座對接，以於兩者間形成一密封狀態；其中，當該快拆板與該底板處於一扣合狀態時，該快拆板用以固定該墊圈套筒，避免該墊圈套筒自該基座脫出，當該快拆板與該底板處於一未扣合狀態時，該墊圈套筒用以自該基座脫離。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之基板容器，其中該基座更包括一過濾元件，設置於該蓋板及該墊圈套筒之間，用以過濾該氣體。
TW107142951A 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥及應用其之基板容器 TWI698608B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201862615986P 2018-01-11 2018-01-11
US62/615,986 2018-01-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201930768A true TW201930768A (zh) 2019-08-01
TWI698608B TWI698608B (zh) 2020-07-11

Family

ID=67139423

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109127661A TWI763002B (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥與使用該快拆式氣閥之基板容器及其安裝方法與拆卸方法
TW109114011A TWI720881B (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥及應用其之基板容器
TW108213509U TWM587714U (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥及應用其之基板容器
TW107142951A TWI698608B (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥及應用其之基板容器

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109127661A TWI763002B (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥與使用該快拆式氣閥之基板容器及其安裝方法與拆卸方法
TW109114011A TWI720881B (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥及應用其之基板容器
TW108213509U TWM587714U (zh) 2018-01-11 2018-11-30 快拆式氣閥及應用其之基板容器

Country Status (3)

Country Link
US (2) US10876647B2 (zh)
KR (1) KR102187973B1 (zh)
TW (4) TWI763002B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI782689B (zh) * 2021-09-02 2022-11-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥、具有快拆式氣閥的基板容器及快拆式氣閥的安裝和拆卸方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI763002B (zh) * 2018-01-11 2022-05-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥與使用該快拆式氣閥之基板容器及其安裝方法與拆卸方法
WO2020181139A1 (en) * 2019-03-05 2020-09-10 Bedford Systems Llc Spring biased box clip
US11104496B2 (en) * 2019-08-16 2021-08-31 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. Non-sealed reticle storage device
CN110910765B (zh) * 2019-11-13 2021-02-02 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板、其制造方法及制造用的掩模版
KR20230143494A (ko) * 2022-04-05 2023-10-12 주식회사 삼에스코리아 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체
US20230411192A1 (en) * 2022-05-27 2023-12-21 Entegris, Inc. Filter module

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4436201A (en) * 1981-11-11 1984-03-13 Victor Company Of Japan Limited Disc cartridge having a detachable lid
US4582219A (en) * 1985-02-20 1986-04-15 Empak, Inc. Storage box having resilient fastening means
US4709834A (en) * 1987-02-02 1987-12-01 Empak Inc. Storage box
US5482161A (en) * 1994-05-24 1996-01-09 Fluoroware, Inc. Mechanical interface wafer container
US5873468A (en) * 1995-11-16 1999-02-23 Sumitomo Sitix Corporation Thin-plate supporting container with filter means
JP3167970B2 (ja) * 1997-10-13 2001-05-21 ティーディーケイ株式会社 クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置
US6187182B1 (en) * 1998-07-31 2001-02-13 Semifab Incorporated Filter cartridge assembly for a gas purging system
US6059578A (en) * 1999-05-28 2000-05-09 Lucent Technologies Inc. Selectable compatibility electrical connector assembly
TW511650U (en) * 2001-09-12 2002-11-21 Ind Tech Res Inst Ventilator device for cleaning container
US6880598B2 (en) * 2002-09-06 2005-04-19 Eaton Corporation Check valve for tire inflation system
DE60335392D1 (de) * 2002-09-11 2011-01-27 Shinetsu Polymer Co Substratlagerungsbehälter
EP1555689B1 (en) * 2002-10-25 2010-05-19 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
US7201276B2 (en) * 2003-11-07 2007-04-10 Entegris, Inc. Front opening substrate container with bottom plate
US7328727B2 (en) * 2004-04-18 2008-02-12 Entegris, Inc. Substrate container with fluid-sealing flow passageway
TWI423451B (zh) * 2004-04-18 2014-01-11 Entegris Inc 具有流體密封流動通道之基板容器
JP4800155B2 (ja) * 2006-09-04 2011-10-26 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及び逆止弁
TWI346638B (en) * 2008-12-26 2011-08-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A purging valve and a wafer container having the purging valve
TWI411563B (zh) * 2009-09-25 2013-10-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd 光罩盒
US9312157B2 (en) * 2011-08-12 2016-04-12 Entegris, Inc. Wafer carrier
US9412632B2 (en) * 2012-10-25 2016-08-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Reticle pod
TWI615334B (zh) * 2013-03-26 2018-02-21 Gudeng Precision Industrial Co Ltd 具有氣體導引裝置之光罩盒
JP6450156B2 (ja) * 2014-11-12 2019-01-09 ミライアル株式会社 ガスパージ用フィルタ
KR20170088411A (ko) * 2014-12-01 2017-08-01 엔테그리스, 아이엔씨. 기재 수용기 밸브 조립체
JP2016119327A (ja) * 2014-12-18 2016-06-30 ミライアル株式会社 基板収納容器
US10388554B2 (en) * 2016-04-06 2019-08-20 Entegris, Inc. Wafer shipper with purge capability
TWM532450U (zh) * 2016-04-08 2016-11-21 恩特葛瑞斯股份有限公司 晶圓運送裝置
JP6705090B2 (ja) * 2016-06-13 2020-06-03 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
TWI763002B (zh) * 2018-01-11 2022-05-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥與使用該快拆式氣閥之基板容器及其安裝方法與拆卸方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI782689B (zh) * 2021-09-02 2022-11-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥、具有快拆式氣閥的基板容器及快拆式氣閥的安裝和拆卸方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI698608B (zh) 2020-07-11
TWI763002B (zh) 2022-05-01
US10876647B2 (en) 2020-12-29
US20190211942A1 (en) 2019-07-11
KR102187973B1 (ko) 2020-12-08
TW202117902A (zh) 2021-05-01
KR20190085841A (ko) 2019-07-19
TWI720881B (zh) 2021-03-01
TW202034437A (zh) 2020-09-16
US11306841B2 (en) 2022-04-19
TWM587714U (zh) 2019-12-11
US20210080020A1 (en) 2021-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201930768A (zh) 快拆式氣閥及應用其之基板容器
JP5674314B2 (ja) レチクルｓｍｉｆポッド又は基板コンテナ及びそのパージ方法
CN112393003B (zh) 快拆型气阀模块、光罩传送盒及配置方法
TWI686232B (zh) 氣體淨化用過濾器
JP2004146676A (ja) 収納容器
JP2009277687A (ja) バルブ機構及び基板収納容器
TWI727795B (zh) 基板容器系統
TW201437116A (zh) 具有氣體導引裝置之光罩盒
US10401745B2 (en) Exposure apparatus and article manufacturing method
US8573264B2 (en) Reticle pod having function of gas exchange
TWI802650B (zh) 氣體吹掃用埠
US11874596B2 (en) Workpiece container system
TWI782689B (zh) 快拆式氣閥、具有快拆式氣閥的基板容器及快拆式氣閥的安裝和拆卸方法
JP2016213377A (ja) パージノズル
US12009239B2 (en) Quick-detachable valve, substrate container provided with the same, and method of loading and unloading the same
US20220100106A1 (en) Workpiece container system
TWM443098U (en) Anti-leakage inflation valve
CN113387062A (zh) 光掩膜盒及其防尘方法