TW201813767A - 圓板狀旋轉刃、切削裝置及圓板狀旋轉刃的製造方法 - Google Patents

圓板狀旋轉刃、切削裝置及圓板狀旋轉刃的製造方法 Download PDF

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Abstract

本發明提供圓板狀旋轉刃、切削裝置及圓板狀旋轉刃的製造方法。在使用圓板狀旋轉刃對切削對象進行切削時能夠實現圓板狀旋轉刃的長壽命化。圓板狀旋轉刃(1A、1B)包括由經樹脂材料硬化而成型的硬化樹脂形成的樹脂部(5)、磨粒(6)、來源於生物的纖維狀部件(7)和骨料(8)。來源於生物的纖維狀部件(7)例如為具有親水性的植物性纖維狀部件。植物性纖維狀部件(7)較佳包含纖維素。纖維狀部件(7)更較佳為具有高親水性的纖維素納米纖維(Cellulose nanofiber：CNF)。

Description

圓板狀旋轉刃、切削裝置及圓板狀旋轉刃的製造方法
本發明有關於一種通過對切削對象進行切削而製造多個產品時使用的圓板狀旋轉刃、切削裝置及圓板狀旋轉刃的製造方法。
在製造電子部件時，實施使用作為圓板狀旋轉刃的刀片對作為工件(切削對象)的晶圓(半導體晶圓：semiconductor wafer)進行切削的方法(例如，參照對比文件1的第[0054]段及圖1～圖3)。通過對晶圓進行切削，製造經單片化的多個電子部件。在該情況下，經單片化的半導體晶片為電子部件(產品)。半導體晶圓為在由矽(Si)或碳化矽(SiC)等組成的母材的上部形成有雜質擴散層、絕緣層和佈線層等的複合材料。半導體晶圓為板狀部件。
作為切削對象的其他形式，可列舉封裝後基板。封裝後基板具有：基板；多個晶片狀部件，安裝在基板所具有的多個區域上；和封裝樹脂，以一併覆蓋多個區域的方式形成為平板狀。封裝後基板為通過層壓安裝有多個晶片狀部件的基板和封裝樹脂而成的複合材料。封裝後基板為板狀部件。
專利文獻1：日本專利公開2013-084811號公報
當利用高速旋轉的刀片對工件實施切割用切削時，在切削加工中會產生刀片與工件之間的摩擦。因加工時的摩擦引起的摩擦熱也會促進刀片自身的磨損，並且產生刀片壽命縮短的問題(例如，參照專利文獻1的第[0002]段)。關於該問題，對作為圓板狀旋轉刃的刀片自身的長壽命化的要求不斷加強。在本發明文書中，“壽命”這一用語是指以下情況：圓板狀旋轉刃達到由於圓板狀旋轉刃的直徑變小而在使用該旋轉刃進行的工件(切削對象)切削受阻的階段。圓板狀旋轉刃的直徑變小則因磨損或損耗等而產生。
為瞭解決上述問題，本發明的目的在於提供一種圓板狀旋轉刃、切削裝置及圓板狀旋轉刃的製造方法，其在對板狀部件進行切削時能夠實現圓板狀旋轉刃的長壽命化。
本發明一實施例的圓板狀旋轉刃用於對切削對象進行切削，圓板狀旋轉刃包括：硬化樹脂，經樹脂材料硬化而成型；磨粒，被分散到硬化樹脂內；和來源於生物的纖維狀部件，被分散到硬化樹脂內，硬化樹脂由在磨粒和纖維狀部件被分散到樹脂材料中的狀態下樹脂材料硬化而成型的硬化樹脂構成。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，包含在圓板狀旋轉刃中的纖維狀部件的比率為0.5體積%以上且30體積%以下。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，包含在圓板狀旋轉刃中的纖維狀部件的比率大於30體積%且為80體積%以下。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，纖維狀部件來源於植物。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，纖維狀部件包含纖維素。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，纖維狀部件來源於動物。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，纖維狀部件包含甲殼素或殼聚糖。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，切削對象為形成有分別具有功能的多個區域的板狀部件。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，切削對象為形成有分別內含電路的多個區域的電路板。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃，在上述圓板狀旋轉刃中，切削對象為形成有分別內含電路的多個區域且利用封裝樹脂來進行樹脂封裝的電路板。
本發明一實施例的切削裝置包括：旋轉軸，用於固定圓板狀旋轉刃；旋轉機構，用於使旋轉軸旋轉；固定機構，用於固定切削對象；和移動機構，用於使旋轉機構和固定機構相對移動。
在該切削裝置中，圓板狀旋轉刃為上述圓板狀旋轉刃中的任一旋轉刃。
根據本發明一實施例的切削裝置，具有兩個旋轉機構，並且具有多個移動機構。
根據本發明一實施例的切削裝置，具有兩個固定機構，並且具有多個移動機構。
根據本發明一實施例的切削裝置，包括：切削模組，至少具有旋轉軸、旋轉機構、固定機構和移動機構；和控制部，至少控制切削模組的操作，切削模組相對於具有特定功能的其他功能模組能夠裝卸，特定功能包含切削、清洗、乾燥、測量、檢查和研磨中的至少一個功能。
本發明一實施例的圓板狀旋轉刃的製造方法是用於製造用於對切削對象進行切削的圓板狀旋轉刃的方法，該製造方法包括以下工序：準備磨粒；準備來源於生物的纖維狀部件；準備樹脂材料；通過至少將磨粒和纖維狀部件分散到樹脂材料中而製作混合材料；在磨粒和纖維狀部件分散到樹脂材料中的狀態下，通過軋製混合材料而製作板狀混合材料；通過衝壓板狀混合材料而製作圓板狀混合材料；將圓板狀混合材料裝入成型模中；通過對裝入成型模中的圓板狀混合材料進行加壓的同時加熱，以使樹脂材料硬化而成型硬化樹脂，由此成型圓板狀成型品；對圓板狀成型品進行冷卻；和從成型模中取出由圓板狀成型品構成的圓板狀旋轉刃。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃的製造方法，在上述製造方法中的製作混合材料的工序中，將包含在混合材料中的纖維狀部件的比率設為0.5體積%以上且30體積%以下。
本發明一實施例的圓板狀旋轉刃的製造方法是用於製造用於對切削對象進行切削的圓板狀旋轉刃的方法，該製造方法包括以下工序：準備磨粒；準備來源於生物的纖維狀部件；準備具有流動性的樹脂材料；通過至少將磨粒和纖維狀部件分散到溶劑中而製作分散材料；在磨粒和纖維狀部件分散到溶劑中的狀態下，抄出分散材料而製作圓板狀分散材料；使圓板狀分散材料乾燥；通過使樹脂材料浸漬到乾燥後的圓板狀分散材料中而製作圓板狀混合材料；將圓板狀混合材料裝入成型模中；通過對裝入成型模中的圓板狀混合材料進行加壓的同時加熱，以使樹脂材料硬化而成型硬化樹脂，由此成型圓板狀成型品；對圓板狀成型品進行冷卻；和從成型模中取出由圓板狀成型品構成的圓板狀旋轉刃。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃的製造方法，在上述製造方法中的製作圓板狀混合材料的工序中，將包含在圓板狀混合材料中的纖維狀部件的比率設為大於30體積%且為80體積%以下。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃的製造方法，上述製造方法進一步包括以下工序：將從成型模中取出的圓板狀旋轉刃置於規定溫度氣氛中，以對圓板狀旋轉刃進行熱處理。
根據本發明一實施例的圓板狀旋轉刃的製造方法，在上述製造方法中，規定溫度氣氛為大氣氣氛、惰性氣氛和低氧氣氛中的任一種氣氛。
根據本發明，磨粒和來源於生物的纖維狀部件被分散到硬化樹脂中。由於來源於生物的纖維狀部件對水具有高親和性，因此易於吸收水分。由此，降低圓板狀旋轉刃的表面與切削對象表面之間的摩擦。因此，能夠降低使用旋轉刃對切削對象進行切削時產生的摩擦熱，故能延長旋轉刃的壽命。
(實施例1)
參照第1圖，對本發明的實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A(以下，適宜稱作“旋轉刃”)所具有的總體結構進行說明。第1圖的(a)是本發明所涉及的圓板狀旋轉刃的主視圖及側視圖。圓板狀旋轉刃1B為本發明的其他實施例(後述)所涉及的旋轉刃，具有與旋轉刃1A不同的成分。
本發明文書中的所有圖式以易於理解為目的，進行適當省略或誇張以示意性地繪製。對相同的結構要素使用相同的圖式標記，並適當省略說明。
如第1圖的(a)所示，圓板狀旋轉刃1A在旋轉刃1A的中心部具有供切削裝置的旋轉軸(未圖示)嵌入的圓孔2。如第1圖的(a)的左側所示，旋轉刃1A具有圓形外形和與該圓形為同心圓狀的圓孔2。旋轉刃1A具有兩側的側面部3和外周部4。旋轉刃1A在旋轉軸嵌入圓孔2中的狀態下，通過兩個相對的夾具來夾住兩側的側面部3中的圓孔2的外側部分。通過螺絲固定兩個相對的夾具，旋轉刃1A被固定在切削裝置的旋轉軸上。
旋轉刃1A的假想中心C與切削裝置的旋轉軸的中心線一致。切削裝置的旋轉軸與例如伺服電動機等電動機(未圖示)的旋轉軸聯結。通過電動機的旋轉軸旋轉，切削裝置的旋轉軸旋轉。由此，固定在切削裝置的旋轉軸上的旋轉刃1A以規定的轉數(例如，15000～30000rpm)旋轉。通過旋轉的旋轉刃1A的外周部4切入切削對象，從而對切削對象進行切削。在本發明文書中，“對切削對象進行切削”這一用語是指“對切削對象中的厚度方向的一部分進行切削”(半切)以及“對切削對象中的厚度方向的所有部分進行切削(完全切割切削對象)”(全切)這兩個含義。
參照第1圖的(b)，對本發明的實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A所具有的微細結構進行說明。如第1圖的(b)所示，圓板狀旋轉刃1A包括由硬化樹脂形成的樹脂部5、磨粒6和來源於生物的纖維狀部件7。換言之，磨粒6和來源於生物的纖維狀部件7被分散而包含在由硬化樹脂形成的樹脂部5中。
樹脂部5為合成樹脂，例如通過由苯酚樹脂、環氧樹脂或聚醯亞胺樹脂等構成的熱硬化性樹脂來構造。磨粒6例如由金剛石或cBN(立方氮化硼)等構造。
圓板狀旋轉刃1A可包含骨料8。作為骨料8，可使用碳化鎢(WC)、氧化鋁(Al2O3)或碳化矽(SiC)等材料。圓板狀旋轉刃1A也可以包含其他添加劑。作為其他添加劑，可使用碳黑或矽烷偶聯劑材等的材料。
來源於生物的纖維狀部件7例如為具有親水性的植物性纖維狀部件。植物性纖維狀部件7較佳包含纖維素。纖維狀部件7更較佳為具有高親水性的纖維素納米纖維(Cellulose nanofiber：CNF)。纖維素納米纖維是指“以包含在植物纖維中的纖維素為原料，通過機械裂解製備的納米纖維”(“日本首次大量生產及銷售生物質納米纖維！”、[線上(online)]、杉野機械有限公司(株式會社スギノマシン)、[2016年9月16日檢索]、互聯網＜ URL:http://www.sugino.com/site/biomass-nanofiber/guidance.html ＞)。
實施例1中使用的纖維素納米纖維例如具有以下直徑(與長度方向垂直的剖面的直徑)值和長度值。纖維素納米纖維的直徑值φ為數10(數十)～200nm左右，長度值為1～10μm左右或其以上。因此，所使用的纖維素納米纖維的縱橫比(長度值/直徑值)為數10(數十)～數100(數百)或數10～數100以上。
第1圖的(b)、(c)表示在使用前進行修整(dressing，目直し)後的旋轉刃1A、1B中，纖維狀部件7的前端的一部分從樹脂部5的表面突出的狀態。在樹脂部5的內部，彼此纏繞存在從由樹脂部5的表面突出的各個纖維狀部件7伸長的部分。在樹脂部5的內部，在彼此纏繞存在的多個纖維狀部件7之間存在磨粒6和骨料8。通過這些結構，增加旋轉刃1的機械強度例如彈性模量、彎曲強度和拉伸強度等。
在實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A中，磨粒6和來源於生物的纖維狀部件7(例如，纖維素納米纖維)被分散到由硬化樹脂構成的樹脂部5中。與磨粒6一同分散到樹脂部5中的來源於生物的纖維狀部件7降低旋轉刃1A的外周部4及側面部3與切削對象之間的摩擦。由此，能夠降低使用旋轉刃對切削對象進行切削時產生的摩擦熱。因此，能夠延長旋轉刃的壽命。
在實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A中，纖維狀部件7的比率(配合率)較佳為0.5體積%以上。這是因為，通過以0.5體積%左右的配合率包含纖維狀部件7，從而開始產生降低圓板狀旋轉刃1A的外周部4及側面部3與切削對象之間的摩擦的效果。推斷該效果起因於旋轉刃1A中包含具有親水性的纖維狀部件。在本發明文書中推斷的內容不會對申請專利範圍的解釋帶來影響。
在實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A中，纖維狀部件7的配合率更較佳為3體積%以上。這是因為，通過以3體積%左右的配合率包含纖維狀部件7，從而開始顯著地產生增加圓板狀旋轉刃1A的機械強度這一效果。通過構成包含纖維素納米纖維的複合材料，從而提高機械強度。
在實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A中，纖維狀部件7的配合率較佳為30體積%以下。這是因為，根據圓板狀旋轉刃1A的製造方法(後述)，在纖維狀部件7的配合率大於30體積%的情況下，難以攪拌混煉磨粒6、來源於生物的纖維狀部件7和樹脂材料。上述樹脂材料為構造樹脂部5的硬化樹脂的原材料。該樹脂材料在常溫下呈粉狀、粒狀或液狀。“在常溫下呈液狀”這一用語是指在常溫下具有流動性，與粘度的高低無關。
根據實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A，能得到以下效果。第一，與磨粒6一同分散到樹脂部5中的、來源於生物且具有親水性的纖維狀部件7在旋轉刃1A的外周部4的表面附近以及側面部3的表面附近易於保持水分。在這些表面附近保持的水分降低旋轉刃1A的外周部4的表面及側面部3的表面與切削對象之間的摩擦。由此，能夠延長旋轉刃1A的壽命。此外，由於能增加旋轉刃1A的轉數，因此提高對切削對象進行切削的效率。此外，在使用旋轉刃1A對切削對象進行切削的情況下，能保持良好的切削品位。通過使用具有高親水性的植物性纖維狀部件7(例如，纖維素納米纖維)，這些效果更顯著。
第二，通過在圓板狀旋轉刃1A中包含來源於生物的纖維狀部件7，增加旋轉刃1A的機械強度例如彈性模量、彎曲強度和拉伸強度等。由此，在使用旋轉刃1A對板狀部件進行切削的情況下，能降低旋轉刃1A的振動、曲折(蛇行)和變形等，因此能延長旋轉刃1A的壽命。此外，由於能抑制旋轉刃1A的振動、曲折和變形等，因此能保持良好的切削品位。
起因於旋轉刃1A的機械強度增加，能降低旋轉刃1A的厚度。由此能縮減作為切削對象的切口的切縫(kerf)的寬度。因此能增加從一個切削對象生產出的產品數量(獲取數)。
起因於旋轉刃1A的機械強度增加，加大旋轉刃1A的外徑，從而能得到以下效果。首先，能延長旋轉刃1A的壽命。接著，由於旋轉刃1A的圓周速度增加，因此能提高旋轉刃1A對切削對象進行切削的效率。接著，能夠沿厚度方向完全切削(切割)具有較大的厚度的切削對象。作為具有較大的厚度的切削對象，可列舉樹脂封裝有電力控制用半導體元件(IC、電晶體等)、以輸送設備為對象的內燃機控制用IC、電動機控制用IC或制動系統控制用IC等的封裝後基板。
第三，通過在圓板狀旋轉刃1A中包含具有高親水性的來源於生物的纖維狀部件7，從而增加旋轉刃1A的外周部4及側面部3中所包含的水分。因此，能減少在旋轉刃1A的外周部4的表面及側面部3的表面與切削對象之間產生的摩擦熱。此外，由於通過該水分提高旋轉刃1A和切削對象的冷卻效果，因此能減少因加工導致的熱積存。起因於這些效果，在使用旋轉刃1A對板狀部件進行切削的情況下，能延長旋轉刃1A的壽命。此外，能保持良好的切削品位。
第四，通過在圓板狀旋轉刃1A中包含纖維狀部件7，從而伴隨旋轉刃1A對切削對象進行切削而從旋轉刃1A的外周部4的表面及側面部3的表面依次脫落多個纖維狀部件7(包含纖維狀部件7的一部分)。在使用具有高親水性的植物性纖維狀部件7的情況下，推斷還有可能存在包含彼此纏繞的多個纖維狀部件7和樹脂部5的塊狀部分脫落的情況。由此，在外周部4的表面及側面部3的表面上易於出現新的磨粒6。因此，由於新的磨粒6容易代替已磨損的磨粒6而對切削作出貢獻，因此提高對切削對象進行切削的效率。此外，在使用旋轉刃1A對板狀部件進行切削的情況下，能保持良好的切削品位。
(實施例2)
參照第1圖的(b)及第2圖，對製造本發明的實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A的、圓板狀旋轉刃的製造方法進行說明。本發明文書中記載的製造條件為一個示例。圓板狀旋轉刃的製造方法中的製造條件並不限定於本發明文書中記載的製造條件。
首先，準備第1圖的(b)所示的磨粒6、來源於生物的纖維狀部件(例如，纖維素納米纖維)7和樹脂材料。根據需要準備包含骨料8等的其他添加劑。樹脂材料較佳在常溫下呈粉狀、粒狀或液狀。樹脂材料為合成樹脂，例如為將苯酚樹脂、環氧樹脂或聚醯亞胺樹脂等作為主材料包含的熱硬化性樹脂。
接著，分別計量磨粒6、纖維狀部件7、骨料8、其它添加劑和樹脂材料。使用擂潰機磨碎分別計量出的磨粒6、纖維狀部件7、骨料8、其它添加劑和樹脂材料的同時進行混合。之後，使用混煉機對磨粒6、纖維狀部件7、其它添加劑和樹脂材料施加剪切力的同時，混煉這些材料。由此，將磨粒6、纖維狀部件7和其它添加劑分散到樹脂材料中而製造混合材料。在常溫下使該混合材料乾燥。之後，通過軋製混合材料而製作板狀混合材料。為了進行適當的軋製，也可以在經混煉的材料(混煉物)中適當加入乙醇等溶劑，並且進一步混煉之後，通過進行適當乾燥而調整混煉物的硬度。
接著，通過衝壓板狀混合材料，製作如第2圖的(a)、(b)所示的具有圓孔2的圓板狀混合材料9A。第2圖的(a)、(b)分別表示圓板狀混合材料9A的俯視圖及主視圖。圓板狀混合材料9A具有圓孔2、側面部3和外周部4。圓板狀混合材料9B為本發明的其他實施例(後述)所涉及的圓板狀旋轉刃1B的原材料，具有與混合材料9A不同的成分。
接著，如第2圖的(c)所示，準備一組成型模10。成型模10具有下模11和上模12。構造成型模10的材料可以是由工具鋼等構成的金屬類材料，也可以是陶瓷類材料。可通過在由金屬類材料或陶瓷類材料構成的母材上塗覆包含氧化釔(Y2O3)的陶瓷類材料而構造成型模10。
在下模11中設置有用於收容圓板狀混合材料9A的凹部13。在構造下模11的凹部13的底面的下模11的內底面上設置有與混合材料9A的圓孔2對應的朝上的凸部14。在上模12的底面(下表面)上設置有與混合材料9A的平面形狀對應的朝下的凸部15。
接著，如第2圖的(c)所示，將圓板狀混合材料9A收容在成型模10中。第2圖的(c)表示將兩個圓板狀混合材料9A收容在成型模10中的例。也可以沿圖面縱深方向收容有多個(例如，在沿圖面縱深方向的每一例上收容有三個)圓板狀混合材料9A。在該情況下，可通過使用一組成型模10且經由一次成型工序一併製造六(=2×3)個圓板狀旋轉刃1A。也可以將能夠經由一次成型工序一併製造的數量設定為更多。
接著，在第2圖的(c)所示的狀態下，對下模11和上模12進行合模。通過凹部13中的下模11的內底面和上模12的朝下的凸部15中的上模12的下表面來夾持圓板狀混合材料9A。
接著，準備第2圖的(d)所示的加熱爐16。以下，對加熱爐16的結構進行說明。
加熱爐16具有週邊部17和加熱部18。此外，加熱爐16具有：台19，用於放置成型模10；支撐部20，用於支撐台19；和升降部21，用於使支撐部20升降。台19較佳由具有高導熱性的材料(例如，金屬類材料)構造。支撐部20較佳由具有低導熱性的材料(例如，水泥類材料)構造。在加熱部18設置有多個加熱器22。在第2圖的(d)中，作為一例圖示有筒狀的多個加熱器22。作為加熱器22，可使用利用電磁感應加熱的加熱器。
加熱部18具有蓋狀形狀，該蓋狀形狀在下方具有開口23。較佳在加熱爐16中設置有用於開閉開口23的擋板(未圖示)。通過升降部21的升降，由支撐部20支撐的台19經由加熱部18的開口23相對於加熱部18的內部空間進退。
接著，在第2圖的(d)所示的加熱爐16中，通過升降部21的下降，台19和支撐部20位於開口23的下方。通過向多個加熱器22供給電力，將加熱部18的內部空間加熱至規定的溫度(例如，150℃～160℃)。
接著，如第2圖的(d)所示，將收容有兩個圓板狀混合材料9A的成型模10收容在加熱爐16中。具體而言，首先在由支撐部20支撐的台19上放置收容有兩個圓板狀混合材料9A的成型模10。
接著，如第2圖的(d)所示，使用升降部21使成型模10進入加熱部18的內部空間，進而將成型模10按壓到加熱部18的上部部件24。使用升降部21以恒定的壓力將成型模10按壓到加熱部18的上部部件24，並且保持該狀態。由加熱部18生成的熱經由成型模10傳遞到兩個圓板狀混合材料9A中。在該狀態下，利用規定的壓力(例如，800kgf/cm2)對兩個圓板狀混合材料9A進行加壓的同時，利用規定的溫度(例如，155℃)來加熱該兩個圓板狀混合材料9A。在一系列工序中，台19作為導熱部件來發揮功能，支撐部20作為絕熱部件來發揮功能。
接著，將第2圖的(d)所示的狀態在規定的溫度(例如，155℃)下保持規定的時間(例如，3～5分鐘)。由此，包含在兩個圓板狀混合材料9A中的樹脂材料硬化，成型由硬化樹脂構成的樹脂部5(參照第1圖的(b))。
接著，在第2圖的(d)所示的狀態下，使用升降部21將成型模10從加熱部18的內部空間取出到加熱部18的下方。將取出後的成型模10轉移到處理室(未圖示)。處理室可以設置在加熱爐16的內部，也可以設置在加熱爐16的外部。
接著，將收容有兩個圓板狀混合材料9A的成型模10在200℃或200℃以下的適當的處理溫度且規定的氣氛下放置規定的時間。例如，將成型模10在180℃的溫度下放置兩小時之後，在200℃的溫度下放置一小時。通過如此進行熱處理(後硬化)，從而充分進行包含在圓板狀混合材料9A中的樹脂材料硬化的硬化反應。通過包含在圓板狀混合材料9A中的樹脂材料硬化以成型硬化樹脂，從而製作圓板狀旋轉刃1A(參照第2圖的(e))。
作為熱處理中的氣氛，可採用以下氣氛。在處理溫度包含在構造樹脂部5(硬化樹脂)(參照第1圖的(b))的樹脂材料變差的溫度範圍內的情況下，可採用惰性氣體(例如，氮氣)氣氛(惰性氣氛)。在該情況下，也可以採用低氧氣氛(減壓氣氛)。在處理溫度未包含在構造樹脂部5的樹脂材料變差的溫度範圍內的情況下，可採用大氣氣氛。
接著，從處理室取出並放置收容有兩個圓板狀旋轉刃1A的成型模10。由此，自然冷卻成型模10和收容在成型模10的內部的兩個圓板狀旋轉刃1A。也可以在處理室的外部向成型模10噴射冷卻用低溫氣體。由此，能夠強製冷卻成型模10和收容在成型模10的內部的兩個圓板狀旋轉刃1A。因此，能夠縮短圓板狀旋轉刃1A的製造時間。
接著，如第2圖的(e)所示，對下模11和上模12進行開模。從設置於下模11的兩個凹部13中取出兩個圓板狀旋轉刃1A。也可以根據需要對各個圓板狀旋轉刃1A實施精加工(研磨或磨削等機械加工)。例如，使用車床或磨床等對第2圖的(e)所示的圓板狀旋轉刃1A的外周部4及內周部(圓孔2的外側部分)進行機械加工。通過目前為止的工序，最終完成兩個圓板狀旋轉刃1A。
根據實施例2所涉及的圓板狀旋轉刃的製造方法，能製造實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A。通過將成型模10設為多腔(多数個取り)結構，能夠經由一次成型工序一併製造多個圓板狀旋轉刃1A。
此外，在加熱爐16中設置有升降部21，該升降部21經由加熱部18的開口23相對於加熱部18的內部空間進退。由此，能夠實現在製造圓板狀旋轉刃1A時的加壓的同時加熱的工序的自動化。關於這些效果。在與圓板狀旋轉刃的製造方法有關的其他實施例中也同樣。
在實施例2所涉及的圓板狀旋轉刃的製造方法中，使用具有圓孔2的圓板狀混合材料。代替此，也可以使用不具有圓孔2的圓板狀混合材料。在該情況下，通過對經由加壓的同時加熱而硬化的圓板狀成型品進行機械加工，從而形成圓孔2。關於這一點，在其它實施例中也同樣。
(實施例3)
本發明的實施例3所涉及的圓板狀旋轉刃1B所具有的總體結構與實施例1所涉及的圓板狀旋轉刃1A所具有的總體結構相同。因此，省略與圓板狀旋轉刃1B所具有的總體結構有關的說明。
參照第1圖的(c)，對圓板狀旋轉刃1B所具有的微細結構進行說明。如第1圖的(c)所示，圓板狀旋轉刃1B包括由硬化樹脂構成的樹脂部5、磨粒6、來源於生物的纖維狀部件7(例如，纖維素納米纖維)和骨料8。關於構造圓板狀旋轉刃1B的材料種類這一點，圓板狀旋轉刃1B與圓板狀旋轉刃1A相同。
在圓板狀旋轉刃1B中，較佳纖維狀部件7的比率(配合率)大於30體積%。這是因為，在使用纖維狀部件7的配合率為30體積%以下的混合材料的情況下，在圓板狀旋轉刃的製造方法(後述)中，難以通過抄出磨粒6和纖維狀部件7分散到溶劑中的分散材料而製作圓板狀分散材料。
在圓板狀旋轉刃1B中，較佳纖維狀部件7的配合率為80體積%以下。在使用纖維狀部件7的配合率大於80體積%的混合材料的情況下，包含在圓板狀旋轉刃中的磨粒6的配合率降低。因此，旋轉刃1B對切削對象進行切削的效率降低，故非較佳。
根據實施例3所涉及的圓板狀旋轉刃1B，能得到與由圓板狀旋轉刃1A帶來的效果同樣的效果。此外，鑒於以下理由，由圓板狀旋轉刃1B得到的各種效果大於由圓板狀旋轉刃1A得到的各種效果。在圓板狀旋轉刃1B中，纖維狀部件7的配合率大於30體積%且為80體積%以下。在圓板狀旋轉刃1A中，纖維狀部件7的配合率為0.5體積%以上且30體積%以下。與旋轉刃1A相比較，旋轉刃1B具有較大的纖維狀部件7的配合率值。因此，由圓板狀旋轉刃1B得到的各種效果大於由圓板狀旋轉刃1A得到的各種效果。
(實施例4)
參照第1圖的(c)及第2圖對製造本發明的實施例3所涉及的圓板狀旋轉刃1B的、圓板狀旋轉刃的製造方法進行說明。從準備磨粒6、來源於生物的纖維狀部件(例如，纖維素納米纖維)7、骨料8和樹脂材料的工序到計量這些材料的工序與實施例2的情況相同。
接著，通過將磨粒6、纖維狀部件7和骨料8溶解於溶劑中而製作分散材料。換言之，通過將樹脂材料以外的材料溶解於溶劑中而製作分散材料。作為溶劑，可使用水類溶劑、醇類溶劑等。作為溶解於溶劑中的材料，可以加入粘合劑和分散劑，也可以加入少量的粉末狀樹脂材料。在製作出的分散材料中，較佳纖維狀部件7的比率(配合率)大於30體積%且為80體積%以下。在製作出的分散材料中，纖維狀部件7所具有的纖維成為纏繞於磨粒6、骨料8和粘合劑等材料上的狀態。
接著，抄出製作出的分散材料。在該工序中，使用具有與抄紙機相同的功能的機器。由此，將分散材料成型為圓形。通過使成型為圓形的分散材料乾燥，製作圓板狀分散材料。
接著，使用樹脂浸漬機使流動性樹脂(具有流動性的樹脂材料)浸漬到圓板狀分散材料中。在該工序中，較佳對圓板狀分散材料所包含的空間進行減壓。由此，通過使流動性樹脂浸漬到圓板狀分散材料中而製作圓板狀混合材料。
接著，如第2圖的(c)所示，將圓板狀混合材料9B收容在成型模10中。由於以下工序與實施例2中說明的工序相同，因此省略與這些工序有關的說明。
根據實施例4所涉及的圓板狀旋轉刃的製造方法，能夠製造實施例3所涉及的圓板狀旋轉刃1B。此外，能夠得到與由實施例2所涉及的圓板狀旋轉刃的製造方法帶來的效果同樣的效果。
(實施例5)
參照第3圖，對本發明的實施例5所涉及的切削裝置進行說明。第3圖所示的切削裝置25至少具有接收模組26、切削模組27和送出模組28。接收模組26、切削模組27和送出模組28沿第3圖的(a)所示的X方向排列，並且彼此固定。
接收模組26和切削模組27能夠裝卸。切削模組27和送出模組28能夠裝卸。其他切削模組相對於切削模組27能夠裝卸。因此，第一，在接收模組26與切削模組27之間能夠裝卸其他切削模組。第二，在切削模組27與送出模組28之間能夠裝卸其他切削模組。
接收模組26從切削裝置25的外部接收切削對象29。切削模組27對由接收模組26接收到的切削對象29進行切削。切削模組27能夠執行沿厚度方向對切削對象29進行的局部切削(半切)和沿厚度方向對切削對象29進行的完全切削(全切)這兩個切削。
送出模組28從切削模組27接收產品組30，該產品組30為對切削對象29進行單片化而製作的產品P的集合體。產品組30被收納在托盤31中。收納有產品組30的托盤31被送出到切削裝置25的外部。也可以在送出模組28中設置用於對各產品P進行光學檢查的照相機32。
切削模組27具有心軸33(旋轉機構)。心軸33具有持有旋轉軸34的伺服電動機35。在旋轉軸34上安裝有圓板狀旋轉刃1A或圓板狀旋轉刃1B中的任一旋轉刃。旋轉刃1A、1B在包含圖中的Y方向和Z方向的面內旋轉。
切削模組27具有作為固定切削對象29的台的工作臺36(固定機構)。作為暫時固定切削對象29的機構的一例，可採用粘貼在工作臺36的上表面上的粘合片。
切削模組27具有用於使工作臺36和心軸33相對移動(旋轉)的旋轉部37。工作臺36被安裝在旋轉部37上。在旋轉部37的下方設置有例如由伺服電動機構成的電動機(未圖示)。旋轉部37被固定在伺服電動機的旋轉軸上。通過伺服電動機的旋轉，安裝在旋轉部37上的工作臺36沿θ方向旋轉。
切削模組27具有用於使工作臺36和心軸33相對移動的移動機構38。切削模組27例如具有伺服電動機39、被連接到伺服電動機的旋轉軸上的滾珠絲杠40和嚙合於滾珠絲杠40的滾珠螺母(未圖示)。移動機構38被安裝在滾珠螺母上。通過驅動伺服電動機，工作臺36沿Y方向移動。通過設置與移動機構38同樣的移動機構(未圖示)，能夠使工作臺36和心軸33沿X方向及Z方向相對移動。
切削裝置25具有控制部CTL。控制部CTL設置在接收模組26中。也可以在其他模組中設置控制部CTL。控制部CTL至少控制圓板狀旋轉刃1A或圓板狀旋轉刃1B的旋轉方向和轉數、以及工作臺36與心軸33之間的相對移動和移動速度(移動時包含旋轉。以下相同)。
在接收模組26與切削模組27之間或者在切削模組27與送出模組28之間能夠裝卸具有特定功能的功能模組。特定功能為除上述的切削之外的以產品組30為對象進行的清洗、乾燥、產品P的測量或檢查等。特定功能也可以是以切削前的切削對象29或切削後的切削對象(作為產品P的集合體的產品組30)為對象的磨削(研磨)。功能模組可執行這些多個功能中的至少一個功能。接收模組26、切削模組27和送出模組28也可以包含在功能模組中。
特定功能還可以是使用圓板狀旋轉刃1A、1B以外機構進行的切削功能。通過使用具有這些切削功能的切削機構，能夠進行例如利用水射流的切削、利用使用磨粒的噴砂的切削、使用鋼絲鋸的切削、利用鐳射的切削等。通過組合這些切削機構和圓板狀旋轉刃1A、1B，能夠沿由線段和曲線組合而成的線對切削對象29進行切削。這種切削在製造例如SD存儲卡等具有由線段和曲線組合而成的形狀的產品時有用。
第3圖的(b)表示具有清洗功能和乾燥功能的功能模組41。功能模組41較佳被插入並安裝在切削模組27與送出模組28之間。
功能模組41具有清洗乾燥機構42。清洗乾燥機構42具有清洗部43及乾燥部44。在清洗部43中設置有用於噴射清洗液的清洗液噴射機構。在清洗部43中也可以設置有擦洗機構，該擦洗機構使用含有清洗液的海綿來擦拭產品組的上表面。在清洗部43中還可以並行設置噴射機構和擦洗機構。在乾燥部44中設置有用於噴射清潔氣體的氣體噴射機構。第3圖的(b)所示的功能模組41在清洗部43的清洗功能和乾燥部44的乾燥功能的基礎上還具有照相機32的檢查功能。
第3圖的(c)表示具有磨削(研磨)功能的功能模組45。功能模組45被插入並安裝在接收模組26與切削模組27之間或者切削模組27與送出模組28之間。為了縮短切削模組27中的切削時間，較佳在接收模組26與切削模組27之間插入並安裝有功能模組45。根據該結構，切削對象29在經由功能模組45中的研磨而薄型化之後，經由切削模組27中的切削而單片化。
在功能模組45中設置有磨削機構46。磨削機構46具有能夠旋轉的磨削砂輪47。通過使用磨削機構46所具有的能夠旋轉的磨削砂輪47，能夠對封裝後基板所具有的封裝樹脂的上表面及半導體晶片等的上表面進行磨削。由此，能夠減薄由電子部件等構成的產品P。在功能模組45中也可以設置有厚度測量機構48。在切削加工過程中或切削加工之後，能夠利用厚度測量機構48所具有的變位感測器49來測量待磨削的封裝樹脂的上表面或半導體晶片的上表面等的高度方向(Z方向)的位置。功能模組45兼具磨削砂輪47的磨削功能和變位感測器49的厚度測量功能。
實施例5所涉及的切削裝置25使用圓板狀旋轉刃1A或圓板狀旋轉刃1B中的任一旋轉刃對切削對象29進行切削。因此，能夠得到與實施例1中說明的效果同樣的效果。
此外，根據實施例5所涉及的切削裝置25，能夠得到以下效果。第一，在製造切削裝置25之後或者在切削裝置25安裝到使用者工廠之後，可根據需要在切削裝置25中事後增設具有切削功能的功能模組。也可以在使用者開始使用切削裝置25之後，在切削裝置25中事後增設具有切削功能的功能模組。因此，能夠事後增加切削裝置25中的對切削對象29進行切削的能力。
第二，在製造切削裝置25之後或者在切削裝置25安裝到使用者工廠之後，可根據需要在切削裝置25中事後增加具有切削以外功能的功能模組。也可以在使用者開始使用切削裝置25之後，在切削裝置25中事後增加具有切削以外功能的功能模組。因此，能夠在切削裝置25中事後增加切削裝置25中的切削以外的功能。
此外，目前為止所說明的實施例1～5中記載的切削對象29包括電路板，該電路板中形成有分別內含電路的格子狀的多個區域。電路板可以是由矽或碳化矽等構成的半導體基板(semiconductor wafer)。這些切削對象具有實質上圓形的平面形狀。
切削對象包括半導體晶圓(semiconductor wafer)，該半導體晶圓中形成有分別內含電路的格子狀的多個區域，並且該半導體晶圓的一面被樹脂封裝。在該半導體晶圓的一面上也可以形成有突起狀電極或電氣佈線等。
切削對象29包括板狀部件，該板狀部件中形成有分別具有功能的格子狀的多個區域。板狀部件也可以是在多個區域分別形成有微透鏡陣列的板狀部件。板狀部件還可以是在多個區域分別形成有導光板的板狀部件。在這些情況下，多個區域分別具有的功能為光的聚光、擴散和導光等的光學功能。
作為切削對象29的一例的封裝後基板具有：電路板；多個晶片狀部件，被安裝在電路板所具有的格子狀的多個區域中；和封裝樹脂，以一併覆蓋多個區域的方式形成為板狀。電路板包含由銅、鐵類合金等構成的引線框(lead frame)、玻璃環氧層壓板、以覆銅聚醯亞胺薄膜等為基材的印刷基板(印刷電路板；Printed Wiring Board)。電路板包含以氧化鋁、碳化矽或藍寶石等為基材的陶瓷基板、以銅或鋁等金屬為基材的金屬基基板、以聚醯亞胺薄膜為基材的膜基基板等。
作為切削對象29一例的封裝後基板的總體形狀，代表性的是製造IC、表面安裝型電晶體或表面安裝型電容器等時的板狀(平板狀)。不限於此，樹脂封裝體1的總體形狀也可以是製造光學半導體元件時的具有作為凸透鏡發揮功能的多個突起的形狀等。
晶片狀部件包含分別為晶片狀的、半導體積體電路(semiconductor integrated circuit；IC)、光學半導體元件、電晶體、二極體、水晶振子、濾波器、電容器、電感器、電阻、熱敏電阻和感測器等的電子部件。晶片狀部件包含微電子機械系統(MEMS：Micro Electro Mechanical Systems)等機構部件。在基板中的一個區域中可以安裝有一個晶片狀部件，也可以安裝有多個晶片狀部件。安裝在一個區域中的多個晶片狀部件可以是相同種類，也可以是不同種類。作為封裝樹脂，例如可使用環氧樹脂或矽樹脂等的由熱硬化性樹脂硬化而成的硬化樹脂。
在各實施例中，使工作臺36沿圖中的X方向、Y方向及Z方向移動。代替此，也可以使安裝有圓板狀旋轉刃1A、1B的心軸33沿圖中的X方向、Y方向及Z方向移動。此外，還可以使工作臺36和心軸33這兩個沿圖中的X方向、Y方向及Z方向移動。根據這些形式，還可以使工作臺36和心軸33沿X方向、Y方向及Z方向相對移動。
還可以根據構造切削對象29的材料或者根據構造切削對象29的材料的組合，改變工作臺36和心軸33沿X方向、Y方向及Z方向相對移動的速度。
作為將切削對象29暫時固定在工作臺36上的方式，可以將切削對象29吸附在工作臺36的上表面上，而不使用膠帶。在該情況下，以俯視時與作為待切斷的部分的各邊界線重疊的方式，在工作臺36的上部形成有收容圓板狀旋轉刃1A、1B的外周部4的槽。
在目前為止說明的實施例中，使用包含纖維素的來源於植物的纖維狀部件7，以作為分散到由硬化樹脂構成的樹脂部5內的來源於生物的纖維狀部件7。可使用來源於動物的具有親水性的纖維狀部件7來代替來源於植物的纖維狀部件，以作為來源於生物的纖維狀部件7。換言之，在圓板狀旋轉刃1A、1B中，纖維狀部件也可以是來源於動物的纖維狀部件。
作為分散到由硬化樹脂構成的樹脂部5內的來源於動物的纖維狀部件7的一例，可列舉包含甲殼素或殼聚糖的材料。甲殼素或殼聚糖為包含在蟹或蝦的甲殼或者烏賊的器官等諸多生物中的天然多糖類(參照前述的杉野機械有限公司的網頁)。根據目前為止說明的製造方法，能夠使用來源於動物的纖維狀部件7來製造與實施例1、3中說明的圓板狀旋轉刃1A、1B同樣的旋轉刃。
本發明並不限定於上述的各實施例。在不脫離本發明主旨的範圍內，本發明可根據需要任意且適當組合而進行變更或選擇性地採用各結構要素。例如，也可以採用在切削裝置25所具有的切削模組27中對一個工作臺36組合兩個心軸33(旋轉機構)的結構。也可以對一個工作臺36組合一個心軸33(旋轉機構)而構造切削機構之後，在一台切削裝置25所具有的一個切削模組27中設置多組(例如，兩組)切削機構。
10‧‧‧成型模
11‧‧‧下模
12‧‧‧上模
13‧‧‧凹部
14‧‧‧朝上的凸部
15‧‧‧朝下的凸部
16‧‧‧加熱爐
17‧‧‧週邊部
18‧‧‧加熱部
19‧‧‧台
1A、1B‧‧‧圓板狀旋轉刃
2‧‧‧圓孔
20‧‧‧支撐部
21‧‧‧升降部
22‧‧‧加熱器
23‧‧‧開口
24‧‧‧上部部件
25‧‧‧切削裝置
26‧‧‧接收模組
27‧‧‧切削模組
28‧‧‧送出模組
29‧‧‧切削對象
3‧‧‧側面部
30‧‧‧產品組
31‧‧‧托盤
32‧‧‧照相機
33‧‧‧心軸
34‧‧‧旋轉軸
35、39‧‧‧伺服電動機
36‧‧‧工作臺
37‧‧‧旋轉部
38‧‧‧移動機構
4‧‧‧外周部
40‧‧‧滾珠絲杠
41、45‧‧‧功能模組
42‧‧‧清洗乾燥機構
43‧‧‧清洗部
44‧‧‧乾燥部
46‧‧‧磨削機構
47‧‧‧磨削砂輪
48‧‧‧厚度測量機構
49‧‧‧變位感測器
5‧‧‧樹脂部
6‧‧‧磨粒
7‧‧‧纖維狀部件
8‧‧‧骨料
9A、9B‧‧‧圓板狀混合材料
C‧‧‧中心
CTL‧‧‧控制部
P‧‧‧產品
第1圖的(a)是本發明所涉及的圓板狀旋轉刃的主視圖及側視圖，(b)及(c)分別是有關其他實施例的、(a)所示的A部分的放大示意圖。 第2圖是按工序順序表示本發明所涉及的圓板狀旋轉刃的製造方法的示意圖。 第3圖的(a)是表示本發明所涉及的切削裝置的示意性俯視圖，(b)及(c)是表示切削模組以外的功能模組的例的示意性俯視圖。

Claims (20)

  1. 一種圓板狀旋轉刃，用於對切削對象進行切削，該圓板狀旋轉刃包括： 硬化樹脂，經樹脂材料硬化而成型； 磨粒，被分散到該硬化樹脂內；以及 來源於生物的纖維狀部件，被分散到該硬化樹脂內，該硬化樹脂由在該磨粒和該纖維狀部件被分散到該樹脂材料中的狀態下該樹脂材料硬化而成型的硬化樹脂構成。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中包含在該圓板狀旋轉刃中的該纖維狀部件的比率為0.5體積%以上且30體積%以下。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中包含在該圓板狀旋轉刃中的該纖維狀部件的比率大於30體積%且為80體積%以下。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中該纖維狀部件來源於植物。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之圓板狀旋轉刃，其中該纖維狀部件包含纖維素。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中該纖維狀部件來源於動物。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之圓板狀旋轉刃，其中該纖維狀部件包含甲殼素或殼聚糖。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中該切削對象為形成有分別具有功能的多個區域的板狀部件。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中該切削對象為形成有分別內含電路的多個區域的電路板。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之圓板狀旋轉刃，其中該切削對象為形成有分別內含電路的多個區域且利用封裝樹脂來進行樹脂封裝的電路板。
  11. 一種切削裝置，其包括： 旋轉軸，用於固定圓板狀旋轉刃； 旋轉機構，用於使該旋轉軸旋轉； 固定機構，用於固定切削對象；以及 移動機構，用於使該旋轉機構和該固定機構相對移動，該圓板狀旋轉刃為如申請專利範圍第1至10項中之任一項所述之圓板狀旋轉刃。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之切削裝置，其中該切削裝置具有兩個該旋轉機構，並且具有多個該移動機構。
  13. 如申請專利範圍第11項所述之切削裝置，其中該切削裝置具有兩個該固定機構，並且具有多個該移動機構。
  14. 如申請專利範圍第11項所述之切削裝置，其更包括： 切削模組，至少具有該旋轉軸、該旋轉機構、該固定機構和該移動機構；以及 控制部，至少控制該切削模組的操作，該切削模組相對於具有特定功能的其他功能模組能夠裝卸，該特定功能包含切削、清洗、乾燥、測量、檢查和研磨中的至少一個功能。
  15. 一種圓板狀旋轉刃的製造方法，該圓板狀旋轉刃用於對切削對象進行切削，該圓板狀旋轉刃的製造方法包括以下工序： 準備磨粒； 準備來源於生物的纖維狀部件； 準備樹脂材料； 通過至少將該磨粒和該纖維狀部件分散到該樹脂材料中而製作混合材料； 在該磨粒和該纖維狀部件分散到該樹脂材料中的狀態下，通過軋製該混合材料而製作板狀混合材料； 通過衝壓該板狀混合材料而製作圓板狀混合材料； 將該圓板狀混合材料裝入成型模中； 通過對裝入該成型模中的該圓板狀混合材料進行加壓的同時加熱，以使該樹脂材料硬化而成型硬化樹脂，由此成型圓板狀成型品； 對該圓板狀成型品進行冷卻；以及 從該成型模中取出由該圓板狀成型品構成的圓板狀旋轉刃。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之圓板狀旋轉刃的製造方法，其中在製作該混合材料的工序中，將包含在該混合材料中的該纖維狀部件的比率設為0.5體積%以上且30體積%以下。
  17. 一種圓板狀旋轉刃的製造方法，該圓板狀旋轉刃用於對切削對象進行切削，該圓板狀旋轉刃的製造方法包括以下工序： 準備磨粒； 準備來源於生物的纖維狀部件； 準備具有流動性的樹脂材料； 通過至少將該磨粒和該纖維狀部件分散到溶劑中而製作分散材料； 在該磨粒和該纖維狀部件分散到該溶劑中的狀態下，抄出該分散材料而製作圓板狀分散材料； 使該圓板狀分散材料乾燥； 通過使該樹脂材料浸漬到乾燥後的該圓板狀分散材料中而製作圓板狀混合材料； 將該圓板狀混合材料裝入成型模中； 通過對裝入該成型模中的該圓板狀混合材料進行加壓的同時加熱，以使該樹脂材料硬化而成型硬化樹脂，由此成型圓板狀成型品； 對該圓板狀成型品進行冷卻；以及 從該成型模中取出由該圓板狀成型品構成的圓板狀旋轉刃。
  18. 如申請專利範圍第17項所述之圓板狀旋轉刃的製造方法，其中在製作該圓板狀混合材料的工序中，將包含在該圓板狀混合材料中的該纖維狀部件的比率設為大於30體積%且為80體積%以下。
  19. 如申請專利範圍第15或17項所述之圓板狀旋轉刃的製造方法，其進一步包括以下工序： 將從該成型模中取出的該圓板狀旋轉刃置於規定溫度氣氛中，以對該圓板狀旋轉刃進行熱處理。
  20. 如申請專利範圍第19項所述之圓板狀旋轉刃的製造方法，其中該規定溫度氣氛為大氣氣氛、惰性氣氛和低氧氣氛中的任一種氣氛。
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