KR20190085841A - 퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기 - Google Patents

퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기 Download PDF

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Abstract

본 발명의 전술한 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기에 따르면, 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 공기가 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 것이다. 기판 용기는 베이스시트를 포함하며, 베이스시트는 덮개판 및 바닥판을 포함한다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 스냅 플레이트, 개스킷 피팅 및 밸브 몸체를 포함한다. 스냅 플레이트는 탈착 방식으로 바닥판의 제1 개구에 체결되며, 또한 스냅 플레이트가 바닥판에 체결 시 바닥판과 최대한 나란하게 정렬된다. 개스킷 피팅은 덮개판과 바닥판 사이에 설치되며, 덮개판으로부터 바닥판까지 관통되는 기류통로를 구비한다. 밸브 몸체는 공기의 유동 방향을 제한하도록 기류통로에 설치된다. 스냅 플레이트와 바닥판이 체결 상태일 때, 스냅 플레이트가 개스킷 피팅을 고정시켜 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고, 양자가 미체결 상태일 때, 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 분리된다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 탈착형 스냅 플레이트를 이용하여 소자 교체의 편리성을 높이고, 시간이 절약되며 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기{Quick Release Purge Valve and Substrate Container Using Same}
본 발명은 퀵 릴리즈 퍼지 밸브에 관한 것으로서, 특히 기판 용기에 응용되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브에 관한 것이다.
과학기술이 진보함에 따라, 반도체 공정 관련 기술 역시 비약적으로 발전하고 있으며, 그 중 포토리소그래피 기술은 상당히 핵심적인 역할을 담당하고 있다. 포토리소그래피 기술은 설계된 배선을 패턴화하여 광 투과가 가능한 레티클(마스크)에 제작한 다음, 레티클 상의 패턴을 광원을 통해 웨이퍼에 투영하여, 웨이퍼 상에 특정 패턴을 노광 현상하는 기술이다. 포토리소그래피 과정에서, 레티클에 부착되어 있는 어떤 미립자이든, 모두 투영되는 이미지 품질의 열화를 초래할 수 있다. 특히 최근 스레드(thread)가 초소형화함에 따라, 업계는 더욱 작고, 더욱 높은 논리 밀도를 갖는 칩으로 발전하고 있으며, 리소그래피 장치에 사용되는 광파장은 이미 극자외선(Extreme Ultraviolet Light, EUV) 범위까지 확장되었고, 레티클 상의 미립자 수량, 입경, 및 레티클 용기 내의 청결도에 대한 요구가 모두 더욱 엄격해졌다.
레티클 용기 내부의 청결도를 유지하기 위하여, 현재 기지의 방법은 레티클 용기에 수량이 다른 충기밸브를 설치하고, 공기를 통하는 방식을 이용하여 청결도를 유지한다. 실제 응용 시, 예를 들어 충기밸브를 통해 일정 유량의 공기를 통하게 함으로써, 레티클 용기 내부 공기의 치환율을 유지시켜, 레티클을 보관하는 환경을 최적화하고 있다. 레티클 용기는 충기밸브 부위에 공기 중의 미립자를 여과하기 위한 여과막이 설치되는데, 소정 횟수의 사용을 거친 후, 여과막은 여과 효과를 유지하기 위해 교체가 필요하다.
종래의 레티클 용기 중, 여과막, 충기밸브 또는 기타 관련 소자는 다수의 나사를 고정시키는 방식을 통해 레티클 용기의 베이스시트에 조립되어 결합된다. 그 중의 소자를 교체해야 할 때, 예를 들어 여과막을 교체해야 할 때, 반드시 순서대로 다수의 나사를 해제하여, 베이스시트의 바닥판을 전체적으로 분리해야만, 여과막을 교체할 수 있다. 또한 여과막의 교체가 완료된 후에는 다시 바닥판을 장착하고, 순서대로 다수의 나사를 조여주어야 한다. 이와 같이 바닥판 및 다수의 나사를 탈착하는 방식은 작업 시간이 상당히 소모되며, 여과막 또는 기타 필요한 소자의 교체가 매우 비효율적이다.
이를 감안하여, 본 발명은 탈착형 스냅 플레이트를 이용하여 소자 교체의 편리성을 높인 퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기를 제시한다.
본 발명의 일 방면에 따르면, 기판 용기에 응용되어, 공기가 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 퀵 릴리즈 퍼지밸브를 제안한다. 기판 용기는 베이스시트를 포함하고, 베이스시트는 덮개판 및 바닥판을 포함한다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 스냅 플레이트(snap plate), 개스킷 피팅(gasket fitting) 및 밸브 몸체를 포함한다. 스냅 플레이트는 탈착 방식으로 바닥판의 제1 개구에 체결되며, 또한 스냅 플레이트가 바닥판에 체결 시 바닥판과 최대한 나란하게 정렬된다. 개스킷 피팅은 덮개판과 바닥판 사이에 설치되며, 덮개판으로부터 바닥판까지 관통되는 기류통로를 구비한다. 밸브 몸체는 공기의 유동 방향을 제한하도록 기류통로에 설치된다. 스냅 플레이트와 바닥판이 체결 상태일 때, 스냅 플레이트가 개스킷 피팅을 고정시켜 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고, 스냅 플레이트와 바닥판이 미체결 상태일 때, 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 분리된다.
일 실시예에서, 스냅 플레이트는 본체 및 탄성 암을 포함한다. 본체는 개스킷 피팅의 일측을 고정시켜 지지하기 위한 것이고, 탄성 암의 일단은 본체에 연결되며, 타단은 바닥판에 체결된다. 본체는 고리형 구조를 구비하며, 고리형 구조는 개스킷 피팅을 둘러싸며 기류통로를 차폐하지 않는 방식으로 설치된다. 개스킷 피팅의 외벽에 돌출링이 돌출 설치되며, 돌출링의 외경은 본체의 내경보다 크다.
다른 실시예에서, 스냅 플레이트는 본체 및 탄성 암을 포함한다. 본체는 개스킷 피팅의 일측을 고정시켜 지지하기 위한 것이고, 탄성 암의 일단은 본체에 연결되며, 타단은 바닥판에 체결된다. 바닥판은 제1 개구에 대응하는 부위에 플랜지 및 체결홈을 구비한다. 플랜지는 본체를 제1 개구 위치에 끼워 고정시키기 위한 것이고, 체결홈에 탄성 암이 끼워지며, 이를 통해 스냅 플레이트가 바닥판에 체결된다.
또 다른 실시예에서, 스냅 플레이트는 본체 및 탄성 암을 포함한다. 본체는 개스킷 피팅의 일측을 고정시켜 지지하기 위한 것이고, 탄성 암의 일단은 본체에 연결되며, 타단은 바닥판에 체결된다. 개스킷 피팅의 타측은 덮개판의 제2 개구 부위에 접촉되며, 공기는 제1 개구, 기류통로와 제2 개구를 통과하여 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈된다. 덮개판은 제2 개구를 둘러싸도록 설치되는 슬리브 벽을 구비한다. 개스킷 피팅은 슬라이딩 방식으로 슬리브 벽에 결합되거나 또는 분리된다. 개스킷 피팅이 슬리브 벽에 결합 시, 슬리브 벽과 개스킷 피팅의 외벽 간에 기밀 상태가 형성된다.
본 발명의 또 다른 방면에 따르면, 외부 케이스 어셈블리와 내부 케이스 어셈블리를 포함하는 기판 용기를 제시한다. 외부 케이스 어셈블리는 내부 케이스 어셈블리를 수납하기 위한 것이고, 내부 케이스 어셈블리는 기판을 수납하기 위한 것이다. 외부 케이스 어셈블리는 베이스시트 및 상부 덮개를 포함한다. 베이스시트는 바닥판, 덮개판 및 퀵 릴리즈 퍼지밸브를 포함한다. 바닥판은 제1 개구를 구비하며, 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 공기가 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 것으로서, 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 스냅 플레이트, 개스킷 피팅 및 밸브 몸체를 포함한다. 스냅 플레이트는 탈착 가능한 방식으로 제1 개구에 체결되며, 스냅 플레이트가 바닥판에 체결 시 최대한 바닥판과 나란하게 정렬된다. 개스킷 피팅은 덮개판과 바닥판 사이에 설치되며, 또한 덮개판으로부터 바닥판까지 관통하는 기류통로를 구비한다. 밸브 몸체는 공기의 유동방향을 제한하도록 기류통로에 설치된다. 상부 덮개는 베이스시트와 접촉되어 양자 간에 밀봉상태를 형성하기 위한 것이다. 스냅 플레이트와 바닥판이 체결 상태일 때, 스냅 플레이트는 개스킷 피팅을 고정시켜 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고, 스냅 플레이트와 바닥판이 미체결 상태일 때, 개스킷 플레이트는 베이스시트로부터 분리된다.
일 실시예에서, 베이스시트는 덮개판과 개스킷 피팅 사이에 설치되어 공기를 여과하기 위한 여과 소자를 더 포함한다.
본 발명의 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기는, 탈착형 스냅 플레이트를 이용하여 개스킷 피팅을 고정시킨다. 스냅 플레이트와 바닥판이 미체결 상태일 때, 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 분리될 수 있어, 사용자가 소자를 교체하기 편리하며, 시간을 절약할 수 있고 작업 효율이 향상된다. 스냅 플레이트가 바닥판에 체결 시, 스냅 플레이트가 바닥판과 최대한 나란하게 정렬됨으로써, 기판 용기 바닥부가 평탄함을 유지하여 기판 용기의 각종 이송 동작이 편리한 동시에, 청결도를 유지하는 데에도 도움이 된다.
본 발명의 상기 및 기타 특징, 장점과 실시예를 보다 명확하고 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위해 첨부되는 도면의 설명은 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 용기의 설명도이다.
도 2는 도 1의 베이스시트를 다른 시각에서 바라본 설명도이다.
도 3은 도 2의 베이스시트 중 한 곳에 대응하는 퀵 릴리즈 퍼지 밸브의 확대도이다.
도 4는 도 1 중 평면 A를 따라 절취한 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 퀵 릴리즈 퍼지밸브의 설명도이다.
도 5b는 도 5a의 퀵 릴리즈 퍼지밸브의 분해도이다.
도 6은 바닥판의 제1 개구에 대응하는 부위의 설명도이다.
본 발명의 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기에서, 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 공기가 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 것이다. 기판 용기는 베이스시트를 포함하며, 베이스시트는 덮개판 및 바닥판을 포함한다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 스냅 플레이트, 개스킷 피팅 및 밸브 몸체를 포함한다. 스냅 플레이트는 탈착 방식으로 바닥판의 제1 개구에 체결되며, 또한 스냅 플레이트가 바닥판에 체결 시 바닥판과 최대한 나란하게 정렬된다. 개스킷 피팅은 덮개판과 바닥판 사이에 설치되며, 덮개판으로부터 바닥판까지 관통되는 기류통로를 구비한다. 밸브 몸체는 공기의 유동 방향을 제한하도록 기류통로에 설치된다.
스냅 플레이트와 바닥판이 체결 상태일 때, 스냅 플레이트가 개스킷 피팅을 고정시켜 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고; 스냅 플레이트와 바닥판이 미체결 상태일 때, 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 분리된다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 탈착형 스냅 플레이트를 이용하여 소자 교체의 편리성을 높이고, 다수의 나사를 순서대로 해제하여 바닥판 전체를 분리해야 하는 종래의 번거로운 방식을 피할 수 있어 효율이 높아지며, 기판 용기가 소자의 교체로 인해 생산 라인을 이탈하는 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 스냅 플레이트가 바닥판에 돌출되지 않도록 하는 방식을 통해, 기판 용기 바닥부가 평탄함을 유지하여, 기판 용기의 각종 이송 동작이 편리한 동시에, 청결도를 유지하는 데에도 도움이 된다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 용기의 설명도이다. 기판 용기(10)는 외부 케이스 어셈블리(15) 및 내부 케이스 어셈블리(16)를 포함한다. 외부 케이스 어셈블리(15)는 내부 케이스 어셈블리(16)를 수납하기 위한 것이고, 내부 케이스 어셈블리(16)는 기판(20)을 수납하기 위한 것이다. 외부 케이스 어셈블리(15)는 베이스시트(11) 및 상부 덮개(13)를 포함하며, 상부 덮개(13)가 베이스시트(11)와 접촉되어 양자 간에 밀봉 상태를 형성함으로써, 외부 케이스 어셈블리(15)의 내부가 외부와 격리되며, 이에 따라 외부 케이스 어셈블리(15)의 내부가 특정 반도체 공정의 청결도에 대한 요구에 부합될 수 있게 된다. 내부 케이스 어셈블리(16)는 서로 매칭되는 제1 부분(12)과 제2 부분(14)을 포함하며, 제1 부분(12)과 제2 부분(14)이 서로 맞결합 시, 양자 간에 기판(20)을 수납하기 위한 하나의 수납공간이 형성된다. 본 실시예에서, 기판(20)은 예를 들어 고밀도 반도체 패터닝 공정에 응용되는 극자외선 레티클(EUV reticle)이나, 단 다른 실시예에서, 기판(20)은 높은 청결도가 요구되면서 반도체 공정과 관련이 있는 기타 플레이트체 소자일 수 있다.
도 1 및 도 2를 동시에 참조하면, 도 2는 도 1의 베이스시트를 다른 시각에서 바라본 설명도이다. 본 실시예에서, 베이스시트(11)는 덮개판(120)과 바닥판(110) 및 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)를 포함한다. 덮개판(120)과 바닥판(110)은 서로 매칭되게 조립되며, 그 중 실제 제품의 필요에 따라, 베이스시트(11)가 상부 덮개(13)와 안정적으로 결합될 수 있도록 하기 위한 록킹부재(150), 록킹부재 작동 기구(160) 등 소자가 설치될 수도 있다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)는 공기가 기판 용기(10)로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 것이다. 본 실시예는 4개의 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)를 예로 들어 설명하며(도 2 참조), 그 중 2개는 공기를 기판 용기(10)로 진입시키기 위한 것이고, 다른 2개는 즉 공기가 기판 용기(10)로부터 이탈되도록 하기 위한 것이다. 그러나 본 발명의 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)는 이에 한정되지 않으며, 기타 수량 및 배치방식의 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)도 모두 본 발명에 응용될 수 있다.
도 3 및 도 4를 동시에 참조하면, 도 3은 도 2의 베이스시트 중 한 곳에 대응하는 퀵 릴리즈 퍼지밸브의 확대도이고, 도 4는 도 1 중 평면 A를 따라 절취한 단면도이다. 본 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)는 스냅 플레이트(131), 개스킷 피팅(132) 및 밸브 몸체(133)를 포함한다. 바닥판(110)은 제1 개구(110a)를 구비하며, 스냅 플레이트(131)는 탈착 가능한 방식으로 제1 개구(110a)에 체결되고, 또한 스냅 플레이트(131)가 바닥판(110)에 체결될 때 바닥판(110)과 최대한 나란하게 정렬된다(다시 말해, 스냅 플레이트(131)는 바닥판(110)에 돌출되지 않는다). 개스킷 피팅(132)은 덮개판(120)과 바닥판(110) 사이에 설치되며, 덮개판(120)으로부터 바닥판(110)까지 관통되는 기류통로(132a)를 구비한다. 밸브 몸체(133)는 공기의 유동방향을 제한하도록 기류통로(132a)에 설치된다. 스냅 플레이트(131)와 바닥판(110)이 체결 상태일 때(도 2, 도 3 및 도 4 중 스냅 플레이트(131)와 바닥판(110)의 상태), 스냅 플레이트(131)가 개스킷 피팅(132)을 고정시켜, 개스킷 피팅(132)이 베이스시트(11)로부터 탈출되는 것을 방지한다. 스냅 플레이트(131)와 바닥판(110)이 미체결 상태일 때(미체결 상태는 이후에 설명한다), 개스킷 피팅(132)은 소자의 교체 동작을 실시하도록 베이스시트(11)로부터 분리된다.
도 5a 및 도 5b를 동시에 참조하면, 도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 퀵 릴리즈 퍼지밸브의 설명도이고, 도 5b는 도 5a의 퀵 릴리즈 퍼지밸브의 분해도이다. 본 실시예의 퀵 리리즈 퍼지밸브(130)에서, 스냅 플레이트(131)는 본체(1311) 및 탄성 암(1312)을 포함한다. 본체(1311)는 개스킷 피팅(132)의 일측을 고정시켜 지지하기 위한 것이며, 다시 말해 개스킷 피팅(132)은 본체(1311)에 접촉되어 위치가 고정된다. 본 실시예 중 본체(1311)는 고리형 구조를 구비하며, 고리형 구조는 개스킷 피팅(132)을 둘러싸고 기류통로(132a)를 차폐하지 않는 방식으로 설치됨으로써, 본체(1311)가 개스킷 피팅(132)을 고정시켜 지지함과 동시에, 공기의 흐름에는 영향을 주지 않는다.
도 4, 도 5a 및 도 5b를 동시에 참조하면, 탄성 암(1312)의 일단은 본체(1311)에 연결되고, 타단은 바닥판(110)에 체결된다. 본 실시예는 2개의 마주보게 설치되는 탄성 암(1312)을 예로 들며, 2개의 탄성 암(1312)은 스냅 플레이트(131)가 바닥판(110)에 안정적으로 체결되도록 각각 본체(1311)의 마주보는 양측에 위치한다. 탄성 암(1312)은 탄성 체결 기능을 발휘하도록 구조에 탄성 변형을 발생시키기 위한 굴절부를 구비한다. 굴절부는 탄성 암(1312)의 구조가 최대한 바닥판(110)의 바닥면과 나란하도록 베이스시트(11) 내부를 향해 오목하게 설치됨으로써(다시 말해, 탄성 암(1312)은 바닥판(110)에 돌출되지 않는다), 전체적으로 기판 용기(10)의 바닥부가 평탄함을 유지하여(기판 용기(10)는 도 1 참조), 기판 용기(10)의 각종 이송 동작이 편리함과 동시에, 평탄한 바닥부는 청결도를 유지하는데에도 도움이 된다.
본 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)에서, 개스킷 피팅(132)은 개스킷 피팅(132)의 외벽에 돌출 설치되는 돌출링(1321)을 구비한다. 돌출링(1321)의 외경(d2)은 개스킷 피팅(132)이 고리형 구조의 본체(1311)를 관통하지 못하도록 스냅 플레이트(131)의 본체(1311)의 내경(d1)보다 큼으로써, 본체(1311)가 개스킷 피팅(132)을 효과적으로 고정시켜 지지할 수 있게 한다.
본 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브(130)에서, 밸브 몸체(133)는 단방향 밸브로서, 공기가 역류하는 것을 방지한다. 도 5b에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(133)는 공기가 아래에서 위를 향하는 방향으로만 흐를 수 있도록 하여 기판 용기(10) 내부로 진입시킨다(도 1 참조).
도 3, 도 5b 및 도 6을 동시에 참조하면, 도 6은 바닥판의 제1 개구에 대응하는 부위의 설명도이다. 도 6은 스냅 플레이트(131)와 바닥판(110)이 미체결된 상태를 나타낸 것으로, 다시 말해 바닥판(110)이 스냅 플레이트(131)와 체결되어 있지 않다. 바닥판(110)은 제1 개구(110a)에 대응하는 부위에 플랜지(111) 및 체결홈(112)을 구비하며, 플랜지(111)는 본체(1311)를 제1 개구(110a) 위치에 끼워 고정시키기 위한 것이고, 체결홈(112)에 탄성 암(1312)이 끼워지며, 이로써 스냅 플레이트(131)가 바닥판(110)에 체결된다. 본 실시예에서, 바닥판(110)은 다수의 방향에서 본체(1311)를 협지하여 고정시킬 수 있도록 제1 개구(110a) 주위를 따라 설치되는 다수의 플랜지(111)를 구비한다. 이밖에, 각각의 탄성 암(1312)마다 모두 하나의 체결홈(112)에 대응하여 체결될 수 있도록, 체결홈(112)의 수량은 탄성 암(1312)의 수량에 대응한다.
계속해서 도 4 및 도 5b를 참조한다. 전술한 바에 따르면, 개스킷 피팅(132)의 일측은 스냅 플레이트(131)의 본체(1311)에 접촉되며, 본 실시예에서, 개스킷 피팅(132)의 타측은 덮개판(120)의 제2 개구(120a) 부위에 접촉된다. 공기는 제2 개구(120a), 기류통로(132a) 및 제1 개구(110a)를 통과하여 기판 용기(10)로 유입되거나 또는 이탈된다.
본 실시예에서, 덮개판(120)은 제2 개구(120a)를 둘러싸도록 설치되는 슬리브 벽(121)을 구비하며, 개스킷 피팅(132)은 슬라이딩 방식으로 슬리브 벽(121)에 결합되거나 또는 분리된다. 개스킷 피팅(132)이 슬리브 벽(121)에 결합 시, 슬리브 벽(121)과 개스킷 피팅(132)의 외벽 간에 기밀 상태가 형성되어, 공기가 덮개판(120)과 바닥판(110) 사이로 유입되어 공기가 누설되는 상황을 방지한다.
본 실시예에서, 베이스시트(11)는 덮개판(120)과 개스킷 피팅(132) 사이에 설치되어 공기를 여과하기 위한 여과 소자(140)를 더 포함한다. 스냅 플레이트(131)와 바닥판(110)이 미체결 상태일 때, 개스킷 피팅(132)은 슬리브 벽(121)을 슬라이딩하여 이탈하며, 개스킷 피팅(132)이 베이스시트(11)로부터 완전히 분리될 수 있다. 개스킷 피팅(132)이 베이스시트(11)로부터 분리된 후, 여과 소자(140)를 교체할 수 있으며, 새것 또는 깨끗한 여과 소자(140)로의 교체를 이용하여 공기의 청결도를 유지할 수 있다. 여과 소자(140)는 예를 들어 여과지, 또는 기타 직물 또는 부직포일 수 있으며, 기타 미립자를 여과할 수 있는 다공성 재료 역시 본 발명에 응용될 수 있다. 탈착형 스냅 플레이트(131)를 이용하면 개스킷 피팅(132)을 신속하게 분리하여, 여과 소자(140) 또는 기타 부재를 교체하기 편리하다. 이러한 방식으로 소자 교체의 편리성이 높아지고, 작업 효율이 향상되며, 또한 기판 용기(10)(도 1 참조)가 단시간 내에 생산라인으로 복귀하여 기판(20)(도 1 참조)의 수납, 로드 또는 이송 등 작업을 계속 실행할 수 있다.
본 발명의 전술한 실시예의 퀵 릴리즈 퍼지밸브 및 이를 응용한 기판 용기에 따르면, 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 공기가 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 것이다. 기판 용기는 베이스시트를 포함하며, 베이스시트는 덮개판 및 바닥판을 포함한다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 스냅 플레이트, 개스킷 피팅 및 밸브 몸체를 포함한다. 스냅 플레이트는 탈착 방식으로 바닥판의 제1 개구에 체결되며, 또한 스냅 플레이트가 바닥판에 체결 시 바닥판과 최대한 나란하게 정렬된다. 개스킷 피팅은 덮개판과 바닥판 사이에 설치되며, 덮개판으로부터 바닥판까지 관통되는 기류통로를 구비한다. 밸브 몸체는 공기의 유동 방향을 제한하도록 기류통로에 설치된다. 스냅 플레이트와 바닥판이 체결 상태일 때, 스냅 플레이트가 개스킷 피팅을 고정시켜 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고; 스냅 플레이트와 바닥판이 미체결 상태일 때, 개스킷 피팅이 베이스시트로부터 분리된다. 퀵 릴리즈 퍼지밸브는 탈착형 스냅 플레이트를 이용하여 소자 교체의 편리성을 높이고, 시간이 절약되며 작업 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 스냅 플레이트가 최대한 바닥판과 나란하게 정렬되는 방식을 통해, 기판 용기 바닥부가 평탄함을 유지하여, 기판 용기의 각종 이송 동작이 편리한 동시에, 청결도를 유지하는 데에도 도움이 된다.
비록 본 발명은 다수의 실시예를 위와 같이 공개하였으나, 이는 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니다. 본 기술을 숙지하는 자라면 누구든지 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 각종 변경 및 수식을 가할 수 있으며, 따라서 본 발명의 보호범위는 첨부되는 특허출원범위로 한정된 것을 기준으로 한다.
10: 기판 용기 12: 제1 부분
11: 베이스시트 13: 상부 덮개
14: 제2 부분 15: 외부 케이스 어셈블리
16: 내부 케이스 어셈블리 20: 기판
110: 바닥판 110a: 제1 개구
111: 플랜지 112: 체결홈
120: 덮개판 120a: 제2 개구
121: 슬리브 벽 130: 퀵 릴리즈 퍼지밸브
131: 스냅 플레이트 132: 개스킷 피팅
132a: 기류통로 133: 밸브 몸체
140: 여과 소자 150: 록킹부재
160: 록킹부재 작동기구 1311: 본체
1312: 탄성 암 1321: 돌출링
A: 평면 d1: 내경
d2: 외경

Claims (10)

  1. 기판 용기에 응용되어, 공기가 상기 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 퀵 릴리즈 퍼지밸브에 있어서,
    상기 기판 용기는 베이스시트를 포함하고, 상기 베이스시트는 덮개판 및 바닥판을 포함하며, 상기 퀵 릴리즈 퍼지밸브는
    탈착 방식으로 상기 바닥판의 제1 개구에 체결되며, 상기 바닥판에 체결 시 상기 바닥판과 최대한 나란하게 정렬되는 스냅 플레이트;
    상기 덮개판과 상기 바닥판 사이에 설치되며, 상기 덮개판으로부터 상기 바닥판까지 관통되는 기류통로를 구비하는 개스킷 피팅; 및
    상기 공기의 유동 방향을 제한하도록 상기 기류통로에 설치되는 밸브 몸체;를 포함하며;
    상기 스냅 플레이트와 상기 바닥판이 체결 상태일 때, 상기 스냅 플레이트가 상기 개스킷 피팅을 고정시켜, 상기 개스킷 피팅이 상기 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고, 상기 스냅 플레이트와 상기 바닥판이 미체결 상태일 때, 상기 개스킷 피팅이 상기 베이스시트로부터 분리되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스냅 플레이트는 본체 및 탄성 암을 포함하며, 상기 본체는 상기 개스킷 피팅의 일측을 고정시켜 지지하기 위한 것이고, 상기 탄성 암의 일단은 상기 본체에 연결되며, 상기 타단은 상기 바닥판에 체결되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 본체는 고리형 구조를 구비하며, 상기 고리형 구조는 상기 개스킷 피팅을 둘러싸며 상기 기류통로를 차폐하지 않는 방식으로 설치되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 개스킷 피팅의 외벽에 돌출링이 돌출 설치되며, 상기 돌출링의 외경이 상기 본체의 내경보다 큰 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 바닥판은 상기 제1 개구에 대응하는 부위에 플랜지 및 체결홈을 구비하며, 상기 플랜지는 상기 본체를 상기 제1 개구 위치에 끼워 고정시기키 위한 것이고, 상기 체결홈에 상기 탄성 암이 끼워지며, 이를 통해 상기 스냅 플레이트가 상기 바닥판에 체결되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 개스킷 피팅의 타측은 상기 덮개판의 제2 개구 부위에 접촉되며, 상기 공기가 상기 제1 개구, 상기 기류통로와 상기 제2 개구를 통과하여 상기 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 덮개판은 상기 제2 개구를 둘러싸도록 설치되는 슬리브 벽을 구비하며, 상기 개스킷 피팅이 슬라이딩 방식으로 상기 슬리브 벽에 결합되거나 또는 분리되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 개스킷 피팅이 상기 슬리브 벽에 결합 시, 상기 슬리브 벽과 상기 개스킷 피팅의 외벽 간에 기밀 상태가 형성되는 퀵 릴리즈 퍼지밸브.
  9. 기판 용기에 있어서,
    외부 케이스 어셈블리와 내부 케이스 어셈블리를 포함하며, 상기 외부 케이스 어셈블리는 상기 내부 케이스 어셈블리를 수납하기 위한 것이고, 상기 내부 케이스 어셈블리는 기판을 수납하기 위한 것이며, 상기 외부 케이스 어셈블리는
    제1 개구를 구비하는 바닥판, 덮개판, 및 공기가 기판 용기로 진입하거나 또는 이탈되도록 하기 위한 것이면서, 또한
    탈착 가능한 방식으로 상기 제1 개구에 체결되며, 상기 바닥판에 체결 시 최대한 상기 바닥판과 나란하게 정렬되는 스냅 플레이트;
    상기 덮개판과 상기 바닥판 사이에 설치되며, 또한 상기 덮개판으로부터 상기 바닥판까지 관통하는 기류통로를 구비하는 개스킷 피팅과;
    공기의 유동방향을 제한하도록 상기 기류통로에 설치되는 밸브 몸체를 구비한 퀵 릴리즈 퍼지밸브를 포함하는 베이스시트; 및
    상기 베이스시트와 접촉되어 양자 간에 밀봉상태를 형성하기 위한 상부 덮개를 포함하며;
    상기 스냅 플레이트와 상기 바닥판이 체결 상태일 때, 상기 스냅 플레이트가 상기 개스킷 피팅을 고정시켜, 상기 개스킷 피팅이 상기 베이스시트로부터 탈출하는 것을 방지하고, 상기 스냅 플레이트와 상기 바닥판이 미체결 상태일 때, 상기 개스킷 플레이트가 베이스시트로부터 분리되는 기판 용기.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 베이스시트는 상기 덮개판과 상기 개스킷 피팅 사이에 설치되어 공기를 여과하기 위한 여과 소자를 더 포함하는 기판 용기.
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