KR20240030836A

KR20240030836A - 소자핸들러

Info

Publication number: KR20240030836A
Application number: KR1020220110380A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2022-08-31
Filing date: 2022-08-31
Publication date: 2024-03-07
Also published as: WO2024049248A1

Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사결과에 따라서 웨이퍼 상태의 소자들 중 양품의 소자를 와플팩에 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다.
본 발명은, 소자(10)들이 적재된 웨이퍼링(20)가 로딩되는 웨이퍼링로딩부(100)와; 상기 웨이퍼링로딩부(100)로부터 웨이퍼링(20)를 공급받아 소자(10)가 적재된 웨이퍼링(20)를 이동시키는 웨이퍼이동테이블(200)과; 상기 웨이퍼이동테이블(200)의 웨이퍼링(20)의 픽업위치(P)에서 소자(10)를 픽업하여 언로딩위치(U)로 소자(10)를 이송하는 이송툴(300)과; 상기 이송툴(300)에 의하여 전달되는 소자(10)를 언로딩하기 위하여 상기 언로딩위치(U)에서 와플팩(30)을 위치시키는 임시적재부(400)와; 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 전달받아 양품 및 불량의 소자(10)를 분류하여 언로딩하는 언로딩부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

소자핸들러 {Device handler}

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사결과에 따라서 웨이퍼 상태의 소자들 중 양품의 소자를 와플팩에 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다.

소자(반도체칩)란 전기 전도도가 부도체보다는 높고 금속과 같은 전도체보다는 낮은 반도체로 구성된 집적회로로서, 원래 칩은 얇은 판 조각을 가리키는 말이나 현재는 반도체 회로를 나타내는 말로 사용된다.

소자는 가로 세로 1cm 내외의 얇은 실리콘웨이퍼 위에 트랜지스터 저항 콘덴서 등의 각종 소자를 집적하여 만든다.

소자는 현대의 컴퓨터를 만드는 기본 부품으로 산술연산, 정보기억, 다른 칩의 제어 등을 수행하는 핵심이며 전자산업을 뒷받침한다.

상기와 같은 소자는 CPU, SDRAM(메모리반도체), 플래시 램 등이 있으며, 최근에는 COG(Chip On Glass), COF(Chip On Film)와 같은 디스플레이 구동칩인 DDI(Display Drive IC) 등 그 종류가 다양해지고 있다.

상기와 같은 소자들은 출하 전에 신뢰성을 높이기 위하여 외관상태 등이 검사되며, 불량인 소자들을 선별한 후에 양품의 소자들만 출하되고 있다.

특히 소자에 대한 검사공정은 소자의 제조공정 중에서 여러 번 수행될 수 있으며, 특히 웨이퍼 상태에서 각 소자로 절단된 후에 수행될 수 있으며 각 검사결과에 따라서 소자에 표시될 수 있다.

그리고 상기와 같이 검사공정을 마친 소자들은 출하 또는 후공정을 위하여 양품의 소자들만이 와플팩의 분류장치에 의하여 적재된다.

한편 상기와 같이 소자 제조과정에서 검사공정 및 분류공정이 추가됨에 따라서 검사장치 또는 분류장치의 처리속도에 따라서 소자의 생산속도가 좌우된다.

그런데 와플팩에 소자를 적재하는 종래의 소자핸들러는 웨이퍼로부터 와플팩으로의 적재과정에 있어서, 와플팩에 소자가 다 채워지면 채워진 와플팩을 언로딩하고 빈 와플팩을 로딩하여야 한다.

그러나 빈 와플팩으로 교체하는 동안 소자에 대한 적재를 수행하지 못하므로 와플팩의 교체시간이 추가로 소요되어 전체 웨이퍼로부터 와플팩으로의 로딩시간을절감하는데 한계가 있는 문제점이 있었다.

이에 특허문헌 1과 같은 소자핸들러를 본 출원인이 개발한 바 있다.

한편, 특허문헌 1과 같은 소자핸들러와 같은 종래의 소자핸들러는, 평면크기 기준으로 단일 규격의 와플팩만의 사용이 가능하여, 와플팩의 규격이 달라지는 경우 장비 전체를 교체하여야 하며, 이로 인한 장비 교체비용이 증가하여 소자 제조비용을 증가시키는 문제점이 있다.

(특허문헌 1) KR 10-1052726 B1

본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 웨이퍼로부터 소자를 임시로 적재하는 임시적재부를 추가로 구비하여 소자의 언로딩 및 분류 작업을 신속하게 수행할 수 있는 소자핸들러를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 평면크기 기준으로 복수 종의 와플팩을 사용할 수 있는 소자핸들러를 제공하는데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 소자(10)들이 적재된 웨이퍼링(20)가 로딩되는 웨이퍼링로딩부(100)와; 상기 웨이퍼링로딩부(100)로부터 웨이퍼링(20)를 공급받아 소자(10)가 적재된 웨이퍼링(20)를 이동시키는 웨이퍼이동테이블(200)과; 상기 웨이퍼이동테이블(200)의 웨이퍼링(20)의 픽업위치(P)에서 소자(10)를 픽업하여 언로딩위치(U)로 소자(10)를 이송하는 이송툴(300)과; 상기 이송툴(300)에 의하여 전달되는 소자(10)를 언로딩하기 위하여 상기 언로딩위치(U)에서 와플팩(30)을 위치시키는 임시적재부(400)와; 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 와플팩이송부(530)에 의하여 전달받아 양품 및 불량의 소자(10)를 분류하여 언로딩하는 언로딩부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

상기 이송툴(300)은, 상기 웨이퍼이동테이블(200) 상의 웨이퍼링(20)에서 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(310)들과, 상기 복수의 픽커(310)들을 상기 픽업위치(P) 및 상기 언로딩위치(U)로 순차적으로 위치되도록 수평방향으로 회전시키는 회전구동부와; 상기 회전구동부로부터 수평방향으로 연장하여 상기 복수의 픽커(310)들 각각을 지지하는 지지암부(320)를 포함할 수 있다.

상기 임시적재부(400)는, 와플팩(30)이 안착되는 스테이지부(410)와; 상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 왕복이동시키는 스테이지이동부(420)를 포함할 수 있다.

상기 스테이지이동부(420)는, 상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 Y축방향으로 왕복이동시키는 제1이동부(421)와, 상기 언로딩위(U)에서 상기 이송툴(300)에 의하여 소자(10)를 전달받도록 상기 스테이지부(410)를 X축방향으로 이동시키는 제2이송부(422)를 포함할 수 있다.

상기 스테이지이동부(420)는, 상기 X축 및 Y축과 수직을 이루는 Z축을 회전축으로 하여 상기 스테이지부(410)를 회전시키는 회전이동부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 스테이지부이동부(420)는, 상기 스테이지부(410)가 상하로 배치되도록 한 쌍으로 설치될 수 있다.

상기 와플팩(30)은, 평면형상이 직사각형을 이루며, 상기 스테이지부(410)는, 서로 다른 평면크기를 가지는 복수 종의 와플팩(30)의 안착이 가능하도록 작은 평면크기부터 가장 큰 평면크기 순으로 상측으로 복수의 안착부(411, 412, 413)들이 형성될 수 있다.

상기 스테이지부(410)는, 해당 안착부(411, 412, 413)에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하기 위한 정렬부(440)가 결합될 수 있다.

상기 스테이지부(410)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 중앙에 관통개구(419)가 형성될 수 있다.

상기 언로딩부(500)는, 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 전달받아 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 2개 이상의 언로딩이송부(510, 520)을 포함할 수 있다.

상기 언로딩이송부(510, 520)는, 양품의 소자(10)들이 적재된 와플팩(30)을 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 제1언로딩이송부(510)와, 불량의 소자(10)들이 적재된 와플팩(30)을 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 제2언로딩이송부(520)를 포함하며, 상기 제1언로딩이송부(510) 및 상기 제2언로딩이송부(520)는 상기 와플팩이송부(530)에 의하여 와플팩(30)을 전달받은 후 상기 소자소팅툴(540)에 의하여 상기 제1언로딩이송부(510)의 와플팩(30)에는 양품의 소자(10)들이, 상기 제2언로딩이송부(520)의 와플팩(30)에는 불량의 소자(10)들이 적재되도록 소팅될 수 있다.

상기 언로딩이송부(510, 520)는, 와플팩(30)이 안착되는 스테이지부(511, 521)와; 와플팩(30)을 전달받는 위치 및 와플팩(30)이 적재되는 와플팩적재부(610) 사이에서 상기 스테이지부(511, 521)를 왕복이동시키는 스테이지이동부(512, 522)를 포함할 수 있다.

상기 와플팩(30)은, 평면형상이 직사각형을 이루며, 상기 스테이지부(511, 521)는, 서로 다른 평면크기를 가지는 복수 종의 와플팩(30)의 안착이 가능하도록 작은 평면크기부터 가장 큰 평면크기 순으로 상측으로 복수의 안착부들이 형성될 수 있다.

상기 스테이지부(511, 521)는, 해당 안착부에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하기 위한 정렬부가 결합될 수 있다.

상기 스테이지부(511, 521)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 중앙에 관통개구(511a, 521a)가 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 웨이퍼로부터 소자를 임시로 적재하는 임시적재부를 추가로 구비하여 소자의 언로딩 및 분류 작업을 신속하게 수행하여 UPH(시간당 처리 개수)를 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 소자핸들러는, 평면크기 기준으로 규격이 다른 와플팩의 안착이 가능한 스테이지를 사용함으로써, 복수 종의 와플팩의 사용이 가능하여 규격에 따라 와플팩만을 변경하여 장치의 활용도를 높이고 와플팩 규격변경에 따른 추가 시설투자 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 소자핸들러의 구성을 보여주는 배치도이다.
도 2a 및 도 2b는 각각 웨이퍼의 구성을 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 3은 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 와플팩을 보여주는 사시도이다.
도 4는, 도 1의 소자핸들러를 정면에서 본 정면도이다.
도 5a는, 도 1의 소자핸들러에서 임시적재부의 일부 구성을 보여주는 평면도이다.
도 5b는, 도 5a의 임시적재부를 정면에서 본 정면도이다.
도 6a는, 도 5a의 임시적재부의 스테이지부를 보여주는 평면도이다.
도 6b는, 도 6a의 스테이지부에서 정렬부의 작동상태를 보여주는 평면도이다.
도 7a 내지 도 7c는, 각각 도 6b에서 A-A 방향, B-B 방향, C-C방향의 단면도들이다.
도 8a 및 도 8b는, 도 1의 소자핸들러에서 언로딩부의 작동을 보여주는 개념도들이다.
도 9는, 도 6a에 도시된 스테이지부에 규격이 다른 와플팩이 적재된 상태를 보여주는 단면도이다.

이하 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 소자(10)들이 적재된 웨이퍼링(20)가 로딩되는 웨이퍼링로딩부(100)와; 상기 웨이퍼링로딩부(100)로부터 웨이퍼링(20)를 공급받아 소자(10)가 적재된 웨이퍼링(20)를 이동시키는 웨이퍼이동테이블(200)과; 상기 웨이퍼이동테이블(200)의 웨이퍼링(20)의 픽업위치(P)에서 소자(10)를 픽업하여 언로딩위치(U)로 소자(10)를 이송하는 이송툴(300)과; 상기 이송툴(300)에 의하여 전달되는 소자(10)를 언로딩하기 위하여 상기 언로딩위치(U)에서 와플팩(30)을 위치시키는 임시적재부(400)와; 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 와플팩이송부(530)에 의하여 전달받아 양품 및 불량의 소자(10)를 분류하여 언로딩하는 언로딩부(500)를 포함한다.

상기 소자(10)는 COG(Chip On Glass), COF(Chip On Film)와 같은 디스플레이 구동칩인 DDI(Display Drive IC) 등의 IC칩, LED 소자 등을 이루는 소자로서, 웨이퍼가 소위 반도체 공정 및 절단 공정(또한 테스트공정 및 분류공정)을 마친 소자이다. 그리고 상기 소자(10)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 절단공정 후 웨이퍼링(20)에 적재된 상태로 이송된다.

상기 웨이퍼링(20)은 소자(10)들을 적재시켜 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 각 소자(10)가 상면에 부착되도록 표면에 접착성을 가지는 접착테이프(21)와; 접착테이프(21)가 결합되는 제1결합링(22)과, 제1결합링(22)에 결합된 접착테이프(21)를 외경방향으로 장력을 가하여 접착테이프(21)를 외경방향으로 변형시켜 각 소자(10)들을 미세하게 이격시키는 제2결합링(23)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 상기 웨이퍼링(20)은 각 소자가 상면에 부착되도록 표면에 접착성을 가지는 접착테이프 및 접착테이프가 결합되는 하나의 결합링으로 구성될 수 있음은 물론이다.

상기 웨이퍼링(20)은 원형, 사각형 등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 이중의 결합링 이외에 단일의 결합링으로 구성될 수 있음은 물론이다.

상기 와플팩(30)은 도 3에 도시된 바와 같이, 소자(10)가 안착될 수 있도록 복수개의 안착홈(31)이 형성되며, 장방형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.

상기 안착홈(31)은 와플팩(30)이 상하로 적층될 때 손상되지 않도록 소자(10)의 높이보다 깊게 형성되는 것이 바람직하다.

상기 웨이퍼링로딩부(100)는 소자(10)들이 적재된 복수개의 웨이퍼링(20)들이 적재된 웨이퍼링카세트가 로딩되는 카세트로딩부(110)와; 웨이퍼링카세트와 웨이퍼링이동테이블(200) 사이에서 소자(10)가 인출될 제1의 웨이퍼링(20)과 소자 인출이 완료된 제2의 웨이퍼링(20)을 교환하기 위하여 웨이퍼링(20)을 이동시키는 웨이퍼링이동툴(120)을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 웨이퍼링카세트는 소자(10)들이 적재된 복수의 웨이퍼링(20)들이 적재되는 구성으로 웨이퍼링(20)이 적층되어 적재되도록 구성될 수 있으며 적층된 웨이퍼링(20)이 순차적으로 인출될 수 있도록 상하로 이동이 가능하도록 설치될 수 있다.

그리고 상기 웨이퍼링로딩부(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 소자(10)가 인출될 제1의 웨이퍼링(20)이 웨이퍼링이동테이블(200)에 전달되기 전에 웨이퍼링이동테이블(200)로부터 소자(10)의 인출이 완료된 제2의 웨이퍼링(20)을 전달받고 제1의 웨이퍼링(20)이 웨이퍼링이동테이블(200)로 전달을 마친 후에 제2의 웨이퍼링(20)을 웨이퍼링카세트의 빈자리로 전달하도록 제2의 웨이퍼링(20)을 임시로 보관하는 웨이퍼링버퍼부(130)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 웨이퍼링버퍼부(130)는 웨이퍼링(20)을 임시로 보관하기 위한 구성으로서 웨이퍼링(20)을 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 웨이퍼링이동툴(120)은 웨이퍼링카세트와 웨이퍼링이동테이블(200) 사이에서 웨이퍼링(20)을 이송하기 위한 구성으로서, 특허문헌 1과 같은 구성 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 웨이퍼링이동테이블(200)은 웨이퍼링카세트로부터 인출된 웨이퍼링(20)을 이송툴(300)이 소자(10)를 인출할 수 있는 인출위치(P)까지 이동시키기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, X-Y이동 또는 X-Y-θ 이동이 가능하게 구성될 수 있다. 여기서 X-Y는 웨이퍼링(20)의 수평면을 기준으로 직교좌표축을, θ는 Z축을 중심으로 하는 회전을 가리킨다.

상기 웨이퍼링이동테이블(200)이 웨이퍼링(20)을 인출위치(P)로 이동시켰을 때 인출위치(P)의 하측에는 특허문헌 1과 같이, 소자(10)의 픽업이 용이하도록 상측으로 이동하여 웨이퍼링(20)의 접착테이프(21)를 가압하는 하나 이상의 가압핀(미도시)이 추가로 설치될 수 있다. 여기서 상기 가압핀의 수는 소자(10)의 크기에 따라서 달라진다.

이때 상기 가압핀이 소자(10)의 인출위치(P)에 따라서 이동되도록 구성되는 경우 이동을 위한 장치가 추가되어 장치의 제조비용이 증가되므로 고정되는 것이 바람직하며 따라서 소자(10)의 인출위치(P)는 고정되는 것이 바람직하다.

또한 상기 웨이퍼링이동테이블(200)의 상측에는 소자(10)의 웨이퍼링(20) 상의 안착상태가 와플팩(30)의 안착홈(31)에 안착될 수 있는 상태로 웨이퍼링(20)을 회전시키기 위하여 웨이퍼링(20)에 대한 이미지를 획득하여 소자(10)의 안착상태를 검사하는 카메라와 같은 제1이미지획득부(미도시)가 설치될 수 있다.

여기서 상기 제1이미지획득부(미도시)는 소자(10)의 안착상태 및 상면에 대한 비전검사 중 적어도 하나를 수행할 수 있다.

상기 이송툴(300)은, 상기 웨이퍼이동테이블(200)의 웨이퍼링(20)의 픽업위치(P)에서 소자(10)를 픽업하여 언로딩위치(U)로 소자(10)를 이송하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 이송툴(300)은, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼이동테이블(200) 상의 웨이퍼링(20)에서 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(310)들과, 상기 복수의 픽커(310)들을 상기 픽업위치(P) 및 상기 언로딩위치(U)로 순차적으로 위치되도록 수평방향으로 회전시키는 회전구동부와; 상기 회전구동부로부터 수평방향으로 연장하여 상기 복수의 픽커(310)들 각각을 지지하는 지지암부(320)를 포함할 수있다.

상기 픽커(310)는, 픽업방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 상하이동(Z방향 이동)과 함께 진공압을 발생시켜 소자(10)를 흡착하여 픽업하는 흡착헤드(미도시)를 포함하는 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 회전구동부는, 상기 복수의 픽커(310)들을 상기 픽업위치(P) 및 상기 언로딩위치(U)로 순차적으로 위치되도록 수평방향으로 회전시키는 구성으로서, 복수의 픽커(310)들의 회전방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 픽업위치(P)는, 이송툴(300)에 의하여 웨이퍼링이동테이블(200)에 안착된 웨이퍼링(20) 상의 소자(10)의 픽업위치로 정의되며, 상기 언로딩위치(U)는, 후술하는 임시적재부(400)의 와플팩(30)에 소자(10)가 적재되는 위치로 정의된다.

그리고 상기 픽업위치(P)는, 가압핀, 즉, 니들핀의 위치가 고정됨을 고려하여 장치 내에 특정위치에 고정설정된다.

또한, 상기 언로딩위치(U)는, 또한 이송툴(300)의 픽커(310)의 회전을 고려하여 장치 내에 특정위치에 고정설정된다.

한편, 상기 와플팩(30)의 빈 안착홈(31)이 정확한 위치에 위치되도록 언로딩위치(U)의 상측에는, 와플팩(30)의 이미지를 획득하는 카메라와 같은 제2이미지획득부(미도시)가 설치될 수 있다.

상기 제2이미지획득부는, 와플팩(30)의 이미지를 획득하여 상기 와플팩(30)의 빈 안착홈(31)이 정확한 위치에 위치되도록 하는 구성으로서, 카메라 등 다양한 구성이 가능하다.

또한, 상기 제2이미지획득부는, 와플팩(30)에 적재된 소자(10)의 표면도 함께 촬영이 가능하며 획득된 이미지는 2D 검사 등의 비전검사에 활용될 수 있다.

한편, 상기 복수의 픽커(310)들은, 상측에서 보았을 때 원주방향을 따라서 등간격으로 2개, 3개, 4개 등으로 배치되며, 웨이퍼링테이블(200) 상에서의 픽업위치(P)에 하나의 픽커(310)가 위치될 때 다른 하나의 픽커(310)가 언로딩위치(U)에 위치되는 것이 바람직한바 짝수개로 설치됨이 바람직하다.

또한, 상기 와플팩(30)으로의 안착시 안정적 적재를 위하여 픽업위치(U)에서 픽업된 소자(10)의 픽업상태(θ 회전상태)를 확인하기 위한 언더비전부(910)가 상기 복수의 픽커(310)들의 이동경로 상에 설치된다.

상기 언더비전부(910)는, 소자(10)를 픽업한 픽커(310)가 언로딩위치(U)에 도달하기 전에 픽커(310)에 픽업된 소자(10)를 촬영하여 소자(10)의 픽업상태를 확인하기 위한 구성으로서, 카메라 등으로 구성될 수 있다.

상기 지지암부(320)는, 상기 회전구동부로부터 수평방향으로 연장하여 상기 복수의 픽커(310)들 각각을 지지하는 구성으로서, 픽커(310)의 숫자에 대응되는 숫자로 설치된다.

상기 임시적재부(400)는, 상기 이송툴(300)에 의하여 전달되는 소자(10)를 언로딩하기 위하여 상기 언로딩위치(U)에서 와플팩(30)을 위치시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 임시적재부(400)는, 와플팩(30)이 안착되는 스테이지부(410)와; 상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 왕복이동시키는 스테이지이동부(420)를 포할 수 있다.

상기 스테이지부(410)는, 와플팩(30)이 안착되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 스테이지부(410)는, 평면크기를 기준으로 규격이 다른 복수 종의 와플팩(30)의 적재가 가능하도록 구성될 수 있다.

예로서, 상기 와플팩(30)은, 도 6a 내지 도 7c, 도 9에 도시된 바와 같이, 평면형상이 직사각형을 이룰 때, 상기 스테이지부(410)는, 서로 다른 평면크기를 가지는 복수 종의 와플팩(30)의 안착이 가능하도록 작은 평면크기부터 가장 큰 평면크기 순으로 상측으로 복수의 안착부(411, 412, 413)들이 형성될 수 있다.

상기와 같은 스테이지부(410)의 구성에 의하여, 사용되는 와플팩(30)의 규격변화에도 불구하고 소자핸들러가 처리할 수 있어, 추가로 장치를 도입하는 등 장치의 설치비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.

한편, 상기 스테이지부(410)는, 안착상태의 정렬을 위하여, 해당 안착부(411, 412, 413)에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하기 위한 정렬부(440)가 결합될 수 있다.

상기 정렬부(440)는, 스테이지부(410)에 결합되어 안착상태의 정렬을 위하여, 해당 안착부(411, 412, 413)에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하는 구성으로서, 정렬방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 정렬부(440)는, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 선형이동에 의하여 스테이지부(410)의 해당 안착부(411, 412, 413)의 꼭지점들 중 하나에 설치되어 와플팩(30)의 꼭지점을 가압하는 가압부재로 구성될 수 있다.

한편, 상기 스테이지부(410)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 중앙에 관통개구(419)가 형성될 수 있다.

상기 관통개구(419)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 스테이지부(410)의 중앙에 형성되는 개구로서 다양한 형상이 가능하다.

한편, 상기 관통개구(419)에는, 언로딩위치(U)에 위치된 와플팩(30)의 안정적 고정을 위하여 진공흡착부재(미도시)가 설치될 수 있다.

또한, 상기 스테이지부(30)는, 와플팩(30)의 고정을 위하여 진공흡착부재 및/대신에 별도의 그립부재(미도시)가 설치될 수 있음은 물론이다.

상기와 같은 스테이지부(410)의 구성은, 와플팩(30)의 규격변화에 따라 후술하는 언로딩부(500)에도 사용될 수 있음은 물론이다.

상기 스테이지이동부(420)는, 상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 왕복이동시키는 구성으로서, 상기 스테이지이동부(420)의 이동태양, 이동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 스테이지이동부(420)는, 상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 Y축방향으로 왕복이동시키는 제1이동부(421)와, 상기 언로딩위(U)에서 상기 이송툴(300)에 의하여 소자(10)를 전달받도록 상기 스테이지부(410)를 X축방향으로 이동시키는 제2이송부(422)를 포함할 수 있다.

상기 제1이동부(421)는, 상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 Y축방향으로 왕복이동시키는 구성으로서, 왕복이동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 제1이동부(421)는, 선형이동모듈로서, 스크류잭, 벨트 풀리 방식 등 다양한 구성이 가능하다.

한편, 상기 와플팩적재부(630)는, 후술하는 언로딩부(500)의 와플팩적재부(610)와 동일 또는 유사한 구성을 가질 수 있으며, 스테이지부(410)의 구조를 고려하여, 도 8a 및 도 8b에 도시된 구조를 가질 수 있다.

구체적으로 상기 와플팩적재부(630)는, 스테이지부(410)가 하측에 위치될 수 있으며, 적층된 상태의 와플팩(30)들의 상하이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드부재(611)와, 가장 하측에 위치된 와플랙(30)을 지지하는 저면지지부(612)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 저면지지부(612)는, 스테이지부(410)로 와플팩(30)이 낙하할 수 있도록 수평방향으로 선형이동이 가능하도록 구성될 수 있다.

구체적으로, 도 6b에 도시된 바와 같이, 승강부재(613)에 와플팩(30)이 지지된 상태에서 승강부재(613)이 하측으로 이동이 가능하도록 상기 저면지지부(612)가 후퇴하고 하나의 와플팩(30)이 스테이지부(410)로 안착된 후 도 6a에 도시된 바와 같이, 나머지 와플팩(30)들을 지지할 수 있도록 원위치로 이동될 수 있다.

상기 제2이동부(422)는, 상기 언로딩위(U)에서 상기 이송툴(300)에 의하여 소자(10)를 전달받도록 상기 스테이지부(410)를 X축방향으로 이동시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 이송툴(300)의 픽커(310)는, 스테이지부(410)에 안착된 와플팩(30)에 대하여 회전이동만이 가능함을 고려하여, 제1이동부(421)의 Y축방향 이동 및 상기 제2이동부(422)의 X축방향 이동의 조합에 의하여 스테이지부(410)에 안착된 와플팩(30)의 안착홈(31)이 언로딩위치(U)에 위치된다.

한편, 상기 픽커(310)에 픽업된 소자(10)의 픽업상태에 따라 와플팩(30)의 X-Y 선형이동 만으로는 부족할 수 있는바, 상기 스테이지이동부(420)는, 상기 X축 및 Y축과 수직을 이루는 Z축을 회전축으로 하여 상기 스테이지부(410)를 회전시키는 회전이동부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 회전이동부는, 상기 X축 및 Y축과 수직을 이루는 Z축을 회전축으로 하여 상기 스테이지부(410)를 회전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 회전이동부는, 스테이지부(410)의 하측에 설치된 회전모터로 구성될 수 있다.

또한, 상기 회전이동부는, 스테이지부(410)의 측변 중 X축과 평행한 한 쌍의 측변들 각각을 X축으로 이동시키는 한 쌍의 선형이동부로 구성될 수 있다.

상기와 한 쌍의 선형이동부에 의하여, 한 쌍의 측변들 중 적어도 그 이동방향 및 이동거리를 조절함으로써 Z축을 회전축으로 하여 상기 스테이지부(410)를 회전시킬 수 있다.

이때 상기 한 쌍의 선형이동부는, 앞서 설명한 제2이동부(422)와 병합되어 구성될 수 있음은 물론이다.

한편, 상기 스테이지부이동부(420)는, 상기 언로딩위치(U)에서의 소자(10) 언로딩이 연속적으로 수행할 수 있도록, 상기 임시적재부(400)는, 상기 스테이지부(410)가 상하로 배치되도록 한 쌍으로 설치될 수 있다.

상기와 같은 구성에 의하여 상기 임시적재부(400)는, 상기 언로딩위치(U)에서의 소자(10) 언로딩이 연속적으로 수행될 수 있다.

한편, 상기 언로딩위치(U)에서 와플팩(30)에 소자(10)가 모두 담기면, 상기 스테이지부이동부(420)는, 스테이지부(410)를 와플팩이동라인으로 이동시켜 후술하는 와플팩이송부(530)에 의하여 언로딩부(500)로 이송될 수 있다.

상기 와플팩이송부(530)는, 와플팩이동라인을 따라서 이동가능하도록 설치되어 임시적잽주(400)의 스테이지부(410)로부터 와플팩(30)을 픽업하여 언로딩부(500)의 언로딩이송부(510, 520)의 스테이지부로 안착시키는 구성으로서, 와플팩의 이동태양, 그립구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

한편, 상기 와플팩이송부(530)에 의한 와플팩(30)의 픽업 및 안착을 위하여, 제3이미지획득부가 추가로 설치될 수 있으며, 상기 제3이미지획득부에 의하여 획득된 이미지는, 스테이지부(410)에 안착된 와플팩(30)의 크기, 위치 등을 확인하는데 활용될 수 있다.

상기 제3이미지획득부는, 와플팩이송부(530)와 별도로 설치되거나, 와플팩이송부(530)와 결합되어 함께 이동됨으로써 스테이지부(410)에 안착된 와플팩(30)의 크기, 위치 등을 확인할 수 있다.

한편, 상기 와플팩(30)의 픽업 및 적재의 편의를 위하여, 스테이지부(410)는, 그립방향으로 절개된 절개부(418)이 형성될 수 있다.

상기 언로딩부(500)는, 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 와플팩이송부(530)에 의하여 전달받아 양품 및 불량의 소자(10)를 분류하여 언로딩하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 언로딩부(500)는, 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 전달받아 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 2개 이상의 언로딩이송부(510, 520)을 포함할 수 있다.

상기 와플팩적재부(610)는, 소자(10)가 적재된 와플팩(30)이 상하로 적층되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 와플팩적재부(610)는, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 스테이지부가 하측에 위치될 수 있으며, 적층된 상태의 와플팩(30)들의 상하이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드부재(611)와, 가장 하측에 위치된 와플랙(30)을 지지하는 저면지지부(612)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 저면지지부(612)는, 스테이지부(410)로부터 와플팩(30)이 도입되도록 수평방향으로 선형이동이 가능하도록 구성될 수 있다.

구체적으로, 도 6a에 도시된 바와 같이, 승강부재(613)에 의하여 와플팩(30)이 지지된 상태에서 상승하여 가이드부재(611) 내로 도입되도록 상기 저면지지부(612)가 후퇴하고, 도 6b에 도시된 바와 같이, 스테이지부(410)로부터 와플팩(30)이 전달된 후 와플팩(30)들을 지지할 수 있도록 원위치로 이동될 수 있다.

상기 승강부재(613)는, 상기 스테이지부로부터 가이드부재(611)로 전달될 있도록 와플팩(30)을 지지한 상태에서 승강하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

한편, 상기 언로딩이송부(510, 520)는, 상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 전달받아 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 언로딩이송부(510, 520)는, 앞서 설명한 임시적재부(400)의 스테이지부(410)와 동일하거나 유사한 구성을 가지는 스테이지부와, 상기 스테이지부를 와플팩(30)을 전달받는 와플팩이동라인에서 와플팩적재부(610)로 선형이동, 예를 들면 Y축방향으로 이동시키는 선형이동부로 구성될 수 있다.

한편, 와플팩(30)의 언로딩시 미리 검사된 검사결과에 따라 양품 등급, 불량 등급 등 분류등급에 따라서 분류되는 것이 바람직하다.

여기서 소자(10)에 대한 검사는 웨이퍼링(10)의 도입 전에 다른 검사장비에 의하여 수행된 검사이거나, 앞서 설명한 언더비전부(910), 제1이미지획득부, 제2이미지획득부 등에 의하여 촬영된 이미지를 활용하여 수행된 검사 등이 될 수 있다.

한편, 상기 소자(10)의 분류를 고려하여, 상기 언로딩이송부(510, 520)는, 양품의 소자(10)들이 적재된 와플팩(30)을 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 제1언로딩이송부(510)와, 불량의 소자(10)들이 적재된 와플팩(30)을 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 제2언로딩이송부(520)를 포함할 수 있다.

그리고, 상기 제1언로딩이송부(510) 및 상기 제2언로딩이송부(520)는 상기 와플팩이송부(530)에 의하여 와플팩(30)을 전달받은 후 상기 소자소팅툴(540)에 의하여 상기 제1언로딩이송부(510)의 와플팩(30)에는 양품의 소자(10)들이, 상기 제2언로딩이송부(520)의 와플팩(30)에는 불량의 소자(10)들이 적재되도록 소팅될 수 있다.

상기 소자소팅툴(540)는, 소팅라인을 따라서 이동가능하게 설치되어 기 제1언로딩이송부(510)의 와플팩(30)에는 양품의 소자(10)들이, 상기 제2언로딩이송부(520)의 와플팩(30)에는 불량의 소자(10)들이 적재되도록 이송하는 구성으로서, 소자(10) 픽업 후 빈 안착홈(31)에 소자(10)를 적재함을 고려하여 한 쌍의 픽커로 구성될 수 있다.

한편, 상기 언로딩이송부(510, 520)는, 앞서 설명한 바와 같이, 와플팩(30)이 안착되는 스테이지부(511, 521)와; 와플팩(30)을 전달받는 위치 및 와플팩(30)이 적재되는 와플팩적재부(610) 사이에서 상기 스테이지부(511, 521)를 왕복이동시키는 스테이지이동부(512, 522)를 포함할 수 있다.

이때 상기 임시적재부(400)의 스테이지부(410)와 유사한 구성으로서, 상기 와플팩(30)은, 평면형상이 직사각형을 이루며, 상기 스테이지부(511, 521)는, 서로 다른 평면크기를 가지는 복수 종의 와플팩(30)의 안착이 가능하도록 작은 평면크기부터 가장 큰 평면크기 순으로 상측으로 복수의 안착부들이 형성될 수 있다.

또한, 상기 스테이지부(511, 521)는, 해당 안착부에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하기 위한 정렬부가 결합될 수 있다.

또한 상기 스테이지부(511, 521)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 중앙에 관통개구(511a, 521a)가 형성될 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

10 : 소자 20 : 웨이퍼
30 : 와플팩 31 : 안착홈
100 : 웨이퍼링로딩부 200 : 웨이퍼이동테이블
300 : 이송툴 400 : 소자언로딩부

Claims

소자(10)들이 적재된 웨이퍼링(20)가 로딩되는 웨이퍼링로딩부(100)와;
상기 웨이퍼링로딩부(100)로부터 웨이퍼링(20)를 공급받아 소자(10)가 적재된 웨이퍼링(20)를 이동시키는 웨이퍼이동테이블(200)과;
상기 웨이퍼이동테이블(200)의 웨이퍼링(20)의 픽업위치(P)에서 소자(10)를 픽업하여 언로딩위치(U)로 소자(10)를 이송하는 이송툴(300)과;
상기 이송툴(300)에 의하여 전달되는 소자(10)를 언로딩하기 위하여 상기 언로딩위치(U)에서 와플팩(30)을 위치시키는 임시적재부(400)와;
상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 와플팩이송부(530)에 의하여 전달받아 양품 및 불량의 소자(10)를 분류하여 언로딩하는 언로딩부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 1에 있어서,
상기 이송툴(300)은,
상기 웨이퍼이동테이블(200) 상의 웨이퍼링(20)에서 소자(10)를 픽업하는 복수의 픽커(310)들과,
상기 복수의 픽커(310)들을 상기 픽업위치(P) 및 상기 언로딩위치(U)로 순차적으로 위치되도록 수평방향으로 회전시키는 회전구동부와;
상기 회전구동부로부터 수평방향으로 연장하여 상기 복수의 픽커(310)들 각각을 지지하는 지지암부(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 2에 있어서,
상기 임시적재부(400)는,
와플팩(30)이 안착되는 스테이지부(410)와;
상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 왕복이동시키는 스테이지이동부(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 3에 있어서,
상기 스테이지이동부(420)는,
상기 언로딩위치(U) 및 빈 와플팩(30)이 적재된 와플팩적재부(630) 사이에서 상기 스테이지부(410)를 Y축방향으로 왕복이동시키는 제1이동부(421)와,
상기 언로딩위(U)에서 상기 이송툴(300)에 의하여 소자(10)를 전달받도록 상기 스테이지부(410)를 X축방향으로 이동시키는 제2이송부(422)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 4에 있어서,
상기 스테이지이동부(420)는,
상기 X축 및 Y축과 수직을 이루는 Z축을 회전축으로 하여 상기 스테이지부(410)를 회전시키는 회전이동부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 스테이지부이동부(420)는, 상기 스테이지부(410)가 상하로 배치되도록 한 쌍으로 설치된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 와플팩(30)은, 평면형상이 직사각형을 이루며,
상기 스테이지부(410)는, 서로 다른 평면크기를 가지는 복수 종의 와플팩(30)의 안착이 가능하도록 작은 평면크기부터 가장 큰 평면크기 순으로 상측으로 복수의 안착부(411, 412, 413)들이 형성된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 7에 있어서,
상기 스테이지부(410)는, 해당 안착부(411, 412, 413)에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하기 위한 정렬부(440)가 결합된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 스테이지부(410)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 중앙에 관통개구(419)가 형성된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 언로딩부(500)는,
상기 임시적재부(400)에 인접하여 설치되어 소자(10)가 적재된 와플팩(30)을 전달받아 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 2개 이상의 언로딩이송부(510, 520)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 10에 있어서,
상기 언로딩이송부(510, 520)는,
양품의 소자(10)들이 적재된 와플팩(30)을 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 제1언로딩이송부(510)와,
불량의 소자(10)들이 적재된 와플팩(30)을 와플팩적재부(610)에 언로딩하는 제2언로딩이송부(520)를 포함하며,
상기 제1언로딩이송부(510) 및 상기 제2언로딩이송부(520)는 상기 와플팩이송부(530)에 의하여 와플팩(30)을 전달받은 후 상기 소자소팅툴(540)에 의하여 상기 제1언로딩이송부(510)의 와플팩(30)에는 양품의 소자(10)들이, 상기 제2언로딩이송부(520)의 와플팩(30)에는 불량의 소자(10)들이 적재되도록 소팅되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 11에 있어서,
상기 언로딩이송부(510, 520)는,
와플팩(30)이 안착되는 스테이지부(511, 521)와;
와플팩(30)을 전달받는 위치 및 와플팩(30)이 적재되는 와플팩적재부(610) 사이에서 상기 스테이지부(511, 521)를 왕복이동시키는 스테이지이동부(512, 522)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 12에 있어서,
상기 와플팩(30)은, 평면형상이 직사각형을 이루며,
상기 스테이지부(511, 521)는, 서로 다른 평면크기를 가지는 복수 종의 와플팩(30)의 안착이 가능하도록 작은 평면크기부터 가장 큰 평면크기 순으로 상측으로 복수의 안착부들이 형성된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 13에 있어서,
상기 스테이지부(511, 521)는, 해당 안착부에 안착된 와플팩(30)의 안착상태를 정렬하기 위한 정렬부가 결합된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
청구항 13에 있어서,
상기 스테이지부(511, 521)는, 안착된 와플팩(30)을 상하로 이동시킬 수 있도록 중앙에 관통개구(511a, 521a)가 형성된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.