WO2015190420A1 - コバルト錯体及びその製造方法、コバルト含有薄膜及びその作製方法 - Google Patents

Abstract

　酸化性ガスを用いない条件下でコバルト含有薄膜を作製するのに有用なコバルト錯体を提供する。　一般式（Ｉ）で示されるコバルト錯体。（式中、Ｒ^Ａは一般式（ＩＩ）（式中、Ｒ^Ｈは水素原子、又はフッ素原子で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるアシル基、一般式（ＩＩＩ） （式中、Ｒ^Ｈは一般式（ＩＩ）のＲ^Ｈと同義を表す。Ｒ^Ｉは炭素数１～４のアルキル基を表す。）で表される１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基、一般式（ＩＶ）（Ｒ^Ｊは炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^Ｋはジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるＮ－アルキルイミドイル基、又は一般式（Ｖ）（式中、Ｒ^Ｍは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^Ｌは炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で表されるアルケニル基を表す。ｍは０又は２を表す。Ｒ^Ｂ及びＲ^Ｃは水素原子、又は一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^Ｄ、Ｒ^Ｅ、Ｒ^Ｆ及びＲ^Ｇは各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。ただしｍが２の時、Ｒ^Ａはアシル基（ＩＩ）、１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基（ＩＩＩ）及びアルケニル基（Ｖ）である場合を除く。Ｒ^ＡがＮ－アルキルイミドイル基（ＩＶ）の時、Ｒ^Ｂ及びＲ^Ｃは一体となってメチレン基を形成する基である場合を除く。）

Description

コバルト錯体及びその製造方法、コバルト含有薄膜及びその作製方法

　本発明は、半導体素子の製造用原料として有用なコバルト錯体及びその製造方法、該コバルト錯体を材料として用いることにより作製したコバルト含有薄膜及びその作製方法に関する。

　コバルトは、高い導電性を示すこと、仕事関数が大きいこと、導電性シリサイドを形成出来ること、銅との格子整合性に優れることなどの特長を持つため、トランジスタなどの半導体素子のゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクト、銅配線シード層／ライナー層などの材料として注目を集めている。次世代の半導体素子では、記憶容量や応答性をさらに向上させる目的のため、高度に細密化及び三次元化されたデザインが採用されている。したがって次世代の半導体素子を構成する材料としてコバルトを使用するためには、三次元化された基板上に数ナノ～数十ナノメートル程度の厚みのコバルト含有薄膜を均一に形成する技術の確立が必要とされている。三次元化された基板上に金属薄膜を作製するための技術としては、原子層堆積法（ＡＬＤ法）や化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）など、化学反応に基づく気相蒸着法の活用が有力視されている。次世代半導体素子のゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクトとして、コバルト膜を成膜した後にシリサイド化したＣｏＳｉ_２が検討されている。一方、銅配線シード層／ライナー層としてコバルトが使用される場合、下地にはバリアメタルとして窒化チタンや窒化タンタルなどが採用される見込みである。コバルト含有薄膜を作製する際にシリコンやバリアメタルが酸化されると、抵抗値の上昇に起因するトランジスタとの導通不良などの問題が生じる。これらの問題を回避するため、酸素やオゾンなどの酸化性ガスを用いない条件下でコバルト含有薄膜の作製を可能とする材料が求められている。

　非特許文献１には、本発明のコバルト錯体（Ｉ）に類似の構造を持つ化合物として、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－１，２，３，４－テトラフェニルブタ－１，３－ジエン）コバルトが記載されているものの本発明のコバルト錯体とは構造が異なる。また該文献に記載の合成方法は、ビス（トリフェニルホスフィン）（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルトとジフェニルアセチレンとの反応に基づくものであり、本発明の製造方法とは異なる。さらに該文献にはこの錯体をコバルト含有薄膜の作製用材料として用いることに関する記述は一切ない。

　これまで、η^４－ジエン配位子及びＮ－アルキルイミドイル基で置換されたη^５－シクロペンタジエニル配位子を持つコバルト錯体は報告例が無い。非特許文献２には、（η^４－１，２，３，４－テトラフェニルシクロブタ－１，３－ジエン）（η^５－１，３－ビス［（フェニルイミノ）メチル］シクロペンタジエニル）コバルトが記載されているものの、フェニル基を持つ点で本発明のコバルト錯体とは異なる。また該文献にはこの錯体をコバルト含有薄膜の作製用材料として用いることに関する記述は一切ない。

　これまでに、η^４－共役ジエン配位子及びアルケニル基で置換されたη^５－シクロペンタジエニル配位子を併せ持つコバルト錯体は報告例が無い。非特許文献３には、不飽和炭化水素基で置換されたη^５－シクロペンタジエニル配位子を持つ点で本発明のコバルト錯体（Ｉ）に類似の構造を持つ化合物として、［η^５－（１－メチルエテニル）シクロペンタジエニル］（ジカルボニル）コバルトが記載されているものの、η^４－共役ジエン配位子を持たない点で本発明のコバルト錯体とは異なる。また該文献にはこの錯体をコバルト含有薄膜の作製用材料として用いることに関する記述は一切ない。

Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第６９１巻，１１８３ページ（２００６年）。

Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ、第７１７巻、９９ページ（２０１２年）。

Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第３５５巻，４５５ページ（１９８８年）。

　本発明は、酸化性ガスを用いない条件下でコバルト含有薄膜の作製を可能とする材料として有用なコバルト錯体を提供することを課題とする。

　本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、一般式（Ｉ）で示されるコバルト錯体、より具体的には一般式（１）で示されるコバルト錯体（錯体Ａ）、一般式（１２）で示されるコバルト錯体（錯体Ｂ）、及び一般式（１５）で示されるコバルト錯体（錯体Ｃ）が反応ガスとして酸化性ガスを用いない条件下、特に還元性ガスを用いる条件下コバルト含有薄膜を作製するための材料として有用なことを見出し、本発明を完成するに至った。

　すなわち本発明は、以下の要旨を有するものである。
（１）一般式（Ｉ）

（式中、Ｒ^Ａは一般式（ＩＩ）

（式中、Ｒ^Ｈは水素原子、又はフッ素原子で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるアシル基、一般式（ＩＩＩ）

（式中、Ｒ^Ｈは一般式（ＩＩ）のＲ^Ｈと同義を表す。Ｒ^Ｉは炭素数１～４のアルキル基を表す。）で表される１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基、一般式（ＩＶ）

（Ｒ^Ｊは炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^Ｋはジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるＮ－アルキルイミドイル基、又は一般式（Ｖ）

（式中、Ｒ^Ｍは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^Ｌは炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で表されるアルケニル基を表す。ｍは０又は２を表す。Ｒ^Ｂ及びＲ^Ｃは水素原子、又は一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^Ｄ、Ｒ^Ｅ、Ｒ^Ｆ及びＲ^Ｇは各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。ただしｍが２の時、Ｒ^Ａはアシル基（ＩＩ）、１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基（ＩＩＩ）及びアルケニル基（Ｖ）である場合を除く。Ｒ^ＡがＮ－アルキルイミドイル基（ＩＶ）の時、Ｒ^Ｂ及びＲ^Ｃは一体となってメチレン基を形成する基である場合を除く。）で示されるコバルト錯体。
（２）一般式（１）

（式中、Ａは一般式（２）

（式中、Ｒ^１は水素原子、又はフッ素原子で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるアシル基、又は一般式（３）

（式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｒ^２は炭素数１～４のアルキル基を表す。）で表される１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基を表す。Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^８は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。）で示される上記（１）に記載のコバルト錯体。
（３）一般式（１Ａ）

（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示される上記（１）又は（２）に記載のコバルト錯体。
（４）一般式（１ａ）

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示される上記（１）～（３）のいずれかに記載のコバルト錯体。
（５）一般式（１ｂ）

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｘは一般式（１）のＲ^３、Ｒ^８における一体となった炭素数１～４のアルキレン基を表す。）で示される上記（１）～（３）のいずれかに記載のコバルト錯体。
（６）一般式（１ｃ）

（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表し、Ｒ^２は一般式（３）のＲ^２と同義を表す。）で示される上記（１）又は（２）に記載のコバルト錯体。
（７）一般式（４）

（式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示されるコバルトセンと、
一般式（５）

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。）で示される共役鎖状ジエンを、
アルカリ金属の存在下で反応させる、上記（４）に記載のコバルト錯体の製造方法。
（８）一般式（４）

（式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示されるコバルトセンと、
一般式（６）

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。Ｘは一般式（１）のＲ^３、Ｒ^８における一体となった炭素数１～４のアルキレン基を表す。）で示される共役環状ジエン、一般式（７ａ）

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。）若しくは一般式（７ｂ）

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。）で示される非共役環状ジエンを、
アルカリ金属の存在下で反応させる、上記（５）に記載のコバルト錯体の製造方法。
（９）一般式（８）

（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表す。）で示されるコバルト錯体と、
アルキルリチウムとを、
アルカリ金属アルコキシド存在下で反応させた後、
一般式（９）

（式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｙは脱離基を表す。）で示されるアシル化剤を反応させる、上記（３）に記載のコバルト錯体の製造方法。
（１０）一般式（１Ａ）

（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示されるコバルト錯体と、
ＣＦ_３Ｓｉ（Ｒ^２）_３（１０）（式中、Ｒ^２は一般式（３）のＲ^２と同義を表す。）で示されるトリフルオロメチルシランとを反応させる、上記（６）に記載のコバルト錯体の製造方法。
（１１）一般式（１２）

（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^９は炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１０はジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１１及びＲ^１２は水素原子、又は一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^１３～Ｒ^１６は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。）で示される上記（１）に記載のコバルト錯体。
（１２）ｎが０であり、Ｒ^１１及びＲ^１２が水素原子である、上記（１１）に記載のコバルト錯体。
（１３）ｎが０であり、Ｒ^１１及びＲ^１２が互いに一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基である、上記（１１）に記載のコバルト錯体。
（１４）ｎが２であり、Ｒ^１１及びＲ^１２が互いに一体となってエチレン基を形成する基である、上記（１１）に記載のコバルト錯体。
（１５）一般式（１３）

（式中、ｎ、Ｒ^９、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６は、一般式（１２）のｎ、Ｒ^９、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６と同義である。）で示されるジエン錯体と、
一般式Ｒ^１０ＮＨ_２（１４）（式中、Ｒ^１０は一般式（１２）のＲ^１０と同義である。）で示されるアルキルアミンとを、
ルイス酸存在下で反応させる、一般式（１２）

（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^９は炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１０はジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１１及びＲ^１２は水素原子、又は一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^１３～Ｒ^１６は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。）で示される上記（１１）～（１４）のいずれかに記載のコバルト錯体の製造方法。
（１６）一般式（１５）

（式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８及びＲ^２２は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^１９及びＲ^２０は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^２１は炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で示される上記（１）に記載のコバルト錯体。
（１７）Ｒ^１９及びＲ^２０が水素原子である上記（１６）に記載のコバルト錯体。
（１８）一般式（１６）

（式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８、Ｒ^１９、Ｒ^２０およびＲ^２１は一般式（１５）のＲ^１７、Ｒ^１８、Ｒ^１９、Ｒ^２０およびＲ^２１と同義を表す。）で示されるアシルシクロペンタジエニルコバルト錯体と、一般式（１７）

（式中、Ｒ^２２は一般式（１５）のＲ^２２と同義を表す。Ｑは各々独立にメチル基で置換されていても良いフェニル基を表す。）で示されるホスホランを反応させることを特徴とする、一般式（１５）

（式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８及びＲ^２２は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^１９及びＲ^２０は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^２１は炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で示されるコバルト錯体の製造方法。
（１９）上記（１）～６、（１１）～（１４）、（１６）又は（１７）のいずれかに記載のコバルト錯体を分解し、基板上にコバルト含有薄膜を作製することを特徴とする、コバルト含有薄膜の作製方法。
（２０）上記（１９）に記載の方法によって作製されるコバルト含有薄膜。

　本発明のコバルト錯体Ａ、Ｂ又はＣを材料として用いることにより、反応ガスとして還元性ガスを用いる条件下でコバルト含有薄膜を作製することが出来る。

実施例５～８、１０～１２、１６、実施例３５～３８、実施例４０、比較例１、２、比較例３、比較例４で用いたＣＶＤ装置を示す図である。 実施例５～７で得られた膜のＸ線回折（以下、ＸＲＤ）パターンを示す図である。 実施例８で得られた膜のＸＲＤパターンを示す図である。 実施例２０、２１で用いたＣＶＤ装置を示す図である。

　本発明のコバルト錯体は一般式（Ｉ）で示されるコバルト錯体であり、その中でも錯体Ａ、錯体Ｂ及び錯体Ｃが好ましい。

　最初に錯体Ａについて説明する。

　錯体Ａは、一般式（１）で示されるコバルト錯体である。ここで、一般式（１）におけるＡは一般式（２）で示されるアシル基又は一般式（３）で示される１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基である。

　錯体Ａの中でも、一般式（１Ａ）又は（１ｃ）で示されるコバルト錯体が好ましい。また、錯体Ａの中でも一般式（１ａ）又は（１ｂ）で示されるコバルト錯体が好ましい。

　まず、一般式（１）、（２）及び（３）中のＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８の定義について説明する。

　一般式（２）のＲ^１で表される炭素数１～６のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、１－エチルプロピル基、１－メチルブチル基、２－メチルブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、シクロペンチル基、シクロブチルメチル基、ヘキシル基、１－メチルペンチル基、２－メチルペンチル基、３－メチルペンチル基、４－メチルペンチル基、１，１－ジメチルブチル基、１，２－ジメチルブチル基、１，３－ジメチルブチル基、２，２－ジメチルブチル基、２，３－ジメチルブチル基、３，３－ジメチルブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、１－シクロブチルエチル基、２－シクロブチルエチル基などを例示することが出来る。

　Ｒ^１で表される炭素数１～６のアルキル基は、フッ素原子で置換されていてもよい。フッ素原子で置換されている炭素数１～６のアルキル基としては、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、１－フルオロエチル基、２－フルオロエチル基、１，１－ジフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、１，２，２，２－テトラフルオロ－１－（トリフルオロメチル）エチル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，３，３，３－ヘキサフルオロ－２－（トリフルオロメチル）プロピル基、１，２，２，３，３，３－ヘキサフルオロ－１－（トリフルオロメチル）プロピル基、２，２，２－トリフルオロ－１，１－ビス（トリフルオロメチル）エチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基などを例示することが出来る。

　本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧を持つ点で、フッ素原子で置換されている炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基が好ましく、トリフルオロメチル基が更に好ましい。

　錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１は水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であることが好ましく、イソブチル基又は炭素数１～４の直鎖状アルキル基であることが更に好ましく、メチル基、プロピル基又はイソブチル基であることが殊更好ましい。

　一般式（３）のＲ^２で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^２はメチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基であることが好ましく、メチル基であることが更に好ましい。

　一般式（３）の三つのＲ^２は、同一又は相異なっていても良い。　
　一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は各々独立に水素原子又は炭素数１～３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることが更に好ましい。

　一般式（１）のＲ^３及びＲ^８が一体となって形成する炭素数１～４のアルキレン基としては、直鎖状及び分岐状のいずれでも良く、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基などを例示することが出来る。錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^８及びＲ^９は水素原子であるか又は一体となってメチレン基、エチレン基、トリメチレン基若しくはテトラメチレン基を形成するのが好ましく、水素原子であるか又は一体となってエチレン基を形成するのが更に好ましく、水素原子であることがとりわけ好ましい。

　錯体Ａのうち、コバルト錯体（１ａ）の具体例としては、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－２）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－５）、［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－６）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－７）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－８）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－９）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－１０）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１１）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１２）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－１３）、（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－１４）、（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１５）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－１６）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－１７）、［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－１８）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－１９）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－２０）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－２１）、（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－２２）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－２３）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－２４）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ａ－２５）、［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－２６）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ａ－２７）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ａ－２８）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－２９）、［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－３０）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－３１）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ａ－３２）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３３）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－３４）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３５）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３６）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３７）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－３８）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３９）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４０）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４１）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－４２）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４３）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４４）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４５）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－４６）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４７）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４８）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４９）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－５０）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－５１）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－５２）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－５３）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ａ－５４）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－５５）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－５６）などを例示することができる。錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、（１ａ－１）、（１ａ－２）、（１ａ－３）、（１ａ－４）、（１ａ－５）、（１ａ－６）、（１ａ－７）、（１ａ－８）、（１ａ－９）、（１ａ－１０）、（１ａ－１１）、（１ａ－１２）、（１ａ－１７）、（１ａ－１８）、（１ａ－１９）、（１ａ－２０）、（１ａ－２１）、（１ａ－２２）、（１ａ－２３）、（１ａ－２４）、（１ａ－３３）～（１ａ－３６）及び（１ａ－４５）～（１ａ－４８）が好ましく、（１ａ－１）、（１ａ－２）、（１ａ－３）、（１ａ－４）、（１ａ－５）、（１ａ－６）、（１ａ－７）、（１ａ－８）、（１ａ－９）、（１ａ－１０）、（１ａ－１１）、（１ａ－１２）、（１ａ－２３）及び（１ａ－２４）が更に好ましく、液体であり取り扱いが容易な点で（１ａ－３）、（１ａ－４）、（１ａ－１１）、（１ａ－１２）及び（１ａ－２３）がとりわけ好ましい。

　錯体Ａのうち、コバルト錯体（１ｂ）の具体例としては、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－１）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－２）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４）、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－５）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－６）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－７）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－８）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－９）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－１０）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－１１）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－１２）、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１３）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１４）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１５）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１６）、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１７）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１８）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－１９）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－２０）、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－２１）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－２２）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－２３）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－２４）、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ｂ－２５）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ｂ－２６）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ｂ－２７）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１ｂ－２８）、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－２９）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－３０）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－３１）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１ｂ－３２）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３３）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３４）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３５）、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３６）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３７）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３８）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－３９）、（η^５－（フルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４０）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４１）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４２）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４３）、（η^５－（ジフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４４）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４５）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４６）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４７）、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４８）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－４９）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５０）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５１）、（η^５－（ペンタフルオロプロピオニル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５２）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５３）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５４）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５５）、（η^５－（ヘプタフルオロブチリル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－５６）などを例示することができる。錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、（１ｂ－２）、（１ｂ－６）、（１ｂ－１０）、（１ｂ－１８）、（１ｂ－２２）、（１ｂ－３４）及び（１ｂ－４６）が好ましく、（１ｂ－２）が更に好ましい。

　錯体Ａのうち、コバルト錯体（１ｃ）の具体例としては、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－２）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－６）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－１０）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－１４）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－１８）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－２２）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２３）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２４）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２５）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－２６）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２７）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－３０）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３２）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３３）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－３４）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３５）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３６）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３７）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－３８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４０）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４１）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－４２）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４３）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４４）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４５）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－４６）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４７）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４８）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４９）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－５０）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５１）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５２）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５３）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－５４）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブ
チル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５５）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５６）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５７）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－５８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－５９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６０）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６１）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－６２）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６３）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６４）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６５）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－６６）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６７）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６８）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－６９）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－７０）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７１）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７２）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７３）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－７４）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７５）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７６）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７７）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－７８）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７９）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８０）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８１）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－８２）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８３）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８４）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８５）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－８６）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８７）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８８）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－８９）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－９０）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９１）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９２）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９３）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－９４）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９５）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９６）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９７）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－９８）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－９９）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１００）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０１）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－１０２）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０３）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０４）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０５）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－１０６）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメ
チルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０７）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０８）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１０９）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１ｃ－１１０）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１１）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１２）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１３）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１４）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１５）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１６）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１７）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１８）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１１９）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２０）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２２）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２３）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２４）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２５）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２６）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２７）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２８）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１２９）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３０）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３１）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３２）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３３）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３４）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３５）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３６）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３７）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３８）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１３９）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４０）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４２）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４３）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４４）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４５）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４６）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４７）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１４９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５０）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５２）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５３）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５４）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５５）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５６）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５７）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５８）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１５９）、（η^５
－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６０）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６１）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６２）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６３）、（η^５－（１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６４）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６５）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６６）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６７）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリエチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１６９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７０）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７１）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７２）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７３）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７４）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７５）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７６）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７７）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７８）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１７９）、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８０）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８１）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８２）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８３）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８４）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８５）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８６）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８７）、（η^５－（２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８８）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１８９）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９０）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９１）、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９２）、（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９３）、（η^５－（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９４）、（η^５－（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９５）、（η^５－（η^５－（２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチル－１－トリプロピルシリルオキシブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９６）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９７）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９８）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－１９９）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２００）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０１）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０２）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０３）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０４）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０５）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０６）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０７）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，２－トリフルオロ－１－トリフルオロメチルエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０８）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２０９）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１０）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１１）、（η
^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１２）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１３）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１４）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１５）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，３－ペンタフルオロ－１－トリフルオロメチルプロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１６）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１７）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１８）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２１９）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２２０）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２２１）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２２２）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２２３）、（η^５－（１－ｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリルオキシ－２，２，３，３，４，４，４－ヘプタフルオロ－１－トリフルオロメチルブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－２２４）などを例示することができる。錯体ＡがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、（１ｃ－１）～（１ｃ－８）、（１ｃ－１１４）、（１ｃ－１１８）、が好ましく、（１ｃ－１）、（１ｃ－３）～（１ｃ－５）、（１ｃ－７）、（１ｃ－８）が更に好ましく、（１ｃ－３）、（１ｃ－４）、（１ｃ－７）、（１ｃ－８）が殊更好ましい。

　錯体Ａは立体配座異性体、立体配置異性体等の立体異性体の混合物でも良い。

　次に、錯体Ａの製造方法について説明する。

　最初に、錯体Ａの中でも好ましく用いられるコバルト錯体（１Ａ）の製造方法について説明する。

　コバルト錯体（１Ａ）は、製造方法１によって製造することができる。コバルト錯体（１Ａ）の中でも好ましく用いられるコバルト錯体（１ａ）、（１ｂ）は、それぞれ製造方法２、３によって製造することができる。

　製造方法１は、コバルト錯体（８）と、アルキルリチウムとを、アルカリ金属アルコキシドの存在下で反応させた後、アシル化剤（９）を反応させることによりコバルト錯体（１Ａ）を製造する方法である。

　製造方法１

（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｙは脱離基を表す。）
　製造方法２は、コバルトセン（４）と、共役鎖状ジエン（５）とを、アルカリ金属の存在下で反応させることによりコバルト錯体（１ａ）を製造する方法である。

　製造方法２

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）
　製造方法３は、コバルトセン（４）と、共役環状ジエン（６）又は非共役環状ジエン（７ａ）若しくは（７ｂ）とを、アルカリ金属の存在下で反応させることによりコバルト錯体（１ｂ）を製造する方法である。

　製造方法３

（式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｘは一般式（１）のＲ^３、Ｒ^８における一体となった炭素数１～４のアルキレン基を表す。）
　最初に、製造方法１について説明する。製造方法１は、コバルト錯体（８）と、アルキルリチウムとを、アルカリ金属アルコキシドの存在下で反応させる第１工程、及び第１工程の生成物とアシル化剤（９）とを反応させる第２工程から成る。

　製造方法１のＹで表される脱離基としては、ジアルキルアミノ基、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、１－イミダゾリル基、メタンスルホニルオキシ基、トリフルオロメタンスルホニルオキシ基、ｐ－トルエンスルホニルオキシ基などを例示することが出来る。ジアルキルアミノ基としては、ジメチルアミノ基、エチルメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、プロピルメチルアミノ基、イソプロピルメチルアミノ基、エチルプロピルアミノ基、エチルイソプロピルアミノ基、ジプロピルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基、１－ピペリジル基などを例示することが出来る。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などを例示することが出来る。アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、フェノキシ基、ペンチルオキシ基、アリルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、ベンジルオキシ基などを例示することが出来る。アシルオキシ基としては、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、イソブチリルオキシ基、バレリルオキシ基、イソバレリルオキシ基、ピバロイルオキシ基、フルオロアセトキシ基、ジフルオロアセトキシ基、トリフルオロアセトキシ基、ペンタフルオロプロピオニルオキシ基、ヘプタフルオロブチリルオキシ基などを例示することが出来る。

　コバルト錯体（１Ａ）の収率が良い点で、Ｙはジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジプロピルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基、１－ピペリジル基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、バレリルオキシ基、トリフルオロアセトキシ基、ペンタフルオロプロピオニルオキシ基、ヘプタフルオロブチリルオキシ基が好ましく、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジプロピルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基、１－ピペリジル基が更に好ましく、１－ピペリジル基が殊更好ましい。

　製造方法１で用いることが出来るコバルト錯体（８）の例としては、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト、（η^５－シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト、（η^４－シクロペンタ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルトなどを挙げることが出来、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルトが好ましく、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－シクロペンタジエニル）コバルトが更に好ましい。

　本発明の製造方法１で用いるコバルト錯体（８）は、ビス（η^５－シクロペンタジエニル）コバルトと、共役鎖状ジエン（５）又は共役環状ジエン（６）とを、アルカリ金属の存在下反応させることにより合成することが出来るほか、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第３２巻，３４１５ページ（２０１３年）などに記載の方法に準じて合成することが出来る。

　製造方法１で用いることが出来るアルキルリチウムの例としては、メチルリチウム、エチルリチウム、プロピルリチウム、イソプロピルリチウム、ブチルリチウム、ｓｅｃ－ブチルリチウム、イソブチルリチウム、ｔｅｒｔ－ブチルリチウム、ペンチルリチウム、ｔｅｒｔ－ペンチルリチウム、シクロペンチルリチウム、ヘキシルリチウム、シクロヘキシルリチウムなどを挙げることが出来る。収率が良い点で、ブチルリチウムが好ましい。

　本発明の製造方法１で用いるアルキルリチウムは、市販品でも良く、日本化学会編、「実験化学講座１８有機化合物の合成ＶＩ」、第５版、丸善、平成１６年や、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１０８巻，７０１６ページ（１９８６年）などに記載の方法に準じて製造した物でも良い。

　製造方法１で用いることが出来るアルカリ金属アルコキシドの例としては、リチウムメトキシド、リチウムエトキシド、リチウムプロポキシド、リチウムイソプロポキシド、リチウムブトキシド、リチウムイソブトキシド、リチウムｓｅｃ－ブトキシド、リチウムｔｅｒｔ－ブトキシド、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、ナトリウムプロポキシド、ナトリウムイソプロポキシド、ナトリウムブトキシド、ナトリウムイソブトキシド、ナトリウムｓｅｃ－ブトキシド、ナトリウムｔｅｒｔ－ブトキシド、カリウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムプロポキシド、カリウムイソプロポキシド、カリウムブトキシド、カリウムイソブトキシド、カリウムｓｅｃ－ブトキシド、カリウムｔｅｒｔ－ブトキシドなどを挙げることが出来る。コバルト錯体（１Ａ）の収率が良い点で、カリウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムプロポキシド、カリウムイソプロポキシド、カリウムブトキシド、カリウムイソブトキシド、カリウムｓｅｃ－ブトキシド、カリウムｔｅｒｔ－ブトキシドが好ましく、カリウムｔｅｒｔ－ブトキシドが更に好ましい。

　本発明の製造方法１で用いるアルカリ金属アルコキシドは、市販品を用いることが出来る。

　製造方法１で用いることが出来るアシル化剤（９）の例としては、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド（ＤＭＡ）、Ｎ，Ｎ－ジエチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルプロピオン酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルプロピオン酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル酪酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル酪酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルイソ酪酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルイソ酪酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル吉草酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル吉草酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルイソ吉草酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルイソ吉草酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルピバル酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルピバル酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルジフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルジフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルトリフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルトリフルオロアセトアミド、Ｎ－メチル－ビス（トリフルオロアセトアミド）、Ｎ，Ｎ－ジメチルペンタフルオロプロピオン酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルペンタフルオロプロピオン酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルヘプタフルオロ酪酸アミド、Ｎ，Ｎ－ジエチルヘプタフルオロ酪酸アミド、１－アセチルピペリジン、１－プロピオニルピペリジン、１－ブチリルピペリジン、１－イソブチリルピペリジン、１－バレリルピペリジン、１－イソバレリルピペリジン、１－ピバロイルピペリジン、１－（フルオロアセチル）ピペリジン、１－（ジフルオロアセチル）ピペリジン、１－（トリフルオロアセチル）ピペリジン、１－（ペンタフルオロプロピオニル）ピペリジン、１－（ヘプタフルオロブチリル）ピペリジンなどのカルボン酸ジアルキルアミド、塩化アセチル、臭化アセチル、ヨウ化アセチル、塩化プロピオニル、臭化プロピオニル、ヨウ化プロピオニル、塩化ブチリル、臭化ブチリル、ヨウ化ブチリル、塩化イソブチリル、臭化イソブチリル、ヨウ化イソブチリル、塩化バレリル、臭化バレリル、ヨウ化バレリル、塩化イソバレリル、臭化イソバレリル、ヨウ化イソバレリル、塩化ピバロイル、臭化ピバロイル、ヨウ化ピバロイル、塩化フルオロアセチル、臭化フルオロアセチル、ヨウ化フルオロアセチル、塩化ジフルオロアセチル、臭化ジフルオロアセチル、ヨウ化ジフルオロアセチル、塩化トリフルオロアセチル、臭化トリフルオロアセチル、ヨウ化トリフルオロアセチル、塩化ペンタフルオロプロピオニル、臭化ペンタフルオロプロピオニル、ヨウ化ペンタフルオロプロピオニル、塩化ヘプタフルオロブチリル、臭化ヘプタフルオロブチリル、ヨウ化ヘプタフルオロブチリルなどのカルボン酸ハロゲン化物、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸イソプロピル、ギ酸ブチル、ギ酸フェニル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸フェニル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、プロピオン酸ブチル、プロピオン酸フェニル、酪酸メチル、酪酸エチル、酪酸プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ブチル、酪酸フェニル、イソ酪酸メチル、イソ酪酸エチル、イソ酪酸プロピル、イソ酪酸イソプロピル、イソ酪酸ブチル、イソ酪酸フェニル、吉草酸メチル、吉草酸エチル、吉草酸プロピル、吉草酸イソプロピル、吉草酸ブチル、吉草酸フェニル、イソ吉草酸メチル、イソ吉草酸エチル、イソ吉草酸プロピル、イソ吉草酸イソプロピル、イソ吉草酸ブチル、イソ吉草酸フェニル、ピバル酸メチル、ピバル酸エチル、ピバル酸プロピル、ピバル酸イソプロピル、ピバル酸ブチル、ピバル酸フェニル、フルオロ酢酸メチル、フルオロ酢酸エチル、フルオロ酢酸プロピル、フルオロ酢酸イソプロピル、フルオロ酢酸ブチル、フルオロ酢酸フェニル、ジフルオロ酢酸メチル、ジフルオロ酢酸エチル、ジフルオロ酢酸プロピル、ジフルオロ酢酸イソプロピル、ジフルオロ酢酸ブチル、ジフルオロ酢酸フェニル、トリフルオロ酢酸メチル、トリフルオロ酢酸エチル、トリフルオロ酢酸プロピル、トリフルオロ酢酸イソプロピル、トリフルオロ酢酸ブチル、トリフルオロ酢酸フェニル、ペンタフルオロプロピオン酸メチル、ペンタフルオロプロピオン酸エチル、ペンタフルオロプロピオン酸プロピル、ペンタフルオロプロピオン酸イソプロピル、ペンタフルオロプロピオン酸ブチル、ペンタフルオロプロピオン酸フェニル、ヘプタフルオロ酪酸メチル、ヘプタフルオロ酪酸エチル、ヘプタフルオロ酪酸プロピル、ヘプタフルオロ酪酸イソプロピル、ヘプタフルオロ酪酸ブチル、ヘプタフルオロ酪酸フェニルなどのカルボン酸エステル、酢酸無水物、プロピオン酸無水物、酪酸無水物、イソ酪酸無水物、吉草酸無水物、イソ吉草酸無水物、ピバル酸無水物、フルオロ酢酸無水物、ジフルオロ酢酸無水物、トリフルオロ酢酸無水物、ペンタフルオロプロピオン酸無水物、ヘプタフルオロ酪酸無水物などのカルボン酸無水物、１－アセチルイミダゾール、１－プロピオニルイミダゾール、１－ブチリルイミダゾール、１－イソブチリルイミダゾール、１－バレリルイミダゾール、１－イソバレリルイミダゾール、１－ピバロイルイミダゾール、１－（フルオロアセチル）イミダゾール、１－（ジフルオロアセチル）イミダゾール、１－（トリフルオロアセチル）イミダゾール、１－（ペンタフルオロプロピオニル）イミダゾール、１－（ヘプタフルオロブチリル）イミダゾールなどのイミダゾール化合物、アセチルメタンスルホナート、プロピオニルメタンスルホナート、ブチリルメタンスルホナート、イソブチリルメタンスルホナート、バレリルメタンスルホナート、イソバレリルメタンスルホナート、ピバロイルメタンスルホナート、フルオロアセチルメタンスルホナート、ジフルオロアセチルメタンスルホナート、トリフルオロアセチルメタンスルホナート、ペンタフルオロプロピオニルメタンスルホナート、ヘプタフルオロブチリルメタンスルホナートなどのメタンスルホン酸アシル、アセチルトリフラート、プロピオニルトリフラート、ブチリルトリフラート、イソブチリルトリフラート、バレリルトリフラート、イソバレリルトリフラート、ピバロイルトリフラート、フルオロアセチルトリフラート、ジフルオロアセチルトリフラート、トリフルオロアセチルトリフラート、ペンタフルオロプロピオニルトリフラート、ヘプタフルオロブチリルトリフラートなどのトリフルオロメタンスルホン酸アシル、アセチルｐ－トルエンスルホナート、プロピオニルｐ－トルエンスルホナート、ブチリルｐ－トルエンスルホナート、イソブチリルｐ－トルエンスルホナート、バレリルｐ－トルエンスルホナート、イソバレリルｐ－トルエンスルホナート、ピバロイルｐ－トルエンスルホナート、フルオロアセチルｐ－トルエンスルホナート、ジフルオロアセチルｐ－トルエンスルホナート、トリフルオロアセチルｐ－トルエンスルホナート、ペンタフルオロプロピオニルｐ－トルエンスルホナート、ヘプタフルオロブチリルｐ－トルエンスルホナートなどのｐ－トルエンスルホン酸アシルなどを挙げることが出来る。コバルト錯体（１Ａ）の収率が良い点で、カルボン酸ジアルキルアミドが好ましく、ＤＭＦ、１－アセチルピペリジン、１－（トリフルオロアセチル）ピペリジンが更に好ましい。

　本発明の製造方法１で用いるアシル化剤（９）は、市販品でも良く、日本化学会編、「実験化学講座１６有機化合物の合成ＩＶ」、第５版、丸善、平成１７年や、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１３４巻，６４０ページ（２０１２年）や、Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ，第４４巻，２２４９ページ（２０１２年）などに記載の方法に準じて製造した物でも良い。

　製造方法１は、コバルト錯体（１Ａ）の収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来、安価な点で、アルゴン又は窒素ガスが好ましい。

　製造方法１は、コバルト錯体（１Ａ）の収率が良い点で有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、１，３，５－トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２－ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。コバルト錯体（１Ａ）の収率が良い点で、有機溶媒としてはエーテルが好ましく、ＣＰＭＥ、ＭＴＢＥ、ジエチルエーテル又はＴＨＦが更に好ましく、ＴＨＦが殊更好ましい。

　次に製造方法１を実施するときのコバルト錯体（８）、アルキルリチウム、アルカリ金属アルコキシド、及びアシル化剤（９）のモル比に関して説明する。好ましくはコバルト錯体（８）１モルに対して、０．９～１．５モルのアルキルリチウムと０．９～１．５モルのアルカリ金属アルコキシドとを反応させた後、０．９～２．０モルのアシル化剤（９）を反応させることによって、収率良くコバルト錯体（１Ａ）を製造することが出来る。

　製造方法１の第１工程は、０℃以下の反応温度で実施することが好ましく、反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することが出来る。

　製造方法１の第２工程は、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによってコバルト錯体（１Ａ）を収率良く製造することが出来る。

　製造方法１によって製造したコバルト錯体（１Ａ）は、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　次に製造方法２，３について説明する。

　製造方法２，３で用いることができるコバルトセン（４）の例としては、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト、ビス（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト等が挙げられ、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト及びビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルトが好ましく、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト及びビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルトが更に好ましい。

　製造方法２，３で用いることが出来るコバルトセン（４）は、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１０２巻，１１９６ページ（１９８０年）、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ．Ｐｔ．Ａ，Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ａ１６巻，２４３ページ（１９８１年）等に記載の方法に従って製造することが出来る。具体的には、ナトリウムシクロペンタジエニドとカルボン酸エステルとの反応によりナトリウムアシルシクロペンタジエニドを調製し、該ナトリウムアシルシクロペンタジエニドと塩化コバルトとを反応させることにより、コバルトセン（４）を製造することが出来る。

　製造方法２，３では、コバルトセン（４）を精製することなく原料として用いることが出来、金属錯体の一般的な精製方法により精製したコバルトセン（４）を原料として用いることも出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　製造方法２で用いることが出来る共役鎖状ジエン（５）の例としては、ブタ－１，３－ジエン、２－メチルブタ－１，３－ジエン（イソプレン）、２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン、ペンタ－１，３－ジエン、ヘキサ－１，３－ジエン、ヘキサ－２，４－ジエン、ヘプタ－２，４－ジエンなどを挙げることが出来る。コバルト錯体（１ａ）の収率が良い点で、ブタ－１，３－ジエン、イソプレン、２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン、ペンタ－１，３－ジエンが好ましく、イソプレン、２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエンがとりわけ好ましい。

　製造方法２で用いることが出来るアルカリ金属の具体例としては、リチウム、ナトリウム、カリウムなどを挙げることが出来、価格が安く取り扱いが容易な点で、リチウム又はナトリウムが好ましい。

　製造方法２は、コバルト錯体（１ａ）の収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来、アルカリ金属の種類に応じて適宜選択して用いれば良い。例えばアルカリ金属がナトリウム又はカリウムの場合にはアルゴン又は窒素ガスが更に好ましく、リチウムの場合にはアルゴンが更に好ましい。

　製造方法２は、コバルト錯体（１ａ）の収率が良い点で有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、１，３，５－トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２－ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。コバルト錯体（１ａ）の収率が良い点で、有機溶媒としてはエーテルが好ましく、ＣＰＭＥ、ＭＴＢＥ、ジエチルエーテル又はＴＨＦが更に好ましく、ＴＨＦが殊更好ましい。

　次に製造方法２を実施するときのコバルトセン（４）、共役鎖状ジエン（５）及びアルカリ金属のモル比に関して説明する。好ましくはコバルトセン（４）１モルに対して０．９～５．０モルの共役鎖状ジエン（５）と、０．９～１．３モルのアルカリ金属を用いることによって、収率良くコバルト錯体（１ａ）を製造することが出来る。

　製造方法２では、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによってコバルト錯体（１ａ）を収率良く製造することが出来る。製造方法２によって製造したコバルト錯体（１ａ）は、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　製造方法２で用いることが出来る共役鎖状ジエン（５）は、Ｒｕｓｓｉａｎ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第８４巻，２６１ページ（２０１１年）、ＡＣＳ　Ｃａｔａｌｙｓｉｓ，第２巻，２１７３ページ（２０１２年）などに記載の方法に準じて合成することが出来る。また市販の共役鎖状ジエン（５）を製造方法２の原料として用いることも出来る。

　製造方法３で用いることが出来る共役環状ジエン（６）の例としては、シクロペンタ－１，３－ジエン、メチルシクロペンタ－１，３－ジエン、エチルシクロペンタ－１，３－ジエン、プロピルシクロペンタ－１，３－ジエン、イソプロピルシクロペンタ－１，３－ジエン、シクロプロピルシクロペンタ－１，３－ジエン、ブチルシクロペンタ－１，３－ジエン、イソブチルシクロペンタ－１，３－ジエン、ｓｅｃ－ブチルシクロペンタ－１，３－ジエン、ｔｅｒｔ－ブチルシクロペンタ－１，３－ジエン、１，２－ジメチルシクロペンタ－１，３－ジエン、１，３－ジメチルシクロペンタ－１，３－ジエン、シクロヘキサ－１，３－ジエン、５－メチルシクロヘキサ－１，３－ジエン、５，５－ジメチルシクロヘキサ－１，３－ジエン、５－エチル－５－メチル－シクロヘキサ－１，３－ジエン、１－イソプロピル－４－メチルシクロヘキサ－１，３－ジエン（α－テルピネン）、５－イソプロピル－２－メチルシクロヘキサ－１，３－ジエン（α－フェランドレン）、３－メチル－５，５－ジメチルシクロヘキサ－１，３－ジエン、シクロヘプタ－１，３－ジエン、６－メチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－エチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－プロピルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－イソプロピルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－ブチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－イソブチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－ｓｅｃ－ブチル－シクロヘプタ－１，３－ジエン、６－ｔｅｒｔ－ブチル－シクロヘプタ－１，３－ジエン、１，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、２，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、５，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、シクロオクタ－１，３－ジエン、１，６－ジメチルシクロオクタ－１，３－ジエン、２，６－ジメチルシクロオクタ－１，３－ジエンなどを挙げることが出来る。

　製造方法３で用いることが出来る非共役環状ジエン（７ａ）及び（７ｂ）の例としては、シクロヘキサ－１，４－ジエン、１－メチルシクロヘキサ－１，４－ジエン、１－イソプロピル－４－メチルシクロヘキサ－１，４－ジエン（γ－テルピネン）などを挙げることが出来る。コバルト錯体（１ｂ）の収率が良い点で、共役環状ジエン（６）を使用するのが好ましく、シクロヘキサ－１，３－ジエンが更に好ましい。

　製造方法３で用いることが出来るアルカリ金属の具体例としては、リチウム、ナトリウム、カリウムなどを挙げることが出来、価格が安く取り扱いが容易な点で、リチウム又はナトリウムが好ましい。

　製造方法３は、コバルト錯体（１ｂ）の収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来、アルカリ金属の種類に応じて適宜選択して用いれば良い。例えばアルカリ金属がナトリウム又はカリウムの場合にはアルゴン又は窒素ガスが更に好ましく、リチウムの場合にはアルゴンが更に好ましい。

　製造方法３は、コバルト錯体（１ｂ）の収率が良い点で有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、１，３，５－トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２－ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。コバルト錯体（１ｂ）の収率が良い点で、有機溶媒としてはエーテルが好ましく、ＣＰＭＥ、ＭＴＢＥ、ジエチルエーテル又はＴＨＦが更に好ましく、ＴＨＦが殊更好ましい。

　次に製造方法３を実施するときのコバルトセン（４）、共役環状ジエン（６）又は非共役環状ジエン（７ａ）、（７ｂ）、及びアルカリ金属のモル比に関して説明する。好ましくはコバルトセン（４）１モルに対して０．９～５．０モルの共役環状ジエン（６）又は非共役環状ジエン（７ａ）、（７ｂ）と、０．９～１．３モルのアルカリ金属を用いることによって、収率良くコバルト錯体（１ｂ）を製造することが出来る。

　製造方法３では、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによってコバルト錯体（１ｂ）を収率良く製造することが出来る。製造方法３によって製造したコバルト錯体（１ｂ）は、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　製造方法３で用いることが出来る共役環状ジエン（６）及び非共役環状ジエン（７ａ）、（７ｂ）は、ＡＣＳ　Ｃａｔａｌｙｓｉｓ，第２巻，２１７３ページ（２０１２年）、特開２００１－３１５９５号公報、Ｔｈｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第５５巻，１８５４ページ（１９９０年）、Ｔｈｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第５６巻，５１０１ページ（１９９１年）、Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ－Ａ　Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ｊｏｕｒｎａｌ，第１９巻，１０６７２ページ（２０１３年）、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第１３巻，１０２０ページ（１９９４年）などに記載の方法に準じて合成することが出来る。また市販の共役環状ジエン（６）や非共役環状ジエン（７ａ）、（７ｂ）を製造方法３の原料として用いることも出来る。

　次に、製造方法４について説明する。

　製造方法４は、コバルト錯体（１Ａ）と、トリフルオロメチルシラン（１０）とを反応させることによりコバルト錯体（１ｃ）を製造する方法である。

　製造方法４

（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表し、Ｒ^２は一般式（３）のＲ^２と同義を表す。Ｚはハロゲン原子を表す。）
　製造方法４で用いることができるコバルト錯体（１Ａ）の例としては、コバルト錯体（１ａ）及び（１ｂ）を挙げることが出来る。

　製造方法４で用いることができるトリフルオロメチルシラン（１０）の例としては、（トリフルオロメチル）トリメチルシラン、（トリフルオロメチル）トリエチルシラン、（トリフルオロメチル）トリプロピルシラン、（トリフルオロメチル）トリ（イソプロピル）シラン、（トリフルオロメチル）トリブチルシラン、ｔｅｒｔ－ブチルジメチル（トリフルオロメチル）シランなどを挙げることが出来る。トリフルオロメチルシラン（１０）の入手性及びコバルト錯体（１ｃ）の収率が良い点で、（トリフルオロメチル）トリメチルシラン、（トリフルオロメチル）トリエチルシラン、（トリフルオロメチル）トリプロピルシランが好ましく、（トリフルオロメチル）トリメチルシランが更に好ましい。

　本発明の製造方法４で用いるトリフルオロメチルシラン（１０）は、市販品でも良く、Ｓｃｉｅｎｃｅ，第３３８巻，１３２４ページ（２０１２年）などに記載の方法に準じて製造した物でも良い。

　製造方法４では、フッ化セシウム、テトラブチルアンモニウムフルオリド（ＴＢＡＦ）、テトラブチルアンモニウムジフルオロトリフェニルシリカート（ＴＢＡＴ）などを添加しても良い。

　製造方法４は、コバルト錯体（１ｃ）の収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来、安価な点で、アルゴン又は窒素ガスが好ましい。

　製造方法４は、コバルト錯体（１ｃ）の収率が良い点で有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、１，３，５－トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２－ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。コバルト錯体（１ｃ）の収率が良い点で、有機溶媒としてはエーテルが好ましく、ＣＰＭＥ、ＭＴＢＥ、ジエチルエーテル又はＴＨＦが更に好ましく、ＴＨＦが殊更好ましい。

　次に製造方法４を実施するときのコバルト錯体（１Ａ）、及びトリフルオロメチルシラン（１０）のモル比に関して説明する。好ましくはコバルト錯体（１Ａ）１モルに対して、１．０～３．０モルのトリフルオロメチルシラン（１０）を反応させることによって、収率良くコバルト錯体（１ｃ）を製造することが出来る。

　製造方法４は、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによってコバルト錯体（１ｃ）を収率良く製造することが出来る。

　製造方法４によって製造したコバルト錯体（１ｃ）は、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　次に錯体Ｂについて説明する。まず、一般式（１２）中のＲ^９、Ｒ^１０、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６の定義について説明する。

　Ｒ^９で表される炭素数１～６のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、１－エチルプロピル基、１－メチルブチル基、２－メチルブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、シクロペンチル基、シクロブチルメチル基、ヘキシル基、１－メチルペンチル基、２－メチルペンチル基、３－メチルペンチル基、４－メチルペンチル基、１，１－ジメチルブチル基、１，２－ジメチルブチル基、１，３－ジメチルブチル基、２，２－ジメチルブチル基、２，３－ジメチルブチル基、３，３－ジメチルブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、１－シクロブチルエチル基、２－シクロブチルエチル基などを例示することが出来る。

　錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^９は炭素数１～４のアルキル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基又はイソブチル基であることが更に好ましく、メチル基、プロピル基又はイソブチル基であることが殊更好ましい。

　Ｒ^１０で表される炭素数１～６のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、１－エチルプロピル基、１－メチルブチル基、２－メチルブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、シクロペンチル基、シクロブチルメチル基、ヘキシル基、１－メチルペンチル基、２－メチルペンチル基、３－メチルペンチル基、４－メチルペンチル基、１，１－ジメチルブチル基、１，２－ジメチルブチル基、１，３－ジメチルブチル基、２，２－ジメチルブチル基、２，３－ジメチルブチル基、３，３－ジメチルブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、１－シクロブチルエチル基、２－シクロブチルエチル基などを例示することが出来る。

　Ｒ^１０で表される炭素数１～６のアルキル基は、ジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていてもよい。該ジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基としては、ジメチルアミノ基、エチル（メチル）アミノ基、ジエチルアミノ基、プロピル（メチル）アミノ基、イソプロピル（メチル）アミノ基、エチル（プロピル）アミノ基、エチル（イソプロピル）アミノ基、ジプロピルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基などを例示することが出来る。更に具体的なジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されている炭素数１～６のアルキル基の例としては、（ジメチルアミノ）メチル基、［エチル（メチル）アミノ］メチル基、（ジエチルアミノ）メチル基、［メチル（プロピル）アミノ］メチル基、［メチル（イソプロピル）アミノ］メチル基、［エチル（プロピル）アミノ］メチル基、［エチル（イソプロピル）アミノ］メチル基、（ジプロピルアミノ）メチル基、（ジイソプロピルアミノ）メチル基、２－（ジメチルアミノ）エチル基、２－［エチル（メチル）アミノ］エチル基、２－（ジエチルアミノ）エチル基、２－［メチル（プロピル）アミノ］エチル基、２－［メチル（イソプロピル）アミノ］エチル基、２－［エチル（プロピル）アミノ］エチル基、２－［エチル（イソプロピル）アミノ］エチル基、２－（ジプロピルアミノ）エチル基、２－（ジイソプロピルアミノ）エチル基、３－（ジメチルアミノ）プロピル基、３－［エチル（メチル）アミノ］プロピル基、３－（ジエチルアミノ）プロピル基、３－［メチル（プロピル）アミノ］プロピル基、３－［メチル（イソプロピル）アミノ］プロピル基、３－［エチル（プロピル）アミノ］プロピル基、３－［エチル（イソプロピル）アミノ］プロピル基、３－（ジプロピルアミノ）プロピル基、３－（ジイソプロピルアミノ）プロピル基などを挙げることが出来る。錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、ジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されている炭素数１～６のアルキル基としては、２－（ジメチルアミノ）エチル基、２－（ジエチルアミノ）エチル基、２－（ジプロピルアミノ）エチル基、２－（ジイソプロピルアミノ）エチル基、３－（ジメチルアミノ）プロピル基、３－（ジエチルアミノ）プロピル基、３－（ジプロピルアミノ）プロピル基又は３－（ジイソプロピルアミノ）プロピル基が好ましく、２－（ジメチルアミノ）エチル基、２－（ジエチルアミノ）エチル基、２－（ジプロピルアミノ）エチル基又は２－（ジイソプロピルアミノ）エチル基が更に好ましく、２－（ジメチルアミノ）エチル基が殊更好ましい。

　錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１０は炭素数１～４のアルキル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基又はｓｅｃ－ブチル基が更に好ましく、プロピル基、イソプロピル基又はｓｅｃ－ブチル基であることが殊更好ましい。

　Ｒ^１１及びＲ^１２が一体となって形成する炭素数２～４のアルキレン基としては、直鎖状及び分岐状のいずれでも良く、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基などを例示することが出来る。

　錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１１及びＲ^１２は水素原子であるか又は一体となってエチレン基、トリメチレン基若しくはテトラメチレン基を形成する基が好ましく、水素原子であるか又は一体となってエチレン基を形成する基が更に好ましく、水素原子であることが殊更好ましい。

　Ｒ^１３及びＲ^１６で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。

　錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１３及びＲ^１６は各々独立に水素原子又は炭素数１～３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることが更に好ましく、水素原子であることが殊更好ましい。

　Ｒ^１４及びＲ^１５で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。

　錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１４及びＲ^１５は各々独立に水素原子又は炭素数１～３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることが更に好ましい。

　錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１３及びＲ^１６が水素原子であり、Ｒ^１４及びＲ^１５が水素原子又はメチル基であることが好ましい。

　錯体Ｂの具体例としては、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－７）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－８）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１３）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１４）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１５）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１６）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１７）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１８）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１９）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２０）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２１）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２２）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２３）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２４）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２５）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２６）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２７）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－２８）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２９）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３０）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３１）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３２）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３３）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３４）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３５）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３６）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３７）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３８）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３９）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４０）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４１）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４２）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４３）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４４）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４５）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４６）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４７）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４８）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４９）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５０）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５１）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５２）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５３）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５４）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５５）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５６）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５７）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５８）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５９）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６０）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６１）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６２）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６３）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６４）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６５）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６６）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバ
ルト（１２ａ－６７）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６８）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－６９）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－７０）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７１）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７２）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７３）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７４）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７５）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７６）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７７）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７８）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－７９）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－８０）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－８１）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－８２）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－８３）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－８４）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－８５）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－８６）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－８７）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－８８）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－８９）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９０）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９１）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９２）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９３）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９４）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９５）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９６）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９７）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９８）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－９９）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１００）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０１）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０２）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０３）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０４）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０５）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０６）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０７）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０８）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１０９）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１０）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１１）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１２）、（η^５－（１－（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１３）、（η^５－（１－（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１４）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１５）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１６）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１７）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１８）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１１９）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２０）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２１）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２２）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２３）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２４）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２５）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１２６）、（η^５－（１－（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１２７）、（η^５－（１－（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１２８）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１２９）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１３０）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１３１）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１３２）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（
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η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１２ａ－１９６）、（η^５－（（１－メチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１９７）、（η^５－（（１－エチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１９８）、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１９９）、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２００）、（η^５－（（１－シクロプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０１）、（η^５－（（１－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０２）、（η^５－（（１－イソブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０３）、（η^５－（（１－ｓｅｃ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０４）、（η^５－（（１－ｔｅｒｔ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０５）、（η^５－（（１－シクロブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０６）、（η^５－（｛１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０７）、（η^５－（｛１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０８）、（η^５－（｛１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２０９）、（η^５－（｛１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１０）、（η^５－（（１－メチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１１）、（η^５－（（１－エチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１２）、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１３）、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１４）、（η^５－（（１－シクロプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１５）、（η^５－（（１－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１６）、（η^５－（（１－イソブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１７）、（η^５－（（１－ｓｅｃ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１８）、（η^５－（（１－ｔｅｒｔ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２１９）、（η^５－（（１－シクロブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２２０）、（η^５－（｛１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２２１）、（η^５－（｛１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２２２）、（η^５－（｛１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２２３）、（η^５－（｛１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２２４）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１７）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１８）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１９）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２０）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２１）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２２）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２３）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２４）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２５）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２６）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２７）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２８）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－２９）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３０）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３１）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３２）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３３）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３４）、（η^５－（１－
（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３５）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３６）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３７）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３８）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３９）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４０）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４１）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４２）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４３）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４４）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４５）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４６）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４７）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４８）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４９）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５０）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５１）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５２）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５３）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５４）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５５）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５６）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５７）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５８）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－５９）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６０）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６１）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６２）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６３）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６４）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６５）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６６）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６７）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６８）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－６９）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７０）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７１）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７２）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７３）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７４）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７５）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７６）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７７）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７８）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－７９）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８０）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８１）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８２）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８３）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８４）、（η^５－（１－（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８５）、（η^５－（１－（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８６）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８７）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８８）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－８９）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９０）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９１）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９２）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９３）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９４）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９５）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９６）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９７）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９８）、（η^５－（１－（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－９９）、（η^５－（１－（エ
チルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１００）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０１）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０２）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０３）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０４）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０５）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０６）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０７）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０８）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１０９）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１０）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１１）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１２）、（η^５－（１－（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１３）、（η^５－（１－（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１４）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１５）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１６）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１７）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１８）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１９）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２０）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２１）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２２）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２３）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２４）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２５）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２６）、（η^５－（（１－メチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２７）、（η^５－（（１－エチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２８）、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１２９）、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３０）、（η^５－（（１－シクロプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３１）、（η^５－（（１－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３２）、（η^５－（（１－イソブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３３）、（η^５－（（１－ｓｅｃ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３４）、（η^５－（（１－ｔｅｒｔ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３５）、（η^５－（（１－シクロブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３６）、（η^５－（｛１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３７）、（η^５－（｛１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３８）、（η^５－（｛１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１３９）、（η^５－（｛１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４０）、（η^５－（（１－メチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４１）、（η^５－（（１－エチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４２）、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４３）、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４４）、（η^５－（（１－シクロプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４５）、（η^５－（（１－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４６）、（η^５－（（１－イソブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４７）、（η^５－（（１－ｓｅｃ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４８）、（η^５－（（１－ｔｅｒｔ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１４９）、（η^５－（（１－シクロブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５０）、（η^５－（｛１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５１）、（η^５－（｛１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５２）、（η^５－（｛１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５３）、（η^５－（｛１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５４）、（η^５－（（１－メチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５５）、（η^５－（（１－エチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５６）、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５７）、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５８）、（η^５－（（１－シクロプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１５９）、（η^５－（（１－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６０）、（η^５－（（１－イソブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６１）、（η^５－（（１－ｓｅｃ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペン
タジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６２）、（η^５－（（１－ｔｅｒｔ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６３）、（η^５－（（１－シクロブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６４）、（η^５－（｛１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６５）、（η^５－（｛１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６６）、（η^５－（｛１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６７）、（η^５－（｛１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１６８）、（η^５－（１－（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１）、（η^５－（１－（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－６）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－７）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－８）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－９）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１０）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１１）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１２）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１３）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１４）、（η^５－（１－（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１５）、（η^５－（１－（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１６）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１７）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１８）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－１９）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２０）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２１）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２２）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２３）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２４）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２５）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２６）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２７）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２８）、（η^５－（１－（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－２９）、（η^５－（１－（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３０）、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３１）、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３２）、（η^５－（１－（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３３）、（η^５－（１－（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３４）、（η^５－（１－（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３５）、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３６）、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３７）、（η^５－（１－（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３８）、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３９）、（η^５－（１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４０）、（η^５－（１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４１）、（η^５－（１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４２）、（η^５－（（１－メチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４３）、（η^５－（（１－エチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４４）、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４５）、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４６）、（η^５－（（１－シクロプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４７）、（η^５－（（１－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４８）、（η^５－（（１－イソブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４９）、（η^５－（（１－ｓｅｃ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５０）、（η^５－（（１－ｔｅｒｔ－ブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５１）、（η^５－（（１－シクロブチルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５２）、（η^５－（｛１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５３）、（η^５－（｛１－［２－（ジエチルアミノ）エチルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５４）、（η^５－（｛１－［３－（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５５）、（η^５－（｛１－［３－（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］－３－メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－５６）などを例示することができる。錯体ＢがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、（１２ａ－２９）～（１２ａ－４０）、（１２ａ－４３）～（
１２ａ－５４）、（１２ａ－８５）～（１２ａ－９６）、（１２ａ－９９）～（１２ａ－１１０）、（１２ａ－１４１）～（１２ａ－１５２）、（１２ａ－１５５）～（１２ａ－１６６）、（１２ａ－１９７）～（１２ａ－２０８）、（１２ａ－２１１）～（１２ａ－２２２）、（１２ｂ－１）～（１２ｂ－１２）、（１２ｂ－４３）～（１２ｂ－５４）、（１２ｂ－８５）～（１２ｂ－９６）、（１２ｂ－１２７）～（１２ｂ－１３８）、（１２ｃ－１）～（１２ｃ－１２）、（１２ｃ－１５）～（１２ｃ－２６）、（１２ｃ－２９）～（１２ｃ－４０）及び（１２ｃ－４３）～（１２ｃ－５４）が好ましく、（１２ａ－２９）～（１２ａ－３６）、（１２ａ－４３）～（１２ａ－５０）、（１２ａ－１４１）～（１２ａ－１４８）、（１２ａ－１５５）～（１２ａ－１６２）、（１２ａ－１９７）～（１２ａ－２０４）、（１２ａ－２１１）～（１２ａ－２１８）、（１２ｂ－１）～（１２ｂ－８）、（１２ｂ－８５）～（１２ｂ－９２）、（１２ｂ－１２７）～（１２ｂ－１３４）、（１２ｃ－１）～（１２ｃ－８）、（１２ｃ－２９）～（１２ｃ－３６）及び（１２ｃ－４３）～（１２ｃ－５０）が更に好ましく、（１２ａ－３１）、（１２ａ－３２）、（１２ａ－３６）、（１２ａ－４５）、（１２ａ－４６）、（１２ｂ－３）、（１２ｂ－４）、（１２ｃ－３）及び（１２ｃ－４）が殊更好ましい。

　錯体Ｂは立体配座異性体、立体配置異性体等の立体異性体の混合物でも良い。

　次に、錯体Ｂの製造方法について説明する。錯体Ｂは、以下の製造方法５に従って製造することが出来る。

　製造方法５は、ジエン錯体（１３）とアルキルアミン（１４）とを、ルイス酸存在下で反応させることにより、一般式（１２）で示される錯体Ｂを製造する方法である。

　製造方法５

（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^９は炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１０はジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１１及びＲ^１２は水素原子、又は一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^１３～Ｒ^１６は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。）
　製造方法５で用いることができるジエン錯体（１３）の例としては、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－１）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１３ａ－２）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－３）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－４）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－５）、［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－６）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－７）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－８）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－９）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１３ａ－１０）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－１１）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－１２）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－１３）、（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１３ａ－１４）、（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－１５）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－１６）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－１７）、［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－１８）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－１９）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－２０）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－２１）、（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１３ａ－２２）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－２３）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－２４）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ａ－２５）、［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］コバルト（１３ａ－２６）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ａ－２７）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ａ－２８）、（η^４－ブタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－２９）、［（１－４－η）－ペンタ－１，３－ジエン］（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－３０）、（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－３１）、（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ａ－３２）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－１）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－２）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－３）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－４）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－５）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－６）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－７）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－８）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－９）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１０）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１１）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１２）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１３）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１４）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１５）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１６）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１７）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－１８）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ｂ－１９）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ｂ－２０）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ｂ－２１）、（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－２２）、（η^４－シクロヘプタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－２３）、（η^４－シクロオクタ－１，３－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｂ－２４）、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１３ｃ－１）、（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｃ－２）、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１３ｃ－３）、（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｃ－４）、（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｃ－５）、（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｃ－６）、（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（１３ｃ－７）、（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（１３ｃ－８）などを例示することができる。収率が良い点で、（１３ａ－１）～（１３ａ－１２）、（１３ａ－１７）～（１３ａ－２４）、（１３ｂ－１）、（１３ｂ－４）、（１３ｂ－７）、（１３ｂ－１３）、（１３ｂ－１６）、（１３ｃ－１）、（１３ｃ－２）、（１３ｃ－３）、（１３ｃ－５）及び（１３ｃ－６）が好ましく、（１３ａ－３）、（１３ａ－４）、（１３ａ－１１）、（１３ａ－１２）、（１３ａ－２３）、（１３ａ－２４）、（１３ｂ－１）及び（１３ｃ－１）が更に好ましい。

　製造方法５で用いることが出来るジエン錯体（１３）は、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第６巻，１１９１ページ（１９８７年）、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第１７巻，２７５ページ（１９９８年）及び本発明の参考例５～１１などに記載の方法に準じて製造することが出来る。また、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１０２巻，１１９６ページ（１９８０年）、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ．Ｐｔ．Ａ，Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ａ１６巻，２４３ページ（１９８１年）などに記載の方法に従って製造したビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトとジエンとを、アルカリ金属存在下で反応させる製造方法６により、ジエン錯体（１３）を製造することも出来る。

　製造方法６で用いることができるビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトの例としては、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス［η^５－（３－メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト、ビス（η^５－ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト等が挙げられ、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－バレリルシクロペンタジエニル）コバルト及びビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルトが好ましく、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト及びビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルトが更に好ましい。

　製造方法６で用いることが出来るビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトは、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１０２巻，１１９６ページ（１９８０年）、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ．Ｐｔ．Ａ，Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ａ１６巻，２４３ページ（１９８１年）、本発明の参考例１，２等に記載の方法に従って製造することが出来る。具体的には、ナトリウムシクロペンタジエニドとカルボン酸エステルとの反応によりナトリウム（アルキルカルボニル）シクロペンタジエニドを調製し、該ナトリウム（アルキルカルボニル）シクロペンタジエニドと塩化コバルトとを反応させることにより、ビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトを製造することが出来る。

　製造方法６で用いることが出来るジエンの例としては、ブタ－１，３－ジエン、２－メチルブタ－１，３－ジエン（イソプレン）、２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン、ペンタ－１，３－ジエン、ヘキサ－１，３－ジエン、ヘキサ－２，４－ジエン、ヘプタ－２，４－ジエン、シクロヘキサ－１，３－ジエン、５－メチルシクロヘキサ－１，３－ジエン、５，５－ジメチルシクロヘキサ－１，３－ジエン、５－エチル－５－メチル－シクロヘキサ－１，３－ジエン、１－イソプロピル－４－メチルシクロヘキサ－１，３－ジエン（α－テルピネン）、５－イソプロピル－２－メチルシクロヘキサ－１，３－ジエン（α－フェランドレン）、３－メチル－５，５－ジメチルシクロヘキサ－１，３－ジエン、シクロヘプタ－１，３－ジエン、６－メチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－エチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－プロピルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－イソプロピルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－ブチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－イソブチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６－ｓｅｃ－ブチル－シクロヘプタ－１，３－ジエン、６－ｔｅｒｔ－ブチル－シクロヘプタ－１，３－ジエン、１，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、２，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、５，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、６，６－ジメチルシクロヘプタ－１，３－ジエン、シクロオクタ－１，３－ジエン、１，６－ジメチルシクロオクタ－１，３－ジエン、２，６－ジメチルシクロオクタ－１，３－ジエン、シクロヘキサ－１，４－ジエン、１－メチルシクロヘキサ－１，４－ジエン、１－イソプロピル－４－メチルシクロヘキサ－１，４－ジエン（γ－テルピネン）、１，５－シクロオクタジエン、１－メチル－１，５－シクロオクタジエン、１，２－ジメチル－１，５－シクロオクタジエン、１，４－ジメチル－１，５－シクロオクタジエン、１，５－ジメチル－１，５－シクロオクタジエン、２，４－ジメチル－１，５－シクロオクタジエン、１，６－ジメチル－１，５－シクロオクタジエン、３，７－ジメチル－１，５－シクロオクタジエンなどを挙げることが出来る。ジエン錯体（１３）の収率が良い点で、ブタ－１，３－ジエン、イソプレン、２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン、ペンタ－１，３－ジエン、シクロヘキサ－１，３－ジエン、シクロオクタ－１，５－ジエンが好ましく、イソプレン、２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン、シクロヘキサ－１，３－ジエン、シクロオクタ－１，５－ジエンがとりわけ好ましい。

　製造方法６で用いることが出来るジエンは、ＡＣＳ　Ｃａｔａｌｙｓｉｓ，第２巻，２１７３ページ（２０１２年）、特開２００１－３１５９５号公報、Ｔｈｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第５５巻，１８５４ページ（１９９０年）、Ｔｈｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，第５６巻，５１０１ページ（１９９１年）、Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ－Ａ　Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ｊｏｕｒｎａｌ，第１９巻，１０６７２ページ（２０１３年）、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第１３巻，１０２０ページ（１９９４年）、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１１６巻，２８８９ページ（１９９４年）、Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｅｓ，第７７巻，９２７ページ（２００９年）、特開平１１－２０９３１４号公報などに記載の方法に準じて合成することが出来る。また市販のジエンを製造方法６の原料として用いることも出来る。

　製造方法５では、ジエン錯体（１３）を精製することなく原料として用いることが出来、金属錯体の一般的な精製方法により精製したジエン錯体（１３）を原料として用いることも出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　製造方法５で用いることが出来るアルキルアミン（１４）の例としては、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、シクロプロピルアミン、ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ－ブチルアミン、ｔｅｒｔ－ブチルアミン、シクロブチルアミン、ペンチルアミン、１－メチルブチルアミン、２－メチルブチルアミン、イソペンチルアミン、ネオペンチルアミン、ｔｅｒｔ－ペンチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロブチルメチルアミン、ヘキシルアミン、１－メチルペンチルアミン、２－メチルペンチルアミン、３－メチルペンチルアミン、４－メチルペンチルアミン、１，１－ジメチルブチルアミン、１，２－ジメチルブチルアミン、１，３－ジメチルブチルアミン、２，２－ジメチルブチルアミン、２，３－ジメチルブチルアミン、３，３－ジメチルブチルアミン、シクロヘキシルアミン、シクロペンチルメチルアミン、１－シクロブチルエチルアミン、２－シクロブチルエチルアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン、Ｎ－エチル－Ｎ－メチルエチレンジアミン、Ｎ－メチル－Ｎ－プロピルエチレンジアミン、Ｎ－メチル－Ｎ－イソプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエチレンジアミン、Ｎ－エチル－Ｎ－プロピルエチレンジアミン、Ｎ－エチル－Ｎ－イソプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ－エチル－Ｎ－メチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ－メチル－Ｎ－プロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ－メチル－Ｎ－イソプロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ－エチル－Ｎ－プロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ－エチル－Ｎ－イソプロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，３－プロパンジアミンなどを挙げることが出来る。錯体Ｂの収率が良い点で、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ－ブチルアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエチレンジアミンが好ましく、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｓｅｃ－ブチルアミンがとりわけ好ましい。

　製造方法５で用いることが出来るルイス酸の例としては、塩化亜鉛、臭化亜鉛、酢酸亜鉛等の亜鉛化合物、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、塩化ジエチルアルミニウム等のアルミニウム化合物、三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、三臭化ホウ素、三ヨウ化ホウ素等の三ハロゲン化ホウ素、四塩化チタン、四臭化チタン等のチタン化合物、塩化ジルコニウム、臭化ジルコニウム等のジルコニウム化合物、四塩化スズ、三塩化スズ等のスズ化合物、フッ化ガリウム、塩化ガリウム、臭化ガリウム、ヨウ化ガリウム等のハロゲン化ガリウム、塩化鉄、臭化鉄等のハロゲン化鉄などを挙げることが出来る。錯体Ｂの収率が良い点で、ルイス酸としては三ハロゲン化ホウ素が好ましく、三フッ化ホウ素が更に好ましい。該ルイス酸はジメチルエーテルやジエチルエーテルなどのエーテルと錯体を形成していても良い。錯体を形成しているルイス酸の例としては、三フッ化ホウ素ジメチルエーテル錯体、三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体などを挙げることが出来る。

　製造方法５は、錯体Ｂの収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来、安価な点で、アルゴン又は窒素ガスが好ましい。

　製造方法５は、錯体Ｂの収率が良い点で有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な有機溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、１，３，５－トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２－ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。錯体Ｂの収率が良い点で、有機溶媒としては脂肪族炭化水素が好ましく、ヘキサンが更に好ましい。

　次に製造方法５を実施するときのジエン錯体（１３）、アルキルアミン（１４）及びルイス酸のモル比に関して説明する。好ましくはジエン錯体（１３）１モルに対して０．８～７．０モルのアルキルアミン（１４）と、０．８～７．０モルのルイス酸を用いることによって、収率良く錯体Ｂを製造することが出来る。

　製造方法５では、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによって錯体Ｂを収率良く製造することが出来る。製造方法５によって製造した錯体Ｂは、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを例示することが出来る。

　製造方法５で用いることが出来るアルキルアミン（１４）は、日本化学会編、「実験化学講座１４　有機化合物の合成ＩＩ－アルコール・アミン－」、第５版、丸善、平成１７年などに記載の方法に準じて製造することが出来る。また市販のアルキルアミン（１４）を製造方法５の原料として用いることも出来る。

　最後に錯体Ｃに説明する。まず、一般式（１５）中のＲ^１７、Ｒ^１８、Ｒ^１９、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２の定義について説明する。

　Ｒ^１７、Ｒ^１８及びＲ^２２で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。

　錯体ＣがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１７及びＲ^１８は各々独立に水素原子又は炭素数１～３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることが更に好ましい。錯体ＣがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^２２は水素原子、炭素数１～３のアルキル基であることが好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基であることが更に好ましく、メチル基であることが殊更好ましい。

　Ｒ^１９及びＲ^２０が互いに一体となって形成する炭素数１～４のアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基などを例示することが出来る。

　錯体ＣがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１９及びＲ^２０は水素原子であるか、又は互いに一体となってメチレン基、エチレン基、トリメチレン基若しくはテトラメチレン基を形成するのが好ましく、水素原子であるか又は互いに一体となってエチレン基を形成するのが更に好ましく、水素原子であることがとりわけ好ましい。

　Ｒ^２１で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状、分岐状及び環状のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。錯体ＣがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^２１は炭素数１～３の直鎖状アルキル基であることが好ましく、メチル基であることが殊更好ましい。

　Ｒ^２１とＲ^２２が結合しているアルケニル基の立体配置はＥ体、Ｚ体のいずれでもよく、またＥ体、Ｚ体の混合物でもよい。

　錯体Ｃの具体例としては、

などを例示することが出来る。錯体ＣがＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、（１５－２）、（１５－３）、（１５－５）、（１５－７）、（１５－８）、（１５－１０）、（１５－１７）、（１５－１８）、（１５－２０）、（１５－２２）、（１５－２３）、（１５－２５）、（１５－３２）、（１５－３３）、（１５－３５）、（１５－３７）、（１５－３８）、及び（１５－４０）が好ましく、（１５－２）、（１５－３）、（１５－７）、（１５－８）、（１５－１７）、（１５－１８）、（１５－２２）、（１５－２３）、（１５－３２）、（１５－３３）、（１５－３７）、及び（１５－３８）が更に好ましく、液体であり取り扱いが容易な点で（１５－１７）、（１５－１８）、（１５－２２）及び（１５－２３）がとりわけ好ましい。

　次に、錯体Ｃの製造方法について説明する。錯体Ｃは、以下の製造方法７に従って製造することが出来る。

　製造方法７は、アシルシクロペンタジエニルコバルト錯体（１６）と、ホスホラン（１７）を反応させることにより、一般式（１５）で示される錯体Ｃを製造する方法である。
製造方法７

（式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８及びＲ^２２は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^１９及びＲ^２０は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^２１は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｑは各々独立にメチル基で置換されていても良いフェニル基を表す。）
　製造方法７は、錯体Ｃの収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来る。安価な点で、窒素ガス又はアルゴンが好ましい。

　製造方法７は、錯体Ｃの収率が良い点で、有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、１，３，５－トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２－ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。錯体Ｃの収率が良い点で、有機溶媒としてはエーテルが好ましく、ＣＰＭＥ、ＭＴＢＥ、ジエチルエーテル又はＴＨＦが更に好ましい。

　次に製造方法７を実施するときのアシルシクロペンタジエニルコバルト錯体（１６）及びホスホラン（１７）のモル比に関して説明する。好ましくはアシルシクロペンタジエニルコバルト錯体（１６）１モルに対して０．８～２．０モルのホスホラン（１７）を用いることによって、収率良く錯体Ｃを製造することが出来る。

　製造方法７では、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、－８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによって錯体Ｃを収率良く製造することが出来る。製造方法７によって製造した錯体Ｃは、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

　製造方法７で用いることができるアシルシクロペンタジエニルコバルト錯体（１６）の例としては、

などを例示することが出来る。錯体Ｃの収率が良い点で（１６－２）、（１６－３）、（１６－７）、（１６－８）、（１６－１２）、及び（１６－１３）が好ましく、（１６－２）、（１６－３）、（１６－７）及び（１６－８）が更に好ましい。

　製造方法７で用いることが出来るアシルシクロペンタジエニルコバルト錯体（１６）は、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第６巻，１１９１ページ（１９８８年）などに記載の方法に従って製造することが出来る。具体的には、コバルトセンとジエンをアルカリ金属存在下、反応させることにより、コバルト錯体（１６）を製造することが出来る。

　次に一般式（１７）中のＱの定義について詳しく説明する。Ｑで表されるメチル基で置換されていても良いフェニル基としては、無置換フェニル基、トリル基、キシリル基などを例示することが出来る。安価である点で無置換フェニル基が好ましい。

　製造方法７で用いることができるホスホラン（１７）の例としては、メチリデントリフェニルホスホラン、エチリデントリフェニルホスホラン、プロピリデントリフェニルホスホラン、ブチリデントリフェニルホスホラン、（２－メチルプロピリデン）トリフェニルホスホラン、ペンチリデントリフェニルホスホラン、（２－メチルブチリデン）トリフェニルホスホラン、（３－メチルブチリデン）トリフェニルホスホラン、（２，２－ジメチルプロピリデン）トリフェニルホスホランなどを挙げることが出来る。錯体Ｃの収率が良い点でメチリデントリフェニルホスホラン、エチリデントリフェニルホスホラン及びプロピリデントリフェニルホスホランが好ましく、エチリデントリフェニルホスホランが更に好ましい。

　製造方法７で用いることが出来るホスホラン（１７）は、日本化学会編、「実験化学講座１９有機合成Ｉ」、第４版、丸善、１９９２年や、日本化学会編、「実験化学講座２４有機合成ＶＩ」、第４版、丸善、１９９２年などに記載の方法に従って製造することが出来る。例えば、ホスホニウム塩（１８）と塩基とを反応させる製造方法８により製造することが出来る。
製造方法８

（式中、Ｒ^２２は、一般式（１５）のＲ^２２と同義を表す。Ｑは各々独立にメチル基で置換されていても良いフェニル基を表す。Ｔはハロゲン原子を表す。）
　一般式（１８）中のＴの定義について詳しく説明する。Ｔで表されるハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などを例示することが出来る。ホスホラン（１７）の製造が容易である点で、Ｔは臭素原子、又はヨウ素原子であることが好ましい。Ｑで表されるメチル基で置換されていても良いフェニル基としては、無置換フェニル基、トリル基、キシリル基などを例示することが出来る。安価である点で無置換フェニル基が好ましい。

　製造方法８で用いることが出来るホスホニウム塩（１８）の具体例としては、メチルトリフェニルホスホニウムクロリド、メチルトリフェニルホスホニウムブロミド、メチルトリフェニルホスホニウムヨージド、エチルトリフェニルホスホニウムクロリド、エチルトリフェニルホスホニウムブロミド、エチルトリフェニルホスホニウムヨージド、プロピルトリフェニルホスホニウムクロリド、プロピルトリフェニルホスホニウムブロミド、プロピルトリフェニルホスホニウムヨージド、ブチルトリフェニルホスホニウムクロリド、ブチルトリフェニルホスホニウムブロミド、ブチルトリフェニルホスホニウムヨージド、イソブチルトリフェニルホスホニウムクロリド、イソブチルトリフェニルホスホニウムブロミド、イソブチルトリフェニルホスホニウムヨージド、ペンチルトリフェニルホスホニウムクロリド、ペンチルトリフェニルホスホニウムブロミド、ペンチルトリフェニルホスホニウムヨージド、ネオペンチルトリフェニルホスホニウムクロリド、ネオペンチルトリフェニルホスホニウムブロミド、ネオペンチルトリフェニルホスホニウムヨージドなどを挙げることが出来る。ホスホラン（１７）の収率が良い点でメチルトリフェニルホスホニウムブロミド、エチルトリフェニルホスホニウムブロミド又はプロピルトリフェニルホスホニウムブロミドが好ましく、エチルトリフェニルホスホニウムブロミドが更に好ましい。

　製造方法８で用いることが出来るホスホニウム塩（１８）は、市販品でも良く、日本化学会編、「実験化学講座１９有機合成Ｉ」、第４版、丸善、１９９２年や、日本化学会編、「実験化学講座２４有機合成ＶＩ」、第４版、丸善、１９９２年などに記載の方法に準じて合成した物でも良い。

　製造方法８で用いることが出来る塩基の例としては、メチルリチウム、エチルリチウム、プロピルリチウム、ブチルリチウムなどのアルキルリチウム、リチウムジメチルアミド、リチウムジエチルアミド、リチウムジイソプロピルアミド、リチウムヘキサメチルジシラジド、ナトリウムヘキサメチルジシラジド、カリウムヘキサメチルジシラジドなどのアルカリ金属アミド、水素化リチウム、水素化ナトリウム、水素化カリウムなどのアルカリ金属水素化物、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウムなどのアルカリ金属炭酸塩、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物、リチウムメトキシド、リチウムエトキシド、リチウムプロポキシド、リチウムイソプロポキシド、リチウムブトキシド、リチウム－ｔｅｒｔ－ブトキシド、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、ナトリウムプロポキシド、ナトリウムイソプロポキシド、ナトリウムブトキシド、ナトリウム－ｔｅｒｔ－ブトキシド、カリウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムプロポキシド、カリウムイソプロポキシド、カリウムブトキシド、カリウムｔｅｒｔ－ブトキシドなどのアルカリ金属アルコキシドを例示することが出来、ホスホラン（１７）の収率が良い点で、ブチルリチウム又はリチウムジイソプロピルアミドが好ましい。これらの塩基は一種を単独で使用してもよく、二種以上を任意の比率で同時に使用してもよい。

　製造方法８で製造したホスホラン（１７）は、精製せずに製造方法（７）の原料として供しても良い。製造方法８と製造方法７を連続して実施することが出来、ワンポットで実施することも出来る。

　錯体Ｃの収率が良い点で、製造方法８と製造方法７をワンポットで実施するのが好ましい。

　次に、錯体Ａ、Ｂ又はＣを分解し、基板上にコバルト含有薄膜を作製することを特徴とする、コバルト含有薄膜の作製方法について詳細に説明する。

　コバルト含有薄膜を作製するときの成膜条件としては、当業者が金属含有薄膜を作製するのに用いる通常の技術手段を例示することが出来る。具体的には、化学反応に基づく気相蒸着法、並びにディップコート法、スピンコート法又はインクジェット法などの溶液法などを例示することが出来る。本明細書中では、化学反応に基づく気相蒸着法とは、錯体Ａ、Ｂ又はＣを気化させ、基板上で分解することによりコバルト含有薄膜を作製する方法であり、具体的には熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法などのＣＶＤ法や、ＡＬＤ法などを含む。三次元化された構造を持つ基板の表面にも均一にコバルト含有薄膜を形成しやすい点で、化学反応に基づく気相蒸着法が好ましく、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法が更に好ましい。ＣＶＤ法は成膜速度が良好な点でとりわけ好ましく、またＡＬＤ法は段差被覆性が良好な点でとりわけ好ましい。例えばＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製する場合、錯体Ａ、Ｂ又はＣを気化させて反応チャンバーに供給し、反応チャンバー内に備え付けた基板上で錯体Ａ、Ｂ又はＣを分解することにより、該基板上にコバルト含有薄膜を作製することが出来る。錯体Ａ、Ｂ又はＣを分解する方法としては、当業者が金属含有薄膜を作製するのに用いる通常の技術手段を挙げることが出来る。具体的には錯体Ａ、Ｂ又はＣと反応ガスとを反応させる方法や、錯体Ａ、Ｂ又はＣに熱、プラズマ、光などを作用させる方法などを例示することが出来る。

　反応ガスを用いる場合、用いることが出来る反応ガスとしては、還元性ガスや酸化性ガスを例示することが出来る。該反応ガスとしては、金属や金属窒化物等の酸化されやすい材料からなる基板に成膜する場合に基板の劣化を防止できる点で、還元性ガスが好ましい。還元性ガスの具体例としては、アンモニア、水素、モノシラン、ヒドラジン、ぎ酸などを例示することが出来る。成膜装置の仕様による制約が少なく取扱いが容易である点で、還元性ガスとしてはアンモニア、水素又はぎ酸が好ましく、アンモニアが更に好ましい。酸化性ガスを用いる場合、その具体例としては、酸素、オゾン、水蒸気、過酸化水素、笑気ガス、塩化水素、硝酸ガス、酢酸などを挙げることが出来、酸素、オゾン又は水蒸気が好ましい。反応ガスの流量は材料の反応性と反応チャンバーの容量に応じて適宜調節される。例えば反応チャンバーの容量が１～１０Ｌの場合、反応ガスの流量は特に制限は無く、経済的な理由から１～１００００ｓｃｃｍが好ましい。なお、本明細書中においてｓｃｃｍとは気体の流量を表す単位であり、１ｓｃｃｍは理想気体に換算すると２．６８ｍｍｏｌ／ｈの速度で気体が移動していることを表す。

　ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製する場合、これらの分解方法を適宜選択して用いることにより、コバルト含有薄膜を作製することが出来る。複数の分解方法を組み合わせて用いることも出来る。反応チャンバーへの錯体Ａ、Ｂ又はＣの供給方法としては、例えばバブリング、液体気化供給システムなど当業者が通常用いる方法が挙げられ、特に限定されるものではない。

　ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製する際のキャリアガス及び希釈ガスとしては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンなどの希ガス又は窒素ガスが好ましく、経済的な理由から窒素ガス又はアルゴンが更に好ましい。キャリアガス及び希釈ガスの流量は反応チャンバーの容量などに応じて適宜調節される。例えば反応チャンバーの容量が１～１０Ｌの場合、キャリアガスの流量は特に制限は無く、経済的な理由から１～１００００ｓｃｃｍが好ましい。

　ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製するときの基板温度は、熱、プラズマ、光などの使用の有無、反応ガスの種類などにより適宜選択される。例えば光やプラズマを併用することなく反応ガスとしてアンモニアを用いる場合には、基板温度に特に制限は無く、経済的な理由から２００℃～１０００℃が好ましい。成膜速度が良好な点で２５０℃～８００℃が好ましく、３００℃～８００℃が殊更好ましい。また、光やプラズマ、オゾン、過酸化水素などを適宜使用することで２００℃以下の温度域でコバルト含有薄膜を作製することが出来る。

　錯体Ａ、Ｂ又はＣを用いたコバルト含有薄膜の作製方法により得られるコバルト含有薄膜としては、例えば金属コバルト薄膜、酸化コバルト薄膜、窒化コバルト薄膜、酸窒化コバルト薄膜などが得られる。また金属コバルト薄膜を作製後、任意の温度で基板を加熱処理することによりコバルト含有複合膜を得ることができる。例えば、シリコン基板上に金属コバルト薄膜を作製後、３００℃～９００℃の加熱処理によりＣｏ_２Ｓｉ、ＣｏＳｉ、ＣｏＳｉ_２などのコバルトシリサイド薄膜を得ることができる。また他の金属材料と組み合わせて用いた場合にもコバルト含有複合薄膜を得ることができる。例えば、錯体Ａ、Ｂ又はＣとケイ素材料と組み合わせて用いることによりコバルトシリサイド薄膜が得られる。該ケイ素材料としては、モノシラン、ジシラン、トリシラン、テトラエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ビス（ｔｅｒｔ－ブチルアミノ）シラン、ビス（ジエチルアミノ）シラン、トリス（ジメチルアミノ）シランなどを例示することができる。さらにアルミニウムやゲルマニウムなどの典型金属、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタル、タングステンなどの遷移金属、ランタンやネオジムなどの希土類金属を含有する金属材料と錯体Ａ、Ｂ又はＣを組み合わせて用いることにより、これらの金属元素を含むコバルト含有複合膜を得ることも出来る。また、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有複合薄膜を作製する場合、錯体Ａ、Ｂ又はＣと他の金属材料とを別々に反応チャンバー内に供給しても、混合してから供給しても良い。

　錯体Ａ、Ｂ又はＣのコバルト含有薄膜を構成部材として用いることにより、信頼性や応答性を向上させた高性能な半導体素子を製造することが出来る。半導体素子の例としてはＤＲＡＭ、ＦｅＲＡＭ、ＰＲＡＭ、ＭＲＡＭ、ＲｅＲＡＭ、フラッシュメモリーなどの半導体記憶装置や電界効果トランジスタなどを挙げることが出来る。これらの構成部材としてはトランジスタのゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクトや、銅配線シード層／ライナー層などを例示することが出来る。

　以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。^１Ｈ及び^１３Ｃ－ＮＭＲスペクトルは、Ｖａｒｉａｎ社製ＶＸＲ－５００Ｓ　ＮＭＲ　Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒを用いて測定した。参考例１～４、実施例１～４、９、１３～１５、１７～１９、４１～４４、参考例５～１１及び実施例２２～３４、参考例１２及び１３、実施例３９に記載の錯体の製造は全てアルゴン雰囲気下で実施した。用いたＴＨＦ、ジエチルエーテル及びヘキサンは関東化学社製の脱水品である。

　参考例１

　和光純薬工業製の酢酸エチル１１．７ｇ（１３２ｍｍｏｌ）にアルドリッチ製のナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、４８．０ｍＬ、９６ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した。残った固体に２５℃下で和光純薬工業製の塩化コバルト６．００ｇ（４６．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２３０ｍＬを加えた後、２５℃で６５時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にトルエン２５０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過し、ろ液を減圧乾固することにより、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５－Ｃ_５Ｈ_４Ｃ（Ｏ）ＣＨ_３）_２）を紫色固体として得た（４．００ｇ，収率３２％）。

　実施例１

　参考例１で調製したビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト９２２ｍｇ（３．３７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で関東化学製のイソプレン９５３ｍｇ（１４．０ｍｍｏｌ）とナトリウム８３ｍｇ（３．６１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン２０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８８℃／背圧３６Ｐａ）することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３）を赤色液体として得た（１７７ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０１（ｂｒｓ，１Ｈ），４．９４（ｂｒｓ，１Ｈ），４．５５－４．７７（ｂｒ，２Ｈ），４．３７（ｂｒｓ，１Ｈ），２．１０（ｓ，３Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３７（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４４（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．９，９６．２，９３．７，８４．０，８３．２，８１．８，８１．２，８０．９，３５．５，３２．８，２７．１，２２．２．
　実施例２

　参考例１で調製したビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト１．５９ｇ（５．８２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下でアルドリッチ製の２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン１．９６ｇ（２３．９ｍｍｏｌ）とナトリウム１４６ｍｇ（６．３５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン３５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４）を赤色液体として得た（３１１ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９４（ｂｒｓ，２Ｈ），４．５４（ｂｒｓ，２Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．８１（ｓ，６Ｈ），１．６７（ｂｒｓ，２Ｈ），－０．４８（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．８，９３．６，９３．３，８４．３，８１．７，３６．５，２７．２，１９．２．
　実施例３

　和光純薬工業製の酢酸エチル１０．８ｇ（１２２ｍｍｏｌ）にアルドリッチ製のナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン５０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で和光純薬工業製の塩化コバルト６．００ｇ（４６．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で６４時間撹拌した。この混合物に、０℃下でＪｏｈｎｓｏｎ　Ｍａｔｔｈｅｙ製のシクロヘキサ－１，３－ジエン５．１４ｇ（６４．２ｍｍｏｌ）とナトリウム１．０７ｇ（４６．５ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２４時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１９０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去した。残った固体を昇華（加熱温度１１０℃／背圧３２Ｐａ）することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－２）を茶色固体として得た（９１４ｍｇ，収率８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０７－５．１１（ｍ，２Ｈ），４．６１－４．６６（ｍ，２Ｈ），４．３０－４．３３（ｍ，２Ｈ），２．９３－２．９８（ｂｒ，２Ｈ），２．１６（ｓ，３Ｈ），１．３５－１．４２（ｍ，２Ｈ），０．６１－０．６８（ｍ，２Ｈ）．
　実施例４

　参考例１で調製したビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト２．９１ｇ（１０．７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ４０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で東京化成工業製のシクロヘキサ－１，４－ジエン４．３０ｇ（５３．７ｍｍｏｌ）とナトリウム２４４ｍｇ（１０．６ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で３３時間撹拌した後、反応混合物から溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン１９０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過し、ろ液を減圧乾固することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－２）を茶色固体として得た（１５５ｍｇ，収率６％）。得られた茶色固体が（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－２）であることは、^１Ｈ－ＮＭＲスペクトルに基づいて同定した。

　実施例５～７、比較例１、２
　錯体Ａ又はビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５－Ｃ_５Ｈ_４ＣＨ_２ＣＨ_３）_２）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。ビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルトは、日本化学会編、「実験化学講座１８　有機金属錯体」、第４版、丸善、１９９２年に記載の方法に従って製造したものである。具体的にはエチルシクロペンタジエニルナトリウムと塩化コバルトとを反応させることにより合成した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は表１に示す通りであり、その他の条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：６０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ。材料供給速度が０．０２０ｓｃｃｍになるように材料容器内全圧を調整した。なお、反応チャンバーへの材料供給速度は、（キャリアガス流量×材料の蒸気圧÷材料容器内全圧）の計算式に基づいて求めることが出来る。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　実施例５～７、比較例１の場合においては、作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。一方、比較例２の場合においては、コバルトに基づく特性Ｘ線は検出されなかった。蛍光Ｘ線分析は理学電機社製３３７０Ｅを用いた。測定条件はＸ線源：Ｒｈ、出力：５０ｋＶ　５０ｍＡ、測定径：１０ｍｍとした。検出されたＸ線の強度から算出した膜厚を表１に示した。作製したコバルト含有薄膜の電気特性を四探針法で測定し、得られた抵抗率を表１に示した。四探針法は三菱油化社製ＬＯＲＥＳＴＡ　ＨＰ　ＭＣＰ－Ｔ４１０を用いた。

　実施例５～７の条件で作製した薄膜についてＸＲＤによる結晶評価を実施したところ、いずれの薄膜も面心立方（ｆｃｃ）構造のβ－Ｃｏであることが示唆された。ＸＲＤは理学電機社製ＲＡＤ－Ｃを用いた。測定条件はＸ線源：ＣｕＫα（グラファイトモノクロメータ使用）、出力：５０ｋＶ　２００ｍＡ、２θ連続スキャン、θ＝０．４°（ただし実施例５で作製した薄膜のみ０．７°）固定とした。

　実施例８
　実施例５の条件（ただし、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ）で作製した薄膜について、アルバック理工社製ＭＩＬＡ－３０００－Ｐ－Ｎを用いて加熱処理を実施した。加熱条件は、温度：８００℃、雰囲気：窒素　２Ｐａ、昇温速度：２６℃／ｓｅｃ、保持時間：３０ｓｅｃとした。加熱処理後の薄膜についてＸＲＤによる結晶評価を実施したところ、ＣｏＳｉ_２、ＣｏＳｉ及びｆｃｃ構造のβ－Ｃｏの存在が確認された。

　以上の実施例から以下のことが理解出来る。即ち、実施例５～７により、錯体Ａは、酸化性ガスを用いなくても、コバルト含有薄膜を作製可能な材料であることが分かる。また、実施例５～７より、錯体Ａを材料として用いることで、酸化性ガスを用いなくても、ｆｃｃ構造の金属コバルト薄膜が作製可能であることが分かる。さらに実施例８より、錯体Ａを材料として用いて作製した金属コバルト薄膜を加熱処理することで、ＣｏＳｉ_２やＣｏＳｉなどのコバルトシリサイド薄膜が作製可能であることが分かる。

　以上の実施例から錯体Ａは、酸化性ガスを用いなくても、光やプラズマを併用することなく、４００℃以下の低温でコバルト含有膜を作製可能な材料であり、薄膜形成用材料として適用範囲が広い有用な材料であることが分かる。

　実施例９

　和光純薬工業製の酪酸エチル１４．９ｇ（１２８ｍｍｏｌ）にアルドリッチ製のナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、７時間加熱還流した。得られた溶液から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン５０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で和光純薬工業製の塩化コバルト５．９０ｇ（４５．４ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で１４時間撹拌した。得られた混合物に、０℃下でアルドリッチ製の２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン７．２７ｇ（８８．５ｍｍｏｌ）とナトリウム１．１６ｇ（５０．４ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２３時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１７０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１２）を茶色液体として得た（１．８８ｇ，収率１５％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．００－５．０３（ｍ，２Ｈ），４．４８－４．５４（ｍ，２Ｈ），２．４５（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，２Ｈ），１．８３（ｓ，６Ｈ），１．７４－１．８２（ｍ，２Ｈ），１．７１（ｂｒｓ，２Ｈ），０．９３（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ），－０．４５（ｂｒｓ，２Ｈ）．
　実施例１０
　実施例１で得られた（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：６０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：８３℃、材料の蒸気圧：６．７Ｐａ、基板温度：２５０℃。材料供給速度が０．０２０ｓｃｃｍになるように材料容器内全圧を調整した。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　実施例１１
　実施例２で得られた（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：７２℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、基板温度：２５０℃。材料供給速度が０．０２０ｓｃｃｍになるように材料容器内全圧を調整した。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　実施例１２
　実施例３で得られた（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１ｂ－２）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：８６℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、基板温度：２５０℃。材料供給速度が０．０２０ｓｃｃｍになるように材料容器内全圧を調整した。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　以上の実施例から以下のことが理解出来る。即ち、実施例１０～１２により、錯体Ａは、酸化性ガスを用いなくても、コバルト含有薄膜を作製可能な材料であることが分かる。

　参考例２

　東京化成工業製のイソ吉草酸エチル１５．７ｇ（１２０ｍｍｏｌ）にアルドリッチ製のナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、１９時間加熱還流した。得られた溶液から溶媒を減圧下で留去した。残った固体に０℃下で和光純薬工業製の塩化コバルト５．９０ｇ（４５．４ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加えた後、２５℃で３０時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１３０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過し、ろ液を減圧乾固することにより、ビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５－Ｃ_５Ｈ_４Ｃ（Ｏ）ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）_２）_２）を紫色液体として得た（７．５６ｇ，収率４７％）。

　実施例１３

　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，第１０２巻，１１９６ページ（１９８０年）に記載の方法に従って合成したアセチルシクロペンタジエニルナトリウム１３．２ｇ（１０１ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（１００ｍＬ）溶液に、０℃下で和光純薬工業製の塩化コバルト６．５０ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）を加え、２５℃で３時間撹拌した（溶液Ａ）。別の容器にヘキサン８１ｍＬを入れ、ブタ－１，３－ジエン６．４ｇを溶かすことによりブタジエン－ヘキサン溶液を調製した。０℃下で、該ブタジエン－ヘキサン溶液４０ｍＬとナトリウム１．２０ｇ（５２．２ｍｍｏｌ）を溶液Ａに加えた後、２５℃で１６時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１６０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－ブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１）を赤色液体として得た
（１．２５ｇ，収率１１％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９９－５．０６（ｍ，２Ｈ），４．７２－４．８１（ｍ，２Ｈ），４．４０－４．４７（ｍ，２Ｈ），２．１１（ｓ，３Ｈ），１．６５－１．７１（ｍ，２Ｈ），－０．３１
（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．９，９３．８，８２．８，８１．６，８１．０，３３．７，２６．９．
　実施例１４

　東京化成工業製の酪酸エチル２２．１ｇ（１９０ｍｍｏｌ）にアルドリッチ製のナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、８０．０ｍＬ、１６０ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、８時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン１００ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で和光純薬工業製の塩化コバルト９．８７ｇ（７６．０ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で４時間撹拌した。さらに、０℃下で関東化学製のイソプレン１７．４ｇ（２５６ｍｍｏｌ）とナトリウム１．８７ｇ（８１．１ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１８時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン２００ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－１１）を赤色液体として得た（９．０８ｇ，収率４６％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．２２－５．２９（ｍ，１Ｈ），５．１６－５．２２（ｍ，１Ｈ），４．９２－５．０５（ｍ，２Ｈ），４．６９－４．７９（ｍ，１Ｈ），２．７２（ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ，２Ｈ），２．０５（ｓ，３Ｈ），１．８８（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６９－１．８３（ｍ，３Ｈ），０．９９（ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ，３Ｈ），－０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例１５

　参考例２で調製したビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト７．５６ｇ（２１．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で関東化学製のイソプレン５．４５ｇ（８０．０ｍｍｏｌ）とナトリウム５５８ｍｇ（２４．３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１５時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン１４０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－２３）を赤色液体として得た（１．３０ｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．２４（ｂｒｓ，１Ｈ），５．１８（ｂｒｓ，１Ｈ），４．９５－５．０４（ｍ，１Ｈ），４．９２（ｂｒｓ，１Ｈ），４．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），２．６２（ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．２６－２．４２（ｍ，１Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．９０（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７３－１．８３（ｍ，１Ｈ），１．００（ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，６Ｈ），－０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９７．３，９６．２，８３．９，８２．９，８１．５，８１．２，８０．９，７９．４，４８．７，３５．７，３２．９，２５．３，２３．０，２２．４．
　実施例１６
　実施例１５で得られた（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－２３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：６９℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、基板温度：３００℃。材料供給速度が０．０２０ｓｃｃｍになるように材料容器内全圧を調整した。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。
実施例１６から以下のことが理解出来る。即ち、錯体Ａは、酸化性ガスを用いなくても、コバルト含有薄膜を作製可能な材料であることが分かる。

　参考例３

　和光純薬工業製のビス（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト１．９２ｇ（１０．１ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２８ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で関東化学製のイソプレン３．４０ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）とナトリウム２６０ｍｇ（１１．３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２５時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン４０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度４５℃／背圧２７Ｐａ）することにより、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルトを赤色液体として得た（９８８ｍｇ，収率５１％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．８５（ｂｒｓ，１Ｈ），４．５４（ｓ，５Ｈ），１．９６（ｓ，３Ｈ），１．８１（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６９（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３５（ｂｒｓ，１），－０．４７（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
９４．２，８０．２，７８．７，３４．０，３０．３，２３．４．
　参考例４

　和光純薬工業製のビス（η^５－シクロペンタジエニル）コバルト１０．１（５３．３ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下でアルドリッチ製の２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン１３．１ｇ（１５９ｍｍｏｌ）とナトリウム１．３６ｇ（５９．１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン１００ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルトを赤色固体として得た（１０．９ｇ，収率９９％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．５１（ｓ，５Ｈ），１．９８（ｓ，６Ｈ），１．７７（ｂｒｓ，２Ｈ），－０．４７（ｂｒｓ，２Ｈ）．
　実施例１７

　参考例４で調製した（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト６５５ｍｇ（３．１８ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で関東化学製のｎ－ブチルリチウム／ヘキサン溶液１．３０ｍＬ（２．６５Ｍ、３．４５ｍｍｏｌ）と関東化学製のカリウムｔｅｒｔ－ブトキシド３９２ｍｇ（３．４９ｍｍｏｌ）を加えた後、－７８℃に維持したまま３時間撹拌した。この反応溶液に－７８℃下で関東化学製のＮ，Ｎ－ジメチルホルムアミド４７２ｍｇ（６．４６ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１９時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン２０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３６）を黄色固体として得た（６５０ｍｇ，収率８７％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
９．７２（ｓ，１Ｈ），４．８５（ｂｒｓ，２Ｈ），４．４７（ｂｒｓ，２Ｈ），１．７８（ｓ，６Ｈ），１．６８（ｂｒｓ，２Ｈ），－０．４５（ｂｒｓ，２Ｈ）．
　実施例１８

　参考例３で調製した（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト４．９８ｇ（２５．９ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で関東化学製のｎ－ブチルリチウム／ヘキサン溶液１０．３ｍＬ（２．６５Ｍ、２７．３ｍｍｏｌ）と関東化学製のカリウムｔｅｒｔ－ブトキシド３．０５ｇ（２７．２ｍｍｏｌ）を加えた後、－７８℃に維持したまま３時間撹拌した。この反応溶液に－７８℃下で東京化成工業製の１－（トリフルオロアセチル）ピペリジン４．９６ｇ（２７．４ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で３０分間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１３０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４７）を赤色液体として得た（７．３２ｇ，収率９８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９９－５．０７（ｍ，１Ｈ），４．９６（ｂｒｓ，２Ｈ），４．７４（ｂｒｓ，１Ｈ），４．６９（ｂｒｓ，１Ｈ），２．０９（ｓ，３Ｈ），１．９９（ｂｒｓ，１Ｈ），１．９２（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．２７（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１９Ｆ－ＮＭＲ（４７０ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
－７４．９（ｓ）．
　実施例１９

　参考例４で調製した（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト２．６２ｇ（１２．７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ３０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で関東化学製のｎ－ブチルリチウム／ヘキサン溶液５．３０ｍＬ（２．６５Ｍ、１４．１ｍｍｏｌ）と関東化学製のカリウムｔｅｒｔ－ブトキシド１．５７ｇ（１４．０ｍｍｏｌ）を加えた後、－７８℃に維持したまま３時間撹拌した。この反応溶液に－７８℃下で東京化成工業製の１－（トリフルオロアセチル）ピペリジン２．５４ｇ（１４．０ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で３０分間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン３５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－（トリフルオロアセチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４８）を赤色液体として得た（３．７２ｇ，収率９７％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９３（ｂｒｓ，２Ｈ），４．７２（ｂｒｓ，２Ｈ），２．０９（ｓ，６Ｈ），１．９４（ｂｒｓ，２Ｈ），－０．３７（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１９Ｆ－ＮＭＲ（４７０ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
－７３．５（ｓ）．
　実施例２０
　実施例１で得られた（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図４に示した。成膜条件は以下の通りである。

　材料容器温度：７２℃、材料用キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、反応ガス容器温度：２５℃、反応ガス用キャリアガス流量：１０ｓｃｃｍ、反応ガス容器内全圧：６６．７ｋＰａ、希釈ガス流量：１７０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、基板温度：３００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。反応ガスとしてぎ酸を用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　実施例２１
　実施例２で得られた（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－４）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図４に示した。成膜条件は以下の通りである。

　材料容器温度：７２℃、材料用キャリアガス流量：４０ｓｃｃｍ、材料容器内全圧：５．３ｋＰａ、反応ガス容器温度：２５℃、反応ガス用キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、反応ガス容器内全圧：２６．７ｋＰａ、希釈ガス流量：１０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、基板温度：３００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。反応ガスとしてぎ酸を用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　参考例５

　参考例１で合成したビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト９２２ｍｇ（３．３７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下でイソプレン９５３ｍｇ（１４．０ｍｍｏｌ）とナトリウム８３ｍｇ（３．６１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン２０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８８℃／背圧３６Ｐａ）することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－３）を赤色液体として得た（１７７ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０１（ｂｒｓ，１Ｈ），４．９４（ｂｒｓ，１Ｈ），４．５５－４．７７（ｂｒ，２Ｈ），４．３７（ｂｒｓ，１Ｈ），２．１０（ｓ，３Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３７（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４４（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．９，９６．２，９３．７，８４．０，８３．２，８１．８，８１．２，８０．９，３５．５，３２．８，２７．１，２２．２．
　参考例６

　参考例１で合成したビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト１．５９ｇ（５．８２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン１．９６ｇ（２３．９ｍｍｏｌ）とナトリウム１４６ｍｇ（６．３５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン３５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－４）を赤色液体として得た（３１１ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９４（ｂｒｓ，２Ｈ），４．５４（ｂｒｓ，２Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．８１（ｓ，６Ｈ），１．６７（ｂｒｓ，２Ｈ），－０．４８（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．８，９３．６，９３．３，８４．３，８１．７，３６．５，２７．２，１９．２．
　参考例７

　酪酸エチル２２．１ｇ（１９０ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、８０．０ｍＬ、１６０ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、８時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン１００ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト９．８７ｇ（７６．０ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で４時間撹拌した。この混合物に、０℃下でイソプレン１７．４ｇ（２５６ｍｍｏｌ）とナトリウム１．８７ｇ（８１．１ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１８時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン２００ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－１１）を赤色液体として得た（９．０８ｇ，収率４６％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．２２－５．２９（ｍ，１Ｈ），５．１６－５．２２（ｍ，１Ｈ），４．９２－５．０５（ｍ，２Ｈ），４．６９－４．７９（ｍ，１Ｈ），２．７２（ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ，２Ｈ），２．０５（ｓ，３Ｈ），１．８８（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６９－１．８３（ｍ，３Ｈ），０．９９（ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ，３Ｈ），－０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　参考例８

　酪酸エチル１４．９ｇ（１２８ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、７時間加熱還流した。得られた溶液から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン５０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト５．９０ｇ（４５．４ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で１４時間撹拌した。得られた混合物に、０℃下で２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン７．２７ｇ（８８．５ｍｍｏｌ）とナトリウム１．１６ｇ（５０．４ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２３時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１７０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－１２）を茶色液体として得た（１．８８ｇ，収率１５％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．００－５．０３（ｍ，２Ｈ），４．４８－４．５４（ｍ，２Ｈ），２．４５（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，２Ｈ），１．８３（ｓ，６Ｈ），１．７４－１．８２（ｍ，２Ｈ），１．７１（ｂｒｓ，２Ｈ），０．９３（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ），－０．４５（ｂｒｓ，２Ｈ）．
　参考例９

　参考例２で合成したビス（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト７．５６ｇ（２１．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下でイソプレン５．４５ｇ（８０．０ｍｍｏｌ）とナトリウム５５８ｍｇ（２４．３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１５時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン１４０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１３ａ－２３）を赤色液体として得た（１．３ｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．２４（ｂｒｓ，１Ｈ），５．１８（ｂｒｓ，１Ｈ），４．９５－５．０４（ｍ，１Ｈ），４．９２（ｂｒｓ，１Ｈ），４．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），２．６２（ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．２６－２．４２（ｍ，１Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．９０（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７３－１．８３（ｍ，１Ｈ），１．００（ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，６Ｈ），－０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９７．３，９６．２，８３．９，８２．９，８１．５，８１．２，８０．９，７９．４，４８．７，３５．７，３２．９，２５．３，２３．０，２２．４．
　参考例１０

　酢酸エチル１０．８ｇ（１２２ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン５０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト６．００ｇ（４６．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で６４時間撹拌した。この混合物に、０℃下でＪｏｈｎｓｏｎ　Ｍａｔｔｈｅｙ製のシクロヘキサ－１，３－ジエン５．１４ｇ（６４．２ｍｍｏｌ）とナトリウム１．０７ｇ（４６．５ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２４時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１９０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去した。残った固体を昇華（加熱温度１１０℃／背圧３２Ｐａ）することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１３ｂ－１）を茶色固体として得た（９１４ｍｇ，収率８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０７－５．１１（ｍ，２Ｈ），４．６１－４．６６（ｍ，２Ｈ），４．３０－４．３３（ｍ，２Ｈ），２．９３－２．９８（ｂｒ，２Ｈ），２．１６（ｓ，３Ｈ），１．３５－１．４２（ｍ，２Ｈ），０．６１－０．６８（ｍ，２Ｈ）．
　参考例１１

　酢酸エチル１３．５ｇ（１５３ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン３０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト６．０１ｇ（４６．３ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で１５時間撹拌した。この混合物に、０℃下でシクロオクタ－１，５－ジエン２０．３ｇ（１８８ｍｍｏｌ）とナトリウム１．２０ｇ（５２．２ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２４時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にトルエン３５０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１３ｃ－１）を黄色固体として得た（４．１８ｇ，収率３３％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．６４（ｂｒｓ，２Ｈ），３．９２（ｂｒｓ，２Ｈ），３．３９（ｂｒｓ，４Ｈ），２．４２（ｓ，３Ｈ），２．１９－２．３８（ｍ，４Ｈ），１．５０－１．５７（ｍ，４Ｈ）．
　実施例２２

　参考例５で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト４．２１ｇ（１８．０ｍｍｏｌ）とヘキサン４２ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１２．０ｇ（８４．６ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン６．３６ｇ（１０８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１７時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン４０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度７７℃／背圧３３Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３１）を赤色液体として得た（１．１４ｇ，収率２３％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．１３－５．１６（ｍ，１Ｈ），４．９１－４．９４（ｍ，１Ｈ），４．８４－４．９１（ｍ，２Ｈ），４．８０－４．８３（ｍ，１Ｈ），３．３３（ｔ，Ｊ＝７．３Ｈｚ，２Ｈ），２．０７（ｓ，３Ｈ），２．０４（ｓ，３Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６０－１．６９（ｍ，３Ｈ），０．９７（ｔ，Ｊ＝７．３Ｈｚ，３Ｈ），－０．４８（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．５８（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例２３

　参考例５で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト２．３０ｇ（９．８０ｍｍｏｌ）とヘキサン２３ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体５．２２ｇ（３６．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で３時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン２．９０ｇ（４９．０ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度７８℃／背圧３１Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３２）を赤色液体として得た（５５０ｍｇ，収率２０％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．１３－５．１８（ｍ，１Ｈ），５．０５－５．１０（ｍ，１Ｈ），４．９１－４．９６（ｍ，１Ｈ），４．８３－４．９０（ｍ，１Ｈ），４．８１－４．８４（ｍ，１Ｈ），３．７４（ｓｅｐｔ，Ｊ＝６．３Ｈｚ，１Ｈ），２．０８（ｓ，３Ｈ），２．０５（ｓ，３Ｈ），１．７０（ｂｒｓ，１Ｈ），１．５８－１．６３（ｍ，１Ｈ），１．１４（ｄ，Ｊ＝６．３Ｈｚ，６Ｈ），－０．４９（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．５９（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例２４

　参考例５で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト７１２ｍｇ（３．０４ｍｍｏｌ）とヘキサン１５ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．５８ｇ（１１．１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で３時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でｓｅｃ－ブチルアミン１．０８ｇ（１４．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１４ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８２℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３６）を赤色液体として得た（１５４ｍｇ，収率１８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．１０－５．２５（ｍ，２Ｈ），４．７８－４．９２（ｍ，３Ｈ），３．４０－３．５３（ｍ，１Ｈ），２．０８（ｓ，３Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．８５（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．４６－１．５８（ｍ，２Ｈ），１．０５－１．１３（ｍ，３Ｈ），０．８５（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ），－０．４９（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．５８（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１５８．９，９８．１，９４．７，８１．４，８１．３，８０．２，７９．８，７９．７，５７．１，３４．９，３１．９，３１．７，２２．７，２１．９，１５．１，１１．５．
　実施例２５

　参考例７で合成した（η^５－ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト７４０ｍｇ（２．８２ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．６１ｇ（１１．３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン８５８ｍｇ（１４．５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１４ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８６℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１４３）を赤色液体として得た（２３２ｍｇ，収率２７％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２３－５．３３（ｍ，１Ｈ），５．０９－５．１８（ｍ，１Ｈ），４．７６－４．８８（ｍ，２Ｈ），４．５４－４．６２（ｍ，１Ｈ），３．３２（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．１９－２．３４（ｍ，２Ｈ），１．９５（ｓ，３Ｈ），１．７１－１．８５（ｍ，４Ｈ），１．４４－１．５５（ｍ，２Ｈ），１．０４（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，３Ｈ），０．８４（ｔ，Ｊ＝７．３Ｈｚ，３Ｈ），－０．２６（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３６（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例２６

　参考例９で合成した（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト６７０ｍｇ（２．４３ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．２４ｇ（８．７３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン７１５ｍｇ（１２．１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２４時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８６℃／背圧１１Ｐａ）することにより、（η^５－（（１－プロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－１９９）を赤色液体として得た（２００ｍｇ，収率２９％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２８－５．３７（ｍ，１Ｈ），５．１２－５．１８（ｍ，１Ｈ），４．７８－４．８８（ｍ，２Ｈ），４．５６－４．６２（ｍ，１Ｈ），３．３５（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．１８－２．３４（ｍ，２Ｈ），１．９７－２．０７（ｍ，１Ｈ），１．９６（ｓ，３Ｈ），１．７２－１．８２（ｍ，４Ｈ），１．０５（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，３Ｈ），０．８６（ｄ，Ｊ＝６．６Ｈｚ，６Ｈ），－０．２６（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３４（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例２７

　参考例９で合成した（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）（η^５－イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト９６３ｍｇ（３．４９ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体４．２３ｇ（２９．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン２．２８ｇ（３８．５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン７ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過することにより、（η^５－（（１－イソプロピルイミノ－３－メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－２００）を赤色液体として得た（５８０ｍｇ，収率５９％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２８－５．３６（ｍ，１Ｈ），５．１３－５．２１（ｍ，１Ｈ），４．７５－４．８７（ｍ，２Ｈ），４．６０－４．６６（ｍ，１Ｈ），３．７２－３．８６（ｍ，１Ｈ），２．１７－２．２６（ｍ，２Ｈ），１．９９（ｓ，３Ｈ），１．９４－２．０３（ｍ，１Ｈ），１．８１（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７２－１．７６（ｍ，１Ｈ），１．２２（ｄ，Ｊ＝６．０Ｈｚ，６Ｈ），０．８５（ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ，６Ｈ），－０．２５（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．３５（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例２８

　参考例６で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト１．１１ｇ（４．４７ｍｍｏｌ）とヘキサン３７ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１１．６ｇ（８１．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン５．６５ｇ（９５．６ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度７５℃／背圧２８Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－４５）を赤色固体として得た（１７５ｍｇ，収率１４％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．１１（ｂｒｓ，２Ｈ），４．７５（ｂｒｓ，２Ｈ），３．２０（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），１．９３（ｓ，６Ｈ），１．７３－１．８１（ｍ，２Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，２Ｈ），１．６８（ｓ，３Ｈ），１．０４（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，３Ｈ），－０．４０（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１６０．９，９７．７，９１．９，８２．０，８０．１，５３．７，３５．７，２５．０，１９．５，１５．５，１２．６．
　実施例２９

　参考例６で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト４８０ｍｇ（１．９３ｍｍｏｌ）とヘキサン１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．３７ｇ（９．６５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でｔｅｒｔ－ブチルアミン８３５ｍｇ（１１．４ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で８７時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮することにより、（η^５－（１－（ｔｅｒｔ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－５１）を赤色固体として得た（３３３ｍｇ，収率５７％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０９（ｂｒｓ，２Ｈ），４．７５（ｂｒｓ，２Ｈ），１．９７（ｓ，６Ｈ），１．８３（ｓ，３Ｈ），１．７３（ｂｒｓ，２Ｈ），１．３３（ｓ，９Ｈ），－０．３９（ｂｒｓ，２Ｈ）．
　実施例３０

　参考例１０で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト９６８ｍｇ（３．９３ｍｍｏｌ）とヘキサン１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体２．０９ｇ（１４．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン１．１４ｇ（１９．４ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８５℃／背圧４１Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－３）を赤色液体として得た（４４０ｍｇ，収率３９％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２７－５．３０（ｍ，２Ｈ），４．７６－４．８０（ｍ，２Ｈ），４．４６－４．４８（ｍ，２Ｈ），３．２８（ｔ，Ｊ＝７．２Ｈｚ，２Ｈ），２．９６－３．０１（ｍ，２Ｈ），１．７９（ｓ，３Ｈ），１．７４－１．８５（ｍ，２Ｈ），１．４５－１．５１（ｍ，２Ｈ），１．０３（ｔ，Ｊ＝７．２Ｈｚ，３Ｈ），０．８０－０．８５（ｍ，２Ｈ）．
　実施例３１

　参考例１０で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト９６９ｍｇ（３．９４ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体２．２４ｇ（１５．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン１．１７ｇ（１９．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１７ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８４℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－４）を赤色液体として得た（４２８ｍｇ，収率３８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２７－５．３３（ｍ，２Ｈ），４．７４－４．８１（ｍ，２Ｈ），４．３９－４．４５（ｍ，２Ｈ），３．６８（ｓｅｐｔ，Ｊ＝６．０Ｈｚ，１Ｈ），２．９１－３．０４（ｍ，２Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．４５－１．５３（ｍ，２Ｈ），１．２４（ｄ，Ｊ＝６．０Ｈｚ，６Ｈ），０．７９－０．８８（ｍ，２Ｈ）．
　実施例３２

　参考例１０で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト５９０ｍｇ（２．４０ｍｍｏｌ）とヘキサン１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．４９ｇ（１０．５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でＮ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン１．１３ｇ（１２．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２１時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮することにより、（η^５－（１－［２－（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロヘキサ－１，３－ジエン）コバルト（１２ｂ－１１）を赤色液体として得た（４５１ｍｇ，収率５９％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２７－５．２９（ｍ、２Ｈ），４．７６－４．７９（ｍ，２Ｈ），４．４６－４．４９（ｍ，２Ｈ），３．５２－３．５８（ｍ，２Ｈ），２．９７－３．０１（ｍ，２Ｈ），２．７２－２．７８（ｍ，２Ｈ），２．２２（ｓ，６Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．４６－１．５２（ｍ，２Ｈ），０．８０－０．８５（ｍ，２Ｈ）．
　実施例３３

　参考例１１で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト２．８０ｇ（１０．２ｍｍｏｌ）とヘキサン２８ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体７．２２ｇ（５０．９ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン３．６５ｇ（６１．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン２２ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８８℃／背圧１７Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３）を赤色液体として得た（４７０ｍｇ，収率１５％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．６３－４．６６（ｍ，２Ｈ），４．４９－４．５２（ｍ，２Ｈ），３．４０－３．４５（ｂｒｓ，４Ｈ），３．３０（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，２Ｈ），２．３５－２．４６（ｍ，４Ｈ），２．００（ｓ，３Ｈ），１．７３－１．８２（ｍ，２Ｈ），１．６４－１．７１（ｍ，４Ｈ），１．０２（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１６０．７，１０１．３，８５．３，８３．１，６６．５，５３．７，３２．４，２５．１，１５．３，１２．５．
　実施例３４

　参考例１１で合成した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト５８５ｍｇ（２．１３ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．２１ｇ（８．５１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で４時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン６９０ｍｇ（１１．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１４ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８７℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５－（１－（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－４）を赤色液体として得た（１２２ｍｇ，収率１８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．５９－４．６６（ｍ，２Ｈ），４．４９－４．５４（ｍ，２Ｈ），３．７２（ｓｅｐｔ，Ｊ＝６．４Ｈｚ，１Ｈ），３．３９－３．４６（ｍ，４Ｈ），２．３３－２．４７（ｍ，４Ｈ），２．０３（ｓ，３Ｈ），１．６３－１．７２（ｍ，４Ｈ），１．２３（ｄ，Ｊ＝６．４Ｈｚ，６Ｈ）．
^１３Ｃ－ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１５７．９，１０１．１，８５．３，８３．１，６６．６，５０．９，３２．３，２４．６，１４．８．
　実施例３５
　実施例２４で合成した（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３６）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：６９℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０２０ｓｃｃｍ、基板温度４００℃。なお、反応チャンバーへの材料供給速度は、（キャリアガス流量×材料の蒸気圧÷材料容器内全圧）の計算式に基づいて求めることが出来る。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。蛍光Ｘ線分析は理学電機社製３３７０Ｅを用いた。測定条件はＸ線源：Ｒｈ、出力：５０ｋＶ　５０ｍＡ、測定径：１０ｍｍとした。

　実施例３６
　実施例２４で合成した（η^５－（１－（ｓｅｃ－ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１２ａ－３６）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。薄膜作製条件は実施例３５に示す通りであり、但し基板温度は３００℃である。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　実施例３７
　実施例３３で合成した（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：４０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：４０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：１００℃、材料の蒸気圧：１．０Ｐａ、材料容器内全圧：３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０１２ｓｃｃｍ、基板温度４００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　実施例３８
　実施例３３で合成した（η^５－（１－（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４－シクロオクタ－１，５－ジエン）コバルト（１２ｃ－３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。薄膜作製条件は実施例３７に示す通りであり、但し基板温度は３００℃である。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　比較例３
　ビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５－Ｃ_５Ｈ_４ＣＨ_２ＣＨ_３）_２）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。本比較例で用いたビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルトは、日本化学会編、「実験化学講座１８　有機金属錯体」、第４版、丸善、１９９２年に記載の方法に従って製造したものである。具体的にはエチルシクロペンタジエニルナトリウムと塩化コバルトとを反応させることにより合成した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：６０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：４８℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０２０ｓｃｃｍ、基板温度３００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線は検出されなかった。

　以上の実施例から錯体Ｂは、酸化性ガスを用いなくても、光やプラズマを併用することなく、４００℃以下の低温でコバルト含有膜を作製可能な材料であり、薄膜形成用材料として適用範囲が広い有用な材料であることが分かる。

　参考例１２

　酢酸エチル１１．７ｇ（１３２ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、４８．０ｍＬ、９６ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した。残った固体に２５℃下で塩化コバルト６．００ｇ（４６．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２３０ｍＬを加えた後、２５℃で６５時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にトルエン２５０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過し、ろ液を減圧乾固することにより、ビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５－Ｃ_５Ｈ_４Ｃ（Ｏ）ＣＨ_３）_２）を紫色固体として得た（４．００ｇ，収率３２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
３５．６９（ｂｒｓ），２４．９３（ｂｒｓ），６．０－１．０（ｍ）
　参考例１３

　参考例１２で調製したビス（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）コバルト１．５９ｇ（５．８２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下でアルドリッチ製の２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン１．９６ｇ（２３．９ｍｍｏｌ）とナトリウム１４６ｍｇ（６．３５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン３５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１６－３）を赤色液体として得た（３１１ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９４（ｂｒｓ，２Ｈ），４．５４（ｂｒｓ，２Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．８１（ｓ，６Ｈ），１．６７（ｂｒｓ，２Ｈ），－０．４８（ｂｒｓ，２Ｈ）．
　実施例３９

　エチルトリフェニルホスホニウムブロミド９０８．９ｍｇ（２．５ｍｍｏｌ）にジエチルエーテル２０ｍＬを加えた溶液に、室温でブチルリチウムのヘキサン溶液１．６ｍＬ（１．５４ｍｏｌ／Ｌ，２．５ｍｍｏｌ）を加えた。この混合物を室温で４時間撹拌することで、系中でホスホラン（１７）を調製した後、参考例１３で調製した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１６－３）６０７．５ｇ（２．５ｍｍｏｌ）のジエチルエーテル（２０ｍＬ）溶液に加えた。この混合物を２０時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残ったオイル状生成物にヘキサン５０ｍＬを加えて室温で激しく撹拌した。得られた懸濁液をアルミナフラッシュカラムに通じろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去し残った液体を減圧蒸留することにより、［η^５－（１－メチル－１－プロペニル）シクロペンタジエニル］（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１５－１８）を赤色液体として得た（１８０．２ｍｇ，収率２８％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）５．６６（ｑ，^３Ｊ＝６．８Ｈｚ，１Ｈ），４．６９（ｍ，２Ｈ），４．４９（ｍ，２Ｈ），１．９４（ｓ，６Ｈ），１．７５（ｓ，３Ｈ），１．６９（ｂｒ，２Ｈ），１．５７（ｄ，^３Ｊ＝６．８Ｈｚ，３Ｈ），－０．３９（ｂｒ，２Ｈ）
　実施例４０
　実施例３９で合成した［η^５－（１－メチル－１－プロペニル）シクロペンタジエニル］（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１５－１８）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。薄膜作製条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：７２℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０２ｓｃｃｍ、基板温度３００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。

　比較例４
　ビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５－Ｃ_５Ｈ_４ＣＨ_２ＣＨ_３）_２）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。本比較例で用いたビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルトは、日本化学会編、「実験化学講座１８有機金属錯体」、第４版、丸善、１９９２年に記載の方法に従って製造したものである。具体的にはエチルシクロペンタジエニルナトリウムと塩化コバルトとを反応させることにより合成した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

　キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：６０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：４８℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０２０ｓｃｃｍ、基板温度３００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

　作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線は検出されなかった。

　実施例４０、比較例４の結果から錯体Ｃは、酸化性ガスを用いなくても、光やプラズマを併用することなく、４００℃以下の低温でコバルト含有膜を作製可能な材料であり、薄膜形成用材料として適用範囲が広い有用な材料であることが分かる。

　実施例４１

　参考例３で調製した（η^５－シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト１．３４ｇ（６．９７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ３０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、－７８℃下で関東化学製のｎ－ブチルリチウム／ヘキサン溶液２．９０ｍＬ（２．６５Ｍ、７．６９ｍｍｏｌ）と関東化学製のカリウムｔｅｒｔ－ブトキシド８６２ｍｇ（７．６８ｍｍｏｌ）を加えた後、－７８℃に維持したまま３時間撹拌した。この反応溶液に－７８℃下で関東化学製のＮ，Ｎ－ジメチルホルムアミド５６６ｍｇ（７．７５ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１４時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン４５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ａ－３５）を黄色固体として得た（１．３８ｇ，収率９０％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
９．７７（ｓ，１Ｈ），４．８１－４．９２（ｍ，２Ｈ），４．６５－４．７６（ｍ，１Ｈ），４．５８（ｂｒｓ，１Ｈ），４．２８（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７６（ｓ，３Ｈ），１．７３（ｂｒｓ，１Ｈ），１．５７－１．６４（ｍ，１Ｈ），－０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
　実施例４２

　実施例４１で調製した（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト１．３８ｇ（６．２７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ３０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で東京化学工業製の（トリフルオロメチル）トリメチルシラン１．７３ｇ（１２．２ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った液体を減圧蒸留（留出温度７２℃／背圧１９Ｐａ）することにより、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－３）を赤色液体として得た（３７２ｍｇ，収率１６％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．７２－５．０８（ｍ，３Ｈ），４．１７－４．４２（ｍ，２Ｈ），３．８７－４．１６（ｍ，１Ｈ），１．９３（ｂｒｓ，３Ｈ），１．６３－１．７３（ｍ，１Ｈ），１．７３－１．８５（ｍ，１Ｈ），０．１５（ｓ，９Ｈ），－０．３６（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４７（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１９Ｆ－ＮＭＲ（４７０ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
－７７．４（ｂｒｓ）．
　実施例４３

　実施例１７で調製した（η^５－ホルミルシクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト８５８ｍｇ（３．６６ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で東京化学工業製の（トリフルオロメチル）トリメチルシラン５１８ｍｇ（３．６５ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１５時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った液体を減圧蒸留（留出温度８０℃／背圧３７Ｐａ）することにより、（η^５－（２，２，２－トリフルオロ－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２，３－ジメチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－４）を赤色液体として得た（３３０ｍｇ，収率２４％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０１－５．１５（ｍ，１Ｈ），４．２６－４．７２（ｍ，３Ｈ），３．８３（ｂｒｓ，１Ｈ），１．９９（ｂｒｓ，３Ｈ），１．９２（ｂｒｓ，３Ｈ），１．７６－１．８６（ｍ，１Ｈ），１．６５－１．７６（ｍ，１Ｈ），０．１８（ｂｒｓ，９Ｈ），－０．４４（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．４８（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１９Ｆ－ＮＭＲ（４７０ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
－７７．５（ｂｒｓ）．
　実施例４４

　実施例１で調製した（η^５－アセチルシクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト３６９ｍｇ（１．５８ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、２５℃下で東京化学工業製の（トリフルオロメチル）トリメチルシラン２２１ｍｇ（１．５５ｍｍｏｌ）と和光純薬工業製のフッ化セシウム２４０ｍｇ（１．５８ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２０時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った液体を減圧蒸留（留出温度７７℃／背圧４５Ｐａ）することにより、（η^５－（１－トリフルオロメチル－１－トリメチルシリルオキシエチル）シクロペンタジエニル）（η^４－２－メチルブタ－１，３－ジエン）コバルト（１ｃ－７）を赤色液体として得た（２４２ｍｇ，収率４１％）。
^１Ｈ－ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．７７－４．８８（ｍ，１Ｈ），４．７０－４．９２（ｍ，１Ｈ），４．３６－４．６１（ｍ，１Ｈ），４．０３－４．２５（ｍ，１Ｈ），３．９２－４．０３（ｍ，１Ｈ），１．９３（ｓ，３Ｈ），１．７７－１．８３（ｍ，１Ｈ），１．７６（ｓ，３Ｈ），１．６５－１．７３（ｍ，１Ｈ），０．１８（ｓ，９Ｈ），－０．３９（ｂｒｓ，１Ｈ），－０．５０（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１９Ｆ－ＮＭＲ（４７０ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
－８０．１（ｂｒｓ）．

　１　材料容器
　２　恒温槽
　３　反応チャンバー
　４　基板
　５　反応ガス導入口
　６　希釈ガス導入口
　７　キャリアガス導入口
　８　マスフローコントローラー
　９　マスフローコントローラー
　１０　マスフローコントローラー
　１１　油回転式ポンプ
　１２　排気
　１３　材料容器
　１４　材料用用恒温槽
　１５　反応ガス容器
　１６　反応ガス用恒温槽
　１７　反応チャンバー
　１８　基板
　１９　材料用キャリアガス導入口
　２０　希釈ガス導入口
　２１　反応ガス用キャリアガス導入口
　２２　マスフローコントローラー
　２３　マスフローコントローラー
　２４　マスフローコントローラー
　２５　油回転真空ポンプ
　２６　排気
　本発明を特定の態様を参照して詳細に説明したが、本発明の精神と範囲を離れることなく様々な変更および修正が可能であることは、当業者にとって明らかである。

　なお、本出願は、２０１４年０６月０９日出願の日本国特許出願（特願２０１４－１１８３２３）、２０１４年０９月１８日出願の日本国特許出願（特願２０１４－１９０００２）、２０１５年０３月０５日出願の日本国特許出願（特願２０１５－０４３３５１）及び２０１５年０３月２５日出願の日本国特許出願（特願２０１５－０６３０９６）に基づいており、その全体が引用により援用される。また、ここに引用されるすべての参照は全体として取り込まれる。

Claims (20)

1. 一般式（Ｉ）
   

   

   （式中、Ｒ^Ａは一般式（ＩＩ）
   

   

   （式中、Ｒ^Ｈは水素原子、又はフッ素原子で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるアシル基、一般式（ＩＩＩ）
   

   

   （式中、Ｒ^Ｈは一般式（ＩＩ）のＲ^Ｈと同義を表す。Ｒ^Ｉは炭素数１～４のアルキル基を表す。）で表される１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基、一般式（ＩＶ）
   

   

   （Ｒ^Ｊは炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^Ｋはジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるＮ－アルキルイミドイル基、又は一般式（Ｖ）
   

   

   （式中、Ｒ^Ｍは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^Ｌは炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で表されるアルケニル基を表す。ｍは０又は２を表す。Ｒ^Ｂ及びＲ^Ｃは水素原子、又は一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^Ｄ、Ｒ^Ｅ、Ｒ^Ｆ及びＲ^Ｇは各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。ただしｍが２の時、Ｒ^Ａはアシル基（ＩＩ）、１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基（ＩＩＩ）及びアルケニル基（Ｖ）である場合を除く。Ｒ^ＡがＮ－アルキルイミドイル基（ＩＶ）の時、Ｒ^Ｂ及びＲ^Ｃは一体となってメチレン基を形成する基である場合を除く。）で示されるコバルト錯体。
2. 一般式（１）
   

   

   （式中、Ａは一般式（２）
   

   

   （式中、Ｒ^１は水素原子、又はフッ素原子で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。）で表されるアシル基、又は一般式（３）
   

   

   （式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｒ^２は炭素数１～４のアルキル基を表す。）で表される１－トリフルオロメチル－１－シリルオキシアルキル基を表す。Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^８は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。）で示される請求項１に記載のコバルト錯体。
3. 一般式（１Ａ）
   

   

   （式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示される請求項１又は２に記載のコバルト錯体。
4. 一般式（１ａ）
   

   

   （式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示される請求項１～３のいずれかに記載のコバルト錯体。
5. 一般式（１ｂ）
   

   

   （式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｘは一般式（１）のＲ^３、Ｒ^８における一体となった炭素数１～４のアルキレン基を表す。）で示される請求項１～３のいずれかに記載のコバルト錯体。
6. 一般式（１ｃ）
   

   

   （式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表し、Ｒ^２は一般式（３）のＲ^２と同義を表す。）で示される請求項１又は２に記載のコバルト錯体。
7. 一般式（４）
   

   

   （式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示されるコバルトセンと、
   一般式（５）
   

   

   （式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。）で示される共役鎖状ジエンを、
   アルカリ金属の存在下で反応させる、請求項４に記載のコバルト錯体の製造方法。
8. 一般式（４）
   

   

   （式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示されるコバルトセンと、
   一般式（６）
   

   

   （式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。Ｘは一般式（１）のＲ^３、Ｒ^８における一体となった炭素数１～４のアルキレン基を表す。）で示される共役環状ジエン、一般式（７ａ）
   

   

   （式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。）若しくは一般式（７ｂ）
   

   

   （式中、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は一般式（１）のＲ^４、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７と同義を表す。）で示される非共役環状ジエンを、
   アルカリ金属の存在下で反応させる、請求項５に記載のコバルト錯体の製造方法。
9. 一般式（８）
   

   

   （式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表す。）で示されるコバルト錯体と、
   アルキルリチウムとを、
   アルカリ金属アルコキシド存在下で反応させた後、
   一般式（９）
   

   

   （式中、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。Ｙは脱離基を表す。）で示されるアシル化剤を反応させる、請求項３に記載のコバルト錯体の製造方法。
10. 一般式（１Ａ）
    （式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のＲ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表し、Ｒ^１は一般式（２）のＲ^１と同義を表す。）で示されるコバルト錯体と、
    ＣＦ_３Ｓｉ（Ｒ^２）_３（１０）（式中、Ｒ^２は一般式（３）のＲ^２と同義を表す。）で示されるトリフルオロメチルシランとを反応させる、請求項６に記載のコバルト錯体の製造方法。
11. 一般式（１２）
    

    

    （式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^９は炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１０はジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１１及びＲ^１２は水素原子、又は一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^１３～Ｒ^１６は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。）で示される請求項１に記載のコバルト錯体。
12. ｎが０であり、Ｒ^１１及びＲ^１２が水素原子である、請求項１１に記載のコバルト錯体。
13. ｎが０であり、Ｒ^１１及びＲ^１２が互いに一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基である、請求項１１に記載のコバルト錯体。
14. ｎが２であり、Ｒ^１１及びＲ^１２が互いに一体となってエチレン基を形成する基である、請求項１１に記載のコバルト錯体。
15. 一般式（１３）
    

    

    （式中、ｎ、Ｒ^９、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６は、一般式（１２）のｎ、Ｒ^９、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６と同義である。）で示されるジエン錯体と、
    一般式Ｒ^１０ＮＨ_２（１４）（式中、Ｒ^１０は一般式（１２）のＲ^１０と同義である。）で示されるアルキルアミンとを、
    ルイス酸存在下で反応させる、一般式（１２）
    

    

    （式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^９は炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１０はジ（炭素数１～３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１～６のアルキル基を表す。Ｒ^１１及びＲ^１２は水素原子、又は一体となって炭素数２～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^１３～Ｒ^１６は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。）で示される請求項１１～１４のいずれかに記載のコバルト錯体の製造方法。
16. 一般式（１５）
    

    

    （式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８及びＲ^２２は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^１９及びＲ^２０は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^２１は炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で示される請求項１に記載のコバルト錯体。
17. Ｒ^１９及びＲ^２０が水素原子である請求項１６に記載のコバルト錯体。
18. 一般式（１６）
    

    

    （式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８、Ｒ^１９、Ｒ^２０およびＲ^２１は一般式（１５）のＲ^１７、Ｒ^１８、Ｒ^１９、Ｒ^２０およびＲ^２１と同義を表す。）で示されるアシルシクロペンタジエニルコバルト錯体と、一般式（１７）
    

    

    （式中、Ｒ^２２は一般式（１５）のＲ^２２と同義を表す。Ｑは各々独立にメチル基で置換されていても良いフェニル基を表す。）で示されるホスホランを反応させることを特徴とする、一般式（１５）
    

    

    （式中、Ｒ^１７、Ｒ^１８及びＲ^２２は各々独立に、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基を表す。Ｒ^１９及びＲ^２０は水素原子、又は互いに一体となって炭素数１～４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^２１は炭素数１～４のアルキル基を表す。波線はＥ／Ｚ幾何異性体のいずれか一方もしくはそれらの混合物であることを示す。）で示されるコバルト錯体の製造方法。
19. 請求項１～６、１１～１４、１６又は１７のいずれかに記載のコバルト錯体をを分解し、基板上にコバルト含有薄膜を作製することを特徴とする、コバルト含有薄膜の作製方法。
20. 請求項１９に記載の方法によって作製されるコバルト含有薄膜。

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