TW201632333A - 裝配及脫模裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種在一壓印機中使用之脫模裝置(3)，在該機器中，一箔片(31)在一饋送方向上經間歇地傳送於一壓製區域(7)上方，在該壓製區域處，一印模經壓製於該箔片上以用於壓印一表面圖案。該脫模裝置包含一載運器(12)、裝配於該載運器中之一壓製捲筒(9)及平行於該載運器中之該壓製捲筒而裝配的一脫模捲筒(8)，其中該載運器經組態以相反於該饋送方向而滑動於該壓製區域上方，同時將該箔片捲動於該壓製捲筒下方及該脫模捲筒上方，以用於在該圖案之壓印之後將該箔片自該印模卸離。

Description

裝配及脫模裝置

本發明係關於一種可在用於微奈米壓印微影之圖案轉印製程中使用的裝置，該圖案轉印製程涉及將圖案自具有結構化表面之模板轉印至基板之目標表面。更特定而言，本發明係關於一種用於在模板處裝配基板且用於在壓印之後將模板自基板脫模的裝置。

奈米壓印微影(Nanoimprint lithography；NIL)已出現十年以上。已做出許多改良以用於將微奈米級結構自印模或模板轉印至基板。經由捲軸式製程實現大批量製造用於微奈米級圖案轉印之工具。此技術已用於包括醫學、微電子學、微機電學等之許多工業應用中。

Obducat AB為九十年代後期將奈米壓印微影裝備商品化之先驅者中之一者，在該裝備中其使用其自身用於使用兩步壓印製程將微奈米級圖案自模板轉印之技術產生成品基板。在第一步驟中，藉由將模板壓印至聚合物箔片中來產生中間聚合物印模(Intermediate Polymer Stamp；IPS)。在將IPS自模板脫模之後，其隨後用於在第二壓印步驟中將經壓印圖案轉印至最終基板。

在壓印製程中，保護經壓印箔片表面(例如，IPS之經壓印箔片表面)極為重要。此與以下兩者相關：單步驟壓印，其中壓印最終基 板；及兩步製程之第一壓印之後，其中經壓印箔片保持無破損直至第二壓印為關鍵的。

存在將模板(有時稱為印模或模具)自經壓印基板卸離之許多脫模裝置。

US2007/0092594 A1描述在壓印製程完成之後卸離模具與基板之脫模方法及裝置。在此製程中，刀片模組經插入模具與基板之間，且當空氣經吸入至空隙中且施加於模具與基板之間的真空效應之黏著力消除時，刀片模組經進一步應用以將模具自基板完全卸離。

US2012/029992 A1揭示全晶圓奈米壓印微影。在此上下文中，描述使用連接在模具之最外側處之真空通道同時自脫模噴嘴施加壓縮空氣以與模具與基板之間的界面相抵的脫模製程。模具上之壓力自兩側朝向模具之中心逐漸轉換成真空以用於連續剝離脫模。

US8550801揭示用於大基板上之重複逐步壓印之壓印設備，該壓印設備包括脫模控制裝置。此裝置經組態以基於靠近晶圓之邊緣的壓射區域之位置而控制模板之脫模速度或角度。

US2013/0323347 A1展示用於壓印裝置之脫模裝置。脫模裝置將片狀模具自模製產品卸離。脫模裝置經置放成遠離轉印裝置，亦即，壓印台。製程如下：在轉印裝置處轉印圖案之後，模製產品黏附至片狀模具且移動至卸離裝置。模製產品係置放於配備有藉由吸入來固持模製產品之多個真空固持溝槽的模製產品固持器上。為了將模製產品自片狀模具卸離，卸離捲筒單元在固持器上方水平地移動。

本發明試圖提供壓印機及製程之技術的改良。此目標之一個態樣為提供更少耗時之脫模解決方案，以便改良良率且減小生產成本。此目標之另一態樣為提供確保經壓印表面之恰當處置及再現性之解決方案。

本發明係關於一種在壓印機中使用之脫模裝置，在該機器中，箔片在饋送方向上經間歇地傳送於壓製區域上方，其中印模經壓製在箔片上以用於將圖案壓印至箔片之表面上，該脫模裝置包含：載運器、裝配於該載運器中之壓製捲筒，其中載運器經組態以相反於該饋送方向而滑動於該壓製區域上方，同時將該箔片捲動於該壓製捲筒下方及該脫模捲筒上方，以用於在該圖案之壓印之後將該箔片自合作表面卸離。

在一個具體實例中，脫模捲筒具有：軸向外部分，其具有第一直徑，該等軸向外部分經組態以與箔片嚙合；及中心溝槽，其具有小於第一直徑之第二直徑，以便避免溝槽之面與箔片上之經壓印圖案之間的接觸。

在一個具體實例中，該溝槽具有經組態以超過壓印圖案之寬度的軸向寬度。

在一個具體實例中，該載運器經組態以在饋送方向上向前滑動於壓製區域上方，以用於在壓製區域處將箔片施加於合作表面上方。

在一個具體實例中，載運器包含以滑動方式連接至在饋送方向上於壓製區域之對置側上延伸之兩個平行拖軌的配件。

在一個具體實例中，脫模裝置包含經組態以沿拖軌驅動載運器之馬達。

在一個具體實例中，脫模裝置包含懸置於載運器中處於脫模 捲筒上方之接觸捲筒，其中箔片在接觸捲筒與脫模捲筒之間運行。

在一個具體實例中，該接觸捲筒經組態以夾持箔片以與脫模捲筒之軸向外部分相抵。

在一個具體實例中，載運器可在壓製區域之前的第一張力壓製件與壓製區域之後的第二張力壓製件之間滑動，該第一張力壓製件及該第二張力壓製件經組態以在滑動載運器時使聚合物箔片中之預定張力維持恆定。

在一個具體實例中，箔片在第一張力壓製件中之第一張力捲筒與第一張力區塊之間及在第二張力壓製件中之第二張力捲筒與第二張力區塊之間傳送。

在一個具體實例中，該壓製捲筒及該接觸捲筒經橡膠塗佈。

在一個具體實例中，該脫模捲筒具有金屬表面。

在一個具體實例中，壓製捲筒係藉由對應於0.2至4.0kg之力向下偏壓。

在一個具體實例中，脫模捲筒係藉由對應於0至2.0kg之力朝向壓製捲筒偏壓。

在一個具體實例中，接觸捲筒係藉由對應於0.2至2.0kg之力朝向脫模捲筒偏壓。

在一個具體實例中，該合作表面為具有經壓印至箔片表面上之圖案的模板表面。

在一個具體實例中，該箔片表面具有具圖案之一連串印模表面，且該合作表面為基板，藉以該圖案在壓製區域處經轉印至該基板。

本發明之其他目標、特徵及優勢將自本發明之以下詳細描述顯而易見，其中將參看隨附圖式更詳細地描述本發明之具體實例，其中：圖1展示連接至壓印機之脫模裝置之示意圖；圖2示意性地展示獨立於脫模裝置之數個捲筒；圖3說明聚合物箔片通過脫模裝置之捲筒之方式；圖4自另一角度展示圖3之元件，且亦包括用於將壓力施加至捲筒之軸件上的部件；圖5示意性地說明如置放於壓印機中之裝配位置中的脫模裝置之側視圖；及圖6示意性地展示經壓印聚合物箔片。

下文中將參看隨附圖式更詳細地描述本發明之具體實例。然而，本發明可以許多不同形式體現且不應被解釋為限於本文中所闡述之具體實例。確切而言，提供此等具體實例以使得本發明將為透徹的且完整的，且將本發明的範疇完整地傳達給熟習此項技術者。除非另外定義，否則本文中所使用之所有術語(包括技術及科學術語)具有與本發明所屬技術中一般熟習此項技術者通常所理解相同之含義。將進一步理解，本文中所使用之術語應被解釋為具有與其在本說明書及相關技術之上下文中之含義一致的含義，且將不在理想化或過度正式意義上進行解釋，除非明確地如此定義。本文中使使用之術語僅用於描述特定具體實例之目的，且並不意欲限制本發明。如本文中所使用，單數形式「一」及「該」亦意欲包括複數 形式，除非上下文另外清楚地指示。將進一步理解，當在本文中使用時，術語「包含」及/或「包括」指定所陳述的特徵、整體、步驟、操作、元件及/或組件的存在，但不排除一或多個其他特徵、整體、步驟、操作、元件、組件及/或其群組的存在或添加。

將微奈米級圖案自印模轉印至基板為熟知且成熟的技術。奈米壓印微影(NIL)為此等技術中之一者，該奈米壓印微影在工業中用於廣泛範圍之應用。在捲軸式微奈米壓印微影製程中，在兩個壓印台處使用在第一壓印步驟中自聚合物箔片產生的中間聚合物印模(IPS)進行壓印而在兩個步驟中完成圖案轉印。在兩個壓印台中將聚合物箔片施加於印模及基板上且將聚合物箔片自印模及基板脫模為捲軸件式壓印製程中之問題中之一者。本發明以非常簡單且容易之方式揭示對此問題之解決方案，如將在下文更詳細地描述。

圖案轉印之製程中之重要特徵為消除氣泡、圖案變形及使壓印至目標上之圖案保持潔淨。此在兩步壓印製程中特別重要，其中聚合物箔片通過用於將圖案自模板轉印至該聚合物箔片之第一壓印步驟以便產生中間聚合物印模(IPS)，其中在經壓印箔片隨後捲動過第二轉印站台(直接地或稍後)之後，在該第二轉印站台處借助於UV及/或加熱藉由壓印且潛在地固化來將其圖案轉印至最終基板上。因此，在兩步製程中防止IPS之圖案之污染或變形特別重要，除非包括將添加時間及成本之單獨清潔步驟。經固化聚合物箔片中之壓印以及射出模製壓印在此項技術中經良好描述，且因而此處將不詳細地描述。此外，藉由形成及使用IPS進行之兩步壓印描述於(例如)申請人之先前申請案EP1795497 A1中。

下文將藉由給出脫模裝置及其作用之詳細描述來描述本發明以滿足上文在於第一壓印台處的圖案之第一壓印之後、在第二壓印台中使用之前藉由防止聚合物箔片之圖案面在製程期間接觸任何表面或捲筒來將聚合物箔片脫模時所提及的特徵。此外，將概述關於作為第二壓印步驟之脫模之具體實例，其中經壓印聚合物箔片用作中間聚合物印模。

圖1展示本發明之具體實例之示意圖。金屬基座平台1配備有開口7，該開口構成壓製區域7。在操作中，聚合物箔片(在此圖式中未展示)係自圖式中之右下方朝向右上方傳送於壓製區域上方。間歇地停止箔片之饋送，且在壓製區域7處進行壓印步驟。在此製程中，具有經圖案化表面之主印模穿過壓製區域7處之開口向上壓製成與聚合物箔片之下方面接觸，同時自上方朝向箔片之上方面提供反壓力。為簡單起見，圖式中省略印模及用於提供壓力之部件，此係因為其特定特性及功能並非本發明之部分。基座平台1可形成壓印機之部分，或提供為用於裝配至壓印機之脫模裝置之一部分。兩個拖軌2經設置於壓製區域7之對置側處，例如，附接至基座平台1且在箔片饋送方向上延伸。脫模模組3包含載運器12，該載運器借助於連接至平行拖軌2之配件以可滑動方式相對於基座平台1而附接。在所展示之具體實例中，展示嚙合最左拖軌2之兩個配件，且對應配件較佳配置成與最右拖軌2嚙合。脫模模組可自基座平台1移除。圖1亦指示帶槽脫模捲筒8、經橡膠塗佈之壓製捲筒9及經橡膠塗佈之接觸捲筒10。另外兩個捲筒5及捲筒13為張力捲筒。載運器12藉由馬達4驅動，該馬達可(例如)為電的、氣動的或液壓的。馬達4可經裝配於基座平台1之一側處的拖軌2之一側上。

圖2展示脫模裝置之脫模模組之捲筒設置。脫模模組3包含裝配於滑動載運器12上之捲筒之群組，該群組包括壓製捲筒9、脫模捲筒8及接觸捲筒10。在一較佳具體實例中，脫模捲筒8具有溝槽18。更具體而言，如可最好地自圖2之具體實例中得出，脫模捲筒具有具第一直徑之軸向外部分28及具小於第一直徑之第二直徑之中心溝槽18。在此具體實例中，脫模捲筒8經組態以在外部分28處而非帶槽內部分18處與箔片嚙合。以此方式，避免溝槽18之面與箔片上之經壓印圖案之間的接觸。溝槽18因此經組態以具有超過壓印圖案之寬度的軸向寬度，壓印圖案之寬度係藉由壓印機中使用的模板來判定。

圖3示意性地說明聚合物箔片31通過脫模模組3之捲筒之方式。更具體而言，聚合物箔片傳送於壓製捲筒9下方及脫模捲筒8上方，且在脫模模組3之前及之後在實質上相同之方向上饋送。接觸捲筒10將聚合物箔片31在脫模捲筒13之軸向外部分處朝向脫模捲筒8夾持，而脫模捲筒8與溝槽18處之聚合物箔片之間不存在接觸。

藉由來自馬達4之動作，脫模模組經組態以將箔片31向前(亦即，在箔片31之饋送方向上)滑動以置放聚合物箔片31用於壓印，以便將模板圖案轉印至箔片31上。此時，脫模模組置放於壓製區域7「下游」(如圖1中)，藉以聚合物箔片借助於壓製捲筒9而緊密接近或接觸基座平台1。但待壓印箔片31之部分定位於壓製區域7之開口處，且因此不與基座平台1接觸。在壓印之後，脫模模組3向後滑動於壓製區域7上方且超過壓製區域7，藉以現經壓印聚合物箔片31藉由捲動於脫模捲筒8上方而提昇。脫模模組接著相對於壓製區域7而定位於「上游」。聚合物箔片31 現可經向前饋送以將聚合物箔片31之新部分置放於壓製區域7上方。此後，脫模模組3可再次傳送於壓製區域7上方至圖1之位置。一旦脫模模組3在圖1中所展示之位置處返回，便可重複所概述之製程步驟以便為聚合物箔片31提供一列壓印圖案，該等壓印圖案中之每一者可用作IPS。

在一個具體實例中，聚合物箔片31經由壓製區域7之前的第一張力壓製件(tension press)且經由置放於壓製區域7之後的第二張力壓製件驅動。在第一張力壓製件中，箔片經引導於第一張力捲筒5與第一張力區塊6之間。其繼續覆蓋基座平台1中之壓製區域7之壓印開口，接著在較佳經橡膠塗佈之壓製捲筒9下方及脫模捲筒8上方繼續。在所說明之具體實例中，脫模捲筒8懸置於壓製捲筒9之前，亦即，其軸件在載運器之滑動方向上移位。在一替代具體實例中，脫模捲筒8可替代地置放於壓製捲筒9上方，且甚至置放於其後方。如所描述，脫模捲筒8較佳帶槽，以使得其在聚合物箔片之邊緣處借助於其軸向外部分朝向接觸捲筒10夾持箔片31。此情形使經壓印圖案與帶槽脫模捲筒8中之溝槽18面對面。接觸捲筒10亦較佳經橡膠塗佈。箔片隨後通過第二張力壓製件之第二張力捲筒13及其張力區塊11。兩個張力捲筒5及13與其各別張力區塊6及11將確保聚合物箔片上之圖案在聚合物箔片之行程期間或在載運器12於張力壓製件之間滑動(當張力壓製件經組態以夾持箔片31且保持箔片上之張力時)期間將不與捲筒或任何其他表面接觸。經圖案化箔片可隨後繼續進行至第二壓印台。

在一個具體實例中，脫模裝置可如下結合第一壓印步驟而工作。在第一壓印台之壓製區域7處的壓印之後，當第一張力壓製件及第二 張力壓製件中之至少一者使聚合物箔片張力保持恆定時，裝配於載運器12上之脫模模組3向後滑動以將聚合物箔片自模板脫模。脫模可經聚合物箔片與印模之間的預定義角度來致動以便提供剝離效果，該角度將藉由脫模期間壓製區域7處之模板之高度及壓製捲筒9之升高位置來定義。在不接觸聚合物箔片之圖案面的情況下進行脫模。張力壓製件釋放聚合物箔片以在適用情況下使其移動至下一壓印台，且新箔片部分經置放於壓製區域7處。脫模模組3經向前驅動至其原始位置。藉由將相同步驟重複與所需一般多的次數來繼續此程序。

藉此產生具有具圖案之一連串中間印模表面之聚合物箔片33，為簡單起見，在圖3中指示為離開脫模模組3之箔片。然而，如熟習此項技術者將理解，壓印並不在脫模模組3中如此執行，而是在壓製區域7處藉由壓印機執行。在一個具體實例中，經壓印箔片33繼續至第二壓印步驟，其中聚合物箔片表面上之經壓印圖案用作次要印模，亦稱為如已描述之IPS。在此第二壓印步驟中，可採用與用於第一壓印步驟之相同類型之脫模裝置，且相同參考數字將因此參考此具體實例而予以使用，該脫模裝置可如下工作：在面向下之表面上具有一連串中間聚合物印模之經壓印聚合物箔片33經間歇地饋送於壓印機之第二壓製區域7上方。第二壓製區域7可構成與第一步驟中之相同壓印機之第二壓印台，或第二壓印機(例如，串聯地連接至第一壓印機)之壓製區域7。經壓印箔片33在饋送方向上經間歇地傳送於第二壓製區域7上方，其中箔片33之經壓印表面壓製在待壓印基板之合作表面上。基板可借助於壓印裝置中之任何已知構件(諸如， 藉由真空吸入)而懸置。在第二壓製區域7處，經壓印箔片33之中間聚合物印模經朝向塗佈有可變形材料之基板表面壓製，以用於將中間聚合物印模之圖案壓印至箔片之基板表面上。脫模裝置可另外包含對應特徵，亦即，載運器12、裝配於載運器中之壓製捲筒9及平行於載運器中之壓製捲筒而裝配的脫模捲筒8。此外，脫模裝置可經組態而以如已針對第一壓印步驟描述之對應方式操作。因而，載運器較佳經組態以相反於經壓印聚合物箔片33之饋送方向而滑動於壓製區域上方，同時將箔片捲動於壓製捲筒下方及脫模捲筒上方，以用於在圖案自中間印模壓印至基板上之後將箔片自基板卸離。

在一較佳具體實例中，在第二壓製區域7處之壓印之後，當第一張力壓製件及第二張力壓製件中之至少一者使聚合物箔片張力保持恆定時，裝配於載運器12上之脫模模組3向後滑動以將聚合物箔片自基板脫模。脫模可經聚合物箔片與基板之間的預定義角度來致動以便提供剝離效果，該角度將藉由脫模期間壓製區域7處之基板之高度及壓製捲筒9之升高位置來定義。較佳在不接觸聚合物箔片之圖案面的情況下進行脫模。張力壓製件釋放聚合物箔片以使其移動遠離第二壓印台，且具有另一中間聚合物印模之新箔片部分經置放於第二壓製區域7處。脫模模組3經向前驅動至其原始位置。藉由將相同步驟重複與所需一般多的次數來繼續此程序。基板較佳經受後處理，包括UV輻射、加熱或其兩者、可能金屬化等。但基板之處理並非本發明之部分。

在一個具體實例中，接觸捲筒10可經橡膠塗佈，且經組態以藉由對應於0.2至2.0kg之力向下壓製。壓製捲筒9亦可經橡膠塗佈，經 組態以藉由對應於0.2至4.0kg之力向下壓製。脫模捲筒8較佳為具有溝槽18之金屬捲筒，且經組態以藉由對應於0至2.0kg之力朝向壓製捲筒9壓製。

如可自圖3理解，聚合物箔片31通過脫模模組3之捲筒8、9、10以使得經圖案化表向下面向脫模捲筒8中之溝槽18。聚合物箔片31上之圖案表面僅在箔片之外邊緣32處接觸脫模捲筒8，接觸脫模捲筒8之軸向外部分28，例如，在每一側處之2至100mm處。較佳地，箔片31藉由接觸捲筒35夾持至外部分28以輔助使聚合物箔片張力保持恆定。溝槽18之大小取決於圖案大小，且捲筒長度取決於聚合物箔片寬度。較佳地，可採用不同捲筒集合，該等捲筒集合可基於壓印情況而切換。使聚合物箔片31之張力保持恆定有助於防止聚合物箔片31與(例如)平台基座1接觸。此情形借助於脫模模組3之三個捲筒8、9及10結合捲筒5、13及對應張力區塊6、11而獲得。

圖4展示脫模模組3之一部分(最具體而言，捲筒8、9、10)之另一圖式。在一較佳具體實例中，壓製捲筒9及接觸捲筒10兩者為經橡膠塗佈之捲筒。其較佳亦為可移除的。在一較佳具體實例中，脫模捲筒8具有金屬表面，該金屬表面具有更穩定、朝向箔片31之經圖案化下表面提供更好界面之益處。脫模捲筒8較佳以可旋轉方式固定至載運器3上。所有三個捲筒8、9、10較佳在兩個軸向末端處適配於彈簧41上，以便能夠調整壓力以用於使聚合物箔片31之張力保持恆定且調整施加及脫模製程中之壓力。

圖5以示意性方式說明壓印機處之脫模裝置之側視圖。脫模 模組3與其捲筒8、9、10在此圖式中經置放於壓製區域7之輸出側上，聚合物箔片31在此圖式中自右方饋送。當脫模模組如圖式中所置放時，聚合物箔片31保持接近壓製區域7處之下伏合作表面51。在第一列印步驟之具體實例中，合作表面51典型地為模板之結構化表面，其懸置於固持器52中。反作用構件53與固持器52結合使用以用於將聚合物箔片31壓製在合作表面51上，以便將模板之圖案壓印至聚合物膜31之下表面上。

在另一具體實例中，圖5可表示第二壓印台之壓製區域7。在此具體實例中，自右方饋送之聚合物箔片33已經壓印，以便在其上形成一連串中間聚合物印模(參看圖3中之箔片33)。合作表面51可為基板之經塗佈表面，其懸置於固持器52中。在此具體實例中，在壓製區域7處進行的壓印步驟用以使經塗佈基板表面52壓印有聚合物箔片33上之中間印模之圖案。

圖6以實例說明聚合物箔片33，其在箔片33之內部分處之一個表面上具有經壓印部分61，而在箔片33之外部分32處存在用於夾持在捲筒8與捲筒10之間的空間，如圖3中所展示。如熟練的讀者將理解，此類聚合物箔片33可為如上文所描述之第一壓印步驟之結果，且亦充當如所描述的第二壓印步驟中之中間聚合物印模61。

本文中所呈現之解決方案提供有效脫模製程之優勢，該脫模製程可直接用於壓印位置處，而非必須在不同地點進行此等步驟。在較佳具體實例中，所提議之脫模裝置進一步提供用於在脫模及輸送以供進一步處理(諸如，第二壓印步驟)時維持經壓印圖案之完整性的解決方案。以此方式，根據本發明之模組之較佳具體實例的脫模裝置保證聚合物箔片上 之經圖案化表面自第一壓印台至製程之結束一直保持潔淨且無破損。

前文已描述本發明之操作之原理、較佳具體實例及模式。然而，本發明應被視為說明性而非限制性，且不受限於上文所論述之特定具體實例。本發明之各種具體事例之不同特徵可以除明確描述之彼等組合外的組合而組合。因此應理解，熟習此項技術者可在不脫離如由以下申請專利範圍所界定之本發明之範疇的情況下對彼等具體實例作出改變。

Claims (15)

1. 一種在一壓印機中使用之脫模裝置(3)，在該機器中，一箔片(31)在一饋送方向上經間歇地傳送於一壓製區域(7)上方，其中該箔片之一表面經壓製於一合作表面上以用於壓印一圖案，該脫模裝置包含：一載運器(12)，一壓製捲筒(9)，其裝配於該載運器中，及一脫模捲筒(8)，其平行於該載運器中之該壓製捲筒而裝配，其中該載運器經組態以相反於該饋送方向而滑動於該壓製區域上方，同時將該箔片捲動於該壓製捲筒下方及該脫模捲筒上方，以用於在壓印該圖案之後將該箔片自該合作表面卸離。
2. 如申請專利範圍第1項之脫模裝置，其中該脫模捲筒具有：軸向外部分(28)，其具有一第一直徑，所述軸向外部分經組態以與該箔片嚙合；及一中心溝槽(18)，其具有小於該第一直徑之一第二直徑，以便避免該溝槽之一面與該箔片上之壓印圖案之間的接觸。
3. 如申請專利範圍第2項之脫模裝置，其中該溝槽具有經組態以超過壓印圖案之寬度的一軸向寬度。
4. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該載運器經組態以在該饋送方向上向前滑動於該壓製區域上方，以用於在該壓製區域處將該箔片施加於該合作表面上方。
5. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該載運器包含以滑動方式連接至兩個平行的拖軌(2)之配件，所述拖軌係在該饋送方向上於該壓製區域之對置側上延伸。
6. 如申請專利範圍第5項之脫模裝置，其包含經組態以沿所述拖軌驅動該載運器之一馬達。
7. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其包含懸置於該載運器中處於該脫模捲筒上方之一接觸捲筒(10)，其中該箔片在該接觸捲筒與該脫模捲筒之間運行。
8. 如申請專利範圍第2項及第7項之脫模裝置，其中該接觸捲筒(10)經組態以夾持該箔片以與該脫模捲筒之所述軸向外部分(28)相抵。
9. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該載運器可在該壓製區域(7)之前的一第一張力壓製件(5、6)與該壓製區域之後的一第二張力壓製件(13、11)之間滑動，該第一張力壓製件及該第二張力壓製件經組態以在滑動該載運器時使該聚合物箔片中之一預定張力維持恆定。
10. 如申請專利範圍第9項之脫模裝置，其中該箔片(31)在該第一張力壓製件中之一第一張力捲筒(5)與一第一張力區塊(6)之間且在該第二張力壓製件中之一第二張力捲筒(13)與一第二張力區塊(11)之間傳送。
11. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該壓製捲筒(9)係藉由對應於0.2至4.0kg之力向下偏壓。
12. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該脫模捲筒(8)係藉由對應於0至2.0kg之力朝向該壓製捲筒(9)偏壓。
13. 如申請專利範圍第7項及其他申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該接觸捲筒(10)係藉由對應於0.2至2.0kg之力朝向該脫模捲筒(8) 偏壓。
14. 如前述申請專利範圍中任一項之脫模裝置，其中該合作表面為一模板表面，其具有經壓印至該箔片之表面上的一圖案。
15. 如前述申請專利範圍第1項至第14項中任一項之脫模裝置，其中該箔片表面具有具一圖案之一連串印模表面，且該合作表面為一基板，藉以該圖案在該壓製區域處轉印至該基板。