TW201602120A - 鈷錯合物及其製造方法、含有鈷的薄膜及其製作方法 - Google Patents

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古川泰志
河野和久
小礒尙之
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Abstract

本發明提供一種於在不使用氧化性氣體的條件下製作含有鈷的薄膜時有用的鈷錯合物。本發明的鈷錯合物是由通式（I）所表示。□（式中，RA 表示通式（II）所表示的醯基、通式（III）所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基、通式（IV）所表示的N-烷基醯亞胺基或通式（V）所表示的烯基，m表示0或2；RB 及RC 表示氫原子或成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團；RD 、RE 、RF 及RG 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；其中於m為2時，將RA 為醯基（II）、1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基（III）及烯基（V）的情形除外；於RA 為N-烷基醯亞胺基（IV）時，將RB 及RC 為成為一體而形成亞甲基的基團的情形除外），□（式中，RH 表示氫原子或可經氟原子取代的碳數1～6的烷基），□（式中，RH 與通式（II）的RH 表示相同含意；RI 表示碳數1～4的烷基）□   （RJ 表示碳數1～6的烷基；RK表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基），□（式中，RM 表示氫原子或碳數1～4的烷基；RL 表示碳數1～4的烷基；波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或該些幾何異構物的混合物）。

Description

鈷錯合物及其製造方法、含有鈷的薄膜及其製造方法
本發明是有關於一種作為半導體元件的製造用原料而有用的鈷錯合物及其製造方法、藉由使用該鈷錯合物作為材料而製作的含有鈷的薄膜及其製作方法。
鈷由於具有顯示出高導電性、功函數大、可形成導電性矽化物（silicide）、與銅的晶格匹配性優異等特長，故作為電晶體（transistor）等半導體元件的閘極電極、源極·汲極部的擴散層上的接點（contact）、銅配線籽晶層/內襯（liner）層等的材料而受到關注。於下一代的半導體元件中，為了進一步提高記憶容量或應答性，採用經高度地細密化及三維化的設計（design）。因此，為了使用鈷作為構成下一代的半導體元件的材料，必須確立於經三維化的基板上均勻地形成厚度為幾奈米～幾十奈米左右的含有鈷的薄膜的技術。作為用以於經三維化的基板上製作金屬薄膜的技術，原子層堆積法（Atomic Layer Deposition，ALD法）或化學氣相蒸鍍法（化學氣相沈積（Chemical Vapor Deposition，CVD）法）等基於化學反應的氣相蒸鍍法的靈活運用被視為有效力。作為下一代半導體元件的閘極電極、源極·汲極部的擴散層上的接點，正在研究形成鈷膜後加以矽化而成的CoSi2 。另一方面，於使用鈷作為銅配線籽晶層/內襯層的情形時，預計於基底中採用氮化鈦或氮化鉭等作為阻障金屬（barrier metal）。若於製作含有鈷的薄膜時矽或阻障金屬被氧化，則會產生由電阻值的上升所引起的與電晶體的導通不良等問題。為了避免該些問題，需求可於不使用氧或臭氧等氧化性氣體的條件下製作含有鈷的薄膜的材料。
於非專利文獻1中，作為具有與本發明的鈷錯合物（I）類似的結構的化合物，記載有(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -1,2,3,4-四苯基丁-1,3-二烯)鈷，但結構與本發明的鈷錯合物不同。另外，該文獻所記載的合成方法是基於雙(三苯基膦)(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與二苯基乙炔的反應，與本發明的製造方法不同。進而，該文獻中並無任何與使用該錯合物作為含有鈷的薄膜的製作用材料有關的描述。
迄今為止，具有η4 -二烯配位體及經N-烷基醯亞胺基取代的η5 -環戊二烯基配位體的鈷錯合物並無報告例。於非專利文獻2中，記載有(η4 -1,2,3,4-四苯基環丁-1,3-二烯)(η5 -1,3-雙[(苯基亞胺基)甲基]環戊二烯基)鈷，但於具有苯基的方面與本發明的鈷錯合物不同。另外，於該文獻中並無任何與使用該錯合物作為含有鈷的薄膜的製作用材料有關的描述。
迄今為止，兼具η4 -共軛二烯配位體及經烯基取代的η5 -環戊二烯基配位體的鈷錯合物並無報告例。於非專利文獻3中，作為於具有經不飽和烴基取代的η5 -環戊二烯基配位體的方面具有與本發明的鈷錯合物（I）類似的結構的化合物，記載有[η5 -(1-甲基乙烯基)環戊二烯基](二羰基)鈷，但於不具有η4 -共軛二烯配位體的方面與本發明的鈷錯合物不同。另外，該文獻中並無任何與使用該錯合物作為含有鈷的薄膜的製作用材料有關的描述。 [現有技術文獻] [非專利文獻]
[非專利文獻1]「有機金屬化學期刊（Journal of Organometallic Chemistry）」，第691卷，1183頁（2006年）。 [非專利文獻2]「有機金屬化學期刊（Journal of Organometallic Chemistry）」，第717卷，99頁（2012年）。 [非專利文獻3]「有機金屬化學期刊（Journal of Organometallic Chemistry）」，第355卷，455頁（1988年）。
[發明所欲解決之課題]
本發明的課題在於提供一種作為可於不使用氧化性氣體的條件下製作含有鈷的薄膜的材料而有用的鈷錯合物。 [解決課題之手段]
本發明者等人為了解決所述課題而進行了潛心研究，結果發現，通式（I）所表示的鈷錯合物、更具體而言通式（1）所表示的鈷錯合物（錯合物A）、通式（12）所表示的鈷錯合物（錯合物B）、及通式（15）所表示的鈷錯合物（錯合物C）作為用以於不使用氧化性氣體作為反應氣體的條件下、特別是使用還原性氣體的條件下製作含有鈷的薄膜的材料而有用，從而完成了本發明。
即，本發明是有關於一種鈷錯合物，其為通式（I）所表示的鈷錯合物，更具體而言為通式（1）所表示的鈷錯合物，進而具體而言為通式（1A）所表示的鈷錯合物、通式（1a）所表示的鈷錯合物、通式（1b）所表示的鈷錯合物及通式（1c）所表示的鈷錯合物、以及
通式（12）所表示的鈷錯合物、及
通式（15）所表示的鈷錯合物，
[化1]（I）
（式中，RA 表示通式（II）所表示的醯基、通式（III）所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基、通式（IV）所表示的N-烷基醯亞胺基或通式（V）所表示的烯基，
[化2]（II）
（式中，RH 表示氫原子或可經氟原子取代的碳數1～6的烷基），
[化3]（III）
（式中，RH 與通式（II）的RH 表示相同含義；RI 表示碳數1～4的烷基），
[化4]（IV）
（RJ 表示碳數1～6的烷基；RK 表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基），
[化5]（V）
（式中，RM 表示氫原子或碳數1～4的烷基；RL 表示碳數1～4的烷基；波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或該些幾何異構物的混合物）；m表示0或2；RB 及RC 表示氫原子或成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團；RD 、RE 、RF 及RG 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；其中於m為2時，將RA 為醯基（II）、1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基（III）及烯基（V）的情形除外；於RA 為N-烷基醯亞胺基（IV）時，將RB 及RC 為成為一體而形成亞甲基的基團的情形除外），
[化6]（1）
（式中，A為通式（2）所表示的醯基或通式（3）所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基，
[化7]（2）
（式中，R1 表示氫原子或可經氟原子取代的碳數1～6的烷基），
[化8]（3）
（式中，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意；R2 表示碳數1～4的烷基）；R4 、R5 、R6 及R7 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；R3 及R8 表示氫原子或彼此成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團），
[化9]（1A）
（式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意），
[化10]（1a）
（式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意），
[化11]（1b）
（式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意；X表示通式（1）的R3 、R8 成為一體的碳數1～4的伸烷基），
[化12]（1c）
（式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意，R2 與通式（3）的R2 表示相同含意），
[化13]（12）
（式中，n表示0或2；R9 表示碳數1～6的烷基；R10 表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基；R11 及R12 表示氫原子或成為一體而形成碳數2～4的伸烷基的基團；R13 ～R16 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基）；
[化14]（15）
（式中，R17 、R18 及R22 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；R19 及R20 表示氫原子或彼此成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團；R21 表示碳數1～4的烷基；波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或該些幾何異構物的混合物）。
另外，本發明是有關於該些鈷錯合物的製造方法。
進而，本發明是有關於一種含有鈷的薄膜的製作方法，其特徵在於：將該些鈷錯合物分解，於基板上製作含有鈷的薄膜。
進而，本發明是有關於一種含有鈷的薄膜，其是將該些鈷錯合物分解並於基板上製作而成。
本發明的鈷錯合物為通式（I）所表示的鈷錯合物，其中較佳為錯合物A、錯合物B及錯合物C。
最初對錯合物A加以說明。
錯合物A為通式（1）所表示的鈷錯合物。此處，通式（1）中的A為通式（2）所表示的醯基或通式（3）所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基。
錯合物A中，較佳為通式（1A）或通式（1c）所表示的鈷錯合物。另外，錯合物A中，較佳為通式（1a）或通式（1b）所表示的鈷錯合物。
首先，對通式（1）、通式（2）及通式（3）中的R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 的定義加以說明。
通式（2）的R1 所表示的碳數1～6的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基、戊基、1-乙基丙基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、異戊基、新戊基、第三戊基、環戊基、環丁基甲基、己基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1,1-二甲基丁基、1,2-二甲基丁基、1,3-二甲基丁基、2,2-二甲基丁基、2,3-二甲基丁基、3,3-二甲基丁基、環己基、環戊基甲基、1-環丁基乙基、2-環丁基乙基等。
R1 所表示的碳數1～6的烷基亦可經氟原子取代。經氟原子取代的碳數1～6的烷基可例示：氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、1-氟乙基、2-氟乙基、1,1-二氟乙基、2,2,2-三氟乙基、全氟乙基、全氟丙基、1,2,2,2-四氟-1-(三氟甲基)乙基、全氟丁基、1,1,2,3,3,3-六氟-2-(三氟甲基)丙基、1,2,2,3,3,3-六氟-1-(三氟甲基)丙基、2,2,2-三氟-1,1-雙(三氟甲基)乙基、全氟戊基、全氟己基等。
就本發明的鈷錯合物（1）具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓的方面而言，經氟原子取代的碳數1～6的烷基較佳為三氟甲基、全氟乙基、全氟丙基，更佳為三氟甲基。
於錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R1 較佳為氫原子或碳數1～4的烷基，更佳為異丁基或碳數1～4的直鏈狀烷基，尤其更佳為甲基、丙基或異丁基。
通式（3）的R2 所表示的碳數1～4的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基等。就錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R2 較佳為甲基、乙基、丙基或異丙基，更佳為甲基。
通式（3）的三個R2 可相同或不同。
通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 所表示的碳數1～4的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基等。就錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R4 、R5 、R6 及R7 較佳為分別獨立地為氫原子或碳數1～3的烷基，更佳為氫原子或甲基。
通式（1）的R3 及R8 成為一體而形成的碳數1～4的伸烷基可為直鏈狀及分支狀的任一種，可例示：亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、三亞甲基、四亞甲基等。就錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R8 及R9 較佳為氫原子或成為一體而形成亞甲基、伸乙基、三亞甲基或四亞甲基，更佳為氫原子或成為一體而形成伸乙基，尤佳為氫原子。
錯合物A中，鈷錯合物（1a）的具體例可例示：(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-1）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-2）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-3）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-4）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1a-5）、[(1-4-η)-戊-1,3-二烯](η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1a-6）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1a-7）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1a-8）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷（1a-9）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-10）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-11）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-12）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（1a-13）、(η5 -異丁醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-14）、(η5 -異丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-15）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（1a-16）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-17）、[(1-4-η)-戊-1,3-二烯](η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-18）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-19）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-20）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-21）、(η5 -異戊醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-22）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-23）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1a-24）、(η4 -丁-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1a-25）、[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基][(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-26）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1a-27）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1a-28）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1a-29）、[(1-4-η)-戊-1,3-二烯](η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1a-30）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1a-31）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1a-32）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-33）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-34）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-35）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-36）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-37）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-38）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-39）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-40）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-41）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-42）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-43）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-44）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-45）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-46）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-47）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-48）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-49）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-50）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-51）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-52）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-53）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1a-54）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-55）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-56）等。就錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，較佳為（1a-1）、（1a-2）、（1a-3）、（1a-4）、（1a-5）、（1a-6）、（1a-7）、（1a-8）、（1a-9）、（1a-10）、（1a-11）、（1a-12）、（1a-17）、（1a-18）、（1a-19）、（1a-20）、（1a-21）、（1a-22）、（1a-23）、（1a-24）、（1a-33）～（1a-36）及（1a-45）～（1a-48），更佳為（1a-1）、（1a-2）、（1a-3）、（1a-4）、（1a-5）、（1a-6）、（1a-7）、（1a-8）、（1a-9）、（1a-10）、（1a-11）、（1a-12）、（1a-23）及（1a-24），就為液體而操作容易的方面而言，尤佳為（1a-3）、（1a-4）、（1a-11）、（1a-12）及（1a-23）。
錯合物A中，鈷錯合物（1b）的具體例可例示：(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-1）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-2）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-3）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-4）、(η4 -環戊-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1b-5）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1b-6）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1b-7）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（1b-8）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-9）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-10）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-11）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-12）、(η4 -環戊-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（1b-13）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（1b-14）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（1b-15）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（1b-16）、(η4 -環戊-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-17）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-18）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-19）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-20）、(η4 -環戊-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-21）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-22）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-23）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（1b-24）、(η4 -環戊-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1b-25）、(η4 -環己-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1b-26）、(η4 -環庚-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1b-27）、(η4 -環辛-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（1b-28）、(η4 -環戊-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1b-29）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1b-30）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1b-31）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（1b-32）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-33）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-34）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-35）、(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-36）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-37）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-38）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-39）、(η5 -(氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-40）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-41）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-42）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-43）、(η5 -(二氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-44）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-45）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-46）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-47）、(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-48）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-49）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-50）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-51）、(η5 -(五氟丙醯基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-52）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1b-53）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-54）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1b-55）、(η5 -(七氟丁醯基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1b-56）等。就錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，較佳為（1b-2）、（1b-6）、（1b-10）、（1b-18）、（1b-22）、（1b-34）及（1b-46），更佳為（1b-2）。
錯合物A中，鈷錯合物（1c）的具體例可例示：(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-1）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-2）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-3）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-4）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-5）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-6）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-7）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-8）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-9）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-10）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-11）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-12）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-13）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-14）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-15）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-16）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-17）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-18）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-19）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-20）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-21）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-22）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-23）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-24）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-25）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-26）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-27）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-28）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-29）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-30）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-31）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-32）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-33）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-34）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-35）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-36）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-37）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-38）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-39）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-40）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-41）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-42）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-43）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-44）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-45）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-46）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-47）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-48）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-49）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-50）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-51）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-52）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-53）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-54）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-55）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-56）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-57）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-58）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-59）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-60）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-61）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-62）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-63）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-64）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-65）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-66）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-67）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-68）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-69）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-70）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-71）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-72）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-73）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-74）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-75）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-76）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-77）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-78）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-79）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-80）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-81）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-82）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-83）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-84）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-85）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-86）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-87）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-88）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-89）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-90）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-91）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-92）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-93）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-94）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-95）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-96）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-97）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-98）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-99）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-100）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-101）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-102）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-103）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-104）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-105）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-106）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-107）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-108）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1c-109）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（1c-110）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-111）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-112）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-113）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-114）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-115）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-116）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-117）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-118）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-119）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-120）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-121）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-122）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-123）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-124）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-125）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-126）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-127）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-128）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-129）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-130）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-131）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-132）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-133）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-134）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-135）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-136）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-137）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-138）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-139）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-140）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-141）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-142）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-143）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-144）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-145）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-146）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-147）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-148）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-149）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-150）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-151）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-152）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-153）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-154）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-155）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-156）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-157）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-158）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-159）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-160）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-161）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-162）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-163）、(η5 -(1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-164）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-165）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-166）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-167）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三乙基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-168）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-169）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-170）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-171）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-172）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-173）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-174）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-175）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-176）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-177）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-178）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-179）、(η5 -(2,2,2-三氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-180）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-181）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-182）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-183）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-184）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-185）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-186）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-187）、(η5 -(2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-188）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-189）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-190）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-191）、(η5 -(1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-192）、(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-193）、(η5 -(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-194）、(η5 -(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-195）、(η5 -(η5 -(2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基-1-三丙基矽烷氧基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-196）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-197）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-198）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-199）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-200）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-201）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-202）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-203）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-204）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-205）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-206）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-207）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,2-三氟-1-三氟甲基乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-208）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-209）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-210）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-211）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-212）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-213）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-214）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-215）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,3-五氟-1-三氟甲基丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-216）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-217）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-218）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-219）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-220）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環戊-1,3-二烯)鈷（1c-221）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1c-222）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（1c-223）、(η5 -(1-第三丁基二甲基矽烷氧基-2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-三氟甲基丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（1c-224）等。就錯合物A具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，較佳為（1c-1）～（1c-8）、（1c-114）、（1c-118），更佳為（1c-1）、（1c-3）～（1c-5）、（1c-7）、（1c-8），尤其更佳為（1c-3）、（1c-4）、（1c-7）、（1c-8）。
錯合物A亦可為立體構形異構物、立體組態異構物等立體異構物的混合物。
繼而，對錯合物A的製造方法加以說明。
最初，對錯合物A中可較佳地使用的鈷錯合物（1A）的製造方法加以說明。
鈷錯合物（1A）可藉由製造方法1來製造。鈷錯合物（1A）中可較佳地使用的鈷錯合物（1a）、鈷錯合物（1b）分別可藉由製造方法2、製造方法3來製造。
製造方法1為以下方法：使鈷錯合物（8）與烷基鋰於鹼金屬醇鹽的存在下反應後，使醯化劑（9）反應，藉此製造鈷錯合物（1A）。
製造方法1
[化15]
（式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意。Y表示脫離基）
製造方法2為以下方法：使二茂鈷（Cobaltocene）（4）與共軛鏈狀二烯（5）於鹼金屬的存在下反應，藉此製造鈷錯合物（1a）。
製造方法2
[化16]
（式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意）
製造方法3為以下方法：使二茂鈷（4）與共軛環狀二烯（6）或非共軛環狀二烯（7a）或非共軛環狀二烯（7b）於鹼金屬的存在下反應，藉此製造鈷錯合物（1b）。
製造方法3
[化17]
（式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意。X表示通式（1）的R3 、R8 成為一體的碳數1～4的伸烷基）
最初，對製造方法1加以說明。製造方法1包含：第1步驟，使鈷錯合物（8）與烷基鋰於鹼金屬醇鹽的存在下反應；及第2步驟，使第1步驟的產物與醯化劑（9）反應。
製造方法1的Y所表示的脫離基可例示：二烷基胺基、鹵素原子、烷氧基、醯氧基、1-咪唑基、甲磺醯氧基、三氟甲磺醯氧基、對甲苯磺醯氧基等。二烷基胺基可例示：二甲基胺基、乙基甲基胺基、二乙基胺基、丙基甲基胺基、異丙基甲基胺基、乙基丙基胺基、乙基異丙基胺基、二丙基胺基、二異丙基胺基、1-哌啶基等。鹵素原子可例示：氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等。烷氧基可例示：甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、苯氧基、戊氧基、烯丙氧基、環己氧基、苄氧基等。醯氧基可例示：乙醯氧基、丙醯氧基、丁醯氧基、異丁醯氧基、戊醯氧基、異戊醯氧基、三甲基乙醯氧基、氟乙醯氧基、二氟乙醯氧基、三氟乙醯氧基、五氟丙醯氧基、七氟丁醯氧基等。
就鈷錯合物（1A）的產率良好的方面而言，Y較佳為二甲基胺基、二乙基胺基、二丙基胺基、二異丙基胺基、1-哌啶基、氯原子、溴原子、碘原子、乙醯氧基、丙醯氧基、丁醯氧基、戊醯氧基、三氟乙醯氧基、五氟丙醯氧基、七氟丁醯氧基，更佳為二甲基胺基、二乙基胺基、二丙基胺基、二異丙基胺基、1-哌啶基，尤其更佳為1-哌啶基。
製造方法1中可使用的鈷錯合物（8）的例子可列舉：(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷、(η5 -環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷、(η5 -環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷、(η5 -環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷、(η4 -環戊-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷等，較佳為(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷、(η5 -環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷、(η5 -環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷，更佳為(η5 -環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷、(η5 -環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -環戊二烯基)鈷。
本發明的製造方法1中所用的鈷錯合物（8）可藉由使雙(η5 -環戊二烯基)鈷與共軛鏈狀二烯（5）或共軛環狀二烯（6）於鹼金屬的存在下反應而合成，除此以外，可依據「有機金屬（Organometallics）」（第32卷，3415頁（2013年））等中記載的方法來合成。
製造方法1中可使用的烷基鋰的例子可列舉：甲基鋰、乙基鋰、丙基鋰、異丙基鋰、丁基鋰、第二丁基鋰、異丁基鋰、第三丁基鋰、戊基鋰、第三戊基鋰、環戊基鋰、己基鋰、環己基鋰等。就產率良好的方面而言，較佳為丁基鋰。
本發明的製造方法1中所用的烷基鋰亦可為市售品，亦可為依據日本化學會編的「實驗化學講座18有機化合物的合成VI」（第5版，丸善，2004年）、或「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第108卷，7016頁（1986年））等中記載的方法所製造的物品。
製造方法1中可使用的鹼金屬醇鹽的例子可列舉：甲醇鋰、乙醇鋰、丙醇鋰、異丙醇鋰、丁醇鋰、異丁醇鋰、第二丁醇鋰、第三丁醇鋰、甲醇鈉、乙醇鈉、丙醇鈉、異丙醇鈉、丁醇鈉、異丁醇鈉、第二丁醇鈉、第三丁醇鈉、甲醇鉀、乙醇鉀、丙醇鉀、異丙醇鉀、丁醇鉀、異丁醇鉀、第二丁醇鉀、第三丁醇鉀等。就鈷錯合物（1A）的產率良好的方面而言，較佳為甲醇鉀、乙醇鉀、丙醇鉀、異丙醇鉀、丁醇鉀、異丁醇鉀、第二丁醇鉀、第三丁醇鉀，更佳為第三丁醇鉀。
本發明的製造方法1中所用的鹼金屬醇鹽可使用市售品。
製造方法1中可使用的醯化劑（9）的例子可列舉：N,N-二甲基甲醯胺（DMF）、N,N-二甲基乙醯胺（DMA）、N,N-二乙基乙醯胺、N,N-二甲基丙醯胺、N,N-二乙基丙醯胺、N,N-二甲基丁醯胺、N,N-二乙基丁醯胺、N,N-二甲基異丁醯胺、N,N-二乙基異丁醯胺、N,N-二甲基戊醯胺、N,N-二乙基戊醯胺、N,N-二甲基異戊醯胺、N,N-二乙基異戊醯胺、N,N-二甲基三甲基乙醯胺、N,N-二乙基三甲基乙醯胺、N,N-二甲基氟乙醯胺、N,N-二乙基氟乙醯胺、N,N-二甲基二氟乙醯胺、N,N-二乙基二氟乙醯胺、N,N-二甲基三氟乙醯胺、N,N-二乙基三氟乙醯胺、N-甲基-雙(三氟乙醯胺)、N,N-二甲基五氟丙醯胺、N,N-二乙基五氟丙醯胺、N,N-二甲基七氟丁醯胺、N,N-二乙基七氟丁醯胺、1-乙醯基哌啶、1-丙醯基哌啶、1-丁醯基哌啶、1-異丁醯基哌啶、1-戊醯基哌啶、1-異戊醯基哌啶、1-三甲基乙醯基哌啶、1-(氟乙醯基)哌啶、1-(二氟乙醯基)哌啶、1-(三氟乙醯基)哌啶、1-(五氟丙醯基)哌啶、1-(七氟丁醯基)哌啶等羧酸二烷基醯胺，乙醯氯、乙醯溴、乙醯碘、丙醯氯、丙醯溴、丙醯碘、丁醯氯、丁醯溴、丁醯碘、異丁醯氯、異丁醯溴、異丁醯碘、戊醯氯、戊醯溴、戊醯碘、異戊醯氯、異戊醯溴、異戊醯碘、三甲基乙醯氯、三甲基乙醯溴、三甲基乙醯碘、氟乙醯氯、氟乙醯溴、氟乙醯碘、二氟乙醯氯、二氟乙醯溴、二氟乙醯碘、三氟乙醯氯、三氟乙醯溴、三氟乙醯碘、五氟丙醯氯、五氟丙醯溴、五氟丙醯碘、七氟丁醯氯、七氟丁醯溴、七氟丁醯碘等羧醯鹵，甲酸甲酯、甲酸乙酯、甲酸丙酯、甲酸異丙酯、甲酸丁酯、甲酸苯酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸異丙酯、乙酸丁酯、乙酸苯酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯、丙酸丙酯、丙酸異丙酯、丙酸丁酯、丙酸苯酯、丁酸甲酯、丁酸乙酯、丁酸丙酯、丁酸異丙酯、丁酸丁酯、丁酸苯酯、異丁酸甲酯、異丁酸乙酯、異丁酸丙酯、異丁酸異丙酯、異丁酸丁酯、異丁酸苯酯、戊酸甲酯、戊酸乙酯、戊酸丙酯、戊酸異丙酯、戊酸丁酯、戊酸苯酯、異戊酸甲酯、異戊酸乙酯、異戊酸丙酯、異戊酸異丙酯、異戊酸丁酯、異戊酸苯酯、三甲基乙酸甲酯、三甲基乙酸乙酯、三甲基乙酸丙酯、三甲基乙酸異丙酯、三甲基乙酸丁酯、三甲基乙酸苯酯、氟乙酸甲酯、氟乙酸乙酯、氟乙酸丙酯、氟乙酸異丙酯、氟乙酸丁酯、氟乙酸苯酯、二氟乙酸甲酯、二氟乙酸乙酯、二氟乙酸丙酯、二氟乙酸異丙酯、二氟乙酸丁酯、二氟乙酸苯酯、三氟乙酸甲酯、三氟乙酸乙酯、三氟乙酸丙酯、三氟乙酸異丙酯、三氟乙酸丁酯、三氟乙酸苯酯、五氟丙酸甲酯、五氟丙酸乙酯、五氟丙酸丙酯、五氟丙酸異丙酯、五氟丙酸丁酯、五氟丙酸苯酯、七氟丁酸甲酯、七氟丁酸乙酯、七氟丁酸丙酯、七氟丁酸異丙酯、七氟丁酸丁酯、七氟丁酸苯酯等羧酸酯，乙酸酐、丙酸酐、丁酸酐、異丁酸酐、戊酸酐、異戊酸酐、三甲基乙酸酐、氟乙酸酐、二氟乙酸酐、三氟乙酸酐、五氟丙酸酐、七氟丁酸酐等羧酸酐，1-乙醯基咪唑、1-丙醯基咪唑、1-丁醯基咪唑、1-異丁醯基咪唑、1-戊醯基咪唑、1-異戊醯基咪唑、1-三甲基乙醯基咪唑、1-(氟乙醯基)咪唑、1-(二氟乙醯基)咪唑、1-(三氟乙醯基)咪唑、1-(五氟丙醯基)咪唑、1-(七氟丁醯基)咪唑等咪唑化合物，乙醯基甲磺酸酯、丙醯基甲磺酸酯、丁醯基甲磺酸酯、異丁醯基甲磺酸酯、戊醯基甲磺酸酯、異戊醯基甲磺酸酯、三甲基乙醯基甲磺酸酯、氟乙醯基甲磺酸酯、二氟乙醯基甲磺酸酯、三氟乙醯基甲磺酸酯、五氟丙醯基甲磺酸酯、七氟丁醯基甲磺酸酯等醯基甲磺酸酯，乙醯基三氟甲磺酸酯、丙醯基三氟甲磺酸酯、丁醯基三氟甲磺酸酯、異丁醯基三氟甲磺酸酯、戊醯基三氟甲磺酸酯、異戊醯基三氟甲磺酸酯、三甲基乙醯基三氟甲磺酸酯、氟乙醯基三氟甲磺酸酯、二氟乙醯基三氟甲磺酸酯、三氟乙醯基三氟甲磺酸酯、五氟丙醯基三氟甲磺酸酯、七氟丁醯基三氟甲磺酸酯等醯基三氟甲磺酸酯，乙醯基對甲苯磺酸酯、丙醯基對甲苯磺酸酯、丁醯基對甲苯磺酸酯、異丁醯基對甲苯磺酸酯、戊醯基對甲苯磺酸酯、異戊醯基對甲苯磺酸酯、三甲基乙醯基對甲苯磺酸酯、氟乙醯基對甲苯磺酸酯、二氟乙醯基對甲苯磺酸酯、三氟乙醯基對甲苯磺酸酯、五氟丙醯基對甲苯磺酸酯、七氟丁醯基對甲苯磺酸酯等醯基對甲苯磺酸酯等。就鈷錯合物（1A）的產率良好的方面而言，較佳為羧酸二烷基醯胺，更佳為DMF、1-乙醯基哌啶、1-(三氟乙醯基)哌啶。
本發明的製造方法1中所用的醯化劑（9）可為市售品，亦可為依據日本化學會編的「實驗化學講座16有機化合物的合成IV」（第5版，丸善，2005年）、或「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第134卷，640頁（2012年））、或「合成（Synthesis）」（第44卷，2249頁（2012年））等中記載的方法所製造的物品。
就鈷錯合物（1A）的產率良好的方面而言，製造方法1較佳為於惰性氣體環境中實施。該惰性氣體具體可例示：氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣等，就廉價的方面而言，較佳為氬氣或氮氣。
就鈷錯合物（1A）的產率良好的方面而言，製造方法1較佳為於有機溶劑中實施。關於使用的有機溶劑的種類，只要不妨礙反應則並無特別限制。可使用的溶劑的例子可列舉：戊烷、己烷、庚烷、辛烷、環己烷、甲基環己烷、乙基環己烷、石油醚等脂肪族烴，苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、丙基苯、異丙基苯、丁基苯、異丁基苯、第二丁基苯、第三丁基苯、1,3,5-三甲基苯（均三甲苯）等芳香族烴，二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲基醚（CPME）、環戊基乙基醚（CPEE）、第三丁基甲基醚（MTBE）、四氫呋喃（THF）、二噁烷、1,2-二甲氧基乙烷等醚。該些有機溶劑中可單獨使用一種，亦可將多種以任意的比率混合使用。就鈷錯合物（1A）的產率良好的方面而言，有機溶劑較佳為醚，更佳為CPME、MTBE、二乙醚或THF，尤其更佳為THF。
繼而，對實施製造方法1時的鈷錯合物（8）、烷基鋰、鹼金屬醇鹽及醯化劑（9）的莫耳比加以說明。較佳為相對於1莫耳的鈷錯合物（8）而使0.9莫耳～1.5莫耳的烷基鋰及0.9莫耳～1.5莫耳的鹼金屬醇鹽反應後，使0.9莫耳～2.0莫耳的醯化劑（9）反應，藉此能以良好的產率製造鈷錯合物（1A）。
製造方法1的第1步驟較佳為於0℃以下的反應溫度下實施，對反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常條件。關於具體例，可於自-80℃～0℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間。
製造方法1的第2步驟中，對反應溫度及反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常條件。關於具體例，可於自-80℃～120℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間，藉此以良好的產率製造鈷錯合物（1A）。
藉由製造方法1所製造的鈷錯合物（1A）可藉由適當選擇使用本領域技術人員將金屬錯合物純化時的通常的純化方法來進行純化。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
繼而，對製造方法2、製造方法3加以說明。
製造方法2、製造方法3中可使用的二茂鈷（4）的例子可列舉：雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷、雙[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷、雙(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷等，較佳為雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷及雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷，更佳為雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷及雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷。
製造方法2、製造方法3中可使用的二茂鈷（4）可依照「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第102卷，1196頁（1980年））、「巨分子科技期刊（Journal of Macromolecular Science），A部分（Pt.A），化學（Chemistry）」（A16卷，243頁（1981年））等中記載的方法而製造。具體而言，可藉由環戊二烯鈉與羧酸酯的反應來製備醯基環戊二烯鈉，使該醯基環戊二烯鈉與氯化鈷反應，藉此製造二茂鈷（4）。
製造方法2、製造方法3中，可不將二茂鈷（4）純化而用作原料，亦可將藉由金屬錯合物的通常的純化方法進行了純化的二茂鈷（4）用作原料。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、昇華、結晶化、管柱層析等。
製造方法2中可使用的共軛鏈狀二烯（5）的例子可列舉：丁-1,3-二烯、2-甲基丁-1,3-二烯（異戊二烯）、2,3-二甲基丁-1,3-二烯、戊-1,3-二烯、己-1,3-二烯、己-2,4-二烯、庚-2,4-二烯等。就鈷錯合物（1a）的產率良好的方面而言，較佳為丁-1,3-二烯、異戊二烯、2,3-二甲基丁-1,3-二烯、戊-1,3-二烯，尤佳為異戊二烯、2,3-二甲基丁-1,3-二烯。
製造方法2中可使用的鹼金屬的具體例可列舉鋰、鈉、鉀等，就價格低廉且操作容易的方面而言，較佳為鋰或鈉。
就鈷錯合物（1a）的產率良好的方面而言，製造方法2較佳為於惰性氣體環境中實施。該惰性氣體具體可例示：氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣等，可根據鹼金屬的種類而適當選擇使用。例如於鹼金屬為鈉或鉀的情形時，更佳為氬氣或氮氣，鋰的情形時更佳為氬氣。
就鈷錯合物（1a）的產率良好的方面而言，製造方法2較佳為於有機溶劑中實施。關於可使用的有機溶劑的種類，只要不妨礙反應則並無特別限制。可使用的溶劑的例子可列舉：戊烷、己烷、庚烷、辛烷、環己烷、甲基環己烷、乙基環己烷、石油醚等脂肪族烴，苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、丙基苯、異丙基苯、丁基苯、異丁基苯、第二丁基苯、第三丁基苯、1,3,5-三甲基苯（均三甲苯）等芳香族烴，二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲基醚（CPME）、環戊基乙基醚（CPEE）、第三丁基甲基醚（MTBE）、四氫呋喃（THF）、二噁烷、1,2-二甲氧基乙烷等醚。該些有機溶劑中，可單獨使用一種，亦可將多種以任意的比率混合使用。就鈷錯合物（1a）的產率良好的方面而言，有機溶劑較佳為醚，更佳為CPME、MTBE、二乙醚或THF，尤其更佳為THF。
繼而，對實施製造方法2時的二茂鈷（4）、共軛鏈狀二烯（5）及鹼金屬的莫耳比加以說明。較佳為相對於1莫耳的二茂鈷（4）而使用0.9莫耳～5.0莫耳的共軛鏈狀二烯（5）及0.9莫耳～1.3莫耳的鹼金屬，藉此能以良好的產率製造鈷錯合物（1a）。
於製造方法2中，對反應溫度及反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常的條件。關於具體例，可於自-80℃～120℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間，藉此以良好的產率製造鈷錯合物（1a）。藉由製造方法2所製造的鈷錯合物（1a）可藉由適當選擇使用本領域技術人員將金屬錯合物純化時的通常的純化方法來純化。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
製造方法2中可使用的共軛鏈狀二烯（5）可依據「俄羅斯應用化學期刊（Russian Journal of Applied Chemistry）」（第84卷，261頁（2011年））、「ACS催化（ACS Catalysis）」（第2卷，2173頁（2012年））等中記載的方法來合成。另外，亦可將市售的共軛鏈狀二烯（5）用作製造方法2的原料。
製造方法3中可使用的共軛環狀二烯（6）的例子可列舉：環戊-1,3-二烯、甲基環戊-1,3-二烯、乙基環戊-1,3-二烯、丙基環戊-1,3-二烯、異丙基環戊-1,3-二烯、環丙基環戊-1,3-二烯、丁基環戊-1,3-二烯、異丁基環戊-1,3-二烯、第二丁基環戊-1,3-二烯、第三丁基環戊-1,3-二烯、1,2-二甲基環戊-1,3-二烯、1,3-二甲基環戊-1,3-二烯、環己-1,3-二烯、5-甲基環己-1,3-二烯、5,5-二甲基環己-1,3-二烯、5-乙基-5-甲基-環己-1,3-二烯、1-異丙基-4-甲基環己-1,3-二烯（α-萜品烯）、5-異丙基-2-甲基環己-1,3-二烯（α-水芹烯（α-phellandrene））、3-甲基-5,5-二甲基環己-1,3-二烯、環庚-1,3-二烯、6-甲基環庚-1,3-二烯、6-乙基環庚-1,3-二烯、6-丙基環庚-1,3-二烯、6-異丙基環庚-1,3-二烯、6-丁基環庚-1,3-二烯、6-異丁基環庚-1,3-二烯、6-第二丁基-環庚-1,3-二烯、6-第三丁基-環庚-1,3-二烯、1,6-二甲基環庚-1,3-二烯、2,6-二甲基環庚-1,3-二烯、5,6-二甲基環庚-1,3-二烯、6,6-二甲基環庚-1,3-二烯、環辛-1,3-二烯、1,6-二甲基環辛-1,3-二烯、2,6-二甲基環辛-1,3-二烯等。
製造方法3中可使用的非共軛環狀二烯（7a）及非共軛環狀二烯（7b）的例子可列舉：環己-1,4-二烯、1-甲基環己-1,4-二烯、1-異丙基-4-甲基環己-1,4-二烯（γ-萜品烯）等。就鈷錯合物（1b）的產率良好的方面而言，較佳為使用共軛環狀二烯（6），更佳為環己-1,3-二烯。
製造方法3中可使用的鹼金屬的具體例可列舉鋰、鈉、鉀等，就價格低廉且操作容易的方面而言，較佳為鋰或鈉。
就鈷錯合物（1b）的產率良好的方面而言，製造方法3較佳為於惰性氣體環境中實施。該惰性氣體具體可例示：氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣等，只要根據鹼金屬的種類而適當選擇使用即可。例如於鹼金屬為鈉或鉀的情形時較佳為氬氣或氮氣，於鋰的情形時較佳為氬氣。
就鈷錯合物（1b）的產率良好的方面而言，製造方法3較佳為於有機溶劑中實施。關於可使用的有機溶劑的種類，只要不妨礙反應則並無特別限制。可使用的溶劑的例子可列舉：戊烷、己烷、庚烷、辛烷、環己烷、甲基環己烷、乙基環己烷、石油醚等脂肪族烴，苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、丙基苯、異丙基苯、丁基苯、異丁基苯、第二丁基苯、第三丁基苯、1,3,5-三甲基苯（均三甲苯）等芳香族烴，二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲基醚（CPME）、環戊基乙基醚（CPEE）、第三丁基甲基醚（MTBE）、四氫呋喃（THF）、二噁烷、1,2-二甲氧基乙烷等醚。該些有機溶劑中，可單獨使用一種，亦可將多種以任意的比率混合使用。就鈷錯合物（1b）的產率良好的方面而言，有機溶劑較佳為醚，更佳為CPME、MTBE、二乙醚或THF，尤其更佳為THF。
繼而，對實施製造方法3時的二茂鈷（4）、共軛環狀二烯（6）或非共軛環狀二烯（7a）、非共軛環狀二烯（7b）及鹼金屬的莫耳比加以說明。較佳為相對於1莫耳的二茂鈷（4）而使用0.9莫耳～5.0莫耳的共軛環狀二烯（6）或非共軛環狀二烯（7a）、非共軛環狀二烯（7b）及0.9莫耳～1.3莫耳的鹼金屬，藉此能以良好的產率製造鈷錯合物（1b）。
製造方法3中，對反應溫度及反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常條件。關於具體例，可於自-80℃～120℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間，藉此以良好的產率製造鈷錯合物（1b）。藉由製造方法3所製造的鈷錯合物（1b）可藉由適當選擇使用本領域技術人員將金屬錯合物純化時的通常的純化方法而純化。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
製造方法3中可使用的共軛環狀二烯（6）及非共軛環狀二烯（7a）、非共軛環狀二烯（7b）可依據「ACS催化（ACS Catalysis）」（第2卷，2173頁（2012年））、日本專利特開2001-31595號公報、「有機化學期刊（The Journal of Organic Chemistry）」（第55卷，1854頁（1990年））、「有機化學期刊（The Journal of Organic Chemistry）」（第56卷，5101頁（1991年））、「化學-A歐洲期刊（Chemistry-A European Journal）」（第19卷，10672頁（2013年））、「有機金屬（Organometallics）」（第13卷，1020頁（1994年））等中記載的方法來合成。另外，亦可將市售的共軛環狀二烯（6）或非共軛環狀二烯（7a）、非共軛環狀二烯（7b）用作製造方法3的原料。
繼而，對製造方法4加以說明。
製造方法4為藉由使鈷錯合物（1A）與三氟甲基矽烷（10）反應而製造鈷錯合物（1c）的方法。
製造方法4
[化18]
（式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意，R2 與通式（3）的R2 表示相同含意。Z表示鹵素原子）
製造方法4中可使用的鈷錯合物（1A）的例子可列舉鈷錯合物（1a）及鈷錯合物（1b）。
製造方法4中可使用的三氟甲基矽烷（10）的例子可列舉：(三氟甲基)三甲基矽烷、(三氟甲基)三乙基矽烷、(三氟甲基)三丙基矽烷、(三氟甲基)三(異丙基)矽烷、(三氟甲基)三丁基矽烷、第三丁基二甲基(三氟甲基)矽烷等。就三氟甲基矽烷（10）的獲取性及鈷錯合物（1c）的產率良好的方面而言，較佳為(三氟甲基)三甲基矽烷、(三氟甲基)三乙基矽烷、(三氟甲基)三丙基矽烷，更佳為(三氟甲基)三甲基矽烷。
本發明的製造方法4中所用的三氟甲基矽烷（10）可為市售品，亦可為依據「科技（Science）」（第338卷，1324頁（2012年））等中記載的方法製造的物品。
製造方法4中，亦可添加氟化銫、氟化四丁基銨（TBAF）、二氟三苯基矽酸四丁基銨（TBAT）等。
就鈷錯合物（1c）的產率良好的方面而言，製造方法4較佳為於惰性氣體環境中實施。該惰性氣體具體可例示：氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣等，就廉價的方面而言，較佳為氬氣或氮氣。
就鈷錯合物（1c）的產率良好的方面而言，製造方法4較佳為於有機溶劑中實施。關於可使用的有機溶劑的種類，只要不妨礙反應則並無特別限制。可使用的溶劑的例子可列舉：戊烷、己烷、庚烷、辛烷、環己烷、甲基環己烷、乙基環己烷、石油醚等脂肪族烴，苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、丙基苯、異丙基苯、丁基苯、異丁基苯、第二丁基苯、第三丁基苯、1,3,5-三甲基苯（均三甲苯）等芳香族烴，二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲基醚（CPME）、環戊基乙基醚（CPEE）、第三丁基甲基醚（MTBE）、四氫呋喃（THF）、二噁烷、1,2-二甲氧基乙烷等醚。該些有機溶劑中，可單獨使用一種，亦可將多種以任意的比率混合使用。就鈷錯合物（1c）的產率良好的方面而言，有機溶劑較佳為醚，更佳為CPME、MTBE、二乙醚或THF，尤其更佳為THF。
繼而，對實施製造方法4時的鈷錯合物（1A）及三氟甲基矽烷（10）的莫耳比加以說明。較佳為相對於1莫耳的鈷錯合物（1A）而使1.0莫耳～3.0莫耳的三氟甲基矽烷（10）反應，藉此能以良好的產率製造鈷錯合物（1c）。
製造方法4中，對反應溫度及反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常條件。關於具體例，可於自-80℃～120℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間，藉此以良好的產率製造鈷錯合物（1c）。
藉由製造方法4所製造的鈷錯合物（1c）可藉由適當選擇使用本領域技術人員將金屬錯合物純化時的通常的純化方法而純化。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
繼而，對錯合物B加以說明。首先，對通式（12）中的R9 、R10 、R11 、R12 、R13 、R14 、R15 及R16 的定義加以說明。
R9 所表示的碳數1～6的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基、戊基、1-乙基丙基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、異戊基、新戊基、第三戊基、環戊基、環丁基甲基、己基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1,1-二甲基丁基、1,2-二甲基丁基、1,3-二甲基丁基、2,2-二甲基丁基、2,3-二甲基丁基、3,3-二甲基丁基、環己基、環戊基甲基、1-環丁基乙基、2-環丁基乙基等。
就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R9 較佳為碳數1～4的烷基，更佳為甲基、乙基、丙基、丁基或異丁基，尤其更佳為甲基、丙基或異丁基。
R10 所表示的碳數1～6的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基、戊基、1-乙基丙基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、異戊基、新戊基、第三戊基、環戊基、環丁基甲基、己基、1-甲基戊基、2-甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1,1-二甲基丁基、1,2-二甲基丁基、1,3-二甲基丁基、2,2-二甲基丁基、2,3-二甲基丁基、3,3-二甲基丁基、環己基、環戊基甲基、1-環丁基乙基、2-環丁基乙基等。
R10 所表示的碳數1～6的烷基亦可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代。該二(碳數1～3的烷基)胺基可例示：二甲基胺基、乙基(甲基)胺基、二乙基胺基、丙基(甲基)胺基、異丙基(甲基)胺基、乙基(丙基)胺基、乙基(異丙基)胺基、二丙基胺基、二異丙基胺基等。更具體的經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基的例子可列舉：(二甲基胺基)甲基、[乙基(甲基)胺基]甲基、(二乙基胺基)甲基、[甲基(丙基)胺基]甲基、[甲基(異丙基)胺基]甲基、[乙基(丙基)胺基]甲基、[乙基(異丙基)胺基]甲基、(二丙基胺基)甲基、(二異丙基胺基)甲基、2-(二甲基胺基)乙基、2-[乙基(甲基)胺基]乙基、2-(二乙基胺基)乙基、2-[甲基(丙基)胺基]乙基、2-[甲基(異丙基)胺基]乙基、2-[乙基(丙基)胺基]乙基、2-[乙基(異丙基)胺基]乙基、2-(二丙基胺基)乙基、2-(二異丙基胺基)乙基、3-(二甲基胺基)丙基、3-[乙基(甲基)胺基]丙基、3-(二乙基胺基)丙基、3-[甲基(丙基)胺基]丙基、3-[甲基(異丙基)胺基]丙基、3-[乙基(丙基)胺基]丙基、3-[乙基(異丙基)胺基]丙基、3-(二丙基胺基)丙基、3-(二異丙基胺基)丙基等。就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基較佳為2-(二甲基胺基)乙基、2-(二乙基胺基)乙基、2-(二丙基胺基)乙基、2-(二異丙基胺基)乙基、3-(二甲基胺基)丙基、3-(二乙基胺基)丙基、3-(二丙基胺基)丙基或3-(二異丙基胺基)丙基，更佳為2-(二甲基胺基)乙基、2-(二乙基胺基)乙基、2-(二丙基胺基)乙基或2-(二異丙基胺基)乙基，尤其更佳為2-(二甲基胺基)乙基。
就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R10 較佳為碳數1～4的烷基，更佳為甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基或第二丁基，尤其更佳為丙基、異丙基或第二丁基。
R11 及R12 成為一體而形成的碳數2～4的伸烷基可為直鏈狀及分支狀的任一種，可例示伸乙基、伸丙基、伸丁基、三亞甲基、四亞甲基等。
就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R11 及R12 較佳為氫原子或成為一體而形成伸乙基、三亞甲基或四亞甲基的基團，更佳為氫原子或成為一體而形成伸乙基的基團，尤其更佳為氫原子。
R13 及R16 所表示的碳數1～4的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基等。
就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R13 及R16 較佳為分別獨立地為氫原子或碳數1～3的烷基，更佳為氫原子或甲基，尤其更佳為氫原子。
R14 及R15 所表示的碳數1～4的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀烷基的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基等。
就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R14 及R15 較佳為分別獨立地為氫原子或碳數1～3的烷基，更佳為氫原子或甲基。
就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，較佳為R13 及R16 為氫原子，且R14 及R15 為氫原子或甲基。
錯合物B的具體例可例示：(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-1）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-2）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-3）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-4）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-5）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-6）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-7）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-8）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-9）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-10）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-11）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-12）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-13）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-14）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-15）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-16）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-17）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-18）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-19）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-20）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-21）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-22）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-23）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-24）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-25）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-26）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-27）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-28）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-29）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-30）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-31）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-32）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-33）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-34）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-35）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-36）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-37）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-38）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-39）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-40）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-41）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-42）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-43）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-44）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-45）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-46）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-47）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-48）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-49）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-50）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-51）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-52）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-53）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-54）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-55）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-56）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-57）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-58）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-59）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-60）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-61）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-62）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-63）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-64）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-65）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-66）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-67）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-68）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-69）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-70）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-71）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-72）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-73）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-74）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-75）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-76）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-77）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-78）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-79）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-80）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-81）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-82）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-83）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-84）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-85）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-86）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-87）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-88）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-89）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-90）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-91）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-92）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-93）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-94）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-95）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-96）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-97）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-98）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-99）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-100）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-101）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-102）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-103）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-104）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-105）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-106）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-107）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-108）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-109）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-110）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-111）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-112）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-113）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-114）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-115）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-116）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-117）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-118）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-119）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-120）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-121）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-122）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-123）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-124）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-125）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-126）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-127）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-128）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-129）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-130）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-131）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-132）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-133）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-134）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-135）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-136）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-137）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-138）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-139）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-140）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-141）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-142）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-143）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-144）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-145）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-146）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-147）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-148）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-149）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-150）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-151）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-152）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-153）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-154）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-155）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-156）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-157）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-158）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-159）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-160）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-161）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-162）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-163）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-164）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-165）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-166）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-167）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-168）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-169）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-170）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-171）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-172）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-173）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-174）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-175）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-176）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-177）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-178）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-179）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-180）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-181）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（12a-182）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-183）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-184）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-185）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-186）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-187）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-188）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-189）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-190）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-191）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-192）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-193）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-194）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-195）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（12a-196）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-197）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-198）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-199）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-200）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-201）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-202）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-203）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-204）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-205）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-206）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-207）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-208）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-209）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-210）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-211）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-212）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-213）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-214）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-215）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-216）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-217）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-218）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-219）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-220）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-221）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-222）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-223）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-224）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-1）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-2）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-3）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-4）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-5）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-6）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-7）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-8）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-9）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-10）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-11）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-12）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-13）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-14）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-15）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-16）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-17）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-18）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-19）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-20）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-21）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-22）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-23）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-24）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-25）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-26）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-27）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-28）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-29）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-30）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-31）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-32）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-33）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-34）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-35）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-36）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-37）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-38）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-39）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-40）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-41）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-42）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-43）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-44）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-45）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-46）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-47）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-48）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-49）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-50）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-51）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-52）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-53）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-54）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-55）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-56）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-57）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-58）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-59）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-60）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-61）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-62）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-63）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-64）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-65）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-66）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-67）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-68）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-69）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-70）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-71）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-72）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-73）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-74）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-75）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-76）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-77）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-78）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-79）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-80）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-81）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-82）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-83）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-84）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-85）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-86）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-87）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-88）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-89）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-90）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-91）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-92）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-93）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-94）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-95）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-96）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-97）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-98）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-99）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-100）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-101）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-102）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-103）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-104）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-105）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-106）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-107）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-108）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-109）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-110）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-111）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-112）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-113）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-114）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-115）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-116）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-117）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-118）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-119）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-120）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-121）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-122）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-123）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-124）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-125）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-126）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-127）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-128）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-129）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-130）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-131）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-132）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-133）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-134）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-135）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-136）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-137）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-138）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-139）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-140）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-141）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-142）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-143）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-144）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-145）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-146）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-147）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-148）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-149）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-150）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-151）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-152）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-153）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（12b-154）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-155）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-156）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-157）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-158）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-159）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-160）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-161）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-162）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-163）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-164）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-165）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-166）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-167）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（12b-168）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-1）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-2）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-3）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-4）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-5）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-6）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-7）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-8）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-9）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-10）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-11）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-12）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-13）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-14）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-15）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-16）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-17）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-18）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-19）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-20）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-21）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-22）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-23）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-24）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-25）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-26）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-27）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-28）、(η5 -(1-(甲基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-29）、(η5 -(1-(乙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-30）、(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-31）、(η5 -(1-(異丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-32）、(η5 -(1-(環丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-33）、(η5 -(1-(丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-34）、(η5 -(1-(異丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-35）、(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-36）、(η5 -(1-(第三丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-37）、(η5 -(1-(環丁基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-38）、(η5 -(1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-39）、(η5 -(1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-40）、(η5 -(1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-41）、(η5 -(1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-42）、(η5 -((1-甲基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-43）、(η5 -((1-乙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-44）、(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-45）、(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-46）、(η5 -((1-環丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-47）、(η5 -((1-丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-48）、(η5 -((1-異丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-49）、(η5 -((1-第二丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-50）、(η5 -((1-第三丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-51）、(η5 -((1-環丁基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-52）、(η5 -({1-[2-(二甲基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-53）、(η5 -({1-[2-(二乙基胺基)乙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-54）、(η5 -({1-[3-(二甲基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-55）、(η5 -({1-[3-(二乙基胺基)丙基亞胺基]-3-甲基}丁基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-56）等。就錯合物B具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，較佳為（12a-29）～（12a-40）、（12a-43）～（12a-54）、（12a-85）～（12a-96）、（12a-99）～（12a-110）、（12a-141）～（12a-152）、（12a-155）～（12a-166）、（12a-197）～（12a-208）、（12a-211）～（12a-222）、（12b-1）～（12b-12）、（12b-43）～（12b-54）、（12b-85）～（12b-96）、（12b-127）～（12b-138）、（12c-1）～（12c-12）、（12c-15）～（12c-26）、（12c-29）～（12c-40）及（12c-43）～（12c-54），更佳為（12a-29）～（12a-36）、（12a-43）～（12a-50）、（12a-141）～（12a-148）、（12a-155）～（12a-162）、（12a-197）～（12a-204）、（12a-211）～（12a-218）、（12b-1）～（12b-8）、（12b-85）～（12b-92）、（12b-127）～（12b-134）、（12c-1）～（12c-8）、（12c-29）～（12c-36）及（12c-43）～（12c-50），尤其更佳為（12a-31）、（12a-32）、（12a-36）、（12a-45）、（12a-46）、（12b-3）、（12b-4）、（12c-3）及（12c-4）。
錯合物B亦可為立體構形異構物、立體組態異構物等立體異構物的混合物。
繼而，對錯合物B的製造方法加以說明。錯合物B可依照以下的製造方法5而製造。
製造方法5為藉由使二烯錯合物（13）與烷基胺（14）於路易斯酸的存在下反應而製造通式（12）所表示的錯合物B的方法。
製造方法5
[化19]
（式中，n表示0或2。R9 表示碳數1～6的烷基。R10 表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基。R11 及R12 表示氫原子或成為一體而形成碳數2～4的伸烷基的基團。R13 ～R16 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基）
製造方法5中可使用的二烯錯合物（13）的例子可例示：(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（13a-1）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（13a-2）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-3）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-4）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13a-5）、[(1-4-η)-戊-1,3-二烯](η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13a-6）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13a-7）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13a-8）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷（13a-9）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（13a-10）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-11）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-12）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（13a-13）、(η5 -異丁醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（13a-14）、(η5 -異丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-15）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（13a-16）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-17）、[(1-4-η)-戊-1,3-二烯](η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-18）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-19）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-20）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-21）、(η5 -異戊醯基環戊二烯基)[(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（13a-22）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-23）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13a-24）、(η4 -丁-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13a-25）、[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基][(1-4-η)-戊-1,3-二烯]鈷（13a-26）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13a-27）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13a-28）、(η4 -丁-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13a-29）、[(1-4-η)-戊-1,3-二烯](η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13a-30）、(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13a-31）、(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13a-32）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（13b-1）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（13b-2）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（13b-3）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13b-4）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13b-5）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13b-6）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（13b-7）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環庚-1,3-二烯)鈷（13b-8）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,3-二烯)鈷（13b-9）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（13b-10）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（13b-11）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（13b-12）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13b-13）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13b-14）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13b-15）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13b-16）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13b-17）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13b-18）、(η4 -環己-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13b-19）、(η4 -環庚-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13b-20）、(η4 -環辛-1,3-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13b-21）、(η4 -環己-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13b-22）、(η4 -環庚-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13b-23）、(η4 -環辛-1,3-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13b-24）、(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（13c-1）、(η4 -環辛-1,5-二烯)(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷（13c-2）、(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（13c-3）、(η4 -環辛-1,5-二烯)(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷（13c-4）、(η4 -環辛-1,5-二烯)(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷（13c-5）、(η4 -環辛-1,5-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（13c-6）、(η4 -環辛-1,5-二烯)[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷（13c-7）、(η4 -環辛-1,5-二烯)(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷（13c-8）等。就產率良好的方面而言，較佳為（13a-1）～（13a-12）、（13a-17）～（13a-24）、（13b-1）、（13b-4）、（13b-7）、（13b-13）、（13b-16）、（13c-1）、（13c-2）、（13c-3）、（13c-5）及（13c-6），更佳為（13a-3）、（13a-4）、（13a-11）、（13a-12）、（13a-23）、（13a-24）、（13b-1）及（13c-1）。
製造方法5中可使用的二烯錯合物（13）可依據「有機金屬（Organometallics）」（第6卷，1191頁（1987年））、「有機金屬（Organometallics）」（第17卷，275頁（1998年））及本發明的參考例5～參考例11等中記載的方法來製造。另外，亦可藉由製造方法6來製造二烯錯合物（13），所述製造方法6使依據「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第102卷，1196頁（1980年））、「巨分子科技期刊-A部分，化學（Journal of Macromolecular Science.Pt.A,Chemistry）」（A16卷，243頁（1981年））等中記載的方法所製造的雙(醯基環戊二烯基)鈷與二烯於鹼金屬的存在下反應。
製造方法6中可使用的雙(醯基環戊二烯基)鈷的例子可列舉：雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -異丁醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷、雙[η5 -(3-甲基丁醯基)環戊二烯基]鈷、雙(η5 -三甲基乙醯基環戊二烯基)鈷等，較佳為雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -戊醯基環戊二烯基)鈷及雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷，更佳為雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷、雙(η5 -丁醯基環戊二烯基)鈷及雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷。
製造方法6中可使用的雙(醯基環戊二烯基)鈷可依據「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第102卷，1196頁（1980年））、「巨分子科技期刊-A部分，化學（Journal of Macromolecular Science.Pt.A,Chemistry）」（A16卷，243頁（1981年））、本發明的參考例1及參考例2等中記載的方法來製造。具體而言，藉由環戊二烯鈉與羧酸酯的反應而製備(烷基羰基)環戊二烯鈉，使該(烷基羰基)環戊二烯鈉與氯化鈷反應，藉此可製造雙(醯基環戊二烯基)鈷。
製造方法6中可使用的二烯的例子可列舉：丁-1,3-二烯、2-甲基丁-1,3-二烯（異戊二烯）、2,3-二甲基丁-1,3-二烯、戊-1,3-二烯、己-1,3-二烯、己-2,4-二烯、庚-2,4-二烯、環己-1,3-二烯、5-甲基環己-1,3-二烯、5,5-二甲基環己-1,3-二烯、5-乙基-5-甲基-環己-1,3-二烯、1-異丙基-4-甲基環己-1,3-二烯（α-萜品烯）、5-異丙基-2-甲基環己-1,3-二烯（α-水芹烯）、3-甲基-5,5-二甲基環己-1,3-二烯、環庚-1,3-二烯、6-甲基環庚-1,3-二烯、6-乙基環庚-1,3-二烯、6-丙基環庚-1,3-二烯、6-異丙基環庚-1,3-二烯、6-丁基環庚-1,3-二烯、6-異丁基環庚-1,3-二烯、6-第二丁基-環庚-1,3-二烯、6-第三丁基-環庚-1,3-二烯、1,6-二甲基環庚-1,3-二烯、2,6-二甲基環庚-1,3-二烯、5,6-二甲基環庚-1,3-二烯、6,6-二甲基環庚-1,3-二烯、環辛-1,3-二烯、1,6-二甲基環辛-1,3-二烯、2,6-二甲基環辛-1,3-二烯、環己-1,4-二烯、1-甲基環己-1,4-二烯、1-異丙基-4-甲基環己-1,4-二烯（γ-萜品烯）、1,5-環辛二烯、1-甲基-1,5-環辛二烯、1,2-二甲基-1,5-環辛二烯、1,4-二甲基-1,5-環辛二烯、1,5-二甲基-1,5-環辛二烯、2,4-二甲基-1,5-環辛二烯、1,6-二甲基-1,5-環辛二烯、3,7-二甲基-1,5-環辛二烯等。就二烯錯合物（13）的產率良好的方面而言，較佳為丁-1,3-二烯、異戊二烯、2,3-二甲基丁-1,3-二烯、戊-1,3-二烯、環己-1,3-二烯、環辛-1,5-二烯，尤佳為異戊二烯、2,3-二甲基丁-1,3-二烯、環己-1,3-二烯、環辛-1,5-二烯。
製造方法6中可使用的二烯可依據「ACS催化（ACS Catalysis）」（第2卷，2173頁（2012年））、日本專利特開2001-31595號公報、「有機化學期刊（The Journal of Organic Chemistry）」（第55卷，1854頁（1990年））、「有機化學期刊（The Journal of Organic Chemistry）」（第56卷，5101頁（1991年））、「化學-A歐洲期刊（Chemistry-A European Journal）」（第19卷，10672頁（2013年））、「有機金屬（Organometallics）」（第13卷，1020頁（1994年））、「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第116卷，2889頁（1994年））、「雜環（Heterocycles）」（第77卷，927頁（2009年））、日本專利特開平11-209314號公報等中記載的方法來合成。另外，亦可將市售的二烯用作製造方法6的原料。
於製造方法5中，可不將二烯錯合物（13）純化而用作原料，亦可將藉由金屬錯合物的通常的純化方法進行了純化的二烯錯合物（13）用作原料。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
製造方法5中可使用的烷基胺（14）的例子可列舉：甲基胺、乙基胺、丙基胺、異丙基胺、環丙基胺、丁基胺、異丁基胺、第二丁基胺、第三丁基胺、環丁基胺、戊基胺、1-甲基丁基胺、2-甲基丁基胺、異戊基胺、新戊基胺、第三戊基胺、環戊基胺、環丁基甲基胺、己基胺、1-甲基戊基胺、2-甲基戊基胺、3-甲基戊基胺、4-甲基戊基胺、1,1-二甲基丁基胺、1,2-二甲基丁基胺、1,3-二甲基丁基胺、2,2-二甲基丁基胺、2,3-二甲基丁基胺、3,3-二甲基丁基胺、環己基胺、環戊基甲基胺、1-環丁基乙基胺、2-環丁基乙基胺、N,N-二甲基乙二胺、N-乙基-N-甲基乙二胺、N-甲基-N-丙基乙二胺、N-甲基-N-異丙基乙二胺、N,N-二乙基乙二胺、N-乙基-N-丙基乙二胺、N-乙基-N-異丙基乙二胺、N,N-二丙基乙二胺、N,N-二甲基-1,3-丙二胺、N-乙基-N-甲基-1,3-丙二胺、N-甲基-N-丙基-1,3-丙二胺、N-甲基-N-異丙基-1,3-丙二胺、N,N-二乙基-1,3-丙二胺、N-乙基-N-丙基-1,3-丙二胺、N-乙基-N-異丙基-1,3-丙二胺、N,N-二丙基-1,3-丙二胺等。就錯合物B的產率良好的方面而言，較佳為甲基胺、乙基胺、丙基胺、異丙基胺、丁基胺、異丁基胺、第二丁基胺、N,N-二甲基乙二胺、N,N-二乙基乙二胺，尤佳為丙基胺、異丙基胺、第二丁基胺。
製造方法5中可使用的路易斯酸的例子可列舉：氯化鋅、溴化鋅、乙酸鋅等鋅化合物，氯化鋁、溴化鋁、氯化二乙基鋁等鋁化合物，三氟化硼、三氯化硼、三溴化硼、三碘化硼等三鹵化硼，四氯化鈦、四溴化鈦等鈦化合物，氯化鋯、溴化鋯等鋯化合物，四氯化錫、三氯化錫等錫化合物，氟化鎵、氯化鎵、溴化鎵、碘化鎵等鹵化鎵，氯化鐵、溴化鐵等鹵化鐵等。就錯合物B的產率良好的方面而言，路易斯酸較佳為三鹵化硼，更佳為三氟化硼。該路易斯酸容易與二甲醚或二乙醚等醚形成錯合物。形成錯合物的路易斯酸的例子可列舉三氟化硼二甲醚錯合物、三氟化硼二乙醚錯合物等。
就錯合物B的產率良好的方面而言，製造方法5較佳於惰性氣體環境中實施。該惰性氣體具體可例示氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣等，就廉價的方面而言，較佳為氬氣或氮氣。
就錯合物B的產率良好的方面而言，製造方法5較佳為於有機溶劑中實施。關於可使用的有機溶劑的種類，只要不妨礙反應則並無特別限制。可使用的有機溶劑的例子可列舉：戊烷、己烷、庚烷、辛烷、環己烷、甲基環己烷、乙基環己烷、石油醚等脂肪族烴，苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、丙基苯、異丙基苯、丁基苯、異丁基苯、第二丁基苯、第三丁基苯、1,3,5-三甲基苯（均三甲苯）等芳香族烴，二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲基醚（CPME）、環戊基乙基醚（CPEE）、第三丁基甲基醚（MTBE）、四氫呋喃（THF）、二噁烷、1,2-二甲氧基乙烷等醚。該些有機溶劑中，可單獨使用一種，亦可將多種以任意的比率混合使用。就錯合物B的產率良好的方面而言，有機溶劑較佳為脂肪族烴，更佳為己烷。
繼而，對實施製造方法5時的二烯錯合物（13）、烷基胺（14）及路易斯酸的莫耳比加以說明。較佳為相對於1莫耳的二烯錯合物（13）而使用0.8莫耳～7.0莫耳的烷基胺（14）及0.8莫耳～7.0莫耳的路易斯酸，藉此能以良好的產率製造錯合物B。
製造方法5中，對反應溫度及反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常條件。關於具體例，可於自-80℃～120℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間，藉此以良好的產率製造錯合物B。藉由製造方法5所製造的錯合物B可藉由適當選擇使用本領域技術人員將金屬錯合物純化時的通常的純化方法而純化。具體的純化方法可例示：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
製造方法5中可使用的烷基胺（14）可依據日本化學會編的「實驗化學講座14  有機化合物的合成II-醇·胺-」（第5版，丸善，2005年）等中記載的方法來製造。另外，亦可將市售的烷基胺（14）用作製造方法5的原料。
最後對錯合物C加以說明。首先，對通式（15）中的R17 、R18 、R19 、R20 、R21 及R22 的定義加以說明。
R17 、R18 及R22 所表示的碳數1～4的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基等。
就錯合物C具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R17 及R18 較佳為分別獨立地為氫原子或碳數1～3的烷基，更佳為氫原子或甲基。就錯合物C具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R22 較佳為氫原子、碳數1～3的烷基，更佳為氫原子、甲基或乙基，尤其更佳為甲基。
R19 及R20 彼此成為一體而形成的碳數1～4的伸烷基可例示：亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、三亞甲基、四亞甲基等。
就錯合物C具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R19 及R20 較佳為氫原子或彼此成為一體而形成亞甲基、伸乙基、三亞甲基或四亞甲基，更佳為氫原子或彼此成為一體而形成伸乙基，尤佳為氫原子。
R21 所表示的碳數1～4的烷基可為直鏈狀、分支狀及環狀的任一種，具體可例示：甲基、乙基、丙基、異丙基、環丙基、丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、環丁基等。就錯合物C具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，R21 較佳為碳數1～3的直鏈狀烷基，尤其更佳為甲基。
R21 與R22 鍵結的烯基的立體組態可為E體、Z體的任一種，另外亦可為E體、Z體的混合物。
錯合物C的具體例可例示：
[化20]
[化21]
[化22]
[化23]
等。就錯合物C具有適合作為CVD材料或ALD材料的蒸氣壓及熱穩定性的方面而言，較佳為（15-2）、（15-3）、（15-5）、（15-7）、（15-8）、（15-10）、（15-17）、（15-18）、（15-20）、（15-22）、（15-23）、（15-25）、（15-32）、（15-33）、（15-35）、（15-37）、（15-38）及（15-40），更佳為（15-2）、（15-3）、（15-7）、（15-8）、（15-17）、（15-18）、（15-22）、（15-23）、（15-32）、（15-33）、（15-37）及（15-38），就為液體而操作容易的方面而言，尤佳為（15-17）、（15-18）、（15-22）及（15-23）。
繼而，對錯合物C的製造方法加以說明。錯合物C可依據以下的製造方法7而製造。
製造方法7為藉由使醯基環戊二烯基鈷錯合物（16）與磷烷（phosphorane）（17）反應而製造通式（15）所表示的錯合物C的方法。
製造方法7
[化24]
（式中，R17 、R18 及R22 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基。R19 及R20 表示氫原子或彼此成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團。R21 表示碳數1～4的烷基。Q分別獨立地表示可經甲基取代的苯基）
就錯合物C的產率良好的方面而言，製造方法7較佳為於惰性氣體環境中實施。該惰性氣體具體可例示：氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣等。就廉價的方面而言，較佳為氮氣或氬氣。
就錯合物C的產率良好的方面而言，製造方法7較佳為於有機溶劑中實施。關於可使用的有機溶劑的種類，只要不妨礙反應則並無特別限制。可使用的溶劑的例子可列舉：戊烷、己烷、庚烷、辛烷、環己烷、甲基環己烷、乙基環己烷、石油醚等脂肪族烴，苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、丙基苯、異丙基苯、丁基苯、異丁基苯、第二丁基苯、第三丁基苯、1,3,5-三甲基苯（均三甲苯）等芳香族烴，二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲基醚（CPME）、環戊基乙基醚（CPEE）、第三丁基甲基醚（MTBE）、四氫呋喃（THF）、二噁烷、1,2-二甲氧基乙烷等醚。該些有機溶劑中，可單獨使用一種，亦可將多種以任意的比率混合使用。就錯合物C的產率良好的方面而言，有機溶劑較佳為醚，更佳為CPME、MTBE、二乙醚或THF。
繼而，對實施製造方法7時的醯基環戊二烯基鈷錯合物（16）及磷烷（17）的莫耳比加以說明。較佳為相對於1莫耳的醯基環戊二烯基鈷錯合物（16）而使用0.8莫耳～2.0莫耳的磷烷（17），藉此能以良好的產率製造錯合物C。
製造方法7中，對反應溫度及反應時間並無特別限制，可使用本領域技術人員製造金屬錯合物時的通常條件。關於具體例，可於自-80℃～120℃的溫度範圍內適當選擇的反應溫度下，選擇自10分鐘～120小時的範圍內適當選擇的反應時間，藉此以良好的產率製造錯合物C。藉由製造方法7所製造的錯合物C可藉由適當選擇使用本領域技術人員將金屬錯合物純化時的通常的純化方法而純化。具體的純化方法可列舉：過濾、萃取、離心分離、傾析、蒸餾、昇華、結晶化、管柱層析等。
製造方法7中可使用的醯基環戊二烯基鈷錯合物（16）的例子可例示：
[化25]
等。就錯合物C的產率良好的方面而言，較佳為（16-2）、（16-3）、（16-7）、（16-8）、（16-12）及（16-13），更佳為（16-2）、（16-3）、（16-7）及（16-8）。
製造方法7中可使用的醯基環戊二烯基鈷錯合物（16）可依據「有機金屬（Organometallics）」（第6卷，1191頁（1988年））等中記載的方法來製造。具體而言，可藉由使二茂鈷與二烯於鹼金屬的存在下反應而製造鈷錯合物（16）。
繼而，對通式（17）中的Q的定義加以詳細說明。Q所表示的可經甲基取代的苯基可例示未經取代的苯基、甲苯基、二甲苯基等。就廉價的方面而言，較佳為未經取代的苯基。
製造方法7中可使用的磷烷（17）的例子可列舉：次甲基三苯基磷烷、亞乙基三苯基磷烷、亞丙基三苯基磷烷、亞丁基三苯基磷烷、(2-甲基亞丙基)三苯基磷烷、亞戊基三苯基磷烷、(2-甲基亞丁基)三苯基磷烷、(3-甲基亞丁基)三苯基磷烷、(2,2-二甲基亞丙基)三苯基磷烷等。就錯合物C的產率良好的方面而言，較佳為次甲基三苯基磷烷、亞乙基三苯基磷烷及亞丙基三苯基磷烷，更佳為亞乙基三苯基磷烷。
製造方法7中可使用的磷烷（17）可依據日本化學會編的「實驗化學講座19有機合成I」（第4版，丸善，1992年）、或日本化學會編的「實驗化學講座24有機合成VI」（第4版，丸善，1992年）等中記載的方法來製造。例如可藉由使鏻鹽（18）與鹼反應的製造方法8來進行製造。
製造方法8
[化26]
（式中，R22 與通式（15）的R22 表示相同含意。Q分別獨立地表示可經甲基取代的苯基。T表示鹵素原子）
對通式（18）中的T的定義加以詳細說明。T所表示的鹵素原子可例示氯原子、溴原子、碘原子等。就磷烷（17）的製造容易的方面而言，T較佳為溴原子或碘原子。Q所表示的可經甲基取代的苯基可例示未經取代的苯基、甲苯基、二甲苯基等。就廉價的方面而言，較佳為未經取代的苯基。
製造方法8中可使用的鏻鹽（18）的具體例可列舉：氯化甲基三苯基鏻、溴化甲基三苯基鏻、碘化甲基三苯基鏻、氯化乙基三苯基鏻、溴化乙基三苯基鏻、碘化乙基三苯基鏻、氯化丙基三苯基鏻、溴化丙基三苯基鏻、碘化丙基三苯基鏻、氯化丁基三苯基鏻、溴化丁基三苯基鏻、碘化丁基三苯基鏻、氯化異丁基三苯基鏻、溴化異丁基三苯基鏻、碘化異丁基三苯基鏻、氯化戊基三苯基鏻、溴化戊基三苯基鏻、碘化戊基三苯基鏻、氯化新戊基三苯基鏻、溴化新戊基三苯基鏻、碘化新戊基三苯基鏻等。就磷烷（17）的產率良好的方面而言，較佳為溴化甲基三苯基鏻，溴化乙基三苯基鏻或溴化丙基三苯基鏻，更佳為溴化乙基三苯基鏻。
製造方法8中可使用的鏻鹽（18）可為市售品，亦可為依據日本化學會編的「實驗化學講座19有機合成I」（第4版，丸善，1992年）、或日本化學會編的「實驗化學講座24有機合成VI」（第4版，丸善，1992年）等中記載的方法合成的物品。
製造方法8中可使用的鹼的例子可列舉：甲基鋰、乙基鋰、丙基鋰、丁基鋰等烷基鋰，二甲基醯胺鋰、二乙基醯胺鋰、二異丙基醯胺鋰、六甲基二矽胺化鋰、六甲基二矽胺化鈉、六甲基二矽胺化鉀等鹼金屬醯胺，氫化鋰、氫化鈉、氫化鉀等鹼金屬氫化物，碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀等鹼金屬碳酸鹽，氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金屬氫氧化物，甲醇鋰、乙醇鋰、丙醇鋰、異丙醇鋰、丁醇鋰、第三丁醇鋰、甲醇鈉、乙醇鈉、丙醇鈉、異丙醇鈉、丁醇鈉、第三丁醇鈉、甲醇鉀、乙醇鉀、丙醇鉀、異丙醇鉀、丁醇鉀、第三丁醇鉀等鹼金屬醇鹽，就磷烷（17）的產率良好的方面而言，較佳為丁基鋰或二異丙基醯胺鋰。該些鹼可單獨使用一種，亦可將兩種以上以任意的比率同時使用。
藉由製造方法8所製造的磷烷（17）可不進行純化而作為製造方法（7）的原料供給。可連續實施製造方法8與製造方法7，亦能以一鍋（one pot）方式實施。
就錯合物C的產率良好的方面而言，較佳為以一鍋方式實施製造方法8與製造方法7。
繼而，對含有鈷的薄膜的製作方法加以詳細說明，所述含有鈷的薄膜的製作方法的特徵在於：將錯合物A、錯合物B或錯合物C分解，於基板上製作含有鈷的薄膜。
製作含有鈷的薄膜時的成膜條件可例示本領域技術人員用於製作含金屬的薄膜的通常的技術方法。具體可例示：基於化學反應的氣相蒸鍍法以及浸漬塗佈（dip coat）法、旋塗（spin coat）法或噴墨（ink jet）法等溶液法等。本說明書中，所謂基於化學反應的氣相蒸鍍法，是指使錯合物A、錯合物B或錯合物C氣化並於基板上分解，藉此製作含有鈷的薄膜的方法，具體包含熱CVD法、電漿CVD法、光CVD法等CVD法或ALD法等。就容易於具有經三維化的結構的基板的表面上亦均勻地形成含有鈷的薄膜的方面而言，較佳為基於化學反應的氣相蒸鍍法，更佳為CVD法或ALD法。CVD法就成膜速度良好的方面而言尤佳，另外ALD法於階差被覆性良好的方面而言尤佳。例如於藉由CVD法或ALD法來製作含有鈷的薄膜的情形時，可使錯合物A、錯合物B或錯合物C氣化並供給於反應腔室，於反應腔室內所具備的基板上將錯合物A、錯合物B或錯合物C分解，藉此於該基板上製作含有鈷的薄膜。將錯合物A、錯合物B或錯合物C分解的方法可列舉本領域技術人員用於製作含金屬的薄膜的通常的技術方法。具體可例示：使錯合物A、錯合物B或錯合物C與反應氣體反應的方法，或使熱、電漿、光等作用於錯合物A、錯合物B或錯合物C的方法等。
於使用反應氣體的情形時，可使用的反應氣體可例示還原性氣體或氧化性氣體。就於包含金屬或金屬氮化物等容易被氧化的材料的基板上成膜的情形時可防止基板的劣化的方面而言，該反應氣體較佳為還原性氣體。還原性氣體的具體例可列舉：氨、氫、單矽烷、肼（hydrazine）、甲酸等。就成膜裝置的式樣的限制少而操作容易的方面而言，還原性氣體較佳為氨、氫或甲酸，更佳為氨。於使用氧化性氣體的情形時，其具體例可列舉：氧、臭氧、水蒸氣、過氧化氫、笑氣氣體、氯化氫、硝酸氣體、乙酸等，較佳為氧、臭氧或水蒸氣。反應氣體的流量是根據材料的反應性及反應腔室的容量而適當調節。例如於反應腔室的容量為1 L～10 L的情形時，反應氣體的流量並無特別限制，就經濟性的理由而言，較佳為1 sccm～10000 sccm。再者，本說明書中所謂sccm，為表示氣體的流量的單位，1 sccm若換算成理想氣體則表示氣體以2.68 mmol/h的速度移動。
於藉由CVD法或ALD法來製作含有鈷的薄膜的情形時，藉由適當選擇使用所述鈷錯合物的分解方法，可製作含有鈷的薄膜。亦可將多種分解方法組合使用。對反應腔室供給錯合物A、錯合物B或錯合物C的方法例如可列舉發泡（bubbling）、液體氣化供給系統等本領域技術人員通常所用的方法，並無特別限定。
藉由CVD法或ALD法來製作含有鈷的薄膜時的載氣及稀釋氣體較佳為氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣等稀有氣體或氮氣，就經濟性的理由而言，更佳為氮氣或氬氣。載氣及稀釋氣體的流量是根據反應腔室的容量等而適當調節。例如於反應腔室的容量為1 L～10 L的情形時，載氣的流量並無特別限制，就經濟性的理由而言，較佳為1 sccm～10000 sccm。
藉由CVD法或ALD法來製作含有鈷的薄膜時的基板溫度是根據是否使用熱、電漿、光等及反應氣體的種類等而適當選擇。例如於未併用光或電漿且使用氨作為反應氣體的情形時，對基板溫度並無特別限制，就經濟性的理由而言，較佳為200℃～1000℃。就成膜速度良好的方面而言，較佳為250℃～800℃，尤其更佳為300℃～800℃。另外，藉由適當使用光或電漿、臭氧、過氧化氫等，可於200℃以下的溫度範圍內製作含有鈷的薄膜。
關於藉由使用錯合物A、錯合物B或錯合物C的含有鈷的薄膜的製作方法所得的含有鈷的薄膜，例如可獲得金屬鈷薄膜、氧化鈷薄膜、氮化鈷薄膜、氮氧化鈷薄膜等。另外，藉由在製作金屬鈷薄膜後，於任意的溫度下對基板進行加熱處理，可獲得含有鈷的複合膜。例如可於矽基板上製作金屬鈷薄膜後，藉由300℃～900℃的加熱處理而獲得Co2 Si、CoSi、CoSi2 等矽化鈷薄膜。另外，於與其他金屬材料組合使用的情形時，亦可獲得含有鈷的複合薄膜。例如藉由將錯合物A、錯合物B或錯合物C與矽材料組合使用，可獲得矽化鈷薄膜。該矽材料可例示：單矽烷、二矽烷、三矽烷、四乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、雙(第三丁基胺基)矽烷、雙(二乙基胺基)矽烷、三(二甲基胺基)矽烷等。進而，藉由將含有鋁或鍺等典型金屬、鈦、鋯、鉿、鈮、鉭、鎢等過渡金屬、鑭或釹等稀土金屬的金屬材料與錯合物A、錯合物B或錯合物C組合使用，亦可獲得含有該些金屬元素的含有鈷的複合膜。另外，於藉由CVD法或ALD法來製作含有鈷的複合薄膜的情形時，可將錯合物A、錯合物B或錯合物C與其他金屬材料分別供給於反應腔室內，亦可混合後供給。
藉由使用錯合物A、錯合物B或錯合物C的含有鈷的薄膜作為構成構件，可製造提高了可靠性或應答性的高性能的半導體元件。半導體元件的例子可列舉：動態隨機存取記憶體（Dynamic Random Access Memory，DRAM）、鐵電隨機存取記憶體（Ferroelectric Random Access Memory，FeRAM）、相變化隨機存取記憶體（Phase-change Random Access Memory，PRAM）、磁阻式隨機存取記憶體（Magnetoresistive Random Access Memory，MRAM）、可變電阻式隨機存取記憶體（Resistive Random Access Memory，ReRAM）、快閃記憶體（flash memory）等半導體記憶裝置或場效電晶體（field effect transistor）等。該些半導體元件的構成構件可例示：電晶體的閘極電極、源極·汲極部的擴散層上的接點、或銅配線籽晶層/內襯層等。 [發明的效果]
藉由使用本發明的鈷錯合物A、鈷錯合物B或鈷錯合物C作為材料，可於使用還原性氣體作為反應氣體的條件下製作含有鈷的薄膜。
[實施例]
以下，列舉實施例對本發明加以更詳細說明，但本發明不限定於該些實施例。1 H-核磁共振（Nuclear Magnetic Resonance，NMR）及13 C-NMR光譜是使用瓦里安（Varian）公司製造的VXR-500S NMR光譜儀（Spectrometer）所測定。參考例1～參考例4、實施例1～實施例4、實施例9、實施例13～實施例15、實施例17～實施例19、實施例41～實施例44、參考例5～參考例11及實施例22～實施例34、參考例12及參考例13、實施例39中記載的錯合物的製造全部是於氬氣環境下實施。所使用的THF、二乙醚及己烷為關東化學公司製造的脫水品。
參考例1
[化27]
於和光純藥工業製造的11.7 g（132 mmol）的乙酸乙酯中於25℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，48.0 mL，96 mmol）後，加熱回流6小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中於25℃下添加和光純藥工業製造的6.00 g（46.2 mmol）的氯化鈷及230 mL的THF後，於25℃下攪拌65小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加250 mL甲苯並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾，將濾液減壓乾固，藉此以紫色固體的形式獲得雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷（Co(η5 -C5 H4 C(O)CH3 )2 ）（4.00 g，產率為32%）。
實施例1
[化28]
將參考例1中製備的922 mg（3.37 mmol）的雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與14 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加關東化學製造的953 mg（14.0 mmol）的異戊二烯及83 mg（3.61 mmol）的鈉。於25℃下攪拌16小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加20 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。對殘留的液體進行減壓蒸餾（餾出溫度88℃/背壓36 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-3）（177 mg，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.01 (brs, 1H), 4.94 (brs, 1H), 4.55-4.77 (br, 2H), 4.37 (brs, 1H), 2.10 (s, 3H), 1.80 (s, 3H), 1.72 (brs, 1H), 1.63 (brs, 1H), -0.37 (brs, 1H), -0.44 (brs, 1H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 194.9, 96.2, 93.7, 84.0, 83.2, 81.8, 81.2, 80.9, 35.5, 32.8, 27.1, 22.2.
實施例2
[化29]
將參考例1中製備的1.59 g（5.82 mmol）的雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與24 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的1.96 g（23.9 mmol）2,3-二甲基丁-1,3-二烯及146 mg（6.35 mmol）的鈉。於25℃下攪拌16小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加35 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-4）（311 mg，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.94 (brs, 2H), 4.54 (brs, 2H), 2.06 (s, 3H), 1.81 (s, 6H), 1.67 (brs, 2H), -0.48 (brs, 2H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 194.8, 93.6, 93.3, 84.3, 81.7, 36.5, 27.2, 19.2.
實施例3
[化30]
於和光純藥工業製造的10.8 g（122 mmol）的乙酸乙酯中於25℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，50.0 mL，100 mmol）後，加熱回流6小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用50 mL己烷將殘留的固體清洗。於所得的固體中於0℃下添加和光純藥工業製造的6.00 g（46.2 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌64小時。於該混合物中於0℃下添加莊信萬豐（Johnson Matthey）製造的5.14 g（64.2 mmol）的環己-1,3-二烯及1.07 g（46.5 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌24小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加190 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除。將殘留的固體昇華（加熱溫度110℃/背壓32 Pa），藉此以茶色固體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-2）（914 mg，產率8%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.07-5.11 (m, 2H), 4.61-4.66 (m, 2H), 4.30-4.33 (m, 2H), 2.93-2.98 (br, 2H), 2.16 (s, 3H), 1.35-1.42 (m, 2H), 0.61-0.68 (m, 2H).
實施例4
[化31]
將參考例1中製備的2.91 g（10.7 mmol）的雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與40 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加東京化成工業製造的4.30 g（53.7 mmol）環己-1,4-二烯及244 mg（10.6 mmol）鈉。於25℃下攪拌33小時後，自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加190 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾，將濾液減壓乾固，藉此以茶色固體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-2）（155 mg，產率為6%）。所得的茶色固體為(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-2）是根據1 H-NMR光譜來鑑定。
實施例5～實施例7、比較例1、比較例2
將錯合物A或雙(乙基環戊二烯基)鈷（Co(η5 -C5 H4 CH2 CH3 )2 ）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。雙(乙基環戊二烯基)鈷是依據日本化學會編的「實驗化學講座18 有機金屬錯合物」（第4版，丸善，1992年）中記載的方法而製造。具體而言，使乙基環戊二烯基鈉與氯化鈷反應，藉此合成雙(乙基環戊二烯基)鈷。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如表1所示，其他條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：120 sccm，稀釋氣體流量：60 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa。以材料供給速度成為0.020 sccm的方式來調整材料容器內總壓。再者，對反應腔室的材料供給速度可根據（載氣流量×材料的蒸氣壓÷材料容器內總壓）的計算式而求出。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
於實施例5～實施例7、比較例1的情況下，藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。另一方面，於比較例2的情況下，未檢測到基於鈷的特性X射線。螢光X射線分析使用理學電機公司製造的3370E。測定條件是設定為X射線源：Rh，輸出：50 kV、50 mA，測定徑：10 mm。將根據所檢測到的X射線的強度所算出的膜厚示於表1中。利用四探針法來測定所製作的含有鈷的薄膜的電氣特性，將所得的電阻率示於表1中。四探針法使用三菱油化公司製造的洛斯特（LORESTA）HP MCP-T410。
對在實施例5～實施例7的條件下製作的薄膜實施利用XRD的結晶評價，結果啟示任一薄膜均為面心立方（fcc）結構的β-Co。XRD使用理學電機公司製造的RAD-C。測定條件是設定為X射線源：CuKα（使用石墨單色器），輸出：50 kV、200 mA，2θ連續掃描，θ=0.4°（其中僅實施例5中製作的薄膜為0.7°）固定。
實施例8
使用愛發科理工（Ulvac Riko）公司製造的MILA-3000-P-N，對在實施例5的條件（其中，氨流量：160 sccm，稀釋氣體流量：20 sccm）下製作的薄膜實施加熱處理。加熱條件是設定為溫度：800℃，環境：氮、2 Pa，升溫速度：26℃/sec，保持時間：30 sec。對加熱處理後的薄膜實施利用XRD的結晶評價，結果確認到CoSi2 、CoSi及fcc結構的β-Co的存在。
A：材料，B：材料容器溫度 [℃]，C：材料的蒸氣壓 [Pa]，D：基板溫度 [℃]，E：膜厚 [nm]，F：電阻率 [μΩ·cm]
根據以上的實施例可理解以下內容。即，由實施例5～實施例7得知，錯合物A為即便不使用氧化性氣體亦可製作含有鈷的薄膜的材料。另外，由實施例5～實施例7得知，藉由使用錯合物A作為材料，即便不使用氧化性氣體，亦可製作fcc結構的金屬鈷薄膜。進而，由實施例8得知，藉由對使用錯合物A作為材料而製作的金屬鈷薄膜進行加熱處理，可製作CoSi2 或CoSi等的矽化鈷薄膜。
由以上的實施例得知，錯合物A為即便不使用氧化性氣體、亦可在不併用光或電漿的情況下於400℃以下的低溫下製作含有鈷的膜的材料，為作為薄膜形成用材料而應用範圍廣的有用材料。
實施例9
[化32]
於和光純藥工業製造的14.9 g（128 mmol）的丁酸乙酯中於25℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，50.0 mL，100 mmol）後，加熱回流7小時。自所得的溶液中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用50 mL己烷來清洗殘留的固體。於所得的固體中於0℃下添加和光純藥工業製造的5.90 g（45.4 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌14小時。於所得的混合物中於0℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的7.27 g（88.5 mmol）的2,3-二甲基丁-1,3-二烯及1.16 g（50.4 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌23小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加170 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以茶色液體的形式獲得(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-12）（1.88 g，產率為15%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.00-5.03 (m, 2H), 4.48-4.54 (m, 2H), 2.45 (t, J = 7.5 Hz, 2H), 1.83 (s, 6H), 1.74-1.82 (m, 2H), 1.71 (brs, 2H), 0.93 (t, J = 7.5 Hz, 3H), -0.45 (brs, 2H).
實施例10
將實施例1中所得的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-3）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：120 sccm，稀釋氣體流量：60 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：83℃，材料的蒸氣壓：6.7 Pa，基板溫度：250℃。以材料供給速度成為0.020 sccm的方式調整材料容器內總壓。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
實施例11
將實施例2中所得的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-4）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：160 sccm，稀釋氣體流量：20 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：72℃，材料的蒸氣壓：13.3 Pa，基板溫度：250℃。以材料供給速度成為0.020 sccm的方式調整材料容器內總壓。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
實施例12
將實施例3中所得的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（1b-2）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：160 sccm，稀釋氣體流量：20 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：86℃，材料的蒸氣壓：13.3 Pa，基板溫度：250℃。以材料供給速度成為0.020 sccm的方式調整材料容器內總壓。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
根據以上的實施例可理解以下內容。即，由實施例10～實施例12得知，錯合物A為即便不使用氧化性氣體亦可製作含有鈷的薄膜的材料。
參考例2
[化33]
於東京化成工業製造的15.7 g（120 mmol）異戊酸乙酯中於25℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，50.0 mL，100mmol）後，加熱回流19小時。自所得的溶液中將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中於0℃下添加和光純藥工業製造的5.90 g（45.4 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF後，於25℃下攪拌30小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加130 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾，將濾液減壓乾固，藉此以紫色液體的形式獲得雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷（Co(η5 -C5 H4 C(O)CH2 CH(CH3 )2 )2 ）（7.56 g，產率47%）。
實施例13
[化34]
於依據「美國化學學會期刊（Journal of the American Chemical Society）」（第102卷，1196頁（1980年））中記載的方法所合成的13.2 g（101 mmol）的乙醯基環戊二烯基鈉的THF（100 mL）溶液中，於0℃下添加和光純藥工業製造的6.50 g（50.0 mmol）的氯化鈷，於25℃下攪拌3小時（溶液A）。於另一容器中加入81 mL己烷，溶解6.4 g丁-1,3-二烯，藉此製備丁二烯-己烷溶液。於0℃下將40 mL的該丁二烯-己烷溶液及1.20 g（52.2 mmol）的鈉添加至溶液A中後，於25℃下攪拌16小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加160 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -丁-1,3-二烯)鈷（1a-1）（1.25 g，產率為11%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.99-5.06 (m, 2H), 4.72-4.81 (m, 2H), 4.40-4.47 (m, 2H), 2.11 (s, 3H), 1.65-1.71 (m, 2H), -0.31(brs, 2H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 194.9, 93.8, 82.8, 81.6, 81.0, 33.7, 26.9.
實施例14
[化35]
於東京化成工業製造的22.1 g（190 mmol）的丁酸乙酯中於25℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，80.0 mL，160 mmol）後，加熱回流8小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用100 mL己烷來清洗殘留的固體。於所得的固體中於0℃下添加和光純藥工業製造的9.87 g（76.0 mmol）氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌4小時。進而，於0℃下添加關東化學製造的17.4 g（256 mmol）的異戊二烯及1.87 g（81.1 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌18小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加200 mL的己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-11）（9.08 g，產率為46%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.22-5.29 (m, 1H), 5.16-5.22 (m, 1H), 4.92-5.05 (m, 2H), 4.69-4.79 (m, 1H), 2.72 (t, J = 7.4 Hz, 2H), 2.05 (s, 3H), 1.88 (brs, 1H), 1.69-1.83 (m, 3H), 0.99 (t, J = 7.4 Hz, 3H), -0.33 (brs, 1H), -0.42 (brs, 1H).
實施例15
[化36]
將參考例2中製備的7.56 g（21.2 mmol）的雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷與100 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加關東化學製造的5.45 g（80.0 mmol）的異戊二烯及558 mg（24.3 mmol）的鈉。於25℃下攪拌15小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加140 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -異戊醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-23）（1.30 g，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.24 (brs, 1H), 5.18 (brs, 1H), 4.95-5.04 (m, 1H), 4.92 (brs, 1H), 4.72 (brs, 1H), 2.62 (d, J = 7.0 Hz, 2H), 2.26-2.42 (m, 1H), 2.06 (s, 3H), 1.90 (brs, 1H), 1.73-1.83 (m, 1H), 1.00 (d, J = 7.0 Hz, 6H), -0.33 (brs, 1H), -0.42 (brs, 1H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 197.3, 96.2, 83.9, 82.9, 81.5, 81.2, 80.9, 79.4, 48.7, 35.7, 32.9, 25.3, 23.0, 22.4.
實施例16
將實施例15中所得的(η5 -異戊醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-23）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：160 sccm，稀釋氣體流量：20 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：69℃，材料的蒸氣壓：13.3 Pa，基板溫度：300℃。以材料供給速度成為0.020 sccm的方式調整材料容器內總壓。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
根據實施例16可理解以下內容。即得知，錯合物A為即便不使用氧化性氣體亦可製作含有鈷的薄膜的材料。
參考例3
[化37]
將和光純藥工業製造的1.92 g（10.1 mmol）的雙(η5 -環戊二烯基)鈷與28 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加關東化學製造的3.40 g（50.0 mmol）的異戊二烯及260 mg（11.3 mmol）的鈉。於25℃下攪拌25小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加40 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度45℃/背壓27 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（988 mg，產率51%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.85 (brs, 1H), 4.54 (s, 5H), 1.96 (s, 3H), 1.81 (brs, 1H), 1.69 (brs, 1H), -0.35 (brs, 1）,-0.47 (brs, 1H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 94.2, 80.2, 78.7, 34.0, 30.3, 23.4.
參考例4
[化38]
將和光純藥工業製造的10.1 g（53.3 mmol）的雙(η5 -環戊二烯基)鈷與100 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的13.1 g（159 mmol）的2,3-二甲基丁-1,3-二烯及1.36 g（59.1 mmol）的鈉。於25℃下攪拌18小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加100 mL的己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以紅色固體的形式獲得(η5 -環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（10.9 g，產率為99%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.51 (s, 5H), 1.98 (s, 6H), 1.77 (brs, 2H), -0.47 (brs, 2H).
實施例17
[化39]
將參考例4中製備的655 mg（3.18 mmol）的(η5 -環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷與10 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加關東化學製造的1.30 mL（2.65 M，3.45 mmol）的正丁基鋰/己烷溶液及關東化學製造的392 mg（3.49 mmol）的第三丁醇鉀後，維持於-78℃並攪拌3小時。於該反應溶液中於-78℃下添加關東化學製造的472 mg（6.46 mmol）的N,N-二甲基甲醯胺後，於25℃下攪拌19小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加20 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以黃色固體的形式獲得(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-36）（650 mg，產率為87%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 9.72 (s, 1H), 4.85 (brs, 2H), 4.47 (brs, 2H), 1.78 (s, 6H), 1.68 (brs, 2H), -0.45 (brs, 2H).
實施例18
[化40]
將參考例3中製備的4.98 g（25.9 mmol）的(η5 -環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與100 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加關東化學製造的10.3 mL（2.65 M、27.3 mmol）正丁基鋰/己烷溶液及關東化學製造的3.05 g（27.2 mmol）的第三丁醇鉀後，維持於-78℃並攪拌3小時。於該反應溶液中於-78℃下添加東京化成工業製造的4.96 g（27.4 mmol）的1-(三氟乙醯基)哌啶後，於25℃下攪拌30分鐘。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加130 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-47）（7.32 g，產率為98%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.99-5.07 (m, 1H), 4.96 (brs, 2H), 4.74 (brs, 1H), 4.69 (brs, 1H), 2.09 (s, 3H), 1.99 (brs, 1H), 1.92 (brs, 1H), -0.27 (brs, 1H), -0.33 (brs, 1H).19 F-NMR (470 MHz, C6 D6 , δ） -74.9(s).
實施例19
[化41]
將參考例4中製備的2.62 g（12.7 mmol）的(η5 -環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷與30 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加關東化學製造的5.30 mL（2.65 M，14.1 mmol）的正丁基鋰/己烷溶液及關東化學製造的1.57 g（14.0 mmol）的第三丁醇鉀後，維持於-78℃並攪拌3小時。於該反應溶液中於-78℃下添加東京化成工業製造的2.54 g（14.0 mmol）的1-(三氟乙醯基)哌啶後，於25℃下攪拌30分鐘。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加35 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(三氟乙醯基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-48）（3.72 g，產率為97%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.93 (brs, 2H), 4.72 (brs, 2H), 2.09 (s, 6H), 1.94 (brs, 2H), -0.37 (brs, 2H).19 F-NMR (470 MHz, C6 D6 , δ) -73.5(s).
實施例20
將實施例1中所得的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-3）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖4中。成膜條件如以下所述。
材料容器溫度：72℃、材料用載氣流量：20 sccm，材料容器內總壓：13.3 kPa，反應氣體容器溫度：25℃，反應氣體用載氣流量：10 sccm，反應氣體容器內總壓：66.7 kPa，稀釋氣體流量：170 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3k Pa，基板溫度：300℃。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。使用甲酸作為反應氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
實施例21
將實施例2中所得的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-4）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖4中。成膜條件如以下所述。
材料容器溫度：72℃，材料用載氣流量：40 sccm，材料容器內總壓：5.3 kPa，反應氣體容器溫度：25℃，反應氣體用載氣流量：20 sccm，反應氣體容器內總壓：26.7 kPa，稀釋氣體流量：10 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3k Pa，基板溫度：300℃。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。使用甲酸作為反應氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
參考例5
[化42]
將參考例1中合成的922 mg（3.37 mmol）的雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與14 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加953 mg（14.0 mmol）的異戊二烯及83 mg（3.61 mmol）的鈉。於25℃下攪拌16小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加20 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度88℃/背壓36 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-3）（177 mg，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.01 (brs, 1H), 4.94 (brs, 1H), 4.55-4.77 (br, 2H), 4.37 (brs, 1H), 2.10 (s, 3H), 1.80 (s, 3H), 1.72 (brs, 1H), 1.63 (brs, 1H), -0.37 (brs, 1H), -0.44 (brs, 1H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 194.9, 96.2, 93.7, 84.0, 83.2, 81.8, 81.2, 80.9, 35.5, 32.8, 27.1, 22.2.
參考例6
[化43]
將參考例1中合成的1.59 g（5.82 mmol）的雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與24 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加1.96 g（23.9 mmol）的2,3-二甲基丁-1,3-二烯及146 mg（6.35 mmol）的鈉。於25℃下攪拌16小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加35 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-4）（311 mg，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.94 (brs, 2H), 4.54 (brs, 2H), 2.06 (s, 3H), 1.81 (s, 6H), 1.67 (brs, 2H), -0.48 (brs, 2H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 194.8, 93.6, 93.3, 84.3, 81.7, 36.5, 27.2, 19.2.
參考例7
[化44]
於22.1 g（190 mmol）的丁酸乙酯中於25℃下添加環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，80.0 mL，160 mmol）後，加熱回流8小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用100 mL己烷來清洗殘留的固體。於所得的固體中於0℃下添加9.87 g（76.0 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌4小時。於該混合物中於0℃下添加17.4 g（256 mmol）異戊二烯及1.87 g（81.1 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌18小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加200 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-11）（9.08 g，產率為46%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.22-5.29 (m, 1H), 5.16-5.22 (m, 1H), 4.92-5.05 (m, 2H), 4.69-4.79 (m, 1H), 2.72 (t, J = 7.4 Hz, 2H), 2.05 (s, 3H), 1.88 (brs, 1H), 1.69-1.83 (m, 3H), 0.99 (t, J = 7.4 Hz, 3H), -0.33 (brs, 1H), -0.42 (brs, 1H).
參考例8
[化45]
於14.9 g（128 mmol）的丁酸乙酯中於25℃下添加環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，50.0 mL，100 mmol）後，加熱回流7小時。自所得的溶液中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用50 mL的己烷來清洗殘留的固體。於所得的固體中於0℃下添加5.90 g（45.4 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌14小時。於所得的混合物中於0℃下添加7.27 g（88.5 mmol）的2,3-二甲基丁-1,3-二烯及1.16 g（50.4 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌23小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加170 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以茶色液體的形式獲得(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-12）（1.88 g，產率為15%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.00-5.03 (m, 2H), 4.48-4.54 (m, 2H), 2.45 (t, J = 7.5 Hz, 2H), 1.83 (s, 6H), 1.74-1.82 (m, 2H), 1.71 (brs, 2H), 0.93 (t, J = 7.5 Hz, 3H), -0.45 (brs, 2H).
參考例9
[化46]
將參考例2中合成的7.56 g（21.2 mmol）的雙(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷與100 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加5.45 g（80.0 mmol）的異戊二烯及558 mg（24.3 mmol）的鈉。於25℃下攪拌15小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加140 mL的己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -異戊醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（13a-23）（1.3 g，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.24 (brs, 1H), 5.18 (brs, 1H), 4.95-5.04 (m, 1H), 4.92 (brs, 1H), 4.72 (brs, 1H), 2.62 (d, J = 7.0 Hz, 2H), 2.26-2.42 (m, 1H), 2.06 (s, 3H), 1.90 (brs, 1H), 1.73-1.83 (m, 1H), 1.00 (d, J = 7.0 Hz, 6H), -0.33 (brs, 1H), -0.42 (brs, 1H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 197.3, 96.2, 83.9, 82.9, 81.5, 81.2, 80.9, 79.4, 48.7, 35.7, 32.9, 25.3, 23.0, 22.4.
參考例10
[化47]
於10.8 g（122 mmol）的乙酸乙酯中於25℃下添加環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，50.0 mL，100 mmol）後，加熱回流6小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用50 mL己烷來清洗殘留的固體。於所得的固體中於0℃下添加6.00 g（46.2 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌64小時。於該混合物中於0℃下添加莊信萬豐（Johnson Matthey）製造的5.14 g（64.2 mmol）的環己-1,3-二烯及1.07 g（46.5 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌24小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加190 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除。將殘留的固體昇華（加熱溫度110℃/背壓32 Pa），藉此以茶色固體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（13b-1）（914 mg，產率為8%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.07-5.11 (m, 2H), 4.61-4.66 (m, 2H), 4.30-4.33 (m, 2H), 2.93-2.98 (br, 2H), 2.16 (s, 3H), 1.35-1.42 (m, 2H), 0.61-0.68 (m, 2H).
參考例11
[化48]
於13.5 g（153 mmol）的乙酸乙酯中於25℃下添加環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，50.0 mL，100 mmol）後，加熱回流6小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，利用30 mL己烷來清洗殘留的固體。於所得的固體中於0℃下添加6.01 g（46.3 mmol）的氯化鈷及100 mL的THF，於25℃下攪拌15小時。於該混合物中於0℃下添加20.3 g（188 mmol）的環辛-1,5-二烯及1.20 g（52.2 mmol）的鈉後，於25℃下攪拌24小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加350 mL甲苯並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以黃色固體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（13c-1）（4.18 g，產率為33%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.64 (brs, 2H), 3.92 (brs, 2H), 3.39 (brs, 4H), 2.42 (s, 3H), 2.19-2.38 (m, 4H), 1.50-1.57 (m, 4H).
實施例22
[化49]
將參考例5中合成的4.21 g（18.0 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與42 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加12.0 g（84.6 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加6.36 g（108 mmol）的丙胺。於25℃下攪拌17小時後，於反應溶液中添加40 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度77℃/背壓33 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-31）（1.14 g，產率為23%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.13-5.16 (m, 1H), 4.91-4.94 (m, 1H), 4.84-4.91 (m, 2H), 4.80-4.83 (m, 1H), 3.33 (t, J = 7.3 Hz, 2H), 2.07 (s, 3H), 2.04 (s, 3H), 1.72 (brs, 1H), 1.60-1.69 (m, 3H), 0.97 (t, J = 7.3 Hz, 3H), -0.48 (brs, 1H), -0.58 (brs, 1H).
實施例23
[化50]
將參考例5中合成的2.30 g（9.80 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與23 mL的己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加5.22 g（36.8 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌3小時後，於所得的漿料中於0℃下添加2.90 g（49.0 mmol）的異丙胺。於25℃下攪拌19小時後，於反應溶液中添加15 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度78℃/背壓31 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-32）（550 mg，產率為20%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.13-5.18 (m, 1H), 5.05-5.10 (m, 1H), 4.91-4.96 (m, 1H), 4.83-4.90 (m, 1H), 4.81-4.84 (m, 1H), 3.74 (sept, J = 6.3 Hz, 1H), 2.08 (s, 3H), 2.05 (s, 3H), 1.70 (brs, 1H), 1.58-1.63 (m, 1H), 1.14 (d, J = 6.3 Hz, 6H), -0.49 (brs, 1H), -0.59 (brs, 1H).
實施例24
[化51]
將參考例5中合成的712 mg（3.04 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與15 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加1.58 g（11.1 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌3小時後，於所得的漿料中於0℃下添加1.08 g（14.8 mmol）的第二丁胺。於25℃下攪拌18小時後，於反應溶液中添加14 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度82℃/背壓25 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-36）（154 mg，產率為18%）。1 H-NMR (500 MHz, CDCl3 , δ) 5.10-5.25 (m, 2H), 4.78-4.92 (m, 3H), 3.40-3.53 (m, 1H), 2.08 (s, 3H), 2.06 (s, 3H), 1.85 (brs, 1H), 1.72 (brs, 1H), 1.46-1.58 (m, 2H), 1.05-1.13 (m, 3H), 0.85 (t, J = 7.5 Hz, 3H), -0.49 (brs, 1H), -0.58 (brs, 1H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 158.9, 98.1, 94.7, 81.4, 81.3, 80.2, 79.8, 79.7, 57.1, 34.9, 31.9, 31.7, 22.7, 21.9, 15.1, 11.5.
實施例25
[化52]
將參考例7中合成的740 mg（2.82 mmol）的(η5 -丁醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與20 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加1.61 g（11.3 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加858 mg（14.5 mmol）的丙胺。於25℃下攪拌18小時後，於反應溶液中添加14 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度86℃/背壓25 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(丙基亞胺基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-143）（232 mg，產率為27%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.23-5.33 (m, 1H), 5.09-5.18 (m, 1H), 4.76-4.88 (m, 2H), 4.54-4.62 (m, 1H), 3.32 (t, J = 7.0 Hz, 2H), 2.19-2.34 (m, 2H), 1.95 (s, 3H), 1.71-1.85 (m, 4H), 1.44-1.55 (m, 2H), 1.04 (t, J = 7.0 Hz, 3H), 0.84 (t, J = 7.3 Hz, 3H), -0.26 (brs, 1H), -0.36 (brs, 1H).
實施例26
[化53]
將參考例9中合成的670 mg（2.43mmol）的(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷與20 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加1.24 g（8.73 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加715 mg（12.1 mmol）的丙胺。於25℃下攪拌24小時後，於反應溶液中添加5 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度86℃/背壓11 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -((1-丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-199）（200 mg，產率為29%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.28-5.37 (m, 1H), 5.12-5.18 (m, 1H), 4.78-4.88 (m, 2H), 4.56-4.62 (m, 1H), 3.35 (t, J = 7.0 Hz, 2H), 2.18-2.34 (m, 2H), 1.97-2.07 (m, 1H), 1.96 (s, 3H), 1.72-1.82 (m, 4H), 1.05 (t, J = 7.0 Hz, 3H), 0.86 (d, J = 6.6 Hz, 6H), -0.26 (brs, 1H), -0.34 (brs, 1H).
實施例27
[化54]
將參考例9中合成的963 mg（3.49 mmol）的(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)(η5 -異戊醯基環戊二烯基)鈷與20 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加4.23 g（29.8 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加2.28 g（38.5 mmol）的異丙胺。於25℃下攪拌19小時後，於反應溶液中添加7 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -((1-異丙基亞胺基-3-甲基)丁基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-200）（580 mg，產率為59%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.28-5.36 (m, 1H), 5.13-5.21 (m, 1H), 4.75-4.87 (m, 2H), 4.60-4.66 (m, 1H), 3.72-3.86 (m, 1H), 2.17-2.26 (m, 2H), 1.99 (s, 3H), 1.94-2.03 (m, 1H), 1.81 (brs, 1H), 1.72-1.76 (m, 1H), 1.22 (d, J = 6.0 Hz, 6H), 0.85 (d, J = 6.8 Hz, 6H), -0.25 (brs, 1H), -0.35 (brs, 1H).
實施例28
[化55]
將參考例6中合成的1.11 g（4.47 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷與37 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加11.6 g（81.7 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加5.65 g（95.6 mmol）的丙胺。於25℃下攪拌19小時後，於反應溶液中添加10 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度75℃/背壓28 Pa），藉此以紅色固體的形式獲得(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-45）（175 mg，產率為14%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.11 (brs, 2H), 4.75 (brs, 2H), 3.20 (t, J = 7.0 Hz, 2H), 1.93 (s, 6H), 1.73-1.81 (m, 2H), 1.72 (brs, 2H), 1.68 (s, 3H), 1.04 (t, J = 7.0 Hz, 3H), -0.40 (brs, 2H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 160.9, 97.7, 91.9, 82.0, 80.1, 53.7, 35.7, 25.0, 19.5, 15.5, 12.6.
實施例29
[化56]
將參考例6中合成的480 mg（1.93 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷與10 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加1.37 g（9.65 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加835 mg（11.4 mmol）的第三丁胺。於25℃下攪拌87小時後，於反應溶液中添加10 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮，藉此以紅色固體的形式獲得(η5 -(1-（第三丁基亞胺基）乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-51）（333 mg，產率為57%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.09 (brs, 2H), 4.75 (brs, 2H), 1.97 (s, 6H), 1.83 (s, 3H), 1.73 (brs, 2H), 1.33 (s, 9H), -0.39 (brs, 2H).
實施例30
[化57]
將參考例10中合成的968 mg（3.93 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷與10 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加2.09 g（14.7 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加1.14 g（19.4 mmol）的丙胺。於25℃下攪拌1小時後，於反應溶液中添加10 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度85℃/背壓41 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-3）（440 mg，產率為39%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.27-5.30 (m, 2H), 4.76-4.80 (m, 2H), 4.46-4.48 (m, 2H), 3.28 (t, J = 7.2 Hz, 2H), 2.96-3.01 (m, 2H), 1.79 (s, 3H), 1.74-1.85 (m, 2H), 1.45-1.51 (m, 2H), 1.03 (t, J = 7.2 Hz, 3H), 0.80-0.85 (m, 2H).
實施例31
[化58]
將參考例10中合成的969 mg（3.94 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷與20 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加2.24 g（15.8 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加1.17 g（19.8 mmol）的異丙胺。於25℃下攪拌16小時後，於反應溶液中添加17 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度84℃/背壓25 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-4）（428 mg，產率為38%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.27-5.33 (m, 2H), 4.74-4.81 (m, 2H), 4.39-4.45 (m, 2H), 3.68 (sept, J = 6.0 Hz, 1H), 2.91-3.04 (m, 2H), 1.80 (s, 3H), 1.45-1.53 (m, 2H), 1.24 (d, J = 6.0 Hz, 6H), 0.79-0.88 (m, 2H).
實施例32
[化59]
將參考例10中合成的590 mg（2.40 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷與10 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加1.49 g（10.5 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加1.13 g（12.8 mmol）的N,N-二甲基乙二胺。於25℃下攪拌21小時後，於反應溶液中添加5 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-[2-（二甲基胺基）乙基亞胺基]乙基)環戊二烯基)(η4 -環己-1,3-二烯)鈷（12b-11）（451 mg，產率為59%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.27-5.29 (m, 2H), 4.76-4.79 (m, 2H), 4.46-4.49 (m, 2H), 3.52-3.58 (m, 2H), 2.97-3.01 (m, 2H), 2.72-2.78 (m, 2H), 2.22 (s, 6H), 1.80 (s, 3H), 1.46-1.52 (m, 2H), 0.80-0.85 (m, 2H).
實施例33
[化60]
將參考例11中合成的2.80 g（10.2 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷與28 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加7.22 g（50.9 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌2小時後，於所得的漿料中於0℃下添加3.65 g（61.7 mmol）的丙胺。於25℃下攪拌18小時後，於反應溶液中添加22 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度88℃/背壓17 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-3）（470 mg，產率為15%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.63-4.66 (m, 2H), 4.49-4.52 (m, 2H), 3.40-3.45 (brs, 4H), 3.30 (t, J = 7.5 Hz, 2H), 2.35-2.46 (m, 4H), 2.00 (s, 3H), 1.73-1.82 (m, 2H), 1.64-1.71 (m, 4H), 1.02 (t, J = 7.5 Hz, 3H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 160.7, 101.3, 85.3, 83.1, 66.5, 53.7, 32.4, 25.1, 15.3, 12.5.
實施例34
[化61]
將參考例11中合成的585 mg（2.13 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷與20 mL己烷混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加1.21 g（8.51 mmol）的三氟化硼二乙醚錯合物。於25℃下攪拌4小時後，於所得的漿料中於0℃下添加690 mg（11.7 mmol）的異丙胺。於25℃下攪拌19小時後，於反應溶液中添加14 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度87℃/背壓25 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-(異丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-4）（122 mg，產率為18%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.59-4.66 (m, 2H), 4.49-4.54 (m, 2H), 3.72 (sept, J = 6.4 Hz, 1H), 3.39-3.46 (m, 4H), 2.33-2.47 (m, 4H), 2.03 (s, 3H), 1.63-1.72 (m, 4H), 1.23 (d, J = 6.4 Hz, 6H).13 C-NMR (125 MHz, C6 D6 , δ) 157.9, 101.1, 85.3, 83.1, 66.6, 50.9, 32.3, 24.6, 14.8.
實施例35
將實施例24中合成的(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-36）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：160 sccm，稀釋氣體流量：20 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：69℃，材料的蒸氣壓：13.3Pa、材料容器內總壓：13.3 kPa，材料供給速度：0.020 sccm，基板溫度400℃。再者，對反應腔室的材料供給速度可根據（載氣流量×材料的蒸氣壓÷材料容器內總壓）的計算式而求出。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。螢光X射線分析使用理學電機公司製造的3370E。測定條件是設定為X射線源：Rh，輸出：50 kV、50 mA，測定徑：10 mm。
實施例36
將實施例24中合成的(η5 -(1-(第二丁基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（12a-36）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。薄膜製作條件如實施例35所示，其中基板溫度為300℃。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
實施例37
將實施例33中合成的(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-3）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：40 sccm，氨流量：120 sccm，稀釋氣體流量：40 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：100℃，材料的蒸氣壓：1.0 Pa，材料容器內總壓：3.3 kPa，材料供給速度：0.012 sccm，基板溫度400℃。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
實施例38
將實施例33中合成的(η5 -(1-(丙基亞胺基)乙基)環戊二烯基)(η4 -環辛-1,5-二烯)鈷（12c-3）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。薄膜製作條件如實施例37所示，其中基板溫度為300℃。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
比較例3
將雙(乙基環戊二烯基)鈷（Co(η5 -C5 H4 CH2 CH3 )2 ）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。該比較例中所用的雙(乙基環戊二烯基)鈷是依據日本化學會編的「實驗化學講座18 有機金屬錯合物」（第4版，丸善，1992年）中記載的方法而製造。具體而言，藉由使乙基環戊二烯基鈉與氯化鈷反應而合成雙(乙基環戊二烯基)鈷。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：120 sccm，稀釋氣體流量：60 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：48℃，材料的蒸氣壓：13.3 Pa，材料容器內總壓：13.3 kPa，材料供給速度：0.020 sccm，基板溫度300℃。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果未檢測到基於鈷的特性X射線。
由以上的實施例得知，錯合物B為即便不使用氧化性氣體、亦可於不併用光或電漿的情況下於400℃以下的低溫下製作含有鈷的膜的材料，為作為薄膜形成用材料而應用範圍廣的有用材料。
參考例12
[化62]
於11.7 g（132 mmol）的乙酸乙酯中於25℃下添加環戊二烯鈉/THF溶液（2.0 M，48.0 mL，96 mmol）後，加熱回流6小時。自所得的漿料中將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中於25℃下添加6.00 g（46.2 mmol）的氯化鈷及230 mL的THF後，於25℃下攪拌65小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加250 mL甲苯並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾，將濾液減壓乾固，藉此以紫色固體的形式獲得雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷（Co(η5 -C5 H4 C(O)CH3 )2 ）（4.00 g，產率為32%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 35.69 (brs), 24.93 (brs), 6.0-1.0 (m)
參考例13
[化63]
將參考例12中製備的1.59 g（5.82 mmol）的雙(η5 -乙醯基環戊二烯基)鈷與24 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加奧德里奇（Aldrich）製造的1.96 g（23.9 mmol）的2,3-二甲基丁-1,3-二烯及146 mg（6.35 mmol）的鈉。於25℃下攪拌16小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的固體中添加35 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，將濾液於減壓下濃縮。使用管柱層析（氧化鋁，THF）將殘留的液體純化，藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（16-3）（311 mg，產率為22%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.94 (brs, 2H), 4.54 (brs, 2H), 2.06 (s, 3H), 1.81 (s, 6H), 1.67 (brs, 2H), -0.48 (brs, 2H).
實施例39
[化64]
於908.9 mg（2.5 mmol）的溴化乙基三苯基鏻中添加20 mL二乙醚，於所得的溶液中於室溫下添加1.6 mL（1.54 mol/L，2.5 mmol）的丁基鋰的己烷溶液。將該混合物於室溫下攪拌4小時，藉此於體系中製備磷烷（17）後，添加至參考例13中製備的607.5 g（2.5 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（16-3）的二乙醚（20 mL）溶液中。將該混合物攪拌20小時後，將溶劑於減壓下蒸餾去除。於殘留的油狀產物中添加50 mL己烷並於室溫下劇烈攪拌。使所得的懸浮液於氧化鋁快速管柱（flash column）中通過而進行過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，將殘留的液體減壓蒸餾，藉此以紅色液體的形式獲得[η5 -(1-甲基-1-丙烯基)環戊二烯基](η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（15-18）（180.2 mg，產率為28%）。1 H-NMR (400 MHz, C6 D6 , δ) 5.66 (q,3 J = 6.8 Hz, 1H), 4.69 (m, 2H), 4.49 (m, 2H), 1.94 (s, 6H), 1.75 (s, 3H), 1.69 (br, 2H), 1.57 (d,3 J = 6.8 Hz, 3H), -0.39 (br, 2H)
實施例40
將實施例39中合成的[η5 -(1-甲基-1-丙烯基）環戊二烯基](η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（15-18）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。薄膜製作條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：160 sccm，稀釋氣體流量：20 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：72℃，材料的蒸氣壓：13.3 Pa，材料容器內總壓：13.3 kPa，材料供給速度：0.02 sccm，基板溫度300℃。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果檢測到基於鈷的特性X射線。
比較例4
將雙(乙基環戊二烯基)鈷（Co(η5 -C5 H4 CH2 CH3 )2 ）用作材料，藉由熱CVD法來製作含有鈷的薄膜。該比較例中所用的雙(乙基環戊二烯基)鈷是依據日本化學會編的「實驗化學講座18 有機金屬錯合物」（第4版、丸善、1992年）中記載的方法而製造。具體而言，藉由使乙基環戊二烯基鈉與氯化鈷反應而合成雙(乙基環戊二烯基)鈷。將為了製作薄膜而使用的裝置的概略示於圖1中。成膜條件如以下所述。
載氣流量：20 sccm，氨流量：120 sccm，稀釋氣體流量：60 sccm，基板：Si，成膜時間：1小時，反應腔室總壓：1.3 kPa，材料容器溫度：48℃，材料的蒸氣壓：13.3 Pa，材料容器內總壓：13.3 kPa，材料供給速度：0.020 sccm，基板溫度300℃。使用氬氣作為載氣及稀釋氣體。
藉由螢光X射線分析來確認所製作的薄膜，結果未檢測到基於鈷的特性X射線。
由實施例40、比較例4的結果得知，錯合物C為即便不使用氧化性氣體、亦可於不併用光或電漿的情況下於400℃以下的低溫下製作含有鈷的膜的材料，為作為薄膜形成用材料而應用範圍廣的有用材料。
實施例41
[化65]
將參考例3中製備的1.34 g（6.97 mmol）的(η5 -環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與30 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於-78℃下添加關東化學製造的2.90 mL（2.65 M，7.69 mmol）的正丁基鋰/己烷溶液及關東化學製造的862 mg（7.68 mmol）的第三丁醇鉀後，維持於-78℃並攪拌3小時。於該反應溶液中於-78℃下添加關東化學製造的566 mg（7.75 mmol）N,N-二甲基甲醯胺後，於25℃下攪拌14小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，於殘留的固體中添加45 mL己烷並於25℃下劇烈攪拌。將所生成的懸浮液過濾後，自濾液中將溶劑減壓蒸餾去除，藉此以黃色固體的形式獲得(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1a-35）（1.38 g，產率為90%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 9.77 (s, 1H), 4.81-4.92 (m, 2H), 4.65-4.76 (m, 1H), 4.58 (brs, 1H), 4.28 (brs, 1H), 1.76 (s, 3H), 1.73 (brs, 1H), 1.57-1.64 (m, 1H), -0.33 (brs, 1H), -0.42 (brs, 1H).
實施例42
[化66]
將實施例41中製備的1.38 g（6.27 mmol）的(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與30 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加東京化學工業製造的(三氟甲基)三甲基矽烷1.73 g（12.2 mmol）後，於25℃下攪拌1小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度72℃/背壓19 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-3）（372 mg，產率為16%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.72-5.08 (m, 3H), 4.17-4.42 (m, 2H), 3.87-4.16 (m, 1H), 1.93 (brs, 3H), 1.63-1.73 (m, 1H), 1.73-1.85 (m, 1H), 0.15 (s, 9H), -0.36 (brs, 1H), -0.47 (brs, 1H).19 F-NMR (470 MHz, C6 D6 , δ) -77.4 (brs).
實施例43
[化67]
將實施例17中製備的858 mg（3.66 mmol）的(η5 -甲醯基環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷與20 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於0℃下添加東京化學工業製造的518 mg（3.65 mmol）的(三氟甲基)三甲基矽烷後，於25℃下攪拌15小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度80℃/背壓37 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(2,2,2-三氟-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2,3-二甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-4）（330 mg，產率為24%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 5.01-5.15 (m, 1H), 4.26-4.72 (m, 3H), 3.83 (brs, 1H), 1.99 (brs, 3H), 1.92 (brs, 3H), 1.76-1.86 (m, 1H), 1.65-1.76 (m, 1H), 0.18 (brs, 9H), -0.44 (brs, 1H), -0.48 (brs, 1H).19 F-NMR (470 MHz, C6 D6 , δ) -77.5 (brs).
實施例44
[化68]
將實施例1中製備的369 mg（1.58 mmol）的(η5 -乙醯基環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷與20 mL的THF混合，於藉此所製備的溶液中於25℃下添加東京化學工業製造的221 mg（1.55 mmol）的(三氟甲基)三甲基矽烷及和光純藥工業製造的240 mg（1.58 mmol）的氟化銫後，於25℃下攪拌20小時。自反應混合物中將溶劑於減壓下蒸餾去除後，將殘留的液體減壓蒸餾（餾出溫度77℃/背壓45 Pa），藉此以紅色液體的形式獲得(η5 -(1-三氟甲基-1-三甲基矽烷氧基乙基)環戊二烯基)(η4 -2-甲基丁-1,3-二烯)鈷（1c-7）（242 mg，產率為41%）。1 H-NMR (500 MHz, C6 D6 , δ) 4.77-4.88 (m, 1H), 4.70-4.92 (m, 1H), 4.36-4.61 (m, 1H), 4.03-4.25 (m, 1H), 3.92-4.03 (m, 1H), 1.93 (s, 3H), 1.77-1.83 (m, 1H), 1.76 (s, 3H), 1.65-1.73 (m, 1H), 0.18 (s, 9H), -0.39 (brs, 1H), -0.50 (brs, 1H).19 F-NMR (470 MHz, C6 D6 , δ) -80.1 (brs).
1、13‧‧‧材料容器
2‧‧‧恆溫槽
3、17‧‧‧反應腔室
4、18‧‧‧基板
5‧‧‧反應氣體導入口
6、20‧‧‧稀釋氣體導入口
7‧‧‧載氣導入口
8、9、10、22、23、24‧‧‧質量流量控制器
11、25‧‧‧油轉式泵
12、26‧‧‧廢氣
14‧‧‧材料用用恆溫槽
15‧‧‧反應氣體容器
16‧‧‧反應氣體用恆溫槽
19‧‧‧材料用載氣導入口
21‧‧‧反應氣體用載氣導入口
圖1為表示實施例5～實施例8、實施例10～實施例12、實施例16、實施例35～實施例38、實施例40、比較例1、比較例2、比較例3、比較例4中所用的CVD裝置的圖。 圖2為表示實施例5～實施例7中所得的膜的X射線繞射（X-ray diffraction，以下稱為XRD）圖案的圖。 圖3為表示實施例8中所得的膜的XRD圖案的圖。 圖4為表示實施例20、實施例21中所用的CVD裝置的圖。
1‧‧‧材料容器
2‧‧‧恆溫槽
3‧‧‧反應腔室
4‧‧‧基板
5‧‧‧反應氣體導入口
6‧‧‧稀釋氣體導入口
7‧‧‧載氣導入口
8、9、10‧‧‧質量流量控制器
11‧‧‧油轉式泵
12‧‧‧廢氣

Claims (20)

  1. 一種鈷錯合物，其是由通式（I）所表示，（I） （式中，RA 表示通式（II）所表示的醯基、通式（III）所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基、通式（IV）所表示的N-烷基醯亞胺基或通式（V）所表示的烯基，m表示0或2；RB 及RC 表示氫原子或成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團；RD 、RE 、RF 及RG 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；其中於m為2時，將RA 為醯基（II）、1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基（III）及烯基（V）的情形除外；於RA 為N-烷基醯亞胺基（IV）時，將RB 及RC 為成為一體而形成亞甲基的基團的情形除外），（II） （式中，RH 表示氫原子或可經氟原子取代的碳數1～6的烷基），（III） （式中，RH 與通式（II）的RH 表示相同含意；RI 表示碳數1～4的烷基），（IV） （RJ 表示碳數1～6的烷基；RK 表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基），（V） （式中，RM 表示氫原子或碳數1～4的烷基；RL 表示碳數1～4的烷基；波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或所述幾何異構物的混合物）。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的鈷錯合物，其是由通式（1）所表示，（1） （式中，A表示通式（2）所表示的醯基或通式（3）所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基，氫原R4 、R5 、R6 及R7 分別獨立地表示子或碳數1～4的烷基；R3 及R8 表示氫原子或彼此成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團），（2） （式中，R1 表示氫原子或可經氟原子取代的碳數1～6的烷基），（3） （式中，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意；R2 表示碳數1～4的烷基）。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的鈷錯合物，其是由通式（1A）所表示，（1A）   （式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意）。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的鈷錯合物，其是由通式（1a）所表示，（1a） （式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意）。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的鈷錯合物，其是由通式（1b）所表示，（1b） （式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意；X表示通式（1）的R3 、R8 成為一體的碳數1～4的伸烷基）。
  6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的鈷錯合物，其是由通式（1c）所表示，（1c） （式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意，R2 與通式（3）的R2 表示相同含意）。
  7. 一種鈷錯合物的製造方法，其是使通式（4）所表示的二茂鈷與通式（5）所表示的共軛鏈狀二烯於鹼金屬的存在下反應來製造如申請專利範圍第4項所述的鈷錯合物，（4） （式中，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意），（5） （式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意）。
  8. 一種鈷錯合物的製造方法，其是使通式（4）所表示的二茂鈷與通式（6）所表示的共軛環狀二烯、通式（7a）或通式（7b）所表示的非共軛環狀二烯於鹼金屬的存在下反應來製造如申請專利範圍第5項所述的鈷錯合物，（4） （式中，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意），（6） （式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意；X表示通式（1）的R3 、R8 成為一體的碳數1～4的伸烷基），（7a） （式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意），（7b） （式中，R4 、R5 、R6 及R7 與通式（1）的R4 、R5 、R6 及R7 表示相同含意）。
  9. 一種鈷錯合物的製造方法，其是使通式（8）所表示的鈷錯合物與烷基鋰於鹼金屬醇鹽的存在下反應後，使通式（9）所表示的醯化劑反應來製造如申請專利範圍第3項所述的鈷錯合物，（8） （式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意），（9） （式中，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意；Y表示脫離基）。
  10. 一種鈷錯合物的製造方法，其是使通式（1A）所表示的鈷錯合物與CF3 Si(R2 )3 （10）所表示的三氟甲基矽烷（式中，R2 與通式（3）的R2 表示相同含意）反應來製造如申請專利範圍第6項所述的鈷錯合物，（1A） （式中，R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 與通式（1）的R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 表示相同含意，R1 與通式（2）的R1 表示相同含意）。
  11. 如申請專利範圍第1項所述的鈷錯合物，其是由通式（12）所表示，（12） （式中，n表示0或2；R9 表示碳數1～6的烷基；R10 表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基；R11 及R12 表示氫原子或成為一體而形成碳數2～4的伸烷基的基團；R13 ～R16 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基）。
  12. 如申請專利範圍第11項所述的鈷錯合物，其中n為0，R11 及R12 為氫原子。
  13. 如申請專利範圍第11項所述的鈷錯合物，其中n為0，R11 及R12 為彼此成為一體而形成碳數2～4的伸烷基的基團。
  14. 如申請專利範圍第11項所述的鈷錯合物，其中n為2，R11 及R12 為彼此成為一體而形成伸乙基的基團。
  15. 一種鈷錯合物的製造方法，其是使通式（13）所表示的二烯錯合物與通式R10 NH2 （14）所表示的烷基胺（式中，R10 與通式（12）的R10 為相同含意）於路易斯酸的存在下反應來製造通式（12）所表示的如申請專利範圍第11項至第14項中任一項所述的鈷錯合物，（13） （式中，n、R9 、R11 、R12 、R13 、R14 、R15 及R16 與通式（12）的n、R9 、R11 、R12 、R13 、R14 、R15 及R16 為相同含意），（12） （式中，n表示0或2；R9 表示碳數1～6的烷基；R10 表示可經二(碳數1～3的烷基)胺基取代的碳數1～6的烷基；R11 及R12 表示氫原子或成為一體而形成碳數2～4的伸烷基的基團；R13 ～R16 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基）。
  16. 如申請專利範圍第1項所述的鈷錯合物，其是由通式（15）所表示，（15） （式中，R17 、R18 及R22 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；R19 及R20 表示氫原子或彼此成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團；R21 表示碳數1～4的烷基；波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或所述幾何異構物的混合物）。
  17. 如申請專利範圍第16項所述的鈷錯合物，其中R19 及R20 為氫原子。
  18. 一種鈷錯合物的製造方法，其是製造如通式（15）所表示的鈷錯合物，並且所述鈷錯合物的製造方法的特徵在於： 使通式（16）所表示的醯基環戊二烯基鈷錯合物與通式（17）所表示的磷烷反應，（16） （式中，R17 、R18 、R19 、R20 及R21 與通式（15）的R17 、R18 、R19 、R20 及R21 表示相同含意），（17） （式中，R22 與通式（15）的R22 表示相同含意；Q分別獨立地表示可經甲基取代的苯基），（15） （式中，R17 、R18 及R22 分別獨立地表示氫原子或碳數1～4的烷基；R19 及R20 表示氫原子或彼此成為一體而形成碳數1～4的伸烷基的基團；R21 表示碳數1～4的烷基；波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或所述幾何異構物的混合物）。
  19. 一種含有鈷的薄膜的製作方法，其特徵在於：將如申請專利範圍第1項至第6項、第11項至第14項、第16項或第17項中任一項所述的鈷錯合物分解，於基板上製作含有鈷的薄膜。
  20. 一種含有鈷的薄膜，其是藉由如申請專利範圍第19項所述的方法而製作。
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