JP6702973B2 - 搭載及び離型デバイス - Google Patents

Description

本発明は、マイクロ及びナノインプリントリソグラフィのためのパターン転写処理で使用可能なデバイスに関し、この処理は、構造付表面を有するテンプレートから基板の対象表面にパターン転写することを含む。より具体的には、本発明は、基板をテンプレートに搭載するための及びインプリント後に基板をテンプレートから離型するためのデバイスに関する。

ナノプリントリソグラフィ（ＮＩＬ）は、１０年以上ある。マイクロ及びナノスケールの構造体をスタンプまたはテンプレートから基板に転写することに関して多くの改良がなされている。マイクロ及びナノスケールパターン転写のための大量製造金型は、ロールツーロール処理を介して実現されている。この技術は、医学、マイクロ電子工学、マイクロ工学などを含むさまざまな産業用途で展開されている。

出願人は、１９９０年代後半においてナノインプリントリソグラフィ設備を商用化した開発者の１つであり、この設備では、開発者は、インプリントの二段階処理を用いて、マイクロ及びナノスケールパターンをテンプレートから転写するための開発者独自の技術を使用して最終製品基板を製造する。第１段階において、テンプレートをポリマーホイルにインプリントすることによって中間ポリマースタンプ（ＩＰＳ）を形成する。ＩＰＳをテンプレートから離型した後、ＩＰＳは、その後、第２インプリント段階において、ＩＰＳのインプリントしたパターンを最終基板に転写するために使用される。

インプリント処理において、重要なことは、例えばＩＰＳのインプリントしたホイル表面を保護することである。これは、最終基板をインプリントする単一段階インプリントとインプリントしたホイルが第２インプリントまで損傷されないままであることが重大である二段階処理の第１インプリント後との双方に関係する。

テンプレートをインプリントされた基板から取り外すためのさまざまな離型デバイスがあり、これら離型デバイスは、しばしば、スタンプすなわち型として称される。

特許文献１には、インプリント処理を完了した後に型及び基板を取り外すための離型方法及びデバイスが記載されている。この処理において、ブレードモジュールを型と基板との間に挿入しており、ギャップに空気を吸い込むことから型と基板との間に存在する真空作用の接着力を除去するので、ブレードモジュールは、型を基板から完全に取り外すためにさらに付与される。

特許文献２には、全水型ナノインプリントリソグラフィが記載されている。この文献では、離型処理は、型の最も外側に接続された真空経路を用いつつ、圧縮空気を離型ノズルから方と基板との間の界面に付与することが記載されている。型への圧力は、連続的に剥離させる離型のために、型の２つの側面から中央に向けて徐々に真空に変換される。

特許文献３には、大型の基板に繰返段階的にインプリントするためのインプリント装置を開示しており、この装置は、離型制御デバイスを有する。このデバイスは、ウエハの縁部に近いショット領域の位置に基づいてテンプレートの離型速度または角度を制御するように構成されている。

特許文献４には、インプリントデバイスのための離型デバイスが示されている。離型デバイスは、シート状型を型付けした製品から取り外す。離型装置は、転写デバイス、すなわちインプリントステーションから離間させられる。この処理は、以下のようになっている、転写デバイスでパターンを転写した後、型付けした製品は、シート状型に貼り付けられており、取外デバイスへ移動される。型付けした製品は、型付け製品ホルダに配置され、このホルダには、型付けした製品を吸引によって保持する複数の真空保持溝が設けられている。型付けした製品をシート状型から取り外すために、取外ローラユニットは、ホルダ上を水平に移動する。

米国特許出願公開第２００７／００９２５９４号明細書 米国特許出願公開第２０１２／０２９９９２号明細書 米国特許第８５５０８０１号明細書 米国特許出願公開第２０１３／０３２３３４７号明細書

本発明は、従来のインプリント機械及び処理の改善を提供することを模索する。一態様にかかるこの目的は、時間消費の少ない離型の解決法を提供することであり、それにより、生産を向上させ、製造コストを低減させる。この目的の別の態様は、正確な取り扱い及びインプリントされた表面の再現性を保証する解決法を提供することである。

本発明は、インプリント機械で使用するための離型デバイスに関し、このインプリント機械では、ホイルが、押付領域を給送方向で間欠的に通り越し、この押付領域では、パターンをホイルの表面にインプリントするために、スタンプをホイルに当接して押し付け、離型デバイスは、キャリアと、キャリアに搭載された押付ローラと、を備え、キャリアは、給送方向に逆らって押付領域をスライドして越えつつ、ホイルを押付ローラの下方及び離型ローラの上方で進めさせるように構成されている。

一実施形態において、離型ローラは、ホイルと係合するように構成された第１直径の軸方向外側部分と、第１直径よりも小径である第２直径の中央溝と、を有し、それにより、溝の表面とホイルのインプリントパターンとの間の接触を回避する。

一実施形態において、上記溝は、インプリントパターンの幅を超えるように構成された軸方向幅を有する。

一実施形態において、上記キャリアは、押付領域で協働表面にわたってホイルを付けるために、給送方向で押付領域を越えるように前方にスライドするように構成されている。

一実施形態において、キャリアは、押付領域の両側で給送方向に延在する２つの平行なトレーラにスライド可能に接続された取付部品を備える。

一実施形態において、離型デバイスは、キャリアをトレーラに沿って駆動するように構成されたモータを備える。

一実施形態において、離型デバイスは、離型ローラの上方でキャリアに吊り下げられた接触ローラを備え、ホイルは、接触ローラと離型ローラとの間を進む。

一実施形態において、上記接触ローラは、ホイルを離型ローラの軸方向外側部分に当接してクランプするように構成されている。

一実施形態において、キャリアは、押付領域前の第１テンションプレスと押付領域後の第２テンションプレスとの間でスライド可能であり、上記第１及び第２テンションプレスは、キャリアをスライドさせている間、ポリマーホイルの予め定めた張力を維持するように構成されている。

一実施形態において、ホイルが、第１テンションプレスにおいて第１テンションローラと第１テンションブロックとの間を通り、第２テンションプレスにおいて第２テンションローラと第２テンションブロックとの間を通る。

一実施形態において、上記押付ローラ及び上記接触ローラは、ゴム被覆されている。

一実施形態において、上記離型ローラは、金属表面を有する。

一実施形態において、押付ローラは、０．２ｋｇ以上４．０ｋｇ以下に対応する力で下方に向けて付勢されている。

一実施形態において、離型ローラは、０ｋｇ以上２．０ｋｇ以下に対応する力で押付ローラに向けて付勢されている。

一実施形態において、接触ローラは、０．２ｋｇ以上２．０ｋｇ以下に対応する力で離型ローラに向けて付勢されている。

一実施形態において、上記協働表面は、パターンを有するテンプレート表面であり、パターンは、ホイル表面にインプリントされる。

一実施形態において、上記ホイル表面は、パターンを有する一連のスタンプ表面を有し、上記協働表面が、基板であり、それにより、上記パターンは、押付領域で上記基板に転写される。

本発明のさらなる目的、特徴及び利点は、本発明の以下の詳細な説明から明らかになり、添付の図面を参照しながら本発明の実施形態をより詳細に説明する。

インプリント機械に接続された離型デバイスを示す概略図である。 離型デバイスから分離した複数のローラを示す概略図である。 ポリマーホイルが離型デバイスのローラを通過することを示す図である。 図３の素子を別の角度から示した図であって、ローラの軸に圧力をかけるための手段を同様に含む、図である。 インプリント機械の搭載位置に配置したときの離型デバイスを示す概略側面図である。 インプリントされたポリマーホイルを示す概略図である。

以下で、添付の図面を参照しながら本発明の実施形態をより詳細に説明する。しかしながら、本発明は、さまざまな形式で具現化され得、本明細書で説明した実施形態に限定されると解釈されないべきである。むしろ、これら実施形態は、本明細書が完全であり本発明の範囲を当業者に完全に伝えるように提供されている。他の方法で定義しない限り、本明細書で使用した全ての用語（技術的及び科学的用語を含む）は、本発明が属する当業者によって一般に理解されているものと同じ意味を有する。さらに理解すべきことは、本明細書で使用した用語がこの明細書の内容及び関連技術におけるこれら用語の意味と一致する意味を有するように解釈されるべきであり、本明細書でそのように明白に規定しない限り、理想化したまたは過剰に形式的な意味で解釈されないこと、である。本明細書で使用する専門用語は、特有の実施形態を説明するためのみであり、本発明を限定することを意図していない。本明細書で使用するように、単数形「ａ」、「ａｎ」及び「ｔｈｅ」は、内容が明確にそうではないと示していない限り、同様に複数形を含むことを意図している。さらに理解することは、用語「備える」、「備えている」、「有する」及び／または「有している」は、本明細書で使用するとき、当該機能、整数、段階、動作、素子及び／または構成部材があることを明確に述べているが、１以上の他の機能、整数、段階、動作、阻止、構成部材及び／またはこれらの群があることまたは追加されることを除外していないこと、である。

マイクロ及びナノスケールパターンをスタンプから基板に転写することは、周知で成熟した技術である。ナノインプリントリソグラフィ（ＮＩＬ）は、これら技術のうちの１つであり、幅広い用途に関して産業上使用されている。ロールツーロールマイクロ及びナノインプリントリソグラフィ処理において、パターン転写は、ポリマーホイルから第１インプリント段階において形成された中間ポリマースタンプ（ＩＰＳ）を用いて、２つのインプリントステージでの二段階インプリントでなされる。インプリントステーション双方でスタンプ及び型にポリマーホイルを付す及びスタンプ及び型からポリマーホイルを離型することは、ロールツーロールインプリント処理における問題の１つである。本発明は、以下で詳述するように、非常に簡素かつ容易な方法でこの問題への解決法を開示する。

パターン転写処理における重要な機能は、空気含有の除去と、パターン変形と、対象にインプリントされるパターンを清浄にすることと、である。これは、二段階インプリント処理において特に重要であり、この二段階インプリント処理では、ポリマーホイルは、パターンをテンプレートからポリマーホイルに転写するために第１インプリント段階を通され、それにより、中間ポリマースタンプ（ＩＰＳ）を形成し、その後、インプリントされたホイルを後に第２転写ステーションを通るようにローラ給送し、この第２転写ステーションでは、直接にまたは後に、インプリントされたホイルのパターンをインプリントによって最終基板に転写し、場合によってはＵＶ及び／または熱を用いて硬化する。したがって、ＩＰＳのパターンの汚染または歪みを防止することは、別個の洗浄段階を含まない限り、二段階処理において特に重要であり、この洗浄段階は、時間及びコストを追加する。硬化したポリマーホイルにインプリントすること及び射出成形インプリントは、それら自体は従来よく説明されており、このため、本明細書では詳細に説明しない。さらに、ＩＰＳを形成して使用することによる二段階インプリントは、出願人の先行出願である欧州特許出願公開第１７９５４９７号明細書で説明されている。

以下、離型デバイス及びその役割の詳細な説明を提供することによって本発明を説明し、上述した機能を満たしつつ、第１インプリントステーションにおけるパターンの第１インプリント後であって第２インプリントステーションにおいて使用する前に、ポリマーホイルのパターン面が処理中に任意の表面またはローラと接触することを防止することによって、ポリマーホイルを離型する。さらに、第２インプリント段階の際に離型することに関する実施形態は、インプリントされたポリマーホイルを中間ポリマースタンプとして使用されており、概説される。

図１は、本発明の一実施形態を示す概略図である。金属ベースプラットホーム１には、開口部７が設けられており、この開口部は、押付領域７を構成する。動作中、ポリマーホイル（この図では図示略）は、図中の右下から右上に向けて押付領域を通り越す。ホイルの給送は、間欠的に停止され、インプリント段階は、押付領域７で行われる。この処理において、パターン付面を有するマスタスタンプは、押付領域７の開口部を通して上方に押され、ポリマーホイルの下面と接触し、その一方で、反力は、上方からホイルの上面に向けてもたらされる。スタンプと圧力をもたらすための手段とは、これらスタンプ及び手段の特徴及び機能が本発明の一部ではないので、簡素化のために図面から省略されている。ベースプラットホーム１は、インプリント機械の一部を形成し得る、または、インプリント機械に搭載するための離型デバイスの一部として設けられ得る。２つのトレーラ２は、押付領域７の両側に設けられており、例えば、ベースプラットホーム１に取り付けられており、ホイル給送方向に延在する。離型モジュール３は、キャリア１２を備えており、このキャリアは、平行なトレーラ２に接続された取付部品を用いてベースプラットホーム１に対してスライド可能に取り付けられている。図示の実施形態において、２つの取付部品を示しており、これら取付部品は、最も左側のトレーラ２に係合されており、対応する取付部品は、好ましくは、最も右側のトレーラ２と係合するように配設されている。離型モジュールは、ベースプラットホーム１から取外し可能であり得る。図１は、同様に、溝付離型ローラ８と、押付ゴム被覆ローラ９と、接触ゴム被覆ローラ１０と、を示している。別の２つのローラ５及び１３は、テンションローラである。キャリア１２は、モータ４によって駆動され、このモータは、例えば電動式、空圧式または油圧式であり得る。モータ４は、ベースプラットホーム１の側方でトレーラ２のうちの一側に搭載され得る。

図２は、離型デバイスの離型モジュールのローラ設置を示す。離型モジュール３は、スライドキャリア１２に搭載された１組のローラを備え、この１組のローラは、押付ローラ９、離型ローラ８及び接触ローラ１０を有する。好ましい実施形態において、離型ローラ８は、溝１８を有する。より詳しくは、図２の実施形態から最もよく推測できるように、離型ローラは、第１直径の軸方向外側部分２８と、第１直径よりも小径である第２直径の中央溝１８と、を有する。この実施形態において、離型ローラ８は、外側部分２８でホイルと係合するように構成されているが、溝付内側部分１８では係合しない。このように、溝１８の表面とホイル上のインプリントパターンとの間の接触を避ける。このため、溝１８は、インプリントパターンの幅を超える軸方向幅を有するように構成されており、この軸方向幅は、インプリント機械で使用されるテンプレートによって決定される。

図３は、どのようにポリマーホイル３１が離型モジュール３のローラを通過させるかを概略的に示す。より具体的には、ポリマーホイルは、押付ローラ９の下方を通り、そして、離型ローラ８の上方を通っており、離型モジュール３の前後でほぼ同じ方向に給送されている。接触ローラ１０は、ポリマーホイル３１を離型ローラ１３の軸方向外側部分で離型ローラ８に向けてクランプする一方、溝１８において離型ローラ８とポリマーホイルとの間の接触はない。

モータ４の作用により、離型モジュールは、ポリマーホイル３１を前方に、すなわちホイル３１の給送方向にスライドさせるように構成されおり、ポリマーホイル３１をインプリントのために配置し、それにより、テンプレートパターンをホイル３１に転写する。この点において、離型モジュールは、図１に示すように、押付領域７の「下流側」に配置されており、それにより、ポリマーホイルは、押付ローラ９を用いてベースプラットホーム１に近接近されるまたはベースプラットホームと接触させられる。ホイル３１のうちインプリントされる部分は、押付領域７の開口部に位置付けられ、したがって、ベースプラットホーム１と接触しない。インプリント後、離型モジュール３は、押付領域７の向こう側にそして押付領域を越えるように後方へスライドして戻り、それにより、今インプリントされたポリマーホイル３１は、離型ローラ８を回転させることによって上昇される。そして、離型モジュールは、押付領域７に対して「上流側」に位置付けられる。ここで、ポリマーホイル３１は、前方に給送され得、ポリマーホイル３１のうち新規の部分を押付領域７にわたって配置する。その後、離型モジュール３は、再び、押付領域７を越えて図１の位置まで通過され得る。いったん離型モジュール３を図１に示す位置へ戻すと、概説した処理段階を繰り返し得、それにより、ポリマーホイル３１に一列のインプリントパターンを設け、これらパターンそれぞれは、ＩＰＳとして使用され得る。

一実施形態において、ポリマーホイル３１は、押付領域７の前に配置された第１テンションプレスを通り、押付領域７の後に配置された第２テンションプレスを通るように、駆動される。第１テンションプレスにおいて、ホイルは、第１テンションローラ５と第１テンションブロック６との間に案内される。ホイルは、ベースプラットホーム１で押付領域７のインプリント開口部を覆い続け、そして、好ましくはゴム被覆された押付ローラ９の下方及び離型ローラ８の上方を覆う。図示の実施形態において、離型ローラ８は、押付ローラ９の前方に吊り下げられている、すなわち、これらローラの軸は、キャリアのスライド方向に配置されている。別の実施形態において、離型ローラ８は、むしろ、押付ローラ９の上方に、または、押付ローラの後方に、配置され得る。離型ローラ８には、好ましくは、上述したように溝が付されており、それにより、離型ローラは、ポリマーホイルの両縁部において、ローラの軸方向外側部分を用いてホイル３１を接触ローラ１０に向けてクランプする。これにより、インプリントされたパターン面を溝付離型ローラ８の溝１８に向けさせる。同様に、接触ローラ１０は、好ましくは、ゴム被覆されている。その後、ホイルは、第２テンションプレスの第２テンションローラ１３及びそのテンションブロック１１を通過する。２つのテンションローラ５及び１３は、これらローラそれぞれのテンションブロック６及び１１と共に、これらテンションローラがホイル３１をクランプしてホイルの張力を保持するように構成されている場合に、ポリマーホイル上のパターンがホイルの行程中に、すなわちテンションプレス間でキャリア１２をスライドさせている間に、ローラまたは他の表面と接触しないことを保証する。その後、パターン付ホイルは、第２インプリントステーションに進み得る。

一実施形態において、離型デバイスは、第１インプリント段階と連動して以下のように動作し得る。第１インプリントステーションの押付領域７でインプリントした後、キャリア１２に搭載された離型モジュール３は、後方へスライドして戻りつつ、第１及び第２テンションプレスのうちの少なくとも一方は、ポリマーホイルの張力を一定のまま維持し、ポリマーホイルをテンプレートから離型する。離型することは、ポリマーホイルとスタンプとの間の予め規定した角度で作動され得、この角度は、離型中の押付領域７におけるテンプレートの上昇と押付ローラ９の上昇位置とによって規定され、それにより、剥離作用をもたらす。離型は、ポリマーホイルのパターン面に接触することなく行われる。テンションプレスは、ポリマーホイルを解放し、ポリマーホイルを次のインプリントステーションに移動させ、適用可能である場合には、新たなホイル部分を押付領域７に配置する。離型モジュール３は、その初期位置まで前方へ駆動される。この処理は、必要な回数だけ同じ段階を繰り返すことによって、続けられる。

これにより、パターンを有する一連の中間スタンプ面を有するポリマーホイル３３を形成しており、簡素化する目的でホイルが離型モジュール３から出ているような図３に示す。しかしながら、当業者が理解することは、インプリントを押付領域７でインプリント機械によってではあるが離型モジュールで実行しないこと、である。一実施形態において、インプリントされたホイル３３は、第２インプリント段階へ続き、この第２インプリント段階では、ポリマーホイル表面上のインプリントされたパターンは、二次スタンプとして使用され、同様に、すでに説明したようにＩＰＳと称される。この第２インプリント段階において、第１インプリント段階用と同じタイプの離型デバイスを採用し得、したがって、同じ参照符号をこの実施形態において参考として使用し、この離型デバイスは、以下のように動作し得る。

インプリントされたポリマーホイル３３は、その下面に一連の中間ポリマースタンプを有しており、インプリント機械の第２押付領域７を越えて間欠的に給送される。第２押付領域７は、第１段階のように同じインプリント機械の第２インプリントステーション、または、例えば第１インプリント機械に連続的に接続された第２インプリント機械の押付領域７、を構成する。インプリントされたホイル３３は、第２押付領域７を越えるように給送方向で間欠的に通され、この第２押付領域では、ホイル３３のインプリントされた表面は、インプリントされる基板の協働する表面に当接して押し付けられる。基板は、インプリントデバイスにある公知の手段を用いて、例えば真空吸引によって吊り下げられ得る。第２押付領域７において、インプリントされたホイル３３の中間ポリマースタンプは、基板表面に向けて押し付けられ、この基板は、中間ポリマースタンプのパターンをホイルの基板表面にインプリントするために、弾性変形可能な材料で被覆されている。離型デバイスは、他の方法で、対応する他の機能、すなわち、キャリア１２と、キャリアに搭載された押付ローラ９と、キャリアに押付ローラと平行に搭載された離型ローラ８と、を備え得る。さらに、離型デバイスは、第１インプリント段階に関してすでに説明したように、対応する方法で動作するように構成され得る。このように、キャリアは、好ましくは、インプリントされたポリマーホイル３３の給送方向に逆らって押付領域を越えてスライドするように構成されており、一方で、パターンを中間スタンプから基板へインプリントした後に基板からホイルを取り外すために押付ローラの下方そして離型ローラの上方でホイルをローラ給送する。

好ましい実施形態において、キャリア１２に搭載された離型モジュール３は、第２押付領域７でインプリントした後に後方へスライドして戻され、一方で、第１及び第２テンションプレスのうちの少なくとも一方は、ポリマーホイル張力を一定に維持し、ポリマーホイルを基板から離型させる。離型することは、ポリマーホイルと基板との間の予め規定した角度で作動され得、この角度は、離型中の押付領域７におけるテンプレートの上昇と押付ローラ９の上昇位置とによって規定され、それにより、剥離作用をもたらす。離型は、ポリマーホイルのパターン面に接触することなく行われる。テンションプレスは、ポリマーホイルを解放し、ポリマーホイルを第２インプリントステーションから離間するように移動させ、別の中間ポリマースタンプを有する新たなホイル部分を第２押付領域７に配置する。離型モジュール３は、その初期位置まで前方へ駆動される。この処理は、必要な回数だけ同じ段階を繰り返すことによって、続けられる。基板は、好ましくは、ＵＶ放射、加熱または双方、場合によっては金属化を含む後処理を受ける。しかし、基板の処理は、本発明の一部ではない。

一実施形態において、接触ローラ１０は、ゴム被覆され得、０．２ｋｇから２．０ｋｇに対応する力で下方に押し付けるように構成されている。押付ローラ９は、同様に、ゴム被覆され得、０．２ｋｇから４．０ｋｇに対応する力で下方に押し付けるように構成されている。離型ローラ８は、好ましくは、溝１８を有する金属ローラであり、０ｋｇから２．０ｋｇに対応する力で押付ローラ９に向けて押し付けるように構成されている。

図３から理解されるように、ポリマーホイル３１は、離型モジュール３のローラ８、９、１０を通過し、それにより、パターン付面は、下を向き、離型ローラ８内で溝１８を向く。ポリマーホイル３１上のパターン面は、ホイルの外側縁部３２のみで離型ローラ８と接触し、この外側縁部は、各側で２ｍｍから１００ｍｍで離型ローラ８の軸方向外側部分２８と接触する。好ましくは、ホイル３１は、接触ローラ３５によって外側部分２８にクランプされており、ポリマーホイル張力を一定に維持することを補助する。溝１８のサイズは、パターンサイズに依存し、ローラ長さは、ポリマーホイル幅に依存する。好ましくは、さまざまな組のローラを採用し得、これらローラは、インプリント状況に基づいて交換され得る。ポリマーホイル３１の張力を一体に保つことは、ポリマーホイル３１が例えばベースプラットホーム１と接触することを防止する。これは、離型モジュール３の３つのローラ８、９及び１０をローラ５、１３及び対応するテンションブロック６、１１と併せて使用することにより、得られる。

図４は、離型モジュール３の一部、より詳しくはローラ８、９、１０を示す別の図面である。好ましい実施形態において、押付ローラ９及び接触ローラ１０双方は、ゴム被覆されたローラである。これらローラは、好ましくは、同様に、取外し可能である。好ましい実施形態において、離型ローラ８は、金属表面を有し、この金属表面は、より安定であり、ホイル３１のパターン付した下面に対して良好な接触面を形成するという利点を有する。離型ローラ８は、好ましくは、キャリア１２に回転可能に固定されている。３つのローラ８、９、１０全ては、好ましくは、両軸方向端部でバネ４１に嵌っており、そのため、ポリマーホイル３１の張力を一定に保つために張力を調整することができ、付与及び離型処理における圧力を調整する。

図５は、概略的な態様で、インプリント機械の離型デバイスの側面図を示す。ローラ８、９、１０を有する離型モジュール３は、この図面において、押付領域７の出力側に配置されており、ポリマーホイル３１は、この図面において右側から給送される。離型モジュールを図面のように配置すると、ポリマーホイル３１は、押付領域７で下側にある協働表面５１に近接して保持される。一実施形態にかかる第１印刷段階において、協働表面５１は、主として、テンプレートの構造化表面であり、この構造化表面は、ホルダ５２に吊り下げられている。反作用部材５３は、ポリマーホイル３１を協働表面５１に対してホルダ５２と併せて使用され、それにより、テンプレートのパターンをポリマーフィルム３１の下面にインプリントする。

別の実施形態において、図５は、第２インプリントステーションの押付領域７を示し得る。このような実施形態において、右側から給送されたポリマーホイル３３は、すでにインプリントされており、それにより、一連の中間ポリマースタンプをポリマーホイルに形成する（図３のホイル３３参照）。協働表面５１は、基板の被覆面であり得、ホルダ５２に吊り下げられ得る。この実施形態において、押付領域７で実行されたインプリント段階は、被覆された基板表面５１にポリマーホイル３３上の中間スタンプのパターンをインプリントするように機能する。

図６は、一例として、ポリマーホイル３３がホイル３３の内側部分における一面に被インプリント部分６１を有する一方で、図３に示すように、ローラ８及び１０間でクランプするためにホイル３３の外側部分３２に余裕があることを示している。当業者が理解するように、このようなポリマーホイル３３は、上述した第１インプリント段階の結果として生じ得、同様に、説明した第２インプリント段階における中間ポリマースタンプ６１として機能し得る。

本明細書で示した解決法は、効果的な離型処理という利点を提供し、この離型処理は、これら段階を別の場所で行わないとならないのではなく、インプリント位置で直接使用され得る。好ましい実施形態において、提案した離型デバイスは、離型して例えば第２インプリント段階のようなさらなる処理のために移送する際にインプリントされたパターンの一体性を維持するための解決法をさらに提供する。このように、本発明の好ましい実施形態にかかる離型デバイスは、第１インプリントステーションから処理の終わりまでのずっとポリマーホイル上のパターン付表面を清浄に保って無傷のままとする、ことを保証する。

上記は、本発明の原理、好ましい実施形態及び動作モードを説明した。しかしながら、本発明は、限定的であるというよりは例示的であり、上述した特有の実施形態に限定されるようではないとみなされるべきである。本発明のさまざまな実施形態にかかるさまざまな特徴は、明確に説明した組合せ以外の他の組合せで組み合わされ得る。したがって、想定されることは、以下の特許請求の範囲によって規定したように、当業者が本発明の範囲から逸脱することなくこれら実施形態に改変をなし得ること、である。

２ トレーラ、３ 離型デバイス，離型モジュール、５ 第１テンションローラ、６ 第１テンションブロック、７ 押付領域、８ 溝付離型ローラ、９ 押付ローラ、１０ 接触ゴム被覆ローラ、１１ 第２テンションブロック、１２ スライドキャリア、１３ 第２テンションローラ、１８ 溝付内側部分，中央溝、２８ 軸方向外側部分、３１ ポリマーホイル，ポリマーフィルム、５１ 基板表面，協働表面

Claims (13)

1. ホイル（３１）が押付領域（７）を給送方向で間欠的に通り越すインプリント機械で使用するための離型デバイス（３）であって、
   前記押付領域では、パターンをインプリントするために、前記ホイルの表面を協働表面に当接して押し付け、
   当該離型デバイスが、
   キャリア（１２）と、
   前記キャリアに搭載された押付ローラ（９）と、
   前記キャリアで前記押付ローラと平行に搭載された離型ローラ（８）と、
   前記離型ローラの上方で前記キャリアに吊り下げられた接触ローラ（１０）と、
   を備え、
   前記キャリアが、前記ホイルを前記協働表面から取り外すために、前記給送方向に逆らって前記押付領域を越えるようにスライドしつつ、前記ホイルを前記押付ローラの下方及び前記離型ローラの上方で給送させるように構成されており、
   前記離型ローラが、前記ホイルと係合するように構成された第１直径の軸方向外側部分（２８）と、前記第１直径よりも小径である第２直径の中央溝（１８）と、を有し、それにより、前記中央溝の表面と前記ホイルのインプリントしたパターンとの間の接触を回避し、
   前記ホイルが、前記接触ローラと前記離型ローラとの間を進むことを特徴とする離型デバイス。
2. 前記中央溝が、前記ホイルのうちインプリントしたパターンが存在する被インプリント部分の幅を超えるように構成された軸方向幅を有することを特徴とする請求項１に記載の離型デバイス。
3. 前記キャリアが、前記押付領域で前記ホイルを前記協働表面にわたって付けるために、前記給送方向で前記押付領域を越えて前方にスライドするように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の離型デバイス。
4. 前記キャリアが、前記押付領域の両側で前記給送方向に延在する２つの平行なトレーラ（２）にスライド可能に接続された取付部品を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の離型デバイス。
5. 前記キャリアを前記トレーラに沿って駆動するように構成されたモータを備えることを特徴とする請求項４に記載の離型デバイス。
6. 前記接触ローラ（１０）が、前記ホイルを前記離型ローラの前記軸方向外側部分（２８）に当接してクランプするように構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の離型デバイス。
7. 前記接触ローラ（１０）が、０．２ｋｇ以上２．０ｋｇ以下に対応する力で前記離型ローラ（８）に向けて付勢されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の離型デバイス。
8. 前記押付ローラ（９）が、０．２ｋｇ以上４．０ｋｇ以下に対応する力で下方に向けて付勢されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の離型デバイス。
9. 前記離型ローラ（８）が、０ｋｇより大きく２．０ｋｇ以下に対応する力で前記押付ローラ（９）に向けて付勢されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の離型デバイス。
10. 請求項１から９のいずれか１項に記載の離型デバイスを備えるインプリント機械であって、
    前記キャリアが、前記押付領域（７）前の第１テンションプレス（５、６）と前記押付領域の後の第２テンションプレス（１３、１１）との間でスライド可能であり、
    前記第１及び第２テンションプレスが、前記キャリアをスライドさせている間、前記ホイルの予め定めた張力を維持するように構成されていることを特徴とするインプリント機械。
11. 前記ホイル（３１）が、前記第１テンションプレスにおいて第１テンションローラ（５）と第１テンションブロック（６）との間を通り、前記第２テンションプレスにおいて第２テンションローラ（１３）と第２テンションブロック（１１）との間を通ることを特徴とする請求項１０に記載のインプリント機械。
12. 請求項１から９のいずれか１項に記載の離型デバイスを備えるインプリント機械であって、
    前記協働表面が、パターンを有するテンプレート表面であり、
    前記パターンが、前記ホイルの表面にインプリントされることを特徴とするインプリント機械。
13. 前記ホイルの表面が、パターンを有する一連のスタンプ表面を有し、前記協働表面が、基板であり、それにより、前記ホイルの前記パターンが、前記押付領域で前記基板に転写されることを特徴とする請求項１２に記載のインプリント機械。

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