TW201908220A - 物品搬送車 - Google Patents
物品搬送車 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201908220A TW201908220A TW107123846A TW107123846A TW201908220A TW 201908220 A TW201908220 A TW 201908220A TW 107123846 A TW107123846 A TW 107123846A TW 107123846 A TW107123846 A TW 107123846A TW 201908220 A TW201908220 A TW 201908220A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- support
- restricting
- container
- retracted position
- restricting body
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F9/00—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes
- B66F9/06—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
- B66F9/07—Floor-to-roof stacking devices, e.g. "stacker cranes", "retrievers"
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transportation (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
實現一種雖然具備有落下限制體但是可以抑制構成變複雜之情形的物品搬送車。物品搬送車具備行走部、支撐部、及移動機構,移動機構是使支撐部移動到突出位置與退回位置,支撐部具備對支撐容器進行支撐的支撐體、藉由移動機構而在寬度方向上移動的移動體、及使支撐體相對於移動體朝上下方向移動的升降機構,該物品搬送車更具備限制支撐容器的蓋體落下的落下限制體、以及使支撐體連動於落下限制體的連動機構,落下限制體可在限制位置與退避位置移動自如地構成,其中前述限制位置是比蓋體的下端更朝上方突出的位置,前述退避位置是比蓋體的下端更朝下方退回的位置,連動機構是因應於支撐體上升而使落下限制體從退避位置移動到限制位置,並且因應於支撐體下降而使落下限制體從限制位置移動到退避位置。
Description
發明領域 本發明是有關於一種具備移動機構的物品搬送車,該移動機構是使支撐容器的支撐部在上下方向視角下在相對於行走路徑而交叉的寬度方向上移動。
發明背景 於日本專利特開2015-134659號公報上記載有一種物品搬送車,該物品搬送車具備有:行走部,可沿著行走路徑行走;支撐部,用於支撐容器;及移動機構,使支撐部在上下方向視角下在相對於前述行走路徑而交叉的寬度方向上移動。該物品搬送車是在使支撐部支撐容器的狀態下進行搬送。並且,在相對於行走路徑而位於寬度方向的移載對象地點與支撐部之間移載物品時,是在使行走部停止在對應於移載對象地點的位置之狀態下,藉由移動機構使支撐部在寬度方向上移動,並且在支撐部中藉由升降機構使支撐體相對於移動體而升降,藉此移載物品。
雖然藉由物品搬送車搬送的容器之開口是由蓋體所關閉,但是在蓋體對容器的本體部未適當地固定的情況下,會有蓋體從本體部脫離的可能性。並且,當物品搬送車正在搬送時容器的蓋體脫離的情況下,會有蓋體從物品搬送車落下的情況。
於是,所考慮的是,在相對於支撐部所支撐的容器之蓋體,而與容器的本體部側相反之相反側具備落下限制體,以藉由落下限制體來擋住從本體部脫離的蓋體,藉此限制蓋體從物品搬送車落下之情形。並且,像這樣具備有落下限制體的情況下,可考慮的是,在移載對象地點與支撐部之間移載容器的情況下,具備使落下限制體移動的驅動部來使落下限制體退避,以免落下限制體干涉到移載對象地點的容器。但是,若具備使落下限制體移動的驅動部的話,會導致成本變高的情形或控制變複雜等,容易因為具備落下限制體而使物品搬送車的構成變得複雜。
發明概要 於是,所期望的是實現一種雖然具備落下限制體但可以抑制構成變複雜之情形的物品搬送車。
有鑒於上述內容,作為1個態樣,物品搬送車具備:行走部,沿著行走路徑行走;支撐部,支撐容器;及移動機構,使前述支撐部在上下方向視角下,在相對於前述行走路徑交叉的寬度方向上移動,前述移動機構是使前述支撐部移動至突出位置及退回位置,其中前述突出位置是相對於前述行走部而在前述寬度方向上突出的位置,前述退回位置是相對於前述突出位置在前述行走部之側的位置,前述支撐部具備從下方支撐前述容器的底面之支撐體、藉由前述移動機構而在前述寬度方向上移動的移動體、及使前述支撐體相對於前述移動體在上下方向上移動的升降機構,前述容器具備有在被前述支撐部所支撐的狀態下在前述寬度方向上開口的本體部、及關閉前述開口的蓋體,前述物品搬送車更具備:落下限制體,限制前述支撐體所支撐的前述容器即支撐容器的前述蓋體落下;及連動機構,使前述支撐體連動於前述落下限制體,前述落下限制體是相對於前述支撐容器的前述蓋體,配置在與前述本體部之側的相反側,且可在限制位置與退避位置移動自如地構成,其中前述限制位置是比前述蓋體的下端更朝上方突出的位置,前述退避位置是比前述蓋體的下端更朝下方退回的位置,前述連動機構是因應於前述支撐體上升而使前述落下限制體從前述退避位置移動到前述限制位置,並且因應於前述支撐體下降而使前述落下限制體從前述限制位置移動到前述退避位置。
根據此構成,從位於行走路徑的側邊之移載對象地點將容器移載至支撐體的情況下,是在使行走部停止在對應於移載對象地點的位置之狀態下,藉由移動機構使支撐部從退回位置移動到突出位置後,在支撐部中藉由升降機構使支撐體相對於移動體上升來將移載對象地點的容器載置到支撐體上,之後,藉由移動機構使支撐體從突出位置移動到退回位置。並且,因應於支撐體相對於移動體而上升,藉由連動機構使落下限制體從退避位置移動到限制位置。從而,因為在使未支撐有容器的支撐體從退回位置移動到突出位置時,落下限制體是位於退避位置,所以落下限制體難以接觸到位於移載對象地點的容器。並且,在使已支撐容器的支撐部從突出位置移動到退回位置時,可以藉由落下限制體來限制容器的蓋體從本體部脫離而從物品搬送車落下之情形。
又,從支撐體將容器移載至移載對象地點的情況下,是在使行走部停止在對應於移載對象地點的位置之狀態下,藉由移動機構使支撐部從退回位置移動到突出位置後,在支撐部中藉由升降機構使支撐體相對於移動體而下降,以將支撐體上的容器卸下至移載對象地點,之後,藉由移動機構使支撐體從突出位置移動到退回位置。並且,因應於支撐體相對於移動體而下降,藉由連動機構使落下限制體從限制位置移動到退避位置。從而,在使已支撐容器的支撐部從退回位置移動到突出位置時,可以藉由落下限制體來限制容器的蓋體從本體部脫離而從物品搬送車落下之情形。並且,因為在使未支撐有容器的支撐體從突出位置移動到退回位置時,落下限制體是位於退避位置,所以落下限制體難以接觸到位於移載對象地點的容器。
並且,因為落下限制體是藉由連動機構而連動於支撐體的升降,來移動到限制位置或退避位置,所以不需要用於使落下限制體移動到限制位置或退避位置之專用的驅動裝置,又,也不需要連動於支撐體的升降來控制驅動裝置。從而,可以藉由具備有落下限制體而限制蓋體從物品搬送車落下之情形,並且和具備有用於使落下限制體移動之專用的驅動裝置的情況相較之下,可以謀求物品搬送車之構成的簡單化。
用以實施發明之形態 根據圖式來說明具備有物品搬送車的物品搬送設備之實施形態。如圖1及圖2所示,物品搬送設備設置有:行走軌道1,沿著行走路徑而配設於天花板側;物品搬送車2,被該行走軌道1所支撐且沿著行走路徑行走;及保管架3,設置於行走路徑的橫側邊且保管容器W。物品搬送車2是構成為:將已從其他地點搬送來的容器W搬送至保管架3,且將保管架3所保管的容器W搬送到其他地點。再者,以下,將沿著行走路徑的方向稱為前後方向X,且將在上下方向Z視角下與該前後方向X正交的方向稱為寬度方向Y。又,將寬度方向Y的一側稱為寬度方向第一側Y1,且將其相反側稱為寬度方向第二側Y2。
[容器] 如圖5至圖8所示,容器W是以容器W的前方側朝向寬度方向第一側Y1的姿勢,以物品搬送車2來搬送並且被保管架3所保管。因此,在說明容器W時,是依據以物品搬送車2搬送的狀態(後述之被支撐部19所支撐的狀態),而將容器W的前後方向設為寬度方向Y,且將容器W的前方側設為寬度方向第一側Y1來說明。
如圖2至圖4所示,容器W具備有朝寬度方向第一側Y1開口的本體部6、及關閉開口5的蓋體7。於本體部6中形成有收容複數片基板的收容空間,且通過開口5使基板出入。又,如圖2所示,於本體部6的底面(容器W的底面)具備有形成為朝上方凹入之形狀的凹部8。該凹部8具備有2個前側的凹部8及1個後側的凹部8之合計3個的凹部,其中該2個前側的凹部8是比本體部6的寬度方向Y的中央更朝寬度方向第一側Y1設置的凹部,該後側的凹部8是比該中央更朝寬度方向第二側Y2設置的凹部。前側的凹部8是設置在本體部6中的前後方向X之兩端部的每一個,後側的凹部8是設置在本體部6中的前後方向X之中央部。
[保管架] 如圖1及圖5至圖8所示,保管架3是相對於物品搬送車2所行走的行走路徑而在寬度方向第一側Y1沿著該行走路徑而設置有複數個。保管架3是設置在與於行走路徑上行走的物品搬送車2相同的高度上。於保管架3上具備有從下方支撐1個容器W的底面之保管支撐體10。該保管支撐體10是構成為支撐容器W的底面中的前後方向X之兩端部。又,在保管支撐體10上是以朝前後方向X排列的狀態而在2個部位上具備有保管突起部11,且該保管突起部11是卡合於容器W的前側之凹部8。保管支撐體10是構成為:以使2個保管突起部11卡合於容器W的前側之凹部8的狀態來支撐容器W,藉此能夠以已定位於保管支撐體10上的事先設定的保管位置之狀態來支撐容器W。
[物品搬送車] 如圖2所示,物品搬送車2具備有:行走部13,沿著行走路徑行走於被天花板所支撐的行走軌道1上;以及本體支撐部14,位於行走軌道1的下方且被行走部13所懸吊支撐。於行走部13上具備有在行走軌道1的上表面上滾動的驅動輪16、以及使驅動輪16旋轉驅動的行走用馬達17。並且,行走部13是藉由以行走用馬達17使驅動輪16旋轉驅動而沿著行走軌道1行走。
本體支撐部14具備有支撐容器W的支撐部19、使支撐部19在寬度方向Y上移動的移動機構20、及罩體21。如圖3及圖4所示,罩體21是以覆蓋支撐容器WS的上下方向Z之兩側及前後方向X之兩側的方式,而形成為在寬度方向Y視角下為矩形框狀。又,罩體21是被行走部13所支撐,並且支撐著移動機構20,而相當於中間部。
移動機構20具備有在寬度方向Y上伸縮的第一連桿機構23、及使第一連桿機構23伸縮的進退用馬達24(參照圖9)。第一連桿機構23的基端部23A是連結於罩體21,在第一連桿機構23的前端部23B,是以相對於前端部23B繞著上下軸的方式可旋動地連結有支撐部19。前端部23B是第一連桿機構23的第一支臂的一部分,該第一支臂是相對於配置在緊接其下之第二支臂以繞著上下軸的方式可旋轉地被連結。該第二支臂是相對於基端部23A以繞著上下軸的方式可旋轉地被連結。第一支臂及第二支臂的動作是藉由齒輪或鏈條等而被同步成將由進退用馬達24所進行的旋轉移動轉換成支撐部19的直線移動。再者,基端部23A亦可收容進退用馬達24。但是,該第一連桿機構23只要是可利用馬達的動力之機構即可,而可以利用將馬達的動力轉換成支撐部19的移動之類的各種機構。並且,移動機構20是藉由進退用馬達24的驅動而使第一連桿機構23在寬度方向Y上伸縮,藉此使支撐部19移動到突出位置(參照圖6及圖7)與退回位置(參照圖5及圖8),其中該突出位置是相對於行走部13而朝寬度方向第一側Y1突出的位置,該退回位置是相對於突出位置而朝寬度方向第二側Y2退回的位置。順帶一提,在支撐部19位於退回位置的狀態下,是使支撐容器WS的整體位於罩體21的內部,在支撐部19位於突出位置的狀態下,是使支撐容器WS的整體位於罩體21的外部。
支撐部19具備有從下方支撐容器W的底面之支撐體26、藉由移動機構20而在寬度方向Y上移動的移動體27、及使支撐體26相對於移動體27朝上下方向Z移動的升降機構28。支撐體26是比移動體27更位於上方,且在3個部位具備有卡合於容器W的凹部8之突起部26A。並且,支撐體26是以使突起部26A卡合於容器W的凹部8之狀態來支撐容器W,且被支撐體26所支撐的容器W是成為開口5朝向寬度方向第一側Y1的姿勢。
移動體27是連結於第一連桿機構23的前端部23B,且藉由第一連桿機構23進行伸縮而在寬度方向Y上移動。升降機構28具備有繞著沿前後方向X的軸心地擺動的複數個第一連桿體31、及使第一連桿體31的姿勢變更的升降用馬達32。複數個第一連桿體31的每一個,是將其上端以繞著沿前後方向X的軸心且擺動自如的方式連結於支撐體26,並將其下端以繞著沿前後方向X的軸心且擺動自如的方式連結於塊體33。升降機構28是藉由升降用馬達32的驅動使滾珠螺桿34旋轉,以使螺合於滾珠螺桿34的複數個塊體33在寬度方向Y上移動,藉此將複數個第一連桿體31的姿勢變更成起立姿勢(參照圖2、圖7、及圖8)與翻倒姿勢(參照圖5及圖6)。如此,升降機構28是藉由變更複數個第一連桿體31的姿勢,來使支撐體26升降到上升高度(參照圖2、圖7、及圖8)與下降高度(參照圖5及圖6)。
如圖3及圖4所示,於物品搬送車2上更具備有第一限制體36、第二限制體37、連動機構38、擺動用馬達39、及蓋檢測感測器40。第一限制體36及第二限制體37可限制支撐體26所支撐的容器W之蓋體7落下之情形。再者,第一限制體36相當於落下限制體。連動機構38在支撐體26位移時,會使第一限制體36(相對於支撐體26,亦即,相對於支撐容器WS的蓋體7之下端(例如下緣))連動。擺動用馬達39是使第二限制體37繞著沿寬度方向Y的軸心擺動。接著,說明該等第一限制體36、第二限制體37、連動機構38、擺動用馬達39、及蓋檢測感測器40。再者,將物品搬送車2的支撐體26所支撐的容器W稱為支撐容器WS來說明。又,將在前後方向X上支撐體26的中心所存在之側稱為前後方向第一側X1,且將其相反側稱為前後方向第二側X2。
如圖2所示,第一限制體36是相對於支撐容器WS的蓋體7而配置於寬度方向第一側Y1(與本體部側相反之相反側)。第一限制體36是可在限制姿勢(參照圖4)與退避姿勢(參照圖3)變更自如地構成,其中該限制姿勢是比蓋體7的下端更朝上方突出(亦即,第一限制體36的至少一部分比蓋體7的下端更位於上方)的姿勢,該退避姿勢是退避成比蓋體7的下端更位於下方的姿勢。如圖2所示,第一限制體36是以可繞著沿寬度方向Y的軸心擺動自如的方式連結於支撐體26中的寬度方向第一側Y1的端部,且如圖3及圖4所示,藉由繞著沿寬度方向Y的軸心擺動,而移動到限制姿勢與退避姿勢。再者,將第一限制體36設為限制姿勢的位置相當於第一限制體36的限制位置,將第一限制體36設為退避姿勢的位置相當於第一限制體36的退避位置。
[第一限制體] 針對第一限制體36追加說明,即第一限制體36具備有連結於支撐體26的連結部36B、以及從連結部36B延伸的限制部36A及擺動部36C。連結部36B、限制部36A、及擺動部36C是一體形成,第一限制體36是形成為在寬度方向視角下為L字形。第一限制體36是在前後方向X中在相對於支撐體26的中心之兩側的每一側設置,而於物品搬送車2上具備有一對第一限制體36。
連結部36B是以可繞著沿寬度方向Y的軸心旋轉自如的方式連結於支撐體26。並且,如圖4所示,在第一限制體36為限制姿勢的狀態下,每一個第一限制體36的限制部36A是從連結部36B朝前後方向第二側X2與上下方向Z之間的斜上方側延伸,如圖3所示,在第一限制體36為退避姿勢的狀態下,每一個第一限制體36的限制部36A是從連結部36B朝前後方向第二側X2延伸。如此,限制部36A是藉由第一限制體36的姿勢而使從連結部36B延伸的方向不同。1個第一限制體36的限制部36A從連結部36B延伸的方向,相當於正交於寬度方向Y之該第一限制體36的第一方向D1,限制部36A是從連結部36B沿著第一方向D1而延伸(參照圖10、圖11)。從而,如本例所示,有一個第一限制體36的第一方向D1是與另外的第一限制體36的第一方向D1不同之情形。
又,如圖4所示,在第一限制體36為限制姿勢的狀態下,每一個第一限制體36的擺動部36C是從連結部36B朝前後方向第二側X2與上下方向Z之間的斜下方側延伸,如圖3所示,在第一限制體36為退避姿勢的狀態下,擺動部36C是從連結部36B朝下方側延伸。如此,擺動部36C是藉由第一限制體36的姿勢而使從連結部36B延伸的方向不同。1個第一限制體36的擺動部36C從連結部36B延伸的方向,相當於與第一方向D1交叉的第二方向D2,擺動部36C是從連結部36B沿著第二方向D2而延伸(參照圖10、圖11)。可為例如,第一方向D1與第二方向D2是正交的。
限制部36A具有下述之部分:在第一限制體36為限制姿勢的狀態下,比支撐容器WS的蓋體7之下端更位於上方,並且在第一限制體36為退避姿勢的狀態下,比支撐容器WS的蓋體7之下端更位於下方的部分。該限制部36A之比蓋體7的下端更位於下方的部分,會在第一限制體36為限制姿勢的狀態下在寬度方向Y視角下與蓋體7重疊。限制部36A與適當地裝設於支撐容器WS的蓋體7之寬度方向Y上的間隔,是形成為比蓋體7對本體部6朝寬度方向第二側Y2嵌入的深度更短,藉由以限制部36A來擋住從支撐容器WS脫離的蓋體7,可限制蓋體7從支撐容器WS離開之情形,而限制蓋體7從物品搬送車2落下的情形。又,擺動部36C在第一限制體36為限制姿勢的狀態及退避姿勢的狀態之雙方的狀態下都是比限制部36A更位於下方。
[連動機構] 連動機構38具有連桿機構38A,該連桿機構38A是以擺動自如的方式連結於移動體27與第一限制體36之雙方。連桿機構38A具備有連桿體38B,該連桿體38B是以擺動自如的方式連結於移動體27與第一限制體36的擺動部36C之雙方。連桿體38B是相對於一對第一限制體36的每一個而配置,而使連桿機構38A具有一對連桿體38B。
連桿體38B是形成為在寬度方向Y視角下為I字形,並將其一端部以可繞著沿寬度方向Y的軸心且擺動自如的方式連結於移動體27,並將另一端部以可繞著沿寬度方向Y的軸心且擺動自如的方式連結於擺動部36C的前端部。並且,連桿體38B之連結於移動體27的位置,是相對於連桿體38B之連結於擺動部36C的位置,位於前後方向第二側X2。因此,連桿體38B在第一限制體36為限制姿勢的狀態及退避姿勢的狀態之雙方的狀態下,均是形成為從移動體27朝前後方向第一側X1的斜上方側延伸的姿勢。
並且,如圖3及圖4所示,藉由支撐體26相對於移動體27朝上方移動,連動機構38可藉由連桿體38B來將退避姿勢的第一限制體36的擺動部36C朝前後方向第二側X2拉動操作,藉此使第一限制體36成為限制姿勢(參照圖4)。又,連動機構38可藉由支撐體26相對於移動體27朝下方移動,使連桿體38B將限制姿勢的第一限制體36的擺動部36C朝前後方向第一側X1推動操作,藉此使第一限制體36成為退避姿勢(參照圖3)。如此,連動機構38是因應於支撐體26上升而使第一限制體36從退避姿勢移動到限制姿勢,並且因應於支撐體26下降而使第一限制體36從限制姿勢移動到退避姿勢。
[第二限制體、擺動用馬達、及蓋檢測感測器] 第二限制體37是形成為在寬度方向Y視角下為I字形,並將其一端部連結到被擺動用馬達39所旋轉驅動的中繼構件。擺動用馬達39是固定於罩體21。並且,第二限制體37是藉由擺動用馬達39的驅動而繞著沿寬度方向Y的軸心擺動,藉此將姿勢變更成限制姿勢(圖4所示的位置)與退避姿勢(圖3所示的位置)。第二限制體37在退避姿勢下是成為沿著前後方向X的姿勢,且第二限制體37的整體是比支撐容器WS更位於上方。又,第二限制體37在限制姿勢下是成為沿著上下方向Z的姿勢,且第二限制體37的一部分比蓋體7的上端更位於下方,該第二限制體37的一部分是在寬度方向Y視角下與蓋體7重疊。再者,將第二限制體37設為限制姿勢的位置相當於第二限制體37的限制位置,將第二限制體37設為退避姿勢的位置相當於第二限制體的退避位置。又,擺動用馬達39相當於使第二限制體37移動到限制位置與退避位置的驅動部。
第二限制體37是在支撐部19位於退回位置的狀態下以相對於支撐容器WS的蓋體7位於寬度方向第一側Y1的方式被罩體21所支撐。再者,第二限制體37是透過擺動用馬達39而被罩體21所支撐。第二限制體37的限制姿勢,是在支撐體26位於上升高度的狀態下,讓第二限制體37比蓋體7的上端更朝下方突出的姿勢。又,第二限制體37的退避位置,是在支撐體26位於上升高度的狀態下,讓第二限制體37退回到比支撐容器WS的上端更上方的位置。
在支撐體26位於退回位置的狀態下,第二限制體37與適當地裝設於支撐容器WS的蓋體7之寬度方向Y上的間隔,是形成為比蓋體7對本體部6朝寬度方向第二側Y2嵌入的深度更短。藉由以限制部36A來擋住從支撐容器WS脫離的蓋體7,可限制蓋體7從支撐容器WS落下之情形,且可限制蓋體7從物品搬送車2落下之情形。
蓋檢測感測器40是固定在罩體21中的比支撐容器WS更位於上方的部分。蓋檢測感測器40是朝向下方投射檢測光,且接收來自反射板的反射光,其中該反射板是固定在罩體21中的比支撐容器WS更位於下方的部分。檢測光及反射光是在前後方向X上於蓋體7的寬度內通過,並且在寬度方向Y上於第一限制體36及第二限制體37與支撐容器WS之間通過。亦即,蓋檢測感測器40是設置成:當支撐容器WS的蓋體7適當地固定於本體部6時不會檢測出蓋體7,當蓋體7從本體部6脫離且被第一限制體36或第二限制體37擋住時,可檢測出該被擋住的蓋體7。如此,蓋檢測感測器40是檢測蓋體7從支撐容器WS脫離的情形。
[控制裝置] 物品搬送車2具備有控制該物品搬送車2的作動之控制裝置H。控制裝置H是藉由控制行走用馬達17,以使行走部13行走並使物品搬送車2停止在相對於搬送對象的保管架3所事先設定的行走停止位置。又,控制裝置H是藉由控制進退用馬達24,使支撐體26在寬度方向Y上進退,並且藉由控制升降用馬達32來使支撐體26升降,而在物品搬送車2與保管架3之間移載容器W。又,控制裝置H是藉由控制擺動用馬達39,以將第二限制體37的姿勢朝限制姿勢與退避姿勢進行姿勢變更。又,控制裝置H在藉由蓋檢測感測器40檢測到蓋體7從支撐容器WS脫離之情形時,會讓物品搬送車2緊急停止。
控制裝置H是依據來自上位的控制器(圖未示)的搬送資訊來控制物品搬送車2,以執行將容器W移交到保管架3的移交處理、以及從保管架3接收容器W的接收處理。
在接收處理中,首先,是依據搬送資訊來執行接收行走控制,該接收行走控制是將行走用馬達17控制成停止在行走停止位置,其中該行走停止位置是相對於保管有搬送對象之容器W的保管架3所設定的位置。再者,在執行接收行走控制時,支撐體26並未支撐有容器W,支撐體26是位於退回位置且位於下降高度。又,第一限制體36是成為退避姿勢,且第二限制體37是成為退避姿勢。
並且,在接收處理中,是在如上所述地執行接收行走控制後,執行接收移載控制,該接收移載控制是將進退用馬達24及升降用馬達32控制成將保管支撐體10上的容器W移載到支撐體26上。在該接收移載控制中,是在物品搬送車2停止於行走停止位置的狀態下,首先,如圖5、圖6、及圖7的順序所示,於將進退用馬達24及升降用馬達32控制成使支撐體26突出到突出位置後使其上升到上升高度,以將容器W裝載到支撐體26上。如此,伴隨於使支撐體26上升,第一限制體36即可從退避姿勢將姿勢變更成限制姿勢。並且,在接收移載控制中,接著,是如圖8所示,將進退用馬達24控制成使支撐體26退回到退回位置後,如圖2所示,將擺動用馬達39控制成使第二限制體37進行姿勢變更成限制姿勢。
在移交處理中,首先,是依據搬送資訊來執行移交行走控制,該移交行走控制是將行走用馬達17控制成停止在行走停止位置,其中該行走停止位置是相對於保管有搬送對象之容器W的保管架3所設定的位置。再者,在執行移交行走控制時,支撐體26已支撐有容器W,支撐體26是位於退回位置且位於上升高度。又,第一限制體36是成為限制姿勢,且第二限制體37是成為限制姿勢。
並且,在移交處理中,是在如上所述地執行接收行走控制後,執行移交移載控制,該移交移載控制是將進退用馬達24及升降用馬達32控制成將支撐體26上的容器W移載到保管支撐體10上。在該移交移載控制中,是在物品搬送車2停止於行走停止位置的狀態下,首先,如圖2、圖8的順序所示,於將擺動用馬達39控制成使第二限制體37進行姿勢變更成退避姿勢後,如圖7、圖6的順序所示,於將進退用馬達24及升降用馬達32控制成使支撐體26突出到突出位置後使其下降到下降高度,以將容器W裝載到保管支撐體10上。如此,伴隨於使支撐體26下降,第一限制體36即可從限制姿勢將姿勢變更成退避姿勢。並且,在移交移載控制中,接著,是如圖5所示,將進退用馬達24控制成使支撐體26退回到退回位置。
接著,針對物品搬送車的其他實施形態進行說明。
(1)在上述實施形態中,雖然具備當支撐體26位移時,會使第一限制體36(相對於支撐體26,亦即相對於支撐容器WS的蓋體7之下端(例如下緣))連動的連桿機構38A,而使支撐體26的升降連動第一限制體36,但是連動機構38亦可設成藉由連桿機構38A以外的機構來使支撐體26的升降連動第一限制體36。又,雖然是將第一限制體36形成為在寬度方向Y視角下為L字形,但是亦可形成為在寬度方向Y視角下為I字形等,適當變更第一限制體36的形狀。又,雖然是設成藉由擺動來將第一限制體36移動至限制位置與退避位置,但是亦可設成藉由往上下方向Z的滑行移動來將將第一限制體36移動到限制位置與退避位置。
具體而言,是例如,於連動機構38具備旋轉自如地設置於支撐體26的小齒輪(pinion)以及固定於移動體27的齒條(rack),並使形成為在寬度方向Y視角下為I字形的第一限制體36以沿著上下方向Z的姿勢來嚙合於小齒輪。並且,亦可設成伴隨於支撐體26相對於移動體27升降而使小齒輪相對於齒條升降,藉此使小齒輪旋轉,且伴隨該小齒輪的旋轉使第一限制體36朝上下方向Z滑行移動。
(2)在上述實施形態中,雖然是將容器W設為FOUP(前開式晶圓傳送盒,Front Opening Unified Pod),但是亦可將容器W設為FOSB(前開式晶圓運輸盒,Front Opening Shipping Box)等之其他容器。
(3)在上述實施形態中,雖然支撐體26是以讓開口5朝向突出側(寬度方向第一側Y1)的姿勢來支撐支撐容器WS,但是支撐體26以讓開口5朝向退回側(寬度方向第二側Y2)的姿勢來支撐支撐容器WS亦可。在此情況下,亦可相對於支撐體26中的支撐容器WS而將第一限制體36連結在退回側的部分。
(4)在上述實施形態中,雖然具備有第一限制體36與第二限制體37,但是亦可在第一限制體36與第二限制體37當中僅具備第一限制體36。
(5)再者,上述之各實施形態中所揭示的構成,只要沒有發生矛盾,也可與其他的實施形態中所揭示的構成組合來應用。關於其他的構成,在本說明書中所揭示的實施形態在全部之點上均只不過是例示。從而,在不脫離本發明的主旨之範圍內,可進行適當的、各種的改變。
[實施形態之概要] 以下,針對在上述所說明之物品搬送車的概要進行說明。
一種物品搬送車,具備有:行走部,沿著行走路徑行走;支撐部,支撐容器;及移動機構,使前述支撐部在上下方向視角下,在相對於前述行走路徑交叉的寬度方向上移動,前述移動機構是使前述支撐部移動至突出位置及退回位置,其中前述突出位置是相對於前述行走部在前述寬度方向上突出的位置,前述退回位置是相對於前述突出位置在前述行走部之側的位置,前述支撐部具備從下方支撐前述容器的底面之支撐體、藉由前述移動機構而在前述寬度方向上移動的移動體、及使前述支撐體相對於前述移動體在上下方向上移動的升降機構,前述容器具備有在被前述支撐部所支撐的狀態下在前述寬度方向上開口的本體部、及關閉前述開口的蓋體,前述物品搬送車更具備:落下限制體,限制前述支撐體所支撐的前述容器即支撐容器的前述蓋體落下;及連動機構,使前述支撐體連動於前述落下限制體,前述落下限制體是相對於前述支撐容器的前述蓋體而配置在與前述本體部之側的相反側,且可在限制位置與退避位置移動自如地構成,其中前述限制位置是比前述蓋體的下端更朝上方突出的位置,前述退避位置是比前述蓋體的下端更朝下方退回的位置,前述連動機構是因應於前述支撐體上升而使前述落下限制體從前述退避位置移動到前述限制位置,並且因應於前述支撐體下降而使前述落下限制體從前述限制位置移動到前述退避位置。
根據此構成,從位於行走路徑的側邊之移載對象地點將容器移載至支撐體的情況下,是在使行走部停止在對應於移載對象地點的位置之狀態下,藉由移動機構使支撐部從退回位置移動到突出位置後,在支撐部中藉由升降機構使支撐體相對於移動體上升來將移載對象地點的容器載置到支撐體上,之後,藉由移動機構使支撐體從突出位置移動到退回位置。在這段期間,因應於支撐體相對於移動體而上升,而藉由連動機構使落下限制體從退避位置移動到限制位置。從而,因為在使未支撐有容器的支撐體從退回位置移動到突出位置時,支撐體已下降且落下限制體是位於退避位置,所以能夠抑制落下限制體接觸到位於移載對象地點的容器之情形。並且,因為在使已支撐容器的支撐部從突出位置移動到退回位置時,支撐體已上升且落下限制體位於限制位置,所以可以藉由落下限制體來限制容器的蓋體從本體部脫離而從物品搬送車落下之情形。
又,從支撐體將容器移載至移載對象地點的情況下,是在使行走部停止在對應於移載對象地點的位置之狀態下,藉由移動機構使支撐部從退回位置移動到突出位置後,在支撐部中藉由升降機構使支撐體相對於移動體而下降,以將支撐體上的容器卸下至移載對象地點,之後,藉由移動機構使支撐體從突出位置移動到退回位置。在這段期間,因應於支撐體相對於移動體而下降,而藉由連動機構使落下限制體從限制位置移動到退避位置。從而,因為在使已支撐容器的支撐部從退回位置移動到突出位置時,支撐體已上升且落下限制體位於限制位置,所以可以藉由落下限制體來限制容器的蓋體從本體部脫離而從物品搬送車落下之情形。並且,因為在使未支撐有容器的支撐體從突出位置移動到退回位置時,支撐體已下降且落下限制體是位於退避位置,所以能夠抑制落下限制體接觸到位於移載對象地點的容器之情形。
並且,由於落下限制體是藉由連動機構而連動於支撐體的升降,以移動到限制位置或退避位置,所以不需要用於使落下限制體移動到限制位置或退避位置之專用的驅動裝置,又,也不需要連動於支撐體的升降來控制驅動裝置。從而,可以藉由落下限制體來限制蓋體從物品搬送車落下之情形,並且和具備有用於使落下限制體移動之專用的驅動裝置的情況相較之下,可以謀求物品搬送車之構成的簡單化。
在此,較理想的是,前述落下限制體是以繞著沿前述寬度方向的軸心且擺動自如的方式連結於前述支撐體,且藉由擺動而移動到前述限制位置與前述退避位置,前述連動機構具有連桿機構,且前述連桿機構擺動自如地連結於前述移動體與前述落下限制體之雙方。
根據此構成,可以伴隨於支撐體相對於移動體而升降,來使連桿機構的姿勢改變,藉此使落下限制體移動到限制位置與退避位置。如此,可以藉由連動機構的連桿機構,來連動於支撐體的升降而使落下限制體移動到限制位置或退避位置。
又,較理想的是,前述落下限制體具備:連結部,連結於前述支撐體;限制部,從前述連結部沿著正交於前述寬度方向的第一方向延伸;及擺動部,從前述連結部沿著第二方向延伸,前述第二方向是正交於前述寬度方向並且與前述第一方向交叉的方向,前述限制部具有下述之部分:在前述落下限制體位於前述限制位置的狀態下,比前述支撐容器的前述蓋體之下端更位於上方,並且在前述落下限制體位於前述退避位置的狀態下,比前述支撐容器的前述蓋體之下端更位於下方,前述擺動部在前述限制位置及前述退避位置之雙方中是比前述限制部更位於下方,前述連桿機構具備有連桿體,且前述連桿體相對於前述移動體與前述擺動部之雙方擺動自如地連結。
根據此構成,可因應於支撐體相對於移動體而升降來使連桿體擺動,且藉由該連桿體的擺動而使擺動部擺動,藉此讓限制部上下移動,且使落下限制體移動到限制位置與退避位置。藉由像這樣構成為讓落下限制體與連桿體之雙方擺動,可以利用比較簡單的構成來使該等落下限制體與連桿體連動。
又,較理想的是,將在前述寬度方向中相對於前述退回位置存在有前述突出位置之側設為突出側,前述支撐體是以讓前述開口朝向前述突出側的姿勢來支撐前述支撐容器,前述落下限制體是連結在前述支撐體中的前述突出側之端部。
根據此構成,因為支撐體是以讓開口朝向突出側的姿勢來支撐支撐容器,所以落下限制體是相對於蓋體而配置於突出側。在使未支撐有容器的支撐體從退回位置移動到突出位置的情況下或從突出位置移動到退回位置的情況下,雖然支撐體的突出側之端部是移動到移載對象地點的容器之突出側,但是因為落下限制體是位於退避位置,因此可以避免設置於支撐體的端部之落下限制體干涉到移載對象地點的容器之情形。
又,較理想的是,將前述落下限制體設為第一限制體,且將前述第一限制體成為前述限制位置之前述支撐體的高度設為上升高度,物品搬送車更具備有:第二限制體,限制前述支撐容器的前述蓋體落下;驅動部,使前述第二限制體移動;及中間部,被前述行走部所支撐並且支撐前述移動機構,前述第二限制體在前述支撐部位於前述退回位置的狀態下,是以相對於前述支撐容器的前述蓋體位於與前述本體部之側的相反側的方式被前述中間部所支撐,前述驅動部是使前述第二限制體移動到限制位置與退避位置,其中前述限制位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體比前述蓋體的上端更朝下方突出的位置,前述退避位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體退回到比前述支撐容器的上端更上方的位置。
根據此構成,因為退避位置的第二限制體是比上升高度的支撐體所支撐的支撐容器更位於上方,所以在使支撐體位於上升高度的支撐部移動到退回位置與突出位置的情況下,可以藉由先將第二限制體設成退避位置,以避免第二限制體接觸到支撐容器之情形。並且,在支撐體位於退回位置且位於上升高度時,藉由將第二限制體設成限制位置,可以藉由第二限制體來限制容器的蓋體從本體部脫離而從物品搬送車落下之情形。又,在像這樣使支撐體位於上升高度時,第一限制體也是移動到限制位置。因此,以支撐體位於退回位置且位於上升高度時,藉由第一限制體來擋住蓋體的下部,且藉由第二限制體來擋住蓋體的上部之方式,能夠藉由第一限制體與第二限制體之雙方來限制容器的蓋體從本體部脫離且從物品搬送車落下之情形。
1‧‧‧行走軌道
2‧‧‧物品搬送車
3‧‧‧保管架
5‧‧‧開口
6‧‧‧本體部
7‧‧‧蓋體
8‧‧‧凹部
10‧‧‧保管支撐體
11‧‧‧保管突起部
13‧‧‧行走部
14‧‧‧本體支撐部
16‧‧‧驅動輪
17‧‧‧行走用馬達
19‧‧‧支撐部
20‧‧‧移動機構
21‧‧‧罩體(中間部)
23‧‧‧第一連桿機構
23A‧‧‧基端部
23B‧‧‧前端部
24‧‧‧進退用馬達
26‧‧‧支撐體
26A‧‧‧突起部
27‧‧‧移動體
28‧‧‧升降機構
31‧‧‧第一連桿體
32‧‧‧升降用馬達
33‧‧‧塊體
34‧‧‧滾珠螺桿
36‧‧‧第一限制體(落下限制體)
36A‧‧‧限制部
36B‧‧‧連結部
36C‧‧‧擺動部
37‧‧‧第二限制體
38‧‧‧連動機構
38A‧‧‧連桿機構
38B‧‧‧連桿體
39‧‧‧擺動用馬達
40‧‧‧蓋檢測感測器
D1‧‧‧第一方向
D2‧‧‧第二方向
H‧‧‧控制裝置
W‧‧‧容器
WS‧‧‧支撐容器
X‧‧‧前後方向
X1‧‧‧前後方向第一側
X2‧‧‧前後方向第二側
Y‧‧‧寬度方向
Y1‧‧‧寬度方向第一側(本體側)
Y2‧‧‧寬度方向第二側(相反側、突出側)
Z‧‧‧上下方向
圖1是物品搬送設備的側視圖。 圖2是物品搬送車的局部縱向截面後視圖。 圖3是支撐體為上升高度的物品搬送車的側視圖。 圖4是支撐體為下降高度的物品搬送車的側視圖。 圖5是支撐部為退回位置且支撐體為下降位置的物品搬送車的局部縱向截面後視圖。 圖6是支撐部為突出位置且支撐體為下降位置的物品搬送車的局部縱向截面後視圖。 圖7是支撐部為突出位置且支撐體為上升位置的物品搬送車的局部縱向截面後視圖。 圖8是支撐部為退回位置且支撐體為上升位置的物品搬送車的局部縱向截面後視圖。 圖9是控制方塊圖。 圖10是圖3的部分放大圖。 圖11是圖4的部分放大圖。
Claims (10)
- 一種物品搬送車,具備:行走部,沿著行走路徑行走;支撐部,支撐容器;及移動機構,使前述支撐部在上下方向視角下,在相對於前述行走路徑交叉的寬度方向上移動, 前述移動機構是使前述支撐部移動至突出位置及退回位置,其中前述突出位置是相對於前述行走部在前述寬度方向上突出的位置,前述退回位置是相對於前述突出位置在前述行走部之側的位置, 前述支撐部具備從下方支撐前述容器的底面之支撐體、藉由前述移動機構而在前述寬度方向上移動的移動體、及使前述支撐體相對於前述移動體在上下方向上移動的升降機構, 前述容器具備有在被前述支撐部所支撐的狀態下在前述寬度方向上開口的本體部、及關閉前述開口的蓋體, 前述物品搬送車的特徵在於以下: 前述物品搬送車更具備:落下限制體,限制前述支撐體所支撐的前述容器即支撐容器的前述蓋體落下;及連動機構,使前述支撐體連動於前述落下限制體, 前述落下限制體是相對於前述支撐容器的前述蓋體,配置在與前述本體部之側的相反側,且可在限制位置與退避位置移動自如地構成,其中前述限制位置是比前述蓋體的下端更朝上方突出的位置,前述退避位置是比前述蓋體的下端更朝下方退回的位置, 前述連動機構是因應於前述支撐體上升而使前述落下限制體從前述退避位置移動到前述限制位置,並且,因應於前述支撐體下降而使前述落下限制體從前述限制位置移動到前述退避位置。
- 如請求項1之物品搬送車,其中前述落下限制體是以繞著沿前述寬度方向的軸心且擺動自如的方式連結於前述支撐體,且藉由擺動而移動到前述限制位置與前述退避位置, 前述連動機構具有連桿機構,且前述連桿機構擺動自如地連結於前述移動體與前述落下限制體之雙方。
- 如請求項2之物品搬送車,其中前述落下限制體具備:連結部,連結於前述支撐體;限制部,從前述連結部沿著正交於前述寬度方向的第一方向延伸;及擺動部,從前述連結部沿著第二方向延伸,其中前述第二方向是正交於前述寬度方向並且與前述第一方向交叉的方向, 前述限制部具有下述之部分:在前述落下限制體位於前述限制位置的狀態下,比前述支撐容器的前述蓋體之下端更位於上方,並且在前述落下限制體位於前述退避位置的狀態下,比前述支撐容器的前述蓋體之下端更位於下方, 前述擺動部是在前述限制位置及前述退避位置之雙方中比前述限制部更位於下方, 前述連桿機構具備有連桿體,且前述連桿體相對於前述移動體與前述擺動部之雙方擺動自如地連結。
- 如請求項2之物品搬送車,其中將在前述寬度方向中相對於前述退回位置存在有前述突出位置之側設為突出側, 前述支撐體是以讓前述開口朝向前述突出側的姿勢來支撐前述支撐容器, 前述落下限制體是連結在前述支撐體中的前述突出側之端部。
- 如請求項3之物品搬送車,其中將在前述寬度方向中相對於前述退回位置存在有前述突出位置之側設為突出側, 前述支撐體是以讓前述開口朝向前述突出側的姿勢來支撐前述支撐容器, 前述落下限制體是連結在前述支撐體中的前述突出側之端部。
- 如請求項1之物品搬送車,其中將前述落下限制體設為第一限制體,且將前述第一限制體成為前述限制位置之前述支撐體的高度設為上升高度, 前述物品搬送車更具備有:第二限制體,限制前述支撐容器的前述蓋體落下;驅動部,使前述第二限制體移動;及中間部,被前述行走部所支撐並且支撐前述移動機構, 前述第二限制體是在前述支撐部位於前述退回位置的狀態下,以相對於前述支撐容器的前述蓋體位於與前述本體部之側的相反側的方式被前述中間部所支撐, 前述驅動部是使前述第二限制體移動到限制位置與退避位置,其中前述限制位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體比前述蓋體的上端更往下方突出的位置,前述退避位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體退回到比前述支撐容器的上端更上方的位置。
- 如請求項2之物品搬送車,其中將前述落下限制體設為第一限制體,且將前述第一限制體成為前述限制位置之前述支撐體的高度設為上升高度, 前述物品搬送車更具備有:第二限制體,限制前述支撐容器的前述蓋體落下;驅動部,使前述第二限制體移動;及中間部,被前述行走部所支撐並且支撐前述移動機構, 前述第二限制體是在前述支撐部位於前述退回位置的狀態下,以相對於前述支撐容器的前述蓋體位於與前述本體部之側的相反側的方式被前述中間部所支撐, 前述驅動部是使前述第二限制體移動到限制位置與退避位置,其中前述限制位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體比前述蓋體的上端更朝下方突出的位置,前述退避位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體退回到比前述支撐容器的上端更上方的位置。
- 如請求項3之物品搬送車,其中將前述落下限制體設為第一限制體,且將前述第一限制體成為前述限制位置之前述支撐體的高度設為上升高度, 前述物品搬送車更具備有:第二限制體,限制前述支撐容器的前述蓋體落下;驅動部,使前述第二限制體移動;及中間部,被前述行走部所支撐並且支撐前述移動機構, 前述第二限制體是在前述支撐部位於前述退回位置的狀態下,以相對於前述支撐容器的前述蓋體位於與前述本體部之側的相反側的方式被前述中間部所支撐, 前述驅動部是使前述第二限制體移動到限制位置與退避位置,其中前述限制位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體比前述蓋體的上端更朝下方突出的位置,前述退避位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體退回到比前述支撐容器的上端更上方的位置。
- 如請求項4之物品搬送車,其中將前述落下限制體設為第一限制體,且將前述第一限制體成為前述限制位置之前述支撐體的高度設為上升高度, 前述物品搬送車更具備有:第二限制體,限制前述支撐容器的前述蓋體落下;驅動部,使前述第二限制體移動;及中間部,被前述行走部所支撐並且支撐前述移動機構, 前述第二限制體是在前述支撐部位於前述退回位置的狀態下,以相對於前述支撐容器的前述蓋體位於與前述本體部之側的相反側的方式被前述中間部所支撐, 前述驅動部是使前述第二限制體移動到限制位置與退避位置,其中前述限制位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體比前述蓋體的上端更朝下方突出的位置,前述退避位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體退回到比前述支撐容器的上端更上方的位置。
- 如請求項5之物品搬送車,其中將前述落下限制體設為第一限制體,且將前述第一限制體成為前述限制位置之前述支撐體的高度設為上升高度, 前述物品搬送車更具備有:第二限制體,限制前述支撐容器的前述蓋體落下;驅動部,使前述第二限制體移動;及中間部,被前述行走部所支撐並且支撐前述移動機構, 前述第二限制體是在前述支撐部位於前述退回位置的狀態下,以相對於前述支撐容器的前述蓋體位於與前述本體部之側的相反側的方式被前述中間部所支撐, 前述驅動部是使前述第二限制體移動到限制位置與退避位置,其中前述限制位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體比前述蓋體的上端更朝下方突出的位置,前述退避位置是在前述支撐體位於前述上升高度的狀態下,前述第二限制體退回到比前述支撐容器的上端更上方的位置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017-135617 | 2017-07-11 | ||
JP2017135617A JP6794946B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 物品搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201908220A true TW201908220A (zh) | 2019-03-01 |
TWI743377B TWI743377B (zh) | 2021-10-21 |
Family
ID=65000563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107123846A TWI743377B (zh) | 2017-07-11 | 2018-07-10 | 物品搬送車 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11066284B2 (zh) |
JP (1) | JP6794946B2 (zh) |
KR (1) | KR102466930B1 (zh) |
CN (1) | CN109230307B (zh) |
TW (1) | TWI743377B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI771553B (zh) * | 2018-01-24 | 2022-07-21 | 日商村田機械股份有限公司 | 搬送車 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102167259B1 (ko) * | 2019-04-23 | 2020-10-19 | 시너스텍 주식회사 | 풉 도어의 개방을 방지하는 oht 장치 |
KR102264857B1 (ko) * | 2019-05-21 | 2021-06-14 | 세메스 주식회사 | 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클 |
KR102246806B1 (ko) * | 2019-08-22 | 2021-04-30 | 세메스 주식회사 | 캐리어 이송 장치 |
JP2022101200A (ja) * | 2020-12-24 | 2022-07-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
CN113871335A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-31 | 弥费实业(上海)有限公司 | 横向移载装置、空中运输设备及自动物料搬送系统 |
KR102712311B1 (ko) * | 2023-06-01 | 2024-10-02 | 서울엔지니어링(주) | Euv 레티클 운반용 캐리어 박스 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200218657Y1 (ko) * | 2000-11-02 | 2001-04-02 | 보아기계공업주식회사 | 우편물 하역용 레벨링 장치 |
JP2004315191A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Daifuku Co Ltd | 物品保管設備の落下防止装置 |
JP3981885B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2007-09-26 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
KR101227918B1 (ko) * | 2008-05-22 | 2013-01-30 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천정반송차 |
CN102789132B (zh) * | 2011-01-28 | 2014-07-16 | 家登精密工业股份有限公司 | 具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒 |
SG194979A1 (en) * | 2011-05-17 | 2013-12-30 | Murata Machinery Ltd | Overhead transport carriage |
DE112014003802B4 (de) * | 2013-08-19 | 2020-04-23 | A.H. Jansen Holding B.V. | Vorrichtung und Verfahren zum Unterstützen des Verbringens von Federvieh in Transportbehälter |
JP6102759B2 (ja) * | 2014-01-16 | 2017-03-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送台車 |
JP6064940B2 (ja) * | 2014-04-07 | 2017-01-25 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
WO2015194264A1 (ja) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | 村田機械株式会社 | キャリアの一時保管装置及び一時保管方法 |
JP6327124B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-05-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
-
2017
- 2017-07-11 JP JP2017135617A patent/JP6794946B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-09 KR KR1020180079228A patent/KR102466930B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-10 US US16/031,231 patent/US11066284B2/en active Active
- 2018-07-10 TW TW107123846A patent/TWI743377B/zh active
- 2018-07-11 CN CN201810757273.9A patent/CN109230307B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI771553B (zh) * | 2018-01-24 | 2022-07-21 | 日商村田機械股份有限公司 | 搬送車 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190006921A (ko) | 2019-01-21 |
JP6794946B2 (ja) | 2020-12-02 |
TWI743377B (zh) | 2021-10-21 |
CN109230307B (zh) | 2021-11-30 |
KR102466930B1 (ko) | 2022-11-11 |
US20190016574A1 (en) | 2019-01-17 |
CN109230307A (zh) | 2019-01-18 |
JP2019018924A (ja) | 2019-02-07 |
US11066284B2 (en) | 2021-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW201908220A (zh) | 物品搬送車 | |
TWI661986B (zh) | 物品之支撐裝置及支撐方法 | |
US9312158B2 (en) | Article transport vehicle with linkage mechanism | |
US9815624B2 (en) | Inter-floor transport facility | |
TWI731214B (zh) | 高架搬送車 | |
US20080131249A1 (en) | Article transport facility | |
JP7148825B2 (ja) | ロードポート及びロードポートを備える基板搬送システム | |
TW201819267A (zh) | 物品搬送設備 | |
US20160293464A1 (en) | Linearly Moving and Rotating Device | |
TW202039341A (zh) | 物品搬送車 | |
US20190198370A1 (en) | Article Storage Facility | |
JP5348398B2 (ja) | 自動搬送装置 | |
KR20200106957A (ko) | 반송차 | |
US11834283B2 (en) | Loading system | |
JP2019034834A (ja) | 無人搬送車 | |
JP4706902B2 (ja) | 搬送車及び物品の移載方法 | |
KR20180077734A (ko) | 기판이송장치 | |
CN116419877A (zh) | 空中保管系统 | |
JP2017208437A (ja) | 物品搬送設備 | |
JP2022182775A (ja) | 物品収容設備 | |
TW202144257A (zh) | 物品搬送設備 | |
TW202130564A (zh) | 物品收納設備 | |
JP7537399B2 (ja) | 物品移載装置 | |
JP7342841B2 (ja) | 搬送車 | |
US20220371866A1 (en) | Article Transport Facility |