JP2016213423A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 基板の裏面を粘着シートに貼り付けた状態で、前記基板の表面を覆い、かつ前記基板の外周をはみ出して前記粘着シートと接触するように、光硬化樹脂を塗布する樹脂塗布工程と、
   前記基板の裏面側から光を照射することにより、前記粘着シートと接触する光硬化樹脂を硬化させる事前硬化工程と、
   モールドに形成される微細パターンを、前記基板の表面上の光硬化性樹脂に押し当てる加圧工程と、
   前記基板の表面側から光を照射することにより、前記基板の表面上の光硬化樹脂を硬化させる硬化工程と、
   前記粘着シート上で硬化している箇所から剥離を行うことによって、前記光硬化樹脂から前記モールドを離型する離型工程と、を有する
   ことを特徴とするインプリント方法。
2. 前記加圧工程は、光透過性を有する平板ツールが前記モールドを加圧することによって行われ、
   前記硬化工程は、前記平板ツールを介して光を照射することによって行われる
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント方法。
3. 前記加圧工程は、流体が前記モールドを加圧することによって行われる
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント方法。
4. 前記加圧工程は、加圧ロールが前記モールドを加圧しながら、前記加圧ロールの軸方向及び加圧方向に垂直な送り方向に送られることによって行われ、
   前記硬化工程は、前記加圧ロールの移動と同期して移動する光照射器が前記基板の表面上の光硬化樹脂を順次硬化させることによって行われる
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント方法。
5. 前記事前硬化工程では、前記送り方向おいて、前記基板の下流にある光硬化樹脂には光を照射せず、前記基板の最も上流の部分よりもさらに上流側の光硬化樹脂に光を照射し、
   前記離型工程は、前記送り方向における上流側から剥離することによって行われる
   ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント方法。
6. 前記樹脂塗布工程では、前記送り方向において前記基板の下流にある前記粘着シートには光硬化樹脂を塗布せず、前記基板の最も上流の部分よりもさらに上流側の前記粘着シートに光硬化樹脂を塗布し、
   前記離型工程は、前記送り方向における上流側から剥離することによって行われる
   ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント方法。
7. 基板の裏面を貼り付けて保持可能であって、光透過性及び可撓性を有する粘着シートと、
   前記基板の表面を覆い、かつ前記基板の外周をはみ出して前記粘着シートと接触するように、光硬化樹脂を塗布可能な樹脂塗布装置と、
   前記粘着シートを介して前記基板を設置可能であって、光透過性を有するステージと、
   前記ステージ及び前記粘着シートを介して前記基板の外周の少なくとも一部に光を照射可能な第１の光照射器と、
   前記基板の表面と向かい合う第１面に微細パターンが形成され、光透過性及び可撓性を有するモールドと、
   前記モールドの前記第１面と反対の第２面を加圧可能な加圧部材と、
   前記モールドを介して前記基板の表面に光を照射可能な第２の光照射器と、を備える
   ことを特徴とするインプリント装置。
8. 前記加圧部材は、光透過性を有する平板状であって、
   前記第２の光照射器は、前記加圧部材を介して、前記基板の表面に光を照射する
   ことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
9. 前記加圧部材は、流体である
   ことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
10. 前記加圧部材は、中心軸を有するロール形状であって、前記モールドの第２面を加圧しながら、前記中心軸方向及び加圧方向と垂直な送り方向に送られることによって、前記モールドを前記光硬化樹脂に順次加圧し、
    前記第２の光照射器は、前記加圧部材の移動と同期して移動し、順次基板の表面上の光硬化樹脂を順次硬化させる
    ことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。