CN107003350A - 测试分选机 - Google Patents

Abstract

本文公开了测试分选机。根据本发明的实施方式，测试分选机包括：加载装置，配置为将电子部件加载到测试盘中；测试室，包括配置为与电子器件中的每个紧密接触以对电子部件中的每个进行测试的测试器；推动装置，配置为朝向测试器推动安装在测试盘上的电子部件中的每个；以及卸载装置，配置为从测试盘上卸载在测试室中进行测试的电子部件中的每个，其中推动装置包括配置为将压力传递至电子部件的压板、设置在压板的中心部分中以在水平方向上延伸的第一轨道、具有配置为与第一轨道接触的下端部分的上匹配板、具有配置为与第一轨道接触的上端部分的下匹配板、以及设置在上匹配板和下匹配板中以与电子部件接触的多个推动器。

Description

测试分选机

技术领域

本发明涉及测试分选机。

背景技术

测试分选机是支持对通过预定制造工艺制造的、诸如半导体装置的电子部件的测试、根据测试结果按等级分类电子部件、以及将电子部件安装在用户盘上的装置。

图1和图2是示出了典型的测试分选机的立体图和平面图。参照图1和图2，测试分选机1可包括加载装置10、浸泡室20、测试室30、去浸泡室40和卸载装置50。

在测试盘3a和3b中提供了可安置电子部件的多个插入件。测试盘3a和3b可通过多个传送装置(未示出)沿预定封闭路线循环。

加载装置10能够在加载位置将安装在用户盘2a上的未测试的电子部件加载到测试盘3a和3b中。

由于可能在不同的温度环境下使用电子部件，所以有必要确定该电子部件是否在具体温度环境下良好工作。在进行测试之前，可在浸泡室20中对安装在测试盘3a和3b上的电子部件进行预加热或预冷却。

经由浸泡室20传送至测试位置并安装在测试盘3a和3b上的电子部件可在测试室30中进行测试。具体地，安装在测试盘3a和3b上的电子部件可由推动装置60朝向测试器70推动。电子部件和测试器70可通过其接触或接合彼此电连接。在该状态下，可对电子部件执行测试。

推动装置60可包括与测试盘3a和3b匹配的匹配板以及用于朝测试盘3a和3b移动匹配板的配置。在匹配板的每个中都以矩阵图案设置有多个推动器。单个推动器一一对应于测试盘3a和3b的单个插入件，并且能够靠着测试器70压定位在插入件中的电子部件。

同时，可为测试室30提供用于设定关于电子部件的温度环境的加热介质。为了精确的温度设定，可在单个推动器中形成加热介质流动路径。可通过加热介质流动路径将加热介质供给至单个电子部件。

可将承载测试过的电子部件的测试盘3a和3b传送至去浸泡室40，在去浸泡室40中，可将电子部件加热或冷却至不引起卸载问题的温度(例如，室温)。

卸载装置50可根据测试结果将电子部件按等级分类，并且可将电子部件从测试盘3a和3b卸载到空的用户盘2b中。

如上所述，在测试分选机1中可设定不同的温度环境。因而，在匹配板中可产生热变形(热膨胀或热收缩)。如果在匹配板中产生热变形，则设置于匹配板中的单个推动器的位置可改变。因此，推动器可能无法正常地压安装在测试盘3a和3b上的电子部件。结果，可能不正常地执行对电子部件的检测，并且不能保障测试结果的可靠性。这可导致测试产量降低。另外，电子部件和/或测试器可变形或受到损害。

专利文献1：第KR 10-0709114号韩国专利

发明内容

本公开的实施方式提供了一种测试分选机，该测试分选机能够使得电子部件的测试能顺利执行，即使是在匹配板中产生热变形时。

技术方案

鉴于前述问题，本公开提供了一种测试分选机，包括：加载装置，配置为将电子部件加载到测试盘中；测试室，包括配置为与电子器件中的每个紧密接触以对电子部件中的每个进行测试的测试器；推动装置，配置为朝向测试器推动安装在测试盘上的电子部件中的每个；以及卸载装置，配置为从测试盘上卸载在测试室中测试的电子部件中的每个，其中，推动装置包括配置为将压力传递至电子部件的压板、设置在压板的中心部分中以在水平方向上延伸的第一轨道、具有配置为与第一轨道接触的下端部分的上匹配板、具有配置为与第一轨道接触的上端部分的下匹配板、以及设置在上匹配板和下匹配板中以与电子部件接触的多个推动器。

另外，本公开还提供一种测试分选机，该测试分选机还包括：第二轨道，设置在压板的下端部分中，并与下匹配板的下端部分向下间隔开；以及第三轨道，设置在压板的上端部分中，并与上匹配板的上端部分向上间隔开。

另外，本公开还提供一种测试分选机，其中，当电子部件以M×N矩阵形式安装在测试盘上时，上匹配板和下匹配板中的每个都与具有M/2×N矩阵形式的电子部件匹配，其中M是2或更大的偶数，并且N是1或更大的自然数。

另外，本公开还提供了一种测试分选机，其中，在第一轨道中形成有接合槽，以及在下匹配板的上端部分中设置有突出部，该突出部插入接合槽中以保持下匹配板相对于第一轨道的位置。

另外，本公开还提供了一种测试分选机，该测试分选机还包括：第一销，设置在压板的一侧处；第二销，设置在压板的另一侧处；第一支架，设置在下匹配板的一侧处，并配置为与第一销接合；以及第二支架，设置在下匹配板的另一侧处，并配置为与第二销接合。

另外，本公开还提供了测试分选机，其中在第一支架中形成有插入第一销以支承第一支架的第一接合槽，在第二支架中形成有插入第二销以支承第二支架的第二接合槽，第一接合槽包括：第一引导部分，配置为引导下匹配板，以使得随着下匹配板的移动开始将第一销插入第一接合槽，并且使得下匹配板朝第一轨道向上移动并靠近第一轨道；以及第一安置部分，当下匹配板接触第一轨道时，第一销定位在第一安置部分中；并且第二接合槽包括：第二引导部分，配置为引导下匹配板，以使得随着下匹配板的移动开始将第二销插入第二接合槽，并且使得下匹配板朝第一轨道向上移动并靠近第一轨道；以及第二安置部分，当下匹配板接触第一轨道时，第二销定位在第二安置部分中。

另外，本公开还提供了测试分选机，其中第一销向前突出超过压板，第二销没有向前突出超过压板，第一支架没有向后突出超过下匹配板，以及第二支架向后突出超过下匹配板。

另外，本公开还提供了测试分选机，该测试分选机还包括：移动主体，配置为朝向测试器移动；以及多个轴，配置为使移动主体与压板互相连接，其中，轴中的一个连接至压板的中心部分，并配置为抑制压板的中心部分的热变形，并且剩余的轴连接至压板，以便相对于压板做相对移动，并配置为允许压板除中心部分以外的部分的热变形。

另外，本公开还提供了测试分选机，该测试分选机还包括：至少两个球塞，配置为向前压上匹配板和下匹配板，其中球塞中的每个都包括：球，具有前部，该前部部分地插入在上匹配板的下端部分的中心处或在下匹配板的上端部分的中心处在上下方向上延伸的狭槽中；以及弹性构件，在一个端部处连接至压板并在另一端部处连接至球，并且配置为弹性地向前偏置球。

有益效果

根据本公开的实施方式，可提供一种测试分选机，该测试分选机能够使得对电子部件的测试能够顺利执行，即使是在匹配板中产生热变形时。

附图说明

图1是示出了典型的测试分选机的立体图。

图2是图1所示的测试分选机的平面图。

图3是示出了根据一个实施方式的测试分选机的推动装置的从前侧观察的立体图。

图4是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的推动装置的从后面观察的立体图。

图5是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的推动装置的分解立体图。

图6是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的推动装置的主视图。

图7是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的推动装置的侧视图。

图8是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的推动装置的放大侧视图。

图9是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的第一支架的从后侧观察的立体图。

图10是根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的第二支架的从后面观察的立体图。

图11A和图11B是示出了接合槽的修改的视图。

图12是示出了从前侧观察的球塞的视图。

图13是示意性地示出了从侧面观察的球塞的视图。

图14至图16是解释根据图3所示的一个实施方式如何将下匹配板安装到测试分选机中的视图。

图17是示出了根据图3所示的一个实施方式的测试分选机的压板的从前侧观察的视图。

图18是用于解释根据图3所示的一个实施方式的测试分选机中轴与压板的连接结构的视图。

图19是根据另一个实施方式的测试分选机的推动装置的侧视图。

图20是示出了根据图19所示的另一个实施方式的测试分选机的锁定模块的立体图。

图21是示意性地示出了根据另一实施方式的测试分选机的推动装置的主视图。

具体实施方式

通过以下连同附图给出的、对示例性实施方式的描述，本公开的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将变得显而易见。将具体地描述示例性实施方式，以使得本领域技术人员可容易地实施发明构思。然而，应注意的是，这些示例性实施方式在任何方式均不旨在为限制性的，并且可进行各种修改而不脱离本公开的技术概念。本发明构思的范围将由以下权利要求限定，而不是由对示例性实施方式的具体描述来限定。

根据将在以下描述的实施方式的测试分选机的加载装置、测试室和卸载装置与以上参照图1和图2描述的测试分选机的加载装置、测试室和卸载装置相同。因此，将省略对前述配置的描述。将详细描述推动装置100。

作为参考，在附图中，X和-X方向可表示水平方向，Y和-Y方向可表示竖直方向，并且Z方向可表示前向方向，而-Z方向可表示后向方向。另外，X方向和-X方向可分别表示一个侧方向和另一个侧方向。

推动装置100可向前(在Z方向上)推动安装在测试盘上的电子部件，以使得电子部件与定位在测试盘的前方的测试器紧密接触，其中，该测试盘定位在推动装置100的前方(定位在与推动装置100在Z方向上间隔开的点处)。

图3是根据一个实施方式的、测试分选机的推动装置100的、从前侧观察的立体图。图4是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的推动装置100的、从后侧观察的立体图。图5是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的推动装置100的分解立体图。图6是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的推动装置100的主视图。图7是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的推动装置100的侧视图。

如图3至图7所示，压板110可定位在匹配板130和匹配板140以及推动器150的后方。压板110可将从后面接收的压力传递至匹配板130和匹配板140和/或推动器150，并且可使推动器150与安装在测试盘上的电子部件接触。

虽然没有在附图中示出，然而在压板110的后侧可设置有移动主体(例如，致动器)。移动主体可通过多个轴160a和160b连接至压板110。压力可由移动主体的前向移动而产生。连接至移动主体的压板110可将压力传递至匹配板130和匹配板140和/或推动器150。

如图6所示，假设具有M×N矩阵形式的电子部件安装在测试盘上，则压板110可具有覆盖具有M×N矩阵形式的全部电子部件的尺寸。

如之前所描述的，加热介质可供给至电子部件，从而设定用于待测试的电子部件的温度环境。出于该目的，可在压板110中以M×N矩阵形式形成多个通孔111。可经由通孔111和推动器150的加热介质流动路径151将加热介质从压板110的后侧供给至单个电子部件。在这方面，虽然没有在图中示出，然而在压板110的后侧可设置有导管。可将加热介质引入该导管中，并可通过通孔111供给至压板110的前侧。从这个角度来说，可理解的是，压板110是导管的一部分。

在压板110的一侧和另一侧，可设置有分别具有第一销115和第二销118的基础部116和基础部119。第一销115和第二销118可保持下匹配板140的位置。下文将对这一点进行描述。

如上所述，多个轴160a和160b可连接至压板110的后侧。在本实施方式中，总共设置有9根轴。在这9根轴中，轴160a可连接至压板110的后表面的中心部分。轴160a可相对固定不动地连接至压板110，由此抑制压板110的中心部分的热变形。另一方面，剩余的轴160b可相对可移动地连接至压板110，由此允许压板110除中心部分以外的部分的热变形。

第一轨道120、第二轨道121和第三轨道122可设置在压板110的前侧处。第一轨道120可在压板110的中心部分水平延伸。第二轨道121可在压板110的下端部分中水平延伸。第三轨道122可在压板110的上端部分中水平延伸。轨道120、轨道121和轨道122可基本上引导匹配板130和匹配板140的安装。另外，轨道120、轨道121和轨道122可支承匹配板130和匹配板140，以便保持匹配板130和匹配板140的位置。

如先前所描述的，可在不同的温度环境下对电子部件进行测试。在该过程中，在匹配板130和匹配板140中可产生热变形(热膨胀或热收缩)。如从以下数学公式可知的是，某构件的热变形与该构件的初始长度成正比：L＝L₀×(1+α×10^-6×ΔT)，其中L是热变形之后测量的长度，L₀是初始长度，α是热变形系数，以及ΔT是温度变化量。

当具有M×N矩阵形式的电子部件安装在测试盘上时，由单一构件形成的常规匹配板覆盖具有M×N的矩阵形式的全部电子部件。因而，积累的变形量可朝匹配板的端部变大。结果，存在于匹配板的端部的侧部处的推动器明显地与电子部件不对齐。因此，可能并没有将压力完全地传递至电子部件。

在本实施方式中，匹配板130和匹配板140可以是通过二等分典型的匹配板而获得的匹配板。例如，如图5和图6所示，上匹配板130和下匹配板140中的每个均仅可覆盖具有M/2×N矩阵形式的电子部件。因此，与常规匹配板相比较，可大幅减少上匹配板130的上端部分以及下匹配板140的下端部分中的积累变形量。

同时，上匹配板130的下端部分以及下匹配板140的上端部分可与第一轨道120接触。例如，上匹配板130可安置在第一轨道120上。下匹配板140可与第一轨道120接合并且可悬挂于第一轨道120。这使得可抑制上匹配板130的下端部分以及下匹配板140的上端部分的热变形。结果，匹配板130和匹配板140的热变形整体竖直对称地发生。因而，与常规匹配板相比较，可减小测试盘的相应插入件与电子部件之间的位置偏差。例如，常规匹配板安置在存在于压板下方的轨道上。随着匹配板朝上热变形，匹配板的中心部分也变形。在本实施方式的情况下，上匹配板130的下端部分和下匹配板140的上端部分不经受变形。因而，当将匹配板130和匹配板140看作一个整体时，在中心部分不发生变形。另外，热变形在竖直对称部中均匀出现并且初始长度短。因此，与常规匹配板相比较，可减小在匹配板130和匹配板140的端部中的积累变形量。

上匹配板130和下匹配板140可从压板110的另一端侧朝向压板110的一端侧安装。例如，参照图3至图6，匹配板130和140可在通过轨道120、轨道121和轨道122在X方向上引导时，安装至压板110。匹配板130和匹配板140的安装将稍后进行描述。

同时，如可在图7中确认的是，上匹配板130的上端部分可与第三轨道122间隔开，并且下匹配板140的下端部分可与第二轨道121间隔开。因而，可在上匹配板130的上端部分与第三轨道122之间形成有预定空间132，并且还可在下匹配板140的下端部分与第二轨道121之间形成预定空间142。这初步考虑了相应匹配板130和匹配板140的竖直热膨胀。

第一轨道120、第二轨道121和第三轨道122可分别包括凸缘部分120a、120b、121a和122a(参见图7)。这可防止匹配板130和140向前脱轨。

如图5所示，可以矩阵形式在匹配板130和匹配板140中形成多个通孔131和通孔141。用于向前推动安装在测试盘上的电子部件的推动器150可进行安装以突出超过通孔131和通孔141，其中测试盘定位在与匹配板130和匹配板140前向间隔开的位置上。压板110的通孔111和推动器150的加热介质流动路径151彼此连通。因而，可将加热介质供给至相应的电子部件。

图8是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的推动装置100的放大侧视图。图9是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的第一支架143的、从后侧观察的立体图。图10是根据图3所示的一个实施方式的、测试分选机的第二支架145的、从后侧观察的立体图。下文中，将参照图3至图10描述用于保持下匹配板140相对于第一轨道120的位置的结构的一个示例。

第一销115可设置在压板110的一侧处，并且第二销118可设置在压板110的另一侧处。对应于销115和销118，第一支架143可设置在下匹配板140的一侧，并且第二支架145可设置在下匹配板140的另一侧。接合槽144和接合槽146可在支架143和支架145中形成。销115和销118可插入接合槽144和接合槽146中，以在上下方向上支承支架143和支架145。

具体地，在压板110的一侧处可设置有基础部116。第一销115可从基础部116向前突出。在压板110的另一侧处也可设置有基础部119。第二销118可从基础部119向前突出。

如图8所示，第一销115可向前突出超过压板110，并且第二销118可没有向前突出超过压板110。如图9所示，第一支架143没有向后突出超过下匹配板140。第一销115可插入第一支架143的第一接合槽144。如图10所示，第二支架145向后突出超过下匹配板140。第二销118可插入第二支架145的第二接合槽146。通过采用这种结构，当下匹配板140在从压板110的一侧朝压板110的另一侧移动(在X方向上)而进行安装时，不出现干涉现象。即，由于第二销118没有向前突出超过压板110，并且第一支架143没有向后突出超过下匹配板140，所以下匹配板140可移动到压板110的前表面上。由于第一销115向前突出超过压板110，所以可将第一销115插入第一支架143的第一接合槽144。由于第二支架145向后突出超过下匹配板140，所以可将第二销118插入第二支架145的第二接合槽146。

同时，接合槽144和接合槽146中的每个均可包括引导部分和安置部分。引导部分可指当下匹配板140出于安装目的而移动时供销115或118开始插入且当下匹配板140靠近第一轨道120时引导下匹配板140的部分。安置部分可指当下匹配板140靠近第一轨道120且与第一轨道120接触时定位销115或销118的部分。

图9和图10示出了接合槽144和接合槽146的一个示例。首先参照图9，第一接合槽144可包括第一引导部分144-1和第一安置部分144-2。第一引导部分144-1可在与下匹配板140的移动方向(例如，X方向)相反的方向(例如，-X方向)上朝下方倾斜。如果下匹配板140出于安装目的而在例如X方向上移动，则第一销115开始插入第一引导部分144-1。在与下匹配板140的移动方向相反的方向(-X方向)上朝下方倾斜的第一引导部分144-1可140朝上方移动下匹配板，并且下匹配板140可靠近第一轨道120。随着下匹配板140继续移动，当第一销115定位在第一安置部分144-2中时，下匹配板140和第一轨道120可彼此接触。

接下来参照图10，第二接合槽146可包括第二引导部分146-1和第二安置部分146-2。第二引导部分146-1可在与下匹配板140的移动方向(例如，X方向)相反的方向(例如，-X方向)上朝下方倾斜。如果下匹配板出于安装目的而在例如X方向上移动，则第二销118开始插入第二引导部分146-1。在与下匹配板140的移动方向相反的方向(-X方向)上朝下方倾斜的第二引导部分146-1可朝上方移动下匹配板140，并且下匹配板140可靠近第一轨道120。随着下匹配板140继续移动，当第二销118定位在第二安置部分146-2中时，下匹配板140和第一轨道120可彼此接触。

图11A和图11B是示出了接合槽144和接合槽146的修改的视图。第一接合槽144和第二接合槽146可具有相同的形状。在下文中，将以第一接合槽144为基础进行描述。

首先，在图11A所示的修改中，第一接合槽144可包括第一引导部分144-1a和144-1b以及第一安置部分144-2。第一引导部分144-1a和144-1b可包括第一水平部分144-1a和第一倾斜部分144-1b。本修改与以上参照图9描述的实施方式的区别之处在于第一水平部分144-1a包含于第一引导部分144-1a中。在以上参照图9描述的实施方式的情况下，第一引导部分144-1整体地倾斜，并因此形成尖锐的下角部(具有锐角)。因而，存在工作人员受伤的风险。在本修改的情况下，第一水平部分144-1a在水平方向上延伸，并因此下角部为直角。这可降低工作人员受伤的风险。下匹配板140的重量达数千克。这可使工人能够将第一水平部分144-1a悬挂在第一销115上并随后推动下匹配板140。这有助于提高工作的轻松度。

接下来，在图11B所示的另一修改中，第一接合槽144可包括第一引导部分144-1a和144-1b以及第一安置部分144-2。第一引导部分144-1a和144-1b可包括第一水平部分144-1a和第一倾斜部分144-1b。本修改与以上参照图11A描述的修改的区别之处在于第一安置部分144-2是倾斜的。具体地，如图11B所示，第一安置部分144-2可在与第一倾斜部分144-1b的倾斜方向相反的方向上倾斜，即，在与下匹配板140的移动方向相反的方向朝上方倾斜。因而，当对下匹配板140的安装完成时，第一倾斜部分144-1b与第一安置部分144-2的连接部分可用作一种限位器，由此抑制第一接合槽144与第一销115之间的相对移动。这就可防止外部冲击将下匹配板140从第一销115去除。另外，在本修改的情况下，第一水平部分144-1a的进入部分进行圆化以进一步降低工作人员受伤的风险。

在图11B所示的修改的情况下，如上所述，即使当对下匹配板140施加外部冲击时，也可不从第一销115中去除下匹配板140。然而，在参照图9描述的实施方式的情况下或在图11A所示的修改的情况下，第一安置部分144-2在水平方向上延伸。因而，当对下匹配板140施加外部冲击时，可从第一销115去除下匹配板140(这适用于涉及第二支架145的配置中)。另外，上匹配板130被置于第一轨道120上。因此，可将上匹配板130向前或向后倾斜，并且可将其向左或向右去除。因此，可设置有球塞180以防止去除匹配板130和匹配板140。

图12是示出了从前侧观察的球塞180的视图。图13是示意性地示出了从侧面观察的球塞180的视图(为了简单起见，在图13中仅示出了在上匹配板130周围的区域)。如图12和图13所示，球塞180可包括球180a和弹性构件180b。弹性构件180b可在一端处连接至压板110，并且可在另一端处连接至球180a。球180a的前端部分可部分地插入在匹配板130或匹配板140中形成的狭槽137或狭槽147。弹性构件180b可抵靠存在于前侧处的第一轨道120弹性地压匹配板130或匹配板140。因此，可防止从销115或销118去除下匹配板140。还可以防止在左右方向上去除匹配板130和匹配板140。

在上匹配板130和下匹配板140中可设置有至少两个球塞180。具体地，球塞180中的一个可设置于上匹配板130的下端部分中，而另一球塞180可设置于下匹配板140的上端部分中。另外，鉴于匹配板130和匹配板140的热变形方向，球塞180可设置在第一轨道120的中心C的上侧和下侧处。狭槽137和狭槽147中的每个均在上下方向上延伸的很长，并且即使当匹配板130或匹配板140热变形时仍可容纳球180a的一部分。

如果匹配板130和匹配板140在例如X方向上移动和安装，则随着匹配板130和匹配板140压缩弹性构件180b，向前突出的球180a向后收缩。当球180a与匹配板130和匹配板140的狭槽137和狭槽147匹配时，球180a可向前突出，并且可部分地进入狭槽137和狭槽147中。球塞180向前压匹配板130和匹配板140，同时保持球180a部分地插入狭槽137和狭槽147中。因而，可防止匹配板130和匹配板140被向前、向左和向右去除。

下文中，将基于图11A所示的修改并参照图14至图16描述下匹配板140的安装过程。

首先参照图14，下匹配板140可在X方向上移动的同时安装在压板110的前表面上。随着下匹配板140在X方向上移动，第一销115可开始插入第一接合槽144的第一引导部分144-1中，并且第二销118可开始插入第二接合槽146的第二引导部分146-1中。在该状态下，下匹配板140可在竖直方向上与第一轨道120间隔开。

接着参照图15，随着下匹配板140继续在X方向上移动，第一销115可定位在第一接合槽144的第一引导部分144-1中，并且第二销118可定位在第二接合槽146的第二引导部分146-1中。此时，由于下匹配板140在X方向上的移动以及引导部分144-1和引导部分146-1的倾斜，下匹配板140可逐渐向上移动，并且可靠近第一轨道120。图15中表示出的参考标志“a”指示图14中的下匹配板140的上端的竖直位置。

最后参照图16，随着下匹配板140继续在X方向上移动，第一销115可定位在第一接合槽144的第一安置部分144-2中，并且第二销118可定位在第二接合槽146的第二安置部分146-2中。在该状态下，下匹配板140的上端部分可与第一轨道120接触。因而，第一轨道120可抑制下匹配板140的上端部分的热变形。图16中的参考标志“b”指示图15中的下匹配板140的上端的竖直位置。

参照图9和图10，可注意到的是，在本实施方式中，第一接合槽144的前侧在第一支架143的情况下打开，并且第二接合槽146的前侧在第二支架145的情况下闭合。在另一个修改中，第一支架143的第一接合槽144的前侧可以闭合，并且第二支架145的第二接合槽146的前侧可打开。可替代地，全部接合槽144和146都可以打开，或者全部接合槽144和146都可以闭合。如图10所示，当在支架143和支架145的部分之中的、接合槽144和接合槽146的引导部分144-1和146-1的进入部分联接至下匹配板140时，第二接合槽146的前侧闭合，使得闭合的部分用作一种加强表面，这从联接部分强度的角度来说可以是有利的。

以上描述在从另一侧朝向一侧(即，在X方向上)安装下匹配板140的前提下进行。然而，在另一修改中，可从一侧朝向另一侧(即，在-X方向上)安装下匹配板140。在这种情况下，与图6相反，第一接合槽144可向左打开，并且可在左侧与外部连通，并且第二接合槽146可向右打开，并且可在右侧与外部连通。另外，支架143和支架145的安装位置和突出程度以及第一销115和第二销118的突出程度可与以上所述相对。

图17是示出了根据图3所示的、一个实施方式的测试分选机的压板110的、从前侧观察的视图。图18是解释根据图3所示的、一个实施方式的测试分选机中的、轴160a和轴160b与压板110的连接结构的视图。

如图17和图18所示，在压板110中可形成有多个联接孔180a和180b。轴160a和轴160b可定位在压板110的后侧处。轴160a和轴160b可联接至联接组件170，该联接组件170定位在压板110的前侧处，并且部分地插入到联接孔180a和联接孔180b中。在本实施方式中，示出螺栓作为联接构件170。

以上仅描述了匹配板130和匹配板140的热变形。实际上，压板110也可热变形。在本实施方式中，匹配板130和匹配板140在竖直对称部中均匀变形。因此，压板110也可在竖直对称部中均匀变形。如果压板110的热变形不符合匹配板130和匹配板140的热变形，则压板110的通孔111与推动器150的加热介质流动路径151可彼此不对齐。因而，可无法顺畅地将加热介质供给至电子部件。另外，压板110通过轴160a和轴160b从后侧接收压力。因此，如果压板110的热变形不均匀，则在压板110中可产生翘曲。

为了保证压板110的均匀热变形，需要允许压板110基于中心部分在径向方向上热变形。例如，如图17所示，连接至压板110的中心部分的一个轴160a不能关于压板110相对移动。这使得可抑制压板110的中心部分的热变形。这是因为压板110的中心部分的联接孔180a的直径基本等于轴160a和联接构件170的连接部分的直径。另一方面，与连接至压板110的除中心部分以外的部分的轴160b相对应的联接孔180b可以是基于压板110的中心部分在径向方向上延伸的狭槽。这使得压板110和轴160b能够相对移动。因而，允许压板110的、除中心部分以外的部分的热变形，并且热变形的方向可基于压板110的中心部分为径向。具体地，在本实施方式的情况下，4个轴160b可连接至压板110，以邻接压板110的侧部的中点。在这种情况下，对应于这4个轴160b的联接孔180b可以是在竖直方向或水平方向上延伸的狭槽。这使得压板110能够在上下方向和左右方向上热变形。剩余的4个轴160b可连接至压板110，以邻接压板110的角部。在这种情况下，对应于剩余的4个轴160b的联接孔180b可以是在对角线方向上延伸的狭槽。这使得压板110能够在对角线方向上热变形。

图19是根据另一个实施方式的、测试分选机的推动装置的侧视图。以下将仅对区别于前述实施方式的部分进行描述。将省略对压板210和上匹配板130的描述。

接合槽229可在第一轨道220的一个表面(本实施方式中的下表面)上形成。在图19中，接合槽229被示出为T形槽。在下匹配板240的上端部分中可设置有待插入接合槽229中的突出部249。突出部249可对接合槽229互补。因而，在本实施方式中，突出部249也被示出为T形突出部。类似于先前描述的实施方式，可在将下匹配板240在X方向上移动的同时安装下匹配板240。此时，突出部249可从开始时插入到接合槽229中，并可沿接合槽229在X方向上滑动。

通过采用前述结构，可保持下匹配板240相对于第一轨道220的位置。由于接合槽229的内表面支承突出部249的一个表面(在本实施方式中为上表面)的全部区域，所以可极大地增强抑制下匹配板240的上端部分的热变形的效果。

在先前描述的实施方式的情况下，可通过销115和销118在下匹配板140的上端部分中支承下匹配板140。在测试分选机的整体尺寸小到无法在第一轨道120中形成诸如接合槽229的结构的情况下，这种结构会很有用。

图20是示出了根据图19所示的、另一个实施方式的测试分选机的锁定模块290的立体图。匹配板230和匹配板240可通过振动和/或外部冲击在左右方向上去除。在没有在X方向上将匹配板230和匹配板240推动至正确位置而进行测试的情况下，可损伤电子部件并可降低测试产量。为了防止出现前述问题，可设置锁定模块290。具体地，锁定模块290可包括联接至压板210的一侧的主体部分291、定位在主体部分291内并配置为部分地向前突出的片状件293、以及通过狭槽(未示出)连接至片状件293的把手292，其中该狭槽在主体部分291的外表面上在前后方向上延伸。在匹配板230和匹配板240安装完成后，工作人员可向前拉动把手292，片状件293可藉此向前突出。在匹配板230和匹配板240已经正常安装的情况下，片状件293可平滑地向前突出而不干涉匹配板230和匹配板240。然而，如果匹配板230和匹配板240没有正常地安装，则匹配板230和匹配板240就会阻碍片状件293的前向突出。通过该过程，工作人员可确定匹配板230和匹配板240是否正常安装。如果在图20所示的状态下进行测试，则无论是否有振动和/或外部冲击，片状件均可防止在左右方向上去除匹配板230和匹配板240。

不同于图20所示的配置，可设置多个锁定模块290，以使得锁定模块290中的每个均相对于上匹配板230和下匹配板240动作。

另外，有关锁定模块290的前述内容可应用于参照图3至图18描述的实施方式中。在这种情况下，可设置多个锁定模块，以使得锁定模块中的每个均相对于上匹配板130和下匹配板140动作，或者可设置如图20所示的单一锁定模块，以使得该锁定模块同时相对于上匹配板130和下匹配板140动作。在设置单一锁定模块的情况下，由于存在基础部116和基础部119以及支架143和支架145，所以锁定模块的形状可不同于图20的锁定模块的形状。例如，锁定模块的主体部分和片状件可以以大致C形来弯曲，并且可进行安装，以便围绕基础部116和基础部119以及支架143和支架145。在这种状态下，片状件可向前突出而不干涉基础部116和基础部119以及支架143和支架145。

图21是示意性地示出了根据又一实施方式的、测试分选机的推动装置300的主视图。

不同于现有技术，在上述实施方式中采用了两个匹配板130和140。然而，本公开不限于此。例如，当电子部件以M×N矩阵的形式安装在测试盘上时，可设置2k个压板，以便将压力传递至具有M/2k×N矩阵形式的电子部件。类似地，2k个第一轨道可设置在相应压板的中心部分中，以便在水平方向上延伸。可设置2k个上匹配板和2k个下匹配板，以便与第一轨道接触。在这方面，M可以是2或更大的偶数，并且N和k可以是1或更大的自然数。

图21示出了当k等于1时的推动装置300。如图21所示，可设置两个压板310a和310b，以便将压力传递至具有M/2k×N矩阵形式的电子部件。压板310a和压板310b可在竖直方向上彼此间隔开(在压板310a与压板310b之间具有间隙312)。这是因为压板310a和压板310b可热变形。另外，可对应于这两个压板310a和310b设置两个第一轨道320a和320b。另外，可设置两个上匹配板330a和330b以及两个下匹配板340a和340b，以便分别与第一轨道320a和第一轨道320b接触。结果，两个上匹配板330a和330b可覆盖具有M/4×N矩阵形式的电子部件，并且两个下匹配板340a和340b可覆盖具有M/4×N矩阵形式的电子部件。

虽然以上参照附图描述了本公开的示例性实施方式，然而本领域技术人员应理解的是，本公开可以以各种方式实施而不改变本公开的必要特征或精神。因此，应理解的是，在各个方面，上述示例性实施方式都不是限制性的，而仅是示例。本公开的范围由以下权利要求表述，而不是由具体的说明书表述，并且，应理解的是，由权利要求及等同概念的含义及范围所获得的所有改变和修改均包含于本公开的范围之内。

Claims (9)

1.测试分选机，包括：

加载装置，配置成将电子部件加载到测试盘中；

测试室，包括测试器，所述测试器配置成与所述电子器件中的每个紧密接触以对所述电子部件中的每个进行测试；

推动装置，配置成朝向所述测试器推动安装在所述测试盘上的电子部件中的每个；以及

卸载装置，配置成从所述测试盘上卸载在所述测试室中测试过的电子部件中的每个，

其中，所述推动装置包括：

压板，配置为将压力传递至所述电子部件；

第一轨道，设置在所述压板的中心部分中，以在水平方向上延伸；

上匹配板，具有下端部分，所述下端部分配置为与所述第一轨道接触；

下匹配板，具有上端部分，所述上端部分配置为与所述第一轨道接触；以及

多个推动器，设置在所述上匹配板和所述下匹配板中，以与所述电子部件接触。

2.如权利要求1所述的测试分选机，还包括：

第二轨道，设置在所述压板的下端部分中，并与所述下匹配板的下端部分向下间隔开；以及

第三轨道，设置在所述压板的上端部分中，并与所述上匹配板的上端部分向上间隔开。

3.如权利要求1所述的测试分选机，其中，当所述电子部件以M×N矩阵形式安装在所述测试盘上时，所述上匹配板和所述下匹配板中的每个均与具有M/2×N矩阵形式的电子部件匹配，其中M是2或更大的偶数，并且N是1或更大的自然数。

4.如权利要求1所述的测试分选机，其中，接合槽在所述第一轨道中形成，并且突出部设置在所述下匹配板的上端部分中，所述突出部插入所述接合槽中以保持所述下匹配板相对于所述第一轨道的位置。

5.如权利要求1所述的测试分选机，还包括：

第一销，设置在所述压板的一侧处；

第二销，设置在所述压板的另一侧处；

第一支架，设置在所述下匹配板的一侧处，并配置为与所述第一销接合；以及

第二支架，设置在所述下匹配板的另一侧处，并配置为与所述第二销接合。

6.如权利要求5所述的测试分选机，其中，第一接合槽在所述第一支架中形成，所述第一销插入所述第一接合槽中以支承所述第一支架，

第二接合槽在所述第二支架中形成，所述第二销插入所述第二接合槽中以支承所述第二支架，

所述第一接合槽包括：

第一引导部分，配置为引导所述下匹配板，以使得所述第一销随着所述下匹配板的移动开始插入所述第一接合槽中，并使得所述下匹配板朝向所述第一轨道向上移动并靠近所述第一轨道；以及

第一安置部分，当所述下匹配板接触所述第一轨道时，所述第一销定位在所述第一安置部分中；以及

所述第二接合槽包括：

第二引导部分，配置为引导所述下匹配板，以使得所述第二销随着所述下匹配板的移动开始插入所述第二接合槽中，并且使得所述下匹配板朝向所述第一轨道向上移动并靠近所述第一轨道；以及

第二安置部分，当所述下匹配板接触所述第一轨道时，所述第二销定位在所述第二安置部分中。

7.如权利要求5所述的测试分选机，其中，所述第一销向前突出超过所述压板，所述第二销没有向前突出超过所述压板，所述第一支架没有向后突出超过所述下匹配板，并且所述第二支架向后突出超过所述下匹配板。

8.如权利要求1所述的测试分选机，还包括：

移动主体，配置为朝向所述测试器移动；以及

多个轴，配置为使所述移动主体与所述压板互相连接，

其中，所述轴中的一个连接至所述压板的中心部分，并配置为抑制所述压板的所述中心部分的热变形，并且剩余的轴连接至所述压板，以相对于所述压板进行相对移动，并配置为允许所述压板的、除所述中心部分以外的部分的热变形。

9.如权利要求1所述的测试分选机，还包括：

至少两个球塞，配置为向前压所述上匹配板和所述下匹配板，

其中，所述球塞中的每个均包括：

球，具有前部，所述前部部分地插入狭槽中，所述狭槽在所述上匹配板的下端部分的中心处或在所述下匹配板的上端部分的中心处在上下方向上延伸；以及

弹性构件，在一个端部处连接至所述压板，并在另一端部处连接至所述球，并且配置为弹性地向前偏置所述球。