TW201712225A - 風扇洗滌器及真空泵裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種能夠抑制由於被抽吸到殼體內部的氣體而使馬達受到損傷的情況的風扇洗滌器以及真空泵裝置。 風扇洗滌器具備：殼體，具有氣體吸入口以及氣體吐出口；風扇，被配置於殼體內；噴嘴，向殼體內噴出液體；密封馬達，連接於風扇。密封馬達具有：連接於風扇的主軸、與主軸一體旋轉的轉子、配置於轉子的外周的定子、容納轉子和定子的馬達殼體、以及在馬達殼體內將配置有轉子的轉子室和配置有定子的定子室劃分的殼。

Description

風扇洗滌器及真空泵裝置
本發明涉及一種風扇洗滌器以及真空泵裝置。
真空泵裝置作為半導體、液晶、太陽光面板或LED等的製造設備的一種而被廣泛使用。在這些製造處理等中，將真空泵連接於真空室，從而通過真空泵對被導入至真空室內的處理氣體進行真空抽取。在通過真空泵進行真空抽取的氣體中會有包含如下氣體的情形，即，包含矽烷氣體(SiH4)或鹵素氣體(NF3、CLF3，SF6，CHF3，C2F6，CF4等)的氣體。這些氣體為有害可燃性或難分解性的氣體，因此無法就此排放到大氣中。因此，一直以來，在真空泵裝置中，在真空泵的後段設置了對真空抽取的氣體進行無害化處理的除害裝置。
此外，存在如下情況，即，通過真空室內的反應等而固體化的物質或容易固體化的物質作為反應副生成物而混入從真空泵排出的處理氣體中。當該生成物侵入到除害裝置中時，就會有導致配管以及除害裝置的堵塞或除害裝置的處理效率的降低之虞。因此，存在如下情況， 即，在真空泵裝置與除害裝置之間設置有用於除掉異物的異物去除機構。
作為異物去除機構，例如能夠使用過濾器或捕集器等。雖然過濾器或捕集器能夠通過簡單的結構來去除異物，但是需要定期地進行過濾器的更換等維護。此外，作為異物去除機構，還已知有一種具備對氣體進行攪拌的風扇、對風扇進行驅動的馬達和噴出液體的噴嘴的風扇洗滌器。在風扇洗滌器中，通過從噴嘴噴出的液體來捕捉異物。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2003-251130號公報
在除害裝置的前段設置風扇洗滌器作為異物去除機構的情況下，被真空抽取的氣體有可能通過風扇和馬達的軸承而侵入到馬達的內部。還存在被真空抽取的氣體中包含具有腐蝕性的氣體或對人體有害的氣體的情況，當這些氣體侵入到馬達內部時將成為使馬達的定子等劣化的原因。
對此，為了使氣體不侵入馬達內部，還考慮到一種經由機械密封以及聯軸器等對設置有風扇的清洗機室和馬達進行連接的情況。但是，機械密封存在由於真 空抽取的氣體所包含的氣體而發生劣化的情況，且在這種情況下維護的頻率將會變大從而使風扇洗滌器的保養費用增加。此外，由於在使用聯軸器的情況下，當電機的主軸和風扇的旋轉軸的軸心錯開時就成為馬達的振動以及噪聲的原因，因此在風扇洗滌器的製造中需要充分的經驗和特殊的工具及模具。
本發明是為了解決上述課題的至少一部分而做成的，其目的之一在於提供一種風扇洗滌器以及真空泵裝置，能夠抑制由於被抽吸到殼體內部的氣體而使馬達受到損傷的情況。此外，本發明的目的之一在於，提供一種能夠降低維護費用、結構簡單的風扇洗滌器以及真空泵裝置。
本發明的風扇洗滌器具備：殼體，具有氣體吸入口以及氣體吐出口；風扇，被配置於殼體內；噴嘴，向殼體內噴出液體；以及密封馬達，連接於風扇。密封馬達具有：連接於風扇的主軸、與主軸一體旋轉的轉子、被配置於轉子的外周的定子、容納轉子和定子的馬達殼體、以及在馬達殼體內將配置有轉子的轉子室和配置有定子的定子室劃分的殼。
10‧‧‧真空泵裝置
12‧‧‧真空泵
14‧‧‧除害裝置
20、20A至20C‧‧‧風扇洗滌器
22‧‧‧殼體
22a‧‧‧氣體吸入口
22b‧‧‧氣體吐出口
22c‧‧‧液體排出口
23‧‧‧碰撞板
24‧‧‧風扇
26‧‧‧液體吐出部
27‧‧‧噴嘴
27B‧‧‧第二噴嘴
27C‧‧‧第三噴嘴
28‧‧‧液體供給管
29‧‧‧刮板
30、30A‧‧‧密封馬達
31、31A‧‧‧主軸
32‧‧‧轉子
33‧‧‧定子
38‧‧‧貫通孔
40‧‧‧馬達殼體
41‧‧‧定子框架
42、43‧‧‧框架側板
44、45‧‧‧托架
45a‧‧‧貫通孔
46、47‧‧‧滑動軸承
46a、47a‧‧‧滑動面
46b、47b‧‧‧凹部
48‧‧‧轉子室
49‧‧‧定子室
50‧‧‧殼
第1圖是表示本實施方式的真空泵裝置的結構概略的圖。
第2圖是表示第一實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。
第3圖是表示滑動軸承以及主軸的截面的一例的圖。
第4圖是表示第二實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。
第5圖是表示第三實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。
第6圖是表示第四實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。
以下，根據附圖來對本發明的一實施方式所涉及的風扇洗滌器以及真空泵裝置進行說明。另外，在附圖中，對於同一或相當的結構要素標注同一符號並省略重複的說明。本實施方式的真空泵裝置例如能夠作為半導體、液晶、太陽光面板或LED等的製造設備之一而利用。
第1圖是表示本實施方式的真空泵裝置的結構概略的圖。本實施方式的真空泵裝置10連接於未圖示的腔室，並具備對腔室進行真空抽取的真空泵12、連接於真空泵12的後段的風扇洗滌器20以及除害裝置14。在本實施方式中，泵12作為一例而使用乾式真空泵。
風扇洗滌器20是為了對來自真空泵12的氣體所包含的固體化物(例如反應副生成物)等異物進行去除而設置的。此外，除害裝置14是為了對來自真空泵12的氣體進行無害化處理而設置的。作為除害裝置14，能夠使 用燃燒式、乾式、濕式、加熱式、氟固定式、觸媒式、電漿式、稀釋單元式(風機、N2添加、空氣添加)等之中的一種或多種。
在本實施方式的真空泵裝置10中，通過真空泵12而被真空抽取的氣體首先被引導至風扇洗滌器20內，且通過了風扇洗滌器20的氣體被引導至除害裝置14內。通過該結構，能夠抑制固體化物等異物被引導至除害裝置14的情況，能夠抑制產生除害裝置14的堵塞或處理效率的降低。
此外，在本實施方式中，為了在風扇洗滌器20中捕集異物而被利用後的液體(廢液)被導入至除害裝置14(在第1圖中，參照附帶陰影線的部分)。由此，能夠在除害裝置14中對在風扇洗滌器20中被利用的液體(以下，稱為清洗液)進行再利用。在此，作為除害裝置14中的清洗液的再利用，例如，既可以為了與風扇洗滌器20相同地對通過除害裝置14而從氣體固體化之後的固體化物進行捕集，也可以為了與通過除害裝置14的氣體進行熱交換而利用。此外，還可以為了除害裝置14的結構要素的潤滑或冷卻等而利用清洗液。此外，來自風扇洗滌器20的液體也可以穿過濾器或捕集器等捕集異物的機構而被送至除害裝置14。
(第一實施方式)
接下來，對本實施方式的真空泵裝置10所具備的風扇洗滌器20進行說明。第2圖是表示第一實施方式的風扇洗 滌器的結構概略的圖。另外，在第2圖中，粗線箭頭標記表示從噴嘴27吐出的清洗液的路徑，較粗的點劃線箭頭標記表示穿過密封馬達30內的清洗液的路徑。本實施方式的風扇洗滌器20從氣體吸入口22a吸入從真空泵12吐出的氣體。而且，風扇洗滌器20對吸入的氣體所包含的固體化物等異物進行清除，並將處理後的氣體從氣體吐出口22b向除害裝置14輸送。風扇洗滌器20具備殼體22、風扇24、液體吐出部26和密封馬達30。
殼體22對作為處理對象的氣體的流路進行劃定。在殼體22上形成有將來自真空泵12的氣體向殼體22內的風扇24引導的氣體吸入口22a、吐出吸入的氣體的氣體吐出口22b以及將清洗液作為廢液而吐出的液體排出口22c。在本實施方式中，氣體吸入口22a形成於殼體22的側面，並對來自真空泵12的氣體沿著風扇24的旋轉軸AL進行引導。此外，在本實施方式中，氣體吐出口22b形成於殼體22的上表面，液體排出口22c形成於殼體22的下表面。但是，並不僅限於該例，氣體吸入口22a、氣體吐出口22b、以及液體排出口22c只要形成於殼體22的任意的位置即可。此外，氣體吸入口22a、氣體吐出口22b以及液體排出口22c也可以形成有傾斜等，以使流體或異物順暢地流動。
在殼體22的內部配置有風扇24。風扇24被安裝在密封馬達30的主軸31上，並通過來自密封馬達30的動力進行旋轉而對殼體22內進行攪拌。風扇24只要 能夠對從氣體吸入口22a被吸入到殼體22內的氣體進行攪拌並引導至氣體吐出口22b，則也可以為任意的結構。作為一例，風扇24能夠採用具有相對的兩片圓盤狀的側板和被固定在這些側板之間的多個葉片的結構。
此外，在殼體22的內部設置有液體吐出部26。液體吐出部26向殼體22內噴出清洗液。作為清洗液，作為一例能夠使用水。此外，通過作為清洗液，使用包含氫氧化類(例如氫氧化鈉、氫氧化鉀)等的液體的鹼性的液體，從而能夠提高異物的捕集效率，並且能夠抑制殼體22以及風扇24等的腐蝕。另外，清洗液只要根據所要捕集的異物而決定即可。
液體吐出部26具有形成有多個噴出口的噴嘴27以及與噴嘴27連通的液體供給管28。液體吐出部26通過未圖示的壓送機構並經由液體供給管28而將清洗液供給至噴嘴27，並從噴嘴27吐出清洗液。在本實施方式中，噴嘴27以與風扇24的旋轉軸(屏蔽電機30的主軸31)相對的方式而被設置在風扇24的內側，並從風扇24的中央向外周吐出清洗液。此外，為了不妨礙風扇24的旋轉，液體供給管28以延伸至氣體吸入口22a內的方式而被配設。
此外，在殼體22，在風扇24與氣體吐出口22b之間形成有碰撞板23。雖然從噴嘴27噴出的清洗液由於風扇24的離心力而向外周飛散，但是通過設置有碰撞板23從而能夠抑制清洗液侵入氣體吐出口22b的情況。另 外，碰撞板23不僅形成於風扇24與氣體吐出口22b之間，例如也可以形成為覆蓋風扇24的大致整個外周。
密封馬達30的主軸31被連結於風扇24，從而向風扇24提供旋轉驅動力。主軸31以及風扇24以軸線AL為中心進行旋轉。如圖示那樣，密封馬達30具備主軸31、轉子32、定子33、馬達殼體40和殼50。
轉子32具有轉子鐵心與二次導體電連接的結構。此外，定子33具有在定子鐵心上安裝有繞組的結構。繞組的一部分在定子33的軸線AL方向的兩端處朝向定子鐵心的外部突出。在密封馬達30中，通過對定子33的繞組通電而產生的電磁感應，使轉子32以及主軸31旋轉。
馬達殼體40包含定子框架41、框架側板42、43和托架44、45。定子框架41具有沿著軸線AL形成有內部空間的圓筒形狀。在該定子框架41之中配置有定子33。定子33通過在定子框架41的內部嵌入定子鐵心，從而與軸線AL同心地固定在定子框架41上。在定子33的內周側同心地配置有轉子32。
在該轉子32與定子33之間設置有殼50。殼50將轉子32和定子33予以隔離。即，殼50將馬達殼體40的內部劃分為配置有轉子32的轉子室48和配置有定子33的定子室49。殼50形成為沿著軸線AL延伸而形成的圓筒形狀。軸線AL也是殼50的軸線。軸線AL方向上的殼50的兩端被開放(開口)。該殼50以殼50與轉子32 之間產生略微間隙的狀態被貼附於定子33(更加具體而言，定子鐵心)的內表面。
在殼50的軸線AL方向上的兩端側配置有框架側板42、43。該框架側板42、43具有大致圓筒形狀。框架側板42、43在軸線AL方向上的密封馬達30的兩端處被嵌入定子框架41與殼50之間。而且，作為收納有定子33的空間的定子室49通過定子框架41、殼50和框架側板42、43而被密封。
框架側板42、43與托架44、45在軸線AL方向上的密封馬達30的兩端側被緊固連結。而且，作為收納有轉子32的空間的轉子室48藉由殼50和托架44、45而被劃定。在風扇24側(負載側)框架側板42與托架44緊固連結。在本實施方式中，負載側的托架44與殼體22直接連結。在負載側的托架44上形成有用於插通主軸31的貫通孔，並在該貫通孔中設置有對主軸31進行軸支撐的滑動軸承46。此外，在與風扇24相反的一側(反負載側)的端部，框架側板43與托架45緊固連結。此外，在反負載側的托架45設置有對主軸31進行軸支撐的滑動軸承47。而且，在本實施方式中，為了使滑動軸承47與外部連通而在反負載側的托架45形成有貫通孔(液體流入口)45a。在該貫通孔45a連接有用於向轉子室內供給清洗液的未圖示的壓送機構。
第3圖是表示滑動軸承以及主軸的截面的一例的圖。在本實施方式中，滑動軸承46、47將風扇洗滌 器20的清洗液作為工作流體並通過滑動面46a、47a來承受主軸31。此外，本實施方式的滑動軸承46、47在滑動面46a、47a上形成有凹部46b、47b。在第3圖所示的示例中，三個凹部46b、47b形成於在圓周方向上均勻的位置處。另外，凹部46b、47b既可以如第3圖所示那樣截面為矩形形狀，也可以截面為V字形狀或半圓形狀等。
如第2圖中較粗的點劃線箭頭標記所示那樣，當從未圖示的壓送機構穿過貫通孔(液體流入口)45a而向反負載側的滑動軸承47供給清洗液時，清洗液將穿過滑動軸承47與主軸31之間並向轉子室48移動。接著，清洗液在轉子室48內穿過轉子32與殼50之間而朝向負載側的滑動軸承46。而且，清洗液穿過滑動軸承46與主軸31之間(液體吐出口)而向殼體22內排出。
在以上所說明的本實施方式的風扇洗滌器20中，密封馬達30的轉子32與定子33通過殼50而被隔離。因此，即使殼體22內的氣體經由負載側的滑動軸承46而侵入到密封馬達30內部，也能夠防止侵入的氣體與定子33接觸的情況，從而能夠防止定子33劣化的情況。因此，能夠抑制由於殼體22內的氣體而使驅動風扇24的電機受到損傷的情況。
此外，在風扇洗滌器20中，清洗液穿過貫通孔45a和滑動軸承47而被供給至轉子室48，且清洗液穿過滑動軸承46而被吐出至殼體22內。由此，能夠使作為滑動軸承47的工作流體的清洗液與從噴嘴27吐出的清 洗液一起排出並進行處理。此外，還能夠通過使清洗液向轉子室48內流動從而進行密封馬達30的冷卻。而且，通過穿過滑動軸承46而從轉子室48向殼體22內吐出清洗液，從而能夠抑制氣體從殼體22內侵入轉子室48內的情況。
此外，在風扇洗滌器20中，馬達殼體40中的托架44與殼體22直接連結。由此，能夠容易地確保殼體22與馬達殼體40之間的氣密，從而能夠抑制被吸入到殼體內的氣體漏出到外部的情況。因此，例如，與從殼體22與馬達殼體40之間的間隙向殼體22內進行氮淨化的情況相比，能夠將風扇洗滌器20設為簡單的結構。另外，馬達殼體40與殼體22之間的連結既可以為由螺絲實施的緊固連結，也可以為由粘合劑實施的粘合，還可以為焊接等。
此外，在風扇洗滌器20中，在密封馬達30的主軸31直接安裝有風扇24。即，由於在主軸31與風扇24之間並未介設有聯軸器等動力傳遞機構，因此不存在從動力傳遞機構等漏出氣體以及液體的情況。此外，能夠不進行風扇24與主軸31之間的調芯而容易地製造風扇洗滌器20。
(第二實施方式)
第4圖是表示第二實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。第二實施方式的風扇洗滌器20A除了朝噴嘴27的清洗液的供給路徑與第一實施方式不同以外，關於其他點 均與第一實施方式相同。
在第二實施方式的風扇洗滌器20A中，在密封馬達30A的主軸31A的中心處形成有貫通孔38。即，主軸31A形成為中空。而且，在第二實施方式的風扇洗滌器20A中，將主軸31A的內部(貫通孔38)設為液體供給流路並穿過主軸31A的內部而向噴嘴27供給清洗液。
在此，一般而言，即使工作流體的量不那麼大，滑動軸承46、47也發揮作用。因此，為了能夠充分地確保從噴嘴27噴出的清洗水的量，較佳的方式為，噴嘴27的噴出口的開口面積比將轉子室48和殼體22連結的液體吐出口(滑動軸承46與主軸31的間隙，參照第3圖)的開口面積還大。
如上述那樣，在第一實施方式的風扇洗滌器20中，液體供給管28被配設於氣體吸入口22a內。在這種情況下，存在如下可能性，即，流過氣體吸入口22a的氣體通過在液體供給管28中流動的清洗液而被冷卻從而產生固體化物，並堆積在氣體吸入口22a中。相對於此，在第二實施方式的風扇洗滌器20A中，由於清洗液從密封馬達30A側向噴嘴27被供給，因此能夠抑制異物堆積在氣體吸入口22a中的情況。此外，在風扇洗滌器20A中，能夠從反負載側的托架45的貫通孔45a向噴嘴27以及轉子室48供給清洗液，從而能夠使清洗液的流路簡化以及實現風扇洗滌器20A的省空間化。
(第三實施方式)
第5圖是表示第三實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。第三實施方式的風扇洗滌器20B除了在具備第二噴嘴27B這一點上與第一實施方式不同以外，關於其他點均與第一實施方式相同。
第三實施方式的風扇洗滌器20B具備向氣體吸入口22a噴出清洗液的第二噴嘴27B。第二噴嘴27B如第5圖所示那樣被設置在氣體吸入口22a內，並從未圖示的壓送機構供給清洗液。具體而言，第二噴嘴27B被設置於比氣體吸入口22a中配置有液體供給管28的部位更靠上游處。通過該結構，即使在液體供給管28的附近氣體被冷卻而產生固體化物，藉由從第二噴嘴27B噴出清洗液，能夠抑制異物堆積在氣體吸入口22a的情況。
(第四實施方式)
第6圖是表示第四實施方式的風扇洗滌器的結構概略的圖。第四實施方式的風扇洗滌器20C除了在具備刮板29以及第三噴嘴27C這一點上與第一實施方式不同以外，關於其他點均與第一實施方式相同。
第四實施方式的風扇洗滌器20C具備沿著氣體吸入口22a的內壁面移動的刮板29。作為一例，刮板29如第6圖中通過虛線所示那樣，通過未圖示的促動器而在氣體吸入口22a內以直線狀移動。刮板29通過在氣體吸入口22a內進行移動並對氣體吸入口22a的內壁面進行刮撓，從而將堆積在氣體吸入口22a內的異物向下游進行擠出。藉由以該方式設置刮板29，從而能夠抑制異物堆積在 氣體吸入口22a的情況。在此，較佳的方式為，風扇洗滌器20C如第6圖所示那樣，被設置在氣體的流路形成於垂直方向的位置處。如此，能夠使被刮板29刮撓的異物通過重力而朝向下游。
此外，風扇洗滌器20C具備向刮板29的下游噴出清洗液的第三噴嘴27C。對於第三噴嘴27C，從未圖示的壓送機構供給有清洗液。第三噴嘴27C例如既可以向刮板29能夠移動的範圍中的最下游側的位置吐出清洗液，也可以如第6圖所示那樣，在刮板29在垂直方向上移動時設置於刮板29的下方。藉由該結構，能夠藉由從第三噴嘴27C噴出的清洗液而使通過刮板29而向下游被擠出的異物向下游流動。因此，能夠進一步抑制異物堆積在氣體吸入口22a的情況。
(變形例)
在上述的風扇洗滌器20中，採用如下方式，即，通過轉子室48而向殼體22排出的清洗液原封不動地從液體排出口22c排出。但是，也可以構成為，通過轉子室48的清洗液從噴嘴27噴出。
雖然在上述的風扇洗滌器20中，從噴嘴27噴出的清洗液與通過轉子室48的清洗液為相同的液體，但是也可以使用不同的液體。例如，也可以構成為，潤滑油或冷卻水向轉子室48流動。此外，雖然在上述的風扇洗滌器20中，採用了通過轉子室48後的液體朝殼體22內排出的方式，但是也可以向外部排出。
在上述的風扇洗滌器20中採用了如下方式，即，作為主軸31的軸承而使用了在滑動面46a、47a上形成有凹部46b、47b的滑動軸承46、47。但是，也可以取代滑動軸承46、47的滑動面46a、47a而在主軸31的外周面上形成有凹部，或者除了滑動軸承46、47的滑動面46a、47a以外，還在主軸31的外周面上形成有凹部。此外，也可以使用未形成有凹部46b、47b的滑動軸承。而且，也可以取代滑動軸承而使用球軸承等其他的軸承結構，或者除了滑動軸承以外，還使用球軸承等其他的軸承結構。
雖然在上述的真空泵裝置10中，採用了在真空泵12的後段設置有風扇洗滌器20和除害裝置14的方式，但是也可以還具備其他結構。此外，也可以在除害裝置14的後段具備風扇洗滌器20。此外，在上述的真空泵裝置10中，採用了向除害裝置14導入在風扇洗滌器20中被利用的清洗液的方式。但是，取代於此，也可以將在除害裝置14中被利用的液體供給至噴嘴27等的風扇洗滌器20。此外，即使不對廢液進行再利用亦可。
上述的實施方式以及變形例包含以下的技術思想。
一種風扇洗滌器，具備：殼體，該殼體具有氣體吸入口以及氣體吐出口；風扇，該風扇被配置於所述殼體內；噴嘴，該噴嘴向所述殼體內噴出液體；以及密封馬達，該密封馬達具有連接於所述風扇的主軸、 與所述主軸一體旋轉的轉子、被配置於所述轉子的外周的定子、對所述轉子和所述定子進行收納的馬達殼體以及在所述馬達殼體內對配置有所述轉子的轉子室和配置有所述定子的定子室進行劃分的殼。
藉由該結構，使該風扇洗滌器藉由殼而被劃分為轉子室和定子室。由此，即使氣體通過主軸的軸承而侵入到電機內部，氣體也不會侵入到定子室，從而能夠抑制定子劣化的情況。
此外，密封馬達也可以還具有：使外部與轉子室連通而向轉子室內供給液體的液體流入口、和使轉子室與殼體連通而向殼體內排出轉子室內的液體的液體吐出口。
如此，能夠使液體向轉子室內流動並向殼體內排出。由此，能夠進行電機的冷卻或旋轉軸的軸承的潤滑，並且能夠將排出的液體與從噴嘴噴出的液體一起進行處理。
此外，殼體與馬達殼體也可以被直接緊固連結。
如此，能夠容易地確保殼體與馬達殼體之間的氣密。由此，能夠抑制被吸入到殼體內的氣體漏出到外部的情況。
此外，風扇也可以被直接安裝到主軸上。
如此，能夠不經由聯軸器等動力傳遞機構而進行風扇與主軸之間的動力傳遞。由此，能夠防止氣體以及液體從動力傳遞機構洩漏的情況。此外，能夠不進行風扇與主軸之間的調芯而容易地製造風扇洗滌器。
此外，也可以在主軸上形成有與噴嘴連通並向噴嘴供給液體的液體供給流路。
如此，與另行設置有向噴嘴供給液體的配管相比，能夠將液體的流路設得簡單或者實現省空間。
此外，也可以具備：液體供給管，該液體供給管穿過殼體的氣體吸入口而與噴嘴連通，並向噴嘴供給液體；以及第二噴嘴，該第二噴嘴被設置於氣體吸入口中配置有液體供給管的部位的上游處，並向氣體吸入口噴出液體。
這是基於在液體供給管的附近流動的氣體容易被冷卻而固體化的情況。藉由具備被設置於氣體吸入口中配置有液體供給管的部位的上游處的第二噴嘴，從而能夠抑制異物堆積在氣體吸入口的情況。
此外，也可以具備：刮板，該刮板沿著氣體吸入口的內壁面移動；以及第三噴嘴，該第三噴嘴向刮板的下游噴出液體。
如此，能夠藉由刮板以及第三噴嘴來抑制異物堆積在氣體吸入口的情況。
此外，噴嘴也可以噴出鹼性液體。
如此，能夠提高異物的去除率。此外，能夠抑制殼體以及風扇等的腐蝕。
真空泵裝置具備：上述的風扇洗滌器；以及真空泵，該真空泵從真空室對氣體進行真空抽取，並向風扇洗滌器的氣體吸入口吐出氣體。
在該真空泵裝置中，也能夠產生與上述的風扇洗滌器相同的效果。
此外，真空泵裝置也可以還具備連接於風扇洗滌器的氣體吐出口的除害裝置。而且，除害裝置也可以為：使用從噴嘴噴出的液體來對從風扇洗滌器吐出的氣體所包含的異物以及規定的氣體進行去除的裝置。
如此，能夠通過除害裝置來對從風扇洗滌器的噴嘴噴出的液體進行再利用。
以上，雖然對本發明的實施方式進行了說明，但是上述的發明的實施方式係用於使本發明的理解較為容易，而並非對本發明進行限定。本發明能夠在不脫離其宗旨的條件下被變更或改良，且在本發明中包含其同等方式是顯而易見的。此外，能夠在能夠解決上述課題的至少一部分的範圍或產生效果的至少一部分的範圍內，進行實施方式以及變形例的任意組合，並能夠進行申請專利範圍及說明書所記載的各結構要素的任意組合或省略。
20‧‧‧風扇洗滌器
22‧‧‧殼體
22a‧‧‧氣體吸入口
22b‧‧‧氣體吐出口
22c‧‧‧液體排出口
23‧‧‧碰撞板
24‧‧‧風扇
26‧‧‧液體吐出部
27‧‧‧噴嘴
28‧‧‧液體供給管
30‧‧‧密封馬達
31‧‧‧主軸
32‧‧‧轉子
33‧‧‧定子
40‧‧‧馬達殼體
41‧‧‧定子框架
42、43‧‧‧框架側板
44、45‧‧‧托架
45a‧‧‧貫通孔
46、47‧‧‧滑動軸承
48‧‧‧轉子室
49‧‧‧定子室
50‧‧‧殼

Claims (10)

  1. 一種風扇洗滌器，具備：殼體，具有氣體吸入口以及氣體吐出口；風扇，被配置於前述殼體內；噴嘴，向前述殼體內噴出液體；以及密封馬達，具有：連接於前述風扇的主軸、與前述主軸一體旋轉的轉子、被配置於前述轉子的外周的定子、容納前述轉子和前述定子的馬達殼體、以及在前述馬達殼體內將配置有前述轉子的轉子室和配置有前述定子的定子室劃分的殼。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的風扇洗滌器，其中，前述密封馬達更具有：使外部與前述轉子室連通而向前述轉子室內供給液體的液體流入口、以及將前述轉子室與前述殼體連通而向前述殼體內排出前述轉子室內的液體的液體吐出口。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述的風扇洗滌器，其中，前述殼體與前述馬達殼體係直接緊固連結。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述的風扇洗滌器，其中，前述風扇係直接安裝在前述主軸。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的風扇洗滌器，其中，在前述主軸形成有與前述噴嘴連通並向該噴嘴供給液體的液體供給流路。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述的風扇洗滌 器，更具備：液體供給管，係通過前述殼體的氣體吸入口而與前述噴嘴連通，並向該噴嘴供給液體；以及第二噴嘴，係設置於前述氣體吸入口中配置有前述液體供給管的部位的上游，並向前述氣體吸入口噴出液體。
  7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項所述的風扇洗滌器，更具備：刮板，係沿著前述氣體吸入口的內壁面移動；以及第三噴嘴，係向前述刮板的下游噴出液體。
  8. 如申請專利範圍第1至7項中任一項所述的風扇洗滌器，其中，前述噴嘴噴出鹼性液體。
  9. 一種真空泵裝置，具備：申請專利範圍第1至8項中任一項所述的風扇洗滌器；以及真空泵，從真空室對氣體進行真空抽取，並向前述風扇洗滌器的氣體吸入口吐出氣體。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的真空泵裝置，更具備連接於前述風扇洗滌器的氣體吐出口的除害裝置，前述除害裝置使用從前述噴嘴噴出的液體來去除從前述風扇洗滌器吐出的氣體所包含的異物以及規定 的氣體。
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