TW201740887A - 致動器裝置及控制方法 - Google Patents

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Kawasaki Heavy Ind Ltd
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Abstract

本發明提供一種能以高精度進行定位之致動器裝置。致動器裝置10，具備：活塞21，收容於該內部空間，與缸體20一起形成一對壓力室24、25，且相對於缸體進行相對移動；第1致動器30，與一對壓力室之一方連接；第2致動器40，與一對壓力室之另一方連接；位置檢測器22，檢測活塞相對於缸體之位置；壓力檢測器23，檢測一對壓力室之任一方之壓力室中的壓力；及控制器50，控制第1致動器及第2致動器；控制器，控制第1致動器與第2致動器之一方以使位置檢測器檢測出之位置接近目標位置，控制第1致動器與第2致動器之另一方以使壓力檢測器檢測出之壓力接近目標壓力。

Description

致動器裝置及控制方法
本發明係關於一種具備汽缸之致動器裝置及控制方法。
作為使用有具備汽缸之致動器裝置之例，例如，已知有專利文獻1之手術用機器人等。該手術用機器人具備鉗子，於鉗子設有用於使其開閉部進行開閉之活塞及汽缸。
又，作為一邊進行活塞之定位、一邊控制汽缸之壓力室之壓力的裝置，例如，已知有專利文獻2之液壓裝置。在該液壓裝置，設有液壓汽缸、桿(rod)、藉由液壓汽缸與流路連接之液壓泵、及驅動液壓泵之電動馬達。根據桿相對液壓汽缸之位置、及連接於汽缸之流路之壓力，控制電動馬達。而且，切換其位置控制及壓力控制。
專利文獻1：日本特開2015-100677號公報
專利文獻2：日本特開2004-263645號公報
如專利文獻1之手術用機器人之汽缸由於係小型之汽缸，因此相對於作用於活塞之推力，活塞與汽缸之間的摩擦力較大。由此，活塞相對於汽缸移動時，因作用於汽缸與活塞之間的動摩擦阻力與靜摩擦阻力之不同而容易產生滯著滑動(stick-slip)現象。由此，活塞無法滑順地移動， 而無法進行高精度之定位。
又，為了使定位精度提高，而要求將汽缸之壓力室中的壓力保持一定。然而，在專利文獻2之液壓裝置中，進行切換位置控制及壓力控制。由此，難以將汽缸之壓力保持一定，而無法維持高精度之定位。
本發明係為了解決如上述之課題而完成，目的在於提供一種能夠以高精度進行定位之致動器裝置及控制方法。
本發明之一態樣之致動器裝置，具備：缸體，具有內部空間；活塞，收容於該內部空間，與該缸體一起形成一對壓力室，且相對於該缸體進行相對移動；第1致動器，與該一對壓力室之一方連接；第2致動器，與該一對壓力室之另一方連接；位置檢測器，檢測該活塞相對於該缸體之位置；壓力檢測器，檢測該一對壓力室之任一方之壓力室中的壓力；及控制器，控制該第1致動器及該第2致動器；該控制器，控制該第1致動器與該第2致動器之一方以使該位置檢測器檢測出之位置接近目標位置，控制該第1致動器與該第2致動器之另一方以使該壓力檢測器檢測出之壓力接近目標壓力。
根據該構成，在利用第1致動器與第2致動器之一方之致動器控制活塞相對於缸體之位置時，能夠同時利用另一方之致動器控制藉由活塞分隔之缸體內之壓力。因此，能夠以高精度定位活塞之位置，且維持高定位精度。
在該致動器裝置中，該缸體，亦可為藉由該第1致動器及該第2致動器調整該一對壓力室各自的液體壓力之液壓缸體，或是藉由該第1致動器及該第2致動器調整該一對壓力室各自的氣體壓力之氣壓缸體。
又，在該致動器裝置中，該第1致動器及該第2致動器亦可為液壓缸體或氣壓缸體。
進一步地，致動器裝置，亦可進一步具備前端與醫療用器具之施術(實施手術)部分連接、且基端與該活塞結合之桿。藉此，能夠使被要求高定位精度之醫療用器具之施術部分與活塞之移動連動，而以高精度進行其定位。
本發明之另一態樣之致動器裝置之控制方法中，該致動器裝置具備：缸體，具有內部空間；活塞，收容於該內部空間，與該缸體一起形成一對壓力室，且相對於該缸體進行相對移動；第1致動器，與該一對壓力室之一方連接；第2致動器，與該一對壓力室之另一方連接；位置檢測器，檢測該活塞相對於該缸體之位置；及壓力檢測器，檢測該一對壓力室之任一方之壓力室中的壓力；該控制方法，係控制該第1致動器與該第2致動器之一方以使該位置檢測器檢測出之位置接近目標位置，控制該第1致動器與該第2致動器之另一方以使該壓力檢測器檢測出之壓力接近目標壓力。
本發明具有以上所說明之構成，發揮可提供一種能夠以高精度進行定位之致動器裝置及控制方法之效果。
本發明之上述目的、其他目的、特徵及優點，可參照所附之圖式，從以下之較佳的實施態樣之詳細說明而明瞭。
10‧‧‧致動器裝置
11‧‧‧醫療用器具
20‧‧‧缸體
21‧‧‧活塞
22‧‧‧位置檢測器
23‧‧‧壓力檢測器
24‧‧‧桿側壓力室(壓力室)
25‧‧‧頭側壓力室(壓力室)
27‧‧‧桿
30‧‧‧第1致動器
40‧‧‧第2致動器
50‧‧‧控制器
圖1，係概略性地顯示本發明之實施形態之致動器裝置之構成的方塊 圖。
以下，一邊參照圖式一邊具體地說明本發明之實施形態。另外，於以下遍及所有的圖式對相同或相當之元件標記相同之參照符號，並省略其重複之說明。
(實施形態)
首先，針對本發明之實施形態之致動器裝置10之構成，參照圖1進行說明。以下，針對將本發明之致動器裝置10適用於醫療用器具11之情形進行說明。但是，致動器裝置10並不限定為適用於醫療用器具11之情形。
醫療用器具11，例如，與機械臂等之操作器(manipulator)(未圖示)連接。作為醫療用器具11，可例舉如鉗子、燒灼器、熱熔刀及攝影裝置，於本實施形態中採用鉗子。醫療用器具11，具備致動器裝置10、可動部12及施術部分13。使用鉗子之開閉部作為施術部分13。可動部12，係連桿機構，將致動器裝置10之動作轉換為對應施術部分13之動作。在本實施形態中，將活塞21之移動取代成施術部分13即開閉部之開閉動作。
致動器裝置10，具備缸體20、活塞21、第1致動器30、第2致動器40、位置檢測器22、壓力檢測器23及控制器50。控制器50，例如亦可與輸入使用者之操作所產生之指令的輸入器(未圖示)連接。
缸體20，係液壓缸體，且使用油及生理食鹽水等之液體作為作動流體。缸體20，係小徑之小型缸體，例如其直徑為5mm左右。缸體20，具有內部空間，例如係藉由圓筒形狀之側壁部及覆蓋側壁部之兩端開口之各個之端壁部構成。在缸體20之內部空間收容活塞21。
活塞21，例如係圓盤形狀，與缸體20一起形成一對壓力室24、25。在活塞21之側端設有襯墊(packing)26。襯墊26係藉由樹脂及橡膠等形成，介於活塞21之側端與缸體20之側壁部之間的間隙。藉此，在活塞21可相對於缸體20相對移動之狀態下，襯墊26使間隙密閉。
桿27，例如係棒狀之長條構件，其基端與活塞21結合。桿27，通過缸體20之內部空間，貫通缸體20之端壁部，於其前端連接醫療用器具11之施術部分13。
第1致動器30，藉由第1路徑28而與一對壓力室24、25之一方(於本實施形態中，係桿側壓力室24)連接。該桿側壓力室24，係桿27通過之桿側之壓力室。第1致動器30，透過第1路徑28對桿側壓力室24供應或排出液體，以調整桿側壓力室24中的液體壓力。
第1致動器30，於本實施形態中，係液壓缸體。第1致動器30，具備第1缸體31、第1活塞32、第1桿33、第1直動機構34及第1馬達35。第1缸體31，係液壓缸體，其頭側壓力室(頭側第1壓力室)36，藉由第1路徑28而與缸體20之桿側壓力室24連通。第1桿33，自第1活塞32延伸，透過第1直動機構34而與第1馬達35連接。第1馬達35，例如係可往兩方向旋轉之伺服馬達，其旋轉運動由控制器50控制。在第1馬達35，設有用於檢測其旋轉速度之第1旋轉速度感測器37，其檢測位置被輸出至控制器50。第1直動機構34將第1馬達35之旋轉運動轉換成直線運動，該直線運動透過第1桿33傳達至第1活塞32。
第2致動器40，藉由第2路徑29而與一對壓力室24、25之另一方(於本實施形態中，係頭側壓力室25)連接。該頭側壓力室25，係 桿27未通過之頭側之壓力室。第2致動器40，透過第2路徑29對頭側壓力室25供應或排出液體，以調整頭側壓力室25中的液體壓力。
第2致動器40，於本實施形態中，係液壓缸體。第2致動器40，具備第2缸體41、第2活塞42、第2桿43、第2直動機構44及第2馬達45。第2缸體41，係液壓缸體，其頭側壓力室(頭側第2壓力室)46，藉由第2路徑29而與缸體20之頭側壓力室25連通。第2桿43，自第2活塞42延伸，透過第2直動機構44而與第2馬達45連接。第2馬達45，例如係可往兩方向旋轉之伺服馬達，其旋轉運動由控制器50控制。在第2馬達45，設有用於檢測其旋轉速度之第2旋轉速度感測器47，其檢測位置被輸出至控制器50。第2直動機構44將第2馬達45之旋轉運動轉換成直線運動，該直線運動透過第2桿43傳達至第2活塞42。
位置檢測器22，係用於檢測活塞21相對於缸體20之位置的感測器，例如可例舉利用光或磁場之感測器。活塞21之位置，係活塞21之移動方向、例如相對於圓盤形狀之活塞21正交之方向之位置。此外，活塞21之位置，例如亦可為自初始值累加移動量後之值，或者，亦可為活塞21距缸體20之基準位置之距離。位置檢測器22，例如，設於桿27，且將檢測出之位置輸出至控制器50。
壓力檢測器23，係用於檢測缸體20之頭側壓力室25中的壓力之感測器，且將檢測出之壓力輸出至控制器50。壓力檢測器23，例如，可例舉利用應變計或壓電效果之感測器。壓力檢測器23，於本實施形態中，設置於第2路徑29。但是，壓力檢測器23，亦可設置於頭側壓力室25、或第2缸體41之頭側第2壓力室46。
控制器50，具備運算部(未圖示)及儲存部(未圖示)。控制器50，例如係具備有微控制器等之電腦的機器人控制器。另外，控制器50，可藉由集中控制之單獨的控制器構成，亦可藉由彼此協同運作並分散控制之複數個控制器構成。
在儲存部，使用ROM、RAM等，且儲存有作為機器人控制器之基本程式、各種固定資料等之資訊。運算部，使用CPU等，藉由讀取儲存在儲存部之基本程式等之軟體並進行執行，控制致動器裝置10之第1致動器30及第2致動器40。
控制器50，具備第1控制部51及第2控制部52。第1控制部51具有位置控制部53、第1速度控制部54及第1反向器(inverter)部55，第2控制部52具有壓力控制部56、第2速度控制部57及第2反向器部58。第1反向器部55藉由第1配線而與第1馬達35連接，在第1配線設有第1電流感測器59。第2反向器部58藉由第2配線而與第2馬達45連接，在第2配線設有第2電流感測器60。
第1控制部51，例如，以由位置檢測器22檢測出之位置接近目標位置之方式控制第1致動器30及第2致動器40之一方(於本實施形態中，係第1致動器30)。第2控制部52，以由壓力檢測器23檢測出之壓力接近目標壓力之方式控制第1致動器30及第2致動器40之另一方(於本實施形態中，係第2致動器40)。
接下來，針對致動器裝置10之動作(控制方法)，參照圖1進行說明。該動作係藉由控制器50控制。例如，藉由使用者所進行之輸入器之操作，將目標位置輸入至第1控制部51，將目標壓力輸入至第2控制 部52。
該目標位置，係用於使醫療用器具11配置於應到達之位置的活塞21之位置。目標壓力，可為根據各種條件而改變之壓力，亦可為不改變之固定壓力。例如，係在對醫療用器具11施加外力、或改變醫療用器具之朝向而使醫療用器具11作用於活塞21之重力改變時，能夠以活塞21之位置不改變之方式維持活塞21之位置的壓力。此外，係在活塞21進行移動時，能夠以抑制滯著滑動現象之方式將缸體20與活塞21之間的摩擦力相對於活塞21之推力盡可能變小之壓力。此時，考慮缸體20之耐久性等而設定目標壓力。
又，第1控制部51之位置控制部53，自藉由位置檢測器22所檢測出之位置取得活塞21之位置(現在位置)。然後，算出活塞21之目標位置與現在位置之差分(位置差分)，求出對應位置差分之第1馬達35之目標旋轉速度。另外，預先設定位置差分與目標旋轉速度。例如，在位置差分大的情形時，以加速第1馬達35之旋轉速度之方式將第1馬達35之目標旋轉速度設定較高。此外，在位置差分為0之情形時，將第1馬達35之目標旋轉速度設定為0。藉此，第1馬達35之旋轉速度為0，活塞21之位置接近目標位置。
第1速度控制部54，取得由第1旋轉速度感測器37檢測出之第1馬達35之旋轉速度(現在旋轉速度)。然後，算出第1馬達35之現在旋轉速度與第1馬達35之目標旋轉速度之差分(速度差分)。求出對應該速度差分之目標電流。另外，預先確定速度差分與目標電流之關係。
第1反向器部55，取得由第1電流感測器59所檢測出之電 流(檢測電流)，求出目標電流與檢測電流之差分(電流差分)。然後，以電流差分變小之方式控制第1馬達35之旋轉。
藉此，第1馬達35旋轉，該旋轉運動透過第1直動機構34傳達至第1活塞32。第1活塞32，根據位置差分而相對於第1缸體31進行移動。而且，當第1活塞32往頭側移動時，自頭側第1壓力室36往桿側壓力室24供應液體。
相對於此，當第1活塞32往第1桿33側移動時，自桿側壓力室24往頭側第1壓力室36排出液體。藉由與該液體之供應或排出所產生之桿側壓力室24與頭側壓力室25之差壓對應的推力，第1活塞32往目標位置移動，將與第1活塞32連接之醫療用器具11配置於應到達之位置。
另一方面，第2控制部52之壓力控制部56，自藉由壓力檢測器23所檢測出之壓力取得缸體20之桿側壓力室24之壓力(現在壓力)。然後，算出桿側壓力室24之目標壓力與現在壓力之差分(壓力差分)，根據壓力差分求出第2馬達45之目標旋轉速度。預先確定該壓力差分與第2馬達45之目標旋轉速度之關係。例如，壓力差分越大，則以加速第2馬達45之旋轉速度之方式將第2馬達45之目標旋轉速度設定較高。此外，在壓力差分為0之情形時，將第2馬達45之目標旋轉速度設定為0。藉此，第2馬達45之旋轉速度為0，桿側壓力室24之壓力維持於目標壓力。
第2速度控制部57，取得由第2旋轉速度感測器47檢測出之第2馬達45之旋轉速度(現在旋轉速度)。然後，算出第2馬達45之現在旋轉速度與目標旋轉速度之差分(速度差分)。求出對應該速度差分之目標電流。另外，預先確定速度差分與目標電流之關係。
第2反向器部58，取得由第2電流感測器60所檢測出之電流(檢測電流)，求出目標電流與檢測電流之差分(電流差分)，以電流差分變小之方式控制第2馬達45之旋轉。
藉此，第2馬達45旋轉，該旋轉運動透過第2直動機構44傳達至第2活塞42。第2活塞42，根據壓力差分而相對於第2缸體41進行移動。藉此，當第2活塞42往頭側移動時，自頭側第2壓力室46往頭側壓力室25供應液體。另一方面，當第2活塞42往第2桿43側移動時，自頭側壓力室25往頭側第2壓力室46排出液體。藉由該液體之供應或排出將頭側壓力室25之壓力調整至目標壓力。
如上述，利用第1致動器30及第2致動器40控制一個缸體20。藉此，能夠同時控制活塞21相對於缸體20之位置與缸體20之壓力室之壓力的二個變數。
藉由該第1致動器30及第2致動器40之一方進行活塞21相對於缸體20之位置控制，並且藉由另一方進行缸體20之壓力室之壓力控制。藉此，能夠一邊使活塞21之位置移動至目標位置，一邊將缸體20之壓力室之壓力調整至對應各種條件之最適的任意之壓力。
又，活塞21之推力F，係藉由自桿側壓力室24之液體承受之力F1、自頭側壓力室25之液體承受之力F2、及其他之力F3而決定。桿側壓力室24之力F1，係藉由桿側壓力室24之液體作用於活塞21之壓力與面積之積而算出。頭側壓力室25之力F2，係藉由頭側壓力室25之液體作用於活塞21之壓力與面積之積而算出。作為其他之力F3，例如，可列舉活塞21與缸體20之間的摩擦力。
該活塞21之推力F以F=｜F1-F2｜-F3表示。此處，在F1、F2相較F、F3非常地大(F、F3<<F1、F2)時，能夠以高精度定位活塞21之位置。
又，在以缸體20與活塞21之間的摩擦力相對於活塞21之推力變小之方式調整桿側壓力室24之壓力時，能夠抑制滯著滑動現象，且以高精度定位活塞21。
(其他實施形態)
在上述之實施形態中，雖於缸體20使用液壓缸體，但亦可取代此而於缸體20使用氣壓缸體。於此情形，在氣壓缸體，使用空氣等作為作動流體。
上述實施形態中，於第1致動器30使用第1缸體31等，於第2致動器40使用第2缸體41等。但是，第1致動器30及第2致動器40，只要是能夠分別調整缸體20之桿側壓力室24及頭側壓力室25之液體壓力者，則並不限定於此。
上述實施形態中，雖於第1缸體31及第2缸體41使用液壓缸體，但亦可取代此而於第1缸體31及/或第2缸體41使用氣壓缸體。於此情形，在氣壓缸體，使用空氣等作為作動流體。
上述實施形態中，第1致動器30與缸體20之桿側壓力室24連接，第2致動器40與缸體20之頭側壓力室25連接。但是，並不限定於此，亦可為第1致動器30與缸體20之頭側壓力室25連接，第2致動器40與缸體20之桿側壓力室24連接。
上述實施形態中，活塞21相對於缸體20之位置控制係藉由第1致動器30進行，缸體20之頭側壓力室25之壓力控制係藉由第2致動 器40進行。但是，並不限定於此，亦可活塞21相對於缸體20之位置控制藉由第2致動器40進行，缸體20之頭側壓力室25之壓力控制藉由第1致動器30進行。進一步地，亦可於控制中切換該位置控制及壓力控制。於該情形，壓力檢測器23，設於第1路徑28、桿側壓力室24或頭側第1壓力室36，對缸體20之桿側壓力室24中的壓力進行檢測。
上述實施形態中，自根據第1旋轉速度感測器37之檢測值而得之第1馬達35之現在旋轉速度求出第1馬達35之目標電流。但是，並不限定於此，亦可自活塞21之移動速度求出第1馬達35之目標電流。
於該情形，第1速度控制部54，例如，取得將位置檢測器22所獲得之檢測位置微分後之活塞21之移動速度(現在移動速度)。然後，算出該現在移動速度與來自位置控制部53之目標旋轉速度之差分(速度差分)，求出與速度差分對應之目標電流。預先確定該速度差分與目標電流之關係。
上述實施形態中，第2控制部52，具有壓力控制部56、第2速度控制部57及第2反向器部58。而且，壓力控制部56根據壓力差分求出第2馬達45之目標旋轉速度，第2速度控制部57根據目標旋轉速度與來自第2旋轉速度感測器47之現在旋轉速度之差分求出目標電流。相對於此，第2控制部52，亦可具有壓力控制部56及第2反向器部58。於該情形，壓力控制部56，亦可根據壓力差分求出第2馬達45之目標電流。另外，預先確定壓力差分與目標電流之關係。
於上述實施形態中，致動器裝置10亦可進一步具有修正部，此外，修正部亦可設於控制部50。例如，當自輸入器輸入目標位置及 目標壓力時，修正部亦可根據現在位置、負荷條件、個體差異及周邊環境等之條件，修正目標位置。藉此，能夠根據各條件以更高之精度將活塞21定位於目標位置。
於上述實施形態中，壓力檢測器23，檢測缸體20之頭側壓力室25中的壓力。但是，壓力檢測器23，亦可檢測缸體20之桿側壓力室24中的壓力。於該情形，壓力檢測器23，亦可設於第1路徑28、桿側壓力室24或頭側第1壓力室36。
上述實施形態中，於第1馬達35設置第1旋轉速度感測器37，於第2馬達45設置第2旋轉速度感測器47。相對於此，亦可取代第1旋轉速度感測器37將第1位置感測器設於第1馬達35，取代第2旋轉速度感測器47將第2位置感測器設於第2馬達45。於該情形，第1位置感測器，檢測第1馬達35之轉子位置，儲存第1馬達35之旋轉量並輸出至控制器50。第2位置感測器，檢測第2馬達45之轉子位置，儲存第2馬達45之旋轉量並輸出至控制器50。控制器50之第1速度控制部54將第1位置感測器之旋轉量微分以算出第1馬達35之旋轉速度(現在旋轉速度)，第2速度控制部57將第2位置感測器之旋轉量微分以算出第2馬達45之旋轉速度(現在旋轉速度)。
又，上述所有實施形態，只要不彼此排除對方，亦可彼此組合。
對本領域技術人員而言，可由上述說明而清楚得知本發明之許多改良或其他實施形態。因此，上述說明，僅用於作為例示而加以解釋，以對本領域技術人員教示實施本發明之最佳態樣為目的而提供。可在不脫 離本發明之精神之下，實質地變更其構造及/或功能之細節。
本發明之致動器裝置及控制方法，作為能以高精度進行定位之致動器裝置及控制方法等具有貢獻。
10‧‧‧致動器裝置
11‧‧‧醫療用器具
12‧‧‧可動部
13‧‧‧施術部分
20‧‧‧缸體
21‧‧‧活塞
22‧‧‧位置檢測器
23‧‧‧壓力檢測器
24‧‧‧桿側壓力室(壓力室)
25‧‧‧頭側壓力室(壓力室)
26‧‧‧襯墊
27‧‧‧桿
28‧‧‧第1路徑
29‧‧‧第2路徑
30‧‧‧第1致動器
31‧‧‧第1缸體
32‧‧‧第1活塞
33‧‧‧第1桿
34‧‧‧第1直動機構
35‧‧‧第1馬達
36‧‧‧頭側第1壓力室
37‧‧‧第1旋轉速度感測器
40‧‧‧第2致動器
41‧‧‧第2缸體
42‧‧‧第2活塞
43‧‧‧第2桿
44‧‧‧第2直動機構
45‧‧‧第2馬達
46‧‧‧頭側第2壓力室
47‧‧‧第2旋轉速度感測器
50‧‧‧控制器
51‧‧‧第1控制部
52‧‧‧第2控制部
53‧‧‧位置控制部
54‧‧‧第1速度控制部
55‧‧‧第1反向器部
56‧‧‧壓力控制部
57‧‧‧第2速度控制部
58‧‧‧第2反向器部
59‧‧‧第1電流感測器
60‧‧‧第2電流感測器

Claims (6)

  1. 一種致動器裝置，具備：缸體，具有內部空間；活塞，收容於該內部空間，與該缸體一起形成一對壓力室，且相對於該缸體進行相對移動；第1致動器，與該一對壓力室之一方連接；第2致動器，與該一對壓力室之另一方連接；位置檢測器，檢測該活塞相對於該缸體之位置；壓力檢測器，檢測該一對壓力室之任一方之壓力室中的壓力；及控制器，控制該第1致動器及該第2致動器；該控制器，控制該第1致動器與該第2致動器之一方以使該位置檢測器檢測出之位置接近目標位置，控制該第1致動器與該第2致動器之另一方以使該壓力檢測器檢測出之壓力接近目標壓力。
  2. 如申請專利範圍第1項之致動器裝置，其中，該缸體，係藉由該第1致動器及該第2致動器調整該一對壓力室各自的液體壓力之液壓缸體，或是藉由該第1致動器及該第2致動器調整該一對壓力室各自的氣體壓力之氣壓缸體。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之致動器裝置，其中，該第1致動器及該第2致動器係液壓缸體或氣壓缸體。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之致動器裝置，其進一步具備前端與醫療用器具之施術部分連接、且基端與該活塞結合之桿。
  5. 如申請專利範圍第3項之致動器裝置，其進一步具備前端與醫療用 器具之施術部分連接、且基端與該活塞結合之桿。
  6. 一種致動器裝置之控制方法，該致動器裝置具備：缸體，具有內部空間；活塞，收容於該內部空間，與該缸體一起形成一對壓力室，且相對於該缸體進行相對移動；第1致動器，與該一對壓力室之一方連接；第2致動器，與該一對壓力室之另一方連接；位置檢測器，檢測該活塞相對於該缸體之位置；及壓力檢測器，檢測該一對壓力室之任一方之壓力室中的壓力；該控制方法，係控制該第1致動器與該第2致動器之一方以使該位置檢測器檢測出之位置接近目標位置，控制該第1致動器與該第2致動器之另一方以使該壓力檢測器檢測出之壓力接近目標壓力。
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