TW201737398A - 用於可撓性基板之微環境 - Google Patents

用於可撓性基板之微環境 Download PDF

Info

Publication number
TW201737398A
TW201737398A TW106104316A TW106104316A TW201737398A TW 201737398 A TW201737398 A TW 201737398A TW 106104316 A TW106104316 A TW 106104316A TW 106104316 A TW106104316 A TW 106104316A TW 201737398 A TW201737398 A TW 201737398A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
support bracket
substrate
support
frame
pin
Prior art date
Application number
TW106104316A
Other languages
English (en)
Inventor
葛瑞 M 蓋勒格
貝瑞 葛雷格森
馬克 V 史密斯
馬修 Ａ 富勒
Original Assignee
恩特葛瑞斯股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 恩特葛瑞斯股份有限公司 filed Critical 恩特葛瑞斯股份有限公司
Publication of TW201737398A publication Critical patent/TW201737398A/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本發明揭示一種基板容器(1100)，其包含界定一開口之一殼(1105)，及用於選擇性地密封該開口之一門(1505)。一懸臂式支撐托架(1120)支撐殼(1105)內之一基板(1115)。支撐托架(1120)包含一支撐軸環(1300)，用於將支撐托架(1120)耦合至一支撐柱(1215)，使得支撐托架(1120)係自支撐柱(1215)懸吊。

Description

用於可撓性基板之微環境
本發明大體上係關於用於儲存及運輸之基板之包容，且更具體而言，本發明係關於基板容器中之薄基板之支撐系統。
諸多習知基板容器(諸如前開式晶圓傳送盒(FOUP))經構形以自基板之邊緣支撐基板。然而，隨著電子器件變得越來越緊湊及小型化，吾人將重點放在減小電子基板之厚度或(諸如)對可撓性電子裝置及收容於其內之顯示器提供可撓性基板。因此，基板變得越來越薄，使得其無法在一水平定向上自其邊緣懸吊時自支撐。 鑑於上文，需要可支撐可撓性基板之容器系統。
本發明大體上係關於用於使可撓性基板維持於一實質上平坦狀態中之支撐系統。在本文中，一「基板」係具有實質上均勻厚度且在經適當支撐時實質上平坦或意欲為實質上平坦之一結構。基板形式包含薄板、平板及層片。基板可具有任何形狀，其包含圓形、矩形及多邊形。基板可具有一均質或多層材料，諸如玻璃、矽、玻璃環氧樹脂或薄膜。基板亦可包含材料之一組合物，諸如摻雜材料(例如摻雜有銅或碳之玻璃環氧樹脂)、層疊或塗佈複合物或其上沈積有塗層之核心材料。基板之非限制性實例包含用於微影應用中之主光罩及已由微影技術處理或部分處理之矽晶圓。在本文中，一「可撓性基板」係無法在由其周邊或個別點支撐時於不施加張力之情況下維持一實質上平坦狀態之一基板。 各種實施例係關於使用一FOUP (例如一300 mm或450 mm FOUP)來運輸、儲存及處置具有變化厚度之可撓性基板。一些實施例亦係關於在變化程序或程序設備之間將可撓性基板轉移進及轉移出FOUP。 在一繪示性實施例中，一種基板容器包括界定一開口之一殼及經構形以選擇性地密封該開口之一門。一懸臂式支撐托架經構形以支撐該殼內之一基板。較佳地，該支撐托架自至少一支撐柱懸吊。在特定實施例中，該懸臂式支撐托架可包含經構形以將該支撐托架耦合至一支撐柱之一支撐軸環。該支撐軸環可環繞該支撐柱。 在一實施例中，該懸臂式支撐托架包含經構形以接觸由該支撐托架支撐之一基板之一向後邊緣的一配準壁架。該支撐托架進一步包含自該配準壁架向前延伸之一突耳特徵，該突耳特徵經構形以限制由該支撐托架支撐之一基板之側向移動。 該懸臂式支撐托架可包含自該支撐托架向上延伸之一銷，該銷經構形以配合由該懸臂式支撐托架支撐之一基板之一配準孔。在一較佳實施例中，該銷在該銷之一遠端附近具有一錐形輪廓。 一保持機構可耦合至該門。在一實施例中，該保持機構可經構形以藉由在一第一方向上將一基板夾緊至該懸臂式支撐托架而防止該基板移動。較佳地，該保持機構經進一步構形以防止由該支撐框架支撐之一基板在第二方向或不同方向之至少一者上移動。 在另一實施例中，一種基板容器包括界定一開口之一殼、經構形以選擇性地密封該開口之一門及一支撐框架。該支撐框架包含經構形以支撐一基板之一框架及耦合至該框架之一閂鎖總成。該框架界定一內周邊及一外周邊。該閂鎖總成經構形以選擇性地接合由該框架支撐於該內周邊與該外周邊之間的一位置處之一基板(且在特定實施例中為一可撓性基板)。 在特定實施例中，該框架可進一步包含與該閂鎖總成接觸之一彈簧構件。該彈簧構件經構形以將該閂鎖總成偏壓成一閂鎖構形及一完全打開構形。在一態樣中，該閂鎖總成包含與該彈簧構件接觸之一凸輪凸部。較佳地，該彈簧構件自該框架懸吊且與該框架一體成型。 該閂鎖總成可包含一鉸鏈銷及經構形以圍繞該鉸鏈銷樞轉之一閂鎖臂。較佳地，該閂鎖臂包含經構形以選擇性地接合由該框架支撐之一基板的一肋。 在一實施例中，該框架包含經構形以提供自該框架外接取由該框架支撐之一基板之一轉角的一嵌入角。 提供上述概要來促進本發明特有之一些創新特徵之理解且上述概要不意欲為一完全描述。可藉由整體考量本說明書、技術方案、圖式及摘要而獲得本發明之一完全瞭解。
相關申請案之交叉參考 本申請案主張2016年2月9日申請之美國臨時申請案第62/293,240號及2016年2月11日申請之美國臨時申請案第62/294,194號之權利。該等申請案之全部內容以引用的方式併入本文中。 如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，若內文無另外明確規定，則單數形式「一」及「該」包含複數個指涉物。如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，若內文無另外明確規定，則術語「或」一般用於意指包含「及/或」。 術語「較佳」及「較佳地」涉及可在特定情況下提供特定益處之本發明的實施例。然而，在相同或其他情況下，其他實施例亦可為較佳的。此外，一或多個較佳實施例之敘述不隱含其他實施例係無用的，且不意欲將其他實施例排除於本發明的範疇之外。 應參考圖式來閱讀以下詳細描述，其中不同圖式中之類似元件被標記有相同元件符號。詳細描述及圖式(其未必按比例繪製)描繪繪示性實施例且不意欲限制本發明之範疇。所描繪之繪示性實施例僅意欲具例示性。若無另外明確規定，則任何繪示性實施例之選定特徵可被併入至一額外實施例中。 參考圖1至圖3來描繪根據本發明之一實施例之一前開式晶圓傳送盒(FOUP) 1100。FOUP 1100包含界定一門框1110之一殼部分1105。複數個薄基板1115被收容於殼部分1105內，複數個薄基板1115各係安置於一各自支撐托架1120上。薄基板1115之特徵在於具有向前邊緣1200、向後邊緣1205，及延伸於向前邊緣1200與向後邊緣1205之間的對置橫向邊緣1210、1211，如圖2中所展示。 支撐托架1120包含經界定於其後端處之支撐軸環1300，如圖3中所展示。支撐托架1120係自穿過支撐軸環1300之支撐柱1215懸吊，如圖2中所展示。支撐柱1215係安置於殼部分1105之一後壁1220接近處。支撐托架1120相對於駐留薄基板1115之寬度係尺寸過小。在各種實施例中，支撐托架1120係由一低密度、高模量材料製造。支撐托架1120可包含經安裝至一配準表面之一緩衝材料，諸如一軟發泡體。圖6及圖7展示不具有殼部分1105之FOUP 1100。 在功能上，支撐托架1120適合於支撐薄基板1115以允許準確地自動負載及卸載可撓性基板。支撐托架1120相對於駐留薄基板1115之尺寸過小寬度實現自動邊緣抓握接取。低密度及/或高模量之材料防止支撐托架1120弛垂。 參考圖4及圖5來呈現FOUP 1100之截面圖。各支撐托架1120可在後端接近處包含一配準壁架1400。參考圖3，一最小尺寸D1在z方向上界定於配準壁架1400之一前部與支撐托架1120之一前緣1305之間。在一實施例中，最小尺寸D1經設定大小以實質上等於z維度上之薄基板1115之長度。返回至圖5，一門緩衝墊1500經展示為安裝至一門1505。門緩衝墊1500經調適以在接合於門框1110內之後將薄基板1115之向前邊緣1200緊壓至其各自支撐托架1120。門1505、緩衝墊1500或兩者亦可經構形以與支撐托架1120之前緣1305互鎖。 在功能上，使薄基板1115之z維度與支撐托架1120之尺寸D1匹配能夠藉由使薄基板1115之向後邊緣1205配準至支撐托架1120之配準壁架1400而將薄基板1115定位成與支撐托架1120之前部齊平。將薄基板1115之向前邊緣1200緊壓至支撐托架1120之前部以在載運及處置期間將薄基板1115鎖定至支撐托架1120上。支撐托架1120與緩衝墊1500或門1505之互鎖增加支撐托架1120之陣列在FOUP 1100之處置及運輸期間之穩定性。 參考圖8及圖9來呈現根據本發明之實施例之孤立支撐托架。在圖8中，支撐托架1120包含一實質上平坦、連續表面1800。在圖9中，一支撐托架1900界定一開口式格柵或網格結構1905。在一些實施例中，支撐托架1120、1900包含自配準壁架1400之端向前延伸以限制一駐留薄基板之側向移動的突耳特徵1805。突耳特徵1805提供基板之一定位特徵且亦可加固托架1120、1900以限制懸臂式配置之無支撐長度。 參考圖10來提供展示殼部分1105與最下支撐托架1120及最上支撐托架1120之間的實例性間隙的FOUP 1100之一截面圖。一般技術者應認識到，特定間隙尺寸係取決於各種因數(其包含(但不限於)特定基板、托架尺寸及最終使用程序及應用)之一設計選擇。 參考圖11至圖13來描繪根據本發明之一實施例之一經修改支撐托架2100。經修改支撐托架2100在托架2100之一前緣2110接近處包含複數個銷2105，銷2105自托架2100向上延伸。銷2105係大體上呈圓柱形，其在一遠端2120附近具有一錐形或截頭圓錐輪廓2115。在一些實施例中，額外銷(圖中未描繪)安置於經修改支撐托架2100之一配準壁架2125接近處。銷2105可與經修改支撐托架2100一體成型，或替代地，與經修改支撐托架2100分開形成且壓入配合至經修改支撐托架2100中。 參考圖14及圖15來展示支撐一經修改薄基板2400之經修改支撐托架2100。薄基板2400在薄基板2400之一邊緣2410接近處包含位於一預定區域內之配準孔2405。配準孔2405根據經修改支撐托架2100之銷2105之間隔而相對於彼此及相對於與配準壁架2125之距離隔開。 在操作中，薄基板2400之向後邊緣與配準壁架2125配準，且向前邊緣經降低使得薄基板2400之配準孔2405穿過銷2105。截頭圓錐輪廓2115有助於使薄基板2400對準，使得當薄基板2400降低成與經修改支撐托架2100之上表面接觸時，使配準孔2405居中。 參考圖16A及圖16B來示意性地描繪根據本發明之一實施例之一懸臂式支撐托架2800。支撐托架2800包含複數個銷2805，其中兩個銷2805位於支撐托架2800之一前部接近處且兩個銷2805位於支撐托架2800之一後部接近處。銷2805依相同於銷2105之方式發揮作用。另外，一FOUP 2810經繪示為具有由FOUP 2810之一門(圖中未描繪)致動之一保持機構2815。當致動保持機構2815時，保持機構2815接觸支撐於支撐托架2800上之一基板(圖中未描繪)以使基板保持於支撐托架2800上。圖16B展示可用於對支撐托架2800提供額外穩定性之選用前支撐件2820。 圖17之實施例描繪一門保持系統。具體而言，一FOUP 3500包含一門3505及一殼3510。一保持機構3515耦合至門3505。保持機構3515包含一彈簧3520、一滾筒3525及一向下延伸突出物3530。一基板3535經展示為支撐於一懸臂式支撐托架3540上。彈簧3520及滾筒3525使基板3535保持於z方向上，而突出物3530使基板3535保持於x方向上。 參考圖18A及圖18B來描繪根據本發明之一實施例之收容複數個加框薄基板32之一打開基板容器30。加框薄基板32可由(諸如)見於習知前開式晶圓傳送盒(FOUP)中之置物架(圖中未描繪)支撐於其邊緣處。為展示基板容器30之內部，基板容器30經呈現為不具有一門。在所描繪之實施例中，基板容器30能夠容納15個加框薄基板32。 用於支撐可撓性基板之一替代方法包含可一框架及閂鎖總成，其可附接至或支撐於本發明之懸臂式支撐件或一基板容器中之一習知導件或插槽。參考圖19至圖24之實施例，加框可撓性基板32包含一可撓性基板34及一框架總成36。框架總成36包含一框架42及複數個閂鎖總成44。在所描繪之實施例中，閂鎖總成44係安置於對置側上且接近於框架42之轉角。 在特定實施例中，各閂鎖總成44可包含由柱48支撐於對置端上之一鉸鏈銷46，如圖24A中最佳所見。柱48可包含用於接合緊固件54之螺紋孔52，如圖19及圖20B中最佳所見。一閂鎖臂56圍繞鉸鏈銷46樞轉。閂鎖臂56包含圍繞鉸鏈銷46樞轉之一近端部分58，及界定一壓緊特徵64之一遠端部分62，如圖21至圖23中最佳所見。在所描繪之實施例中，壓緊特徵64係平行於鉸鏈銷46延伸之一肋66。閂鎖臂56之近端部分58包含一凸輪凸部68。凸輪凸部68及壓緊特徵64自閂鎖臂56之相同側延伸。 閂鎖總成44可經附裝或經安裝至框架42。框架42界定緊固件54穿過其而將柱48緊固至框架42之貫穿孔72，如圖20A中最佳所見。框架42包含一懸臂彈簧部分74，如圖20至圖23中最佳所見。較佳地，懸臂彈簧74經整合至框架42，由框定懸臂彈簧74之一貫穿槽76界定。懸臂彈簧74包含一固定端82及一自由端84，自由端84係安置於鉸鏈銷46接近處。替代地，可使用非整合之一機械彈簧(圖中未描繪)。 如圖24A之實施例中最佳所見，框架42界定一外周邊92及一內周邊94，且經設定大小使得薄基板34之一邊緣部分96與內周邊94重疊，以在外周邊92接近處接觸框架42之一預劃定重疊區98。 在各種實施例中，框架42係由一高模量材料(即，具有大於65吉帕斯卡(GPa)之一彈性模量之一材料)製成。在一些實施例中，框架42係由一碳纖維複合物(諸如填充碳纖維之環氧樹脂)製成。閂鎖總成44可係由一金屬(諸如鋁或不鏽鋼)製成。 在組裝中，使鉸鏈銷46插入穿過橫向延伸穿過閂鎖臂56之近端部分58之一橫向孔102 (如圖21中最佳所見)。鉸鏈銷46及橫向孔102界定使閂鎖臂56能夠圍繞鉸鏈銷46旋轉之一間隙配合。替代地，鉸鏈銷46可經壓入配合或經依其他方式形成以自閂鎖臂56之側橫向延伸，且經構形以在柱48內旋轉。閂鎖臂56經安裝至框架42，使得壓緊特徵64面向框架42或與框架42接觸。如圖20A及圖20B中最佳所見，柱48之螺紋孔52在框架42之一頂側106上之貫穿孔72上方對準。緊固件54自框架42之一底側108饋通貫穿孔72且經螺合至柱48之螺紋孔52中，以將閂鎖總成44固定至框架42。針對複數個閂鎖總成44之各者重複此程序。 在功能上，閂鎖臂56係可選擇性地放置成一閂鎖構形112 (如圖21中所展示)或一完全打開構形114 (如圖23中所展示)。在閂鎖構形112中，閂鎖臂56朝向框架42旋轉，使得壓緊特徵64與框架42或一駐留薄基板34接觸。一區域或區(在該區域或區內壓緊特徵64與框架42接觸，或在該區域或區上方薄基板34與壓緊特徵64接觸)在本文中指稱框架42之一接觸帶116 (如圖23及圖24中所展示)。接觸帶116落入框架42之重疊區98內。在完全打開構形114中，閂鎖臂56旋轉遠離框架42。另外，在完全打開構形114中，閂鎖臂56可完全清除框架42之重疊區98，以使薄基板34能夠不過度彎曲地或不與閂鎖總成44偶然碰撞地下降至框架42上。 如圖21至圖23中所展示，凸輪凸部68在自由端84接近處與懸臂彈簧74接合，以對閂鎖臂56施加一偏壓力Fb。在圖21之閂鎖構形112中，自由端84對凸輪凸部68之一第一平坦或暫停部分122施加偏壓力Fb，其使閂鎖總成44維持於閂鎖構形112中，且引起壓緊特徵64藉由一向下保持力Fr而接合框架42或駐留薄基板34。如圖22中所展示，在打開閂鎖總成44之後，閂鎖總成44進入一中間構形118，其中凸輪凸部68之一圓形或升起部分124接合懸臂彈簧74。當接合升起部分124時，升起部分124進一步使懸臂彈簧74之自由端84偏轉且增大對凸輪凸部68所施加之偏壓力Fb。當凸輪凸部68之升起部分124通過懸臂彈簧74時，閂鎖總成44進入至完全打開構形114中，如圖23中所展示。在完全打開構形114中，凸輪凸部68之一第二平坦或暫停部分126接合懸臂彈簧74。懸臂彈簧74之自由端84對凸輪凸部68之第二暫停部分126施加偏壓力Fb，其使閂鎖總成44維持於完全打開構形114中。 在接合升起部分124時，由懸臂彈簧74對凸輪凸部68所施加之偏壓力Fb大於在接合第一暫停部分122或第二暫停部分126時由懸臂彈簧74對凸輪凸部68所施加之偏壓力Fb。當在中間構形118中時，此動力迫使閂鎖總成44偏離中心。相應地，閂鎖總成44經預安置以保持於閂鎖構形112或完全打開構形114中。另外，自閂鎖構形112或完全打開構形114進入中間構形118所需之較高力阻止閂鎖總成44私自進入中間構形118。閂鎖總成44僅藉由對閂鎖臂56強加一外部影響(諸如一機器人或操作人員之作用)來進入至中間構形118中。 在操作中，薄基板34於框架42上配準，使得薄基板34之邊緣部分96在框架42之重疊區98上方對準。在一些實施例中，於薄基板34之配準期間，閂鎖總成44呈完全打開構形114。接著，閂鎖總成44之閂鎖臂56經旋轉以使閂鎖總成44進入閂鎖構形112，其中壓緊特徵64接合薄基板34之邊緣部分96且將薄基板34緊壓於壓緊特徵64與框架42之接觸帶116之間。依此方式，薄基板34被固定至框架總成36。為自框架總成36釋放薄基板34，打開閂鎖總成44且移除薄基板34。在一些實施例中，於薄基板34之移除期間，閂鎖總成44呈完全打開構形114。 圖25A至圖25C、圖26A及圖26B之實施例描繪一經修改框架總成150。經修改框架總成150包含相同於圖18至圖24之框架總成36的一些組件及屬性，其中此等組件係由相同元件符號識別。經修改框架總成150之區別處在於包含嵌入角154之一經修改框架152。嵌入角154允許自經修改框架總成150外接取駐留薄基板34之轉角156來進行抓握及處置。 參考圖27來描繪根據本發明之一實施例之具有橫向長形閂鎖總成172之一框架總成170。框架總成170包含相同於圖18至圖24之框架總成36的一些組件及屬性，其中此等組件係由相同元件符號識別。各橫向長形閂鎖總成172包含經橋接於框架42之一共同側上之兩個鉸鏈銷46之間之一橫向長形閂鎖臂176。橫向長形閂鎖總成172沿駐留薄基板34之邊緣部分96提供一較長接觸線174。接觸線174可係由一單一肋66或沿橫向長形閂鎖臂176隔開之複數個肋66或其他壓緊特徵64提供。 圖27之實施例中亦描繪在橫向長形閂鎖臂176之遠端部分62接近處但在駐留薄基板34之重疊區98外穿過框架42之一接取孔178。接取孔178能夠藉由使一銷(圖中未描繪)穿過接取孔178以致動橫向長形閂鎖臂176而打開橫向長形閂鎖總成172。儘管圖中結合圖27之橫向長形閂鎖總成172來描繪接取孔178，但應瞭解，此等接取孔可與本文所描繪或所描述之閂鎖總成及框架總成之任何者一起利用。 除申請專利範圍及其所含之表達定義之外，共同讓與本發明之擁有者的以下專利及專利公開申請案之全部內容以引用的方式併入本文中：美國專利第7,100,772號、第7,316,325號、第7,347,329號、第7,886,910號及第8,276,759號；美國專利公開申請案第2009/0194456號、第2013/0270152號、第2013/0319907號、第2014/0319020號及第2015/0083640號；國際公開申請案第WO 2013/025629 A3號。 儘管前述討論及附圖主要針對薄基板，但本發明不受限於薄基板之支撐或儲存。亦可涵蓋其他基板(諸如(但不限於)平板顯示器及可撓性電子器件)之儲存及運輸。應進一步注意，各種圖包含尺寸。尺寸表示特定實施例且不被視為限制。 儘管已描述本發明之若干繪示性實施例，但熟習技術者應易於瞭解，可在隨附申請專利範圍之範疇內實施及使用其他實施例。已在以上描述中闡述由本發明涵蓋之揭示內容之諸多優點。然而，應瞭解，在諸多方面，本發明僅具繪示性。可在不超出本發明之範疇之情況下對細節(特定言之，部件之形狀、大小及配置)作出改變。當然，本發明之範疇以表達隨附申請專利範圍之語言界定。
30‧‧‧基板容器
32‧‧‧加框薄基板/加框可撓性基板
34‧‧‧可撓性基板
36‧‧‧框架總成
42‧‧‧框架
44‧‧‧閂鎖總成
46‧‧‧鉸鏈銷
48‧‧‧柱
52‧‧‧螺紋孔
54‧‧‧緊固件
56‧‧‧閂鎖臂
62‧‧‧遠端部分
64‧‧‧壓緊特徵
66‧‧‧肋
68‧‧‧凸輪凸部
72‧‧‧貫穿孔
74‧‧‧懸臂彈簧部分/懸臂彈簧
76‧‧‧貫穿槽
82‧‧‧固定端
84‧‧‧自由端
92‧‧‧外周邊
94‧‧‧內周邊
96‧‧‧邊緣部分
98‧‧‧重疊區
102‧‧‧橫向孔
106‧‧‧頂側
108‧‧‧底側
112‧‧‧閂鎖構形
114‧‧‧完全打開構形
116‧‧‧接觸帶
118‧‧‧中間構形
122‧‧‧第一平坦或暫停部分
124‧‧‧圓形或升起部分
126‧‧‧第二平坦或暫停部分
150‧‧‧經修改框架總成
152‧‧‧經修改框架
154‧‧‧嵌入角
156‧‧‧轉角
170‧‧‧框架總成
172‧‧‧橫向長形閂鎖總成
174‧‧‧接觸線
178‧‧‧接取孔
1100‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
1105‧‧‧殼部分
1110‧‧‧門框
1115‧‧‧薄基板
1120‧‧‧支撐托架
1200‧‧‧向前邊緣
1205‧‧‧向後邊緣
1210‧‧‧橫向邊緣
1211‧‧‧橫向邊緣
1215‧‧‧支撐柱
1220‧‧‧後壁
1300‧‧‧支撐軸環
1305‧‧‧前緣
1400‧‧‧配準壁架
1500‧‧‧門緩衝墊
1505‧‧‧門
1800‧‧‧表面
1805‧‧‧突耳特徵
1900‧‧‧支撐托架
1905‧‧‧開口式格柵或網格結構
2100‧‧‧經修改支撐托架
2105‧‧‧銷
2110‧‧‧前緣
2115‧‧‧錐形或截頭圓錐輪廓
2120‧‧‧遠端
2125‧‧‧配準壁架
2400‧‧‧經修改薄基板
2405‧‧‧配準孔
2410‧‧‧邊緣
2800‧‧‧懸臂式支撐托架
2805‧‧‧銷
2810‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
2815‧‧‧保持機構
2820‧‧‧前支撐件
3500‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
3505‧‧‧門
3510‧‧‧殼
3515‧‧‧保持機構
3520‧‧‧彈簧
3525‧‧‧滾筒
3530‧‧‧向下延伸突出物
3535‧‧‧基板
3540‧‧‧懸臂式支撐托架
D1‧‧‧最小尺寸
Fb‧‧‧偏壓力
可鑑於結合附圖之各種繪示性實施例之以下描述而更完全地理解本發明，其中： 圖1係根據本發明之一實施例之具有支撐托架之一基板容器之一透視圖，其中已移除該基板容器之門。 圖2係圖1之基板容器之一部分截面圖。 圖3係圖1之基板容器之一部分截面圖。 圖4係圖1之基板容器之一側截面圖。 圖5係圖1之基板容器之一側截面圖。 圖6係圖1之基板容器之一透視圖，其中已移除該基板容器之殼來展示內部結構。 圖7係圖1之基板容器之一透視圖，其中已移除該基板容器之殼來展示內部結構。 圖8係根據本發明之一實施例之一懸臂式支撐托架之一透視圖。 圖9係根據本發明之一實施例之一懸臂式支撐托架之一透視圖。 圖10係根據本發明之一實施例之一基板容器之一側截面圖。 圖11係根據本發明之一實施例之包含銷之一支撐托架之一透視圖。 圖12係圖11之一部分之一放大圖。 圖13係圖11之支撐托架之一銷之一側視圖。 圖14係支撐於圖11之支撐托架上之一基板之一透視圖。 圖15係圖14之一部分之一放大圖。 圖16A及圖16B展示根據本發明之一實施例之一懸臂式支撐托架。 圖17係根據本發明之一實施例之一基於門之保持器之一部分側視圖。 圖18A及圖18B展示根據本發明之一實施例之一打開基板容器。 圖19展示根據本發明之一實施例之由一框架支撐之一薄基板。 圖20A及圖20B展示部分組裝之圖19之框架。 圖21係根據本發明之一實施例之與一懸臂彈簧互動之一閂鎖總成之一示意圖。 圖22係圖21之閂鎖總成及懸臂彈簧之一示意圖。 圖23係圖21之閂鎖總成及懸臂彈簧之一示意圖。 圖24A及圖24B展示部分組裝之圖19之薄基板及框架。 圖25A至圖25C展示根據本發明之一實施例之由具有嵌入角之一框架支撐之一薄基板。 圖26A及圖26B展示部分組裝之圖25A至圖25C之薄基板及框架。 圖27展示根據本發明之一實施例之由具有長形閂鎖之一框架支撐之一薄基板。 儘管本發明可接受各種修改及替代形式，但其具體內容已依舉例方式展示於圖式中且將被詳細描述。然而，應瞭解，本發明不使本發明之態樣受限於所描述之特定繪示性實施例。相反地，本發明涵蓋落入本發明之精神及範疇內之所有修改、等效物及替代物。
1105‧‧‧殼部分
1110‧‧‧門框
1115‧‧‧薄基板
1120‧‧‧支撐托架
1200‧‧‧向前邊緣
1205‧‧‧向後邊緣
1210‧‧‧橫向邊緣
1211‧‧‧橫向邊緣
1215‧‧‧支撐柱
1220‧‧‧後壁

Claims (23)

  1. 一種基板容器，其包括： 一殼，其界定一開口； 一門，其經構形以選擇性地密封該開口；及 一懸臂式支撐托架，其經構形以支撐該殼內之一可撓性基板。
  2. 如請求項1之基板容器，進一步包括一支撐柱，其中該支撐托架係自至少一支撐柱懸吊。
  3. 如請求項2之基板容器，進一步包括經構形以將該支撐托架耦合至該至少一支撐柱之至少一支撐軸環。
  4. 如請求項3之基板容器，其中該至少一支撐軸環包圍該至少一支撐柱。
  5. 如請求項1之基板容器，其中該支撐托架包括經構形以接觸由該支撐托架支撐之一基板之一向後邊緣之一配準壁架。
  6. 如請求項5之基板容器，其中該支撐托架進一步包括自該配準壁架向前延伸之一突耳特徵，該突耳特徵經構形以限制由該支撐托架支撐之一基板的側向移動。
  7. 如請求項1之基板容器，其中該支撐托架包括自該支撐托架向上延伸之一銷，該銷經構形以配合由該支撐托架支撐之一基板之一配準孔。
  8. 如請求項7之基板容器，其中該銷在該銷之一遠端附近具有一錐形輪廓。
  9. 如請求項1之基板容器，進一步包括經耦合至該門之一保持機構，該保持機構經構形以防止由該支撐托架支撐之基板在一第一方向上移動。
  10. 如請求項9之基板容器，其中該保持機構經進一步構形以防止由該支撐框架支撐之一基板在一第二方向上移動，該第二方向垂直於該第一方向。
  11. 一種支撐托架，其經構形以支撐一基板容器內之一基板，該支撐托架包括： 至少一支撐軸環，其經構形以將該支撐托架耦合至至少一支撐柱，使得該支撐托架自該至少一支撐柱懸吊。
  12. 如請求項11之支撐托架，其中該至少一支撐軸環經構形以包圍該至少一支撐柱。
  13. 如請求項11之支撐托架，其中該支撐托架包括經構形以接觸由該支撐托架支撐之一基板之一向後邊緣之一配準壁架。
  14. 如請求項13之支撐托架，其中該支撐托架進一步包括自該配準壁架向前延伸之一突耳特徵，該突耳特徵經構形以限制由該支撐托架支撐之一基板的側向移動。
  15. 如請求項11之支撐托架，其中該支撐托架包括自該支撐托架向上延伸之一銷，該銷經構形以配合由該支撐托架支撐之一基板之一配準孔。
  16. 如請求項15之支撐托架，其中該銷在該銷之一遠端附近具有一錐形輪廓。
  17. 一種支撐一基板容器內之一基板的方法，該基板容器包含界定一開口之一殼及經構形以選擇性地密封該開口之一門；該方法包括： 將該基板放置於一懸臂式支撐托架上；及 將該支撐托架定位於該殼內。
  18. 如請求項17之方法，其中將該支撐托架定位於該殼內包含：將該支撐托架耦合至至少一支撐柱，使得該支撐托架係自該支撐柱懸吊。
  19. 如請求項17之方法，其中該支撐托架包含自該支撐托架向上延伸之一銷，且將該基板放置於該支撐托架上包含：引起該銷配合該基板之一配準孔。
  20. 一種物件，其包括用於支撐一可撓性基板之一框架總成，該框架總成具有界定一內部開口之一周邊框架及經固定至該周邊框架之複數個閂鎖，其中該複數個閂鎖選擇性地接合一可撓性基板之至少一部分，以將該可撓性基板固定至該框架總成。
  21. 如請求項20之物件，其中將該框架總成放置於如請求項1之懸臂式支撐托架上。
  22. 如請求項20之物件，其中將該框架總成放置於一前開式晶圓傳送盒中。
  23. 如請求項20之物件，進一步包括經一體地形成於該框架內之一懸臂式彈簧，其中該彈簧係由該閂鎖上之一凸輪凸部致動。
TW106104316A 2016-02-09 2017-02-09 用於可撓性基板之微環境 TW201737398A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201662293240P 2016-02-09 2016-02-09
US201662294194P 2016-02-11 2016-02-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201737398A true TW201737398A (zh) 2017-10-16

Family

ID=59564003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106104316A TW201737398A (zh) 2016-02-09 2017-02-09 用於可撓性基板之微環境

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20200152496A1 (zh)
CN (1) CN108886010A (zh)
TW (1) TW201737398A (zh)
WO (1) WO2017139495A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI735115B (zh) * 2019-12-24 2021-08-01 力成科技股份有限公司 晶圓儲存裝置及晶圓承載盤
CN114005768A (zh) * 2021-10-29 2022-02-01 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备、托盘及片盒

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU660998B2 (en) * 1991-05-14 1995-07-13 Matthew E. Dukatz Integrated child seat for vehicle
US6916147B2 (en) * 2002-10-25 2005-07-12 Applied Materials, Inc. Substrate storage cassette with substrate alignment feature
KR100582373B1 (ko) * 2004-09-03 2006-05-22 요도가와 휴텍 가부시키가이샤 대형 기판용 카세트
US20080156679A1 (en) * 2006-12-08 2008-07-03 Bonora Anthony C Environmental isolation system for flat panel displays
JP5043475B2 (ja) * 2007-03-05 2012-10-10 ミライアル株式会社 半導体ウエハ収納容器
TWI341816B (en) * 2008-08-14 2011-05-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container having the latch and inflatable seal element
JP5144478B2 (ja) * 2008-11-27 2013-02-13 リンテック株式会社 半導体ウエハ収納キャリア
EP2761051B1 (en) * 2011-09-27 2018-11-07 Applied Materials, Inc. Carrier for thin glass substrates and use thereof
JP6054213B2 (ja) * 2013-03-11 2016-12-27 東京エレクトロン株式会社 支持部材及び半導体製造装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2017139495A1 (en) 2017-08-17
US20200152496A1 (en) 2020-05-14
CN108886010A (zh) 2018-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI500567B (zh) 基板收納容器
JP5301731B2 (ja) 基板収納容器
JPH0136255B2 (zh)
KR20060082078A (ko) 기판 수납 케이스
JP4644035B2 (ja) 枚葉収納容器
TW201737398A (zh) 用於可撓性基板之微環境
JPH1010705A (ja) レチクルケース
TWI654483B (zh) 掩模版版盒
JP4809714B2 (ja) 薄板収納容器
JP6430195B2 (ja) 基板収納容器
TW440909B (en) Lid latch mechanism for clean box
JPH10310191A (ja) 基板収納容器
JP2010016140A (ja) 基板収納容器
US9401295B2 (en) Load port apparatus and clamping device to be used for the same
JP2009170726A (ja) ロードポートおよびカセット位置調整方法
US20090175707A1 (en) Controlled deflection of large area semiconductor substrates for shipping and manufacturing containers
TWI431716B (zh) A storage box for handling jigs
JP2012104570A (ja) 基板収納容器
TW202039333A (zh) 蓋開閉裝置
JP2005289436A (ja) ガラス基板搬送用ボックス
WO2010001460A1 (ja) ウエハ収納容器
JP3926265B2 (ja) ガラス基板搬送用ボックス
JP2010182965A (ja) カセット
KR101554535B1 (ko) 매거진 구조체
TWI246983B (en) Tray for receiving display panel