JP6855122B2 - コバルト錯体及びその製造方法、コバルト含有薄膜及びその製造方法 - Google Patents
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一般式(1)
製造方法1
一般式(2)のR4、R5、R6及びXの定義について説明する。R4、R5及びR6で表される炭素数1〜6のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、tert−ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、1−エチルプロピル基、1−メチルブチル基、2−メチルブチル基、3−メチルブチル基、2,2−ジメチルプロピル基、1,1−ジメチルプロピル基、シクロペンチル基、シクロブチルメチル基、ヘキシル基、1−メチルペンチル基、2−メチルペンチル基、3−メチルペンチル基、4−メチルペンチル基、1,1−ジメチルブチル基、1,2−ジメチルブチル基、1,3−ジメチルブチル基、2,2−ジメチルブチル基、2,3−ジメチルブチル基、3,3−ジメチルブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、1−シクロブチルエチル基、2−シクロブチルエチル基などを例示することが出来る。
なお、本明細書中では簡略のため(4)及び(4a)〜(4d)の全てを包括して一般式(4)で示すこととする。
1H−NMR(400MHz,C6D6,δ):4.54(m,2H),4.34(m,2H),2.03(s,6H),1.68(brs,2H),1.34(s,2H),−0.05(s,9H),−0.32(brs,2H).
13C−NMR(100MHz,C6D6,δ):96.9,90.3,80.6,79.3,36.4,19.9,17.9,−1.74.
[η5−(トリメチルシリルメチル)シクロペンタジエニル](η4−2,3−ジメチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの熱分析
アルゴンを400mL/minにて流通させている雰囲気下、昇温速度10℃/minの条件で測定したTGの結果及び密閉容器中で昇温速度10℃/minで測定したDSCの結果を図2に示した。TGからCVD法またはALD法などの材料として良好な気化特性を有していることがわかり、DSCから熱安定性も良好であることがわかった。
1H−NMR(400MHz,C6D6,δ):4.82(m,1H),4.56(brs,1H),4.51(brs,1H),4.50(brs,1H),4.35(brs,1H),2.03(s,3H),1.70(brs,1H),1.65(m,1H),1.31(s,2H),−0.05(brs,9H),−0.18(brs,1H),−0.26(brs,1H).
13C−NMR(100MHz,C6D6,δ):97.1,93.3,80.3,80.2,79.1,78.5,78.3,35.5,32.4,23.0,18.2,−1.75.
[η5−(トリメチルシリルメチル)シクロペンタジエニル](η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの熱分析
アルゴンを400mL/minにて流通させている雰囲気下、昇温速度10℃/minの条件で測定したTGの結果及び密閉容器中で昇温速度10℃/minで測定したDSCの結果を図3に示した。TGからCVD法またはALD法などの材料として良好な気化特性を有していることがわかり、DSCから熱安定性も良好であることがわかった。
[η5−(トリメチルシリルメチル)シクロペンタジエニル](η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの蒸気圧測定
[η5−(トリメチルシリルメチル)シクロペンタジエニル](η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの蒸気圧を測定したところ、61℃において0.1Torrであった。
1H−NMR(400MHz,C6D6,δ):4.81(m,1H),4.57(brs,1H),4.50(brs,1H),4.48(br,1H),4.37(br,1H),4.08(m,1H),2.01(s,3H),1.68(br,1H),1.63(m,1H),1.38(br,2H),−0.03(br,6H),−0.21(br,1H),−0.29(m,1H).
実施例4
1H−NMR(400MHz,C6D6,δ):4.85(m,2H),4.49(m,2H),4.41(m,2H),2.89(brs,2H),1.58−1.74(m,2H),1.50(s,2H),0.96−1.07(m,2H),−0.02(s,9H).
13C−NMR(100MHz,C6D6,δ):97.9,79.4,78.0,77.6,55.0,26.1,18.8,−1.69.
実施例5
実施例2で合成した[η5−(トリメチルシリルメチル)シクロペンタジエニル](η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトを材料に用いてコバルト含有薄膜を熱CVD法により製造した。薄膜製造のために使用した装置の概略を図1に示した。薄膜製造条件は以下の通りである。
実施例2で合成した[η5−(トリメチルシリルメチル)シクロペンタジエニル](η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトを材料に用いてコバルト含有薄膜を熱CVD法により製造した。薄膜製造のために使用した装置の概略を図1に示した。薄膜製造条件は以下の通りである。
ビス(エチルシクロペンタジエニル)コバルト(Co(η5−C5H4CH2CH3)2)を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱CVD法により製造した。薄膜製造のために使用した装置の概略を図1に示した。薄膜製造条件は以下の通りである。
(η5−アセチルシクロペンタジエニル)(η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの熱分析
アルゴンを400mL/minにて流通させている雰囲気下、昇温速度10℃/minの条件で測定したTGの結果及び密閉容器中で昇温速度10℃/minで測定したDSCの結果を図4に示した。TGとDSCの結果から、(η5−アセチルシクロペンタジエニル)(η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトは100%気化する前に分解する材料であることが分かる。
(η5−アセチルシクロペンタジエニル)(η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの蒸気圧測定
(η5−アセチルシクロペンタジエニル)(η4−2−メチルブタ−1,3−ジエン)コバルトの蒸気圧を測定したところ、97℃において0.1Torrであった。
2 恒温槽
3 反応チャンバー
4 基板
5 反応ガス導入口
6 希釈ガス導入口
7 キャリアガス導入口
8 マスフローコントローラー
9 マスフローコントローラー
10 マスフローコントローラー
11 油回転式ポンプ
12 排気
Claims (8)
- R1、R2及びR3がメチル基であり、Lが炭素数4〜6のジエンである請求項1に記載のコバルト錯体。
- 化学反応に基づく気相蒸着法が化学気相蒸着法である、請求項4に記載のコバルト含有薄膜の製造方法。
- 化学反応に基づく気相蒸着法において反応ガスを用いることを特徴とする、請求項4又は5に記載のコバルト含有薄膜の製造方法。
- 反応ガスとして還元性ガスを用いる、請求項6に記載のコバルト含有薄膜の製造方法。
- コバルト含有薄膜が金属コバルト薄膜である請求項4〜7のいずれかに記載のコバルト含有薄膜の製造方法。
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JP2017070926A JP6855122B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | コバルト錯体及びその製造方法、コバルト含有薄膜及びその製造方法 |
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JP2018172322A JP2018172322A (ja) | 2018-11-08 |
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TW202342491A (zh) * | 2022-04-15 | 2023-11-01 | 日商東曹股份有限公司 | 釕錯合物、其製造方法、及含釕薄膜的製造方法 |
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