TW201546574A - 曝光裝置 - Google Patents

Abstract

提供能夠不在長形工件上造成瑕疵且縮短工站時間、又形成圖樣的連結精密度良好的卷對卷方式之曝光裝置。 曝光裝置，包括：保持長形工件的曝光台31、使曝光台31來回移動的台移動部32、設置於供給卷軸11的下游側且曝光手段51的上游側用以拘束長形工件W的供給側拘束輪15、設置於曝光手段51的下游側且捲取卷軸21的上游側用以拘束長形工件W的捲取側拘束輪25；在前述供給側拘束輪15及前述捲取側拘束輪的至少一方上，設有置輪驅動裝置。

Description

曝光裝置

本發明是有關於，從供給側將長形工件(撓性基板)輸送至曝光部、在該曝光部將圖樣曝光於長形工件、將長形工件輸送至捲取側，之所謂的卷對卷(roll-to-roll)方式的曝光裝置。

一般而言，用於行動電話、行動裝置等各種小型電子裝置的電子電路基板(印刷電路基板)之電子電路的基本材料，由於機體輕薄短小，所以使用薄且高精密度的長形工件。

這樣的長形工件材料，其厚度變成從0.1mm程度至0.06mm的薄型化傾向。此外，在最近被使用的是厚度0.05mm以下、寬度550mm且長度100mm之薄且寬的長形工件狀的非常長的長形工件。長形工件通常被捲成卷狀而運作。

對於像這樣的長形工件，作為形成電子電路的裝置，具有供給卷軸、捲取卷軸、及位於此供給卷軸和捲取卷軸之間的曝光部；以一面將橋接於供給卷軸和捲取卷軸之間的長形工件沿長邊方向輸送、一面藉由曝光部將圖樣曝光於長形工件的表面，之所謂的卷對卷方式進行運作。

又，在曝光部具有DMD(Digital Micro-mirror Device，數位微型反射鏡元件)等之光調變元件陣列的卷對卷方 式的無遮罩曝光裝置也為眾所周知。藉由無遮罩曝光，與長形工件同步地逐次切換光調變元件陣列的驅動資訊，能夠曝光形成例如像是超過1m的長形圖樣。

使用無遮罩曝光裝置時，由於一般的曝光光學焦 距深度的關係，有需要使用曝光台，在保持工件的平面的狀態下進行曝光。專利文件1的卷對卷方式的無遮罩曝光裝置中，將長形工件吸付固定於曝光台，在將曝光部和長形工件表面的光軸方向的距離保持一定的狀態下，一面讓光調變元件和長形工件相對地移動，一面將圖樣光投影至附著在長形工件表面的感光劑層。

[先前技術文件] [專利文件]

[專利文件1]特開2006-102991號公報

如專利文件1的卷對卷方式的無遮罩曝光裝置，在長形工件的輸送方向上，1次的曝光距離係受限於曝光台的行程。為了形成超過限制長度的圖樣，在完成1次的曝光工序後，需要讓長形工件和曝光台各別的移動至分別的曝光開始位置。

但是，專利文件1的卷對卷方式的無遮罩曝光裝置，由於是以曝光台執行長形工件的移動，想要將曝光台高速地返回曝光開始位置時，設置在捲出部和捲取部的張力滾輪(dancer roller)無法追循基板的返回速度會發生打滑，而在長形 工件上產生刮傷。

另一方面，為使張力滾輪能追循長形工件的返回 速度而降低曝光台的加速度時，會嚴重影響工站時間(tact time)，對量產會產生不良影響。

又，由於長形工件的返回量和曝光台的返回量不 同(曝光台大多返回約曝光台的輸送方向長度分量之程度)，所以有曝光台解除對長形工件的吸付固定、且只有曝光台移動的工序，但是，張力滾輪的重量和長形工件自身的重量不匹配，長形工件會向輸送方向移動。因此，被形成的圖樣的第1回的結束位置和次回的開始位置，有不一致的問題。

本發明的曝光裝置包括：輸送裝置，從供給卷軸到捲取卷軸，輸送長形有可塑性的被曝光體；曝光手段，設置於供給卷軸的更下游側的被曝光體上方，具有複數個空間光調變裝置；曝光台，保持被曝光體的一部分；以及，移動裝置，使曝光台沿著輸送裝置的被曝光體的輸送方向來回地移動。

又，本發明的曝光裝置，具有供給側拘束輪，設置於供給卷軸的下游側且曝光手段的上游側，用以拘束被曝光體；以及，捲取側拘束輪，設置於曝光手段的下游側且捲取卷軸的上游側，用以拘束前述被曝光體；在供給側拘束輪及捲取側拘束輪的至少一方具有輪驅動裝置。

供給側拘束輪和捲取側拘束輪，當曝光台保持被曝光體時，解除被曝光體的拘束，不妨礙被曝光體伴隨曝光台的自由移動。

又，本發明的曝光裝置，在曝光台，從輸送開始 位置直到輸送完成位置，維持在保持曝光體的狀態下而移動的期間，曝光手段將圖樣曝光於被曝光體上；曝光手段完成曝光後，當曝光台從輸送完成位置直到輸送開始位置，不保持被曝光體而移動。同時，供給側拘束輪讓前述被曝光體移動到供給側。

曝光台具有將被曝光體的寬方向端面(沿輸送方向 的端面)抵壓在曝光台的夾具機構。藉由在夾具機構和曝光台之間夾持被曝光體的寬方向兩端面，被曝光體的曝光面被保持成為平面。

又，本發明的曝光裝置，包括拍攝裝置、以及可 顯示拍攝裝置所拍攝影像的顯示裝置；拍攝裝置在位置決定步驟被用以拍攝被設置在被曝光體上的位置決定標記，同時在曝光圖樣確認步驟也被用於觀察圖樣。

依據本發明，能夠不在長形工件上造成瑕疵而縮短工站時間，又能夠實現被形成的圖樣連結精密度良好的卷對卷方式的曝光裝置。

1‧‧‧曝光裝置

2‧‧‧架台

10‧‧‧投入部

11‧‧‧供給卷軸

12、14‧‧‧導輪

13‧‧‧供給側張力滾輪

15‧‧‧供給側制動輪

16‧‧‧端面位置感測器

21‧‧‧捲取卷軸

22、24‧‧‧導輪

23‧‧‧捲取側張力滾輪

25‧‧‧捲取側制動輪

30‧‧‧曝光部

31‧‧‧曝光台

32‧‧‧台移動部

33‧‧‧導軌

34‧‧‧昇降驅動裝置

35‧‧‧工件夾具機構

40‧‧‧對準部

41‧‧‧對準相機

42‧‧‧監視器

50‧‧‧曝光處理部

51‧‧‧曝光單元

W‧‧‧長形工件(感光性基板)

A‧‧‧長形工件W上第1次的曝光開始位置(點A)

B‧‧‧長形工件W上第2次的曝光開始位置(點B)

第1圖顯示本發明一實施樣態之曝光裝置的概略架構的側面透視圖。

第2圖顯示曝光台的工件夾持部的平面圖。

第3a圖是顯示曝光裝置的動作的第1工序圖。

第3b圖是顯示曝光裝置的動作的第2工序圖。

第3c圖是顯示曝光裝置的動作的第3工序圖。

第3d圖是顯示曝光裝置的動作的第4工序圖。

第3e圖是顯示曝光裝置的動作的第5工序圖。

第3f圖是顯示曝光裝置的動作的第6工序圖。

第3g圖是顯示曝光裝置的動作的第7工序圖。

第3h圖是顯示曝光裝置的動作的第8工序圖。

第3i圖是顯示曝光裝置的動作的第9工序圖。

第3j圖是顯示曝光裝置的動作的第10工序圖。

<<第1實施樣態>>

參照第1~2圖，說明與本發明第1實施樣態相關的曝光裝置1。曝光裝置1是所謂的卷對卷方式的曝光裝置，包括從長形工件W的輸送方向的上游側朝下游側依序地供給長形工件的供給部10、在長形工件W的表面上將圖樣曝光以形成電子電路的曝光部30、回收曝光完成的長形工件W的捲取部20。

<<長形工件W的結構>>

長形工件W例如是，將用於行動電話和行動裝置等的電子電路基板(印刷電路基板)的基本材料所製成的感光性長形膜(表面上塗佈有感光物的合成樹脂製柔軟膜)作成卷狀的物件。塗佈有光阻等的感光材料的長形工件W，是由銅箔基板(Copper Clad Laminate)等以薄片狀所形成，長度有數十至數百公尺。以下，關於長形工件W的表背面，朝圖中上方的面稱為「表面」，朝圖中下方的面稱為「背面」。

以下，沿輸送方向M的方向表示為“X”，垂直於輸 送方向M的長形工件W的寬方向表示為“Y”，與X和Y兩者垂直的方向(垂直方向)表示為“Z”。又，在表示曝光裝置1中必要的位置關係時，將靠近供給卷軸之側稱為上游側、將靠近捲取卷軸之側稱為下游側。

<<供給部10及捲取部20的結構>>

供給部10從長形工件W的輸送方向的上游側向下游側依序地包括，供給卷軸11、導輪12、供給側張力滾輪13、導輪14、供給側制動輪15、及端面位置感測器16，構成用以將長形構件W供給至曝光部30的工件供給系統。捲取部20從長形工件W的輸送方向的上游側向下游側依序地包括，捲取側制動輪25、導輪24、捲取側張力滾輪23、導輪22、及捲取卷軸21，構成用以將在曝光部30曝光後的長形構件W捲取的工件捲取系統。

供給卷軸11用以保持被捲成成卷狀的長形工件 W，以自身的旋轉軸為中心轉動，將長形工件W向下游側供給(送出)。捲取卷軸21以自身的旋轉軸為中心轉動，將從上游側供給而來的長形工件W捲成卷狀並且加以保持。供給卷軸11和捲取卷軸21具有將該供給卷軸11和捲取卷軸21斷續地旋轉驅動的轉動裝置(未圖示)。隨著長形工件W的輸送，該長形工件W的供給量和捲取量會變化，因此供給卷軸11和捲取卷軸21的外徑會改變。

導輪12、14、22、24、供給側制動輪15及捲取側 制動輪25，將長形工件W在供給卷軸11和捲取卷軸21之間， 以自身的旋轉軸為中心轉動，而從供給卷軸11將長形工件W向捲取卷軸21輸送。

供給側制動輪15及捲取側制動輪25各別的轉動 軸，以在水平方向上約略呈一直線地並列的方式而設置。供給制動輪15及捲動制動輪25，由包括夾持長形工件W且對向設置的2個滾輪的軋輥(nip roller)所構成。此2個滾輪以夾持或釋放長形工件W的方式，利用不圖示的機構，可在上下方向(Z方向)分別移動。

供給側制動輪15及捲取側制動輪25，以軋輥夾持 長形工件且軋輥不轉動的方式而剎車，而能夠對長形工件W進行剎車。另一方面，在放開長形工件W的狀態下，為不妨礙長形工件W的移動，而將軋輥從長形工件W的表背面分離。

又，供給側制動輪15及捲取側制動輪25分別具 有轉動驅動滾輪的轉動驅動裝置(未圖示)。在夾持長形工件W的狀態下，轉動驅動裝置以斷續地且約略相同的轉動驅動量，去轉動驅動供給側制動輪15及捲取側制動輪25，藉此能夠將橋接於供給卷軸11和捲取卷軸21之間的長形工件W重複每次以既定長輸送(一框接一框地輸送)。轉動驅動裝置例如使用步進馬達，而更精準地控制長形工件W的輸送量和加速度等。

又，供給側制動輪15及捲取側制動輪25，可使用 具有吸附長形工件W背面之吸附裝置的吸附滾輪，以取代夾持長形工件W的軋輥。供給側制動輪15及捲取側制動輪25在吸附長形工件W背面的狀態下，藉由將轉動驅動裝置進行轉動驅動，能夠輸送長形工件W。

又，雖然所舉例子的是供給側制動輪15及捲取側 制動輪25的雙方均有轉動驅動裝置，但是在制動輪僅在一方向上輸送長形工件W的情形下，只讓拉入側(供給側)的制動輪有轉動驅動裝置，也可讓另一方的制動輪只有剎車。在此情形下，拉入側的制動輪進行轉動驅動時，另一方的制動輪仍夾持長形工件而解除剎車，軋輥配合長形工件W的移動而連帶轉動。

導輪12、14、22、24是將從供給卷軸11被供給(被 送出)的長形工件W導引至下游側的輔助輪。所有導輪中，至少導輪14和24，其各別的轉動軸以在水平方向略呈一直線並列的方式而被設置。供給導輪12、14、22、24，可以有為防止長形工件W於寬方向(第1、3圖中與紙面垂直的方向、第2圖的左右方向)偏移的輪緣(未圖示)。

供給側張力滾輪13及捲取側張力滾輪23，依從長 形工件W的輸送而昇降，對長形工件W施加張力以防止在長形工件W上產生鬆弛和皺紋，同時為了在後述曝光部的掃描曝光，有作為為了讓長形工件W在曝光部30移動之緩衝器的功能。

供給部10具有用以檢測長形工件W的端面位置的 端面位置感測器16。依據端面位置感測器16的輸出，供給部10藉由未圖示的機構，執行修正長形工件W之蜿蜒曲折的端面位置控制。端面位置控制，例如，以將從供給卷軸11至供給側制動輪15作為一體地設置支持框架(未圖示)，讓此框架在長形工件W的寬方向(Y方向)移動而執行。端面位置控制為已 知的技術，可以使用一般公知的控制器實現。

<<曝光部30的結構>>

曝光部30被設置於供給側制動輪15及捲取側制動輪25之間。曝光部30具有曝光台31、對準相機41及曝光單元51。

曝光單元51具有複數個曝光頭(未圖示)，規則地 設置在與長形工件W分隔既定距離的垂直上方的位置。對於各個曝光頭，設有光源和照明光學系統(未圖示)，從光源被發射的光，透過各自對應的照明光學系統，而被引導至對應的曝光頭。各個曝光頭具有2維配置的DMD(數位微型反射鏡元件)、及將DMD的像在長形工件上成像的成像光學系統。

DMD的微形反射鏡，選擇性地被位置決定為將光 導引至長形工件W的第1形勢與將光導引至長形工件W外的第2形勢，各個微形反射鏡是獨立地被控制。

於各個曝光頭，沿著長形工件W的輸送方向M分 割，藉此被規範的曝光區域被分別指定，以規範對於各曝光頭的掃描區域。曝光區，是來自各曝光頭的光所照射的區域，是依各個掃描區域的寬而被形成，依據曝光區，光被照射向長形工件W。

曝光台31，一面吸附長形工件W的背面，一面保 持其平坦。曝光台31，藉由昇降驅動裝置34，能在曝光台31接觸長形工件W背面的上端位置和曝光台31離開長形工件W背面的下端位置之間昇降。又，曝光台31具有掃描或逐步重複的台移動部32。

如第2圖所示，曝光台31具有夾持沿長形工件W 的輸送方向(X方向)的端面的工件夾具機構35。工件夾具機構35，由將長形工件W的輸送方向(X方向)的端面夾持於台之間的夾具35a和夾具35b所構成。夾具35a和夾具35b設置在未圖示的Y方向移動機構上，能夠對應長形工件W的寬而調整夾持位置。

由於長形工件W是薄膜狀，在寬方向(Y方向)會 產生彎曲。工件夾具機構35藉由將長形工件W抵壓在曝光台上而夾持，能夠平坦地校正保持長形工件W的被曝光區域。

對準相機41設置於曝光單元51更上游側，藉由 拍攝設置於長形工件W的對準標記，取得長形工件W的位置資訊。對準標記的拍攝，是讓長形工件W在X方向移動而同時執行。

<<曝光裝置1的曝光輸送動作>>

參照第3a~3j圖的工序圖，詳細說明關於曝光裝置1的曝光輸送動作。又，圖中長形工件W附近的箭號是表示長形工件W的移動方向。又，長形工件W上的點A表示第1次曝光時的前頭位置，點B表示第1次曝光時的終端位置且表示第2次曝光時的前頭位置。

步驟S1：將是加工前新材料的卷狀長形工件W， 設定在供給卷軸11上，重複送出長形工件W的前端部，以橋接於導輪12、供給側張力滾輪13、導輪13、供給側制動輪15、捲取側制動輪25、導輪24、捲取側張力滾輪23、導輪22，而固定於捲取卷軸21。在此初期設定狀態中，在供給側張力滾輪13及捲取側張力滾輪23上，長形工件W並未被緩衝。(第3a 圖)

步驟S2：開始曝光裝置的自動運轉模式。在對準開始位置上待機的曝光台31上昇直到上端位置，一面吸附1個框分量的長形工件W的背面、一面保持其平坦。又，曝光台31的工件夾具機構35，將長形工件W夾持於其和台之間。(第3b圖)

步驟S3：供給卷軸11的轉動驅動裝置(未圖示)，藉由僅只既定的轉動驅動量的轉動，供給卷軸11僅將長形工件W送出曝光台的1個行程分量(約2個框)。被送出的長形工件W經由供給導輪12而進入供給側張力滾輪13。在此，由於長形工件W在下游側中被以曝光台31吸附，長形工件W保持適度的張力，同時在張力滾輪13上被緩衝。(第3c圖)

步驟S4：曝光台31在X方向上被驅動，保持在吸附長形工件W的狀態而通過對準相機的41的下方。此時，隨著曝光台31的移動，在供給側張力滾輪13被緩衝的長形工件W被拉出，同時在捲取側張力滾輪23部處，長形工件W的U字形狀變深，長形工件W則被緩衝。(第3c圖→第3d圖)

當長形工件內層有圖樣存在時(內建基板的第2層以後等)，為了曝光圖樣和內層圖樣的位置匹配，在長形工件W上設置有對準標記。結合曝光台31的移動，以對準相機41拍攝形成在長形工件W的對準標記。又，當長形工件W內層無圖樣時(內建基板的第1層等)，雖有未設置對準標記的情形，但是在此情形下曝光裝置1不執行對準(藉由曝光資料修正曝光位置)，所以不拍攝對準標記。

步驟S5：基於透過拍攝對準標記而得的長形工件W的位置資訊，執行長形工件W和被曝光圖樣的對準。具體而言，長形工件W的位置資訊被傳送至曝光單元51的曝光控制部(未圖示)，曝光單元51，對為了將圖樣曝光在長形工件W的曝光資料的座標進行修正處理。曝光資料的修正處理被執行時，曝光台31仍保持長形工件W，而在曝光開始位置暫停。(第3d圖)

步驟S6：曝光台31開始向下游方向移動，曝光部30中，藉由已知的多重曝光技術，曝光單元75將電子電路圖樣，掃描曝光在曝光台31吸附保持的長形工件W的表面的感光材料層(第3d圖→第3e圖)。從點A到點B的1個框分量的長形工件W的曝光完成後，曝光台31終止往下游方向的移動，停止在曝光終止位置。(第3e圖)

步驟S7：供給側制動輪15及捲取側制動輪25夾持長形工件W，將長形工件W固定(第3f圖)。之後，解除由曝光台31對長形工件W的吸附，同時解除工件夾具機構35對長形工件W的固定，昇降裝置34使曝光台31下降至下端位置(第3g圖)。長形工件W被制動輪15和25夾持，所以曝光台31從長形工件W離開時，長形工件W不會向X方向和Y方向移動而被制動，能夠保持在既定的位置。

步驟S8：供給側制動輪15及捲取側制動輪25的轉動驅動裝置(未圖示)，透過轉動僅只既定的轉動驅動量，給側制動輪15及捲取側制動輪25將長形工件W捲回既定量，以長形工件W的曝光完成的1個框的下個1個框分量來到對 準開始位置(亦即點B來到在步驟S2的點A)的方式，讓長形工件W移動。在此時，使用端面位置感測器16的輸出，一面修正長形工件W的蜿蜒曲折、一面進行長形工件W的移動(第3g圖→第3h圖)。

供給制動輪15及捲取制動輪25讓長形工件W向返回方向移動，長形工件W在供給側張力滾輪13的U字形狀變深，同時長形工件W在捲取側張力滾輪23的U字形狀變淺。此時，驅動長形工件W的加速度是急劇變化的情形，張力滾輪在長形工件上滑行，恐會在長形工件W上造成瑕疵，因此供給側制動輪15及捲取側制動輪25是以執行適當加減速的方式而被轉動驅動。

又，在藉由供給側制動輪15及捲取側制動輪25而使長形工件W捲回的同時，曝光台31從曝光終止位置移動直到對準開始位置(第3g圖→第3h圖)。又，長形工件W曝光完成的1個框分量的返回量和曝光台31的返回量不同，要注意後者的返回量大的事。長形工件W的移動以緩和的加減速進行，對此，返回量大的曝光台31的移動是高加速度且高速地進行。因此，兩者大約同時完成返回移動。

步驟S9：藉由供給側制動輪15及捲取側制動輪25完成長形工件W的移動及曝光台31的移動之後，曝光台31上昇直到上端位置，一面吸附先前己曝光的1個框的下一位置的1個框分量的長形工件W的背面、一面將其保持平坦(第3i圖)。又，曝光台31的工件夾具機構35，將長形工件W夾持於其和台之間。此時，如第3i圖所示，可知點B來到在步 驟S2的點A位置。

步驟S10：供給側制動輪15及捲取側制動輪25解除對長形工件W的夾持。供給卷軸11及捲取卷軸21的轉動驅動裝置(未圖示)透過轉動僅只既定的轉動驅動量，供給卷軸11將長形工件W送出僅只1個框分量至張力滾輪13，同時捲取卷軸21將1個框分量的長形工件W從張力滾輪23捲回。(第3i圖→第3j圖)

之後，依序重複實施步驟S4~步驟S10直到生產完成。長形工件W的最後框的曝光完成後，回收在捲取卷軸21上被捲取成卷狀的長形工件W。

如前所述的本實施樣態的曝光裝置1，通常利用透過供給側制動輪15及捲取側制動輪25的夾持或透過曝光台31的夾持，以維持長形工件W被制動的狀態而進行複數個框數的曝光。藉此，能夠高精密地連結前後框的曝光，特別是在沒有對準標記的長形工件W中發揮良好效果。

又，當曝光1個框後的曝光台31和長形工件W返回移動時，由於是讓曝光台31和長形工件W分離而各別地移動，所以能夠讓移動距離長的曝光台31以高加速度地高速移動，另一方面，移動距離短的長形工件W，以不產生因張力滾輪而造成磨損的方式，能抑制加速度地讓其移動。藉此，增進曝光裝置1的產能。

<<第2實施樣態>>

第2實施樣態，關於曝光裝置1的結構和第1實施樣態相同。本實施樣態中，透過曝光裝置1動作的步驟S6完成後， 分支進行以下的步驟。

步驟S11：曝光台31維持吸附保持著長形工件W， 移動到對準相機41的下方。此時，曝光台31的移動，可以是自動移動到預定位置，也可以是由操作人員手動移動到任意位置。

步驟S12：曝光裝置1的操作人員，使用對準相機 41、及連接對準相機的監視器42，觀察透過步驟S6在長形工件W的感光材料上形成的潛影。觀察結果當被認為需要修正曝光位置和曝光量等時，曝光裝置1的操作人員依據觀察結果修正前述的參數。

步驟S13：供給側制動輪15及捲取側制動輪25夾 持長形工件W且固定長形工件W。之後，解除由曝光台31對長形工件W的吸附，同時解除工件夾具機構35對長形工件W的固定，昇降驅動裝置34讓曝光台31下降至下端位置。

步驟S14：基於在步驟S11從曝光台31的移動量 求得的長形工件W的現在位置，供給側制動輪15及捲取側制動輪25，以長形工件W曝光完成的1個框的下個1個框分量來到對準開始位置(亦即點B來到在步驟S2的點A位置)的方式，讓長形工件W移動到下游側。

又，透過供給制動輪15及捲取制動輪25移動長 形工件W的同時，曝光台31在向上游方向被驅動，而移動到對準開始位置。如此，以供給制動輪15及捲取制動輪25讓長形工件W移動的話，容易讓長形工件W和曝光台31移動到別的方向。

步驟S15：完成透過供給制動輪15及捲取制動輪 25讓長形工件W的移動和透過台移動部32讓曝光台31的移動之後，曝光台31上昇到上端位置，一面吸附在先前曝光過的1個框之下個位置的1個框分量的長形工件W的背面、一面保持其平坦。又，曝光台31的工件夾具機構35，將長形工件W的輸送方向(X方向)的端面夾持在其與台之間。

步驟S16：供給制動輪15及捲取制動輪25解除對 長形工件W的夾持。供給卷軸11及捲取卷軸21的轉動驅動裝置(未圖示)，藉由轉動僅只既定的轉動驅動量，供給卷軸11將長形工件W送出僅只1個框分量到張力滾輪13，同時捲取卷軸21從張力滾輪23捲回1個框分量的長形工件W。

之後，與實施樣態1相同，依序重複實施步驟S4 及其後的步驟。又，往步驟S11的動作分支，不只是在長形工件W的最初1個框的曝光後，也可以在任何的時點實施。

以此方式，本實施樣態的曝光裝置1，具有在實施 連續運轉時用以觀察曝光結果的工序(步驟S12)。觀察長形工件W最初的曝光結果，藉由調整曝光參數，能夠防止長形工件W的多數框的圖樣有不良形成，因此改善曝光裝置1的產能。又，曝光結果的觀察工序並非只是在長形工件W的最初曝光時，也可以在位任意的時點(例如每經過既定時間)實施。

又，觀察曝光結果的工序即使在連續運轉中被實 施時，長形工件W由供給側制動輪15和捲取側制動輪25夾持、或是由曝光台31保持而被制動。藉此，能夠高精密地連結前後框的曝光，特別是在沒有對準標記的長形工件W中發 揮良好效果。

又，曝光結果的觀察和曝光參數的設定，雖說明是由操作人員藉由連接至對準相機41的監視器42以手動進行，但是也可以將未圖示的影像處理裝置連接到對準相機41，使曝光裝置1自動執行。

1‧‧‧曝光裝置

2‧‧‧架台

10‧‧‧供給部

11‧‧‧供給卷軸

12、14‧‧‧導輪

13‧‧‧供給側張力滾輪

15‧‧‧供給側制動輪

16‧‧‧端面位置感測器

20‧‧‧捲取部

21‧‧‧捲取卷軸

22、24‧‧‧導輪

23‧‧‧捲取側張力滾輪

25‧‧‧捲取側制動輪

30‧‧‧曝光部

31‧‧‧曝光台

32‧‧‧台移動部

33‧‧‧導軌

34‧‧‧昇降驅動裝置

41‧‧‧對準相機

42‧‧‧監視器

51‧‧‧曝光單元

W‧‧‧長形工件(感光性基板)

Claims (5)

1. 一種曝光裝置，包括：輸送裝置，從供給卷軸到捲取卷軸，輸送長形有可塑性的被曝光體，曝光手段，設置於從供給卷軸至捲取卷軸之間，曝光台，保持前述被曝光體的一部分，以及移動裝置，使前述曝光台，沿著前述輸送裝置的前述被曝光體的輸送方向來回地移動，藉由前述曝光手段和前述曝光台的相對移動，在前述被曝光體上曝光圖樣；前述輸送裝置，包括：供給側拘束輪，設置於前述供給卷軸的下游側且前述曝光手段的上游側，用以拘束前述被曝光體，以及捲取側拘束輪，設置於前述曝光手段的下游側且前述捲取卷軸的上游側，用以拘束前述被曝光體；在前述供給側拘束輪及前述捲取側拘束輪的至少前述供給側拘束輪上，設置輪驅動裝置。
2. 如申請專利範圍第1項所述之曝光裝置，其中在前述曝光台保持前述被曝光體時，前述供給側拘束輪及前述捲取側拘束輪解除前述被曝光體的拘束。
3. 如申請專利範圍第2項所述之曝光裝置，其中在前述曝光台，從輸送開始位置直到輸送完成位置，維持在保持前述曝光體的狀態下而移動的期間，前述曝光手段將圖樣曝光於前述被曝光體上； 前述曝光手段完成曝光後，當前述曝光台從前述輸送完成位置直到前述輸送開始位置，不保持被曝光體而移動時，前述供給側拘束輪讓前述被曝光體移動到供給側。
4. 如申請專利範圍第1至3項其中之一所述之曝光裝置，其中前述曝光台具有將前述被曝光體抵壓在前述曝光台的夾具機構。
5. 如申請專利範圍第1至4項其中之一所述之曝光裝置，其中包括曝光位置修正裝置，具有設置在前述供給側拘束輪和前述曝光手段之間的前述被曝光體上方的拍攝裝置，以及顯示裝置，可顯示前述拍攝裝置所拍攝的影像；其中，前述拍攝裝置，拍攝被設置在前述被曝光體上的位置決定標記，前述曝光手段，基於前述拍攝裝置所拍攝的影像，修正曝光資料，而進行曝光位置修正，前述曝光手段，依據被修正的前述曝光資料，將圖樣曝光在前述被曝光體上，完成曝光之後，使用前述拍攝裝置，對被曝光至前述被曝光體的圖樣進行確認。