CN108028088B - 闪烁器面板及放射线检测器 - Google Patents

Abstract

闪烁器面板具备：基板，其具有主面，且相对于闪烁光具有透过性；闪烁器层，其被设置在上述主面上；框体，其从与上述主面交叉的方向观察以包围上述闪烁器层的方式被设置在上述主面上；保护层，其被配置在上述主面及上述闪烁器层上，且以密封上述闪烁器层的方式被固定于上述框体；薄片状的光功能层，其被配置在上述闪烁器层和上述保护层之间；及弹性构件，其被上述光功能层和上述保护层夹持且弹性变形。上述闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，上述光功能层通过上述弹性构件的弹性力而被推压至上述闪烁器层，在包含多个上述柱状结晶的前端的多个区域上与上述闪烁器层接触。

Description

闪烁器面板及放射线检测器

技术领域

本发明的一个方面涉及闪烁器面板及放射线检测器。

背景技术

在专利文献1中记载有X射线检测器。该X射线检测器具备光电转换基板、被形成在光电转换基板的表面的荧光转换膜、被形成在光电转换基板及荧光转换膜上的光反射层。荧光转换膜被形成为在光电转换基板的面方向形成有多个柱状结晶的柱状结晶构造。光反射层其周边部与光电转换基板紧贴而密封荧光转换膜。光反射层由具有流动性的粘着物质和折射率高于粘着物质的无机物质的粉末的混合体构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-25258号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述的X射线检测器通过光反射层遮断水分而防止荧光转换膜的劣化。再者，上述的X射线检测器通过抑制光反射层朝荧光转换膜的内部渗透而谋求X射线分辨率的改善。但是，光反射层通过粘着物质的流动而以追随着前端部的方式变形，填充互相邻接的柱状结晶的前端部彼此之间的空间。再者，设想根据粘着物质的流动性的大小，即使在柱状结晶的更基端侧，也渗透至互相邻接的柱状结晶间。在这些情况下，有由于可见光从柱状结晶泄漏至光反射层而使X射线分辨率及光输出下降的担忧。

本发明的一个方面以提供能够提高分辨率及光输出的闪烁器面板及放射线检测器为目的。

解决课题的技术手段

本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板是用于将放射线转换成闪烁光的闪烁器面板，具备：基板，其具有主面，且相对于闪烁光具有透过性；闪烁器层，其被设置在主面上；框体，其从与主面交叉的方向观察以包围闪烁器层的方式被设置在主面上；保护层，其被配置在主面及闪烁器层上，且以密封闪烁器层的方式被固定于框体；薄片状的光功能层，其被配置在闪烁器层和保护层之间；及弹性构件，其被光功能层和保护层夹持且弹性变形，框体距主面的高度大于闪烁器层距主面的高度，闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，光功能层通过弹性构件的弹性力被推压至闪烁器层，在包含多个柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

在该闪烁器面板中，包含多个柱状结晶的闪烁器层被设置在基板的主面，通过保护层被密封。在闪烁器层和保护层之间配置薄片状的光功能层，在光功能层和保护层之间配置弹性构件。弹性构件通过光功能层和保护层夹持且弹性变形。光功能层通过弹性构件的弹性力被推压至闪烁器层，在包含闪烁器层的柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

这样，在该闪烁器面板中，使用薄片状的光功能层。因此，可避免光功能层填充互相邻接的柱状结晶的前端之间的间隙或渗透至柱状结晶间。再者，由于光功能层通过弹性构件的弹性力被推压至闪烁器层，因而可避免光功能层从柱状结晶的前端分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。

另外，保护层被固定于较闪烁器层高(厚)的框体。因此，通过使用例如平板状的保护层，对应于框体和闪烁器层的高度之差的空间被形成在闪烁器层和保护层之间。因此，通过在该空间配置光功能层和弹性构件，能够容易且可靠地实现上述结构而提高分辨率及光输出。

在本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板中，弹性构件也可以为沿着主面延伸的薄片状。此时，弹性构件也可以包含发泡塑料。在此情况下，可以通过弹性构件，沿着基板的主面均匀地推压光功能层。

在本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板中，弹性构件也可以与光功能层或保护层一体化。在此情况下，容易构成为通过弹性构件将光功能层推压至闪烁器层。

在本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板中，柱状结晶的前端也可以被平坦化。这样，即使在柱状结晶的前端被平坦化的情况下，也可避免光功能层填充互相邻接的柱状结晶的前端彼此的间隙或渗透至柱状结晶间，因而能够提高分辨率及光输出。

本发明的一个方面所涉及的放射线检测器具备：基板，其具有主面、被形成在主面上的多个光电转换元件，闪烁器层，其被设置在光电转换元件上，用于将放射线转换成闪烁光；框体，其从与主面交叉的方向观察以包围闪烁器层的方式被设置在主面上；保护层，其被配置在主面及闪烁器层上，且以密封闪烁器层的方式被固定于框体；薄片状的光功能层，其被配置在闪烁器层和保护层之间；及弹性构件，其被光功能层和保护层夹持且弹性变形，框体距主面的高度大于闪烁器层距主面的高度，闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，光功能层通过弹性构件的弹性力被推压至闪烁器层，在包含多个柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

在该放射线检测器中，包含多个柱状结晶的闪烁器层被设置在具有多个光电转换元件的基板的主面，通过保护层被密封。在闪烁器层和保护层之间配置薄片状的光功能层，在光功能层和保护层之间配置弹性构件。弹性构件通过光功能层和保护层夹持且弹性变形。光功能层通过弹性构件的弹性力被推压至闪烁器层，在包含闪烁器层的柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

这样，在该放射线检测器中，使用薄片状的光功能层。因此，可避免光功能层填充互相邻接的柱状结晶的前端之间的间隙或渗透至柱状结晶间。再者，由于光功能层通过弹性构件的弹性力被推压至闪烁器层，因而可避免光功能层从柱状结晶的前端分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。

另外，保护层被固定于较闪烁器层高(厚)的框体。因此，通过使用例如平板状的保护层，对应于框体和闪烁器层的高度之差的空间被形成在闪烁器层和保护层之间。因此，通过在该空间配置光功能层和弹性构件，能够容易且可靠地实现上述结构而提高分辨率及光输出。

在本发明的一个方面所涉及的放射线检测器中，弹性构件也可以为沿着主面延伸的薄片状。此时，弹性构件也可以包含发泡塑料。在此情况下，可以通过弹性构件，沿着基板的主面均匀地推压光功能层。

在本发明的一个方面所涉及的放射线检测器中，弹性构件也可以与光功能层或保护层一体化。在此情况下，容易构成为通过弹性构件将光功能层推压至闪烁器层。

在本发明的一个方面所涉及的放射线检测器中，柱状结晶的前端也可以被平坦化。这样，即使在柱状结晶的前端被平坦化的情况下，也可避免光功能层填充互相邻接的柱状结晶的前端彼此的间隙或渗透至柱状结晶间，因而能够提高分辨率及光输出。

本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板是用于将放射线转换成闪烁光的闪烁器面板，具备：基板，其具有主面，且相对于闪烁光具有透过性；闪烁器层，其被设置在主面上；框体，其从与主面交叉的方向观察以包围闪烁器层的方式被设置在主面上；保护层，其被配置在主面及闪烁器层上，且以密封闪烁器层的方式被固定于框体；硬质的光功能层，其被一体地形成于保护层的与闪烁器层相对的面，框体距主面的高度大于闪烁器层距主面的高度，闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，光功能层在保护层被固定于框体的状态下，被推压至闪烁器层，在包含多个柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

在该闪烁器面板中，包含多个柱状结晶的闪烁器层被设置在基板的主面，通过保护层被密封。在保护层的与闪烁器层相对的面，一体地形成有硬质的光功能层。于是，光功能层在保护层被固定在框体的状态下被推压至闪烁器层。由此，光功能层在包含闪烁器层的柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

这样，在该闪烁器面板中，使用被一体形成于保护层的硬质的光功能层。因此，可避免光功能层填充互相邻接的柱状结晶的前端之间的间隙或渗透至柱状结晶间。再者，由于光功能层对应于保护层的固定而被推压到闪烁器层，因而可避免光功能层从柱状结晶的前端分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。

另外，保护层被固定于较闪烁器层高(厚)的框体。因此，通过使用例如平板状的保护层，对应于框体和闪烁器层的高度之差的空间被形成在闪烁器层和保护层之间。因此，通过对应于该空间而形成光功能层，能够容易且可靠地实现上述结构而提高分辨率及光输出。再者，光功能层为硬质，是指例如通过使包含树脂的材料硬化而形成光功能层，从而具有对应于硬化的树脂的硬度的硬度。

本发明的一个方面所涉及的放射线检测器具备：基板，其具有主面、被形成在主面上的多个光电转换元件；闪烁器层，其被设置在光电转换元件上，用于将放射线转换成闪烁光；框体，其从与主面交叉的方向观察以包围闪烁器层的方式被设置在主面上；保护层，其被配置在主面及闪烁器层上，且以密封闪烁器层的方式被固定于框体；及光功能层，其被一体地形成于保护层的与闪烁器层相对的面，框体距主面的高度大于闪烁器层距主面的高度，闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，光功能层在保护层被固定于框体的状态下，被推压至闪烁器层，在包含多个柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

在该放射线检测器中，包含多个柱状结晶的闪烁器层被设置在具有多个光电转换元件的基板的主面，通过保护层被密封。在保护层的与闪烁器层相对的面，一体地形成有硬质的光功能层。于是，光功能层在保护层被固定在框体的状态下被推压至闪烁器层。由此，光功能层在包含闪烁器层的柱状结晶的前端的多个区域上与闪烁器层接触。

这样，在该放射线检测器中，使用被一体形成于保护层的硬质的光功能层。因此，可避免光功能层填充互相邻接的柱状结晶的前端之间的间隙或渗透至柱状结晶间。再者，由于光功能层对应于保护层的固定而被推压至闪烁器层，因而可避免光功能层从柱状结晶的前端分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。

另外，保护层被固定于较闪烁器层高(厚)的框体。因此，通过使用例如平板状的保护层，对应于框体和闪烁器层的高度之差的空间被形成在闪烁器层和保护层之间。因此，通过对应于该空间而形成光功能层，能够容易且可靠地实现上述结构而提高分辨率及光输出。

发明的效果

根据本发明的一个方面，可以提供能够提高分辨率及光输出的闪烁器面板及放射线检测器。

附图说明

图1为本实施方式所涉及的闪烁器面板的截面图。

图2为图1所示的闪烁器面板的俯视图。

图3为放大表示图1所示的闪烁器面板的一部分的截面图。

图4为变形例所涉及的闪烁器面板的截面图。

图5为放大表示图4所示的闪烁器面板的一部分的截面图。

图6为表示闪烁器层的变形例的截面图。

图7为表示闪烁器面板的变形例的截面图。

图8为本实施方式所涉及的放射线检测器的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发眀的一个方面的一个实施方式进行详细的说明。另外，在各图中，有时对相同部分或相当部分赋予相同符号，省略重复的说明。

本实施方式所涉及的闪烁器面板是用于将X射线等的放射线转换成可见光等的闪烁光的闪烁器面板。以下的实施方式所涉及的闪烁器面板在例如乳房摄影装置、胸部检查装置、CT装置、牙科口腔摄影装置及放射线摄影机等中作为放射线成像用的装置使用。

图1为本实施方式所涉及的闪烁器面板的截面图。图2为图1所示的闪烁器面板的俯视图。如图1、2所示，闪烁器面板1具备基板2、闪烁器层3、框体4、保护层5、光功能层6及弹性构件7。

基板2具有主面2s。基板2是例如矩形板状。基板2相对于在闪烁器层3产生的闪烁光具有透过性。基板2的厚度为例如2.0mm左右。基板2由例如FOP(光学纤维板：捆束多个光纤而构成的光学装置(例如，浜松光子学(株式会社)制J5734)等构成。

闪烁器层3对应于X射线等的放射线R的入射而产生可见光等的闪烁光。闪烁器层3被设置在基板2的主面2s上。闪烁器层3例如从与主面2s交叉(例如正交)的方向观察被形成在主面2s的矩形状的区域。闪烁器层3的外缘部以在从闪烁器层3的中心朝向边缘的方向上闪烁器层3的厚度减少的方式设置有倾斜部。因此，作为闪烁器层3的全体的截面形状例如为梯形。

闪烁器层3的厚度(上述的倾斜部以外的厚度)为例如600μm左右。闪烁器层3包含闪烁器材料的多个柱状结晶30(参照图3(b))。闪烁器材料是例如CsI：Tl之类的以CsI为主成分的材料。闪烁器层3通过例如利用真空蒸镀法等在基板2的主面2s上使柱状结晶30生长而形成。

框体4从与基板2的主面2s交叉的方向观察以包围闪烁器层3的方式被设置在主面2s上。框体4是例如矩形环状。框体4距主面2s的高度H4大于闪烁器层3距主面2s的高度H3(厚度)。框体4介于主面2s和保护层5之间且互相接合主面2s和保护层5。主面2s、框体4及保护层5形成配置有闪烁器层3、光功能层6及弹性构件7的空间。框体4以至少液密(进一步气密)地密封该空间的方式被接合于主面2s及保护层5。框体4是由例如环氧树脂等构成的透湿性低的树脂。

保护层5被配置在主面2s及闪烁器层3上。保护层5从与主面2s交叉的方向观察，被配置成覆盖闪烁器层3及框体4。保护层5是例如沿着主面2s延伸的矩形平板状。保护层5透过放射线R。保护层5的厚度为例如0.5mm以上2.0mm以下左右。保护层5是例如化学强化玻璃等的玻璃板。保护层5如上所述以至少液密地密封闪烁器层3的方式被固定(接合)在框体4。通过上述密封构造，实现了相对于闪烁器层3的防湿。

光功能层6被配置在闪烁器层3和保护层5之间。光功能层6为薄片状。即，光功能层6不具有流动性。作为一个例子，光功能层6是沿着主面2s延伸的矩形薄片状。光功能层6从与主面2s交叉的方向观察，覆盖闪烁器层3。保护层6透过放射线R。光功能层6是例如反射在闪烁器层3产生的闪烁光的光反射层或吸收闪烁光的光吸收层。光功能层6的厚度为例如100μm左右。光功能层6可以包含由颜料和粘合剂树脂构成的层。光功能层6是例如PET薄膜。

弹性构件(弹性层)7被配置在光功能层6和保护层5之间。弹性构件7是例如沿着主面2s延伸的薄片状。弹性构件7从与主面2s交叉的方向观察，以至少覆盖闪烁器层3的方式，被配置在光功能层6上。弹性构件7透过放射线R。弹性构件7被光功能层6和保护层5夹持且弹性变形(即，在与主面2s交叉的方向上被压缩)。由此，弹性构件7通过弹性力，将光功能层6推压至闪烁器层3。即，弹性构件7是对光功能层6赋予压力的压力赋予层。

弹性构件7的厚度例如为100μm以上1000μm以下左右。弹性构件7的材料是例如聚乙烯、氨基甲酸酯树脂及密胺树脂等的塑料、橡胶、以及硅酮凝胶等。弹性构件7是例如使上述塑料发泡而形成的发泡塑料的薄片、氨基甲酸酯垫(氨基甲酸酯树脂的薄片)、硅酮凝胶薄片、密胺海绵的薄片、以及薄片状的气泡缓冲材等。

图3为放大表示图1所示的闪烁器面板的一部分的截面图。图3(a)表示图1的区域Ra，图3(b)表示图1的区域Rb。如图3所示，弹性构件7在此通过粘结层8而被粘结于光功能层6，与光功能层6一体化。粘结层8是例如具有粘着性的树脂。

在此，闪烁器层3的柱状结晶30在其基端被接合于基板2的主面2s。柱状结晶30包含柱状部31和锥部32。柱状部31包含柱状结晶30中的主面2s侧的基端。柱状部31从主面2s向与主面2s交叉的方向延伸。

锥部32包含柱状结晶30的前端30t。锥部32与柱状部31一体地构成。锥部32是随着从主面2s离开而缩小的锥状。锥部32的截面形状例如为三角形状。柱状结晶30互相分离。即，在互相邻接的柱状结晶30之间形成有间隙。更具体而言，在互相邻接的柱状结晶30间，在柱状部31的侧面31s彼此之间及锥部32的侧面32s彼此之间形成有间隙。

如上所述，弹性构件7通过弹性力，将光功能层6推压至闪烁器层3。即，光功能层6通过弹性构件7的弹性力被推压，与闪烁器层3接触。在此，光功能层6与多个柱状结晶30的前端30t接触。柱状结晶30的前端30t互相分离而独立。因此，光功能层6在包含多个柱状结晶30的前端30t的多个独立区域，与闪烁器层3接触(即，以多点接触)。

另一方面，光功能层6不填充互相邻接的柱状结晶30彼此的间隙。换言之，光功能层6以维持互相邻接的柱状结晶30彼此的间隙的方式，与闪烁器层3接触。更具体而言，薄片状的光功能层6以追随着柱状结晶30的前端30t的形状的方式变形，但是仅与锥部32的侧面32s的前端30t侧的一部分接触。因此，在锥部32的侧面32s的柱状部31侧的大部分，不与光功能层6接触，维持与折射率较光功能层6及闪烁器层3低的空气层接触。再者，光功能层6不渗透至柱状部31的侧面31s彼此的间隙。因此，即使在柱状部31的侧面31s的全体中，也不与光功能层6接触，维持与空气层接触。

另一方面，例如，在通过将具有流动性的材料(液状的材料)涂布于闪烁器层3而形成光功能层的情况下，该光功能层填充锥部32的侧面32s彼此的间隙，并且渗透至柱状部31的侧面31s彼此的间隙。因此，在锥部32的侧面32s的全体以及柱状部31的侧面31s的至少一部分，形成与折射率较空气层高的光功能层的接触。

如上述说明的那样，在闪烁器面板1中，包含多个柱状结晶30的闪烁器层3被设置在基板2的主面2s，通过保护层5及框体4被密封。在闪烁器层3和保护层5之间配置有薄片状的光功能层6。在光功能层6和保护层5之间配置有弹性构件7。弹性构件7通过光功能层6和保护层5被夹持且弹性变形(被压缩)。光功能层6通过弹性构件7的弹性力而被推压至闪烁器层3。由此，光功能层6在包含柱状结晶30的前端30t的多个独立区域，与闪烁器层3接触。

这样，在闪烁器面板1中，使用薄片状的光功能层6。因此，可避免光功能层6填充互相邻接的柱状结晶30的锥部32彼此的间隙或渗透至柱状结晶30的柱状部31间。再者，由于光功能层6通过弹性构件7的弹性力被推压至闪烁器层3，因而可避免光功能层6从柱状结晶30的前端30t分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶30泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。

另外，保护层5被固定于较闪烁器层3高(厚)的框体4。因此，通过使用例如平板状的保护层5，对应于框体4和闪烁器层3的高度之差的空间被形成在闪烁器层3和保护层5之间。因此，通过在该空间配置光功能层6和弹性构件7，能够容易且可靠地实现上述结构而提高分辨率及光输出。

再者，在闪烁器面板1中，可以使弹性构件7为沿着基板2的主面2s延伸的薄片状。此时，弹性构件7可以包含例如发泡塑料。在此情况下，可以通过弹性构件7，沿主面2s均匀地推压光功能层6。

再者，在闪烁器面板1中，弹性构件7与光功能层6一体化。因此，容易构成为通过弹性构件7将光功能层6推压至闪烁器层3。

再有，弹性构件7的厚度可以设成例如100μm以上1000μm以下左右。若弹性构件7的厚度为100μm以上，则可以取得对于将光功能层6推压至闪烁器层3而接触于闪烁器层3而言充分的弹性力。若弹性构件7的厚度为1000μm以下，则可避免闪烁器面板1的大型化(厚度增加)。即，若将弹性构件7的厚度设为100μm以上1000μm以下，则可以兼得闪烁器面板1的小型化(厚度增加的抑制)和分辨率及光输出的提高。

图4为变形例所涉及的闪烁器面板的截面图。图5为放大表示图4所示的闪烁器面板的一部分的截面图。图5(a)表示图4的区域Ra。图5(b)表示图4的区域Rb。如图4、5所示，闪烁器面板1A在具备闪烁器层3A以替代闪烁器层3的方面、以及弹性构件7与保护层5一体化的方面，与闪烁器面板1不同。

闪烁器层3A在包含柱状结晶30A以替代柱状结晶30的方面，与闪烁器层3不同。柱状结晶30A在具有锥部32A以替代锥部32的方面，与柱状结晶30不同。锥部32A包含柱前端30t。锥部32A被构成为与柱状部31一体。锥部32A是随着从主面2s离开而缩小的锥状。锥部32A的截面形状例如为梯形。

在此，柱状结晶30A的前端30t通过例如加压处理、加热处理、激光等的能量线照射处理、研磨处理及研削处理的至少一个而被平坦化。即，柱状结晶30A的前端30t是通过锥部32A的侧面32s的边缘部而被规定的平坦面。

弹性构件7通过粘结层8而被粘结于保护层5，与保护层5一体化。光功能层6通过弹性构件7的弹性力被推压，与闪烁器层3A接触。在此，光功能层6与多个柱状结晶30A的前端30t接触。即，光功能层6在包含多个柱状结晶30A的前端30t的多个独立的平坦的区域上，与闪烁器层3A接触(即，以多点接触)。

在此，光功能层6也不填充互相邻接的柱状结晶30A彼此的间隙。即，光功能层6以维持互相邻接的柱状结晶30A彼此的间隙的方式，与闪烁器层3A接触。更具体而言，光功能层6仅与通过锥部32A的侧面32s规定的平坦面(前端30t)接触。因此，在锥部32A的侧面32s的大致全体中，不与光功能层6接触，维持与折射率较光功能层6及闪烁器层3A低的空气层接触。再者，光功能层6不渗透至柱状部31的侧面31s彼此的间隙。因此，即使在柱状部31的侧面31s的全体中，也不与光功能层6接触，维持与空气层接触。

这样，即使在柱状结晶30A的前端30t被平坦化的情况下，若设为通过弹性构件7的弹性力将薄片状的光功能层6推压至闪烁器层3A而接触于闪烁器层3A的结构，则与闪烁器面板1相同，能够提高分辨率及光输出。

再者，在闪烁器面板1A中，弹性构件7与保护层5一体化。因此，容易构成为通过弹性构件7将光功能层6推压至闪烁器层3A。

以上的实施方式是例示本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板的一个实施方式的方式。因此，本发明的一个方面并不限定于上述闪烁器面板1、1A。本发明的一个方面可以在不变更各权利要求的主旨的范围内设为将上述闪烁器面板1、1A任意地变形后的闪烁器面板或适用于其他方面。

例如，如图6所示，在闪烁器面板1中，可以使用闪烁器层3B以替代闪烁器层3。闪烁器层3B在具有柱状结晶30B以替代柱状结晶30的方面，与闪烁器层3不同。柱状结晶30B在前端30t被平坦化的方面，与柱状结晶30不同。柱状结晶30B以除去柱状结晶30的锥部32的全体的方式，通过使前端30t平坦化而被构成。即，柱状结晶30B仅具有柱状部31。

在此情况下，薄片状的光功能层6通过弹性构件7的弹性力而被推压，仅与通过柱状部31的侧面31s的边缘部规定的平坦面(前端30t)接触。因此，与使用闪烁器层3的情况相同，能够提高分辨率及光输出。

另外，在闪烁器面板1中，与闪烁器面板1A相同，也可以使弹性构件7与保护层5一体化。再者，在闪烁器面板1A中，与闪烁器面板1相同，也可以使弹性构件7与光功能层6一体化。再者，即使在闪烁器面板1A中，也可以使用闪烁器层3B以替代闪烁器层3A。

在此，本发明的一个方面所涉及的闪烁器面板也可以适用于图7所示的闪烁器面板1C。闪烁器面板1C在具备光功能层9以替代光功能层6的方面及不具备弹性构件7的方面，与闪烁器面板1不同。

光功能层9被配置在闪烁器层3和保护层5之间。光功能层9被形成于保护层5的与闪烁器层3相对的面5s。光功能层9可以例如通过对保护层5的面5s配置由具有反射或吸收等的光功能的颜料和粘合剂树脂构成的树脂层，并使该树脂层干燥而硬化而制作。因此，光功能层9为硬质。即，光功能层9不具有流动性。再者，光功能层9一体地形成于保护层5的面5s。另外，光功能层9为硬质，是指如上所述通过使包含树脂的材料硬化而被形成，从而具有对应于硬化的树脂的硬度的硬度。

这样的光功能层9在保护层5被固定在框体4的状态下(通过被固定)，被推压至闪烁器层3。由此，光功能层9与闪烁器层3接触。特别是光功能层9在包含多个柱状结晶30的前端30t的多个独立区域，与闪烁器层3接触(即，以多点接触)。

如上述说明的那样，在闪烁器面板1C中，在保护层5的与闪烁器层3相对的面5s，硬质的光功能层9被一体地形成。光功能层9在保护层5被固定在框体4的状态下，被夹持在保护层5和闪烁器层3之间而被推压至闪烁器层3。因此，光功能层9在包含闪烁器层3的柱状结晶30的前端30t的多个区域上与闪烁器层3接触。

这样，在闪烁器面板1C中，使用被一体形成于保护层5的硬质的光功能层9。因此，可避免光功能层9填充互相邻接的柱状结晶30的前端30t之间的间隙或渗透至柱状结晶30间。再者，由于光功能层9对应于保护层5的固定而被推压至闪烁器层3，因而可避免光功能层9从柱状结晶30的前端30t分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶30泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。即，保护层5和光功能层9可以取得与组合上述保护层5、光功能层6和弹性构件7的组合同等的特性。

另外，即使在闪烁器面板1C中，也可以使用闪烁器层3A或闪烁器层3B以替代闪烁器层3。

在上述实施方式中，对将本发明的一个方面适用于闪烁器面板(例如，闪烁器面板1、1A、1C)的情况进行了说明。在这样的闪烁器面板中，通过将具有光电转换元件的传感器面板(例如，TFT面板或CMOS影像传感器面板)作为基板使用，可以构成放射线检测器。接着，对放射线检测器的一个实施方式进行说明。

图8为本实施方式所涉及的放射线检测器的截面图。如图8所示般，放射线检测器1D在具备作为传感器面板的基板2D以替代基板2的方面，与闪烁器面板1不同。基板(传感器面板)2D具有主面2s和被形成在主面2s的多个光电转换元件10。更具体而言，基板2D具有包含主面2s的板状的基部2p。再者，光电转换元件10沿着主面2s排列成二维状。

闪烁器层3通过例如蒸镀等而被设置在主面2s和光电转换元件10上。在此，在主面2s及光电转换元件10上，形成有钝化膜或平坦化膜等的膜部11。闪烁器层3隔着膜部11而被设置在主面2s和光电转换元件10上。闪烁器层3光学性地与光电转换元件10结合。因此，光电转换元件10输入在闪烁器层3中产生的闪烁光，输出对应于闪烁光的电信号。电信号通过无图示的配线等而被取出至外部。由此，放射线检测器1D检测出放射线R。

放射线检测器1D至少实现与上述闪烁器面板1所实现的效果相同的效果。更具体而言，在放射线检测器1D中，包含多个柱状结晶30的闪烁器层3被设置在具有多个光电转换元件10的基板2D的主面2s，通过保护层5被密封。在闪烁器层3和保护层5之间配置薄片状的光功能层6，在光功能层6和保护层5之间配置弹性构件7。弹性构件7通过光功能层6和保护层5被夹持且弹性变形。光功能层6通过弹性构件7的弹性力而被推压至闪烁器层3，在包含闪烁器层3的柱状结晶30的前端30t的多个区域上，与闪烁器层3接触。

这样，在该闪烁器面板1D中，使用薄片状的光功能层6。因此，可避免光功能层6填充互相邻接的柱状结晶30的锥部32彼此的间隙或渗透至柱状结晶30的柱状部31间。再者，由于光功能层6通过弹性构件7的弹性力而被推压至闪烁器层3，因而可避免光功能层6从柱状结晶30的前端30t分离。因此，抑制了闪烁光从柱状结晶30泄漏。因此，提高了分辨率及光输出。

另外，保护层5被固定于较闪烁器层3高(厚)的框体4。因此，通过使用例如平板状的保护层5，对应于框体4和闪烁器层3的高度之差的空间被形成在闪烁器层3和保护层5之间。因此，通过在该空间配置光功能层6和弹性构件7，能够容易且可靠地实现上述结构而提高分辨率及光输出。

在此，根据放射线检测器1D，可以实现下述那样的另外的效果。即，放射线检测器1D通过在作为传感器面板的基板2D上(及膜部11上)，利用例如蒸镀等直接地形成闪烁器层3而被构成。因此，在构成放射线检测器时，不需要将相互分开准备的传感器面板和闪烁器面板贴合。但是，在闪烁器面板1、1A、1C中，也可以对基板2中的主面2s的相反侧的背面另外设置传感器面板而构成放射线检测器。

另外，放射线检测器1D也可以使用闪烁器层3A或闪烁器层3B以替代闪烁器层3。再者，在放射线检测器1D中，弹性构件7也可以如闪烁器面板1那样与光功能层6一体化，也可以如闪烁器面板1A那样与保护层5一体化。再有，也可以通过将闪烁器面板1C的基板2变更成基板2D而构成放射线检测器。该情况下的放射线检测器具备被一体地形成于保护层5的与闪烁器层3相对的面5s的硬质的光功能层9以替代光功能层6，并且不具备弹性构件7。

产业上的利用可能性

可以提供能够提高分辨率及光输出的闪烁器面板及放射线检测器。

符号的说明

1、1A、1C…闪烁器面板、1D…放射线检测器、2、2D…基板、2s…主面、3、3A、3B…闪烁器层、4…框体、5…保护层、5s…面、6…光功能层、7…弹性构件、9…光功能层、10…光电转换元件、30、30A、30B…柱状结晶、30t…前端、R…放射线、H3、H4…高度。

Claims (14)

1.一种闪烁器面板，其特征在于，

是用于将放射线转换成闪烁光的闪烁器面板，

具备：

基板，其具有主面，且相对于所述闪烁光具有透过性；

闪烁器层，其被设置在所述主面上；

框体，其从与所述主面交叉的方向观察以包围所述闪烁器层的方式被设置在所述主面上；

保护层，其被配置在所述主面及所述闪烁器层上，且以密封所述闪烁器层的方式被固定于所述框体；

薄片状的光反射层或光吸收层，其被配置在所述闪烁器层和所述保护层之间；及

弹性构件，其被所述光反射层或光吸收层和所述保护层夹持且弹性变形，

所述框体距所述主面的高度大于所述闪烁器层距所述主面的高度，

所述闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，

所述光反射层或光吸收层通过所述弹性构件的弹性力而被推压至所述闪烁器层，在包含多个所述柱状结晶的前端的多个区域上与所述闪烁器层接触，

所述光反射层或光吸收层以维持互相邻接的所述柱状结晶彼此的间隙的方式，与所述闪烁器层接触。

2.如权利要求1所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述弹性构件是沿着所述主面延伸的薄片状。

3.如权利要求2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述弹性构件包含发泡塑料。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述弹性构件与所述光反射层或光吸收层、或所述保护层一体化。

5.如权利要求1～3中的任一项所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述柱状结晶的所述前端被平坦化。

6.如权利要求4所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述柱状结晶的所述前端被平坦化。

7.一种放射线检测器，其特征在于，

具备：

基板，其具有主面和被形成在所述主面上的多个光电转换元件；

闪烁器层，其被设置在所述光电转换元件上，用于将放射线转换成闪烁光；

框体，其从与所述主面交叉的方向观察以包围所述闪烁器层的方式被设置在所述主面上；

保护层，其被配置在所述主面及所述闪烁器层上，且以密封所述闪烁器层的方式被固定于所述框体；

薄片状的光反射层或光吸收层，其被配置在所述闪烁器层和所述保护层之间；及

弹性构件，其被所述光反射层或光吸收层和所述保护层夹持且弹性变形，

所述框体距所述主面的高度大于所述闪烁器层距所述主面的高度，

所述闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，

所述光反射层或光吸收层通过所述弹性构件的弹性力而被推压至所述闪烁器层，在包含多个所述柱状结晶的前端的多个区域上与所述闪烁器层接触，

所述光反射层或光吸收层以维持互相邻接的所述柱状结晶彼此的间隙的方式，与所述闪烁器层接触。

8.如权利要求7所述的放射线检测器，其特征在于，

所述弹性构件是沿着所述主面延伸的薄片状。

9.如权利要求8所述的放射线检测器，其特征在于，

所述弹性构件包含发泡塑料。

10.如权利要求7～9中的任一项所述的放射线检测器，其特征在于，

所述弹性构件与所述光反射层或光吸收层、或所述保护层一体化。

11.如权利要求7～9中的任一项所述的放射线检测器，其特征在于，

所述柱状结晶的所述前端被平坦化。

12.如权利要求10所述的放射线检测器，其特征在于，

所述柱状结晶的所述前端被平坦化。

13.一种闪烁器面板，其特征在于，

是用于将放射线转换成闪烁光的闪烁器面板，

具备：

基板，其具有主面，且相对于所述闪烁光具有透过性；

闪烁器层，其被设置在所述主面上；

框体，其从与所述主面交叉的方向观察以包围所述闪烁器层的方式被设置在所述主面上；

保护层，其被配置在所述主面及所述闪烁器层上，且以密封所述闪烁器层的方式被固定于所述框体；及

硬质的光反射层或光吸收层，其被一体地形成于所述保护层的与所述闪烁器层相对的面，

所述框体距所述主面的高度大于所述闪烁器层距所述主面的高度，

所述闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，

所述光反射层或光吸收层在所述保护层被固定于所述框体的状态下，被推压至所述闪烁器层，在包含多个所述柱状结晶的前端的多个区域上与所述闪烁器层接触，

所述光反射层或光吸收层以维持互相邻接的所述柱状结晶彼此的间隙的方式，与所述闪烁器层接触。

14.一种放射线检测器，其特征在于，

具备：

基板，其具有主面和被形成在所述主面上的多个光电转换元件；

闪烁器层，其被设置在所述光电转换元件上，用于将放射线转换成闪烁光；

框体，其从与所述主面交叉的方向观察以包围所述闪烁器层的方式被设置在所述主面上；

保护层，其被配置在所述主面及所述闪烁器层上，且以密封所述闪烁器层的方式被固定于所述框体；及

硬质的光反射层或光吸收层，其被一体地形成于所述保护层的与所述闪烁器层相对的面，

所述框体距所述主面的高度大于所述闪烁器层距所述主面的高度，

所述闪烁器层包含闪烁器材料的多个柱状结晶，

所述光反射层或光吸收层在所述保护层被固定于所述框体的状态下，被推压至所述闪烁器层，在包含多个所述柱状结晶的前端的多个区域上与所述闪烁器层接触，

所述光反射层或光吸收层以维持互相邻接的所述柱状结晶彼此的间隙的方式，与所述闪烁器层接触。

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