TWI755398B - 薄膜成形裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種薄膜成形裝置。本發明的薄膜成形裝置具備：模具裝置，將熔融樹脂呈管狀擠出而成形為薄膜；及控制裝置(7)，控制模具裝置。模具裝置包括：內周構件，界定圓環狀的吐出口的內周；外周構件，環繞內周構件且界定吐出口的外周；及調節部，藉由對內周構件及外周構件中的至少一方賦予荷重而讓其彈性變形，使吐出口的徑方向的寬度變化。控制裝置(7)利用調節部所賦予之荷重而控制薄膜的厚度。

Description

薄膜成形裝置

本發明係有關一種薄膜成形裝置。

已知有一種薄膜成形裝置，係使從模具裝置的環狀的吐出口呈管狀擠出之熔融樹脂固化而成形為薄膜。以往提出的薄膜成形裝置所具備的模具裝置，係對界定環狀的吐出口的外周之外周構件利用螺栓進行按壓而讓其彈性變形，藉此使吐出口的寬度局部地變化(專利文獻1)。藉由使吐出口的寬度局部地變化，能夠在周方向上局部地控制薄膜的厚度。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開2012-166365號公報

在專利文獻1所記載之習知薄膜成形裝置，係對按壓外周構件之螺栓的移動量(旋入量)進行管理，從而控制 薄膜的厚度。然而，模具裝置的附近因用於讓樹脂熔融的熱而成為比較高的溫度，因此按壓外周構件之螺栓可能受該熱而熱膨脹。在管理螺栓的移動量而控制薄膜的厚度之情況下，此熱膨脹會對其精度帶來不良影響。

本發明係鑑於此種情形而完成者，其目的在於提供一種能夠以較高之精度來控制薄膜的厚度之薄膜成形裝置。

為了解決上述課題，本發明的一態樣的薄膜成形裝置係具備：模具裝置，將熔融樹脂呈管狀擠出而成形為薄膜；及控制裝置，控制模具裝置。模具裝置包括：內周構件，界定圓環狀的吐出口的內周；外周構件，環繞內周構件且界定吐出口的外周；及調節部，藉由對內周構件及外周構件中的至少一方賦予荷重而讓其彈性變形，使吐出口的徑方向的寬度變化。控制裝置利用調節部所賦予之荷重來控制薄膜的厚度。

另外，以上構成要件的任意的組合、或本發明的構成要件和表現方式在方法、裝置、系統等之間相互置換，作為本發明的態樣亦是有效的。

依本發明，可提供一種能夠以較高之精度來控制薄膜的厚度之薄膜成形裝置。

1‧‧‧薄膜成形裝置

2‧‧‧模具裝置

3‧‧‧冷卻裝置

6‧‧‧厚度感測器

7‧‧‧控制裝置

10‧‧‧模具本體

12‧‧‧內周構件

14‧‧‧外周構件

16‧‧‧調節部

80‧‧‧保持部

81‧‧‧取得部

82‧‧‧決定部

83‧‧‧調節動作控制部

圖1係表示第1實施形態之薄膜成形裝置的概略構成之圖。

圖2係表示圖1的模具裝置的上部與其周邊之剖面圖。

圖3係圖1的模具裝置的俯視圖。

圖4係表示圖2的外周構件的上部與安裝於其之調節部之立體圖。

圖5係表示圖2的外周構件的上部與安裝於其之調節部之側視圖。

圖6係表示圖2的調節部之立體圖。

圖7係表示圖2的調節部之立體圖。

圖8(A)、(B)係用以說明調節部的動作之說明圖。

圖9係示意表示圖1的控制裝置的功能及結構之方塊圖。

圖10係表示第2實施形態之薄膜成形裝置的調節部的結構之局部放大剖面圖。

圖11係表示第3實施形態之薄膜成形裝置的調節部的結構之局部放大剖面圖。

圖12係表示第4實施形態之薄膜成形裝置的調節部的結構之局部放大剖面圖。

圖13(A)、(B)係表示第5實施形態之薄膜成形裝置的調節部的結構之圖。

圖14係表示變形例之薄膜成形裝置的模具裝置的上部與其周邊之剖面圖。

圖15係圖14的調節部的結構之局部放大剖面圖。

圖16係表示另一變形例之薄膜成形裝置的模具裝置的上部與其周邊之剖面圖。

圖17係表示圖16的調節部的結構之局部放大剖面圖。

圖18係表示另一變形例之薄膜成形裝置的模具裝置的上部與其周邊之剖面圖。

以下，對各圖式中所示之相同或同等的構成要件、構件標註相同的符號，並適當省略重複之說明。並且，為了容易理解，適當放大縮小表示各圖式中的構件的尺寸。並且，在各圖式中，省略表示說明在實施形態方面並非重要之構件的一部分。

(第1實施形態)

圖1表示第1實施形態之薄膜成形裝置1的概略構成。薄膜成形裝置1用於成形管狀的薄膜。薄膜成形裝置1具備：模具裝置2、冷卻裝置3、一對穩定板4、一對夾送輥5、厚度感測器6、控制裝置7。

模具裝置2將由擠製機(未圖示)供給之熔融樹脂成形為管狀。尤其，模具裝置2藉由從環狀的狹縫18(圖2 中後述)擠出熔融樹脂來將熔融樹脂成形為管狀。冷卻裝置3配置於模具裝置2的上方。相對於從模具裝置2所擠出之熔融樹脂，冷卻裝置3從外側噴吹冷卻風。熔融樹脂被冷卻而成形為薄膜。

一對穩定板4配置於冷卻裝置3的上方，且向一對夾送輥5之間引導所成形之薄膜。夾送輥5配置於穩定板4的上方，將被引導之薄膜往上拉並將其扁平地折疊。折疊後之薄膜藉由捲繞機(未圖示)進行捲繞。

厚度感測器6配置於冷卻裝置3與穩定板4之間。厚度感測器6繞著管狀的薄膜轉動並測定薄膜的厚度。厚度感測器6所產生之測定結果被發送至控制裝置7。控制裝置7向模具裝置2發送與從厚度感測器6接收之測定結果相應之控制指令。模具裝置2接收該控制指令，以厚度的不均變小之方式，調節狹縫18(尤其其吐出口)的寬度。

圖2係表示模具裝置2與其周邊之剖面圖。圖3係模具裝置2的俯視圖。圖3中，省略冷卻裝置3的表示。

冷卻裝置3具備空氣冷卻環8及環狀的整流構件9。空氣冷卻環8係內周部向下方凹陷之環狀的殼體。在空氣冷卻環8的內周部形成有在上側開口之環狀的吹出口8a。尤其，吹出口8a形成為與以中心軸A為中心之環狀的狹縫18同心。

另外，在以下的說明，將與中心軸A平行之方向設為軸方向，將在與中心軸A垂直之平面上通過中心軸A之 任意的方向設為半徑方向，將在徑方向上接近中心軸A之一側設為內周側，將遠離中心軸A之一方設為外周側，將在與中心軸A垂直之平面上沿著以中心軸A為中心之圓的圓周之方向設為周方向。

在空氣冷卻環8的外周部，在周方向上等間隔地形成有複數個軟管口8b。在複數個軟管口8b的每一個上連接有軟管(未圖示)，冷卻風經由該軟管從鼓風機(未圖示)送入空氣冷卻環8內。送入空氣冷卻環8內之冷卻風從吹出口8a吹出而噴吹於熔融樹脂。

整流構件9以包圍吹出口8a之方式配置於空氣冷卻環8內。整流構件9對送入空氣冷卻環8內之冷卻風進行整流。藉此，冷卻風在周方向上以均勻的流量、風速從吹出口8a吹出。

模具裝置2具備：模具本體10、內周構件12、外周構件14及複數個(在此為32個)調節部16。內周構件12係載置於模具本體10的上表面之大致圓柱狀的構件。外周構件14係環狀的構件，且環繞內周構件12。在內周構件12與外周構件14之間，形成有呈環狀且朝上下方向延伸之狹縫18。熔融樹脂朝向上側流經該狹縫18，且熔融樹脂從狹縫18的吐出口(亦即上端開口)18a擠出，在冷卻裝置3中進行冷卻，從而形成有與吐出口18a的寬度相應之厚度的薄膜。在模具本體10的外周安裝有複數個加熱器56。並且，在外周構件14的下部(具體而言為後述的大徑部27)的外周亦安裝有加熱器56。模具本體 10及外周構件14藉由加熱器56加熱為所需的溫度。藉此，能夠將流經模具裝置2的內部之熔融樹脂保持為適當的溫度及熔融狀態。

複數個調節部16以圍繞外周構件14的上端側之方式在周方向上大致無間隙地配置。尤其，調節部16以懸臂狀安裝於外周構件14。在複數個調節部16的上方固定著冷卻裝置3。複數個調節部16分別能夠對外周構件14賦予向徑方向內側的按壓荷重或向徑方向外側的拉伸荷重。因此，藉由調節複數個調節部16，能夠在周方向上局部性地調整吐出口18a的寬度，且能夠在周方向上局部地控制薄膜的厚度。在薄膜中產生厚度的不均之情況下，例如，從與壁厚較薄之部分對應(例如位於壁厚較薄之部分的下方)之調節部16對外周構件14賦予拉伸荷重，加大壁厚較薄之部分的下方的吐出口18a的間隙。藉此，使薄膜厚度的不均變小。

圖4、圖5係表示外周構件14的上部與安裝於其之調節部16之立體圖及側視圖。圖4、圖5中，僅表示1個調節部16，且省略剩餘的調節部16的表示。圖6、圖7係表示調節部16之立體圖。圖7中，表示拆卸一對支撐構件30的一方後之狀態。

外周構件14的上部係具有：小徑部25，形成於上端；中徑部26，在小徑部25的下方形成為比小徑部25更大之直徑；及大徑部27，在中徑部26的下方形成為比中徑部26更大之直徑。小徑部25具有撓性唇部22。撓 性唇部22係指比沿著周方向設置之凹狀的缺口部20更靠上側的小徑部25的部分。撓性唇部22以缺口部20為邊界而發生彈性變形。撓性唇部22包括：圓筒狀的本體部28、以及從本體部28向徑方向外側突出之環狀的突出環繞部29。

調節部16包括：一對支撐構件30，安裝於外周構件14；轉動軸32，固定於一對支撐構件30；槓桿34，被支撐為能夠以轉動軸32為支點而轉動；動作桿36，接受槓桿34所致之旋轉力而沿軸線方向動作；連結構件38，沿軸線方向連結動作桿36與撓性唇部22；軸承構件40，將動作桿可沿軸線方向滑動地支撐；及致動器24，對槓桿34賦予旋轉力。

一對支撐構件30形成為平板狀，且以彼此平行之方式利用螺絲固定於外周構件14。在一對支撐構件30之間設置有用以讓槓桿34介入之空間。軸承構件40形成為長方體狀，且在支撐構件30的徑方向內側利用螺絲固定於外周構件14。在軸承構件40上形成有貫穿徑方向之插穿孔42。插穿孔42的內周面構成所謂滑動軸承(無供油型的軸承)，且將動作桿36可滑動地支撐。

轉動軸32以其軸朝向水平方向且與徑方向大致正交之方式固定於一對支撐構件30。

動作桿36形成為具有段差之圓柱狀，且其中間部插穿於軸承構件40的插穿孔42。在動作桿36的徑方向外側設置有縮徑部44。如後所述，縮徑部44可發揮與槓桿 34的連結部之功能。在動作桿36的徑方向內側設置有凹狀的卡合部46。如後所述，卡合部46可發揮與連結構件38的連接部之功能。撓性唇部22的突出環繞部29的外周面(以下，稱為“受壓面23”)與動作桿36的前端面對置。

從縱剖面觀察時連結構件38形成為分叉形狀。具體而言，在連結構件38，在軸方向上與外周構件14對置之面上設置有向下側突出之卡合部48、50。卡合部48與動作桿36的卡合部46呈大致互補形狀。並且，在撓性唇部22的突出環繞部29形成有朝軸方向下方凹陷之環狀的卡合槽52。卡合部50與該卡合槽52呈大致互補形狀。

以卡合部48卡合在卡合部46且卡合部50卡合在卡合槽52之方式將動作桿36與連結構件38利用螺絲固定。卡合部48與卡合部46的彼此的對置面設為錐面。藉此，隨著鎖緊螺絲54，使動作桿36的前端面緊壓於撓性唇部22的受壓面23，而使動作桿36與撓性唇部22牢牢固定在一起。藉由連結構件38的卡合部50與動作桿36的前端部夾住撓性唇部22的一部分。藉此，使動作桿36在其軸線方向上與撓性唇部22連接。

槓桿34具有沿徑方向延伸之長條板狀的本體60，其一端部是藉由轉動軸32可轉動地支撐。槓桿34設置成，在非動作的狀態下，使本體60和動作桿36大致平行。並且，以從本體60的一端部朝與該本體60的軸線垂直的方向延伸之方式設置有分叉形狀的連結部62。亦即，連結 部62由一對連結片64構成，且構成為使其等的間隔比動作桿36的縮徑部44的外徑稍大，其等的寬度比縮徑部44的長度稍小。藉由此種結構，以連結部62嵌合在縮徑部44之態樣使槓桿34與動作桿36互相連結。

另外，只要構成為使槓桿34的旋轉力直接賦予動作桿36即可，並不限定於本實施形態。例如，連結部62亦可以構成為，不從本體60的軸線朝垂直方向延伸。本體60的軸線與連結部62的延伸方向也可以呈銳角，或者呈鈍角。並且槓桿34可以設為，在非動作的狀態下，使本體60不與動作桿36平行。

致動器24在本實施形態中係氣壓驅動式，且包括：藉由壓縮空氣的供排而動作之兩組的波紋管70、72和波紋管71、73、第1基座75、配置於第1基座75的軸方向下側之第2基座76、及4根連結棒77。第1基座75與第2基座76是在軸方向上分開配置，且藉由4根連結棒77連結。在槓桿34與第1基座75之間配置有波紋管70、72，且在槓桿34與第2基座之間配置有波紋管71、73。亦即，槓桿34的成為施力點之端部，是以被夾在波紋管70、72和波紋管71、73之間之方式被支撐。藉由對波紋管70、72或波紋管71、73的一方供給壓縮空氣，使槓桿34朝圖中順時針或逆時針方向被旋轉驅動。

圖5中，若藉由壓縮空氣的供給對波紋管70、72賦予壓力而使波紋管70、72伸長，槓桿34朝圖中逆時針方向轉動，其旋轉力轉換為朝向動作桿36的軸線方向左側(亦即徑方向外側)的力。其結果，對於撓性唇部22賦予拉伸荷重，使對應之(亦即該調節部16的徑方向內側的)狹縫18的吐出口18a的部分的間隙朝增大之方向變化。另一方面，若藉由壓縮空氣的供給對波紋管71、73賦予壓力而使波紋管71、73伸長，槓桿34朝圖中順時針方向轉動，其旋轉力轉換為朝向動作桿36的軸線方向右側(亦即徑方向內側)的力。其結果，對於撓性唇部22賦予按壓荷重，使對應之狹縫18的部分的間隙朝縮小之方向變化。

為了實現此種氣壓驅動，壓縮空氣從未圖示的壓力調整裝置經由形成於第1基座75之供給路75a或供給於第2基座76之供給路76a而被供給。壓力調整裝置根據來自調節動作控制部83(後述)的控制指令，控制波紋管70~73內的壓力。

圖8係用以說明調節部16的動作之說明圖。圖8(A)表示調節部16的中立狀態(波紋管70~73均為非動作的狀態)，圖8(B)表示調節部16的擴開動作狀態(僅波紋管70、72動作之狀態)。

藉由調節部16，使槓桿34的旋轉力在作用點P上可直接賦予動作桿36。亦即，槓桿34的旋轉力作為動作桿36的軸線方向的力而賦予撓性唇部22。此時，動作桿36藉由外周構件14而被穩定地支撐，因此該軸線方向的力可效率良好地傳遞至撓性唇部22。其結果，能夠讓用以調整內周構件12與外周構件14之間的間隙之驅動力有效 地起作用。

本實施形態中，如圖8(A)所示構成為，使連結槓桿34與動作桿36的連接點(槓桿34的作用點P)和轉動軸32(槓桿34的支點)之直線L1與動作桿36的軸線L2正交。藉此，以轉動軸32為中心而通過作用點P之假想圓C的切線方向與動作桿36的軸線方向一致。

因此，如圖8(B)所示，槓桿34的旋轉力的作用點P上的方向與動作桿36的軸線方向一致。其結果，槓桿34的旋轉力就那樣成為動作桿36的軸線方向的驅動力，能夠最大限度地提高力的傳遞效率。亦即，能夠讓使撓性唇部22進行擴開動作時的致動器24的驅動力極有效率地作用(參照圖中粗線箭頭)。

雖省略圖示，但是在調節部16的縮窄動作狀態(僅波紋管71、73動作之狀態)下，只是與圖8(B)中的力的方向相反，槓桿34的旋轉力的作用點P上的方向與動作桿36的軸線方向仍會一致。其結果，與擴開動作時同樣地，槓桿34的旋轉力直接成為動作桿36的軸線方向的驅動力，且能夠最大限度地提高力的傳遞效率。亦即，藉由調節部16，能夠讓用以調整狹縫18的吐出口18a的間隔之驅動力有效率地作用。

另外，只要構成為使槓桿34的旋轉力直接賦予動作桿36即可，並不限定於本實施形態。例如亦可構成為，使連結部62的延伸方向(連結轉動軸32與作用點P之方向)與動作桿36的軸線方向呈銳角或鈍角之結果，而使槓桿34的旋轉力的作用點P上的方向(為方便起見，也稱為“旋轉力作用方向”)與動作桿36的軸線方向(為方便起見，也稱為“軸線力作用方向”)不一致。此情況下，可以是本體60與動作桿36平行，且本體60的軸線與連結部62的延伸方向呈銳角或鈍角者。或者可以是，本體60的軸線與連結部62的延伸方向呈直角，且本體60與動作桿36非平行者。或者可以是，本體60的軸線與連結部62的延伸方向呈銳角或鈍角，且本體60與動作桿36非平行者。此外，作為本體60，亦可以採用在至少一部分具有彎折部或彎曲部者(不一定能夠界定軸線之結構)。

圖9係示意表示控制裝置7的功能及結構之方塊圖。在此所示之各方塊在硬體上能夠由以計算機的CPU為代表之元件或機械裝置來實現，在軟體上能夠由計算機程式等來實現，在此，描繪藉由其等的整合來實現之功能方塊。因此，本領域技術人員能夠理解，這些功能方塊可藉由硬體、軟體的組合而以各種形式實現。

控制裝置7包括：保持部80、取得部81、決定部82及調節動作控制部83。取得部81取得厚度感測器6所產生之測定結果。保持部80將薄膜的厚度與調節部16應施加於外周構件14之荷重建立對應關聯而予以保持。更具體而言，保持部80將薄膜的厚度與為了使具有該厚度之薄膜成為目標的厚度而調節部16應施加於外周構件14之荷重建立對應關聯而予以保持。

決定部82決定為了縮小厚度的不均而各調節部16應對外周構件14賦予之荷重。尤其，決定部82參照藉由厚度感測器6所測定之厚度與保持部80，而決定應向外周構件14賦予之荷重。並且，決定部82為了使所決定之荷重賦予外周構件14，係算出要將調節部16的波紋管70~73的壓力控制為多少。調節動作控制部83以波紋管70~73的壓力成為藉由決定部82所算出之壓力之方式，對壓力調整裝置發送控制指令。

對如上構成之薄膜成形裝置1的動作進行說明。

控制裝置7利用厚度感測器6所產生之測定結果來掌握薄膜的厚度的不均，且以縮小該厚度的不均之方式控制模具裝置2的各調節部16。在控制裝置7要對調節部16賦予按壓荷重之情況下，係提高調節部16的波紋管71、73的壓力而使槓桿34朝順時針方向轉動。並且，在控制裝置7要對調節部16賦予拉伸荷重之情況下，提高調節部16的波紋管70、72的壓力而使槓桿34朝逆時針方向轉動。

依據以上所說明之本實施形態之薄膜成形裝置1，按照厚度感測器6所測定之薄膜的厚度，來決定調節部16應施加於外周構件14之荷重。在此，模具裝置2的周邊因用以讓樹脂熔融之熱而變為比較高的溫度，因此動作桿36、槓桿34受該熱而熱膨脹。因此，例如根據所測定之薄膜的厚度而以動作桿36的位移量成為所期望的值之方式進行管理，從而控制薄膜的厚度之情況下，可能會對其 精度帶來不良影響。與此相對，本實施形態中，根據所測定之薄膜的厚度，以動作桿36(亦即調節部16)應施加於外周構件14之荷重成為所期望的值之方式進行管理，從而控制薄膜的厚度。因此，即使動作桿36、槓桿34因熱而膨脹，亦能夠以較高精度來控制薄膜的厚度。

並且，依實施形態之薄膜成形裝置1，致動器24的旋轉力經由槓桿34傳遞至撓性唇部22。亦即，致動器的旋轉力藉由槓桿原理來放大而傳遞至撓性唇部22。因此，能夠比較降低致動器24所需要之輸出。因此，例如能夠減少致動器24所需之波紋管的數量。或者，能夠縮小波紋管的大小。

(第2實施形態)

接著，對第2實施形態進行說明。本實施形態之調節部除了動作桿與撓性唇部的連接結構不同以外，與第1實施形態相同。因此，對與第1實施形態相同的構成部分標註相同的符號，並省略其說明。圖10係表示第2實施形態之調節部的結構之局部放大剖面圖。

在本實施形態，在動作桿236的徑方向內側設置有外螺紋部240。在外螺紋部240的基端部螺合有螺母242。另一方面，連結構件238呈縱剖面U字狀，並在其上部貫穿形成有能夠與外螺紋部240螺合之內螺紋部244。

在此種結構下，使外螺紋部240螺合至貫穿內螺紋部244之程度，從而使動作桿236的前端面緊壓於撓性唇部 22的受壓面23，且使動作桿236與撓性唇部22牢牢固定在一起。此時，藉由鎖緊螺母242，能夠使動作桿236與連結構件238的固定穩定。此時，撓性唇部22的一部分成為藉由連結構件238的卡合部50與動作桿236的前端部夾住，藉此，動作桿236在其軸線方向上與撓性唇部22連接。

(第3實施形態)

接著，對第3實施形態進行說明。本實施形態之調節部除了動作桿與撓性唇部的連接結構不同以外，與第2實施形態相同。因此，對與第2實施形態相同的結構部分標註相同符號，並省略其說明。圖11係表示第3實施形態之調節部的結構之局部放大剖面圖。

在本實施形態，與第2實施形態同樣地，在動作桿336的下部設置有外螺紋部240，在其基端部螺合有螺母242。另一方面，代替卡合槽52，在撓性唇部22的突出環繞部29設置有從受壓面23朝徑方向內側延伸之內螺紋部344，構成為使外螺紋部240能夠在軸線方向螺合。

在此種結構下，藉由使外螺紋部240螺合於內螺紋部344，能夠直接連結動作桿336與撓性唇部22。此時，藉由鎖緊螺母242，能夠使動作桿336與撓性唇部22牢牢固定在一起。此時，藉由調整外螺紋部240向內螺紋部344的旋入量，能夠高精度地設定動作桿336與槓桿34的位置關係。亦即，能夠使槓桿34的旋轉力的作用點P 上的方向與動作桿336的軸線方向一致。

(第4實施形態)

接著，對本發明的第4實施形態進行說明。本實施形態之調節部除了動作桿與槓桿的連接結構不同以外，與第1實施形態相同。圖12係表示第4實施形態之調節部的結構之局部放大剖面圖。

在本實施形態，藉由在動作桿436的外周側端部上沿軸線方向組裝螺絲420，在動作桿436的外周側端與螺絲420的頭部之間形成縮徑部444。而且，在該縮徑部444組裝有槓桿34的連結部62。藉由此種結構，無需如第1實施形態那樣在動作桿36的外周面加工縮徑部44之製程。縮徑部444在構成作用點P之方面要求高精度，能夠藉由省略其切削加工等來降低製造成本。並且，例如藉由加大螺絲420的鎖緊強度，能夠更堅固地連結動作桿436與槓桿34。

(第5實施形態)

接著，對第5實施形態進行說明。本實施形態之調節部除了動作桿與槓桿的連接結構不同以外，與第1實施形態相同。圖13係表示第5實施形態之調節部的結構之圖。圖13(A)係表示動作桿與槓桿的連接部及其周邊結構之局部放大剖面圖，圖13(B)係動作桿的前視圖。

在本實施形態，在動作桿536的外周側端部設置有分 叉形狀的臂部540，並以橫越該臂部540之方式設置有轉動軸544。另一方面，槓桿534的連結部562並非如第1實施形態那樣的分叉形狀，而是呈凸緣狀延伸，並在該中央設置有用以讓轉動軸544插穿之插穿孔546。連結部562是可轉動地連接於轉動軸544。藉由此結構，轉動軸544的位置成為槓桿534的作用點。槓桿534成為能夠在與動作桿536的連結部上相對地轉動，因此在使動作桿536較大地位移之情況下，具有能夠防止過大的負載施加於作用點P之等優點。

以上，對實施形態之薄膜成形裝置的結構與動作進行了說明。這些實施形態係例示，本領域技術人員能夠理解，該等各構成要件的組合能夠有各種變形例，並且這些變形例亦屬於本發明的範圍。

(變形例1)

圖14係表示變形例之薄膜成形裝置的模具裝置2的上部與其周邊之剖面圖。圖14與圖2對應。圖15係表示圖14的調節部的結構之局部放大剖面圖。圖15與圖8(A)對應。在本變形例，連結部62的延伸方向(連結轉動軸32與作用點P之方向)與本體60的軸線呈鈍角，在槓桿34非動作狀態下，本體60的軸線不與動作桿36的軸線平行。因為是利用致動器的旋轉力對外周構件14賦予荷重，可構成為如此般之本體60的軸線不與動作桿36的軸線平行。此情況下，調節部16的配置自由度提高。

(變形例2)

圖16係表示另一變形例之薄膜成形裝置的模具裝置2的上部與其周邊之剖面圖。圖16與圖2對應。圖17係表示圖16的調節部的結構之局部放大剖面圖。圖17與圖8(A)對應。在本變形例，調節部16配置成，朝向軸方向上側而對外周構件14賦予荷重。依本變形例之薄膜成形裝置，能夠發揮與藉由各實施形態之薄膜成形裝置所發揮之作用效果相同之作用效果。

(變形例3)

在實施形態所說明的情況，調節部16係配置於外周構件14的外側，對外周構件14賦予按壓或拉伸的荷重而使外周構件14發生彈性變形，但是並不限於此。調節部16亦可為，藉由對內周構件12賦予荷重而使外周構件14發生彈性變形，從而使狹縫18的吐出口的徑方向的寬度局部地變化。此情況下，內周構件12可以形成為中空，且調節部16可以配置於該中空部分。並且，例如保持部80可以將薄膜的厚度與為了使具有該厚度之薄膜成為目標的厚度而調節部16應施加於內周構件12之荷重建立對應關聯而予以保持。

(變形例4)

在實施形態所說明的情況，保持部80係將薄膜的厚 度與為了使具有該厚度之薄膜成為目標的厚度而調節部16應施加於外周構件14之荷重建立對應關聯而予以保持，但是並不限於此。保持部80只要保持薄膜的厚度與調節部16應向外周構件14賦予之荷重的關係之相關資訊即可。例如，保持部80亦可以保持表示薄膜的厚度與為了使具有該厚度之薄膜成為目標的厚度而調節部16應施加於外周構件14之荷重的關係之關係式。此情況下，決定部82利用該關係式，以縮小厚度的不均之方式來決定複數個調節部16應施加於外周構件14之荷重即可。而且，決定部82為了將所決定之荷重賦予外周構件14，只要算出要將調節部16的波紋管70~73的壓力控制為多少即可。

並且，保持部80亦可以將薄膜的厚度與為了使具有該厚度之薄膜成為目標的厚度而用以實現調節部16應施加於外周構件14之荷重之波紋管70~73的壓力建立對應關聯而予以保持。此情況下，決定部82只要參照厚度感測器6所測定之厚度與保持部80來決定波紋管70~73的壓力即可。

(變形例5)

在實施形態構成為，可藉由致動器的驅動所致之槓桿及動作桿的動作，對於撓性唇部賦予拉伸荷重及按壓荷重雙方。亦即，能夠從調節部的中立狀態進行將撓性唇部擴開的動作，或進行縮窄的動作。在變形例中，可以構成為 對於撓性唇部僅賦予拉伸荷重或按壓荷重中的一方，且僅進行撓性唇部的擴開動作或縮窄動作的一方。例如，動作桿36的一端側可以連接成，對於撓性唇部22僅朝按壓方向或拉伸方向中的一方賦予蓄勢力(驅動力)。此情況下可構成為，若經由動作桿36的蓄勢力被解除，撓性唇部22利用其彈性等而回復蓄勢力賦予前的狀態。

(變形例6)

在實施形態例示出，作為致動器24採用氣壓驅動方式者，對波紋管70、72或波紋管71、73中的一方供給壓縮空氣時，使另一方與大氣連通。在變形例可構成為，藉由對波紋管70、72及波紋管71、73雙方供給壓縮空氣，使其等產生壓力差，從而對撓性唇部賦予拉伸荷重或按壓荷重。例如，可藉由對波紋管70、72及波紋管71、73設置個別的壓力調整閥而產生該壓力差。

(變形例7)

在實施形態例示出，在一個槓桿的兩側分別設置拉伸用的波紋管70、72及按壓用的波紋管71、73之結構。在變形例可構成為，僅在一個槓桿的單側設置波紋管，對該波紋管進行升壓或減壓，而使槓桿沿拉伸方向或按壓方向動作。

(變形例8)

在實施形態，作為致動器24雖採用氣壓驅動式者，但亦可以設為採用水壓或液壓之驅動方式。並且，作為波紋管雖例示了圓形者，但亦能夠採用矩形等其他的形狀。而且，亦可以採用馬達驅動以外的致動器。

(變形例8)

圖18係表示另一變形例之薄膜成形裝置的模具裝置2的上部與其周邊之剖面圖。圖18與圖2對應。

本變形例中，在外周構件14的上部的外周，具體而言，在外周構件14的小徑部25的外周也安裝有加熱器56。在外周構件14的上部，因來自空氣冷卻環8的冷卻風的影響而容易使熔融樹脂的溫度下降，藉由在小徑部25的外周安裝加熱器56，能夠以更加適當的溫度及熔融狀態保持熔融樹脂，其結果，能夠提高薄膜的品質。另外，本變形例中，與實施形態同樣地，藉由以應向外周構件14賦予之荷重成為所期望的值之方式進行管理，而控制薄膜的厚度，因此縱使在用以讓樹脂熔融的熱使構成調節部16之構件膨脹時，亦能夠以高精度來控制薄膜的厚度。因此，能夠在外周構件14的小徑部25的外周安裝加熱器56。

並且，在本變形例，小徑部25形成為，與第1實施形態相比，使比突出環繞部29更靠下方的小徑部25的部分、亦即彈性變形之變形部在軸方向上變長。藉此，撓性唇部22的可變量變大，薄膜的厚度的調整範圍變大。

另外，內周構件12形成為中空之情況下，可代替外周構件14的上部的外周，或者除了外周構件14的上部的外周之外，將加熱器56安裝於內周構件12的內周。

上述之實施形態及變形例的任意的組合，作為本發明的實施形態亦是有用的。藉由組合而產生之新的實施形態，兼具所組合之實施形態及變形例各個的效果。

〔產業上之可利用性〕

依本發明，可提供一種能夠以較高精度來控制薄膜的厚度之薄膜成形裝置。

1‧‧‧薄膜成形裝置

2‧‧‧模具裝置

3‧‧‧冷卻裝置

4‧‧‧穩定板

5‧‧‧夾送輥

6‧‧‧厚度感測器

7‧‧‧控制裝置

Claims (6)

1. 一種薄膜成形裝置，其特徵在於，係具備：模具裝置，將熔融樹脂呈管狀擠出而成形為薄膜；測定部，測定前述薄膜的厚度；及控制裝置，控制前述模具裝置，前述模具裝置係包括：內周構件，界定圓環狀的吐出口的內周；外周構件，環繞前述內周構件且界定前述吐出口的外周；及調節部，藉由對前述內周構件及前述外周構件中的至少一方賦予荷重而讓其彈性變形，使前述吐出口的徑方向的寬度變化，前述控制裝置，係利用前述調節部所賦予之荷重來控制前述薄膜的厚度，且係包括：保持部，將薄膜的厚度與前述調節部應賦予之荷重建立對應關係而予以保持，決定部，根據前述測定部所測定之厚度與前述保持部所保持之資訊來決定前述調節部所賦予之荷重；及調節動作控制部，根據前述決定部所決定之荷重，使前述調節部動作。
2. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜成形裝置，其中，前述調節部係包括用於輸出旋轉力之致動器，且利用該旋轉力來賦予荷重。
3. 如申請專利範圍第2項所述之薄膜成形裝置，其中，前述調節部係包括：槓桿，被支撐成以其位置相對於該模具裝置為固定之轉動軸為支點，且接受前述致動器的輸出而進行旋轉；及動作桿，藉由該模具裝置支撐成可沿軸線方向位移，且被支撐於前述槓桿的作用點；前述槓桿的旋轉力轉換為前述動作桿的軸線方向的力，該軸線方向的力成為對於前述內周構件或前述外周構件之荷重，前述槓桿，係在該槓桿的作用點上直接對前述動作桿賦予力。
4. 如申請專利範圍第3項所述之薄膜成形裝置，其中，在未向前述內周構件及前述外周構件賦予荷重之中立狀態下，連結前述槓桿的作用點與前述轉動軸之直線與前述動作桿的軸線正交，藉此使前述槓桿的旋轉力的前述作用點上的方向與前述動作桿的軸線方向一致。
5. 一種薄膜成形裝置，其特徵在於，係具備：模具裝置，將熔融樹脂呈管狀擠出而成形為薄膜；測定部，測定前述薄膜的厚度；及控制裝置，控制前述模具裝置，前述模具裝置係包括：內周構件，界定圓環狀的吐出口的內周； 外周構件，環繞前述內周構件且界定前述吐出口的外周；及調節部，藉由對前述內周構件及前述外周構件中的至少一方賦予荷重而讓其彈性變形，使前述吐出口的徑方向的寬度變化，前述控制裝置，係利用前述調節部所賦予之荷重來控制前述薄膜的厚度，且係包括：決定部，按照前述測定部所測定之厚度來決定前述調節部所賦予之荷重；及調節動作控制部，根據前述決定部所決定之荷重，使前述調節部動作，前述調節部係包括用於輸出旋轉力之致動器，且利用該旋轉力來賦予荷重，前述調節部係包括：槓桿，被支撐成以其位置相對於該模具裝置為固定之轉動軸為支點，且接受前述致動器的輸出而進行旋轉；及動作桿，藉由該模具裝置支撐成可沿軸線方向位移，且被支撐於前述槓桿的作用點；前述槓桿的旋轉力轉換為前述動作桿的軸線方向的力，該軸線方向的力成為對於前述內周構件或前述外周構件之荷重，前述槓桿，係在該槓桿的作用點上直接對前述動作桿賦予力，前述調節部進一步具備：連結前述動作桿與前述內周 構件或前述外周構件之連結構件，前述動作桿與前述內周構件或前述外周構件的相對位置，是藉由前述連結構件進行調整。
6. 如申請專利範圍第3至5項之任一項所述之薄膜成形裝置，其中，包括前述槓桿的施力點之該槓桿的本體與前述動作桿成為大致平行。

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