TW201834104A - 半導體裝置的元件分類設備 - Google Patents

半導體裝置的元件分類設備 Download PDF

Info

Publication number
TW201834104A
TW201834104A TW107103535A TW107103535A TW201834104A TW 201834104 A TW201834104 A TW 201834104A TW 107103535 A TW107103535 A TW 107103535A TW 107103535 A TW107103535 A TW 107103535A TW 201834104 A TW201834104 A TW 201834104A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
tray
component
loading
test
unit
Prior art date
Application number
TW107103535A
Other languages
English (en)
Inventor
柳弘俊
Original Assignee
南韓商宰體有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 南韓商宰體有限公司 filed Critical 南韓商宰體有限公司
Publication of TW201834104A publication Critical patent/TW201834104A/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2868—Complete testing stations; systems; procedures; software aspects

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本發明涉及元件分類設備，更詳言之涉及根據分類基準自動分類元件的元件分類設備。
本發明揭露一種元件分類設備，包括：裝載部(100)，裝載托盤(30)，托盤(30)裝有待檢測的元件(10)；DC測試部(170)，從裝載部(100)接收待檢測的元件(10)來執行DC測試；X-Y作業台(410)，使煉板(20)以X-Y方向移動，其中煉板(20)在導出待分類的元件(10)的空位置裝載由DC測試部(170)檢測為合格品的待檢測元件(10)；卸載部(300)，根據提前設定的分類基準將從煉板(20)導出之待分類的元件(10)裝載於對應於該分類基準的托盤(30)；第一緩衝托盤部(610)，使托盤(30)移動至DC測試部(170)上側的裝載位置和從裝載位置以水平方向間隔距離的回避位置，在托盤(30)臨時裝載DC測試部(170)的DC測試結果檢測出不合格品的元件(10)；第二緩衝托盤部(620)，位於煉板(20)的元件(10)導出位置與卸載部(300)之間，臨時裝載從煉板(20)導出待分類的元件(10)中待分類為除了合格品以外之分類等級的元件(10)。

Description

半導體裝置的元件分類設備
本發明涉及元件分類設備，更詳細地說涉及根據分類基準自動分類元件(諸如，半導體晶片)的元件分類設備。
半導體元件(以下稱為「元件」)在完成封裝製程之後，進行對電氣特性、熱或者壓力的可靠性檢測等各種檢測。
在這種對半導體元件的檢測中有燒機測試(Burn-in Test)，燒機測試在煉板(Burn-in Board)插入多個元件，將該煉板收納於燒機測試裝置內，施加預定時間的熱或壓力之後，判別是否出現不合格的元件。
燒機測試用元件處理器一般是指如下的裝置：根據合格、不合格等各個元件分別的檢測結果賦予分類基準，從正在搭載完成燒機測試的元件的煉板將元件分類(卸載)至各個托盤，同時在放置過元件的煉板的空位置(插座)重新插入待執行燒機測試的元件。
另外，如上所述的元件處理器的性能由每單位時間的分揀個數(UPH：Units Per Hour)來評價，由構成元件處理器的各個構成要素之間中移送元件、移送煉板的所需時間來決定UPH。
因此，為了提高元件分類設備的性能，即UPH，需改善各個構成要素的結構及配置。
如上所述，作為用於提高UPH的元件處理器，有韓國註冊專利第10-1133188號(專利文獻1)、韓國註冊專利第10-1177319號(專利文獻2)以及韓國公開專利10-2016-48628號(專利文獻3)等。
另一方面，隨著SD RAM到最近的NAND快閃記憶體的市場規模擴張，正在擴大大量生產。
另外，在大量生產元件時，也增加了對元件的檢測需求，因此需要設置多個元件分類設備作為後續製程，以用於根據檢測結果分類元件。
據此，在元件分類設備中，根據托盤、板等的裝置內部物流供應結構裝置的佔據空間有所不同，因此對該裝置的托盤、板等的供應結構等在裝置的佈置中成為重要因素。
本發明的目的在於提供如下的分類設備：作為用於供應燒機測試的元件、分類完成燒機測試的元件的元件分類設備，將裝載部、DC測試部、卸載部等的配置最佳化，進而可將佔據空間最小化同時有效執行元件的分類製程，其中所述裝載部裝載待檢測的元件，所述DC測試部用於執行DC測試，所述卸載部將從煉板導出的多個元件裝載於托盤。
本發明是為了達成如上所述的目的而提出的，本發明揭露一種元件分類設備，包括：裝載部100，裝載托盤30，所述托盤30裝有待檢測的元件10；DC測試部170，從所述裝載部100接收待檢測的元件10來執行DC測試；X-Y作業台410，使煉板20以X-Y方向移動，其中所述煉板20在導出待分類的元件10的空位置裝載由所述DC測試部170檢測為合格品的待檢測元件10；緩衝部600，臨時裝載從所述煉板20導出之待分類的元件10；合格品托盤部200，在所述緩衝部600裝載的待分類的元件10中將待分類為合格品的元件10裝載於托盤30；DC托盤部310，分類裝載由所述DC測試部170檢測為不合格品的元件10；廢棄托盤部320，在所述緩衝部600中分類裝載除了合格品以外的元件10。
另外，本發明還提供一種元件分類設備，包括：裝載部100，裝載托盤30，所述托盤30裝有待檢測的元件10；DC測試部170，從所述裝載部100接收待檢測的元件10來執行DC測試；X-Y作業台410，使煉板20以X-Y方向移動，其中所述煉板20在導出待分類的元件10的空位置裝載由所述DC測試部170檢測為合格品的待檢測的元件10；卸載部300，根據提前設定的分類基準將從所述煉板20導出之待分類的元件10裝載於對應於該分類基準的托盤30；第一緩衝托盤部610，使托盤30移動至所述DC測試部170上側的裝載位置和從所述裝載位 置以水平方向間隔距離的回避位置，在所述托盤30臨時裝載所述DC測試部170的DC測試結果所檢測出不合格品的元件10；第二緩衝托盤部620，位於對所述煉板20的元件10導出位置與所述卸載部300之間，臨時裝載從所述煉板20導出待分類的元件10中待分類為除了合格品以外的分類等級的元件10。
當所述裝載部100、所述煉板20的元件10導出位置和所述卸載部300的配置方向為X軸，與所述X軸水平垂直的方向為Y軸時，所述裝載部100包括：引導部，引導托盤30以Y軸方向移動；驅動部，用於沿著所述引導部移動所述托盤30。
所述卸載部300可包括：合格品托盤部301，放置有裝載待分類為合格品的元件10的托盤30；DC托盤部302，放置有裝載所述DC測試部170的檢測結果所檢測出不合格品的元件10的托盤30；一個以上的廢棄托盤部303、304，在所述煉板20中對應於除了合格品以外的分類等級數來待分類為各分類等級的元件10的托盤30。
所述合格品托盤部301、所述DC托盤部302以及所述廢棄托盤部303、304分別可包括：引導部，引導托盤30以Y軸方向移動；驅動部，沿著所述引導部移動所述托盤30。
本發明可包括：裝載運送工具510，在所述裝載部100與所述DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，以從所述裝載部100向所述DC測試部170傳達多個元件10；插入運送工具520，在所述煉板20的元件10的裝載位置以與所述DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，以將由所述DC測試部170檢測為合格品的多個元件10裝載於所述煉板20；移除運送工具530，在所述煉板20的元件10導出位置與所述第二緩衝托盤部620之間往返移動，以從所述煉板20向所述第二緩衝托盤部620的托盤30傳達元件10；卸載運送工具540，設置在所述第二緩衝托盤部620與所述卸載部300之間，以從所述第二緩衝托盤部620向所述卸載部300傳達待分類為合格品的元件10。
所述元件分類設備可包括：裝載運送工具510，在所述裝載部100與所述DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，以從所述裝載部100向所述DC測試部170傳達多個元件10；插入運送工具520，在對所述煉板20的元件10裝載位置以及所述DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，以將由所述DC測試部170檢測為合格品的多個元件10裝載於所述煉板20；移除運送工具530，沿 著所述煉板20的元件10導出位置、所述第二緩衝托盤部620以及所述卸載部300能夠往返移動，若從所述煉板20拾取的元件10全部是合格品，則將元件10傳達到所述合格品托盤部301，若在從所述煉板20拾取的元件10中包括除了合格品以外的分類等級的元件10，則向第二緩衝托盤部620的托盤30傳達元件10。
所述元件分類設備可包括：分類運送工具550，在與所述裝載運送工具510、所述插入運送工具520以及所述移除運送工具530的往返移動路線以Y軸方向間隔距離的位置能夠往返移動於所述第一緩衝托盤部610與所述卸載部300之間，在裝載於所述第一緩衝托盤部610的托盤30的元件10中，將所述DC測試部170的DC測試結果所檢測為不合格品的元件10傳達到所述DC托盤部302，根據所述分類等級，將裝載於所述第二緩衝托盤部610的托盤30的元件10傳達於所述合格品托盤部301、所述廢棄托盤部303、304中相應的托盤30。
所述第一緩衝托盤部610可上下設定兩個以上的移動區間，其中所述移動區間是托盤30以Y軸方向往返移動於所述裝載位置與所述分類運送工具550的移動區間之間的區間。
所述第二緩衝托盤部610可上下設定兩個以上的移動區間，其中所述移動區間是托盤30以Y軸方向往返移動於所述裝載位置與所述移除運送工具530的移動區間之間的區間。
所述元件分類設備可包括：更換部件裝載部680，包含裝載支撐部681、底座支撐部682，其中所述裝載支撐部681裝載有兩種以上之煉板40上的插座加壓器45、兩種DC測試部170的測試插座、兩種以上之第一緩衝托盤部610的托盤30、兩種以上之第二緩衝托盤部610的托盤30，所述底座支撐部682是為了使所述裝載支撐部681向DC測試部170的上側間隔距離而支撐所述裝載支撐部681的兩側；根據所述元件10的外形規格，自動更換所述煉板40上的插座加壓器45、所述DC測試部170的測試插座、所述第一緩衝托盤部610的托盤30、所述第二緩衝托盤部610的托盤30。
所述煉板40上的插座加壓器45、所述DC測試部170的測試插座、所述第一緩衝托盤部610的托盤30、以及所述第二緩衝托盤部610的托盤30可通過托盤運送部670從所述更換部件裝載部680導出或者裝載於所述更換部件裝載部680，其中所述托盤運送部670用於運送所述裝載部100的托盤30、所述卸載部300的托盤30。
另外，本發明揭露一種元件分類設備，包括：裝載部100，裝載托盤30，其中所述托盤30裝有待檢測的元件10；DC測試部170，從所述裝載部100接收待檢測的元件10來執行DC測試；X-Y工作臺410，以X-Y方向移動煉板20，所述煉板20在導出待分類的元件10的空位置裝載由所述DC測試部170檢測為合格品的元件10；卸載部300，根據提前設定的分類基準將從所述煉板20導出的待分類元件10裝載於對應於該分類基準的托盤30；更換部件裝載部680，包含裝載支撐部681和底座支撐部682，其中所述裝載支撐部681裝載兩種以上之煉板40上的插座加壓器45、兩種DC測試部170的測試插座；所述底座支撐部682是為了使所述裝載支撐部681向DC測試部170的上側間隔距離而支撐所述裝載支撐部681的兩側；根據所述元件10的外形規格自動更換所述煉板40上的插座加壓器45、所述DC測試部170的測試插座。
所述煉板40上的所述插座加壓器45、所述DC測試部170的測試插座可通過托盤運送部670從所述更換部件裝載部680導出或者裝載於所述更換部件裝載部680，其中所述托盤運送部670是用於運送所述裝載部100的托盤30、所述卸載部300的托盤30而設置的。
本發明的元件分類設備具有如下的優點：作為在諸如燒機測試的檢測之前以及檢測之後供應以及分類元件的元件檢測裝置，相互平行地配置裝載部的托盤的運送方向、卸載部的托盤的運送方向，鄰接於卸載部來執行對裝置供應以及排出托盤，進而將托盤的供應以及排出自動化，可顯著降低佔據空間，其中，裝載部裝載待檢測的元件，卸載部卸載在煉板檢測出合格品的元件裝載於托盤並卸載該托盤。
另外，本發明的元件分類設備具有如下的優點：將裝載部、DC測試部、卸載部等的配置最佳化，從而將佔據空間最小化的同時可有效執行元件的分類製程，其中所述裝載部裝載待檢測的元件，所述DC測試部用於執行DC測試，所述卸載部在托盤裝載從煉板導出的元件。
另外，本發明的分類設備，還配置有模組更換部，根據平面大小等元件的外形規格的變化自動更換使用於裝置內部的DC測試部的測試插座、托盤等，進而方便使用裝置。
尤其是，本發明的元件分類設備將模組更換部設置在裝置上側，進而將配置最佳化，能夠將佔據空間最小化的同時有效執行元件分類製程。
例如，所述模組交換部中使裝載DC測試部的測試插座、托盤等位於裝載部的上側，尤其是與運送工具的運送軌道共用至少一部分，進而能夠將佔據面積最小化的同時有效執行元件的分類製程。
10‧‧‧元件
20‧‧‧煉板
30‧‧‧托盤
40‧‧‧主體
45‧‧‧插座加壓器
50‧‧‧齒條
100‧‧‧裝載部
150‧‧‧托盤旋轉部
170‧‧‧DC測試部
171‧‧‧測試托盤部
172‧‧‧頭部交換部
180‧‧‧DC測試部
200‧‧‧合格品托盤部
300‧‧‧卸載部
301‧‧‧合格品托盤部
302‧‧‧DC托盤部
303‧‧‧廢棄托盤部
304‧‧‧廢棄托盤部
310‧‧‧DC托盤部
320‧‧‧廢棄托盤部
330‧‧‧托盤緩衝部
410‧‧‧X-Y作業台
510‧‧‧第三運送工具(裝載運送工具)
520‧‧‧第四運送工具(插入運送工具)
530‧‧‧第一運送工具(移除運送工具)
540‧‧‧第二運送工具(卸載運送工具)
550‧‧‧第五運送工具(分類運送工具)
560‧‧‧第六運送工具
600‧‧‧緩衝部(第一移動緩衝器)
610‧‧‧緩衝托盤部(第一緩衝托盤部)
620‧‧‧第二緩衝托盤部
670‧‧‧托盤運送部
671、672、673‧‧‧底面支撐部
680‧‧‧更換部件裝載部
681‧‧‧裝載支撐部
682‧‧‧底座支撐部
683‧‧‧壁體部
800‧‧‧煉板裝載器
900‧‧‧托盤處理部
910‧‧‧托盤交換部
920‧‧‧托盤傳送部
950‧‧‧2D掃描器
960‧‧‧2D掃描器
970‧‧‧視覺裝置
DC1‧‧‧元件交換位置
DC2‧‧‧元件分類位置
S1‧‧‧元件卸載位置
S2‧‧‧元件分類位置
T1‧‧‧前方托盤運送線
T2‧‧‧後方托盤運送線
圖1是顯示本發明第一實施例的元件分類設備的平面配置圖；圖2是顯示圖1的元件分類設備的托盤、測試托盤、緩衝托盤的概念的平面圖；圖3是顯示本發明第二實施例的元件分類設備的配置的平面配置圖；圖4是顯示圖3的元件分類設備中使用於裝載部、DC測試部、第一緩衝托盤部、煉板、第二緩衝托盤部和卸載部之間運送元件的過程的運送工具的配置示例的正面圖；圖5是顯示在圖3的元件分類設備中增加用於更換DC測試部的測試插座、第一緩衝托盤部的托盤、第二緩衝托盤部的托盤、煉板上的插座加壓件的結構的示例的後視圖；圖6是顯示在圖3的元件分類設備中用另一種類的托盤更換第一緩衝托盤部的托盤或者第二緩衝托盤部的托盤的過程的側視圖；圖7是顯示在圖3的元件分類設備中用另一種類的托盤更換第一緩衝托盤部的托盤或者第二緩衝托盤部的托盤的過程的後視圖；圖8是顯示在圖3的元件分類設備中用另一種類的測試插座更換DC測試部的測試插座的過程的側視圖；以及圖9是顯示在圖3的元件分類設備中用另一種類的測試插座更換DC測試部的測試插座的過程的後視圖。
參照附圖，如下說明本發明的元件分類設備。
如圖1以及圖2所示，本發明第一實施例的元件分類設備包括：裝載部100，裝載待檢測的元件10的托盤30；DC測試部170，從裝載部100接收待檢 測的元件10來執行DC測試；X-Y作業台410，以X-Y方向移動煉板20，其中煉板20是在導出待分類的元件10的空位置裝載由DC測試部170檢測為合格品的待檢測的元件10；緩衝部600，臨時裝置從煉板20導出之待分類的元件10；合格品托盤部200，在裝載於緩衝部600的待分類的元件1中在托盤30裝載待分類為合格品的元件10；DC托盤部310，分類裝載被DC測試部170檢測為不合格品的元件10；廢棄托盤部320，在緩衝部600中分類裝載除了合格品以外的元件10。
煉板20是指為了能夠在燒機測試裝置(圖中未顯示)中進行燒機測試而裝載元件10的板件，並且具有分別插入元件10的插座，進而能夠在高溫下測試電氣特性、信號特性。
煉板20裝載於設置在元件分類設備的X-Y作業台410，裝載元件10的同時卸載完成燒機測試的元件10。
對於X-Y作業台410，煉板20作為其構成之一，裝載插入元件10的煉板20的同時卸載插入元件10的煉板20，如圖1所示包括煉板交換裝置(圖中未顯示)，以接收待執行元件10交換的煉板20或者排出完成元件10交換的煉板20。
另外，X-Y作業台410被X-Y作業台驅動部(圖中未顯示)驅動以使煉板20移動，進而通過第一運送工具530使元件10插入於煉板20的空位置或者使元件10從煉板20搬出。
對於所述X-Y作業台驅動部，可具有各種結構，具體地說，為使第二運送工具540及第一運送工具530將元件10容易地從煉板20搬出或者裝載於煉板20，與第二運送工具540及第一運送工具530連動使裝載有煉板20的X-Y作業台410進行X-Y移動或者X-Y-θ移動等。
亦即，所述X-Y作業台驅動部使X-Y作業台410移動，進而與第二運送工具540連動從煉板20導出元件10的同時與第一運送工具530連動將元件10插入於煉板20的空位置，若完成元件10插入於煉板20，則可使X-Y作業台410移動至煉板交換位置。
另外，X-Y作業台410設置在構成本發明的元件處理器的主體40，主體40可包括形成有開口部(圖中未顯示)的上板(圖中未顯示)，所述開口部用於使第二運送工具540及第一運送工具530將元件10從煉板20搬出或者裝載於煉板20。
另外，在X-Y作業台410上側設置有加壓設置在煉板20的插座的插座加壓器，以便對煉板20導出元件及裝載元件。
插座加壓器45能夠導出或者裝載插入於煉板20的插座的元件，並且根據煉板20的插座結構可具有各種結構。
另一方面，較佳為，根據元件10的外形規格需要不同的插座加壓器45，並且能夠手動或者自動更換插座加壓器45。
另外，在插座加壓器45的上部可設置視覺裝置970，以用於對準煉板20的位置，進而通過第一運送工具530和第二運送工具540導出以及排出元件10。
裝載部100作為用於裝載托盤30的結構，可具有各種結構，其中托盤30裝載有待裝載於煉板20的多個元件10。
另一方面，裝載部100可設置有2D掃描器960，該2D掃描器960設置在托盤30的運送方向的上部，以用於檢測托盤罩、托盤30本身、裝載於托盤30的元件10等以及識別QR代碼等。
另外，合格品托盤部200作為用於在元件10中將合格品的元件(以下稱為「合格品」)裝載於托盤30的結構，可具有各種結構。
與專利文獻1至3相同，裝載部100及合格品托盤部200的結構一般包括：引導各個托盤30可分別進行移動的引導部；用於移動托盤30的驅動部(圖中未顯示)。
另一方面，如圖1所示，在裝載部100中從托盤30導出元件10之後空托盤30可通過設定在裝置後方的托盤運送部(圖中未顯示)傳達到合格品托盤部200、托盤處理部900等來裝載元件10。
這時，托盤30可能存在殘餘元件10，因此為了在托盤30從裝載部100傳達到合格品托盤部200之前移除在托盤30存在殘餘元件10，可追加設置旋轉托盤30來移除殘餘元件10的托盤旋轉部150。
如圖1所示，托盤旋轉部150是在裝載部100與合格品托盤部200之間設置在托盤30的運送路徑上，並且通過托盤運送部從裝載部100接收托盤30來旋轉托盤30，之後將托盤30傳達到合格品托盤部200。
DC測試部170作為設置在裝載部100與插座加壓器45之間從裝載部100接收待檢測的元件10來執行DC測試的結構，可具有各種結構。
DC測試部170可具有各種構成，具體可由可電氣性連接元件10的多個插座構成等，較佳為可橫向設置插座，且該插座數量與托盤30的橫向個數相同。
DC測試部170對各個元件10的測試結果可靈活用在後述的DC托盤部310中用於分類的資料。
在此，通過第三運送工具510執行從裝載部100的托盤30向DC測試部170運送元件。
另一方面，DC測試部170可包括多個測試托盤部171，所述多個測試托盤171可與裝載部100中的托盤的運送方向平行地移動。
具體地說，測試托盤部171可有兩個以上結構，能夠依次移動元件分類位置DC2和元件交換位置DC1。
另外，在元件交換位置DC1的測試托盤部171通過第三運送工具510從裝載部100的托盤30將元件10裝載於由第二運送工具540導出的位置。
然後，在元件交換位置DC1將元件10裝載完成之後移動至元件分類位置DC2，在元件分類位置DC2完成元件分類的測試托盤部171移動至元件交換位置DC1，如上所述通過第三運送工具510從裝載部100的托盤30將元件10裝載於由第二運送工具540導出的位置。
另一方面，在移動至元件分類位置DC2的測試托盤部171通過第五運送工具550將由DC測試部170檢測為不合格品的元件10被分類裝載於DC托盤部310。
在此，DC托盤部310作為分類裝載由DC測試部170檢測為不合格品的元件10的結構，使用與裝載部100、合格品托盤部200相同的托盤30。
另一方面，較佳為，在移動到元件分類位置DC2的測試托盤部171中，在傳達到DC托盤部310之後，對於該空出來的位置，全部按照第二運送工具540的拾取器的佈置來對第五運送工具550進行再佈置來填充該空出來的位置，進而在移動至元件交換位置DC1之前能夠順利導出元件。
另一方面，根據元件10的外形規格需要不同的測試托盤部171，較佳為能夠手動或者自動更換測試托盤部171。
另外，在測試托盤部171往返移動於元件分類位置DC2與元件交換位置DC1之間時，測試托盤部171的結構可與專利文獻3的圖3相同。
另外，測試托盤部171可與安裝多個拾取頭的頭部交換部172一同設置，進而能夠自動更換後述的第二運送工具540和第三運送工具510中的至少一個的拾取器的拾取頭。
緩衝部600作為臨時裝載從X-Y台410上的煉板20導出的待分類元件10的結構，可具有各種結構。
尤其是，緩衝部600的結構較佳為與上述的DC測試部170類似。
在此，通過第一運送工具530執行從X-Y作業台410上的煉板20向緩衝部600運送元件，通過第四運送工具520執行從緩衝部600向合格品托盤部301運送元件。
另一方面，緩衝部600可包括多個緩衝托盤部610，所述多個緩衝托盤部610可移動且與卸載部300的托盤運送方向平行。
具體地說，可具有兩個以上的緩衝托盤部610，進而能夠依次移動元件分類位置S2和元件卸載位置S1。
然後，在元件卸載位置S1中緩衝托盤部610通過第一運送工具530從X-Y作業台410上的煉板20將元件10裝載於由第四運送工具520導出的位置。
然後，在元件卸載位置S1完成元件10裝載之後，移動至元件分類位置S2，在元件分類位置S2完成元件裝載的緩衝托盤部610移動到元件卸載位置S1，如上所述通過第一運送工具530從X-Y作業台410上的煉板20將元件10裝載於由第四運送工具520導出的位置。
另一方面，在移動到元件分類位置S2的緩衝托盤部610中由燒機測試裝置等檢測為不合格品的元件10通過第六運送工具560分類裝載於廢棄托盤部320。
在此，廢棄托盤部320作為分類裝載由燒機測試裝置等檢測為不合格品的元件10(即，在緩衝部600中分類裝載除了合格的元件10)的結構，使用與裝載部100、合格品托盤部200相同的托盤30。
另一方面，較佳為，在移動至元件分類位置S2的緩衝托盤部610中，在傳達至廢棄托盤部320之後，對於該空出的位置，全部按照第四運送工具520的拾取器的佈置對第六運送工具560進行再佈置來填充該空出的位置，進而在移動至元件卸載位置S1之前可通過第四運送工具520順利導出元件。
另一方面，根據元件10的外形規格需要不同的緩衝托盤部610，據此較佳為能夠手動或者自動更換地緩衝托盤部610。
另外，在元件分類位置S2與元件卸載位置S1之間的往返移動中，緩衝托盤部610的結構可與專利文獻3的圖3相同。
另外，緩衝托盤部610可與安裝多個拾取頭的頭交換部一同設置，進而能夠自動更換後述的第二運送工具530和第四運送工具520中的至少一個的拾取器的拾取頭。
另一方面，根據提前在裝置前方設置的分類等級數設置多個DC托盤部310和廢棄托盤部320，並且以與裝載部100和合格品托盤部200的托盤30的運送方向垂直的方向設置多個DC托盤部310和廢棄托盤部320。
然後，DC托盤部310和廢棄托盤部320與裝載部100和合格品托盤部200的一端一同形成前方托盤運送線T1。
具體地說，廢棄托盤部320根據四個分類等級配置四個分類托盤；DC托盤部310根據兩個分類等級可配置兩個分類托盤。
另外，可在DC托盤部310與裝載部100之間設定托盤緩衝部330，以向DC托盤部310和廢棄托盤部320供應托盤、臨時保管托盤等。
另外，在裝置的後方可與裝載部100和合格品托盤部200的另一端、托盤旋轉部150一同形成後方托盤運送線T2，並且與前方托盤運送線T1相互對立。
所述運送工具510、520、530、540、550、560作為用於在裝載部100與DC測試部170之間、緩衝部600與合格品托盤部200之間、煉板20與緩衝部600之間、DC測試部170與煉板20之間、DC測試部170與DC托盤部310之間、緩衝部600與廢棄托盤部320之間運送元件的結構，根據各結構的配置可具有各種結構。
例如，所述運送工具可包括：用於在裝載部100與DC測試部170之間運送元件的第三運送工具510；在緩衝部600與合格品托盤部200之間運送元件的第四運送工具520；在煉板20與緩衝部600之間運送元件的第一運送工具530；在DC測試部170與煉板20之間運送元件的第二運送工具540；在DC測試部170與DC托盤部310之間運送元件的第五運送工具550；在緩衝部600與廢棄托盤部320之間運送元件的第六運送工具560。
另外，第一運送工具530從煉板20導出元件10傳達到緩衝部600；第二運送工具540從DC測試部170導出元件10插入於由第一運送工具530導出的煉板20的空位置。
另一方面，裝載於煉板20的元件10的排列與在裝載部100等的托盤30的裝載的元件10的排列相互不同，而煉板20上的排列相對較多。
從而，向煉板20運送元件10或從煉板20搬出元件10的第一運送工具530和第二運送工具540較佳為相比於剩餘運送工具移送數量相對多的元件10。例如，第一運送工具530和第二運送工具540為5×2，而剩餘運送工具則可以是4×1等。
如上述構成運送工具的情況，除了需要運送數量相對更多的元件10的位置以外，在需要運送數量相對少的位置也能夠使用運送少量的元件10的運送工具，因此在節省裝置的製造成本的同時能夠提高裝置的大小及穩定性。
另外，考慮到在煉板20上交替執行裝載及導出元件10，可使第一運送工具530和第二運送工具540形成一體來移動。
另外，考慮到元件10的效率，第一運送工具530和第二運送工具540的拾取器的橫向個數與用於在第一移動緩衝器600和第二移動緩衝器700中裝載元件10的元件收容槽(圖中未顯示)的橫向個數相同。
另一方面，對於第三運送工具510和第四運送工具520，考慮到分別對應於第二運送工具540和第一運送工具530來運送元件10，較佳為第二運送工具540和第一運送工具530的拾取器的橫向個數相同。
另一方面，一般煉板20上的元件10之間的間距與托盤30上的元件10之間的間距相互不同(2倍等)，為此，第一運送工具530和第二運送工具540與第三運送工具510和第四運送工具520中的一個較佳為可使由拾取器拾取的元件10之間的間距發生變化。
第五運送工具550移動於DC測試部170與DC托盤部310之間的同時可運送元件10，以使在位於元件分類位置DC2的測試托盤部171裝載的元件10中由DC測試部170所檢測為不合格品的元件10裝載於配置在DC托盤部310的托盤中指定為DC不合格的托盤。
第六運送工具560可根據裝在緩衝托盤部610的元件10中除了合格品的元件以外的分類等級在緩衝部600與廢棄托盤部320之間運送元件10，進而在配置在廢棄托盤部320的托盤中按照分類等級將元件10裝載於托盤。
如上所述，若由用於分類元件的第五運送工具550和第六運送工具560構成，則可迅速分類元件。
另一方面，多個所述運送工具可包括：一個以上的拾取器，具有吸附頭，所述吸附頭分別在末端通過真空壓吸附元件10；拾取器運送裝置，用於以X-Z、Y-Z或者X-Y-Z方向移動一個以上的拾取器。
尤其是，多個所述運送工具可將拾取頭配置成一列或者5×2、4×2等的多列。
另一方面，如圖1所示，本發明的元件分類設備包括設置在一側的煉板裝載器800，以持續接收煉板20。
煉板裝載器800的結構如下：裝載並安裝插入元件10的煉板20的同時依次裝載插入元件10的多個煉板20來運送到燒機測試的結構(亦即，用於持續交換X-Y作業台410與煉板20的結構)，可具有各種結構，具體由專利文獻3揭露的煉板裝載器800構成等。
另一方面，較佳為，煉板裝載器800與裝載部100鄰接設置。
尤其是，若煉板裝載器800與裝載部100鄰接設置，則當與裝載部100中的托盤的運送方向垂直的方向為Y軸時，煉板裝載部800較佳為以X軸方向結合於裝載部100。
此時，通過結合如上所述的煉板裝載器800裝載有煉板20的齒條50鄰接於裝置的右側(尤其是裝載部100)能夠以X軸方向導入或者導出。
另外，在煉板裝載器800與裝載部100之間或者在煉板裝載器800可設置用於識別煉板20的QR碼等的2D掃描器950。
尤其是，2D掃描器950較佳為設置在煉板裝載器800與裝載部100之間，以在從煉板裝載器800至X-Y作業台410之間的煉板20傳達過程中能夠識別QR碼等。
另一方面，還可設置托盤處理部900，所述托盤處理部900對應於如上所述的煉板裝載器800的配置，並且鄰接於合格品托盤部200導入以及排出托盤30。
在此，托盤處理部900較佳為以與合格品托盤部200的托盤運送方向(Y軸方向)垂直的X軸方向鄰接於合格品托盤部200。
另外，關於托盤處理部900的配置，元件分類設備較佳為整體依次配置托盤處理部900、合格品托盤部200、緩衝部600、插座加壓器45、DC測試部170、裝載部100以及煉板裝載器800。
較佳為，可使托盤處理部900構成能夠沿著上述的前方托盤運送線T1、後方托盤運送線T2傳達單一的托盤或者上下層疊的多個托盤。
在此，沿著前方托盤運送線T1運送托盤是通過第一托盤運送部(圖中未顯示)執行的，而沿著後方托盤運送線T2運送托盤是通過第二托盤運送部(圖中未顯示)執行的。
另一方面，托盤處理部900可設定托盤交換部910，所述托盤交換部910是用於操作人員在合格品托盤部200的托盤運送方向中的一端和另一端中的任意一端供應以及排出托盤。
在此，對裝置供應以及排出托盤是位於與上述的煉板裝載器800供應以及排出煉板的相反的位置，進而可有效管理用於供應以及排出煉板20和托盤30的外部。
另一方面，托盤處理部900可設置有托盤傳送部920，以用於在前方托盤運送線T1與後方托盤運送線T2之間(以Y軸方向)運送托盤。
托盤傳送部920作為用於在前方托盤運送線T1與後方托盤運送線T2之間運送托盤的結構，可具有各種結構，具體有輸送帶等。
參照圖3至圖9，本發明第二實施例的元件分類設備包括：裝載部100，裝載裝有待檢測的元件10的托盤30；DC測試部170，從裝載部100接收待檢測的元件10來執行DC測試；X-Y作業台，以X-Y方向移動煉板20，煉板20在導出待分類的元件10的空位置裝載由DC測試部170檢測為合格品的待檢測的元件10；卸載部300，根據提前設定的分類基準，在對應於相應分類基準的托盤30裝載從煉板20導出之待分類的元件10；第一緩衝托盤部610，使托盤30可移動到從DC測試部170上側的裝載位置和從裝載位置間隔距離的回避位置，並且臨時裝載DC測試部170的DC測試結果所檢測為不合格品的元件10；第二緩衝托盤部620，位於煉板20導出元件10的位置與卸載部300之間，在從煉板20導出的待分類的元件10中臨時裝載按照除了合格品以外的分類等級分類的元件10。
在此，對於在圖3中未標記的結構，賦予與圖1相同的元件符號以便於說明，並且為了便於說明，省略對於相同或者類似結構的一部分的說明。
煉板20是指為了能夠在燒機測試裝置(圖中未顯示)中進行燒機測試而裝載元件10的板件，並且具有分別插入元件10的插座，進而能夠在高溫下能夠測試電氣特性、信號特性。
煉板20裝載於設置在元件分類設備的X-Y作業台410，裝載元件10的同時卸載完成燒機測試的元件10。
對於X-Y作業台410，煉板20作為其構成之一，裝載插入元件10的煉板20的同時卸載插入元件10的煉板20，如圖1所示包括煉板交換裝置(圖中未顯示)，以接收待執行元件10交換的煉板20或者排出完成元件10交換的煉板20。
另外，X-Y作業台410被X-Y作業台驅動部(圖中未顯示)驅動以使煉板20移動，進而通過第一運送工具530使元件10插入於煉板20的空位置或者使元件10從煉板20搬出。
對於所述X-Y作業台驅動部，可具有各種結構，具體地說，為使第二運送工具540及第一運送工具530將元件10容易地從煉板20搬出或者裝載於煉板20，與第二運送工具540及第一運送工具530連動使裝載有煉板20的X-Y作業台410進行X-Y移動或者X-Y-θ移動等。
亦即，所述X-Y作業台驅動部使X-Y作業台410移動，進而與第二運送工具540連動從煉板20導出元件10的同時與第一運送工具530連動將元件10插入於煉板20的空位置，若完成元件10插入於煉板20，則可使X-Y作業台410移動至煉板交換位置。
另外，X-Y作業台410設置在構成本發明第一實施例的元件分類設備的主體40，主體40可包括形成有開口部(圖中未顯示；以下，稱為「導出位置」或者「裝載位置」)的上板(圖中未顯示)，其中所述開口部用於使移除工具540及插入運送工具520將元件10從煉板20搬出或者裝載於煉板20。
另外，在X-Y作業台410上側設置有加壓設置在煉板20的插座的插座加壓器45，以便於對煉板20導出元件及裝載元件。
插座加壓器45能夠導出或者裝載插入於煉板20的插座的元件，並且根據煉板20的插座結構可具有各種結構。
另一方面，根據元件10的外形規格可需要不同的插座加壓器45，較佳為能夠手動或者與裝載於更換部件裝載部680的另一種類的插座加壓器45自動更換地設置插座加壓器45(參照圖5至圖9的結構)。
另外，在插座加壓器45的上部可設置用於對準煉板20的位置的視覺裝置970，以通過移除運送工具530和插入運送工具520導出以及排出元件10。
裝載部100作為裝載托盤30的結構，可具有各種結構，其中托盤30裝載有待裝載於煉板20的多個元件10。
另一方面，裝載部100可設置有2D掃描器960，該2D掃描器960設置在托盤30的運送方向的上部，以用於檢測托盤罩、托盤30本身、裝載於托盤30的元件10等以及識別QR碼等。
與專利文獻1至3相同，裝載部100及卸載部300的構成一般包括：可使托盤30分別以Y軸方向移動而進行引導的引導部；用於移動托盤30的驅動部(圖中未顯示)。
在此，當對煉板20的元件10導出位置以及卸載部300的配置方向為X軸時，與X軸水平垂直的方向定義為Y軸。
另外，卸載部300作為根據提前設定的分類基準在對應於相應分類基準的托盤30裝載從煉板20導出的待分類元件10的結構，可具有各種結構。
例如，如圖3所示，卸載部300可包括：合格品托盤部301，放置有裝載待分類為合格品的多個元件10的托盤30；DC托盤部302，裝載DC測試部170的檢測結果所檢測為不合格品的元件10的托盤30；一個以上的廢棄托盤部303、304，放置有從煉板20中裝載按照對應於除了合格品以外的分類等級數的各分類等級待分類的元件10的托盤30。
合格品托盤部301作為放置裝載待分類為合格品的多個元件10的托盤30的結構，可具有各種結構，具體與裝載部100類似的結構等。
DC托盤部302作為放置裝載DC測試部170的檢測結果所檢測出不合格品的元件10的托盤30的結構，可具有各種結構，具體有與裝載部100類似的結構等。
廢棄托盤部303、304作為放置有從煉板20中裝載按照對應於除了合格品以外的分類等級數的各分類等級待分類的元件10的托盤30的結構，可具有各種結構，具體有與裝載部100類似的結構。
在此，可根據分類等級決定所述廢棄托盤部303、304數量。
另一方面，合格品托盤部301、DC托盤部302以及廢棄托盤部303、304包括引導部與驅動部等，所述引導部引導各托盤30，以使各個托盤30能夠以Y軸方向移動，所述驅動部用於沿著所述引導部移動托盤30，並且合格品托盤部301、DC托盤部302以及廢棄托盤部303、304可具有各種結構。
另一方面，如圖1所示，在裝載部100中，從托盤30導出多個元件10之後的空托盤30通過設定在裝置後方側的托盤運送部670(參照圖5)可傳達至卸載部300、托盤處理部900等。
此時，在托盤30可能殘留元件10，從而為了在托盤30從裝載部100傳達至合格品托盤部200之前清除在托盤30殘留的元件10，可設置托盤旋轉部150，旋轉托盤30來清除殘留的元件10。
如圖1以及圖3所示，托盤旋轉部150的結構如下：在裝載部100與卸載部300之間設置在托盤30的運送路徑T2上，並且通過托盤運送部670從裝載部100接收托盤30來旋轉托盤30，之後向卸載部300傳達托盤30。
另一方面，與前方托盤傳送線T1相互對應，裝載部100和卸載部300的另一點、托盤旋轉部150一同可形成後方托盤傳送線T2。
DC測試部170作為設置在裝載部100與插座加壓器45之間並從裝載部100接收待檢測的元件10來執行DC測試的結構，可具有各種結構。
DC測試部170由可電氣性連接多個元件10的多個插座構成等，可形成各種結構，較佳為可橫向設置數量與托盤30的橫向個數相同的插座。
DC測試部170對各個元件10的測試結果用於後述的分類運送工具550進行分類的資料。
在此，從裝載部100的托盤30向DC測試部170運送元件是通過裝載運送工具510執行的。
另一方面，若作為處理物件的元件10的外形規格(諸如，大小)發生變化，則需更換構成DC測試部180的測試插座。
與上述測試插座45的更換過程相同，較佳為能夠自動更換後述之圖5、圖8以及圖9所示之更換部件裝載部680裝載的另一種類的測試插座。
在此，為了靈活更換DC測試部170的測試插座，DC測試部170的測試插座較佳為能夠以Y軸方向移動。
第一緩衝托盤部610的結構如下：使托盤30能夠向DC測試部170的上側的裝載位置以及從裝載位置隔離的回避位置，並且臨時裝載DC測試部170的DC測試結果所檢測出不合格品的元件10，可具有各種結構。
例如，第一緩衝托盤部610的結構與裝載部100相同，可使托盤30能夠以X軸方向移動。
另外，DC測試部170的正上方為裝載位置，以DC測試部170的正上方為基準以X軸方向的前方以及後方可稱為回避位置。
另外，為了順利傳達在DC測試部170的DC測試結果所檢測為不合格品的元件10，可運送兩個以上的托盤30，同時可上下配置移動路徑。
亦即，第一緩衝托盤部610較佳為上下設置兩個以上的移動區間，該移動區間是托盤30以Y軸方向往返移動於裝載位置與分類運送工具550的移動區間之間的區間。
另一方面，可通過各種方式執行DC測試部170與第一緩衝托盤部610之間傳達元件10的過程，以使處理器運作流暢。
例如，通過所述裝載運送工具510向DC測試部170運送元件，之後DC測試結果判定全部是合格品的情況下，通過插入運送工具520直接傳達到煉板40。
另一方面，所述DC測試結果檢測出存在一部分的不合格元件10的情況下，在DC測試部170裝載的所有元件10被裝載運送工具510導出之後全部裝載到第一緩衝托盤部610的托盤30。
然後，在第一緩衝托盤部610的托盤30裝載所有的元件10的情況下，托盤30移動到分類運送工具550的運送路徑上。此時，在托盤30移動到分類運送工具550的運送路徑上的情況下，另一托盤30接收DC測試結果所檢測出不合格品的元件10。
另一方面，移動到分類運送工具550的運送路徑上的托盤30中除了判定為合格品的元件10以外的DC測試結果所檢測出不合格品的元件10通過分類運送工具550全部傳達到DC托盤部302，進而在托盤30只剩下合格品的元件10。
另一方面，檢測出不合格品的元件10被全部清除的托盤30重新移動到裝載位置，之後通過插入運送工具520傳達到煉板40。
另外，根據元件10的外形規格需更換托盤30，與DC測試部170的更換過程類似，較佳為能夠自動更換裝載於更換部件裝載部680(圖5至圖7)的另一種類的托盤。
第二緩衝托盤部620的結構如下：位於煉板20的元件10導出位置與卸載部300之間，臨時裝載在從煉板20導出的待分類元件10中按照除了合格品以外的分類等級待分類的元件10，可具有各種結構。
例如，與裝載部100相同，第二緩衝托盤部620可使托盤30以X軸方向移動。
然後，從煉板40到卸載部300的元件10傳達路徑，即移除運送工具530的移動路徑上的裝載位置與以裝載位置為基準的X軸方向的前方以及後方可稱為回避位置。
另外，為了順利傳達從煉板40導出的元件10中按照除了合格品以外的分類等級分類的元件10，可運送兩個以上的托盤30，與此同時可上下配置移動路徑以在移動時進行干涉。
亦即，第二緩衝托盤部620較佳為可上下設置兩個以上的移動區間，該移動區間是托盤30以Y軸方向往返移動於裝載位置與移除運送工具530的移動區間之間的區間。
另一方面，可通過各種方式執行煉板40與第二緩衝托盤部620之間傳達元件10的過程，以使處理器運作流暢。
例如，在通過移除運送工具530從煉板40導出的元件10中按照除了合格品以外的分類等級分類的元件10存在一部分的情況下，由移除運送工具530拾取的所有元件10全部裝載到第二緩衝托盤部620的托盤30。
然後，在第二緩衝托盤部620的托盤30裝載所有的元件10的情況下，托盤30移動至分類運送工具550的運送路徑上。
然後，根據元件10的分類等級通過分類運送工具550全部傳達到卸載部300。此時，在托盤30移動至分類運送工具550的運送路徑上時，在從煉板40導出的元件10中按照除了合格品以外的分類等級分類的元件10存在一部分的情況下，接收由移除運送工具530拾取的所有元件10。
另一方面，在第二緩衝托盤部620的托盤30導出所有的元件10的情況下，托盤30將重新移動至裝載位置。
另外，較佳為，根據元件10的外形規格需要更換托盤30，與第二緩衝托盤部620的托盤30的更換過程類似，能夠自動更換在後述之圖5至圖7所示更換部件裝載部680裝載的另一種類的托盤。
另一方面，多個元件10具有各種結構，並且為順利運送元件10可多樣地配置多個運送工具。
例如，如圖4所示，所述運送工具可包括：裝載運送工具510，在裝載部100與DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，從裝載部100向DC測試部170傳送多個元件10；插入運送工具520，在對煉板20的元件10裝載位置與DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，將由DC測試部170檢測出合格品的多個元件10裝載於煉板20；移除運送工具530，在煉板20的元件10導出位置與第二緩衝托盤部620之間往返移動，從煉板20向第二緩衝托盤部620的托盤30傳達元件10；卸載運送工具540，設置在第二緩衝托盤部620與卸載部300之間，將從第二緩衝托盤620待分類為合格品的元件10傳達至卸載部300。
舉另一示例，所述運送工具可包括：裝載運送工具510，在裝載部100與DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，並從裝載部100向DC測試部170傳達多個元件10；插入運送工具520，在煉板20的元件10裝載位置與DC測試部170之間能夠以X軸方向往返移動，並且將從DC測試部170檢測出合格品的多個元件10裝載於煉板20；移除運送工具530，可沿著煉板20的元件10導出位置、第二緩衝托盤部620以及卸載部300往返移動，若從煉板20拾取的元件10全部是合格品，則將元件10傳達至合格品托盤部301，若從煉板20拾取的元件10中包括除了合格品以外的分類等級的元件10，則向第二緩衝托盤部620的托盤30傳達元件10。
另外，移除運送工具530將從煉板20導出元件10傳達至卸載部300以及/或者第二緩衝托盤部620的托盤30；插入運送工具520將從DC測試部170導出元件10插入於由移除運送工具530導出的煉板20的空位置。
另一方面，裝載於煉板20的元件10的排列與裝載部100等的托盤30裝載的元件10的排列不同，而是煉板20上的排列相對較多。
據此，較佳為對煉板20運送元件10或者導出元件10的移除運送工具530和插入運送工具520與剩餘運送工具相比運送數量相對多的元件10。例 如，移除運送工具530和插入運送工具520可以是5×2，而剩餘運送工具可以是5×1等。
如上構成運送工具的情況下，除了需要運送數量相對多的元件10的位置以外，也可在需要運送數量相對少的元件10的位置使用運送少量元件10的運送工具，因此在節省製造成本的同時能夠提高裝置的大小以及穩定性。
對於移除運送工具530和插入運送工具520的拾取器的橫向個數，考慮到元件10的效率，可與用於第一緩衝托盤部610與第二緩衝托盤部620裝載元件10的元件收容槽(圖中未顯示)的橫向個數相同。
另一方面，對於裝載運送工具510和卸載運送工具540，考慮到分別對應於插入運送工具520和移除運送工具530來運送元件10，較佳為插入托盤運送工具520和移除托盤運送工具530的拾取器的橫向個數相同。
另一方面，通常煉板20上的元件10之間的間距、托盤30上的元件10之間的間距相互不同(2倍)，因此較佳為「插入運送工具520以及移除運送工具530」與「裝載運送工具510以及卸載運送工具540」中的一對可改變通過拾取器拾取的元件10之間的間距。
另一方面，分類運送工具550的設置結構如下：在從與裝載運送工具510、插入運送工具520以及移除運送工具530的往返移動路線以Y軸方向間隔距離的位置往返線性移動於第一緩衝托盤部610與卸載部300之間，將裝載於第一緩衝托盤部610的托盤30的元件10中將DC測試部170 DC所測試出不合格品的元件10傳達至DC托盤部302，並根據分類等級將裝載於第二緩衝托盤部610的托盤30的元件10傳達於合格品托盤部301、廢棄托盤部303、304中相應的托盤30。
分類運送工具550將在第一緩衝托盤部610的托盤30裝載的元件10中DC測試部170的DC測試結果所檢測出不合格品的元件10傳達至DC托盤部302，根據分類等級將第二緩衝托盤部610的托盤30的裝載的元件10傳達於合格品托盤部301、廢棄托盤部303、304中相應的托盤30，並且分類運送工具550可具有各種結構。
另一方面，多個所述運送工具可包括：一個以上的拾取器，具有吸附頭，該吸附頭分別設置在末端通過真空壓吸附元件10；拾取器運送裝置，用於以X-Z、Y-Z或者X-Y-Z方向移動拾取器。
尤其是，所述運送工具可將拾取器排成一列，或者排成5×2、4×2等多列。
另一方面，如圖3所示，本發明的元件分類設備包括設置在一側以持續接收煉板20的煉板裝載器800。
煉板裝載器800可具有各種結構，具體由在專利文獻3揭露的煉板裝載器800構成等，裝載插入元件10的煉板20的同時依次裝載插入元件10的煉板20來運送至燒機測試(亦即，用於持續交換X-Y作業台410與煉板20的結構)。
另一方面，較佳為，煉板裝載器800與裝載部100鄰接設置。
尤其是，若煉板裝載器800與裝載部100鄰接，則在與從裝載部100的托盤運送方向垂直的方向為Y軸時，則以X軸方向結合於裝載部100。
此時，通過結合如上所述的煉板裝載器800，裝載多個煉板20的齒條50鄰接於裝置的右側(尤其是，裝載部100)能夠以X軸方向導入或者排出煉板20。
另外，煉板裝載器800與裝載部100之間或者在煉板裝載器800可設置2D掃描器950，以用於識別煉板20的QR碼等。
尤其是，較佳為2D掃描器950設置在煉板裝載器800與裝載部100之間，以在從煉板裝載器800到X-Y作業台410之間傳達煉板20的過程中能夠識別QR碼等。
另一方面，還可設置托盤處理部900，所述托盤處理部900對應於煉板裝載器800的配置，鄰接於合格品托盤部200以用於導出以及排出托盤30。
在此，較佳為，托盤處理部900以與合格品托盤部200的托盤運送方向(Y軸方向)垂直的X軸方向鄰接於合格品托盤部200。
另外，關於托盤處理部900的配置，較佳為元件分類設備整體依次配置托盤處理部900、合格品托盤部200、緩衝部600、插座加壓器45、DC測試部170、裝載部100以及煉板裝載器800。
較佳為，托盤處理部900能夠沿著上述的前方托盤運送線T1、後方托盤運送線T2傳達單個托盤或者上下層疊的多個托盤。
在此，沿著前方托盤運送線T1運送托盤通過第一托盤運送部(圖中未顯示)執行；而沿著後方托盤運送線T2運送托盤通過第二托盤運送部(圖中未顯示)執行。
另一方面，作為處理物件的元件10平面形成一般具有直角四邊形形狀，並且根據元件種類可具有不同外形規格(橫向長度以及縱向長度)。
此時，若作為處理物件的元件10的外形規格不同，則根據外部托盤供應可更換裝載部100的托盤30和卸載部300的托盤30以對應於元件10的外形規格。
但是，煉板40上的插座加壓器45、DC測試部170的測試插座等情況，在裝置停止運行之後需由作業人員手動更換，因此存在降低運行效率的問題。
據此，為了更換煉板40上的插座加壓器45、DC測試部170的測試插座等，還可設置更換部件裝載部680，所述更換部件裝載部680裝載兩種以上之煉板40上的插座加壓器45、DC測試部170的測試插座等。
更換部件裝載部680可具有各種結構並且可位於適當的位置，來順利更換部件。
例如，更換部件裝載部680可裝載兩種以上之煉板40上的插座加壓器45、DC測試部170的測試插座、第一緩衝托盤部610的托盤30、第二緩衝托盤部610的托盤30。
另外，更換部件裝載部680可包括：裝載支撐部681，裝載兩種以上之煉板40上的插座加壓器45、兩種DC測試部170的測試插座、兩種以上之第一緩衝部610的托盤30、兩種以上之第二緩衝托盤部610的托盤30；底座支撐部682，支撐裝載支撐部681的兩側，以使裝載支撐部681向DC測試部170的上側間隔。
根據元件10的外形規格，可通過更換部件裝載部680自動更換煉板40上的插座加壓器45、DC測試部170的測試插座、第一緩衝托盤部610的托盤30、第二緩衝托盤部610的托盤30。
同時，更換部件裝載部680還可包括壁體部683，以在向著托盤運送部670的相反側支撐各個部件。
另外，更換部件裝載部680可設置支撐各部件的底面的底面支撐部671、672、673，以更換以及獨立支撐各部件。
另一方面，更換部件裝載部680可設置在裝置的後方側(例如，托盤30的運送路徑T2附近)，以提高裝置的空間利用率。
另外，更換部件裝載部680裝載的部件可被沿著托盤30的運送路徑T2移動的托盤運送部670運送。
例如，如圖5至圖9所示，更換部件裝載部680裝載的部件通過加壓器(圖中未顯示)、夾持器(圖中未顯示)等移動至托盤運送部670的托盤30的運送路徑T2，之後由托盤運送部670夾持之後移動至下方，接著移動至各部件的更換位置。
另一方面，更換部件裝載部680通過另外設置加壓器、夾持器等可傳達至托盤運送部670。
另外，托盤運送部670是用於運送標準化的托盤30的結構，而在更換部件裝載部680裝載的更換部件較佳為具有能夠由托盤運送部670運送的結構。
以上，不過是說明了可由本發明實現的較佳實施例的一部分，眾所周知本發明的範圍不得被上述的實施例限定，在以上說明的本發明的技術思想與其根本的技術思想全部包含在本發明的範圍內。

Claims (14)

  1. 一種元件分類設備，包括：一裝載部(100)，裝載一托盤(30)，所述托盤(30)裝有待檢測的元件(10)；一DC測試部(170)，從所述裝載部(100)接收所述待檢測的元件(10)來執行DC測試；一X-Y作業台(410)，使一煉板(20)以X-Y方向移動，其中所述煉板(20)在導出待分類的元件(10)的空位置裝載由所述DC測試部(170)檢測為合格品的所述待檢測元件(10)；一緩衝部(600)，臨時裝載從所述煉板(20)導出的所述待分類的元件(10)；一合格品托盤部(200)，在所述緩衝部(600)裝載的所述待分類的元件(10)中將待分類為合格品的元件(10)裝載於所述托盤(30)；一DC托盤部(310)，分類裝載由所述DC測試部(170)檢測為不合格品的元件(10)；以及一廢棄托盤部(320)，在所述緩衝部(600)中分類裝載除了合格品以外的元件(10)。
  2. 一種元件分類設備，包括：一裝載部(100)，裝載托盤(30)，所述托盤(30)裝有待檢測的元件(10)；一DC測試部(170)，從所述裝載部(100)接收待檢測的元件(10)來執行DC測試；一X-Y作業台(410)，使一煉板(20)以X-Y方向移動，其中所述煉板(20)在導出待分類的元件(10)的空位置裝載由所述DC測試部(170)檢測為合格品的所述待檢測的元件(10)；一卸載部(300)，根據提前設定的分類基準將從所述煉板(20)導出的待分類的元件(10)裝載於對應於所述分類基準的所述托盤(30)；一第一緩衝托盤部(610)，使所述托盤(30)移動至所述DC測試部(170)上側的裝載位置以及從所述裝載位置以水平方向間隔距離的回避位置，在所述托盤(30)臨時裝載由所述DC測試部(170)的DC測試結果所檢測出不合格品的元件(10)；以及一第二緩衝托盤部(620)，位於所述煉板(20)的所述元件(10)導出位置與所述 卸載部(300)之間，臨時裝載從所述煉板(20)導出所述待分類的元件(10)中待分類為除了合格品以外的分類等級的元件(10)。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的元件分類設備，其中，當所述裝載部(100)、所述煉板(20)的所述元件(10)導出位置以及所述卸載部(300)的配置方向為X軸，與所述X軸水平垂直的方向為Y軸時，所述裝載部(100)包含：一引導部，引導托盤(30)以Y軸方向移動；以及一驅動部，用於沿著所述引導部移動所述托盤(30)。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的元件分類設備，其中，所述卸載部(300)包含：一合格品托盤部(301)，放置有裝載待分類為合格品的元件(10)的所述托盤(30)；一DC托盤部(302)，放置有裝載由所述DC測試部(170)的檢測結果所檢測出不合格品的元件(10)的所述托盤(30)；以及一個以上的廢棄托盤部(303、304)，在所述煉板(20)中對應於除了合格品以外的分類等級數，以待分類為各分類等級的元件(10)的所述托盤(30)。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的元件分類設備，其中，所述合格品托盤部(301)、所述DC托盤部(302)以及所述廢棄托盤部(303、304)分別包含：一引導部，引導所述托盤(30)以Y軸方向移動；以及一驅動部，沿著所述引導部移動所述托盤(30)。
  6. 如申請專利範圍第4項所述的元件分類設備，進一步包括：一裝載運送工具(510)，在所述裝載部(100)與所述DC測試部(170)之間能夠以X軸方向往返移動，以從所述裝載部(100)向所述DC測試部(170)傳達多個所述元件(10)；一插入運送工具(520)，在所述煉板(20)的所述元件(10)的裝載位置與所述DC測試部(170)之間能夠以X軸方向往返移動，將由所述DC測試部(170)檢測為合格品的多個所述元件(10)裝載於所述煉板(20)；一移除運送工具(530)，在所述煉板(20)的所述元件(10)導出位置與所述第二緩衝托盤部(620)之間往返移動，以從所述煉板(20)向所述第二緩衝托盤部(620) 的所述托盤(30)傳達所述元件(10)；以及一卸載運送工具(540)，設置在所述第二緩衝托盤部(620)與所述卸載部(300)之間，以從所述第二緩衝托盤部(620)向所述卸載部(300)傳達待分類為合格品的所述元件(10)。
  7. 如申請專利範圍第4項所述的元件分類設備，還包括：一裝載運送工具(510)，在所述裝載部(100)與所述DC測試部(170)之間能夠以X軸方向往返移動，以從所述裝載部(100)向所述DC測試部(170)傳達多個所述元件(10)；一插入運送工具(520)，在所述煉板(20)的所述元件(10)裝載位置與所述DC測試部(170)之間能夠以X軸方向往返移動，以將由所述DC測試部(170)檢測為合格品的多個所述元件(10)裝載於所述煉板(20)；以及一移除運送工具(530)，沿著所述煉板(20)的所述元件(10)導出位置、所述第二緩衝托盤部(620)以及所述卸載部(300)能夠往返移動，若從所述煉板(20)拾取的所述元件(10)全部是合格品，則將所述元件(10)傳達到所述合格品托盤部(301)，若從所述煉板(20)拾取的所述元件(10)中包括除了合格品以外的分類等級的元件(10)，則向所述第二緩衝托盤部(620)的所述托盤(30)傳達所述元件(10)。
  8. 如申請專利範圍第6或7項所述的元件分類設備，更包括：一分類運送工具(550)，在與所述裝載運送工具(510)、所述插入運送工具(520)以及所述移除運送工具(530)的往返移動路線上以Y軸方向間隔距離的位置能夠往返移動於所述第一緩衝托盤部(610)與所述卸載部(300)之間，在裝載於所述第一緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)的所述元件(10)中，將所述DC測試部(170)的DC測試結果所檢測為不合格品的元件(10)傳達到所述DC托盤部(302)，根據所述分類等級，將裝載於所述第二緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)的所述元件(10)傳達於所述合格品托盤部(301)、所述廢棄托盤部(303、304)中相應的所述托盤(30)。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的元件分類設備，其中，所述第一緩衝托盤部(610)上下設定兩個以上的移動區間，其中所述移動區間是所述托盤(30) 以Y軸方向往返移動於所述裝載位置與所述分類運送工具(550)的移動區間之間的區間。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的元件分類設備，其中，所述第二緩衝托盤部(610)上下設定兩個以上的移動區間，其中所述移動區間是所述托盤(30)以Y軸方向往返移動於所述裝載位置與所述移除運送工具(530)的移動區間之間的區間。
  11. 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的元件分類設備，更包括：一更換部件裝載部(680)，包含一裝載支撐部(681)、一底座支撐部(682)，其中，所述裝載支撐部(681)裝載有兩種以上之煉板(40)上的插座加壓器(45)、兩種所述DC測試部(170)的測試插座、兩種以上之所述第一緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)、以及兩種以上之所述第二緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)，所述底座支撐部(682)是為了使所述裝載支撐部(681)向所述DC測試部(170)的上側間隔距離而支撐所述裝載支撐部(681)的兩側；根據所述元件(10)的外形規格，自動更換所述煉板(40)上的所述插座加壓器(45)、所述DC測試部(170)的測試插座、所述第一緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)、以及所述第二緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)。
  12. 如申請專利範圍第11項所述的元件分類設備，其中，所述煉板(40)上的所述插座加壓器(45)、所述DC測試部(170)的測試插座、所述第一緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)、以及所述第二緩衝托盤部(610)的所述托盤(30)通過一托盤運送部(670)從所述更換部件裝載部(680)導出或者裝載於所述更換部件裝載部(680)，其中所述托盤運送部(670)用於運送所述裝載部(100)的所述托盤(30)、以及所述卸載部(300)的所述托盤(30)。
  13. 一種元件分類設備，包括：一裝載部(100)，裝載一托盤(30)，其中所述托盤(30)裝有待檢測的元件(10)；一DC測試部(170)，從所述裝載部(100)接收所述待檢測的元件(10)來執行DC測試；一X-Y工作臺(410)，以X-Y方向移動一煉板(20)，所述煉板(20)在導出待 分類的元件(10)的空位置裝載由所述DC測試部(170)測為合格品的所述元件(10)；一卸載部(300)，根據提前設定的分類基準將從所述煉板(20)導出的待分類元件(10)裝載於對應於該分類基準的所述托盤(30)；一更換部件裝載部(680)，包含一裝載支撐部(681)和一底座支撐部(682)，其中所述裝載支撐部(681)裝載兩種以上之煉板(40)上的插座加壓器(45)、兩種DC測試部(170)的測試插座；所述底座支撐部(682)是為了使所述裝載支撐部(681)向所述DC測試部(170)的上側間隔距離而支撐所述裝載支撐部(681)的兩側；根據所述元件(10)的外形規格自動更換所述煉板(40)上的所述插座加壓器(45)、以及所述DC測試部(170)的測試插座。
  14. 如申請專利範圍第13項所述的元件分類設備，進一步包括：所述煉板(40)上的所述插座加壓器(45)、所述DC測試部(170)的測試插座通過一托盤運送部(670)從所述更換部件裝載部(680)導出或者裝載於所述更換部件裝載部(680)，其中所述托盤運送部(670)設置以運送所述裝載部(100)的所述托盤(30)、以及所述卸載部(300)的所述托盤(30)。
TW107103535A 2017-01-31 2018-01-31 半導體裝置的元件分類設備 TW201834104A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20170013630 2017-01-31
??10-2017-0013630 2017-01-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201834104A true TW201834104A (zh) 2018-09-16

Family

ID=63040905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107103535A TW201834104A (zh) 2017-01-31 2018-01-31 半導體裝置的元件分類設備

Country Status (3)

Country Link
KR (2) KR20180089325A (zh)
TW (1) TW201834104A (zh)
WO (1) WO2018143668A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI692645B (zh) * 2019-03-20 2020-05-01 亞亞科技股份有限公司 已檢測ic之良品/非良品分類系統及方法
TWI747097B (zh) * 2018-12-11 2021-11-21 瑞士商伊斯美加半導體控股公司 元件處置總成
TWI804322B (zh) * 2022-05-20 2023-06-01 鴻勁精密股份有限公司 置盤裝置及作業機
TWI818853B (zh) * 2022-05-24 2023-10-11 南韓商Ｔｓｅ有限公司 半導體封裝的測試裝置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240030836A (ko) * 2022-08-31 2024-03-07 (주)제이티 소자핸들러
KR102627016B1 (ko) * 2022-09-26 2024-01-19 에스에스오트론 주식회사 반도체 칩의 트레이 이송장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100491304B1 (ko) * 2003-09-18 2005-05-24 미래산업 주식회사 번인 테스터용 소팅 핸들러
KR100804676B1 (ko) * 2006-04-27 2008-02-20 미래산업 주식회사 번인 소터 및 이를 이용한 번인 소팅방법
KR101133188B1 (ko) * 2009-03-27 2012-04-09 (주)제이티 소자소팅장치 및 그 방법
KR102189388B1 (ko) * 2014-09-19 2020-12-11 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러
KR101810082B1 (ko) * 2014-10-24 2017-12-18 (주)제이티 소자소팅장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI747097B (zh) * 2018-12-11 2021-11-21 瑞士商伊斯美加半導體控股公司 元件處置總成
TWI692645B (zh) * 2019-03-20 2020-05-01 亞亞科技股份有限公司 已檢測ic之良品/非良品分類系統及方法
TWI804322B (zh) * 2022-05-20 2023-06-01 鴻勁精密股份有限公司 置盤裝置及作業機
TWI818853B (zh) * 2022-05-24 2023-10-11 南韓商Ｔｓｅ有限公司 半導體封裝的測試裝置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018143668A1 (ko) 2018-08-09
KR20180089325A (ko) 2018-08-08
KR20230165173A (ko) 2023-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201834104A (zh) 半導體裝置的元件分類設備
JP4545776B2 (ja) バーンインソータおよびこれを用いたバーンインソート方法
KR101327455B1 (ko) 테스트 핸들러 및 그 반도체 소자 공급 배출 방법
KR20100107945A (ko) 소자소팅장치 및 그 방법
CN107310939B (zh) 一种电池片全自动分选机
TW201812970A (zh) 線接合器分配系統及其上的雜誌傳送方法
CN105689278A (zh) Ic外观检验装置
KR100914219B1 (ko) 테스트 핸들러
CN113210275A (zh) 一种芯片分拣方法及芯片分拣机
KR101667686B1 (ko) 반도체 패키지의 마킹 및 맵 형성 장치
KR100401014B1 (ko) 테스트 핸들러
WO2010001567A1 (ja) 基板の切断方法及び装置
KR101748853B1 (ko) 반도체 검사 및 분류시스템
KR100295774B1 (ko) 번인테스터용 소팅 핸들러
KR101973687B1 (ko) 소자검사장치
CN111989579A (zh) 元件处理器
KR20100067844A (ko) 반도체 패키지 검사장치
KR102603158B1 (ko) 소자소팅장치
KR20080104927A (ko) 번인 테스트용 소팅 핸들러
JP2020068281A (ja) マガジン装置、搬送装置、搬送方法、ダイボンダ、およびボンディング方法
KR20020079653A (ko) 반도체 패키지 싱귤레이션 시스템
KR20080084216A (ko) 번인 테스트용 소팅 핸들러
CN205599539U (zh) Ic外观检验装置
KR101606565B1 (ko) Ic제품 분류기
TWI551873B (zh) Electronic components operating equipment