TW201724122A - 閃爍器板及放射線檢測器 - Google Patents

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Abstract

閃爍器板具備：基板，其具有主面，且相對於上述閃爍光具有穿透性；閃爍器層，其係被設置在上述主面上；框體，其係從與上述主面交叉之方向觀看以包圍上述閃爍器層之方式被設置在上述主面上；保護層，其係被配置在上述主面及上述閃爍器層上，且以密封上述閃爍器層之方式被固定於上述框體；薄片狀之光功能層，其係被配置在上述閃爍器層和上述保護層之間；及彈性構件，其係被上述光功能層和上述保護層夾持而彈性變形。上述閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，上述光功能層係藉由上述彈性構件之彈性力被推壓至上述閃爍器層，在包含複數的上述柱狀結晶之前端之複數的區域中與上述閃爍器層接觸。

Description

閃爍器板及放射線檢測器
本發明之一觀點係關於閃爍器板及放射線檢測器。
在專利文獻1記載著X射線檢測器。該X射線檢測器具備光電轉換基板、被形成在光電轉換基板之表面的螢光轉換膜、被形成在光電轉換基板及螢光轉換膜上之光反射層。螢光轉換膜被形成在光電轉換基板之面方向形成有複數的柱狀結晶之柱狀結晶構造。光反射層係周邊部與光電轉換基板密接而密封螢光轉換膜。光反射層係藉由具有流動性之黏接物質、折射率較黏接物質高的無機物質之粉末的混合體所構成。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]日本特開2009-25258號公報
上述X射線檢測器係藉由光反射層遮斷水分而防止螢光轉換膜之劣化。再者，上述X射線檢測器係藉由抑制光反射層朝螢光轉換膜之內部滲透，以謀求改善X射線解像度。但是，光反射層係藉由黏接物質之流動而追隨著前端部變形，填充互相鄰接之柱狀結晶之前端部彼此之間的空間。再者，假想依黏接物質之流動性之大小不同，即使在較柱狀結晶更基端側，也有滲透至互相相鄰之柱狀結晶間的情形。在該些情況下，有由於可視光從柱狀結晶洩漏至光反射層，使得X射線解像度及光輸出下降之虞。
本發明之一觀點係以提供能夠提升解像度及光輸出之閃爍器板及放射線檢測器為目的。
與本發明之一觀點有關之閃爍器板係用以將放射線轉換成閃爍光的閃爍器板，具備：基板，其具有主面，且相對於閃爍光具有穿透性；閃爍器層，其係被設置在主面上；框體，其係從與主面交叉之方向觀看以包圍閃爍器層之方式被設置在主面上；保護層，其係被配置在主面及閃爍器層上，且以密封閃爍器層之方式被固定於框體；薄片狀之光功能層，其係被配置在閃爍氣層和保護層之間；及彈性構件，其係被光功能層和保護層夾持而彈性變形，框體從主面算起的高度大於閃爍器層從主面算起的 高度，閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，光功能層係藉由彈性構件之彈性力被推壓至閃爍器層，在包含複數的柱狀結晶之前端之複數的區域中與閃爍器層接觸。
在該閃爍器板中，包含複數的柱狀結晶之閃爍器層被設置在基板之主面，藉由保護層被密封。在閃爍器層和保護層之間配置薄片狀之光功能層，在光功能層和保護層之間配置彈性構件。彈性構件藉由光功能層和保護層夾持而彈性變形。光功能層係藉由彈性構件之彈性力被推壓至閃爍器層，在包含閃爍器層之柱狀結晶之前端的複數區域中與閃爍器層接觸。
如此一來，在該閃爍器板中，使用薄片狀之光功能層。因此，可迴避光功能層填充互相相鄰之柱狀結晶之前端之間的間隙，或滲透至柱狀結晶間之情形。再者，由於光功能層藉由彈性構件之彈性力被推壓至閃爍器層，故可迴避光功能層從柱狀結晶之前端間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。
另外，保護層被固定於較閃爍器層高(厚)的框體。因此，藉由使用例如平板狀之保護層，因應框體和閃爍器層之高度差的空間被形成在閃爍器層和保護層之間。因此，藉由在其空間配置光功能層和彈性構件，能夠容易且確實地實現上述構成而提升解像度及光輸出。
在與本發明之一觀點有關之閃爍器板中，彈性構件即使為沿著主面之薄片狀亦可。此時，彈性構件即 使包含發泡塑料亦可。在此情況下，可以藉由彈性構件，沿著基板之主面一樣推壓光功能層。
在與本發明之一觀點有關之閃爍器板中，即使彈性構件與光功能層或保護層一體化亦可。在此情況下，容易構成藉由彈性構件將光功能層推壓至閃爍器層。
在與本發明之一觀點有關之閃爍器板中，即使柱狀結晶之前端被平坦化亦可。如此一來，即使柱狀結晶之前端被平坦化之情況下，由於可避免光功能層填充互相鄰接之柱狀結晶之前端彼此之間隙，或滲透至柱狀結晶間之情形，能夠提升解像度及光輸出。
與本發明之一觀點有關之放射線檢測器具備：基板，其具有主面、被形成在主面上之複數的光電轉換元件，閃爍器層，其係被設置在光電轉換元件上，用以將放射線轉換成閃爍光；框體，其係從與主面交叉之方向觀看以包圍閃爍器層之方式被設置在主面上；保護層，其係被配置在主面及閃爍器層上，且以密封閃爍器層之方式被固定於框體；薄片狀之光功能層，其係被配置在閃爍器層和保護層之間；及彈性構件，其係被光功能層和保護層夾持而彈性變形，框體從主面算起的高度大於閃爍器層從主面算起的高度，閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，光功能層係藉由彈性構件之彈性力被推壓至閃爍器層，在包含複數的柱狀結晶之前端之複數的區域中與閃爍器層接觸。
在放射線檢測器中，包含複數的柱狀結晶之 閃爍器層被設置在具有複數的光電轉換元件之基板之主面，藉由保護層被密封。在閃爍器層和保護層之間配置薄片狀之光功能層，在光功能層和保護層之間配置彈性構件。彈性構件藉由光功能層和保護層夾持而彈性變形。光功能層係藉由彈性構件之彈性力被推壓至閃爍器層，在包含閃爍器層之柱狀結晶之前端的複數區域中，與閃爍器層接觸。
如此一來，在該放射線檢測器中，使用薄片狀之光功能層。因此，可迴避光功能層填充互相相鄰之柱狀結晶之前端之間的間隙，或滲透至柱狀結晶間之情形。再者，由於光功能層藉由彈性構件之彈性力被推壓至閃爍器層，故可迴避光功能層從柱狀結晶之前端間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。
另外，保護層被固定於較閃爍器層高(厚)的框體。因此，藉由使用例如平板狀之保護層，因應框體和閃爍器層之高度差的空間被形成在閃爍器層和保護層之間。因此，藉由在其空間配置光功能層和彈性構件，能夠容易且確實地實現上述構成而提升解像度及光輸出。
在與本發明之一觀點有關之放射線檢測器中，彈性構件即使為沿著主面延伸之薄片狀亦可。此時，彈性構件即使包含發泡塑料亦可。在此情況下，可以藉由彈性構件，沿著基板之主面一樣推壓光功能層。
在與本發明之一觀點有關之放射線檢測器 中，即使彈性構件與光功能層或保護層一體化亦可。在此情況下，容易構成藉由彈性構件將光功能層推壓至閃爍器層。
在與本發明之一觀點有關之放射線檢測器中，即使柱狀結晶之前端被平坦化亦可。如此一來，即使柱狀結晶之前端被平坦化之情況下，由於可避免光功能層填充互相鄰接之柱狀結晶之前端彼此之間隙，或滲透至柱狀結晶間之情形，能夠提升解像度及光輸出。
與本發明之一觀點有關之閃爍器板係用以將放射線轉換成閃爍光的閃爍器板，具備：基板，其具有主面，且相對於閃爍光具有穿透性；閃爍器層，其係被設置在主面上；框體，其係從與主面交叉之方向觀看以包圍閃爍器層之方式被設置在主面上；保護層，其係被配置在主面及閃爍器層上，且以密封閃爍器層之方式被固定於框體；硬質之光功能層，其係一體性地被形成在保護層之與閃爍器層相向之面上，框體從主面算起的高度大於閃爍器層從主面算起的高度，閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，光功能層在保護層被固定於框體之狀態下，被推壓至閃爍器層，在包含複數的柱狀結晶之前端之複數的區域中與閃爍器層接觸。
在該閃爍器板中，包含複數的柱狀結晶之閃爍器層被設置在基板之主面，藉由保護層被密封。在保護層之與閃爍器層相向之面，一體性地形成有硬質之光功能層。而且，光功能層係在保護層被固定在框體之狀態下被 推壓至閃爍器層。依此，光功能層係在包含閃爍器層之柱狀結晶之前端的複數區域中與閃爍器層接觸。
如此一來，在該閃爍器板中，使用被一體形成在保護層之硬質之光功能層。因此，可迴避光功能層填充互相相鄰之柱狀結晶之前端之間的間隙，或滲透至柱狀結晶間之情形。再者，由於光功能層因應保護層之固定而被推壓閃爍器層，故可迴避光功能層從柱狀結晶之前端間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。
另外，保護層被固定於較閃爍器層高(厚)的框體。因此，藉由使用例如平板狀之保護層，因應框體和閃爍器層之高度差的空間被形成在閃爍器層和保護層之間。因此，藉由因應其空間而形成光功能層，能夠容易且確實地實現上述構成而提升解像度及光輸出。再者，光功能層為硬質係指例如藉由使包含樹脂之材料硬化，形成光功能層，具有因應硬化的樹脂之硬度的硬度之意。
與本發明之一觀點有關之放射線檢測器具備：基板，其具有主面、被形成在主面上之複數的光電轉換元件；閃爍器層，其係被設置在光電轉換元件上，用以將放射線轉換成閃爍光之閃爍器層；框體，其係從與主面交叉之方向觀看以包圍閃爍器層之方式被設置在主面上；保護層，其係被配置在主面及閃爍器層上，且以密封閃爍器層之方式被固定於框體；及光功能層，其係一體性地被形成在保護層之與閃爍器層相向之面上，框體從主面算起 的高度大於閃爍器層從主面算起的高度，閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，光功能層在保護層被固定於框體之狀態下，被推壓至閃爍器層，在包含複數的柱狀結晶之前端之複數的區域中與閃爍器層接觸。
在該放射線檢測器中，包含複數的柱狀結晶之閃爍器層被設置在具有複數的光電轉換元件之基板之主面，藉由保護層被密封。在保護層之與閃爍器層相向之面，一體性地形成有硬質之光功能層。而且，光功能層係在保護層被固定在框體之狀態下被推壓至閃爍器層。依此，光功能層係在包含閃爍器層之柱狀結晶之前端的複數區域中與閃爍器層接觸。
如此一來，在該放射線檢測器中，使用被一體形成在保護層之硬質之光功能層。因此，可迴避光功能層填充互相相鄰之柱狀結晶之前端之間的間隙，或滲透至柱狀結晶間之情形。再者，由於光功能層因應保護層之固定而被推壓閃爍器層，故可迴避光功能層從柱狀結晶之前端間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。
另外，保護層被固定於較閃爍器層高(厚)的框體。因此，藉由使用例如平板狀之保護層，因應框體和閃爍器層之高度差的空間被形成在閃爍器層和保護層之間。因此，藉由因應其空間而形成光功能層，能夠容易且確實地實現上述構成而提升解像度及光輸出。
若藉由本發明之一觀點，可以提供能夠提升解像度及光輸出之閃爍器板及放射線檢測器。
1、1A、1C‧‧‧閃爍器板
1D‧‧‧放射線檢測器
2、2D‧‧‧基板
2s‧‧‧主面
3、3A、3B‧‧‧閃爍器層
4‧‧‧框體
5‧‧‧保護層
5s‧‧‧面
6‧‧‧光功能層
7‧‧‧彈性構件
9‧‧‧光功能層
10‧‧‧光電轉換元件
30、30A、30B‧‧‧柱狀結晶
30t‧‧‧前端
R‧‧‧放射線
H3、H4‧‧‧高度
圖1為與本實施型態有關之閃爍器板之剖面圖。
圖2為圖1所示之閃爍器板之俯視圖。
圖3為放大表示圖1所示之閃爍器板之一部分的剖面圖。
圖4為與變形例有關之閃爍器板之剖面圖。
圖5為放大表示圖4所示之閃爍器板之一部分的剖面圖。
圖6為表示閃爍器層之變形例的剖面圖。
圖7為表示閃爍器板之變形例的剖面圖。
圖8為與本實施型態有關之放射線檢測器之剖面圖。
以下，針對本發明之一觀點之一實施型態，參考圖面而予以詳細說明。另外，有對在各圖中相同部分或相當部分賦予相同符號，省略重複說明之情形。
與本實施型態有關之閃爍器板係用以將X射線之放射線轉換成可視光之閃爍光者。與以下之實施型態有關之閃爍器板在例如乳房攝影裝置、胸部檢查裝置、 CT裝置、牙科口腔攝影裝置及放射線攝影機等中，當作放射線影像用之裝置使用。
圖1為與本實施型態有關之閃爍器板之剖面圖。圖2為圖1所示之閃爍器板之俯視圖。如圖1、2所示般，閃爍器板1具備基板2、閃爍器層3、框體4、保護層5、光功能層6及彈性構件7。
基板2具有主面2s。基板2係例如矩形板狀。基板2相對於在閃爍器層3產生的閃爍光具有穿透性。基板2之厚度為例如2.0mm左右。基板2係由例如FOP(FIBER OPTIC PLATE：綑束多數光纖而構成的光學裝置(例如，濱松光子學(股)製J5734)等所構成。
閃爍器層3係因應X射線等之放射線R之射入，使產生可視光等之閃爍光。閃爍器層3係被設置在基板2之主面2s上。閃爍器層3例如從與主面2s交叉(例如正交)之方向觀看被形成在主面2s之矩形狀之區域。閃爍器層3之外緣部係以閃爍器層3之厚度減少之方式，在從閃爍器層3之中心朝向邊緣之方向射至傾斜部。因此，作為閃爍器層3之全體的剖面形狀例如為台形狀。
閃爍器層3之厚度(上述之傾斜部以外之厚度)為例如600μm左右。閃爍器層3包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶30(參照圖3(b))。閃爍器材料係以例如像CsI：Tl的CsI為主成分的材料。閃爍器層3係藉由例如利用真空蒸鍍法等在基板2之主面2s上生長柱狀結晶30而形成。
框體4從與基板2之主面2s交叉之方向觀看係以包圍閃爍器層3之方式，被設置在主面2s上。框體4係例如矩形環狀。框體4從主面2s算起的高度H4大於閃爍器層3從主面2s算起的高度H3(厚度)。框體4係介於主面2s和保護層5之間互相接合主面2s和保護層5。主面2s、框體4及保護層5形成配置有閃爍器層3、光功能層6及彈性構件7的空間。框體4係至少以液密(還有氣密)密封其空間之方式，被接合於主面2s及保護層5。框體4係由例如環氧樹脂等所構成之透濕性低的樹脂。
保護層5係被配置在主面2s及閃爍器層3上。保護層5係從與主面2s交叉之方向觀看，被配置成覆蓋閃爍器層3及框體4。保護層5係例如沿著主面2s延伸的矩形平板狀。保護層5係穿透放射線R。保護層5之厚度為例如0.5mm以上2.0mm以下左右。保護層5係例如化學強化玻璃等之玻璃板。保護層5如上述般，以至少以液密密封閃爍器層3之方式，被固定(接合)在框體4。藉由上述密封構造，實現相對於閃爍器層3的防濕。
光功能層6係被配置在閃爍器層3和保護層5之間。光功能層6為薄片狀。即是，光功能層6不具有流動性。作為一例，光功能層6係沿著主面2s延伸之矩形薄片狀。光功能層6係從與主面2s交叉之方向觀看，覆蓋閃爍器層3。保護層6係穿透放射線R。光功能層6係例如反射在閃爍器層3產生之閃爍光的光反射層，或是吸收閃爍光之光吸收層。光功能層6之厚度為例如100μm 左右。光功能層6可以包含由顏料和黏合劑樹脂所構成之層。光功能層6係例如PET薄膜。
彈性構件(彈性層)7係被配置在光功能層6和保護層5之間。彈性構件7係例如沿著主面2s延伸的薄片狀。彈性構件7係從與主面2s交叉之方向觀看，以至少覆蓋閃爍器層3之方式，被配置在光功能層6上。彈性構件7穿透放射線R。彈性構件7係被光功能層6和保護層5夾持而彈性變形(即是，在與主面2s交叉之方向被壓縮)。依此，彈性構件7藉由彈性力，將光功能層6推壓至閃爍器層3。即是，彈性構件7係對光功能層6賦予壓力的壓力賦予層。
彈性構件7之厚度例如100μm以上1000μm以下程度。彈性構件7之材料係例如聚乙烯、胺基甲酸酯樹脂，及三聚氰胺樹脂等之塑膠、橡膠以及矽凝膠等。彈性構件7係例如使上述塑膠發泡而形成的發泡塑料之薄片、胺基甲酸酯墊(胺基甲酸酯樹脂之薄片)、矽凝膠薄片、三聚氰胺海綿之薄片以及薄片狀之氣泡緩衝材等。
圖3為放大表示圖1所示之閃爍器板之一部分的剖面圖。圖3(a)表示圖1之區域Ra，圖3(b)表示圖1之區域Rb。如圖3所示般，彈性構件7在此藉由接著層8被接著於光功能層6，與光功能層6一體化。接著層8係例如具有黏接性的樹脂。
在此，閃爍器層3之柱狀結晶30係在其基端被接合於基板2之主面2s。柱狀結晶30包含柱狀部31和 推拔部32。柱狀部31包含在柱狀結晶30中之主面2s側的基端。柱狀部31係從主面2s延伸至與主面2s交叉之方向。
推拔部32包含柱狀結晶30之前端30t。推拔部32被構成與柱狀部31一體性。推拔部32係隨著從主面2s離開而縮小的推拔狀。推拔部32之剖面形狀例如為三角形狀。柱狀結晶30互相間隔開。即是，在互相相鄰之柱狀結晶30之間形成有間隙。更具體而言，在互相相鄰之柱狀結晶30間，於柱狀部31之側面31s彼此之間，及於推拔部32之側面32s彼此之間形成有間隙。
如上述般，彈性構件7藉由彈性力，將光功能層6推壓至閃爍器層3。即是，光功能層6藉由彈性構件7之彈性力被推壓，與閃爍器層3接觸。在此，光功能層6係與複數之柱狀結晶30之前端30t接觸。柱狀結晶30之前端30t互相間隔開而獨立。因此，光功能層6係在包含複數的柱狀結晶30之前端30t的複數之獨立區域，與閃爍器層3接觸(即是，以多點接觸)。
另外，光功能層6不填充互相相鄰之柱狀結晶30彼此的間隙。換言之，光功能層6係以維持互相相鄰之柱狀結晶30彼此之間隙之方式，與閃爍器層3接觸。更具體而言，薄片狀之光功能層6雖然追隨著柱狀結晶30之前端30t之形狀而變形，但是僅與推拔部32之側面32s之前端30t側之一部分接觸。因此，在推拔部32之側面32s之柱狀部31側之大部分，不與光功能層6接 觸，維持與折射率較光功能層6及閃爍器層3低之空氣層接觸。再者，光功能層6不滲透至柱狀部31之側面31s彼此之間隙。因此，即使在柱狀部31之側面31s之全體中，也不與光功能層6接觸，維持與空氣層接觸。
另一方面，藉由在閃爍器層3塗佈具有流動性之材料(液狀之材料)，形成光功能層之情況下，其光功能層填充推拔部32之側面32s彼此之間隙，同時滲透至柱狀部31之側面31s彼此的間隙。因此，在推拔部32之側面32s之全體以及柱狀部31之側面31s之至少一部份，形成與折射率較空氣層高的光功能層的接觸。
如上述說明般，在閃爍器板1中，包含複數的柱狀結晶30之閃爍器層3被設置在基板2之主面2s，藉由保護層5及框體4被密封。在閃爍器層3和保護層5之間配置有薄片狀之光功能層6。在光功能層6和保護層5之間配置有彈性構件7。彈性構件7藉由光功能層6和保護層5被夾持而彈性變形(被壓縮)。光功能層6藉由彈性構件7之彈性力被推壓至閃爍器層3。依此，光功能層6係在包含柱狀結晶30之前端30t的複數之獨立區域，與閃爍器層3接觸。
如此一來，在閃爍器板1中，使用薄片狀之光功能層6。因此，可避免光功能層6填充互相相鄰之柱狀結晶30之推拔部32彼此之間隙，或滲透至柱狀結晶30之柱狀部31間之情形。再者，由於光功能層6藉由彈性構件7之彈性力被推壓至閃爍器層3，故可迴避光功能 層6從柱狀結晶30之前端30t間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶30洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。
另外，保護層5被固定於較閃爍器層3高(厚)的框體4。因此，藉由使用例如平板狀之保護層5，因應框體4和閃爍器層3之高度差的空間被形成在閃爍器層3和保護層5之間。因此，藉由在其空間配置光功能層6和彈性構件7，能夠容易且確實地實現上述構成而提升解像度及光輸出。
再者，在閃爍器板1中，可以使彈性構件7成為沿著基板2之主面2s延伸的薄片狀。此時，彈性構件7可以包含例如發泡塑料。在此情況下，可以藉由彈性構件7，沿主面2s一樣推壓光功能層6。
再者，在閃爍器板1中，彈性構件7與光功能層6一體化。因此，容易構成藉由彈性構件7將光功能層6推壓至閃爍器層3。
而且，彈性構件7之厚度可以設成例如100μm以上1000μm以下程度。若彈性構件7之厚度為100μm以上時，可以取得足以使光功能層6推壓至閃爍器層3而接觸於閃爍器層3的彈性力。若彈性構件7之厚度為1000μm以下，可以避免閃爍器板1之大型化(厚度增加)。即是，若將彈性構件7之厚度設為100μm以上1000μm以下時，可以使閃爍器板1之小型化(厚度增加之抑制)，和解像度及光輸出之提升並存。
圖4為與變形例有關之閃爍器板之剖面圖。圖5為放大表示圖4所示之閃爍器板之一部分的剖面圖。圖5(a)表示圖4之區域Ra。圖5(b)表示圖4之區域Rb。如圖4、5所示般，閃爍器板1A具備閃爍器層3A以取代閃爍器層3之點，以及彈性構件7與保護層5一體化之點，與閃爍器板1不同。
閃爍器層3A係在包含柱狀結晶30A以取代柱狀結晶30之點，與閃爍器層3不同。柱狀結晶30A係在具有推拔部32A以取代推拔部32之點，與柱狀結晶30不同。推拔部32A包含柱前端30t。推拔部32A被構成與柱狀部31一體性。推拔部32A係隨著從主面2s離開而縮小的推拔狀。推拔部32A之剖面形狀例如為台形狀。
在此，柱狀結晶30A之前端30t係藉由例如加壓處理、加熱處理、雷射光等之能量線照射處理、研磨處理以及研削處理之至少一個而被平坦化。即是，柱狀結晶30A之前端30t係藉由推拔部32A之側面32s之邊緣部而被規定的平坦面。
彈性構件7係藉由接著層8而被接著於保護層5，與保護層5一體化。光功能層6藉由彈性構件7之彈性力被推壓，與閃爍器層3A接觸。在此，光功能層6係與複數之柱狀結晶30A之前端30t接觸。即是，光功能層6係在包含複數的柱狀結晶30A之前端30t的複數之獨立的平坦區域中，與閃爍器層3A接觸(即是，以多點接觸)。
即使在此，光功能層6也不填充互相相鄰之柱狀結晶30A彼此的間隙。即是，光功能層6係以維持互相相鄰之柱狀結晶30A彼此之間隙之方式，與閃爍器層3A接觸。更具體而言，光功能層6僅與藉由推拔部32A之側面32s被規定的平坦面(前端30t)接觸。因此，在推拔部32A之側面32s之略全體中，不與光功能層6接觸，維持與折射率較光功能層6及閃爍器層3A低之空氣層接觸。再者，光功能層6不滲透至柱狀部31之側面31s彼此之間隙。因此，即使在柱狀部31之側面31s之全體中，也不與光功能層6接觸，維持與空氣層接觸。
如此一來，即使在柱狀結晶30A之前端30t被平坦化之情況下，若藉由彈性構件7之彈性力，將薄片狀之光功能層6推壓至閃爍器層3A使接觸於閃爍器層3A之構成，與閃爍器板1相同，能夠提升解像度及光輸出。
再者，在閃爍器板1A中，彈性構件7與保護層5一體化。因此，容易構成藉由彈性構件7將光功能層6推壓至閃爍器層3A。
以上之實施型態係例示與本發明之一觀點有關之閃爍器板之一實施型態。因此，本發明之一觀點並不限定於上述閃爍器板1、1A。本發明之一觀點可以在不變更各請求項之主旨的範圍，設成將上述閃爍器板1、1A變形成任意者，或適用於其他者。
例如，如圖6所示般，在閃爍器板1中，可以使用閃爍器層3B以取代閃爍器層3。閃爍器層3B係在 具有柱狀結晶30B以取代柱狀結晶30之點，與閃爍器層3不同。柱狀結晶30B係在前端30t被平坦化之點，與柱狀結晶30不同。柱狀結晶30B係以除去柱狀結晶30之推拔部32之全體之方式，藉由使前端30t平坦化而被構成。即是，柱狀結晶30B僅具有柱狀部31。
在此情況下，薄片狀之光功能層6藉由彈性構件7之彈性力而被推壓，僅與藉由柱狀部31之側面31s之邊緣部而被規定之平坦面(前端30t)接觸。因此，與使用閃爍器層3之情況相同，能夠提升解像度及光輸出。
另外，在閃爍器板1中，即使與閃爍器板1A相同，使彈性構件7與保護層5一體化亦可。再者，在閃爍器板1A中，即使與閃爍器板1相同，使彈性構件7與光功能層6一體化亦可。再者，即使在閃爍器板1A中，可以使用閃爍器層3B以取代閃爍器層3A。
在此，與本發明之一側面有關之閃爍器板可以適用於圖7所示之閃爍器板1C。閃爍器板1C在具備光功能層9以取代光功能層6之點，及無具備彈性構件7之點，與閃爍器板1不同。
光功能層9係被配置在閃爍器層3和保護層5之間。光功能層9被形成在與保護層5之閃爍器層3相向之面5s。光功能層9可以例如藉由對保護層5之面5s，配置由具有反射或吸收等之光功能的顏料和黏合劑樹脂所構成之樹脂層，使其樹脂層乾燥且予以硬化而製作出。因此，光功能層9為硬質。即是，光功能層9不具有流動 性。再者，光功能層9係在保護層5之面5s一體性形成。另外，光功能層9為硬質係指如上述般藉由使包含樹脂之材料硬化而被形成，具有因應硬化的樹脂之硬度的硬度之意。
如此之光功能層9係在保護層5被固定在框體4之狀態下(藉由被固定)，被推壓至閃爍器層3。依此，光功能層9與閃爍器層3接觸。尤其，光功能層9係在包含複數的柱狀結晶30之前端30t的複數之獨立區域，與閃爍器層3接觸(即是，以多點接觸)。
如上述說明般，在閃爍器板1C中，在與保護層5之閃爍器層3相向之面5s，硬質之光功能層9被一體性形成。光功能層9係在保護層5被固定在框體4之狀態下，被夾持在保護層5和閃爍器層3之間而被推壓至閃爍器層3。依此，光功能層9係在包含閃爍器層3之柱狀結晶30之前端30t的複數區域中與閃爍器層3接觸。
如此一來，在閃爍器板1C中，使用被一體形成在保護層5之硬質之光功能層9。因此，可迴避光功能層9填充互相相鄰之柱狀結晶30之前端30t之間的間隙，或滲透至柱狀結晶30間之情形。再者，由於光功能層9因應保護層5之固定而被推壓至閃爍器層3，故可迴避光功能層9從柱狀結晶30之前端30t間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶30洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。即是，保護層5和光功能層9可以取得與組合上述保護層5和光功能層6和彈性構件7之組合 同等的特性。
另外，即使在閃爍器板1C中，可以使用閃爍器層3A或閃爍器層3B以取代閃爍器層3。
在上述實施型態中，針對將本發明之一觀點適用於閃爍器板(例如，閃爍器板1、1A、1C)之情況進行說明。在如此之閃爍器板中，藉由將具有光電轉換元件之感測器面板(例如，TFT面板或CMOS影像感測器面板)當作基板使用，可以構成放射線檢測器。接著，針對放射線檢測器之一實施型態進行說明。
圖8為與本實施型態有關之放射線檢測器之剖面圖。如圖8所示般，放射線檢測器1D係在具備當作感測器面板之基板2D，以取代基板2之點，與閃爍器板1不同。基板(感測器面板)2D具有主面2s，和被形成在主面2s之複數的光電轉換元件10。更具體而言，基板2D具有包含主面2s之板狀的基部2p。再者，光電轉換元件10係沿著主面2s而配列成二次元狀。
閃爍器層3係藉由例如蒸鍍等，被設置在主面2s和光電轉換元件10上。在此，在主面2s及光電轉換元件10上，形成有鈍化膜或平坦化膜等之膜部11。閃爍器層3係隔著膜部11而被設置在主面2s和光電轉換元件10上。閃爍器層3係光學性地與光電轉換元件10結合。因此，光電轉換元件10係輸入在閃爍器層3中產生的閃爍光，輸出因應閃爍光的電訊號。電訊號係藉由無圖示之配線等被取出至外部。依此，放射線檢測器1D檢測 出放射線R。
放射線檢測器1D至少具有與上述閃爍器板1所達到的效果相同的效果。更具體而言，在放射線檢測器1D中，包含複數之柱狀結晶30的閃爍器層3被設置在具有複數之光電轉換元件10的基板2D之主面2s，藉由保護層5被密封。在閃爍器層3和保護層5之間配置薄片狀之光功能層6，在光功能層6和保護層5之間配置彈性構件7。彈性構件7藉由光功能層6和保護層5被夾持而彈性變形。光功能層6係藉由彈性構件7之彈性力被推壓至閃爍器層3，在包含閃爍器層3之柱狀結晶30之前端30t的複數區域中，與閃爍器層3接觸。
如此一來，在該閃爍器板1D中，使用薄片狀之光功能層6。因此，可避免光功能層6填充互相相鄰之柱狀結晶30之推拔部32彼此之間隙，或滲透至柱狀結晶30之柱狀部31間之情形。再者，由於光功能層6藉由彈性構件7之彈性力被推壓至閃爍器層3，故可迴避光功能層6從柱狀結晶30之前端30t間隔開之情形。因此，抑制閃爍光從柱狀結晶30洩漏之情形。依此，提升解像度及光輸出。
另外，保護層5被固定於較閃爍器層3高(厚)的框體4。因此，藉由使用例如平板狀之保護層5，因應框體4和閃爍器層3之高度差的空間被形成在閃爍器層3和保護層5之間。因此，藉由在其空間配置光功能層6和彈性構件7，能夠容易且確實地實現上述構成而 提升解像度及光輸出。
在此，若藉由放射線檢測器1D時，可以達成下述般之另外的效果。即是，放射線檢測器1D係藉由在當作感測器面板之基板2D上(及膜部11上)，藉由例如蒸鍍等直接性地形成閃爍器層3而被構成。因此，於構成放射線檢測器之時，無須將以不同體而準備的感測器面板和閃爍器板互相貼合。但是，在閃爍器板1、1A、1C中，即使對基板2中之主面2s之相反側之背面，藉由另外設置感測器面板而構成放射線檢測器亦可。
另外，即使在放射線檢測器1D中，即使使用閃爍器層3A或閃爍器層3B以取代閃爍器層3亦可。再者，在放射線檢測器1D中，彈性構件7即使如閃爍器板1般，與光功能層6一體化亦可，如閃爍器板1A般，與保護層5一體化亦可。而且，藉由將閃爍器板1C之基板2變更成基板2D，構成放射線檢測器亦可。此情況的放射線檢測器具備一體性地被形成在與保護層5之閃爍器層3相向之面5s的硬質之光功能層9，以取代光功能層6，同時不具備彈性構件7。
〔產業上之利用可能性〕
可以提供能夠提升解像度及光輸出之閃爍器板及放射線檢測器。
3‧‧‧閃爍器層
5‧‧‧保護層
6‧‧‧光功能層
7‧‧‧彈性構件
8‧‧‧接著層
30‧‧‧柱狀結晶
31‧‧‧柱狀部
31s‧‧‧側面
32s‧‧‧側面
32‧‧‧推拔部
30t‧‧‧前端

Claims (12)

  1. 一種閃爍器板，係用以將放射線轉換成閃爍光之閃爍器板，具備：基板，其具有主面，且相對於上述閃爍光具有穿透性；閃爍器層，其係被設置在上述主面上；框體，其係從與上述主面交叉之方向觀看以包圍上述閃爍器層之方式被設置在上述主面上；保護層，其係被配置在上述主面及上述閃爍器層上，且以密封上述閃爍器層之方式被固定於上述框體；薄片狀之光功能層，其係被配置在上述閃爍器層和上述保護層之間；及彈性構件，其係被上述光功能層和上述保護層夾持而彈性變形，上述框體從上述主面算起的高度大於上述閃爍器層從上述主面算起的高度，上述閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，上述光功能層係藉由上述彈性構件之彈性力被推壓至上述閃爍器層，在包含複數的上述柱狀結晶之前端之複數的區域中與上述閃爍器層接觸。
  2. 如請求項1所記載之閃爍器板，其中上述彈性構件係沿著上述主面延伸的薄片狀。
  3. 如請求項2所記載之閃爍器板，其中上述彈性構件包含發泡塑料。
  4. 如請求項1~3中之任一項所記載之閃爍器板，其中上述彈性構件係與上述光功能層或上述保護層一體化。
  5. 如請求項1~4中之任一項所記載之閃爍器板，其中上述柱狀結晶之上述前端被平坦化。
  6. 一種放射線檢測器，具備：基板，其具有主面，和被形成在上述主面上之複數的光電轉換元件；閃爍器層，其係被設置在上述光電轉換元件上，用以將放射線轉換成閃爍光；框體，其係從與上述主面交叉之方向觀看以包圍上述閃爍器層之方式被設置在上述主面上；保護層，其係被配置在上述主面及上述閃爍器層上，且以密封上述閃爍器層之方式被固定於上述框體；薄片狀之光功能層，其係被配置在上述閃爍器層和上述保護層之間；及彈性構件，其係被上述光功能層和上述保護層夾持而彈性變形，上述框體從上述主面算起的高度大於上述閃爍器層從上述主面算起的高度，上述閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，上述光功能層係藉由上述彈性構件之彈性力被推壓至 上述閃爍器層，在包含複數的上述柱狀結晶之前端之複數的區域中與上述閃爍器層接觸。
  7. 如請求項6所載之放射線檢測器，其中上述彈性構件係沿著上述主面延伸的薄片狀。
  8. 如請求項7所載之放射線檢測器，其中上述彈性構件包含發泡塑料。
  9. 如請求項6~8中之任一項所載之放射線檢測器，其中上述彈性構件係與上述光功能層或上述保護層一體化。
  10. 如請求項6~9中之任一項所載之放射線檢測器，其中上述柱狀結晶之上述前端被平坦化。
  11. 一種閃爍器板，係用以將放射線轉換成閃爍光之閃爍器板，具備：基板，其具有主面，且相對於上述閃爍光具有穿透性；閃爍器層，其係被設置在上述主面上；框體，其係從與上述主面交叉之方向觀看以包圍上述閃爍器層之方式被設置在上述主面上；保護層，其係被配置在上述主面及上述閃爍器層上，且以密封上述閃爍器層之方式被固定於上述框體；硬質之光功能層，其係一體性地被形成在上述保護層之與上述閃爍器層相向之面上， 上述框體從上述主面算起的高度大於上述閃爍器層從上述主面算起的高度，上述閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，上述光功能層在上述保護層被固定於上述框體之狀態下，被推壓至上述閃爍器層，在包含複數的上述柱狀結晶之前端之複數的區域中與上述閃爍器層接觸。
  12. 一種放射線檢測器，具備：基板，其具有主面，和被形成在上述主面上之複數的光電轉換元件；閃爍器層，其係被設置在上述光電轉換元件上，用以將放射線轉換成閃爍光；框體，其係從與上述主面交叉之方向觀看以包圍上述閃爍器層之方式被設置在上述主面上；保護層，其係被配置在上述主面及上述閃爍器層上，且以密封上述閃爍器層之方式被固定於上述框體；硬質之光功能層，其係一體性地被形成在上述保護層之與上述閃爍器層相向之面上，上述框體從上述主面算起的高度大於上述閃爍器層從上述主面算起的高度，上述閃爍器層包含閃爍器材料之複數的柱狀結晶，上述光功能層在上述保護層被固定於上述框體之狀態下，被推壓至上述閃爍器層，在包含複數的上述柱狀結晶之前端之複數的區域中與上述閃爍器層接觸。
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