KR20150104389A - 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법 - Google Patents

벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20150104389A
KR20150104389A KR1020140026065A KR20140026065A KR20150104389A KR 20150104389 A KR20150104389 A KR 20150104389A KR 1020140026065 A KR1020140026065 A KR 1020140026065A KR 20140026065 A KR20140026065 A KR 20140026065A KR 20150104389 A KR20150104389 A KR 20150104389A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
belt
pattern
coating layer
main roller
substrate
Prior art date
Application number
KR1020140026065A
Other languages
English (en)
Inventor
채주현
허지원
유지강
신명동
김유성
김새미
Original Assignee
(주)뉴옵틱스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)뉴옵틱스 filed Critical (주)뉴옵틱스
Priority to KR1020140026065A priority Critical patent/KR20150104389A/ko
Publication of KR20150104389A publication Critical patent/KR20150104389A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/42—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/04—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

본 발명은 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 기판을 이송 및 지지하는 컨베이어; 외주면에 패턴이 형성된 무한궤도식 벨트; 상기 벨트에 구동력을 전달하여 상기 벨트를 소정의 방향으로 회전시키는 구동부; 및 상기 벨트의 내주면의 적어도 일부와 접촉하여 상기 벨트를 지지하는 메인 롤러를 포함하며, 상기 메인 롤러와 컨베이어 간의 압착력에 의해 상기 벨트의 외주면과 상기 기판이 상호 접촉함에 따라 상기 벨트로부터 상기 기판으로 패턴이 전사되는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프를 제공한다.

Description

벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법{BELT TYPE STAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 대면적의 나노 패턴을 생성하기 위한 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
영상을 표시하는 디스플레이 장치나 데이터를 저장하는 메모리 등의 반도체 장치에는 다양한 패턴이 사용된다. 이처럼 다양한 산업분야에서 사용되는 패턴의 크기가 나노 단위 급으로 작아짐에 따라, 정밀한 패턴을 만들기 위한 다양한 시도들이 있었다. 이 중 나노 임프린트(Nano Imprint) 기술을 이용한 공정이 주목을 받고 있다.
나노 임프린트 기술은 나노 스케일의 패턴을 갖는 스탬프를 제작하고, 이런 스탬프를 고분자 박막에 각인하여 나노 스케일의 패턴을 전사(傳寫)하는 것이다. 종래에 이러한 나노 임프린트 기술에는 주로 평판 스탬프가 사용되었다. 그러나 평판 스탬프를 통해 인쇄할 경우, 대면적에 적용시 패턴의 균일도에 문제가 발생하고, 제작 비용이 상승하는 문제점이 있었다.
이에 따라, 원통 금형을 이용하여 패턴을 생성하는 기술이 개발되었다. 원통 금형은 회전하면서 연속적으로 패터닝이 가능하며, 대면적의 패터닝에 용이할 뿐만 아니라 생산성도 향상될 수 있는 장점이 있다.
그러나 대면적의 패턴 제작에 사용되는 원통 금형의 경우, 원통 자체의 부피 및 무게가 상당하기 때문에 사용에 따라 비틀림, 늘어짐 등으로 인한 오차가 발생할 수 있다. 또한 금형이 노후화 될 경우 원통 금형 자체를 교환해야 하므로 막대한 비용이 발생하는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 나노 단위의 미세한 패턴을 균일하게 생성하기 위한 목적을 가지고 있다.
또한, 본 발명은 기존의 원통 금형이 가지고 있는 단점을 극복하고, 저비용으로 나노급의 미세 패턴을 생성할 수 있는 장치를 제공하고자 하는 목적을 가지고 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 벨트형 스탬프는, 기판을 이송 및 지지하는 컨베이어; 외주면에 패턴이 형성된 무한궤도식 벨트; 상기 벨트에 구동력을 전달하여 상기 벨트를 소정의 방향으로 회전시키는 구동부; 및 상기 벨트의 내주면의 적어도 일부와 접촉하여 상기 벨트를 외측으로 가압하는 메인 롤러를 포함하며, 상기 메인 롤러의 가압력에 의해 상기 벨트의 외주면과 상기 기판이 상호 접촉함에 따라 상기 벨트로부터 상기 기판으로 패턴이 전사되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 벨트형 스탬프는, 상기 벨트의 회전 경로 상에 제공되어 상기 벨트를 지지하는 적어도 하나의 보조 롤러; 및 상기 메인 롤러와 상기 보조 롤러 간의 경로 상에 제공되며, 상기 벨트를 세정하는 세정부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에 따르면, 상기 벨트의 회전 경로 상에 순차적으로 제공되는 제1 보조 롤러 및 제2 보조 롤러를 포함하며, 상기 세정부는 상기 메인 롤러와 제1 보조 롤러 간의 경로상에 제공되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1 보조 롤러와 제2 보조 롤러 간의 경로 상에 제공되며, 상기 세정에 사용된 용매를 건조시키는 건조부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 메인 롤러는 상기 구동부를 축으로 하여 회전되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 패턴은 수지층으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 패턴은 금속 필름으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 방법은, 베이스의 외주면에 제1 코팅층을 적층시키는 단계; 상기 제1 코팅층의 상부에 제2 코팅층을 적층시키는 단계; 상기 제2 코팅층에 기 설정된 패턴이 형성되도록 상기 베이스에 평판 금형을 가압하는 단계; 상기 제2 코팅층을 식각 장벽으로 하여 상기 제1 코팅층을 식각하는 단계; 상기 베이스를 세정하여 상기 제2 코팅층을 제거하는 단계; 상기 베이스의 양 끝단을 연결하는 단계; 및 상기 연결된 베이스를 메인 롤러에 체결하여 무한궤도식 벨트를 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 제1 코팅층은 금속 필름으로 이루어지며, 상기 제2 코팅층은 수지층으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 패턴이 형성된 제2 코팅층을 경화시키는 단계를 더 포함하며, 상기 제2 코팅층은 광경화성 수지 또는 열경화성 수지인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 벨트형 스탬프를 이용하여 나노급의 대면적 패턴을 용이하게 생성할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따르면, 대면적의 나노급 패턴의 생성시에도 패턴의 균일성을 유지하여 고품질의 패턴 프린팅을 수행할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따르면, 패턴이 노후화 될 경우 벨트만을 교체하여 스탬프를 지속적으로 사용할 수 있으므로, 저비용으로 유지 관리가 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 벨트형 스탬프의 일 실시예를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명의 따른 벨트형 스탬프의 다른 실시예를 나타낸 개략도.
도 3은 벨트형 스탬프의 패턴과 동일한 패턴을 기판에 전사하는 실시예를 나타낸 도면.
도 4는 벨트형 스탬프의 패턴과 반전된 패턴을 기판에 전사하는 실시예를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 방법을 나타낸 순서도.
도 6은 도 5의 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 공정을 개략적으로 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 방법을 나타낸 순서도.
도 8은 도 7의 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 공정을 개략적으로 나타낸 도면.
본 명세서에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도, 관례 또는 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한 특정 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 명세서에서 사용되는 용어는, 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가진 실질적인 의미와 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 해석되어야 함을 밝혀두고자 한다.
도 1은 본 발명에 따른 벨트형 스탬프의 일 실시예를 나타낸 개략도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 벨트형 스탬프는 벨트(110), 메인 롤러(140), 구동부(150) 및 컨베이어(200)를 포함할 수 있다.
벨트(110)는 기판(10)에 스탬핑을 수행하기 위한 패턴(125)이 외주면에 형성되어 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 패턴(125)은 수지층으로 이루어질 수 있다. 또한, 다른 실시예에 따르면, 상기 패턴(125)은 금속 필름으로 이루어질 수 있다. 벨트(110)의 외주면에 패턴(125)을 형성하는 구체적인 방법은 후술하도록 한다.
메인 롤러(140)는 벨트(110)의 내주면의 일부 또는 전부와 접촉하여 상기 벨트(110)를 지지한다.
또한, 구동부(150)는 벨트(110)에 구동력을 전달하여 벨트(110)를 소정의 방향으로 회전시킨다.
상기 메인 롤러(140)는 구동부(150)의 구동력을 직접 또는 간접적으로 전달 받아 회전할 수 있다. 마찬가지로, 벨트(110) 역시 구동부(150)의 구동력을 직접 또는 간접적으로 전달 받아 회전할 수 있다.
도 1의 실시예에 따르면, 메인 롤러(140)는 구동부(150)와 직접 체결되어 회전 구동력을 전달 받고, 이를 벨트(110)로 전달할 수 있다. 이때, 메인 롤러(140)는 구동부(150)를 축으로 하여 회전될 수 있으며, 구동부(150)의 구동력을 벨트(110)로 전달하는 매개체가 된다.
다른 실시예에 따르면, 메인 롤러(140)는 구동부(150)와 서로 다른 위치에 제공될 수 있으며, 벨트(110)를 통해 구동부(150)의 회전 구동력을 전달 받을 수 있다.
벨트(110)는 메인 롤러(140)를 감싸도록 제공될 수 있으며, 메인 롤러(140)에 체결되어 무한궤도식 벨트를 형성한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 벨트(110)의 원주 길이는 메인 롤러(140)의 원주 길이와 동일하거나 길게 제공될 수 있다. 벨트(110)의 원주 길이와 메인 롤러(140)의 원주 길이가 동일할 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 벨트(110)가 메인 롤러(140)에 밀착되어 함께 회전할 수 있다. 벨트(110)의 원주 길이가 메인 롤러(140)의 원주 길이보다 긴 실시예는 도 2에서 더욱 상세하게 설명하도록 한다.
컨베이어(200)는 기판(10)을 이송 및 지지하기 위한 구성으로써, 다양한 형태 및 실시예로 제공될 수 있다. 기판(10)을 이송하기 위해 동력을 제공하는 이송부(미도시)는 기판(10)을 지지하는 지지부와 별도로 제공될 수도 있으며 일체로 제공될 수도 있다. 컨베이어(200)는 메인 롤러(140)의 회전 속도에 대응하여 적어도 하나의 기판(10)을 이송한다.
메인 롤러(140)와 컨베이어(200)가 마주보는 지점에서는 메인 롤러(140)와 컨베이어(200) 간의 압착력에 의해 벨트(110)의 외주면과 기판(10)이 상호 접촉한다. 이에 따라, 벨트(110)로부터 기판(10)으로 패턴이 전사될 수 있다. 이때, 기판(10)에 전사되는 패턴은 벨트(110)에 형성된 패턴(125)과 동일한 패턴이거나 반전된 패턴이 될 수 있다.
도 2는 본 발명의 따른 벨트형 스탬프의 다른 실시예를 나타낸 개략도이다. 도 2의 실시예에서 도 1의 실시예와 동일하거나 상응하는 부분은 중복적인 설명을 생략하도록 한다.
도 2를 참조하면, 벨트(110)의 원주 길이는 메인 롤러(140)의 원주 길이보다 길게 제공될 수 있다. 이때, 벨트형 스탬프는 벨트(110)에 소정의 장력이 걸리도록 지지하는 적어도 하나의 보조 롤러(142a, 142b)를 추가로 구비 할 수 있다. 상기 보조 롤러(142a, 142b)는 벨트(110)의 회전 경로 상에 제공되며, 벨트(110)의 내주면과 접촉하여 벨트(110)를 지지할 수 있다.
구동부(150)는 메인 롤러(140) 및 보조 롤러(142a, 142b) 중 적어도 하나에 체결되어 구동력을 벨트(110)로 전달 한다. 도 2에 도시된 바와 같이 구동부(150)가 메인 롤러(140)에 직접 체결될 경우, 메인 롤러(140)는 동륜(driving wheel)으로, 보조 롤러(142a, 142b)는 종륜(trailing wheel)으로 작동할 수 있다. 다만 본 발명은 이에 한정하지 않으며, 보조 롤러(142a, 142b) 중 적어도 하나에 구동부(150)가 직접 체결되어 해당 보조 롤러가 동륜으로 작동하고, 메인 롤러(140)는 종륜으로 작동할 수도 있다. 또한, 메인 롤러(140) 및 보조 롤러(142a, 142b)에 각각 구동부(150)가 체결되어 각 롤러가 모두 동륜으로 작동할 수도 있음은 물론이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 벨트형 스탬프는 벨트(110)를 세정하기 위한 세정부(250)를 구비할 수 있다. 세정부(250)는 메인 롤러(140)와 보조 롤러(142a, 142b) 간의 벨트(110)의 회전 경로상에 제공되며, 벨트(110)를 세정하여 패턴(125)에 잔류하는 잉크를 제거할 수 있다. 실시예에 따라, 세정부(250)는 플라즈마 등을 이용한 건식 세정을 수행할 수도 있으며, 용매를 이용한 습식 세정을 수행할 수도 있다. 습식 세정이 수행될 경우, 용매로는 순수(純水), 이소프로필 알콜, 초임계 유체, 질소, 불활성 기체 등이 사용될 수 있다.
세정부(250)가 습식 세정을 수행할 경우, 벨트형 스탬프는 세정에 사용된 용매를 건조시키는 건조부(260)를 더 포함할 수 있다. 상기 세정부(250)와 건조부(260)는 벨트(110)의 회전 경로 상에 순차적으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이 벨트(110)의 회전 경로 상으로 제1 보조 롤러(142a)와 제2 보조 롤러(142b)가 순차적으로 제공될 경우, 세정부(250)는 메인 롤러(140)와 제1 보조 롤러(142a) 간의 벨트(110)의 회전 경로 상에, 건조부(260)는 제1 보조 롤러(142a)와 제2 보조 롤러(142b) 간의 벨트(110)의 회전 경로 상에 제공될 수 있다. 다만, 도 2에 도시된 구성은 본 발명의 일 실시예이며, 보조 롤러의 개수, 세정부(250) 및 건조부(260)의 구체적인 배치는 다양하게 변경 가능하다.
도 3은 벨트형 스탬프의 패턴과 동일한 패턴을 기판에 전사하는 실시예를 나타낸 도면이다. 본 발명에서 동일한 패턴이란 원본 패턴과 양각, 음각이 동일한 패턴을 가리킨다.
도 3의 실시예에 따르면, 잉크공급부(230)가 벨트(110)에 형성된 패턴(125)에 잉크를 도포할 수 있다. 도포된 잉크는 벨트(110)의 패턴(125)과 기판(10)이 상호 접촉함에 따라 기판(10)으로 전사된다. 이때, 패턴(125)의 양각 부위에 도포된 잉크가 기판(10)에 전사되어, 기판(10)에는 벨트(110)의 패턴(125)과 동일한 패턴이 형성될 수 있다.
실시예에 따라, 노광 및 식각 공정을 추가적으로 수행하여 기판(10)에 패턴을 형성할 수 있다. 잉크가 도포되기 전에 기판(10)에는 감광제가 균일하게 도포될 수 있으며, 도 3의 실시예에 따라 잉크가 도포된 후에는 기판(10)에 UV 노광이 수행될 수 있다. UV 노광을 수행하게 되면, 기판 상에서 잉크가 도포된 부분은 경화되고, 잉크가 도포되지 않고 감광제만 도포된 부분은 UV에 반응하게 된다. 이후, 식각 과정을 통해 UV에 반응한 부분을 식각하여 패턴을 형성할 수 있다. 이러한 일련의 과정을 통해 기판(10) 상에 패턴을 더욱 깔끔하게 형성할 수 있다.
도 4는 벨트형 스탬프의 패턴과 반전된 패턴을 기판에 전사하는 실시예를 나타낸 도면이다. 본 발명에서 반전된 패턴이란 원본 패턴과 양각, 음각이 반전된 패턴을 가리킨다.
도 4의 실시예에 따르면, 스탬핑이 수행되기 전에 잉크공급부(230)가 기판(10)에 잉크를 균일하게 도포할 수 있다. 잉크가 도포된 상태에서 벨트(110)의 패턴(125)과 기판(10)이 상호 접촉하면, 패턴(125)의 양각 부위와 맞닿는 기판(10) 부분은 잉크가 제거되어 음각 패턴이 형성될 수 있다. 따라서, 기판(10) 상에는 벨트(110)의 패턴(125)과는 반전된 패턴이 형성될 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이 기판(10) 상에 더욱 깔끔한 패턴을 형성하기 위해 노광 및 식각 공정이 추가적으로 수행될 수도 있다. 즉, 기판(10)에 잉크가 도포되기 전에 감광제가 균일하게 도포될 수 있으며, 도 4의 실시예에 따라 부분적으로 잉크가 제거된 후에는 기판(10)에 UV 노광이 수행될 수 있다. UV 노광을 수행하게 되면, 기판(10) 상에서 잉크가 제거된 부분은 UV에 반응하게 되고, 잉크가 남아있는 부분은 경화된다. 이후, 식각 과정을 통해 UV에 반응한 부분을 식각하여 패턴을 형성할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 또한, 도 6은 도 5의 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 공정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6의 실시예에 따르면, 먼저 베이스(100)의 상부에 코팅층(120)을 적층한다(S11). 이때 적층되는 물질은 연질의 코팅 물질인 것이 바람직하며, 예를 들면 수지층이 사용될 수 있다.
다음으로, 코팅층(120)에 기 설정된 패턴(125)이 형성되도록 베이스(100)에 평판 금형(300)을 가압한다(S12). 평판 금형(300)의 일 면에는 패턴(305)이 형성되어 있는데, 극자외선(EUV) 조사 장비 또는 전자빔(E-Beam) 조사 장비에 의해 나노 미터 급의 정밀도를 지닌 패턴이 형성될 수 있다.
베이스(100)에 평판 금형(300)이 가압되면, 연질의 코팅층(120)에는 패턴(125)이 형성될 수 있다. 이때 코팅층(120)에 형성되는 패턴(125)은 평판 금형(300)의 패턴(305)과는 반전된 패턴이다.
다음으로, 베이스(100)의 양 끝단을 연결한다(S13). 이때, 코팅층(120)에 생성된 패턴(125)이 외측을 향하도록 하여, 외주면에 패턴(125)이 형성된 벨트(110)를 제공할 수 있다.
다음으로, 연결된 베이스(100)를 메인 롤러(140)에 체결하여 무한궤도식 벨트(110)를 형성한다(S14). 메인 롤러(140)는 벨트(110)의 내주면의 일부 또는 전부와 접촉하여 상기 벨트(110)를 지지한다. 이때, 벨트(110)의 원주 길이는 도 6에 도시된 바와 같이 메인 롤러(140)의 원주 길이와 동일하게 제공될 수도 있으며, 전술한 바와 같이 더 길게 제공될 수도 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 또한, 도 8은 도 7의 실시예에 따른 벨트형 스탬프 제조 공정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
수지층으로 이루어진 패턴은 사용에 따라 마모가 되어 수명이 짧을 수 있다. 따라서 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 금속 필름으로 이루어진 패턴을 형성할 수 있다.
이를 위해, 먼저 베이스(100)의 상부에 제1 코팅층(130)을 적층한다(S21). 이때 적층되는 물질은 금속 필름이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 크롬(Cr) 등과 같이 단단한 특성을 갖는 물질이 사용될 수 있다.
다음으로, 제1 코팅층(130)의 상부에 제2 코팅층(120)을 적층한다(S22). 이때 적층되는 물질은 연질의 코팅 물질인 것이 바람직하며, 전술한 바와 같이 수지층이 사용될 수 있다.
다음으로, 제2 코팅층(120)에 기 설정되 패턴이 형성되도록 베이스(100)에 평판 금형(300)을 가압한다(S23). 베이스(100)에 평판 금형(300)이 가압되면, 연질의 제2 코팅층(120)에는 패턴(125)이 형성될 수 있다. 이때 제2 코팅층(120)에 형성되는 패턴(125)은 평판 금형(300)의 패턴(305)과는 반전된 패턴이다.
다음으로, 제2 코팅층(120)을 식각 장벽으로 하여 제1 코팅층을 식각한다(S24). 이때, 사용되는 식각 방식으로는 플라즈마 기체를 이용하는 건식 식각 및 용액을 이용하는 습식 식각 중 어느 것이든 사용될 수 있다. 한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 식각 과정을 수행하기 전에 제2 코팅층(120)을 경화시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 제2 코팅층(120)은 광경화성 수지 또는 열경화성 수지인 것이 바람직하다.
다음으로, 베이스를 세정하여 제2 코팅층을 제거한다(S25). 이때, 세정 방법으로는 플라즈마를 이용한 건식 세정 및 용매를 이용한 습식 세정 등 다양한 방법이 사용될 수 있다. 습식 세정이 수행될 경우, 용매로는 순수(純水), 이소프로필 알콜, 초임계 유체, 질소, 불활성 기체 등이 사용될 수 있다.
다음으로, 베이스(100)의 양 끝단을 연결한다(S26). 이때, 제1 코팅층(130)에 생성된 패턴(135)이 외측을 향하도록 하여, 외주면에 패턴(135)이 형성된 벨트(110)를 제공할 수 있다.
다음으로, 연결된 베이스(100)를 메인 롤러(140)에 체결하여 무한궤도식 벨트(110)를 형성한다(S27). 메인 롤러(140)는 벨트(110)의 내주면의 일부 또는 전부와 접촉하여 상기 벨트(110)를 지지한다. 이때, 벨트(110)의 원주 길이는 도 8에 도시된 바와 같이 메인 롤러(140)의 원주 길이와 동일하게 제공될 수도 있으며, 전술한 바와 같이 더 길게 제공될 수도 있다.
이상에서는 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 설명하였으나, 당업자라면 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있다. 따라서 본 발명의 상세한 설명 및 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술분야에 속한 사람이 용이하게 유추할 수 있는 것은 본 발명의 권리범위에 속하는 것으로 해석된다.
10 : 기판 100 : 베이스
110 : 벨트 120, 130 : 코팅층
125, 135 : 패턴 140 : 메인 롤러
142a, 142b : 보조 롤러 150 : 구동부
200 : 컨베이어 230 : 잉크공급부
250 : 세정부 260 : 건조부
300 : 평판 금형

Claims (10)

  1. 기판을 이송 및 지지하는 컨베이어;
    외주면에 패턴이 형성된 무한궤도식 벨트;
    상기 벨트에 구동력을 전달하여 상기 벨트를 소정의 방향으로 회전시키는 구동부; 및
    상기 벨트의 내주면의 적어도 일부와 접촉하여 상기 벨트를 지지하는 메인 롤러를 포함하며,
    상기 메인 롤러와 컨베이어 간의 압착력에 의해 상기 벨트의 외주면과 상기 기판이 상호 접촉함에 따라 상기 벨트로부터 상기 기판으로 패턴이 전사되는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 벨트의 회전 경로 상에 제공되어 상기 벨트를 지지하는 적어도 하나의 보조 롤러; 및
    상기 메인 롤러와 상기 보조 롤러 간의 경로 상에 제공되며, 상기 벨트를 세정하는 세정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 벨트의 회전 경로 상에 순차적으로 제공되는 제1 보조 롤러 및 제2 보조 롤러를 포함하며,
    상기 세정부는 상기 메인 롤러와 제1 보조 롤러 간의 경로상에 제공되는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 보조 롤러와 제2 보조 롤러 간의 경로 상에 제공되며, 상기 세정에 사용된 용매를 건조시키는 건조부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 메인 롤러는 상기 구동부를 축으로 하여 회전되는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 패턴은 수지층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 패턴은 금속 필름으로 이루어진 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프.
  8. 베이스의 외주면에 제1 코팅층을 적층시키는 단계;
    상기 제1 코팅층의 상부에 제2 코팅층을 적층시키는 단계;
    상기 제2 코팅층에 기 설정된 패턴이 형성되도록 상기 베이스에 평판 금형을 가압하는 단계;
    상기 제2 코팅층을 식각 장벽으로 하여 상기 제1 코팅층을 식각하는 단계;
    상기 베이스를 세정하여 상기 제2 코팅층을 제거하는 단계;
    상기 베이스의 양 끝단을 연결하는 단계; 및
    상기 연결된 베이스를 메인 롤러에 체결하여 무한궤도식 벨트를 형성하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프의 제조방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 코팅층은 금속 필름으로 이루어지며, 상기 제2 코팅층은 수지층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프의 제조방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 패턴이 형성된 제2 코팅층을 경화시키는 단계를 더 포함하며,
    상기 제2 코팅층은 광경화성 수지 또는 열경화성 수지인 것을 특징으로 하는 벨트형 스탬프의 제조방법.
KR1020140026065A 2014-03-05 2014-03-05 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법 KR20150104389A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140026065A KR20150104389A (ko) 2014-03-05 2014-03-05 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140026065A KR20150104389A (ko) 2014-03-05 2014-03-05 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150104389A true KR20150104389A (ko) 2015-09-15

Family

ID=54244119

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140026065A KR20150104389A (ko) 2014-03-05 2014-03-05 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20150104389A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180099508A (ko) * 2017-02-28 2018-09-05 도시바 기카이 가부시키가이샤 패턴 임프린팅을 위한 장치 및 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180099508A (ko) * 2017-02-28 2018-09-05 도시바 기카이 가부시키가이샤 패턴 임프린팅을 위한 장치 및 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI574912B (zh) 大區域壓印微影術
US20140252679A1 (en) Large-scale imprint apparatus and method
TWI472422B (zh) 奈米壓印設備和方法
KR100941590B1 (ko) 음각 인쇄에 의한 미세패턴 인쇄방법
JP6702973B2 (ja) 搭載及び離型デバイス
Jeans et al. Advances in roll-to-roll imprint lithography for display applications
KR101512876B1 (ko) 개선된 나노임프린트 방법
CN106773531B (zh) 一种纳米压印装置中的压印滚轮及纳米压印装置
JP2007021898A (ja) レーザー彫刻用スリーブ印刷原版の製造方法及びレーザー彫刻用スリーブ印刷原版の製造装置
JP2007073696A (ja) パターン形成方法、パターン形成装置およびパターン形成ずみフィルム
KR20150104389A (ko) 벨트형 스탬프 및 이의 제조 방법
JP4826181B2 (ja) パターン形成方法およびパターン形成装置
KR100787237B1 (ko) 탄성중합체 스탬프를 이용한 롤-프린트 방식의 미세접촉인쇄장치
KR101024376B1 (ko) 미세 패턴 형성 방법
CN100548677C (zh) 一种毯带式凹版印刷机
JP5499822B2 (ja) 機能性薄膜の製造方法
KR100837339B1 (ko) 탄성중합체 스탬프를 이용한 롤 프린트 방식의 미세접촉인쇄장치
JP2007069559A (ja) 塗布装置及び塗布方法
KR20140141138A (ko) 인쇄장치
KR101545500B1 (ko) 인쇄장치
KR101793472B1 (ko) 패턴 복제장치
KR101354972B1 (ko) Ｕｖ 회전 몰딩기를 이용한 도전성 회로 인쇄 방법
KR20140141136A (ko) 인쇄장치
JP6521518B2 (ja) 導電性材料・微細構造体付き物品の製造装置および導電性材料・微細構造体付き物品の製造方法
JP2011173266A (ja) 凸版印刷装置およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal