TW201619624A - 測試分選機 - Google Patents

Abstract

一種測試分選機包括：載入裝置，配置為將電子部件載入測試盤；測試室，包括配置為與每個電子部件緊密接觸以測試每個電子部件的測試器；推動裝置，配置為朝向測試器推動安裝在測試盤上的每個電子部件；以及卸載裝置，配置為從測試盤上卸載在測試室中測試的每個電子部件，其中推動裝置包括配置為將壓力傳遞至電子部件的壓板、設置在壓板的中心部分中以在水準方向上延伸的第一軌道、具有配置為與第一軌道接觸的下端部分的上匹配板、具有配置為與第一軌道接觸的上端部分的下匹配板、以及設置在上、下匹配板中以與電子部件接觸的多個推動器。

Description

測試分選機

本發明涉及一種測試分選機。

測試分選機是支援對通過預定製造工藝製造的、諸如半導體裝置的電子部件的測試、根據測試結果按等級分類電子部件、以及將電子部件安裝在使用者盤上的裝置。

圖1和圖2是示出了典型的測試分選機的立體圖和平面圖。參照圖1和圖2，測試分選機1可包括載入裝置10、浸泡室20、測試室30、去浸泡室40和卸載裝置50。

在測試盤3a和3b中提供了可安置電子部件的多個插入件。測試盤3a和3b可通過多個傳送裝置（未示出）沿預定封閉路線迴圈。

載入裝置10能夠在載入位置將安裝在用戶盤2a上的未測試的電子部件載入到測試盤3a和3b中。

由於可能在不同的溫度環境下使用電子部件，所以有必要確定該電子部件是否在具體溫度環境下良好工作。在進行測試之前，可在浸泡室20中對安裝在測試盤3a和3b上的電子部件進行預加熱或預冷卻。

經由浸泡室20傳送至測試位置並安裝在測試盤3a和3b上的電子部件可在測試室30中進行測試。具體地，安裝在測試盤3a和3b上的電子部件可由推動裝置60朝向測試器70推動。電子部件和測試器70可通過其接觸或接合彼此電連接。在該狀態下，可對電子部件執行測試。

推動裝置60可包括與測試盤3a和3b匹配的匹配板以及用於朝測試盤3a和3b移動匹配板的配置。在匹配板的每個中都以矩陣圖案設置有多個推動器。單個推動器一一對應於測試盤3a和3b的單個插入件，並且能夠靠著測試器70壓定位在插入件中的電子部件。

同時，可為測試室30提供用於設定關於電子部件的溫度環境的加熱介質。為了精確的溫度設定，可在單個推動器中形成加熱介質流動路徑。可通過加熱介質流動路徑將加熱介質供給至單個電子部件。

可將承載測試過的電子部件的測試盤3a和3b傳送至去浸泡室40，在去浸泡室40中，可將電子部件加熱或冷卻至不引起卸載問題的溫度（例如，室溫）。

卸載裝置50可根據測試結果將電子部件按等級分類，並且可將電子部件從測試盤3a和3b卸載到空的用戶盤2b中。

如上所述，在測試分選機1中可設定不同的溫度環境。因而，在匹配板中可產生熱變形（熱膨脹或熱收縮）。如果在匹配板中產生熱變形，則設置於匹配板中的單個推動器的位置可改變。因此，推動器可能無法正常地壓安裝在測試盤3a和3b上的電子部件。結果，可能不正常地執行對電子部件的檢測，並且不能保障測試結果的可靠性。這可導致測試產量降低。另外，電子部件和/或測試器70 可變形或受到損害。

專利文獻1：第KR 10-0709114號韓國專利

本公開的實施方式提供了一種測試分選機，該測試分選機能夠使得電子部件的測試能順利執行，即使是在匹配板中產生熱變形時。

鑒於前述問題，本公開提供了一種測試分選機，包括：載入裝置，配置為將電子部件載入到測試盤中；測試室，包括配置為與電子部件 中的每個緊密接觸以對電子部件中的每個進行測試的測試器；推動裝置，配置為朝向測試器推動安裝在測試盤上的電子部件中的每個；以及卸載裝置，配置為從測試盤上卸載在測試室中測試的電子部件中的每個，其中，推動裝置包括配置為將壓力傳遞至電子部件的壓板、設置在壓板的中心部分中以在水準方向上延伸的第一軌道、具有配置為與第一軌道接觸的下端部分的上匹配板、具有配置為與第一軌道接觸的上端部分的下匹配板、以及設置在上匹配板和下匹配板中以與電子部件接觸的多個推動器。

另外，本公開還提供一種測試分選機，該測試分選機還包括：第二軌道，設置在壓板的下端部分中，並與下匹配板的下端部分向下間隔開；以及第三軌道，設置在壓板的上端部分中，並與上匹配板的上端部分向上間隔開。

另外，本公開還提供一種測試分選機，其中，當電子部件以M×N矩陣形式安裝在測試盤上時，上匹配板和下匹配板中的每個都與具有M/2×N矩陣形式的電子部件匹配，其中M是2或更大的偶數，並且N是1或更大的自然數。

另外，本公開還提供了一種測試分選機，其中，在第一軌道中形成有接合槽，以及在下匹配板的上端部分中設置有突出部，該突出部插入接合槽中以保持下匹配板相對於第一軌道的位置。

另外，本公開還提供了一種測試分選機，該測試分選機還包括：第一銷，設置在壓板的一側處；第二銷，設置在壓板的另一側處；第一支架，設置在下匹配板的一側處，並配置為與第一銷接合；以及第二支架，設置在下匹配板的另一側處，並配置為與第二銷接合。

另外，本公開還提供了測試分選機，其中在第一支架中形成有插入第一銷以支承第一支架的第一接合槽，在第二支架中形成有插入第二銷以支承第二支架的第二接合槽，第一接合槽包括：第一引導部分，配置為引導下匹配板，以使得隨著下匹配板的移動開始將第一銷插入第一接合槽，並且使得下匹配板朝第一軌道向上移動並靠近第一軌道；以及第一安置部分，當下匹配板接觸第一軌道時，第一銷定位在第一安置部分中；並且第二接合槽包括：第二引導部分，配置為引導下匹配板，以使得隨著下匹配板的移動開始將第二銷插入第二接合槽，並且使得下匹配板朝第一軌道向上移動並靠近第一軌道；以及第二安置部分，當下匹配板接觸第一軌道時，第二銷定位在第二安置部分中。

另外，本公開還提供了測試分選機，其中第一銷向前突出超過壓板，第二銷沒有向前突出超過壓板，第一支架沒有向後突出超過下匹配板，以及第二支架向後突出超過下匹配板。

另外，本公開還提供了測試分選機，該測試分選機還包括：移動主體，配置為朝向測試器移動；以及多個軸，配置為使移動主體與壓板互相連接，其中，軸中的一個連接至壓板的中心部分，並配置為抑制壓板的中心部分的熱變形，並且剩餘的軸連接至壓板，以便相對於壓板做相對移動，並配置為允許壓板除中心部分以外的部分的熱變形。

另外，本公開還提供了測試分選機，該測試分選機還包括：至少兩個球塞，配置為向前壓上匹配板和下匹配板，其中球塞中的每個都包括：球，具有前部，該前部部分地插入在上匹配板的下端部分的中心處或在下匹配板的上端部分的中心處在上下方向上延伸的狹槽中；以及彈性構件，在一個端部處連接至壓板並在另一端部處連接至球，並且配置為彈性地向前偏置球。

有益效果：根據本公開的實施方式，可提供一種測試分選機，該測試分選機能夠使得對電子部件的測試能夠順利執行，即使是在匹配板中產生熱變形時。

通過以下連同圖示給出的、對示例性實施方式的描述，本公開的優點和特徵以及實現這些優點和特徵的方法將變得顯而易見。將具體地描述示例性實施方式，以使得本領域技術人員可容易地實施發明構思。然而，應注意的是，這些示例性實施方式在任何方式均不旨在為限制性的，並且可進行各種修改而不脫離本公開的技術概念。本發明構思的範圍將由以下權利要求限定，而不是由對示例性實施方式的具體描述來限定。

根據將在以下描述的實施方式的測試分選機的載入裝置、測試室和卸載裝置與以上參照圖1和圖2描述的測試分選機的載入裝置、測試室和卸載裝置相同。因此，將省略對前述配置的描述。將詳細描述推動裝置100。

作為參考，在圖示中，X和-X方向可表示水準方向，Y和-Y方向可表示豎直方向，並且Z方向可表示前向方向，而-Z方向可表示後向方向。另外，X方向和-X方向可分別表示一個側方向和另一個側方向。

推動裝置100可向前（在Z方向上）推動安裝在測試盤上的電子部件，以使得電子部件與定位在測試盤的前方的測試器緊密接觸，其中，該測試盤定位在推動裝置100的前方（定位在與推動裝置100在Z方向上間隔開的點處）。

圖3是根據一個實施方式的、測試分選機的推動裝置100的、從前側觀察的立體圖。圖4是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的推動裝置100的、從後側觀察的立體圖。圖5是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的推動裝置100的分解立體圖。圖6是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的推動裝置100的主視圖。圖7是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的推動裝置100的側視圖。

如圖3至圖7所示，壓板110可定位在上匹配板130和下匹配板140 以及推動器150的後方。壓板110可將從後面接收的壓力傳遞至上匹配板130和下匹配板140和/或推動器150，並且可使推動器150與安裝在測試盤上的電子部件接觸。

雖然沒有在圖示中示出，然而在壓板110的後側可設置有移動主體（例如，致動器）。移動主體可通過多個軸160a和160b連接至壓板110。壓力可由移動主體的前向移動而產生。連接至移動主體的壓板110可將壓力傳遞至上匹配板130和下匹配板140和/或推動器150。

如圖6所示，假設具有M×N矩陣形式的電子部件安裝在測試盤上，則壓板110可具有覆蓋具有M×N矩陣形式的全部電子部件的尺寸。

如之前所描述的，加熱介質可供給至電子部件，從而設定用於待測試的電子部件的溫度環境。出於該目的，可在壓板110中以M×N矩陣形式形成多個通孔111。可經由通孔111和推動器150的加熱介質流動路徑151將加熱介質從壓板110的後側供給至單個電子部件。在這方面，雖然沒有在圖中示出，然而在壓板110的後側可設置有導管。可將加熱介質引入該導管中，並可通過通孔111供給至壓板110的前側。從這個角度來說，可理解的是，壓板110是導管的一部分。

在壓板110的一側和另一側，可設置有分別具有第一銷115和第二銷118的基礎部116和基礎部119。第一銷115和第二銷118可保持下匹配板140的位置。下文將對這一點進行描述。

如上所述，多個軸160a和160b可連接至壓板110的後側。在本實施方式中，總共設置有9根軸。在這9根軸中，軸160a可連接至壓板110的後表面的中心部分。軸160a可相對固定不動地連接至壓板110，由此抑制壓板110的中心部分的熱變形。另一方面，剩餘的軸160b可相對可移動地連接至壓板110，由此允許壓板110除中心部分以外的部分的熱變形。

第一軌道120、第二軌道121和第三軌道122可設置在壓板110的前側處。第一軌道120可在壓板110的中心部分水準延伸。第二軌道121可在壓板110的下端部分中水準延伸。第三軌道122可在壓板110的上端部分中水準延伸。軌道120、軌道121和軌道122可基本上引導上匹配板130和下匹配板140的安裝。另外，軌道120、軌道121和軌道122可支承上匹配板130和下匹配板140，以便保持上匹配板130和下匹配板140的位置。

如先前所描述的，可在不同的溫度環境下對電子部件進行測試。在該過程中，在上匹配板130和下匹配板140中可產生熱變形（熱膨脹或熱收縮）。如從以下數學公式可知的是，某構件的熱變形與該構件的初始長度成正比： ，其中L是熱變形之後測量的長度，L0是初始長度，α是熱變形係數，以及ΔT是溫度變化量。

當具有M×N矩陣形式的電子部件安裝在測試盤上時，由單一構件形成的常規匹配板覆蓋具有M×N的矩陣形式的全部電子部件。因而，積累的變形量可朝匹配板的端部變大。結果，存在於匹配板的端部的側部處的推動器明顯地與電子部件不對齊。因此，可能並沒有將壓力完全地傳遞至電子部件。

在本實施方式中，上匹配板130和下匹配板140可以是通過二等分典型的匹配板而獲得的匹配板。例如，如圖5和圖6所示，上匹配板130和下匹配板140中的每個均僅可覆蓋具有M/2×N矩陣形式的電子部件。因此，與常規匹配板相比較，可大幅減少上匹配板130的上端部分以及下匹配板140的下端部分中的積累變形量。

同時，上匹配板130的下端部分以及下匹配板140的上端部分可與第一軌道120接觸。例如，上匹配板130可安置在第一軌道120上。下匹配板140可與第一軌道120接合並且可懸掛於第一軌道120。這使得可抑制上匹配板130的下端部分以及下匹配板140的上端部分的熱變形。結果，上匹配板130和下匹配板140的熱變形整體豎直對稱地發生。因而，與常規匹配板相比較，可減小測試盤的相應插入件與電子部件之間的位置偏差。例如，常規匹配板安置在存在于壓板下方的軌道上。隨著匹配板朝上熱變形，匹配板的中心部分也變形。在本實施方式的情況下，上匹配板130的下端部分和下匹配板140的上端部分不經受變形。因而，當將上匹配板130和下匹配板140看作一個整體時，在中心部分不發生變形。另外，熱變形在豎直對稱部中均勻出現並且初始長度短。因此，與常規匹配板相比較，可減小在上匹配板130和下匹配板140的端部中的積累變形量。

上匹配板130和下匹配板140可從壓板110的另一端側朝向壓板110的一端側安裝。例如，參照圖3至圖6，上匹配板130和下匹配板140可在通過軌道120、軌道121和軌道122在X方向上引導時，安裝至壓板110。上匹配板130和下匹配板140的安裝將稍後進行描述。

同時，如可在圖7中確認的是，上匹配板130的上端部分可與第三軌道122間隔開，並且下匹配板140的下端部分可與第二軌道121間隔開。因而，可在上匹配板130的上端部分與第三軌道122之間形成有預定空間142 ，並且還可在下匹配板140的下端部分與第二軌道121之間形成預定空間142。這初步考慮了相應上匹配板130和下匹配板140的豎直熱膨脹。

第一軌道120、第二軌道121和第三軌道122可分別包括凸緣部分120a、120b、121a和122a（參見圖7）。這可防止上匹配板130和下匹配板140向前脫軌。

如圖5所示，可以矩陣形式在上匹配板130和下匹配板140中形成多個通孔131和通孔141。用於向前推動安裝在測試盤上的電子部件的推動器150可進行安裝以突出超過通孔131和通孔141，其中測試盤定位在與上匹配板130和下匹配板140前向間隔開的位置上。壓板110的通孔111和推動器150的加熱介質流動路徑151彼此連通。因而，可將加熱介質供給至相應的電子部件。

圖8是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的推動裝置100的放大側視圖。圖9是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的第一支架143的、從後側觀察的立體圖。圖10是根據圖3所示的一個實施方式的、測試分選機的第二支架145的、從後側觀察的立體圖。下文中，將參照圖3至圖10描述用於保持下匹配板140相對於第一軌道120的位置的結構的一個示例。

第一銷115可設置在壓板110的一側處，並且第二銷118可設置在壓板110的另一側處。對應於第一銷115和第二銷118，第一支架143可設置在下匹配板140的一側，並且第二支架145可設置在下匹配板140的另一側。第一接合槽144和第二接合槽146可在第一支架143和第二支架145中形成。第一銷115和第二銷118可插入第一接合槽144和第二接合槽146中，以在上下方向上支承第一支架143和第二支架145 。

具體地，在壓板110的一側處可設置有基礎部116。第一銷115可從基礎部116向前突出。在壓板110的另一側處也可設置有基礎部119。第二銷118可從基礎部119向前突出。

如圖8所示，第一銷115可向前突出超過壓板110，並且第二銷118可沒有向前突出超過壓板110。如圖9所示，第一支架143沒有向後突出超過下匹配板140。第一銷115可插入第一支架143的第一接合槽144。如圖10所示，第二支架145向後突出超過下匹配板140。第二銷118可插入第二支架145的第二接合槽146。通過採用這種結構，當下匹配板140在從壓板110的一側朝壓板110的另一側移動（在X方向上）而進行安裝時，不出現干涉現象。即，由於第二銷118沒有向前突出超過壓板110，並且第一支架143沒有向後突出超過下匹配板140，所以下匹配板140可移動到壓板110的前表面上。由於第一銷115向前突出超過壓板110，所以可將第一銷115插入第一支架143的第一接合槽144。由於第二支架145向後突出超過下匹配板140，所以可將第二銷118插入第二支架145的第二接合槽146。

同時，第一接合槽144和第二接合槽146中的每個均可包括引導部分和安置部分。引導部分可指當下匹配板140出於安裝目的而移動時供第一銷115或第二118開始插入且當下匹配板140靠近第一軌道120時引導下匹配板140的部分。安置部分可指當下匹配板140靠近第一軌道120且與第一軌道120接觸時定位第一銷115或第二銷118的部分。

圖9和圖10示出了第一接合槽144和第二接合槽146的一個示例。首先參照圖9，第一接合槽144可包括第一引導部分144-1和第一安置部分144-2。第一引導部分144-1可在與下匹配板140的移動方向（例如，X方向）相反的方向（例如，-X方向）上朝下方傾斜。如果下匹配板140出於安裝目的而在例如X方向上移動，則第一銷115開始插入第一引導部分144-1。在與下匹配板140的移動方向相反的方向（-X方向）上朝下方傾斜的第一引導部分144-1可朝上方移動 下匹配板140，並且下匹配板140可靠近第一軌道120。隨著下匹配板140繼續移動，當第一銷115定位在第一安置部分144-2中時，下匹配板140和第一軌道120可彼此接觸。

接下來參照圖10，第二接合槽146可包括第二引導部分146-1和第二安置部分146-2。第二引導部分146-1可在與下匹配板140的移動方向（例如，X方向）相反的方向（例如，-X方向）上朝下方傾斜。如果下匹配板出於安裝目的而在例如X方向上移動，則第二銷118開始插入第二引導部分146-1。在與下匹配板140的移動方向相反的方向（-X方向）上朝下方傾斜的第二引導部分146-1可朝上方移動下匹配板140，並且下匹配板140可靠近第一軌道120。隨著下匹配板140繼續移動，當第二銷118定位在第二安置部分146-2中時，下匹配板140和第一軌道120可彼此接觸。

圖11A和圖11B是示出了第一接合槽144和第二接合槽146的修改的視圖。第一接合槽144和第二接合槽146可具有相同的形狀。在下文中，將以第一接合槽144為基礎進行描述。

首先，在圖11A所示的修改中，第一接合槽144可包括第一引導部分144-1a和144-1b以及第一安置部分144-2。第一引導部分144-1a和144-1b可包括第一水準部分144-1a和第一傾斜部分144-1b 。本修改與以上參照圖9描述的實施方式的區別之處在于第一水準部分144-1a包含於第一引導部分144-1a中。在以上參照圖9描述的實施方式的情況下，第一引導部分144-1整體地傾斜，並因此形成尖銳的下角部（具有銳角）。因而，存在工作人員受傷的風險。在本修改的情況下，第一水準部分144-1a在水準方向上延伸，並因此下角部為直角。這可降低工作人員受傷的風險。下匹配板140的重量達數千克。這可使工人能夠將第一水準部分144-1a懸掛在第一銷115上並隨後推動下匹配板140。這有助於提高工作的輕鬆度。

接下來，在圖11B所示的另一修改中，第一接合槽144可包括第一引導部分144-1a和144-1b以及第一安置部分144-2。第一引導部分144-1a和144-1b可包括第一水準部分144-1a和第一傾斜部分144-1b 。本修改與以上參照圖11A描述的修改的區別之處在於第一安置部分144-2是傾斜的。具體地，如圖11B所示，第一安置部分144-2可在與第一傾斜部分144-1b的傾斜方向相反的方向上傾斜，即，在與下匹配板140的移動方向相反的方向朝上方傾斜。因而，當對下匹配板140的安裝完成時，第一傾斜部分144-1b與第一安置部分144-2的連接部分可用作一種限位元器，由此抑制第一接合槽144與第一銷115之間的相對移動。這就可防止外部衝擊將下匹配板140從第一銷115去除。另外，在本修改的情況下，第一水準部分144-1a的進入部分進行圓化以進一步降低工作人員受傷的風險。

在圖11B所示的修改的情況下，如上所述，即使當對下匹配板140施加外部衝擊時，也可不從第一銷115中去除下匹配板140。然而，在參照圖9描述的實施方式的情況下或在圖11A所示的修改的情況下，第一安置部分144-2在水準方向上延伸。因而，當對下匹配板140施加外部衝擊時，可從第一銷115去除下匹配板140（這適用於涉及第二支架145的配置中）。另外，上匹配板130被置於第一軌道120上。因此，可將上匹配板130向前或向後傾斜，並且可將其向左或向右去除。因此，可設置有球塞180以防止去除上匹配板130和下匹配板140。

圖12是示出了從前側觀察的球塞180的視圖。圖13是示意性地示出了從側面觀察的球塞180的視圖（為了簡單起見，在圖13中僅示出了在上匹配板130周圍的區域）。如圖12和圖13所示，球塞180可包括球180a和彈性構件180b。彈性構件180b可在一端處連接至壓板110，並且可在另一端處連接至球180a。球180a的前端部分可部分地插入在上匹配板130或下匹配板140中形成的狹槽137或狹槽147。彈性構件180b可抵靠存在於前側處的第一軌道120彈性地壓上匹配板130或下匹配板140。因此，可防止從第一銷115或第二銷118去除下匹配板140。還可以防止在左右方向上去除上匹配板130和下匹配板140。

在上匹配板130和下匹配板140中可設置有至少兩個球塞180。具體地，球塞180中的一個可設置於上匹配板130的下端部分中，而另一球塞180可設置於下匹配板140的上端部分中。另外，鑒於上匹配板130和下匹配板140的熱變形方向，球塞180可設置在第一軌道120的中心C的上側和下側處。狹槽137和狹槽147中的每個均在上下方向上延伸的很長，並且即使當上匹配板130或下匹配板140熱變形時仍可容納球180a的一部分。

如果上匹配板130和下匹配板140在例如X方向上移動和安裝，則隨著上匹配板130和下匹配板140壓縮彈性構件180b，向前突出的球180a向後收縮。當球180a與上匹配板130和下匹配板140的狹槽137和狹槽147匹配時，球180a可向前突出，並且可部分地進入狹槽137和狹槽147中。球塞180向前壓上匹配板130和匹下配板140，同時保持球180a部分地插入狹槽137和狹槽147中。因而，可防止上匹配板130和下匹配板140被向前、向左和向右去除。

下文中，將基於圖11A所示的修改並參照圖14至圖16描述下匹配板140的安裝過程。

首先參照圖14，下匹配板140可在X方向上移動的同時安裝在壓板110的前表面上。隨著下匹配板140在X方向上移動，第一銷115可開始插入第一接合槽144的第一引導部分144-1中，並且第二銷118可開始插入第二接合槽146的第二引導部分146-1中。在該狀態下，下匹配板140可在豎直方向上與第一軌道120間隔開。

接著參照圖15，隨著下匹配板140繼續在X方向上移動，第一銷115可定位在第一接合槽144的第一引導部分144-1中，並且第二銷118可定位在第二接合槽146的第二引導部分146-1中。此時，由於下匹配板140在X方向上的移動以及第一引導部分144-1和第二引導部分146-1的傾斜，下匹配板140可逐漸向上移動，並且可靠近第一軌道120。圖15中表示出的參考標誌“a”指示圖14中的下匹配板140的上端的豎直位置。

最後參照圖16，隨著下匹配板140繼續在X方向上移動，第一銷115可定位在第一接合槽144的第一安置部分144-2中，並且第二銷118可定位在第二接合槽146的第二安置部分146-2中。在該狀態下，下匹配板140的上端部分可與第一軌道120接觸。因而，第一軌道120可抑制下匹配板140的上端部分的熱變形。圖16中的參考標誌“b”指示圖15中的下匹配板140的上端的豎直位置。

參照圖9和圖10，可注意到的是，在本實施方式中，第一接合槽144的前側在第一支架143的情況下打開，並且第二接合槽146的前側在第二支架145的情況下閉合。在另一個修改中，第一支架143的第一接合槽144的前側可以閉合，並且第二支架145的第二接合槽146的前側可打開。可替代地，全部第一接合槽144和第二接合槽146都可以打開，或者全部第一接合槽144和第二接合槽146都可以閉合。如圖10所示，當在第一支架143和第二支架145的部分之中的、第一接合槽144和第二接合槽146的第一引導部分144-1和第二引導部分146-1 的進入部分連接至下匹配板140時，第二接合槽146的前側閉合，使得閉合的部分用作一種加強表面，這從連接部分強度的角度來說可以是有利的。

以上描述在從另一側朝向一側（即，在X方向上）安裝下匹配板140的前提下進行。然而，在另一修改中，可從一側朝向另一側（即，在-X方向上）安裝下匹配板140。在這種情況下，與圖6相反，第一接合槽144可向左打開，並且可在左側與外部連通，並且第二接合槽146可向右打開，並且可在右側與外部連通。另外，第一支架143和第二支架145的安裝位置和突出程度以及第一銷115和第二銷118的突出程度可與以上所述相對。

圖17是示出了根據圖3所示的、一個實施方式的測試分選機的壓板110的、從前側觀察的視圖。圖18是解釋根據圖3所示的、一個實施方式的測試分選機中的、軸160a和軸160b與壓板110的連接結構的視圖。

如圖17和圖18所示，在壓板110中可形成有多個連接孔180a和180b。軸160a和軸160b可定位在壓板110的後側處。軸160a和軸160b可連接至連接元件170，該連接元件170定位在壓板110的前側處，並且部分地插入到連接孔180a和連接孔180b中。在本實施方式中，示出螺栓作為連接構件170。

以上僅描述了上匹配板130和下匹配板140的熱變形。實際上，壓板110也可熱變形。在本實施方式中，上匹配板130和下匹配板140在豎直對稱部中均勻變形。因此，壓板110也可在豎直對稱部中均勻變形。如果壓板110的熱變形不符合上匹配板130和下匹配板140的熱變形，則壓板110的通孔111與推動器150的加熱介質流動路徑151可彼此不對齊。因而，可無法順暢地將加熱介質供給至電子部件。另外，壓板110通過軸160a和軸160b從後側接收壓力。因此，如果壓板110的熱變形不均勻，則在壓板110中可產生翹曲。

為了保證壓板110的均勻熱變形，需要允許壓板110基於中心部分在徑向方向上熱變形。例如，如圖17所示，連接至壓板110的中心部分的一個軸160a不能關於壓板110相對移動。這使得可抑制壓板110的中心部分的熱變形。這是因為壓板110的中心部分的連接孔180a的直徑基本等於軸160a和連接構件170的連接部分的直徑。另一方面，與連接至壓板110的除中心部分以外的部分的軸160b相對應的連接孔180b可以是基於壓板110的中心部分在徑向方向上延伸的狹槽。這使得壓板110和軸160b能夠相對移動。因而，允許壓板110的、除中心部分以外的部分的熱變形，並且熱變形的方向可基於壓板110的中心部分為徑向。具體地，在本實施方式的情況下，4個軸160b可連接至壓板110，以鄰接壓板110的側部的中點。在這種情況下，對應於這4個軸160b的連接孔180b可以是在豎直方向或水準方向上延伸的狹槽。這使得壓板110能夠在上下方向和左右方向上熱變形。剩餘的4個軸160b可連接至壓板110，以鄰接壓板110的角部。在這種情況下，對應於剩餘的4個軸160b的連接孔180b可以是在對角線方向上延伸的狹槽。這使得壓板110能夠在對角線方向上熱變形。

圖19是根據另一個實施方式的、測試分選機的推動裝置的側視圖。以下將僅對區別於前述實施方式的部分進行描述。將省略對壓板210和上匹配板130的描述。

接合槽229可在第一軌道220的一個表面（本實施方式中的下表面）上形成。在圖19中，接合槽229被示出為T形槽。在下匹配板240的上端部分中可設置有待插入接合槽229中的突出部249。突出部249可對接合槽229互補。因而，在本實施方式中，突出部249也被示出為T形突出部。類似於先前描述的實施方式，可在將下匹配板240在X方向上移動的同時安裝下匹配板240。此時，突出部249可從開始時插入到接合槽229中，並可沿接合槽229在X方向上滑動。

通過採用前述結構，可保持下匹配板240相對於第一軌道220的位置。由於接合槽229的內表面支承突出部249的一個表面（在本實施方式中為上表面）的全部區域，所以可極大地增強抑制下匹配板240的上端部分的熱變形的效果。

在先前描述的實施方式的情況下，可通過第一銷115和第二銷118在下匹配板140的上端部分中支承下匹配板140。在測試分選機的整體尺寸小到無法在第一軌道120中形成諸如接合槽229的結構的情況下，這種結構會很有用。

圖20是示出了根據圖19所示的、另一個實施方式的測試分選機的鎖定模組290的立體圖。上匹配板230和下匹配板240可通過振動和/或外部衝擊在左右方向上去除。在沒有在X方向上將上匹配板230和下匹配板240推動至正確位置而進行測試的情況下，可損傷電子部件並可降低測試產量。為了防止出現前述問題，可設置鎖定模組290。具體地，鎖定模組290可包括連接至壓板210的一側的主體部分291、定位在主體部分291內並配置為部分地向前突出的片狀件293、以及通過狹槽（未示出）連接至片狀件293的把手292，其中該狹槽在主體部分291的外表面上在前後方向上延伸。在上匹配板230和下匹配板240安裝完成後，工作人員可向前拉動把手292，片狀件293可藉此向前突出。在上匹配板230和下匹配板240已經正常安裝的情況下，片狀件293可平滑地向前突出而不干涉上匹配板230和下匹配板240。然而，如果上匹配板230和下匹配板240沒有正常地安裝，則上匹配板230和下匹配板240就會阻礙片狀件293的前向突出。通過該過程，工作人員可確定上匹配板230和下匹配板240是否正常安裝。如果在圖20所示的狀態下進行測試，則無論是否有振動和/或外部衝擊，片狀件293均可防止在左右方向上去除上匹配板230和下匹配板240。

不同於圖20所示的配置，可設置多個鎖定模組290，以使得鎖定模組290中的每個均相對於上匹配板230和下匹配板240動作。

另外，有關鎖定模組290的前述內容可應用於參照圖3至圖18描述的實施方式中。在這種情況下，可設置多個鎖定模組290，以使得鎖定模組290中的每個均相對於上匹配板130和下匹配板140動作，或者可設置如圖20所示的單一鎖定模組290，以使得該鎖定模組290同時相對於上匹配板130和下匹配板140動作。在設置單一鎖定模組290的情況下，由於存在基礎部116和基礎部119以及第一支架143和第二支架145，所以鎖定模組290的形狀可不同於圖20的鎖定模組290的形狀。例如，鎖定模組290的主體部分291和片狀件293可以以大致C形來彎曲，並且可進行安裝，以便圍繞基礎部116和基礎部119以及第一支架143和第二支架145。在這種狀態下，片狀件293可向前突出而不干涉基礎部116和基礎部119以及第一支架143和第二支架145。

圖21是示意性地示出了根據又一實施方式的、測試分選機的推動裝置300的主視圖。

不同于現有技術，在上述實施方式中採用了上匹配板130和下匹配板140共兩個 。然而，本公開不限於此。例如，當電子部件以M×N矩陣的形式安裝在測試盤上時，可設置2k個壓板，以便將壓力傳遞至具有M/2k×N矩陣形式的電子部件。類似地，2k個第一軌道可設置在相應壓板的中心部分中，以便在水準方向上延伸。可設置2k個上匹配板和2k個下匹配板，以便與第一軌道接觸。在這方面，M可以是2或更大的偶數，並且N和k可以是1或更大的自然數。

圖21示出了當k等於1時的推動裝置300。如圖21所示，可設置兩個壓板310a和310b，以便將壓力傳遞至具有M/2k×N矩陣形式的電子部件。壓板310a和壓板310b可在豎直方向上彼此間隔開（在壓板310a與壓板310b之間具有間隙312）。這是因為壓板310a和壓板310b可熱變形。另外，可對應於這兩個壓板310a和310b設置兩個第一軌道320a和320b。另外，可設置兩個上匹配板330a和330b以及兩個下匹配板340a和340b，以便分別與第一軌道320a和第一軌道320b接觸。結果，兩個上匹配板330a和330b可覆蓋具有M/4×N矩陣形式的電子部件，並且兩個下匹配板340a和340b可覆蓋具有M/4×N矩陣形式的電子部件。

雖然以上參照圖示描述了本公開的示例性實施方式，然而本領域技術人員應理解的是，本公開可以以各種方式實施而不改變本公開的必要特徵或精神。因此，應理解的是，在各個方面，上述示例性實施方式都不是限制性的，而僅是示例。本公開的範圍由以下權利要求表述，而不是由具體的說明書表述，並且，應理解的是，由權利要求及等同概念的含義及範圍所獲得的所有改變和修改均包含於本公開的範圍之內。

〈習知〉

1‧‧‧測試分選機

10‧‧‧載入裝置

20‧‧‧浸泡室

30‧‧‧測試室

40‧‧‧去浸泡室

50‧‧‧卸載裝置

60‧‧‧推動裝置

70‧‧‧測試器

3a、3b‧‧‧測試盤

2a‧‧‧用戶盤

〈本發明〉

100‧‧‧推動裝置

110‧‧‧壓板

111‧‧‧通孔

115‧‧‧第一銷

116‧‧‧基礎部

118‧‧‧第二銷

119‧‧‧基礎部

120‧‧‧第一軌道

121‧‧‧第二軌道

122‧‧‧第三軌道

120a、120b、121a、122a‧‧‧凸緣部分

130‧‧‧上匹配板

131‧‧‧通孔

132‧‧‧預定空間

137‧‧‧狹槽

140‧‧‧下匹配板

141‧‧‧通孔

142‧‧‧預定空間

143‧‧‧第一支架

144‧‧‧第一接合槽

145‧‧‧第二支架

146‧‧‧第二接合槽

144-1、144-1a、144-1b‧‧‧第一引導部分

144-1a‧‧‧第一水準部分

144-1b‧‧‧第一傾斜部分

144-2‧‧‧第一安置部分

146-1‧‧‧第二引導部分

146-2‧‧‧第二安置部分

147‧‧‧狹槽

150‧‧‧推動器

151‧‧‧加熱介質流動路徑

160a、160b‧‧‧軸

170‧‧‧連接元件

180‧‧‧球塞

180a‧‧‧球

180b‧‧‧彈性構件

180a、180b‧‧‧連接孔

210‧‧‧壓板

220‧‧‧第一軌道

229‧‧‧接合槽

230‧‧‧上匹配板

240‧‧‧下匹配板

249‧‧‧突出部

290‧‧‧鎖定模組

291‧‧‧主體部分

292‧‧‧把手

293‧‧‧片狀件

300‧‧‧推動裝置

310a、310b‧‧‧壓板

312‧‧‧間隙

320a、320b‧‧‧第一軌道b

330a、330b‧‧‧上匹配板

340a、340b‧‧‧下匹配板

圖1是示出了典型的測試分選機的立體圖。

圖2是圖1所示的測試分選機的平面圖。

圖3是示出了根據一個實施方式的測試分選機的推動裝置的從前側觀察的立體圖。

圖4是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的推動裝置的從後面觀察的立體圖。

圖5是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的推動裝置的分解立體圖。

圖6是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的推動裝置的主視圖。

圖7是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的推動裝置的側視圖。

圖8是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的推動裝置的放大側視圖。

圖9是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的第一支架的從後側觀察的立體圖。

圖10是根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的第二支架的從後面觀察的立體圖。

圖11A和圖11B是示出了接合槽的修改的視圖。

圖12是示出了從前側觀察的球塞的視圖。

圖13是示意性地示出了從側面觀察的球塞的視圖。

圖14至圖16是解釋根據圖3所示的一個實施方式如何將下匹配板安裝到測試分選機中的視圖。

圖17是示出了根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機的壓板的從前側觀察的視圖。

圖18是用於解釋根據圖3所示的一個實施方式的測試分選機中軸與壓板的連接結構的視圖。

圖19是根據另一個實施方式的測試分選機的推動裝置的側視圖。

圖20是示出了根據圖19所示的另一個實施方式的測試分選機的鎖定模組的立體圖。

圖21是示意性地示出了根據另一實施方式的測試分選機的推動裝置的主視圖。

100‧‧‧推動裝置

110‧‧‧壓板

160a、160b‧‧‧軸

111‧‧‧通孔

116‧‧‧基礎部

119‧‧‧基礎部

121‧‧‧第二軌道

122‧‧‧第三軌道

145‧‧‧第二支架

Claims (9)

1. 一種測試分選機，包括：載入裝置，配置成將電子部件載入到測試盤中；測試室，包括測試器，所述測試器配置成與所述電子部件 中的每個緊密接觸以對所述電子部件中的每個進行測試；推動裝置，配置成朝向所述測試器推動安裝在所述測試盤上的電子部件中的每個 ；以及卸載裝置，配置成從所述測試盤上卸載在所述測試室中測試過的電子部件中的每個 ，其中，所述推動裝置包括：壓板，配置為將壓力傳遞至所述電子部件；第一軌道，設置在所述壓板的中心部分中，以在水準方向上延伸；上匹配板，具有下端部分，所述下端部分配置為與所述第一軌道接觸；下匹配板，具有上端部分，所述上端部分配置為與所述第一軌道接觸；以及多個推動器，設置在所述上匹配板和所述下匹配板中，以與所述電子部件接觸。
2. 如請求項1所述的測試分選機，還包括：第二軌道，設置在所述壓板的下端部分中，並與所述下匹配板的下端部分向下間隔開；以及第三軌道，設置在所述壓板的上端部分中，並與所述上匹配板的上端部分向上間隔開。
3. 如請求項1所述的測試分選機，其中，當所述電子部件以M×N矩陣形式安裝在所述測試盤上時，所述上匹配板和所述下匹配板中的每個均與具有M/2×N矩陣形式的電子部件匹配，其中M是2或更大的偶數，並且N是1或更大的自然數。
4. 如請求項1所述的測試分選機，還包括： 接合槽，在所述第一軌道中形成；以及突出部，設置在所述下匹配板的上端部分中，所述突出部插入所述接合槽中以保持所述下匹配板相對於所述第一軌道的位置。
5. 如請求項1所述的測試分選機，還包括：第一銷，設置在所述壓板的一側處；第二銷，設置在所述壓板的另一側處；第一支架，設置在所述下匹配板的一側處，並配置為與所述第一銷接合；以及第二支架，設置在所述下匹配板的另一側處，並配置為與所述第二銷接合。
6. 如請求項5所述的測試分選機，還包括： 第一接合槽，在所述第一支架中形成，所述第一銷插入所述第一接合槽中以支承所述第一支架；以及第二接合槽，在所述第二支架中形成，所述第二銷插入所述第二接合槽中以支承所述第二支架；所述第一接合槽包括： 第一引導部分，配置為引導所述下匹配板，以使得所述第一銷連同所述下匹配板的移動開始插入所述第一接合槽中，並使得所述下匹配板朝向所述第一軌道向上移動並靠近所述第一軌道；以及第一安置部分，當所述下匹配板接觸所述第一軌道時，所述第一銷定位在所述第一安置部分中；以及所述第二接合槽包括：第二引導部分，配置為引導所述下匹配板，以使得所述第二銷連同所述下匹配板的移動開始插入所述第二接合槽中，並且使得所述下匹配板朝向所述第一軌道向上移動並靠近所述第一軌道；以及第二安置部分，當所述下匹配板接觸所述第一軌道時，所述第二銷定位在所述第二安置部分中。
7. 如請求項5所述的測試分選機，其中，所述第一銷向前突出超過所述壓板，所述第二銷沒有向前突出超過所述壓板，所述第一支架沒有向後突出超過所述下匹配板，並且所述第二支架向後突出超過所述下匹配板。
8. 如請求項1所述的測試分選機，還包括：移動主體，配置為朝向所述測試器移動；以及多個軸，配置為使所述移動主體與所述壓板互相連接，其中，所述軸中的一個連接至所述壓板的中心部分，並配置為抑制所述壓板的所述中心部分的熱變形，並且剩餘的軸連接至所述壓板，以相對於所述壓板進行相對移動，並配置為允許所述壓板的、除所述中心部分以外的部分的熱變形。
9. 如請求項1所述的測試分選機，還包括：至少兩個球塞，配置為向前壓所述上匹配板和所述下匹配板，其中，所述球塞中的每個均包括：球，具有前部，所述前部部分地插入狹槽中，所述狹槽在所述上匹配板的下端部分的中心處或在所述下匹配板的上端部分的中心處在上下方向上延伸；以及彈性構件，在一個端部處連接至所述壓板，並在另一端部處連接至所述球，並且配置為彈性地向前偏置所述球。