TW201836819A - 薄膜成形裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠進一步提高薄膜的厚度的均勻性之薄膜成形裝置。本發明的薄膜成形裝置具備：模具，從環狀的吐出口(18a)將熔融樹脂呈管狀擠出；及膜厚調節部(2)，調節從吐出口(18a)擠出之熔融樹脂的膜厚。模具包括界定吐出口(18a)的外周之外周構件(14)。膜厚調節部(2)包括：複數個調節單元(16)，設置於外周構件(14)的周圍，並調節吐出口(18a)的徑方向的寬度；冷卻裝置(3)，配置於外周構件(14)及複數個調節單元(16)的上方，並向從吐出口(18a)擠出之熔融樹脂噴吹冷卻風；及閉塞構件(66)，抑制空氣從冷卻裝置(3)與外周構件(14)之間流入熔融樹脂。

Description

薄膜成形裝置

本發明係有關一種薄膜成形裝置。

已知有一種薄膜成形裝置，係藉由來自空氣冷卻環的冷卻風使從模具的環狀的吐出口呈管狀擠出之熔融樹脂固化而成形為薄膜。以往，提出一種薄膜成形裝置，係對界定環狀的吐出口的外周之模具的外周構件利用螺栓進行按壓而讓其彈性變形，藉此使吐出口的寬度局部地變化(專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　專利文獻1：日本特開平3-216324號公報

(本發明所欲解決之課題) 　　上述之習知薄膜成形裝置能夠在周方向上局部地控制薄膜的厚度，因此能夠提高薄膜的厚度的均勻性。然而，沒有克服針對進一步高之均勻性之要求。 　　本發明係鑑於此種情形而完成者，其目的在於提供一種能夠進一步提高薄膜的厚度的均勻性之薄膜成形裝置。 (用以解決課題之手段) 　　為了解決上述課題，本發明之一態樣的薄膜成型裝置係具備：模具，從環狀的吐出口將熔融樹脂呈管狀擠出；及膜厚調節部，調節從吐出口擠出之熔融樹脂的膜厚。模具包括界定吐出口的外周之外周構件。膜厚調節部包括：複數個調節單元，設置於外周構件的周圍，並調節吐出口的徑方向的寬度；冷卻裝置，配置於外周構件及複數個調節單元的上方，並向從吐出口擠出之熔融樹脂噴吹冷卻風；及閉塞構件，抑制空氣從冷卻裝置與外周構件之間流入熔融樹脂。 　　另外，以上構成要件的任意的組合、或本發明的構成要件和表現方式在方法、裝置、系統等之間相互置換，作為本發明的態樣亦係有效的。 (發明之效果) 　　依本發明，能夠進一步提高薄膜的厚度的均勻性。

以下，對各圖示中所示之相同或同等的構成要件、構件標註相同的符號，並適當省略重複之說明。並且，為了容易理解，適當放大縮小表示各圖示中的構件的尺寸。並且，在各圖示中，省略表示說明在實施形態方面並非重要之構件的一部分。 (第1實施形態) 　　圖1表示第1實施形態之薄膜成形裝置1的概略構成。薄膜成形裝置1用於成形管狀的薄膜。薄膜成形裝置1具備：模具10、膜厚調節部2、一對穩定板4、一對夾送輥5、厚度感測器6、控制裝置7。 　　模具10將由擠製機(未圖示)供給之熔融樹脂成形為管狀。尤其，模具10藉由從環狀的狹縫18(圖2中後述)擠出熔融樹脂來將熔融樹脂成形為管狀。膜厚調節部2一邊調節膜厚，一邊對從模具10所擠出之熔融樹脂進行冷卻。熔融樹脂被冷卻而成形為薄膜。 　　一對穩定板4配置於模具10及膜厚調節部2的上方，且向一對夾送輥5之間引導所成形之薄膜。夾送輥5配置於穩定板4的上方，將被引導之薄膜往上拉並將其扁平地折疊。折疊後之薄膜藉由捲繞機(未圖示)進行捲繞。 　　厚度感測器6配置於模具10及膜厚調整部2與穩定板4之間。厚度感測器6一邊繞著管狀的薄膜轉動一邊測定薄膜的厚度。厚度感測器6所產生之測定結果被發送至控制裝置7。控制裝置7向膜厚調節部2發送與從厚度感測器6接收之測定結果對應之控制指令。膜厚調節部2接收該控制指令，以厚度的不均變小之方式，調節狹縫18(尤其其吐出口)的寬度。 　　圖2係表示模具10及膜厚調節部2之剖面圖。圖3係表示模具10及膜厚調節部2的俯視圖。圖3中，省略冷卻裝置3的表示。並且，圖3中，以半透明表示支撐構件58及閉塞構件66。 　　模具10包括模具本體11、內周構件12、外周構件14。內周構件12係載置於模具本體11的上表面之大致圓柱狀的構件。外周構件14係環狀的構件，且環繞內周構件12。在內周構件12與外周構件14之間，形成呈環狀且朝上下方向延伸之狹縫18。熔融樹脂朝向上側流經該狹縫18，且熔融樹脂從狹縫18的吐出口(亦即上端開口)18a擠出，形成與吐出口18a的寬度對應之厚度的薄膜。 　　在模具本體11的外周安裝有複數個加熱器56。並且，在外周構件14的下部(具體而言為後述的大徑部27)的外周與外周構件14的上部(具體而言為後述的小徑部25)的外周亦安裝有加熱器56。模具本體11及外周構件14藉由加熱器56加熱成所需的溫度。藉此，能夠將流經模具10的內部之熔融樹脂保持為適當的溫度及熔融狀態。 　　膜厚調節部2包括冷卻裝置3、複數個(在此為32個)調節單元16、支撐構件58、閉塞構件66。 　　冷卻裝置3具備空氣冷卻環8及環狀的整流構件9。空氣冷卻環8係內周部向下方凹陷之環狀的殼體。在空氣冷卻環8的內周部形成有在上側開口之環狀的吹出口8a。尤其，吹出口8a形成為與以中心軸A為中心之環狀的狹縫18同心。 　　另外，在以下的說明，將與中心軸A平行之方向設為軸方向，將在與中心軸A垂直之平面上通過中心軸A之任意的方向設為半徑方向，將在徑方向上接近中心軸A之一側設為內周側，將遠離中心軸A之一方設為外周側，將在與中心軸A垂直之平面上沿著以中心軸A為中心之圓的圓周之方向設為周方向。 　　在空氣冷卻環8的外周部，在周方向等間隔形成有複數個軟管口8b。在複數個軟管口8b的每一個連接有軟管(未圖示)，冷卻風經由該軟管從鼓風機(未圖示)送入空氣冷卻環8內。送入空氣冷卻環8內之冷卻風從吹出口8a吹出而噴吹於熔融樹脂。 　　整流構件9包圍著吹出口8a地配置於空氣冷卻環8內。整流構件9對送入空氣冷卻環8內之冷卻風進行整流。藉此，冷卻風在周方向以均勻的流量、風速從吹出口8a吹出。 　　複數個調節單元16以圍繞外周構件14的上端側之方式在周方向例如等間隔地配置。尤其，調節單元16以懸臂狀安裝於外周構件14。複數個調節單元16分別能夠對外周構件14賦予向徑方向內側的按壓荷重或向徑方向外側的拉伸荷重。因此，藉由調節複數個調節單元16，能夠在周方向上局部地調節吐出口18a的寬度，且能夠在周方向上局部地控制薄膜的厚度。在薄膜中產生厚度的不均之情況下，例如，從與壁厚較薄之部分對應(例如位於壁厚較薄之部分的下方)之調節單元16對外周構件14賦予拉伸荷重，加大壁厚較薄之部分的下方的吐出口18a的間隙。藉此，使薄膜厚度的不均變小。 　　支撐構件58係剖面為大致矩形狀的環狀的構件，以環繞著外周構件14的上部載置並固定於複數個調節單元16。在支撐構件58的上方固定有冷卻裝置3。亦即，支撐構件58支撐冷卻裝置3。 　　閉塞構件66係環狀的構件，並設置於空氣冷卻環8的內周部與複數個調節單元16之間。結合圖9，閉塞構件66的詳細的功能構成如後述。 　　圖4、圖5係表示外周構件14的上部與安裝於其之調節單元16之立體圖及側視圖。圖4、圖5中，僅表示1個調節單元16，且省略剩餘的調節單元16的表示。圖6、圖7係表示調節單元16之立體圖。圖7中，表示拆卸一對支撐構件30的一方後之狀態。 　　外周構件14的上部具有：小徑部25，形成於上端；中徑部26，在小徑部25的下方形成比小徑部25更大之直徑；及大徑部27，在中徑部26的下方形成比中徑部26更大之直徑。小徑部25具有撓性唇部22。撓性唇部22係指比沿著周方向設置之凹狀的缺口部20更靠上側的小徑部25的部分。撓性唇部22以缺口部20為邊界而產生彈性變形。撓性唇部22包括：圓筒狀的本體部28、以及從本體部28向徑方向外側突出之環狀的突出環繞部29。 　　調節單元16包括：一對支撐構件30，安裝於外周構件14；轉動軸32，固定於一對支撐構件30；槓桿34，被支撐為能夠以轉動軸32為支點而轉動；動作桿36，接受槓桿34所致之旋轉力而沿軸線方向動作；連結構件38，沿軸線方向連結動作桿36與撓性唇部22；軸承構件40，將動作桿可沿軸線方向滑動地支撐；及致動器24，對槓桿34賦予旋轉力。 　　一對支撐構件30形成為平板狀，且彼此成平行地螺絲固定於外周構件14。在一對支撐構件30之間設置有用以讓槓桿34介入之空間。軸承構件40形成為長方體狀，且在支撐構件30的徑方向內側利用螺絲固定於外周構件14。在軸承構件40形成有貫穿徑方向之插穿孔42。插穿孔42的內周面構成所謂滑動軸承(無供油型的軸承)，且將動作桿36可滑動地支撐。 　　轉動軸32以其軸朝向水平方向且與徑方向大致正交地固定於一對支撐構件30。 　　動作桿36形成為具有段差之圓柱狀，且其中間部插穿於軸承構件40的插穿孔42。在動作桿36的徑方向外側設置有縮徑部44。如後所述，縮徑部44可發揮與槓桿34的連結部之功能。在動作桿36的徑方向內側設置有凹狀的卡合部46。如後所述，卡合部46可發揮與連結構件38的連接部之功能。撓性唇部22的突出環繞部29的外周面(以下，稱為“受壓面23”)與動作桿36的前端面相對。 　　從縱剖面觀察時連結構件38形成為分叉形狀。具體而言，在連結構件38，在軸方向與外周構件14相對之面上設置有向下側突出之卡合部48、50。卡合部48與動作桿36的卡合部46呈大致互補形狀。並且，在撓性唇部22的突出環繞部29形成有朝軸方向下方凹陷之環狀的卡合槽52。卡合部50與該卡合槽52呈大致互補形狀。 　　以卡合部48在卡合部46且卡合部50卡合在卡合槽52地將動作桿36與連結構件38螺絲固定。卡合部48與卡合部46的彼此的相對面設為錐面。藉此，隨著鎖緊螺絲54，使動作桿36的前端面緊壓於撓性唇部22的受壓面23，使動作桿36與撓性唇部22牢牢固定在一起。藉由連結構件38的卡合部50與動作桿36的前端部夾住撓性唇部22的一部分。藉此，使動作桿36在其軸線方向與撓性唇部22連接。 　　槓桿34具有沿徑方向延伸之長條板狀的本體60，其一端部係藉由轉動軸32可轉動地支撐。槓桿34設置成在非動作的狀態下，使本體60和動作桿36大致平行。並且，以從本體60的一端部朝與該本體60的軸線垂直的方向延伸地設置有分叉形狀的連結部62。亦即，連結部62由一對連結片64構成，且構成為使其等的間隔比動作桿36的縮徑部44的外徑稍大，其等的寬度比縮徑部44的長度稍小。藉由此種構成，以連結部62嵌合在縮徑部44之態樣使槓桿34與動作桿36連結。 　　另外，只要構成為使槓桿34的旋轉力直接賦予動作桿36即可，並不限定於本實施形態。例如，連結部62亦可以構成為不從本體60的軸線朝垂直方向延伸。本體60的軸線與連結部62的延伸方向亦可以呈銳角，或者呈鈍角。並且槓桿34可以設為在非動作的狀態下，使本體60不與動作桿36平行。 　　致動器24在本實施形態中係氣壓驅動式，且包括：藉由壓縮空氣的供排而動作之兩組的波紋管70、72和波紋管71、73、第1基座75、配置於第1基座75的軸方向下側之第2基座76、及4根連結棒77。第1基座75與第2基座76係在軸方向上分開配置，且藉由4根連結棒77連結。在槓桿34與第1基座75之間配置有波紋管70、72，且在槓桿34與第2基座之間配置有波紋管71、73。亦即，槓桿34的成為施力點之端部，係以被夾在波紋管70、72和波紋管71、73之間之方式被支撐。藉由對波紋管70、72或波紋管71、73的一方供給壓縮空氣，使槓桿34朝圖中順時針或逆時針方向被旋轉驅動。 　　圖5中，若藉由壓縮空氣的供給對波紋管70、72賦予壓力而使波紋管70、72伸長，槓桿34朝圖中逆時針方向轉動，其旋轉力轉換為朝向動作桿36的軸線方向左側(亦即徑方向外側)的力。其結果，對於撓性唇部22賦予拉伸荷重，使對應之(亦即該調節單元16的徑方向內側的)狹縫18的吐出口18a的部分的間隙朝增大之方向變化。另一方面，若藉由壓縮空氣的供給對波紋管71、73賦予壓力而使波紋管71、73伸長，槓桿34朝圖中順時針方向轉動，其旋轉力轉換為朝向動作桿36的軸線方向右側(亦即徑方向內側)的力。其結果，對於撓性唇部22賦予按壓荷重，使對應之狹縫18的部分的間隙朝縮小之方向變化。 　　為了實現此種氣壓驅動，壓縮空氣從未圖示的壓力調整裝置經由形成於第1基座75之供給路75a或供給於第2基座76之供給路76a而供給。壓力調整裝置根據來自調節動作控制部83(後述)的控制指令，控制波紋管70～73內的壓力。 　　圖8係用以說明調節單元16的動作之說明圖。圖8(A)表示調節單元16的中立狀態(波紋管70～73均為非動作的狀態)，圖4(B)表示調節單元16的擴開動作狀態(僅波紋管70、72動作之狀態)。 　　藉由調節單元16，使槓桿34的旋轉力在作用點P上可直接賦予動作桿36。亦即，槓桿34的旋轉力作為動作桿36的軸線方向的力而賦予撓性唇部22。此時，動作桿36藉由外周構件14被穩定地支撐，因此該軸線方向的力可效率良好地傳遞至撓性唇部22。其結果，能夠讓用以調整內周構件12與外周構件14之間的間隙之驅動力有效地起作用。 　　本實施形態中，如圖8(A)所示構成為使連結槓桿34與動作桿36的連接點(槓桿34的作用點P)和轉動軸32(槓桿34的支點)之直線L1與動作桿36的軸線L2正交。藉此，以轉動軸32為中心使通過作用點P之假想圓C的切線方向與動作桿36的軸線方向一致。 　　因此，如圖8(B)所示，槓桿34的旋轉力的作用點P的方向與動作桿36的軸線方向一致。其結果，槓桿34的旋轉力就那樣成為動作桿36的軸線方向的驅動力，能夠最大限度地提高力的傳遞效率。亦即，能夠讓使撓性唇部22進行擴開動作時的致動器24的驅動力極有效率地作用(參照圖中粗線箭頭)。 　　雖省略圖示，但是在調節單元16的縮窄動作狀態(僅波紋管71、73動作之狀態)下，只是與圖8(B)中的力的方向相反，槓桿34的旋轉力的作用點P的方向與動作桿36的軸線方向仍會一致。其結果，與擴開動作時同樣地，槓桿34的旋轉力直接成為動作桿36的軸線方向的驅動力，且能夠最大限度地提高力的傳遞效率。亦即，藉由調節單元16，能夠讓用以調整狹縫18的吐出口18a的間隔之驅動力有效率地作用。 　　另外，只要構成為使槓桿34的旋轉力直接賦予動作桿36即可，並不限定於本實施形態。例如亦可構成為使連結部62的延伸方向(連結轉動軸32與作用點P之方向)與動作桿36的軸線方向呈銳角或鈍角之結果，使槓桿34的旋轉力的作用點P上的方向(為方便起見，亦稱為“旋轉力作用方向”)與動作桿36的軸線方向(為方便起見，亦稱為“軸線力作用方向”)不一致。此情況下，可以是本體60與動作桿36平行，且本體60的軸線與連結部62的延伸方向呈銳角或鈍角者。或者可以是本體60的軸線與連結部62的延伸方向呈直角，且本體60與動作桿36非平行者。或者可以是本體60的軸線與連結部62的延伸方向呈銳角或鈍角，且本體60與動作桿36非平行者。此外，作為本體60，亦可採用在至少一部分具有彎折部或彎曲部者(不一定能夠界定軸線之構成)。 　　圖9係表示調節單元16與其周邊之剖面圖。圖10係表示應與實施形態進行比較之比較例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。比較例之薄膜成形裝置不具有閉塞構件66。 　　從空氣冷卻環8的吹出口8a朝上吹起冷卻風，藉此吹出口8a的下方的空間90，亦即被空氣冷卻環8、熔融樹脂及複數個調節單元16包圍之空間90成為負壓。藉此，在圖10的比較例中，空氣通過外周構件14的撓性唇部22的本體部28與空氣冷卻環8的內周部之間的環狀的間隙84從空氣冷卻環8的下方流入空間90，並噴吹於熔融樹脂。具體而言，空氣從調節單元16的下方或/和外周側通過調節單元16之間的複數個(在此為32)間隙而流入空氣冷卻環8與複數個調節單元16之間的空間88，且空氣從其空間88流入空間90。調節單元16之間的間隙在周方向不連續，因此流入空間88之空氣的風量在周方向不均，因此空氣從空間88流入空間90之風量亦在周方向上不均。若在周方向風量不均勻之風噴吹於熔融樹脂，則熔融樹脂固化之時機在周方向變得不均勻，薄膜的厚度在周方向變得不均勻。 　　圖9的本實施形態中，在空氣冷卻環8的內周部與調節單元16之間設置有閉塞構件66。閉塞構件66係扁平之環狀的構件。換言之，閉塞構件66係在中央形成有孔之較薄之圓板狀的構件。閉塞構件66藉由隔熱性比較高之材料來形成較佳。以往，為了抑制來自模具10的輻射熱傳遞至空氣冷卻環8內的空氣，在空氣冷卻環8的下表面8c貼附了隔熱板，但這變得不必要。或者，在空氣冷卻環8的下表面8c貼附隔熱板，進而藉由隔熱性比較高之材料來形成閉塞構件66，從而能夠進一步抑制來自模具10的輻射熱傳遞至空氣冷卻環8內的空氣。閉塞構件66載置於調節單元16的軸承構件40，並藉由螺絲固定等固定於軸承構件40。閉塞構件66藉由固定於軸承構件40來限制徑方向的移動。另外，閉塞構件66可以固定於空氣冷卻環8的下表面8c。該情況下，還能夠形成閉塞構件66，以進一步縮小閉塞構件66的外徑，亦即閉塞構件66整體位於軸承構件40的內周側。 　　閉塞構件66構成為堵住間隙84。換言之，閉塞構件66構成為從外周構件14及複數個調節單元16與空氣冷卻環8之間，通過空氣冷卻環8的內周側堵住朝向空氣冷卻環8的上方之流路。具體而言，閉塞構件66的下表面66a與外周構件14的撓性唇部22的本體部28的上表面28a抵接，上表面66b與空氣冷卻環8的內周部的下表面8c抵接。藉由閉塞構件66來限制空氣流入空間90。另外，雖然閉塞構件66與撓性唇部22抵接，但並未固定於撓性唇部22，因此撓性唇部22受到來自調節單元16的荷重而可能發生彈性變形。 　　圖11係模式表示控制裝置7的功能及構成之方塊圖。在此所示之各方塊在硬體上能夠由以計算機的CPU為代表之元件或機械裝置來實現，在軟體上能夠由計算機程式等來實現，在此，描繪藉由其等的整合來實現之功能方塊。因此，本領域技術人員能夠理解，這些功能方塊可藉由硬體、軟體的組合而以各種形式實現。 　　控制裝置7包括：保持部80、取得部81、決定部82及調節動作控制部83。取得部81取得厚度感測器6所產生之測定結果。保持部80將薄膜的厚度與調節單元16應施加於外周構件14之荷重建立對應關聯予以保持。更具體而言，保持部80將薄膜的厚度與為了使具有該厚度之薄膜成為目標的厚度而調節單元16應施加於外周構件14之荷重建立對應關聯予以保持。 　　決定部82決定為了縮小厚度的不均而各調節單元16應對外周構件14賦予之荷重。尤其，決定部82參照藉由厚度感測器6所測定之厚度與保持部80，而決定應對外周構件14賦予之荷重。並且，決定部為了使所決定之荷重賦予外周構件14，係算出要將調節單元16的波紋管70~73的壓力控制為多少。調節動作控制部83以波紋管70～73的壓力成為藉由決定部82所算出之壓力之方式，對壓力調整裝置發送控制指令。 　　對如上構成之薄膜成形裝置1的動作進行說明。 　　從模具10的吐出口18a擠出熔融樹脂。冷卻裝置3向所擠出之熔融樹脂噴吹冷卻風。此時，雖然吹出口8a的下方的空間90成為負壓，但間隙84被閉塞構件66堵住，因此抑制空氣流入空間90。控制裝置7藉由厚度感測器6所產生之測定結果來掌握薄膜的厚度的不均，且以縮小其厚度的不均之方式控制膜厚調節部2的各調節單元16。 　　以上，依所說明之本實施形態之薄膜成形裝置1，空氣冷卻環8的內周部與撓性唇部22的本體部28的間隙84被閉塞構件66堵住。藉此，即使空間90成為負壓，亦能夠抑制空氣流入空間90，且在圓周方向能夠使薄膜的厚度比較均勻。 　　並且，依本實施形態之薄膜成形裝置1，閉塞構件66藉由固定於調節單元16的軸承構件40來限制徑方向的移動。藉此，能夠抑制閉塞構件66的位置偏離而開放間隙84。 (第2實施形態) 　　圖12係表示第2實施形態之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。本實施形態中，膜厚調節部2包括罩體166來代替閉塞構件66。罩體166係剖面為大致L字狀的環狀的構件，且具有從圓筒部166a與其下端沿徑方向內側延伸之環狀的底部166b。圓筒部166a環繞模具10及複數個調節單元16。圓筒部166a的上端與空氣冷卻環8的外周部的下表面抵接。底部166b位於複數個調節單元16的下方。底部166b的內周與外周構件14的外周面抵接。罩體166例如底部166b壓入於外周構件14，或者藉由間隙配合來接著固定。 　　依本實施形態之薄膜成形裝置，複數個調節單元16的下方及外周側被罩體166覆蓋，因此亦即從複數個調節單元16的下方及外周側朝向複數個調節單元16與空氣冷卻環8之間之流路被堵住，因此即使空間90成為負壓，亦不會產生從複數個調節單元16的下方或外周側通過空氣冷卻環8與複數個調節單元16之間、間隙84朝向空間90之空氣的流動。亦即，依本實施形態之薄膜成形裝置，能夠抑制在周方向風量不均勻之風流入空間90，且在圓周方向能夠使薄膜的厚度比較均勻。 (第3實施形態) 　　圖13係表示第3實施形態之薄膜成形裝置的模具10及膜厚調節部2之剖面圖。圖14係表示模具10及膜厚調節部2的俯視圖。圖14中，省略冷卻裝置3的表示。並且，圖14中，以半透明表示支撐構件58及整流部形成構件67。 　　膜厚調節部2包括冷卻裝置3、複數個(在此為32個)調節單元16、支撐構件58及整流部形成構件67。 　　支撐構件58係環狀的構件，以環繞著外周構件14的上部地載置並固定於複數個調節單元16。如後述，在支撐構件58的上方固定有冷卻裝置3。 　　整流部形成構件67係環狀的構件，且設置於空氣冷卻環8的內周部與複數個調節單元16之間。結合圖15，整流部形成構件67的詳細的功能構成如後述。 　　圖15係表示空氣冷卻環8的吹出口8a與其周邊之剖面圖。圖16係表示應與本實施形態進行比較之比較例之薄膜成形裝置的空氣冷卻環8的吹出口8a與其周邊之剖面圖。不同於本實施形態之薄膜成形裝置1，比較例之薄膜成形裝置不具備整流部形成構件67。 　　首先，對圖16的比較例進行說明。外周構件14的中徑部26的上表面26a位於比小徑部25的上表面亦即撓性唇部22的本體部28的上表面28a更靠外周側且下側。大徑部27的上表面27a位於比中徑部26的上表面26a更靠外周側且下側。以中心軸A(圖15中未圖示)為中心之環狀的間隙92存在於該中徑部26的上表面a及大徑部27的上表面27a與空氣冷卻環8的下表面8c之間。間隙92通往模具10的外部與空間90。空間90係空氣冷卻環8的吹出口8a的下方的空間，係被空氣冷卻環8、外周構件14(尤其撓性唇部22的本體部28)、應從吐出口18a擠出之熔融樹脂包圍之空間。間隙92構成將該空間90連接在模具10的外部的空間之流路85。 　　藉由從空氣冷卻環8的吹出口8a朝上吹起冷卻風，使空間90成為負壓。藉此，空氣從外周構件14的外部通過流路85流入至空間90，流入之空氣噴吹於熔融樹脂。 　　在此，複數個調節單元16進入流路85(亦即間隙92)。具體而言，以調節單元16的槓桿34、動作桿36、連結構件38及軸承構件為代表之調節單元16的各種構成要件進入流路85。該等各種構成要件在周方向上不連續存在。因此，從模具10的外部流入之空氣可通過之流路85內的空間在周方向上變得不均勻。因此，通過流路85流入空間90之空氣中，風量在周方向變得不均勻。若風量在周方向不均勻之空氣噴吹於熔融樹脂，則熔融樹脂固化之時機在周方向變得不均勻，薄膜的厚度在周方向變得不均勻。 　　還考慮在此種風量在周方向不均勻之空氣不流入空間90之方式堵住間隙92，但如此一來，空間90成為負壓。熔融樹脂中，在其內側，從形成於內周構件12之未圖示的吹出口噴吹用於使熔融樹脂膨脹之空氣。因此，若空間90成為負壓，則熔融樹脂有可能會因噴吹於內側之空氣振盪。若熔融樹脂振盪，則薄膜的厚度可能會在周方向上變得不均勻。 　　接著，對圖15的本實施形態進行說明。本實施形態中，在空氣冷卻環8的內周部與調節單元16之間設置有整流部形成構件67。整流部形成構件67係扁平之環狀的構件。換言之，整流部形成構件67係在中央形成有孔之較薄之圓板狀的構件。以內周側載置於撓性唇部22的本體部28的上表面28a且外周側載置於調節單元16的軸承構件40之狀態，整流部形成構件67藉由螺絲固定固定於軸承構件40。整流部形成構件67藉由固定於軸承構件40來限制徑方向的移動。空氣冷卻環8的下表面8c與整流部形成構件67的上表面67a構成剖面形狀在周方向上相同之流路亦即整流部78。具體而言，空氣冷卻環8的下表面8c劃定整流部78的上表面，整流部形成構件67的上表面67a劃定整流部78的下表面。流過流路85內之空氣藉由流過該整流部78而被整流，風量在周方向被均勻化。 　　並且，本實施形態中，在支撐構件58的外周面形成有外螺紋58c。空氣冷卻環8具有向下側突出之環狀的突出部8d，在該突出部8d的內周面形成有與支撐構件58的外螺紋對應之內螺紋8e。藉由圍繞空氣冷卻環8整體且將空氣冷卻環8螺合於支撐構件58，空氣冷卻環8固定於支撐構件58。藉由調節空氣冷卻環8的螺合量並調節空氣冷卻環8的軸方向的高度位置，能夠調整整流部78的軸方向的厚度。具體而言，若增多螺合量，則空氣冷卻環8下降而整流部78的軸方向的厚度變薄，若減少螺合量，則空氣冷卻環8上升而整流部78的軸方向的厚度變厚。整流部78的軸方向的厚度只要依據實驗和見解，決定可得到所希望的整流效果之厚度即可。另外，若改變空氣冷卻環8的軸方向的高度位置，則吹出口8a的高度位置亦發生變化，因此亦會對固化位置帶來影響。因此，只要一併考慮此來決定整流部78的軸方向的厚度即可。 　　對如上構成之薄膜成形裝置的動作進行說明。 　　從模具10的吐出口18a擠出熔融樹脂。冷卻裝置3向所擠出之熔融樹脂噴吹冷卻風。此時，空氣從外周構件14的外部通過包括整流部78之流路85流入吹出口8a的下方的空間90。控制裝置7藉由厚度感測器6所產生之測定結果來掌握薄膜的厚度的不均，且以縮小其厚度的不均之方式控制膜厚調節部2的各調節單元16。 　　以上，依所說明之本實施形態之薄膜成形裝置1，被整流部78整流，且風量在周方向上變得比較均勻之空氣流入空間90，並噴吹於熔融樹脂。亦即，風量在周方向變得不均勻之空氣流入空間90，或空間90不會成為負壓，因此能夠在周方向使薄膜的厚度比較均勻。 　　並且，依實施形態之薄膜成形裝置1，調節相對於空氣冷卻環8的支撐構件58之螺合量並調節空氣冷卻環8的高度位置，藉此能夠調節整流部78的軸方向的厚度，以得到所希望的整流效果。 　　以上，對實施形態之薄膜成形裝置的構成與動作進行了說明。這些實施形態係例示，本領域技術人員能夠理解，該等各構成要件的組合能夠有各種變形例，並且這些變形例亦屬於本發明的範圍。 (第1變形例) 　　圖17係表示第1變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖17與圖9對應。本變形例中，閉塞構件66之外徑形成比實施形態大，且到達至位於比軸承構件40更靠徑方向外側之支撐構件58。閉塞構件66載置於支撐構件58，且藉由螺絲固定等固定於支撐構件58。支撐構件58具有從其上表面58a向上側突出之環狀的突出部58b。閉塞構件66藉由突出部58b來限制徑方向的移動。依本變形例之薄膜成形裝置，能夠發揮與藉由第1實施形態之薄膜成形裝置1所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第2變形例) 　　圖18係表示第2變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖18與圖9對應。本變形例中，閉塞構件66包括第1部分66c和第2部分66d。第1部分66c與第1實施形態和第1變形例的閉塞構件66對應。第2部分66d係具有開放內周側之大致橫向的U字狀的剖面形狀之環狀的構件。第2部分66d收容複數個調節單元16，且內周側的開放部分被空氣冷卻環8及外周構件14堵住地固定於空氣冷卻環8及外周構件14。支撐構件58與閉塞構件66一體形成。當然，支撐構件58亦可以與閉塞構件66分體形成。 　　依本變形例之薄膜成形裝置，能夠發揮與藉由第1實施形態之薄膜成形裝置1所發揮之作用效果相同之作用效果。除此以外，依本變形例之薄膜成形裝置，調節單元16之間的複數個不連續之間隙被閉塞構件66的第2部分66d覆蓋。藉此，從一開始便不會產生通過該等不連續之間隙之空氣的流動，亦即在周方向風量不均勻之空氣的流動。因此，依本變形例，能夠進一步確實地抑制風量在圓周方向不均勻之空氣流入空間90。 (第3變形例) 　　圖19係表示第3變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖19與圖9對應。本變形例中，閉塞構件66係如上側使直徑變大地形成之褶皺狀的伸縮構件，上端固定於空氣冷卻環8的內周部，下端固定於撓性唇部22的本體部28。閉塞構件66進行伸縮，因此即使將閉塞構件66固定在撓性唇部22，撓性唇部22亦會發生彈性變形。依本變形例，閉塞構件66固定於空氣冷卻環8與撓性唇部22，因此能夠確實地堵住間隙84。 (第4變形例) 　　圖20係表示第4變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖20與圖2對應。圖21係表示圖20的調節單元的構成之局部放大剖面圖。圖20與圖8(A)對應。本變形例中，連結部62的延伸方向(連結轉動軸32與作用點P之方向)與本體60的軸線呈鈍角，在槓桿34非動作的狀態下，本體60的軸線不與動作桿36的軸線平行。因為是利用致動器的旋轉力對外周構件14賦予荷重，能夠構成為如此之本體60的軸線不與動作桿36的軸線平行。該情況下，調節單元16的配置自由度提高。 (第5變形例) 　　圖22係表示第5變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖22與圖2對應。圖23係表示圖22的調節單元16的構成之局部放大剖面圖。圖23與圖8(A)對應。本變形例中，調節單元16配置成朝向軸方向上側而對外周構件14賦予荷重。依本變形例之薄膜成形裝置，能夠發揮與藉由各實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第6變形例) 　　圖24係表示第6變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖24與圖18及圖22對應。亦即，本變形例係在圖22的第5變形例的模具10及調節單元16的構成中應用了圖18的第2變形例的閉塞構件66之構成。依本變形例，能夠發揮與藉由第2變形例之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第7變形例) 　　圖25係表示第7變形例之薄膜成形裝置的調節單元16與其周邊之剖面圖。圖25與圖12及圖20對應。亦即，本變形例係在圖20的第4變形例的模具10及調節單元16的構成中應用了圖12的第2實施形態的罩體166之構成。依本變形例，能夠發揮與藉由第2實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第8變形例) 　　可以在複數個調節單元16的軸承構件40之間不產生間隙地進行密封之後，使複數個軸承構件40的上表面與空氣冷卻環8的下表面8c抵接，以代替設置第1實施形態的閉塞構件66。另外，可以將複數個軸承構件40更換成具有如複數個軸承構件40成一體之形狀之圓環狀的軸承構件，以代替密封軸承構件40之間的間隙。依本變形例，能夠發揮與藉由第1實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第9變形例) 　　第1實施形態及第4變形例中，對閉塞構件66藉由軸承構件40來限制徑方向的移動之情況進行了說明，但並不限於此，閉塞構件66亦可以藉由調節單元16的其他構件來限制徑方向的移動。並且，可以藉由構成為閉塞構件66並不固定於軸承構件40或調節單元16的其他構件，且其外周與軸承構件40或調節單元16的其他構件碰撞來限制徑方向的移動。 (第10變形例) 　　圖26係表示第10變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。圖26與圖9對應。本變形例中，撓性唇部22的本體部28在其上端外縁形成有向下側凹陷之環狀的凹部94。作為一例，小徑部25的厚度基本上被設為6.5mm，在小徑部25的撓性唇部22的本體部28中的徑方向外側形成有凹部94之部分的厚度被設為4.5mm。 　　閉塞構件66形成為內徑比凹部94的底面94a的內徑(本體部28的上表面28a的外徑)大，且比底面94a的外徑小。閉塞構件66設置成下表面66a的內周側端部與凹部94的底面94a抵接(載置)，且與圖17的例子同地下表面66a的外周側端部與支撐構件58抵接(載置)。 　　外周構件14的本體部28及閉塞構件66構成為相對於規定的基準面之閉塞構件66的上表面66b的高度成為相對於該基準面之本體部28的上表面28a的高度以下。圖示的例中，閉塞構件66的上表面66b的高度與本體部28的上表面28a的高度相同。 　　但是，有時樹脂會固定在本體部28的上表面28a或閉塞構件66的上表面66b。例如，為了停止薄膜的成形而停止來自模具10的熔融樹脂的供給時，其供給瞬間不會停止，會流向本體部28的上表面28a或閉塞構件66的上表面66b而固定。若保持樹脂固定在本體部28的上表面28a之狀態，則下次成型薄膜時，可能發生在薄膜上產生條紋等的問題。因此，重新進行薄膜的成形時，實施去除固定在上表面28a之樹脂之清理。具體而言，利用刮勺或刮刀等工具刮落固定在本體部28的上表面28a之樹脂。此時，若閉塞構件66向比本體部28更靠上側突出，則難以實施其作業。 　　對此，如上所述，本變形例中，閉塞構件66的上表面66b的高度成為本體部28的上表面28a的高度以下，因此與並非如此之情況相比，容易去除固定在本體部28的上表面28a之樹脂。並且，如圖示，閉塞構件66的上表面66b與本體部28的上表面28a係相同之高度的情況下，亦能夠與本體部28的上表面28a一起，去除固定在閉塞構件66的上表面66b之樹脂。 　　閉塞構件66裝配成使裝配有調節單元16等之外周構件14環繞內周構件12，裝配成相對於內周構件12定位外周構件14之後，下表面66a的內周側端部與凹部94的底表面94a抵接，下表面66a的外周側端部與支撐構件58抵接。閉塞構件66以不阻礙撓性唇部22的彈性變形，且內周面遍及整周以不與本體部28接觸地相對於外周構件14進行定位。圖26中，描繪成閉塞構件66的內周面與本體部28抵接，但實際上在該等之間例如有數毫米以下的間隙。例如，在未固定有閉塞構件66之狀態下，以控制裝置7將所有調節單元16向外周構件14賦予朝徑方向外側的拉伸荷重地進行動作，藉此可以對閉塞構件66進行定位。另外，在將外周構件14裝配於內周構件12之前，閉塞構件66可以裝配於外周構件14，可以相對於外周構件14進行定位。 　　相對於外周構件14定位閉塞構件66之後，亦可以藉由螺絲固定等將閉塞構件66例如固定在軸承構件40或/和支撐構件58。該情況下，用工具去除固定在閉塞構件66之樹脂時，能夠抑制因閉塞構件66連同樹脂浮起等而閉塞構件66的位置偏離。 (第11變形例) 　　圖27係表示第11變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。不同於第3實施形態之薄膜成形裝置，第11變形例之薄膜成形裝置不具備整流部形成構件67。 　　本變形例中，軸承構件40形成為徑方向的寬度變得比較厚。而且，軸承構件40的上表面40a與空氣冷卻環8的下表面8c構成整流部78。具體而言，空氣冷卻環8的下表面8c劃定整流部78的上表面，軸承構件40的上表面40a劃定整流部78的下表面。另外，軸承構件40的徑方向的寬度只要設定成可得到所希望的整流效果之寬度即可。並且，各調節單元16的軸承構件40形成為幾乎無間隙地在周方向上相鄰為佳。 　　依本變形例，能夠發揮與藉由第3實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。除此以外，依本變形例，不需要整流部形成構件67，零件數減少。另外，亦可以構成為由除了軸承構件40以外的調節單元16的構成零件劃定整流部78的下表面。該情況下，不需要整流部形成構件67，零件數減少。 (第12變形例) 　　圖28係表示第12變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。不同於第3實施形態之薄膜成形裝置，第12變形例之薄膜成形裝置不具備整流部形成構件67。 　　本變形例的薄膜成形裝置不具有調節吐出口18a的徑方向的寬度之功能。具體而言，膜厚調節部2包括冷卻裝置3與支撐構件58，不包括調節單元16。並且，外周構件14之徑方向的寬度形成比較厚。本變形例中，空氣冷卻環8的下表面8c和外周構件14的上表面14a劃定整流部78。 　　在外周構件14的外周側，形成有朝軸方向下方凹陷之環狀的凹部14b。支撐構件58載置於該凹部14b的底表面，在凹部14b的底表面形成有向上突出之突出部14c。支撐構件58藉由突出部14c來限制徑方向的移動。在支撐構件58上形成有沿徑方向貫穿之複數個貫穿孔58d，外周構件14的外側的空氣通過該貫穿孔58d流入流路85內。 　　另外，支撐構件58可以與外周構件14一體形成。亦即，支撐構件58可以為外周構件14的一部分。 　　依本變形例，能夠發揮與藉由第3實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第13變形例) 　　圖29係表示第13變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。圖29與圖25對應。圖29的調節單元16與圖21的調節單元相同地構成。 (第14變形例) 　　圖30係表示第14變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。圖30與圖25對應。圖30的調節單元16與圖23的各調節單元相同地構成。本變形例中，與第3實施形態相比，整流部形成構件67的外徑形成較大，並到達至支撐構件58。整流部形成構件67載置於支撐構件58，並藉由螺絲固定等固定於支撐構件58。在整流部形成構件67上以沿周方向排列之方式形成有沿軸方向貫穿之複數個貫穿孔67b。模具10的外部的空氣通過該貫穿孔67b流入流路85。本變形例中，藉由比貫穿孔67b更靠內周側的整流部形成構件67的部分和空氣冷卻環8的下表面8c形成有整流部78。依本變形例之薄膜成形裝置，能夠發揮與藉由第3實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。 (第15變形例) 　　第3實施形態及上述的第11～第14變形例中雖未特別提到，但亦可以經由未圖示的軟管從未圖示的鼓風機向流路85內送入空氣。另外，亦可以不對固化位置帶來影響之方式送入溫風。依本變形例，能夠將空間90的壓力維持在所希望的壓力並使熔融樹脂穩定。 (第16變形例) 　　第3實施形態中，對藉由調節相對於空氣冷卻環8的支撐構件58之螺合量來調節整流部78的軸方向的厚度之情況進行了說明，但並不限於此。例如，亦可以藉由將整流部形成構件67更換成軸方向的厚度不同來調節整流部78的軸方向的厚度。 　　上述之實施形態及變形例的任意的組合，作為本發明的實施形態亦係有用。藉由組合而產生之新的實施形態，兼具所組合之實施形態及變形例的各個的效果。並且，本領域技術人員亦能夠理解，在申請專利範圍中記載之各構成要件應實現之功能藉由實施形態及變形例中示出之各構成要件的單體或者它們的聯繫來實現。例如，申請專利範圍中記載之抑制機構亦可以藉由閉塞構件66或罩體166來實現。

1‧‧‧薄膜成形裝置

3‧‧‧冷卻裝置

8‧‧‧空氣冷卻環

10‧‧‧模具

14‧‧‧外周構件

16‧‧‧調節單元

18a‧‧‧吐出口

66‧‧‧閉塞構件

圖1係表示第1實施形態之薄膜成形裝置的概略構成之圖。 　　圖2係表示圖1的模具及膜厚調節部之剖面圖。 　　圖3係圖1的模具及膜厚調節部的俯視圖。 　　圖4係表示圖2的外周構件的上部與安裝於其之調節單元之立體圖。 　　圖5係表示圖2的外周構件的上部與安裝於其之調節單元之側視圖。 　　圖6係表示圖2的調節單元之立體圖。 　　圖7係表示圖2的調節單元之立體圖。 　　圖8中，圖8(A)、圖8(B)係用以說明調節單元的動作之說明圖。 　　圖9係表示圖2的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖10係表示比較例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖11係示意表示圖1的控制裝置的功能及結構之方塊圖。 　　圖12係表示第2實施形態之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖13係表示第3實施形態之薄膜成形裝置的模具及膜厚調節部之剖面圖。 　　圖14係圖13的模具及膜厚調節部的俯視圖。 　　圖15係表示圖13的空氣冷卻環的吹出口與其周邊之剖面圖。 　　圖16係表示比較例之薄膜成形裝置的空氣冷卻環的吹出口與其周邊之剖面圖。 　　圖17係表示第1變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖18係表示第2變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖19係表示第3變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖20係表示第4變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖21係表示圖20的調節單元的結構之局部放大剖面圖。 　　圖22係表示第5變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖23係表示圖22的調節單元的結構之局部放大剖面圖。 　　圖24係表示第6變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖25係表示第7變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖26係表示第10變形例之薄膜成形裝置的調節單元與其周邊之剖面圖。 　　圖27係表示第11變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。 　　圖28係表示第12變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。 　　圖29係表示第13變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。 　　圖30係表示第14變形例之薄膜成形裝置的吹出口與其周邊之剖面圖。

Claims (11)

1. 一種薄膜成形裝置，其特徵為，具備： 　　模具，從環狀的吐出口將熔融樹脂呈管狀擠出；及 　　膜厚調節部，調節從前述吐出口擠出之熔融樹脂的膜厚， 　　前述模具包括界定前述吐出口的外周之外周構件， 　　前述膜厚調節部包括： 　　複數個調節單元，設置於前述外周構件的周圍，並調節前述吐出口的徑方向的寬度； 　　冷卻裝置，配置於前述外周構件及前述複數個調節單元的上方，並向從前述吐出口擠出之熔融樹脂噴吹冷卻風；及 　　抑制機構，抑制空氣從前述冷卻裝置與前述外周構件之間流入熔融樹脂。
2. 如申請專利範圍第1項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述外周構件包括受到來自前述調節單元的荷重而發生彈性變形之唇部， 　　前述抑制機構係堵住前述唇部與前述冷卻裝置的間隙之閉塞構件。
3. 如申請專利範圍第2項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述閉塞構件的上表面的高度係前述唇部的上表面的高度以下。
4. 如申請專利範圍第2或3項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述閉塞構件藉由前述複數個調節單元中的至少一個調節單元來限制徑方向的移動。
5. 如申請專利範圍第2或3項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述膜厚調節部還包括支撐前述冷卻裝置之環狀的支撐構件， 　　前述閉塞構件藉由前述支撐構件來限制徑方向的移動。
6. 如申請專利範圍第1項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述抑制機構係以空氣不從前述複數個調節單元的下方或外周側流入前述複數個調節單元與前述冷卻裝置之間之方式，覆蓋前述複數個調節單元之罩體。
7. 如申請專利範圍第6項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述罩體包括：圓筒部，環繞前述複數個調節單元，且上端與前述冷卻裝置抵接；及底部，從前述圓筒部的下端沿徑方向內側延伸，且內周側固定於前述模具的外周面。
8. 一種薄膜成形裝置，其特徵為，具備： 　　模具，從環狀的吐出口將熔融樹脂呈管狀擠出；及 　　膜厚調節部，調節從前述吐出口擠出之熔融樹脂的膜厚， 　　前述模具包括界定前述吐出口的外周之外周構件， 　　前述膜厚調節部包括： 　　冷卻裝置，配置於前述外周構件的上方，並向從前述吐出口擠出之熔融樹脂噴吹冷卻風；及 　　環狀的流路，從前述模具的外部通往被前述冷卻裝置、前述外周構件、從前述吐出口擠出之熔融樹脂包圍之空間， 　　前述流路包括環狀的整流部。
9. 如申請專利範圍第8項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　構成為能夠調節前述整流部的厚度。
10. 如申請專利範圍第8或9項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述冷卻裝置與前述模具的間隙構成前述流路， 　　前述薄膜成形裝置還具備配置於前述流路內之環狀的整流部形成構件， 　　前述冷卻裝置界定前述整流部的上表面，整流部形成構件界定前述整流部的下表面。
11. 如申請專利範圍第8或9項記載之薄膜成形裝置，其中， 　　前述冷卻裝置與前述模具的間隙構成前述流路， 　　前述薄膜成形裝置還具備複數個調節單元，用於調節前述吐出口的徑方向的寬度，且進入前述流路內， 　　前述冷卻裝置界定前述整流部的上表面，前述調節單元的構成零件界定前述整流部的下表面。