KR100582373B1 - 대형 기판용 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판용 카세트에의 대형 기판의 수용시에 있어서의 대형 기판의 휨이 문제로 되지 않고, 또한, 기판 카세트에 있어서의 기판의 수용 효율을 향상시키는 것이 가능하다, 대형 기판용 카세트를 제공하기 위한 것으로서, 상기 목적을 달성하기 위한 수단에 있어서, 지지 프레임(160 내지 163)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제1의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되어 있다. 마찬가지로, 지지 프레임(170 내지 173)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제2의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되고, 지지 프레임(180 내지 183)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제3의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되고, 지지 프레임(190 내지 193)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제4의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되어 있다.

카세트

Description

대형 기판용 카세트{CASSETTE FOR LARGE BOARD}

도 1은 제1의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트의 구성을 도시한 전체 사시도.

도 2는 제2의 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시한 사시도.

도 3은 도 2중 A화살표로 본 단면도.

도 4는 제3의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구성을 도시한 사시도.

도 5의 (A) 및 (B)는 제4의 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시한 사시도.

도 6은 제4의 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시한 측면도.

도 7은 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제1의 전체 사시도.

도 8은 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제2의 전체 사시도.

도 9는 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제3의 전체 사시도.

도 10은 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제4의 전체 사시도.

도 11은 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제5의 전체 사시도.

도 12는 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제6의 전체 사시도.

도 13은 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제7의 전체 사시도.

도 14는 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제8의 전체 사시도.

도 15는 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 구조를 도시한 제9의 전체 사시도.

도 16은 제5의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 다른 구조를 도시한 측면도.

도 17은 제6의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 후측 프레임에의 제1의 부착 구조를 도시한 도면으로서, (A)는 부분 측면도, (B)는 부분 배면도, (C)는 부분 평면도.

도 18은 제6의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 후측 프레임의 제2의 부착 구조를 도시한 도면으로서, (A)는 부분 측면도, (B)는 부분 배면도, (C)는 부분 평면도.

도 19는 제6의 실시예에 있어서의 지지 프레임의 후측 프레임에의 제3의 부착 구조를 도시한 도면으로서, (A)는 부분 측면도, (B)는 부분 배면도, (C)는 부분 평면도.

도 20은 제7의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트의 구성을 도시한 전체 사시도.

도 21은 제8의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트에 이용되는 보호 커버의 구성을 도시한 전체 사시도.

도 22는 제8의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트에 이용되는 보호 커버의 다른 구성을 도시한 전체 사시도.

도 23은 다른 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트의 구성을 도시한 부분 전체 사시도.

<부호의 간단한 설명>

19a : 평행부 19b : 입상부

100, 500 : 대형 기판용 카세트

101, 102, 103, 104 : 저면 밖테두리 프레임

110, 111, 11 2, 113 : 코너 프레임

120, 121, 122, 123 : 상면 밖테두리 프레임

130, 131, 132, 133, 134, 135 : 기판 측면 가이드 프레임

140, 141, 142, 143, 501 : 베이스 프레임

145, 146, 147, 148 : 후측 프레임

145A : 긴 구멍

160, 161, 162, 163, 170, 171, 172, 173, 180, 181, 182, 183, 190, 191, 192, 193, 401, 402, 403, 404, 405, 406, 407, 408, 409, 504 : 지지 프레임

160A, 16OB : 연장부

190a, 190b, 190c, 193a, 193b, 193c : 기판 측면 가이드 프레임

190d : 돌기부 190e, 190f, 190g, : 지지 돌기

190h : 관통구멍

201, 202, 203, 204, 205, 206, 207, 208, 209, 210, 211, 212 : 보조 플레이트

221, 222, 223 : 기판 측면 가이드 핀

302 : 보조 핀 301 : 푸시 너트

401a : 곡면 영역 401b, 402b : 평탄면 영역

402a : 본체부

403a, 404a : 선단측 지지 프레임 403b, 404b : 중간 지지 프레임

403c, 404c : 후단측 지지 프레임 405a, 408a : 본체 프레임

404b, 404c, 404d : 개구부 407a, 407b : 측변 프레임

407c, 407d, 407e : 연결 프레임 408b : 반구형상부

409a : 선단측부 409b : 후단측부

409c : 절곡부 502 : 후측 부재

503 : 백 프레임 510 : 보조 플레이트

520 : 기판 측면 가이드 핀

601, 602, 611, 636, 637, 634, 635 : 핀

603, 604 : C형 와셔 605, 631 : 상측 블록체

6O6, 632 : 하측 블록체 607 : 위치 조절용 볼트

621 : 블록체 622 : 나사 부재

623 : 너트 641 : 심

800 : 글라스 기판 900, 950 : 보호 커버

기술분야

본 발명은 기판용 카세트에 관한 것으로, 보다 특정적으로는 대형 기판용 카세트의 구조에 관한 것이다.

종래기술

액정 디스플레이 등에는 글라스 기판이 사용되고 있는데, 그 제조 프로세스에서는 공정 사이에서의 글라스 기판의 반송·스톡 등을 위해, 이 글라스 기판을 복수장 축적시킨 상태로 지지하는 기판용 카세트가 이용된다.

종래, 플랫 패널 디스플레이 등의 대형화가 진전되고 있고, 예를 들면, 액정 디스플레이에 이용되는 글라스 기판의 크기는 종래는 1100㎜(단변 치수)×1300㎜(긴변 치수)이 최대 사이즈였지만, 보다 커저서, 1500(단변 치수)×1800(긴변 치수 ), 1800㎜(단변 치수)×2100㎜(긴변 치수) 등이 고려되고 있고, 그 후도, 글라스 기판의 크기는 가속적으로 대형화될 것으로 생각된다. 그 결과, 글라스 기판의 대형화에 수반하여 기판용 카세트도 대형화하게 된다. 또한, 글라스 기판의 두께에 관해서도, 금후는 박형화될 것으로 생각된다. 그 때문에, 기판의 대형화 및 박형화에 의해, 대형 기판의 자중에 의한 휨도 무시할 수 없는 문제로 된다.

여기서, 특개2001-146295호 공보에 개시된 기판용 카세트를 대형 기판용 카세트로서 적용한 경우에는 대형 기판의 자중에 의한 휨을 회피하기 위해, 장척 리브를 안쪽을 향하여 크게 내달게(張出)) 할 필요가 생긴다. 그러나, 장척 리브를 길게 한 경우, 기판용 카세트로의 기판의 반송 반출시에 이용하는 반송 암에 의한 기판 지지 영역이 기판의 중앙부로 되어, 기판의 반송시에 있어서의 기판의 휨이 문제로 되어 버린다. 또한, 이것을 회피하기 위해, 반송 암의 형상을 생선의 뼈 형상(휘시본 형)으로 하는 것도 생각되지만, 특수 형상의 반송 암이 필요해진다. 또한, 기판의 반송시에 있어서의 반송 암의 동작에 있어서는 장척 리브를 회피시키기 위한 움직임이 필요해지기 때문에, 상하의 장척 리브의 간격에 반송 암의 동작을 위한 거리를 포함시킬 필요가 생겨서, 기판 카세트에 있어서의 기판의 수용 효율을 향상시킬 수 없다.

또한, 특개평11-35089호 공보에 개시된 기판용 카세트를, 대형 기판에 적용한 경우는 기판의 휨은 문제로 되지 않는다. 그러나, 프레임의 양 측면을 연결하는 들보 부재가 마련되어 있는 결과, 들보 부재가 전유(專有)하는 영역을 반송 암의 동작을 위한 공간으로 이용할 수 없어서, 기판용 카세트에 있어서의 기판의 수용 효율을 향상시킬 수 없다.

따라서, 본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 기판용 카세트에의 대형 기판의 수용시에 있어서의 대형 기판의 휨이 문제로 되지 않고, 또한, 기판 카세트에 있어서의 기판의 수용 효율을 향상시키는 것이 가능한, 대형 기판용 카세트를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의거한 대형 기판용 카세트에서는 전면측으로부터 대형 기판의 출납을 가능하게 하고, 상기 대형 기판을 적층 상태로 수용하기 위한 대형 기판용 카세트로서, 이하의 구성을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.

우선, 베이스 부재와, 이 베이스 부재의 후단부측으로부터 상방을 향하여 세워지는 후측 부재와, 상하 방향에 소정의 간격으로 복수 배설된 상태로 상기 후측 부재에 지지되고, 상기 후측 부재로부터 전방을 향하여 늘어나도록 마련되는 복수의 기판 지지 수단을 구비하고 있다. 또한, 상기 기판 지지 수단은 상기 후측 부재로부터 전방을 향하여 늘어나고, 좌우 방향에 소정의 간격으로 복수 배설된 프레임 지지 부재로 구성되어 있다.

상기 구성으로 이루어지는 대형 기판용 카세트에 의하면, 기판 지지 수단에 있어서, 좌우 방향에 소정의 간격으로 복수 마련되는 프레임 지지 부재가 후측 부재로부터 전방을 향하여 늘어나도록 마련되어 있기 때문에, 대형 기판에 휨을 생기게 하는 일이 없고, 기판 지지 수단에 있어서 대형 기판을 지지하는 것이 가능해진 다.

또한, 프레임 지지 부재가 후측 부재로부터 전방을 향하여 마련되어 있기 때문에, 프레임 지지 부재의 좌우 방향에는 공간이 생기고, 이 공간에 대형 기판을 반송하기 위한 반송 암을 삽입하는 것이 가능해진다. 그 결과, 포크 형상으로 마련되는 반송 암의 출납에 있어서도, 필요 이상으로 반송 암의 동작을 위한 공간을 마련할 필요가 없고, 기판용 카세트에 있어서의 기판의 수용 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 상기 발명에 있어서 바람직하기는 상기 대형 기판의 좌우 방향으로의 이동을 저지하기 위해, 상기 기판 지지 수단의 좌우의 양 외측에 배설되는 기판 측면 가이드 수단을 또한 갖는다. 이 구성에 의해, 대형 기판용 카세트에 수용된 대형 기판의 좌우 방향으로의 이동이 저지되어, 대형 기판용 카세트 내에 있어서 안정적으로 대형 기판을 지지하는 것이 가능해진다.

이하, 본 발명에 의거한 대형 기판용 카세트의 각 실시예에 관해, 도면을 참조하면서 설명한다.

(제1의 실시예)

도 1을 참조하여, 본 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(100)의 개략 구성에 관해 설명한다. 또한, 도 1은 본 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(100)의 구성을 도시한 전체 사시도이다. 또한, 편의상, 일부 도시를 생략하여 도시하고 있다.

이 대형 기판용 카세트(100)는 1500㎜(단변 치수)×1800㎜(긴변 치수), 1800㎜(단변 치수)×2100㎜(긴변 치수) 등의 크기 구비하는 글라스 기판을 그 전면측으로부터의 출납을 가능하게 하고(도면 중 화살표 S 방향), 이 글라스 기판을 적층 상태로 수용하는 것을 목적으로 하고 있고, 직사각형으로 배치된 저면 밖테두리 프레임(101, 102, 103, 104)과, 저면 밖테두리 프레임(101)과 저면 밖테두리 프레임(104)을 연결하도록, 좌우 방향에 소정의 간격을 가지고 배치되는 베이스 프레임(140, 141, 142, 143)을 갖고 있다. 저면 밖테두리 프레임(102, 103, 104)에 대향하는 상방측에는 상면 밖테두리 프레임(120, 121, 122, 123)이 마련되고, 저면 밖테두리 프레임(101, 102, 103, 104)의 네모퉁이에 마련되는 코너 프레임(110, 111, 112, 113)에 의해, 저면 밖테두리 프레임(101, 102, 103, 104)과 상면 밖테두리 프레임(120, 121, 122)이 연결되어 있다. 또한, 전면측에 있어서는 상면 밖테두리 프레임(123)이 마련되지 않은 구조의 채용도 가능하다.

저면 밖테두리 프레임(102)과 상면 밖테두리 프레임(120)과의 사이에는 기판 측면 가이드 프레임(130, 131, 132)이 마련되고, 저면 밖테두리 프레임(104)과 상면 밖테두리 프레임(122)과의 사이에는 기판 측면 가이드 프레임(133, 134, 135)이 마련되어 있다.

베이스 프레임(14O, 141, 142, 143)의 후단부측에는 상방을 향하여 세워지는 후측 프레임(145, 146, 147, 148)이 마련되고, 각각의 상단부는 상면 밖테두리 프레임(121)에 연결되어 있다.

후측 프레임(145)에는 전방을 향하여 늘어나는 지지 프레임(160, 170, 180, 190)이 소정의 피치로 상하 방향에서 적층하도록 마련되어 있다. 마찬가지로, 후측 프레임(146)에는 전방을 향하여 늘어나는 지지 프레임(161, 171, 181, 191)이 소정의 피치로 상하 방향에서 적층하도록 마련되고, 후측 프레임(147)에는 전방을 향하여 늘어나는 지지 프레임(162, 172, 182, 192)이 소정의 피치로 상하 방향에서 적층하도록 마련되고, 후측 프레임(148)에는 전방을 향하여 늘어나는 지지 프레임(163, 173, 183, 193)이 소정의 피치로 상하 방향에서 적층하도록 마련되어 있다.

여기서, 지지 프레임(160, 161, 162, 163)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제1의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되어 있다. 마찬가지로, 지지 프레임(170, 171, 172, 173)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제2의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되고, 지지 프레임(180, 181, 182, 183)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제3의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되고, 지지 프레임(190, 191, 192, 193)에 있어서, 동일 글라스 기판을 지지하는 제4의 기판 지지 수단을 구성하고, 각각의 상면이 같은 높이 위치로 되도록 후측 프레임(145 내지 148)에 부착되어 있다.

또한, 각 밖테두리 프레임, 베이스 프레임, 코너 프레임, 및 후측 프레임에 사용되는 재료로서는 스테인리스, 알루미늄, 수지 등, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 기판 측면 가이드 프레임에 사용되는 재료로서는 수지(폴리에테르, 에 테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리카보네이트 등), 스테인리스, 알루미늄 등, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 지지 프레임에 사용되는 재료로서는 스테인리스, 알루미늄, 카본, 티탄, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등, 이들의 재료와 수지와의 복합품 등을 들 수 있다.

(작용·효과)

상기 구성으로 이루어지는 대형 기판용 카세트(100)에 의하면, 측면측으로부터 기판을 서포트하는 지지 부재를 마련하는 일 없이, 좌우 방향에 소정의 간격으로 복수 마련되는 지지 프레임(160 내지 163, 170 내지 173, 180 내지 183, 190 내지 193)만을 후측 프레임(145 내지 148)으로부터 전방을 향하여 늘어나도록 마련하고 있기 때문에, 글라스 기판의 전체를 하방면측으로부터 서포트함에 의해, 글라스 기판에 휨를 발생시키는 일 없이, 지지 프레임(160 내지 163, 170 내지 173, 180 내지 183, 190 내지 193)에 있어서 글라스 기판을 균등하게 지지할 수 있다.

또한, 지지 프레임(160 내지 163, 170 내지 173, 180 내지 183, 190 내지 193)이 후측 부재로부터 전방을 향하여 마련되어 있기 때문에, 지지 프레임(160 내지 163, 170 내지 173, 180 내지 183, 190 내지 193)의 좌우 방향의 상호간에는 공간이 생기고, 이 공간에 글라스 기판을 반송하기 위한 반송 암을 삽입할 수 있다. 그 결과, 예를 들면 포크 형상으로 마련되는 반송 암의 출입에 있어서도, 필요 이상으로 반송 암의 동작을 위한 공간을 마련할 필요가 없기 때문에, 동일 용적 내에 있어서 많은 기판 지지 수단을 적층시킬 수 있고, 대형 기판용 카세트(100)에 있어 서의 기판의 수용 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에 있어서는 기판 측면 가이드 프레임(130 내지 135)을 마련하도록 하고 있기 때문에, 대형 기판용 카세트(100)에 수용된 글라스 기판의 좌우 방향으로의 이동이 저지되고, 대형 기판용 카세트(100) 내에 있어서 안정적으로 글라스 기판을 지지할 수 있다.

(제2의 실시예)

다음에, 도 2 및 도 3을 참조하여, 제2의 실시예로서, 상기 대형 기판용 카세트(100)의 변형예에 관해 설명한다. 또한, 도 2는 본 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2중 A화살표로 본 단면도이다. 또한, 도 2에 있어서, 대표예로서, 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시하고 있지만, 다른 제1의 내지 제3의 기판 지지 수단에 있어도, 본 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단과 같은 구성을 갖고 있는 것으로 한다.

본 변형예의 특징으로서는 상술한 기판 측면 가이드 프레임(130 내지 135) 대신에, 지지 프레임(190)의 외측의 면에, 기판 측면 가이드 프레임(190a, 190b, 190c)을 마련하고, 지지 프레임(193)의 외측의 면에, 기판 측면 가이드 프레임(193a, 193b, 193c)을 마련하도록 한 것이다.

이 기판 측면 가이드 프레임(190a)은 도 3에 도시한 바와 같이, 외측으로 평행하게 늘어나는 평행부(19a)와, 평행부(19a)의 단부로부터 상방으로 늘어나는 입상부(立上部)(19b)를 갖고 있다. 다른 기판 측면 가이드 프레임(190b, 190c, 193a, 193b, 193c)에 대해서도 같은 구성을 갖고 있다.

기판 측면 가이드 프레임에 사용되는 재료로서는 알루미늄, 스테인리스, 수지, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 본 변형예에 있어서는 지지 프레임(190, 191, 192, 193)의 선단 부분에, 수용된 글라스 기판의 전방측으로의 이동을 억제하기 위한 돌기부(190d)가 각각 마련되어 있다. 이 돌기부에 사용되는 재료로서는 끈기가 있는 발진(發塵) 방지성 또는 내마모성이 좋은 수지 등이 사용되고, 발진 방지성이 좋은 수지로서 일래스토머계 수지, 내마모성이 좋은 수지로서 폴리에테르에테르케톤 등을 들 수 있다.

(작용·효과)

이상, 본 변형예에 있어도, 상기 제1의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(100)와 같은 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판 측면 가이드 프레임(190a, 190b, 190c, 193a, 193b, 193c)를 마련하는 구성을 채용함에 의해, 상기 도 1에 도시한 대형 기판용 카세트(100)의 구조와 비교한 경우, 기판 측면 가이드 프레임(130 내지 135)이 불필요하게 됨과 함께, 코너 프레임(110, 113), 저면 밖테두리 프레임(102, 104), 및 상면 밖테두리 프레임(120, 122)이 불필요하게 되기 때문에, 대형 기판용 카세트의 경량화를 도모할 수 있다.

(제3의 실시예)

다음에, 도 4를 참조하여, 제3의 실시예으로서, 상기 대형 기판용 카세트(100)의 또다른 변형예에 관해 설명한다. 또한, 도 4는 본 실시예에 있어서의 지지 프레임(160, 170, 180, 190)의 구성을 도시한 사시도이다. 또한, 도 4에 있어서는 지지 프레임(160, 170, 180, 190)만을 도시하고 있지만, 반대측의 지지 프레임 (163, 173, 183, 193)에 있어서도 마찬가지의 구성을 갖고 있는 것으로 한다.

본 변형예의 특징으로서는 상술한 제1의 실시예에 있어서의 기판 측면 가이드 프레임(130 내지 135) 대신에, 도 4에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(160)의 외측의 측면에, 외측을 향하여 내달는 보조 플레이트(201, 202, 203)를 소정의 간격으로 마련하고, 마찬가지로, 지지 프레임(170)에도 외측으로 내달는 보조 플레이트(204, 205, 206)를 소정의 간격으로 마련하고, 지지 프레임(180)에도 외측에 내달는 보조 플레이트(207, 208, 209)를 소정의 간격으로 마련하고, 지지 프레임(190)에도 외측에 내달는 보조 플레이트(210, 211, 212)를 소정의 간격으로 마련하고 있다. 또한, 보조 플레이트에 사용되는 재료로서는 스테인리스, 알루미늄, 수지 등, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 보조 플레이트(201 내지 212)의 각각의 선단부에는 관통구멍이 마련되고, 보조 플레이트(201, 204, 207, 210)의 각각의 관통구멍을 통과하도록 기판 측면 가이드 핀(221)이 고정되고, 마찬가지로, 보조 플레이트(202, 205, 208, 211)의 각각의 관통구멍을 통과하도록 기판 측면 가이드 핀(222)이 고정되고, 보조 플레이트(203, 206, 209, 212)의 각각의 관통구멍을 통과하도록 기판 측면 가이드 핀(223)이 고정되어 있다.

기판 측면 가이드 핀에 사용되는 재료로서는 끈기가 있는 발진 방지성 또는 내마모성이 좋은 수지 등이 사용되고, 발진 방지성이 좋은 수지로서 수지로서 일래스토머계 수지, 내마모성이 좋은 수지로서 폴리에테르에테르케톤 등을 들 수 있다.

(작용·효과)

이상, 본 변형예에 있어도, 상기 제1의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(100)와 같은 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판 측면 가이드 핀(221 내지 223)을 마련하는 구성을 채용함에 의해, 상기 도 1에 도시한 대형 기판용 카세트(100)의 구조와 비교한 경우, 기판 측면 가이드 프레임(130 내지 135)이 불필요하게 됨과 함께, 코너 프레임(110, 113), 저면 밖테두리 프레임(102, 104), 및 상면 밖테두리 프레임(120, 122)이 불필요하게 되기 때문에, 대형 기판용 카세트의 경량화를 도모할 수 있다.

(제4의 실시예)

다음에, 도 5 및 도 6을 참조하여, 제4의 실시예로서, 상기 대형 기판용 카세트(100)의 또한 다른 변형예에 관해 설명한다. 또한, 도 5(A), (B)는 본 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시한 사시도이고, 도 6은 본 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시한 측면도이다. 또한, 도 5 및 도 6에 있어서, 대표예로서, 제4의 기판 지지 수단의 구성을 도시하고 있지만, 다른 제1의 내지 제3의 기판 지지 수단에 있어서도, 본 실시예에 있어서의 제4의 기판 지지 수단과 같은 구성을 갖고 있는 것으로 한다.

본 변형예의 특징으로서는 예를 들면, 제4의 기판 지지 수단을 구성하는 지지 프레임(190)의 측면측에서 본 형상을, 자중 휨 및 하중 휨을 경감하는 목적 때문에, 선단측으로부터 후측 프레임(145)를 향함에 따라 서서히 상하 방향의 두께가 두꺼워지는 구조로 하고, 또한, 전단 부분에 하방을 향하여 볼록하게 되는 반원형상의 돌출부(190e, 190e)를 마련하고, 이 돌출부(190e, 190e)에 관통구멍(190h, 190h)을 형성하고 있다. 다른 지지 프레임(191 내지 193)도 지지 프레임(190)과 같은 형상을 가지며, 지지 프레임(191)의 선단부에는 관통구멍(191h, 191h)이 형성된 돌출부(191e, 191e)가 마련되고, 지지 프레임(192)의 선단부에는 관통구멍(192h, 192h)이 형성된 돌출부(192e, 192e)가 마련되고, 지지 프레임(193)의 선단부에는 관통구멍(193h, 193h)이 형성된 돌출부(193e, 193e)가 마련되어 있다.

또한, 각 지지 프레임(190 내지 193)에 마련된 관통구멍(190h 내지 193h)에는 보조 핀(302)이 삽통되어 있다. 보조 핀(302)의 양 단부는 보조 핀(302)의 탈락을 방지하기 위해, 푸시 너트(301)에 의해 고정되어 있다. 보조 핀에 사용되는 재료로서는 스테인리스, 알루미늄, 카본, 티탄 등을 들 수 있고, 푸시 너트에 사용되는 재료로서는 스테인리스, 알루미늄 등을 들 수 있다.

(작용·효과)

이상, 본 변형예에 있어도, 상기 제1의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(100)와 같은 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 각 지지 프레임(190 내지 193)의 선단부를 보조 핀(302)에 연결시킴에 의해, 각 지지 프레임 자체에 하방을 향하는 휨이 생긴 경우라도, 각 지지 프레임이 휘여지는 량을 같게 할 수 있기 때문에, 지지되는 글라스 기판에 3차원적인 휨을 주는 일이 없고, 글라스 기판의 3차원적인 일그러짐의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 도 5(A)에 도시한 구조에 있어서는 지지 프레임(190 내지 193)에만 보조 핀(302)를 관통시키는 구조를 도시하고 있지만, 도 5(B)에 도시한 바와 같이, 코너 프레임(110, 113)에 대해서도 보조 핀(302)를 관통시키는 구조를 채용함으로 써, 지지 프레임(190 내지 193)에 생기는 휨량을 크게 저감시키는 것이 가능해진다.

또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 돌출부(190e)를 마련한 경우라도, 지지 프레임(190) 자체의 형상을 이른바 테이퍼 형상으로 하고, 지지 프레임(190)의 후단부의 두께(L3)를, 지지 프레임(190)의 선단부의 두께(L1)와 지지 프레임(190)의 휨량(L2)과의 합계 정도의 두께로 함으로써, 지지 프레임(190)에 의한 지지 강도를 충분히 확보하면서, 대형 기판용 카세트(100)에 있어서의 기판의 수용 효율을 향상시킬 수 있다.

(제5의 실시예)

다음에, 도 7부터 도 15를 참조하여, 제5의 실시예로서, 상기 대형 기판용 카세트(100)에 적용되는 지지 프레임의 구체적 구조에 관해 설명한다. 대형 기판용 카세트(100)에 있어서는 글라스 기판에 중량이 무겁게 되기 때문에(예를 들면, 1800㎜×2100㎜×1.1㎜의 경우는 약 10,400g) 지지 프레임의 충분한 강도가 필요해진다. 한편으로, 대형 기판용 카세트 전체의 자중을 경감시킬 필요가 있다. 그래서, 강도와 경량화와의 2개의 요소를 겸비한 지지 프레임으로서, 이하의 도 7부터 도 15에 도시한 지지 프레임의 구조를 들 수 있다. 또한, 도 7부터 도 15는 각 지지 프레임의 구조를 도시한 전체 사시도이다.

도 7에 도시한 지지 프레임(401)은 원통 구조로 이루어지고, 후단부를 향할수록, 외경 및 내경이 커지는 개략 원추 형상을 갖고 있다. 또한, 지지 프레임(401)의 상면측에 있어서는 중앙부 부터 선단부측의 영역은 원통의 외주면이 그대 로 이용되는 곡면 영역(401a)이 마련되고, 중앙부 부터 후단부측의 영역에는 평탄면 영역(401b)이 마련되어 있다.

다음에, 도 8에 도시한 지지 프레임(402)는 후단부를 향할수록, 외경 및 내경이 커지는 개략 원추 형상을 갖는 본체부(402a)와, 전체 길이에 있어서 상면측에 마련되는 평탄면 영역(402b)을 구비하고 있다.

다음에, 도 9에 도시한 지지 프레임(403)은 3분할 구조로 이루어지는 선단측 지지 프레임(403a)과, 중간 지지 프레임(403b)과, 후단측 지지 프레임(403c)을 가지며, 전체로서 후단부를 향할수록, 외경 및 내경이 커지는 개략 원추 형상을 갖도록 마련되어 있다.

다음에, 도 10에 도시한 지지 프레임(404)은 3분할 구조로 이루어지는 선단측 지지 프레임(404a)과, 중간 지지 프레임(404b)과, 후단측 지지 프레임(404c)을 가지며, 모두 하방에 개구측을 갖는 ㄷ자의 횡단면 형상을 갖고 있다.

다음에, 도 11에 도시한 지지 프레임(405)은 하방에 개구측을 갖는 ㄷ자의 횡단면 형상을 갖는 본체 프레임(405a)을 구비하고, 상면측에는 본체 프레임(405a)의 경량화를 도모하기 위해, 가늘고 긴 형상의 개구부(404b, 404c, 404d)가 마련되어 있다.

다음에, 도 12에 도시한 지지 프레임(406)은 하방에 개구측을 갖는 ㄷ자의 횡단면 형상을 가지며, 측벽부에 있어서, 선단부의 상하방향 폭(s1)보다도 후단부의 상하방향 폭(s2)이 넓게 되도록 서서히 그 폭이 커지도록 마련되어 있다.

다음에, 도 13에 도시한 지지 프레임(407)은 선단측에 정점을 갖는 삼각형 형상의 평면 형상을 가지며, 측변을 구성하는 측변 프레임(407a, 407b)과, 측변 프레임(407a, 407b)을 상호 연결하는 연결 프레임(407c, 407d, 407e)이 마련되어 있다.

다음에, 도 14에 도시한 지지 프레임(408)은 외경이 약 20㎜ 정도의 봉형상 부재로 이루어지는 본체 프레임(408a)을 갖고 있다. 또한, 글라스 기판이 맞닿을 때에 있어서의 글라스 기판의 손상을 막는 관점에서, 본체 프레임(408a)의 선단부에는 반구형상부(408b)가 마련되어 있다.

다음에, 도 15에 도시한 지지 프레임(409)은 외경이 약 15㎜ 정도의 봉형상 부재에 소정의 굽힘 가공을 시행한 것으로, 선단측에서 절곡되어 2개의 봉형상 부재가 근접하여 배치되는 선단측부(409a)와, 이 선단측부(409a)보다도 그 간격이 넓게 되도록 봉형상 부재를 배치한 후단측부(409b)를 갖고 있다. 후단측부(409b)의 최후단부에는 후측 프레임에 걸어맞추기 위한 절곡부(409c)가 마련되어 있다.

또한, 상기 지지 프레임에 사용되는 재료로서는 도전성의 재료가 이용되는 것이 바람직하고, 예를 들면, 알루미늄, 스테인리스, 티탄, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 지지 프레임(190)의 선단 부분에는 글라스 기판의 탈락을 방지하는 관점에서, 도 2에 도시한 바와 같이, 돌기부(190d)를 마련하는 것에 대해 설명하였지만, 도 16에 도시한 바와 같이, 또한 지지 프레임(190) 자체에, 글라스 기판(800)에 직접 접하고, 글라스 기판(800)을 지지하는 지지 돌기(190e, 190f, 190g)가 마련된다. 이 지지 돌기(190e, 190f, 190g)의 수량은 적절히 변경 가능하고, 이 지지 돌기에 사용되는 재료로서는 끈기가 있는 발진 방지성 또는 내마모성이 좋은 수지 등이 사용되고, 발진 방지성이 좋은 수지로서 일래스토머계 수지, 내마모성이 좋은 수지로서 폴리에테르에테르케톤 등을 들 수 있다.

또한, 후측 프레임(145)의 전면측을 기준으로 한 글라스 기판(800)의 길이를 W1이라고 한 경우, 적어도 가장 선단측에 위치한 지지 돌기(190e)가 마련되는 위치(W2)는 W1/2 내지 W1의 범위가 되도록 마련된다.

(제6의 실시예)

다음에, 도 17 내지 도 19를 참조하여, 본 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트에 있어서의, 지지 프레임(160)의 후측 프레임(145)에의 부착 구조의 상세에 관해 설명한다. 또한, 대표예로서, 지지 프레임(160)의 후측 프레임(145)에의 부착 구조에 관해 설명하지만, 다른 지지 프레임의 후측 프레임의 부착 구조에 관해서도 마찬가지로 한다.

상기 각 실시예에 있어서의 지지 프레임은 장척으로 되기 때문에, 그 자신에 의한 휨이 문제가 될 우려가 있다. 예를 들면, 지지 프레임의 후측 프레임의 부착에 즈음하여, 지지 프레임의 근원(根元) 부분에 있어서의 후측 프레임에의 부착 피치에 있어서는 그 오차의 범위를 플러스 마이너스 1㎜ 내지 2㎜ 정도의 범위로 부착하였다 하여도, 지지 프레임의 자중 휨의 영향에 의해, 지지 프레임의 선단 부분에 있어서의 상하의 지지 프레임의 피치에는 플러스 마이너스 5㎜ 내지 7㎜ 정도의 오차가 생긴다고 생각된다.

그래서, 이하의 도 17 내지 도 19에 도시한 부착 구조를 채용함에 의해, 지 지 프레임의 선단 부분에 있어서의 상하의 지지 프레임의 피치를, 플러스 마이너스 1㎜ 내지 2㎜ 정도의 오차 내로 되도록 수정하는 것을 가능하게 하고 있다.

(제1의 부착 구조)

우선, 도 17을 참조하여, 지지 프레임(160)의 후측 프레임(145)에의 제1의 부착 구조에 관해 설명한다. 또한, 도 17(A)는 부분 측면도, 도 17(B)는 부분 배면도, 도 17(C)는 부분 평면도이다. 지지 프레임(160)의 후단부에, 후측 프레임(145)을 양측에서 끼우는 1쌍의 연장부(160A, 160B)가 마련되어 있다. 연장부(160A, 160B)와 후측 프레임(145)은 지지 프레임(160)이 늘어나는 방향에 따라 배치되는 핀(601) 및 핀(602)에 의해 연결되고, 각각의 핀(601) 및 핀(602)의 양 단부는 C형 와셔(603, 604)가 끼워넣어져 있다.

핀(601)은 연장부(160A, 160B) 및 후측 프레임(145)에 마련된 둥근구멍에 삽통되어 있다. 또한, 핀(602)은 후측 프레임(145) 내에 배치되는 상측 블록체(605)를 관통하도록 마련됨과 함께, 후측 프레임(145)에 마련된 둥근구멍에 삽통되고, 또한, 연장부(160A, 160B)에 마련된 종방향으로 늘어나는 긴 구멍(145A)에 삽통되어 있다.

이로써, 지지 프레임(160)은 후측 프레임(145)에 대해, 핀(601)을 중심으로 회전 가능하고, 긴 구멍(145A)의 길이에 응하여 핀(602)이 상하로 이동하는 결과, 지지 프레임(160)의 선단부의 위치의 조정을 가능하게 하고 있다.

상측 블록체(605)의 하방에는 하측 블록체(606)가 마련되고, 이 하측 블록체(606)는 후측 프레임(145)에 핀(611)에 의해 고정되어 있다. 상측 블록체(605)와 하측 블록체(606)와의 사이에는 위치 조절용 볼트(607) 등이 마련되고, 지지 프레임(160)의 조정 위치를 고정하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 위치 조절용 볼트(607)을 조절함에 의해, 상측 블록체(605)와 하측 블록체(606)와의 간격이 조절되고, 그 결과, 지지 프레임(160)의 선단부의 위치의 조정도 가능하게 하고 있다.

(제2의 부착 구조)

다음에, 도 18을 참조하여, 지지 프레임(160)의 후측 프레임(145)에의 제2의 부착 구조에 관해 설명한다. 또한, 도 18(A)는 부분 측면도, 도 18(B)는 부분 배면도, 도 18(C)는 부분 평면도이다. 지지 프레임(160)의 후단부에, 후측 프레임(145)을 양측에서 끼우는 1쌍의 연장부(160A, 160B)가 마련되어 있다. 연장부(160A, 160B)와 후측 프레임(145)는 지지 프레임(160)이 늘어나는 방향에 따라 배치되는 핀(601) 및 핀(602)에 의해 연결되고, 각각의 핀(601) 및 핀(602)의 양 단부는 C형 와셔(603, 604)가 끼워넣어져 있다.

핀(601)은 연장부(160A, 160B) 및 후측 프레임(145)에 마련된 둥근구멍에 삽통되어 있다. 또한, 핀(602)은 후측 프레임(145) 내에 배치된 블록체(621)를 관통하도록 마련됨과 함께, 후측 프레임(145)에 마련된 둥근구멍에 삽통되고, 또한, 연장부(160A, 160B)에 마련된 종방향으로 늘어나는 긴 구멍(145A)에 삽통되어 있다.

이로써, 지지 프레임(160)은 후측 프레임(145)에 대해, 핀(601)을 중심으로 회전 가능하게 되고, 긴 구멍(145A)의 길이에 응하여 핀(602)이 상하로 이동하는 결과, 지지 프레임(160)의 선단부의 위치의 조정을 가능하게 하고 있다.

블록체(621)에는 상하 방향으로 늘어나는 나사 부재(622)가 관통하도록 마련 되고, 블록체(621)의 상하 단부에는 나사 부재(622)에 나사결합하는 너트(623)가 끼워져 있다.

따라서, 또한, 나사 부재(622)를 조절함에 의해, 블록체(621)의 상하 위치가 조절되고, 그 결과, 지지 프레임(160)의 선단부의 위치의 조정을 가능하게 하고 있다.

(제3의 부착 구조)

다음에, 도 19를 참조하여, 지지 프레임(160)의 후측 프레임(145)에의 제3의 부착 구조에 관해 설명한다. 또한, 도 19(A)는 부분 측면도, 도 19(B)는 부분 배면도, 도 19(C)는 부분 평면도이다. 지지 프레임(160)의 후단부에, 후측 프레임(145)을 양측에서 끼워 넣는 1쌍의 연장부(160A, 160B)가 마련되어 있다. 연장부(160A, 160B)와 후측 프레임(145)은 지지 프레임(160)이 늘어나는 방향에 따라 배치되는 핀(601) 및 핀(602)에 의해 연결되고, 각각의 핀(601) 및 핀(602)의 양 단부는 C형 와셔(603, 604)가 끼워넣어져 있다.

핀(601)은 연장부(160A, 160B) 및 후측 프레임(145)에 마련된 둥근구멍에 삽통되어 있다. 또한, 핀(602)은 후측 프레임(145) 내에 배치되는 하측 블록체(632)를 관통하도록 마련됨과 함께, 후측 프레임(145)에 마련된 둥근구멍에 삽통되고, 또한, 연장부(160A, 160B)에 마련된 종방향으로 늘어나는 긴 구멍(145A)에 삽통되어 있다. 또한, 하측 블록체(632)는 후측 프레임(145)에 대해, 핀(636, 637)에 의해 고정된다.

이로써, 지지 프레임(160)은 후측 프레임(145)에 대해, 핀(601)을 중심으로 회전 가능하고, 긴 구멍(145A)의 길이에 응하여 핀(602)이 상하로 이동하는 결과, 지지 프레임(160)의 선단부의 위치의 조정을 가능하게 하고 있다.

또한, 하측 블록체(632)의 상방에는 상측 블록체(631)가 마련되고, 이 상측 블록체(631)는 후측 프레임(145)에 대해, 핀(634, 635)에 의해 고정된다.

또한, 하측 블록체(632)와 상측 블록체(631)와의 사이에는 소정 두께의 심(641)이 마련됨에 의해, 하측 블록체(632)의 위치 결정의 미조정을 가능하게 하고 있다. 그 결과, 지지 프레임(160)의 선단부의 위치의 미조정도 가능하게 하고 있다.

(제7의 실시예)

다음에, 도 20을 참조하여, 본 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(500)의 개략 구성에 관해 설명한다. 또한, 도 20은 본 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(500)의 구성을 도시한 전체 사시도이다.

이 대형 기판용 카세트(500)는 1800㎜(단변 치수)×2000㎜(긴변 치수)×0.7㎜의 크기의 글라스 기판을, 20장 상하 방향으로 적층 가능한 구성을 갖고 있다.

베이스 프레임(501)이 소정의 간격으로 좌우 방향에 4개 배치되고, 이 베이스 프레임(501)의 후단부에는 상방을 향하여 세워지는 후측 부재(502)가 각각 마련되어 있다. 4개의 후측 부재(502)는 직사각형의 테두리형상으로 배치된 백 프레임(503)에 고정되어 있다.

후측 부재(502)에는 기판 지지 수단이 20단, 상하 방향으로 적층하도록 마련되어 있다. 기판 지지 수단을 구성하는 지지 프레임(504)으로서는 상술한 제5의 실 시예의 도 11로 도시한, 하방에 개구측을 갖는 ㄷ자의 횡단면 형상을 가지며, 상면측에는 경량화를 도모하기 위해 가늘고 긴 형상의 개구부가 마련되는 본체 프레임 구조가 채용되어 있다.

또한, 지지 프레임(502)의 양 측면의 외측에는 상술한 제3의 실시예의 도 4로 도시한, 보조 플레이트(510) 및 기판 측면 가이드 핀(520)으로 이루어지는 기판 측면 가이드 프레임이 마련되어 있다.

또한, 지지 프레임(502)의 선단 부분에는 지지 프레임(502)의 휨 량을 균일화시키기 위해, 제4의 실시예의 도 5로 도시한, 하방을 향하여 볼록하게 되는 반원형상의 돌출부 및 보조 핀(도시 생략)이 마련되어 있다.

(작용. 효과)

상기 제7의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(500)는 상기 각 실시예에 있어서의 구조를 조합한 일예로서, 상술한 실시예의 작용 효과를 얻을 수 있다.

(제8의 실시예)

상기 각 실시예에서는 대형 기판용 카세트 그 자체의 경량화를 도모하는 관점에서, 기판을 지지하기 위해 필요한 프레임만을 나타내고 있다. 그러나, 기판을 지지한 상태에서, 대형 기판용 카세트를 반송한 경우에는 외적인 요인에 의거한 기판의 파손을 방지할 필요가 있다.

제1의 실시예에서 나타낸 대형 기판용 카세트(100)의 경우에는 특히 상방으로부터의 낙하물에 의한 기판의 파손을 방지한 필요가 있다. 그래서, 도 21에 도시한 바와 같이, 대형 기판용 카세트(100)의 상면 밖테두리 프레임(120, 121, 122, 123)상에 재치되는 보호 커버(900)를 마련하는 것이 바람직하다. 이 보호 커버(800)는 도시하지 않지만, 상면 밖테두리 프레임(120, 121, 122, 123)에 대해 착탈 가능한 기구를 구비하고, 두께 2㎜ 정도, 재료로서는 알루미늄, 스테인리스, 수지 등, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 제7의 실시예에 있어서의 대형 기판용 카세트(500)의 경우에는 기판의 노출 부분이 많기 때문에, 도 22에 도시한 바와 같이, 대형 기판용 카세트(500)의 상면, 하면, 양측면을 덮는 통형상의 보호 커버(950)를 마련하는 것이 바람직하다. 이 보호 커버(900)는 도시하지 않지만, 베이스 프레임(5O1) 및 백 프레임(503)에 대해 착탈 가능한 기구를 구비하고, 두께 3㎜ 정도, 재료로서는 알루미늄, 스테인리스, 수지 등, 탄소섬유를 포함하는 탄소섬유 강화 플라스틱 재료 등을 들 수 있다.

또한, 상기 제4의 실시예에서는 자중 휨 및 하중 휨을 경감할 목적으로, 지지 프레임의 선단부에 보조 핀을 마련하는 구성을 채용하였지만, 다른 구성으로서, 도 23의 부분 전체 사시도에 도시한 바와 같이, 지지 프레임의 후단부측에, 각 지지 프레임(190 내지 193)을 연통시키는 보조 프레임(190F)을 마련하는 구성을 채용하는 것도 가능하다. 마찬가지로, 각 지지 프레임(180 내지 183)을 연통시키는 보조 프레임(180F), 각 지지 프레임(170 내지 173)을 연통시키는 보조 프레임(170F)을 마련한다. 도시하지 않지만, 각 지지 프레임(160 내지 163)에 관해서도 마찬가지이다. 또한, 각 보조 프레임(170F 내지 190F)의 양 단부는 기판 측면 가이드 프레임(132, 135)에 연결시키고 두는 것이 바람직하다.

여기서, 각 지지 프레임의 후단부측의 상하 방향의 폭이 커지기 때문에, 상하에 위치하는 각 지지 프레임의 간격이 작아지는 것이 생각된다. 이 경우, 각 지지 프레임 사이에 삽입되는 외부 리프트의 핸드의 선단 부분을 가늘게 함에 의해, 상하에 위치하는 각 지지 프레임의 간격을 크게 하는 일 없이, 대형 기판용 카세트(500)의 기판 수용 능력을 유지시킬 수 있다.

또한, 글라스 기판용의 대형 기판용 카세트에 관해 설명하였지만, 글라스 기판에 한하지 않고, 같은 성질을 갖는 기판에 대해서도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.

따라서 본 발명의 기술적 범위는 상기한 실시예만에 따라서 해석되는 것이 아니라, 특허청구의 범위의 기재에 의거하여 확정된다. 또한, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

본 발명에 의거한 대형 기판용 카세트에 의하면, 대형 기판의 수용시에 있어서의 대형 기판의 휨이 문제로 되지 않고, 또한, 대형 기판의 수용 효율을 향상시키는 것이 가능한, 대형 기판용 카세트를 제공하는 것이 가능하게 된다.

Claims (2)

1. 전면측으로부터 대형 기판의 출납을 가능하게 하고, 상기 대형 기판을 적층 상태로 수용하기 위한 대형 기판용 카세트로서,

   베이스 부재(140, 141, 142, 143,)와,

   상기 베이스 부재(140, 141, 142, 143,)의 후단부측으로부터 상방을 향하여 세워지는 후측 부재(145, 146, 147, 148)와,

   상하 방향에 소정의 간격으로 복수 배설된 상태에서 상기 후측 부재(145, 146, 147, 148)에 지지되고, 상기 후측 부재(145, 146, 147, 148)로부터 전방을 향하여 늘어나도록 마련되는 복수의 기판 지지 수단을 구비하고,

   상기 기판 지지 수단은 상기 후측 부재(145, 146, 147, 148)로부터 전방을 향하여 늘어나고, 좌우 방향에 소정의 간격으로 복수 마련되는 지지 프레임부(160 내지 163, 170 내지 173, 180 내지 183, 190 내지 193)재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대형 기판용 카세트.
2. 제1항에 있어서,

   상기 대형 기판의 좌우 방향으로의 이동을 저지하기 위해, 상기 기판 지지 수단의 좌우의 양 외측에 배설되는 기판 측면 가이드 수단(190a 내지 190c, 193a 내지 193c)을 또한 갖는 것을 특징으로 하는 대형 기판용 카세트.

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